JPH0858089A - Ink jet recording device - Google Patents

Ink jet recording device

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JPH0858089A
JPH0858089A JP20108894A JP20108894A JPH0858089A JP H0858089 A JPH0858089 A JP H0858089A JP 20108894 A JP20108894 A JP 20108894A JP 20108894 A JP20108894 A JP 20108894A JP H0858089 A JPH0858089 A JP H0858089A
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JP
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Patent type
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ink
pressure chamber
supply
communication passage
aperture
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JP20108894A
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Japanese (ja)
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JP3665370B2 (en )
Inventor
Yoshio Miyazawa
Mari Sakai
芳雄 宮澤
真理 酒井
Original Assignee
Seiko Epson Corp
セイコーエプソン株式会社
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, e.g. INK-JET PRINTERS, THERMAL PRINTERS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2002/14306Flow passage between manifold and chamber

Abstract

PURPOSE: To provide a highly reliable ink jet head which ensures an easy removal of air bubbles from its flow passage. CONSTITUTION: An ink feed restriction hole 4 is disposed on the outer side of a pressure chamber 5 when seen from the laminate direction of a base plate and is formed near the one end of a feed communication passage 38 and the other end thereof is laid on and connected to the end of the pressure chamber 5 when seen from the laminate direction of the base plate, whereby the ink feed restriction hole 4 is so arranged as to avoid its directly opposite position with respect to the pressure chamber 5 by the feed communication passage 38.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【産業上の利用分野】本発明は印字データの入力を受けた時点で、インク滴を飛翔させ、このインク滴により記録用紙にドットを形成させるオンデマンド型インクジェット記録装置に関する。 Once the present invention which receives the print data BACKGROUND OF THE INVENTION, by ejecting ink droplets, on the on-demand type ink jet recording apparatus for forming a dot on a recording sheet by the ink droplets.

【0002】 [0002]

【従来の技術】入力情報に応じて複数のノズルからインク滴を噴射し文字や図形を出力するオンデマンド型インクジェット記録装置は、低騒音、低ランニングコストで普通紙や再生紙に高印字品質の記録書き込みができる点で他の方式のものに比べて優れている。 A plurality of nozzles according to the prior art input information on-demand type ink jet recording apparatus ejects ink droplets to output the characters and figures are low noise, high print quality on plain paper and recycled paper at low running costs it is superior to that of other systems in that it is recorded write.

【0003】このインクジェット記録装置として、図1 [0003] As the ink jet recording apparatus, FIG. 1
3に示す従来技術が特開平6−40030号公報に開示されている。 Prior art shown in 3 is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 6-40030. このインクジェットヘッドは以下に示すように、それぞれ異なる機能を有する複数のプレートを積層して構成されている。 The ink-jet head, as shown below, is formed by stacking a plurality of plates having different functions. 即ち、平面状に配列された細長い圧力室5を確定する圧力室形成基板32は、その一方の面を圧力室5に対応して配設された圧電素子34を持つ振動板33で封止され、他方の面を連通流路38,3 That is, the pressure chamber formation substrate 32 to establish an elongate pressure chamber 5 which is arranged in a plane is sealed by the vibrating plate 33 having a piezoelectric element 34 which is disposed in correspondence with one face to the pressure chamber 5 , communication passage and the other surface 38,3
9を有する封止基板43で覆蓋されて、インク滴吐出に必要な圧力を生成する個別に区画された圧力室5を構成する。 9 is covering with a sealing substrate 43 having, constitutes a pressure chamber 5 which is individually partitioned to generate the pressure required for ink ejection. 更に封止基板31上にはインク供給絞り4を有するインク供給絞り形成基板43が積層され、この基板上に積層されたインクリザーバ室形成基板42に穿孔形成されたインクリザーバ室6と連通路38との間のインク流れを制限している。 Is further laminated an ink supply aperture-forming substrate 43 having a diaphragm 4 ink supplied on the sealing substrate 31, the ink reservoir chamber 6 and the communication passage 38 drilled formed in the ink reservoir chamber formation substrate 42 which is laminated on the substrate limiting the ink flow between the.

【0004】この従来のインクジェット記録装置は、基板を積層する構造であるため容易に製造でき、特にアクチュエータ部分をセラミクスの一体焼成で構成した場合においても、接合部材間におけるインク流路のシール性を容易に且つ安定して確保できるため、量産性と信頼性の高いインクジェット記録装置を提供できる。 [0004] The conventional ink jet recording apparatus, the substrate can be easily produced because it is a structure of laminating, in particular even in case where the actuator portion integrally firing ceramics, the sealing of the ink flow path between the junction member for easily and stably secured, it can provide high mass productivity reliable ink jet recording apparatus.

【0005】ところで、このようなインクジェットヘッドでは、インク流路中に気泡が滞留すると、気泡がインク供給を妨げたり、インクを吐出させるための圧力を吸収し、インクの吐出不良を発生させる。 [0005] In such an ink jet head, the bubbles in the ink flow path is retained, or air bubbles interfere with the ink supply, to absorb the pressure for discharging the ink to generate an ink ejection failure. このような気泡は、インクを補給するインクタンクから初めてインクを充填する場合にインク流路内に残留したり、インクの消耗によりインクタンクを交換する時にインクタンクとの接続部から進入したり、振動等によりノズルのインクメニスカスが破壊しノズルから進入したりするため、この気泡を排出させるための手段をインクジェット記録装置が備えていなければならない。 Such bubbles or enters from the connection of the ink tank when the remaining ink flow path or, to replace the ink tank by consumption of the ink when filling the first ink from an ink tank for supplying ink, the ink meniscus in the nozzle by vibration or the like or enters from destruction by the nozzle, means must be provided an ink jet recording apparatus for discharging the air bubbles. 一般には、インクジェット記録装置にポンプを設置し、インクタンクの交換時やインク吐出不良が発生した時に、ポンプを駆動してノズルよりインクを強制的に排出させ、その時の流れで気泡を取り除く方法が採られる。 In general, the pump installed in the ink jet recording apparatus, when the exchange time or the ink ejection failure of the ink tank occurs, to drive the pump ink forcibly discharged from the nozzle, a method of removing air bubbles in the flow at that time taken.

【0006】しかし、従来インクジェット記録装置では、インク供給絞りの狭い開口部から連通流路部にインクが噴出する部分では、連通流路部の角にインク流れの淀みが生じ、ポンプのインク排出力を高めても気泡が排出できない。 However, in the conventional ink jet recording apparatus, a portion where the ink is ejected in the communication passage portion from the narrow opening of the ink supply aperture, the ink flow stagnation occurs in the corner of the communication passage portion, the ink discharge force of the pump air bubbles can not be ejected when you increase the. このような淀み部は、基板を積層して接合する時の組立誤差によって非常に大きくなる場合があり、例えば、図14に示す流路構造ではC部とD部に、 Such stagnation portion can be very large by an assembly error when joining by laminating substrate, for example, the C portion and D portion in the flow path structure shown in FIG. 14,
図15に示す流路構造ではD部とE部に淀みが生じ、インクジェットヘッドの製造上の歩留まりを著しく低下させる。 Stagnation occurs D unit and E unit in the channel structure shown in FIG. 15, significantly reduces the production yield of the ink jet head.

【0007】気泡排出性が低いインクジェットヘッドでは、ポンプを用いて強く長い時間インクを排出しなければならず、インクが無駄に消費され印字コストが高くなると言う問題点も有している。 [0007] In the bubble discharge resistance is low inkjet head has to discharge the highly long time ink using the pump, the ink also has problem that a higher waste to printing cost is consumed.

【0008】 [0008]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる課題を解決するものであって、その目的とするところは、圧力室と、供給連通路と、インク供給絞りと、インクリザーバ室とを順に積層配置したインク流路中の気泡と容易に排出できる流路構造を提供することで、気泡滞留によるインク吐出不良が発生せず、不必要に無駄なインク消費の無い、信頼性の高いインクジェット記録装置を提供することである。 [SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is intended to solve such problems, it is an object of the pressure chamber, the supply communication passage, and the ink supply aperture, an ink reservoir chamber sequentially by providing easily discharged can flow channel structure and a bubble in the ink flow path to the stacked arrangement was not generated ink discharge failure due to the air bubbles staying, without unnecessarily wasteful ink consumption, reliable ink jet recording it is to provide an apparatus.

【0009】また、組立誤差が有っても気泡の排出性が低下しない、歩留まりの高いインクジェット記録装置を提供することである。 Moreover, does not decrease the discharge of air bubbles even if there is an assembly error, it is to provide a high yield ink jet recording apparatus.

【0010】 [0010]

【課題を解決するための手段】上記問題を解決するために本発明のインクジェット記録装置は、インクを加圧する圧力発生手段を有する圧力室と、供給連通路と、インク供給絞りと、インクリザーバ室とを順に積層配置し、 Ink jet recording apparatus of the present invention to solve the above problems SUMMARY OF THE INVENTION comprises a pressure chamber having a pressure generating means for pressurizing the ink, and supply communication path, the ink supply aperture, an ink reservoir chamber laminated to place the door in order,
互いに接続するインク流路を形成したインクジェット記録装置において、インク供給絞りを積層方向より見て圧力室の外側に配置し供給連通路の一方の端部近傍に接続し、供給連通路の他方の端部を積層方向から見て圧力室の端部に重ね圧力室に接続し、インク供給絞りが供給連通路を隔てて圧力室と対向しないよう配置したことを特徴とする。 In the ink jet recording apparatus to form an ink flow path connecting to each other, the ink supply aperture as viewed from the lamination direction is arranged outside the pressure chamber is connected to one end portion of the supply communication passage, the other end of the supply communication passage part was connected to the pressure chamber superimposed on an end portion of the pressure chamber when viewed from the laminating direction, the ink supply aperture is characterized by being arranged so as not to face the pressure chamber at a supply communication passage.

【0011】 [0011]

【作用】インクをノズルより排出する場合に、インク供給絞りから供給連通路へ噴出する噴流が対向する壁面との間に渦を発生する。 When the [action] The ink discharged from the nozzle, the jet ejected from the ink supply aperture to the supply communication passage to generate an eddy between the opposed wall surfaces. この渦はインク供給絞りから対向する壁面までの距離が長くなるほど大きくなる。 The vortex increases as the distance to the wall surface that faces the ink supply aperture becomes longer. また、 Also,
この渦が発生する部分に構造上の段部があると、気泡が滞留し、インク流量を増加させても排出不可能である。 When the vortex has stepped portions on the structure portion generating bubbles staying, it is impossible discharged by increasing the ink flow rate.
供給連通路を長くしその両端に流路を接続し、インク供給絞りの開口部と圧力室が対向しないように構成することにより、渦を小さくすることと構造上の段部を無くすことを両立できる。 The supply communication path longer connect the channel to its opposite ends, by the opening of the diaphragm ink supply and the pressure chamber is constructed so as not to face, both to eliminate the stepped portion on that the structure to reduce the vortex it can. 従って、インク供給絞りから圧力室まで滑らかな流れが作られ、気泡が容易に排出できる流路となる。 Therefore, it made smooth flow from the ink supply aperture to the pressure chamber, as a flow path of air bubbles can be easily discharged.

【0012】 [0012]

【実施例】以下、本発明を実施例により図面を参照して詳細に説明する。 EXAMPLES Hereinafter, will be described in detail with reference to the drawings by the present invention through examples.

【0013】図1は本発明のインクジェット記録装置1 [0013] Figure 1 is an ink jet recording apparatus of the present invention 1
の実施例を示す斜視図である。 Is a perspective view showing an embodiment. 図1においてインクジェットヘッドカートリッジ2はキャリッジ80上に位置決め固定されており、キャリッジ80はキャリッジモータ81によって主走査方向である矢印Aの方向に移動することができる。 The head cartridge 2 in FIG. 1 is positioned and fixed on the carriage 80, the carriage 80 can move in the direction of arrow A which is the main scanning direction by a carriage motor 81. また印字紙等の被記録媒体82はプラテン83に巻き付けられ、紙送りモータ84によって副走査方向である矢印Bの方向に移動することができる。 A recording medium 82 of The printing paper or the like is wound around the platen 83 can be moved in the direction of arrow B, which is the sub-scanning direction by a paper feed motor 84. キャリッジ80上に搭載されたインクジェットヘッドカートリッジ2は主走査方向に移動しながら、印字信号に応じてインク滴を吐出し、被記録媒体の副走査方向の移動と組み合わせて、2次元面内に画像を形成する。 While the ink jet head cartridge 2 mounted on the carriage 80 on the moving in the main scanning direction, ejecting ink droplets in response to print signals, in conjunction with the movement of the sub-scanning direction of the recording medium, the image in a two-dimensional plane to form. また、 Also,
印字が一定時間以上行なわれない場合にはインク吸引手段85のある待機位置86に移動する。 If the printing is not performed more than a predetermined time is moved to the standby position 86 with ink suction means 85. インク吸引手段85は、キャップ87と、不図示のキャップ進退機構とを有し、インクジェットヘッドカートリッジ2のインク吐出面にキャップ87を当接させた状態と、当接させない状態とを実現することができる。 Ink suction means 85 includes a cap 87, and a cap reciprocating mechanism (not shown), and being in contact with the cap 87 to the ink discharge surface of the ink jet head cartridge 2, is possible to achieve a state of not contacting it can. インクカートリッジの交換に伴い新規インクをインクジェットヘッド内に導入する場合や、インクの吐出不良が発生した場合には、 If you introduce a new ink due to exchange of the ink cartridge in the ink jet head, when the ink discharge failure occurs,
このインク吸引手段を用いてインクジェットヘッド内のインクを吸引し、吐出不良の原因となるインクジェット内の気泡や劣化したインクをノズルより排出させる。 The ink suction means with sucking ink inside the ink jet head, bubbles and degraded ink in inkjet causing discharge failure is discharged from the nozzle.

【0014】図2はインクジェットヘッドカートリッジ2の断面図である。 [0014] FIG. 2 is a cross-sectional view of an ink jet head cartridge 2. 図2においてインクジェットヘッドカートリッジ2はヘッドユニット10と、固定部材20 The head cartridge 2 in FIG. 2 is a head unit 10, the fixing member 20
と、インク収納部70とによって構成されている。 When, is constituted by an ink containing portion 70. ヘッドユニット10は固定部材20に位置決めされ、接着剤によって接合されている。 The head unit 10 is positioned on the fixed member 20 are joined by an adhesive. インク収納部70は、そのインク排出部72に固定部材20のインク導入路21を挿入して、固定部材20に固定される。 The ink containing portion 70, by inserting the ink introduction path 21 of the fixing member 20 to the ink discharge unit 72, is fixed to the fixing member 20. インク導入路21 Ink introduction path 21
とインク排出部72の嵌合はOリング71によってシールされている。 Fitting of the ink discharge portion 72 is sealed by O-ring 71 and. インク収納部70に蓄えられているインクは、固定部材20のインク導入路21を通ってヘッドユニット10に供給される。 The ink that is stored in the ink storage portion 70 is supplied to the head unit 10 through the ink introduction path 21 of the fixing member 20. インク収納部70は内部に多孔質体74を収納しており、この多孔質体74にインクが含浸されている。 Ink accommodating portion 70 is accommodated porous body 74 therein, the ink is impregnated in the porous body 74. 多孔質体74はインクによって侵されずかつインクを変質させない材質からなる発泡材などが好適である。 The porous body 74 is such as foam made of a material which does not alter the are not and ink attacked by the ink is preferred. またインク収納部70のインク排出部72の対向面には通気性を有するフィルム77に覆われた連通孔76が設けられており、インクの蒸発を抑さえながら内部の圧力をインクの消費量に関係なく大気圧に保っている。 Also on the opposing surface of the ink discharge portion 72 of the ink containing portion 70 it is provided with a communication hole 76 covered with a film 77 having air permeability, the consumption of ink pressure inside while suppressed even evaporation of the ink It is kept at atmospheric pressure regardless.

【0015】本実施例では、インクジェットヘッドカートリッジ2は一体に接合されており、インク収納部のみの交換は出来ない構成となっているが、インク導入路2 [0015] In this embodiment, the ink jet head cartridge 2 are joined together, although replacement of only the ink accommodating portion has a structure which can not be, an ink introduction channel 2
1に外部からごみが入らないようにするフィルタ75 Filter 75 to ensure that dust from the outside does not fall within the 1
や、インク排出部から外部にインクが漏れない構造等を設けることにより、インク収納部70が交換出来る構成にすることも可能である。 And, by providing a structure ink to the outside does not leak and the like from the ink discharge portion, it is also possible to adopt a configuration in which the ink containing portion 70 can be exchanged.

【0016】また、インク収納部をキャリッジ上に搭載せず、インクジェット記録装置内の固定された位置にインク収納部を設け、キャリッジと共に往復移動するインクジェットヘッドとの間を、フレキシブルチューブで接続する構成も可能である。 Further, without mounting the ink containing portion on a carriage, configured to the ink accommodating portion is provided in a fixed position within the ink jet recording apparatus, between the inkjet head that reciprocates together with the carriage, it is connected by a flexible tube it is also possible.

【0017】図3は、本発明のインクジェットヘッド1 [0017] Figure 3, the inkjet head 1 of the present invention
0をノズルプレート側から見た外観斜視図である。 0 is an external perspective view of the nozzle plate side. また、図4はヘッドユニット10を固定部材側から見た外観斜視図である。 Further, FIG. 4 is an external perspective view of the head unit 10 from the stationary member side. ヘッドユニット10は板状のアクチュエータユニット30と、アクチュエータユニット30を表面に実装するのに十分な面積を持つ同じく板状の流路ユニット40とを積層して構成されている。 The head unit 10 includes a plate-shaped actuator unit 30, and a flow path unit 40 also of the plate having an area sufficient to implement the actuator unit 30 on the surface which are stacked. また、アクチュエータユニット30の一方の面には、圧力発生素子への駆動信号を印加するための配線手段26が接続されている。 Further, on one surface of the actuator unit 30, the wiring means 26 for applying a driving signal to the pressure generating element is connected.

【0018】本発明のヘッドユニットの更に詳細な構成を、図5を用いて説明する。 [0018] The detailed configuration of the head unit of the present invention will be described with reference to FIG. 図5は説明のために各構成部品を分解し、相対的な寸法を変えて示してある。 5 breaks down each component for purposes of explanation, is shown by changing the relative dimensions.

【0019】アクチュエータユニット30と流路ユニット40はそれぞれ複数のプレートを積層して構成されている。 The actuator unit 30 and the channel unit 40 are respectively constituted by stacking a plurality of plates.

【0020】初めにアクチュエータユニット30を説明する。 [0020] described the actuator unit 30 at the beginning. アクチュエータユニット30は封止基板31と圧力室形成基板32と振動板33とを順次積層して構成されている。 The actuator unit 30 is configured by sequentially laminating a sealing substrate 31 and the pressure chamber formation substrate 32 and the vibrating plate 33. また、振動板33上にはそれぞれの圧力室5 Further, in each of the upper diaphragm 33 pressure chamber 5
に対応した下部電極35が形成されており、更に下部電極35上にはそれぞれの圧力室5に対応した圧力発生手段が形成されている。 The lower electrode 35 is formed, and further a pressure generating means corresponding to the respective pressure chambers 5 is formed on the lower electrode 35 formed corresponding to. 本実施例の圧力発生手段は圧電素子34より成り、この圧電素子34に駆動電圧を供給するため下部電極35とで圧電素子34を挟むように上部電極36が複数の圧電素子34に股がって形成されている。 Pressure generating means in this embodiment is made of the piezoelectric element 34, across the upper electrode 36 so as to sandwich the piezoelectric elements 34 between the lower electrode 35 for supplying a driving voltage to the piezoelectric element 34 into a plurality of piezoelectric elements 34 It is formed Te. 即ち、下部電極35には個別の圧電素子34を選択的に駆動するための個別駆動信号が加えられる。 That is, the individual drive signal is applied for selectively driving the individual piezoelectric element 34 to the lower electrode 35. 共通電極である上部電極36と個別電極である下部電極35 The lower electrode 35 and upper electrode 36 is a common electrode is an individual electrode
は、振動板33上に形成された接続端子37とフレキシブルプリント基板(FPC)26とを接続して、外部の駆動回路に接続される。 Connects the connection terminal 37 formed on the vibrating plate 33 flexible printed circuit (FPC) 26, are connected to an external driving circuit. インク滴吐出に必要なインク圧力を発生する圧力室5は、圧力室形成基板32に細長く形成された通孔により平面内の配列が確定され、通孔の周囲が側壁となり複数の圧力室に区画されている。 The pressure chamber 5 that generates ink pressure necessary for the ink droplet ejection, the sequence of the plane is determined by the elongated formed hole in the pressure chamber formation substrate 32, partitioned into a plurality of pressure chambers surrounding hole becomes sidewalls It is. 封止基板31は圧力室5を封止すべく側壁と気密的に接合され圧力室底壁をなす。 Sealing substrate 31 forms a pressure chamber bottom are sidewalls and hermetically bonded in order to seal the pressure chamber 5. この封止基板31には、各圧力室毎にアクチュエータユニット外からインクを供給するための細長い供給連通路38と、インク滴を吐出するノズル3と接続するためのノズル連通路39が穿孔されており、各圧力室5は一方の端部近傍でノズル連通路39に接続し、他方の端部で供給連通路38の一方の端部に接続している。 The sealing substrate 31, an elongated supply communication path 38 for supplying ink from the outside actuator unit for each pressure chamber, a nozzle communicating path 39 for connecting the nozzle 3 for ejecting ink droplets is perforated cage, each pressure chamber 5 is connected to the nozzle communicating path 39 at one end near, and connected to one end of the supply communication passage 38 at the other end.

【0021】次に流路ユニット40を説明する。 [0021] will now be described channel unit 40. 流路ユニット40はノズルプレート41とリザーバ室形成基板42とインク供給絞り形成基板43とを順次積層して構成されている。 Channel unit 40 is constituted by sequentially laminating a nozzle plate 41 and the reservoir chamber formation substrate 42 and the ink supply aperture-forming substrate 43. リザーバ室形成基板42には、リザーバ室6を確定する通孔が形成されており、通孔の一方をノズルプレート41で、他方をインク供給絞り形成基板4 The reservoir chamber formation substrate 42, through holes to determine the reservoir chamber 6 is formed, one of the holes in the nozzle plate 41, forming the substrate 4 stop while the ink supply
3で封止することでリザーバ室6を構成している。 It constitutes a reservoir chamber 6 by sealing with 3. このリザーバ室6は、インク収納部からのインクを各圧力室に分岐させるマニフォールドとしての機能を有し、基板面から見て、各供給連通路38と平面的に重なる部分からアクチュエータユニット30と平面的に重ならない部分に渡って形成されている。 The reservoir chamber 6 has a function of the ink from the ink accommodating portion as a manifold for branching to the pressure chambers, as viewed from the substrate surface, the actuator unit 30 and the plane from the portion overlapping the supply communication passage 38 in plan view It is formed over the portions not overlapping the basis. このリザーバ室6にあって、インク供給絞り形成基板43にはリザーバ室6と細長い各供給連通路38の一方の端部を接続するインク供給絞り4が穿孔されており、アクチュエータユニット3 In the this reservoir chamber 6, the ink supply aperture-forming substrate 43 is an ink supply aperture 4 is perforated to connect one end of the reservoir chamber 6 and each elongated supply communication passage 38, the actuator unit 3
0と平面的に重ならない部分のインク供給絞り形成基板43には、インク収納部からのインクをリザーバ室6に導くリザーバ口8が穿孔されている。 0 and part of the ink supply aperture-forming substrate 43 do not overlap in plan view, the reservoir outlet 8 for leading ink from the ink accommodating portion in the reservoir chamber 6 is perforated. また、ノズルプレート41にはインク滴を吐出するノズル3が、圧力室5 Further, the nozzle plate 41 is a nozzle 3 for ejecting ink droplets, pressure chambers 5
に対応して穿孔されている。 It is perforated in correspondence with. このノズル3と対応する圧力室5とを接続するため、インク供給絞り形成基板43 For connecting the pressure chamber 5 corresponding to the nozzle 3, the ink supply aperture-forming substrate 43
とリザーバ室形成基板42にはノズル3に対応してノズル連通路44、45が形成されている。 Nozzle communication path 44, 45 corresponding to the nozzle 3 to the reservoir chamber formation substrate 42 is formed with.

【0022】本実施例では、一つのアクチュエータユニット30に対向した2列の圧力室5が形成されており、 [0022] In this embodiment, the pressure chambers 5 arranged in two rows facing the one actuator unit 30 is formed,
相互に圧力室配列間隔の2分の1だけ配列方向にずらして配置されている。 Another are arranged offset in one only direction of arrangement of the half of the pressure chamber arrangement interval. また、対応するノズル3も相互にノズル配列間隔の2分の1だけずらして2列に配設されている。 Also, the corresponding nozzle 3 are arranged in two rows shifted by one-half of another nozzle arrangement interval. 従って、主走査方向Aから見たノズルの配列間隔は圧力室間隔の2分の1となり、実質的なノズル密度を倍にしている。 Therefore, the arrangement interval of the nozzles viewed from the main scanning direction A has become one-half of the pressure chambers interval, the effective nozzle density doubled.

【0023】流路ユニット40の一方の面に開口するインク供給絞り4とノズル連通路44は、それぞれ一対一に対応するアクチュエータユニット30の供給連通路3 The ink supply aperture 4 and the nozzle communication path 44 opens on one side of the channel unit 40, supply communication passage 3 of the actuator unit 30 corresponding to one-to-one, respectively
8とノズル連通路39に重なる位置に形成されており、 8 and is formed at a position overlapping the nozzle communicating path 39,
アクチュエータユニット30を流路ユニット40上に、 The actuator unit 30 on the passage unit 40,
対応する開口を重ねて接合することにより、両ユニット間の流路が接続される。 By joining overlapping the corresponding opening, the flow path between the units is connected.

【0024】次に、流路ユニット40のより詳細な構成を以下に説明する。 Next, explaining the more detailed configuration of the passage unit 40 below. 厚さ50乃至150μmのステンレス板よりなるノズルプレート41には開口径30乃至5 The thickness of 50 to nozzle plate 41 made of 150μm stainless steel plate having an opening diameter of 30 to 5
0μmのテーパノズル3が、列内の間隔が564μm Tepanozuru 3 of 0μm is, the interval in the column is 564μm
で、2列に形成されている。 In, it is formed in two rows. リザーバ形成基板42は厚さ150μmのステンレス板を打ち抜いてリザーバ室6 The reservoir forming substrate 42 by punching a stainless steel plate having a thickness of 150μm reservoir chamber 6
を確定する通孔とノズル連通路45とを形成した。 To form a hole and the nozzle communication path 45 to determine the. ノズル連通路45の直径は板材と同じ150μm程度が好ましい。 The diameter of the nozzle communication path 45 is approximately the same 150μm as plate are preferred. インク供給絞り形成基板43は50乃至150μ The ink supply aperture-forming substrate 43 is 50 to 150μ
mステンレス板に打ち抜きによりインク供給絞り4とノズル連通路44を穿孔した。 Drilled ink supply aperture 4 and the nozzle communication path 44 by punching the m stainless steel plate. インク供給絞り4は圧力室の圧力によって発生するインク流れが、リザーバ室6側へ逃げるのを制限しノズル3側へ効率良く向けるため、 Since the ink supply aperture 4 which is an ink flow generated by the pressure in the pressure chamber, directs efficient to limit the escape into the reservoir chamber 6 side to the nozzle 3 side,
ノズルの流体的なインピーダンスより等しいか大きく設定することが好ましい。 It is preferred that either large set equal to the fluid impedance of the nozzle. 本実施例ではノズル3と同じ寸法とし、断面が厚さ方向に拡大するテーパ部を持つように穿孔した。 In this embodiment the same dimensions as the nozzle 3, drilled to have a tapered portion to expand cross section in the thickness direction. テーパを持たせたため、最狭部の直径を板厚より小さくでき、また精度良く形成することが可能となった。 For which gave taper, it has become possible to the diameter of the narrowest portion can be made smaller than the plate thickness, also formed accurately. ノズル連通路44の直径は、リザーバ室形成基板42のノズル連通路45より等しいか若干大きく、圧力室5の幅より小さく設定し、本実施例では150乃至300μmとした。 The diameter of the nozzle communication path 44 is slightly than or equal to the nozzle communication path 45 of the reservoir chamber formation substrate 42 increases, and set smaller than the width of the pressure chamber 5, in the present embodiment was 150 to 300 [mu] m. このように設定することにより、圧力室5からノズル3への流路中に気泡が滞留するのを防止できる。 With this setting, it is possible to prevent the bubbles from staying in the flow path from the pressure chamber 5 to the nozzle 3. これら3枚のプレートは、相互に関連付けられた通孔が連通するように積層される。 These three plates are through holes associated with each other are laminated so as to communicate. プレート間の接合は、ろう接合、拡散接合、接着剤、型抜きされた接着シート等が採用でるが、ここではインクに腐食されないエポキシ樹脂からなる接着剤を用いた。 Bonding between the plates, brazing, diffusion bonding, adhesives, and die-cut adhesive sheet or the like comes out adopted, using an adhesive made of epoxy resin which is not corroded in the ink herein. 各プレートには、本実施例では全てステンレス板を用いたが、インクに腐食されない素材であれば、セラミクス、硝子等の無機材料や、シリコン、ニッケル等の金属材料や、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリサルフォン等のプラスチック材料から適宜選択して組み合わせることも可能である。 Each plate was used all stainless steel plate in this embodiment, if the material which is not corroded by the ink, ceramics, or inorganic materials such as glass, silicon, or a metal material such as nickel, polyimide, polycarbonate, polysulfone it is also possible to combine suitably selected from plastic materials. また、それぞれの素材に適した加工方法として、エッチングや、YAGレーザ、炭酸ガスレーザ、エキシマレーザ等を用いたレーザ加工等の除去加工方法の他に、 Further, as a processing method suitable for each material, etching and, YAG laser, carbon dioxide laser, in addition to the removal processing method such as laser processing using an excimer laser or the like,
電鋳法や樹脂成型等の直接形状を形成する方法も採用できる。 It can be employed a method of forming a electroforming method or a resin molding or the like of the direct shape.

【0025】例えば、ノズルプレート41やインク供給絞り形成基板43は比較的基板が薄く、形成される穴の直径が小さくかつ高精度に形成する必要があるため、プラスチックプレートをエキシマレーザで加工する方法や、ニッケルの電鋳で形成する方法も適している。 [0025] For example, the nozzle plate 41 and the ink supply aperture-forming substrate 43 is relatively substrate is thin, since the diameter of the hole needs to be formed to small and high precision to be formed, a method of processing a plastic plate with excimer laser and, it is also suitable methods of forming by electroforming nickel.

【0026】次に、アクチュエータユニット30のより詳細な構成を以下に説明する。 A description will now be given a more detailed configuration of the actuator unit 30 below. 圧力室形成基板32は厚さ150μmのジルコニアの焼成体で、複数の圧力室5 A sintered body of zirconia of the pressure chamber formation substrate 32 has a thickness 150 [mu] m, a plurality of pressure chambers 5
がノズル3と同じく列内の間隔が564μmで、2列に形成されている。 There at intervals of same in a column and the nozzle 3 is 564Myuemu, are formed in two rows. 圧力室5の幅は350乃至450μm The width of the pressure chamber 5 is 350 to 450μm
で長さは1乃至3mmである。 In length is 1 to 3 mm. これらの寸法は、必要なインク滴重量やノズル配列密度等により、最適に設計される。 These dimensions, the ink drop weight and the nozzle arrangement density, etc. required are optimally designed. 封止基板31は厚さ150μmのジルコニアの焼成体で、圧力室5の一方の側壁上を封止して接合される。 A sintered body of zirconia sealing substrate 31 has a thickness 150 [mu] m, it is bonded to seal the upper one side wall of the pressure chamber 5. 封止基板31のノズル連通路39は300μmの直径で形成した。 Nozzle communicating path 39 of the sealing substrate 31 is formed with a diameter of 300 [mu] m. 供給連通路は幅が200μmで長さが3 The length in the supply communication passage width of 200μm is 3
00μm乃至1mmの長穴に形成した。 00μm to 1mm were formed oblong holes. 振動板33は厚さ10乃至20μmのジルコニアの焼成体で、圧力室5 Diaphragm 33 is a sintered body having a thickness of 10 to 20μm zirconia, pressure chambers 5
の他方の側壁上を封止して接合される。 It is joined to the other upper side wall sealed. 振動板33上に圧力室5に対応して形成した下部電極35の上には幅が圧力室5の幅の80乃至90%で厚さが20乃至40μ 80 to a thickness of 90% of the width the width of the pressure chamber 5 is on the lower electrode 35 formed in correspondence to the pressure chambers 5 on the diaphragm 33 is 20 to 40μ
mのチタン酸ジルコン酸鉛からなる圧電セラミクスを積層する。 Laminating the piezoelectric ceramics of lead zirconate titanate of m. また、ジルコニアの代わりにアルミナ、窒化アルミ、チタン酸ジルコン酸鉛等も用いることが出来る。 In place of zirconia alumina, aluminum nitride, lead zirconate titanate, or the like can be used.

【0027】本実施例では、これらは以下のようにして、焼成によって一体に形成した。 [0027] In this embodiment, these are as follows, formed integrally by sintering. 即ち、図12(A) That is, FIG. 12 (A)
において振動板33と、予め圧力室5を確定する通孔を打ち抜いて形成した圧力室形成基板32と、予め連通路を打ち抜いて形成した封止基板31とをセラミックス材料であるグリーンシートの状態で加圧し、その後800 In the vibration plate 33, the pressure chamber formation substrate 32 formed by punching a hole to determine the 5 pre-pressure chamber, and a sealing substrate 31 formed by punching a pre-communication passage in the state of green sheet is a ceramic material pressurized, then 800
℃から1000℃の温度で一体に焼成する。 ° C. calcined together at a temperature of 1000 ° C. from. 次に図12 Next, FIG. 12
(B)で下部電極35として白金、パラジウム、銀−パラジウム、銀−白金、白金−パラジウムからなる合金のうち少なくとも1種類以上を主成分とする材料を印刷によって圧力室5に対応する部分に形成し焼成する。 (B) a platinum as the lower electrode 35, palladium, silver - palladium, silver - platinum, platinum - formed in the portion corresponding to the pressure chambers 5 by printing a material mainly composed of at least one or more of the alloy consisting of palladium and fired. 更に図12(C)で圧電材料34を同じく印刷によって形成し、焼成してアクチュエータユニットを一体に仕上げ、 Further formed by likewise printing the piezoelectric material 34 in FIG. 12 (C), the finish actuator unit together by firing,
最後に複数の圧電素子に股がってクロム、金、ニッケル、銅等からなる共通電極をスパッタリングで形成する。 Finally across multiple piezoelectric elements chromium, gold, to form nickel, a common electrode made of copper or the like by sputtering. このように一体焼成によって形成されたアクチュエータは、非常に微細な構造を持つ圧力室形成基板32と薄い振動板33とが焼成で強固に接合されるため、インク密封性と耐インク腐食性に優れたものとなる上に、その製造過程は印刷技術によってペースト状の電極あるいは圧電素子を塗布し焼成するだけで済むため極めて簡単であるという利点がある。 Thus actuator formed by integrally firing, since the pressure chamber formation substrate 32 having a very fine structure and a thin diaphragm 33 is firmly bonded in baking, excellent ink sealability and resistance to ink corrosion and on which the composed ones, the production process has the advantage of being very simple because it requires only coated baking the paste electrode or the piezoelectric element by a printing technique. 封止基板31は、流路ユニットとの接合面積を増やすことができること、従って両ユニットの接続部のインクシールを容易に行える特徴を持つ。 Sealing substrate 31, it is possible to increase the bonding area between the channel unit, thus having an easily characterized ink seal connection of two units. 特に、アクチュエータユニット30をセラミックスの一体焼成で形成する場合には、先に述べたように圧力室5の気密性を十分に確保できるという特徴を持つ。 Particularly, in the case of forming the actuator unit 30 in co-firing of the ceramic is characterized in that previously mentioned as airtight pressure chamber 5 can be sufficiently secured.

【0028】焼成によって一体に形成する上述の方法は非常に優れているが、従来行われているように、金属や樹脂からなる基板を接着や溶着や融着で接合する方法、 The above-described method of forming integrally by sintering are very good, but as is conventional, method of joining substrates made of metal or resin with an adhesive or welding or fusion,
硝子やシリコン基板をエッチングで加工する方法や、プラスチックの成型で形成する方法や、振動板上にチップ状の圧電素子を実装する方法等を組み合わせて、アクチュエータユニットを形成することも可能である。 A method for processing a glass or silicon substrate by etching, and a method of forming by molding a plastic, in combination or a method for mounting a chip-shaped piezoelectric element on the vibrating plate, it is also possible to form the actuator unit.

【0029】次に、流路ユニット40とアクチュエータユニット30からなるヘッドユニット10の流路構成とインク流れを細長い圧力室に沿った断面図6と、流路の輪郭で重なり状態を示した平面図7を用いて説明する。 Next, a plan view illustrating a cross-sectional view 6 a flow path structure and the ink flow head unit 10 along the elongated pressure chamber consisting of the channel unit 40 and the actuator unit 30, the overlapping state by the contour of the channel It will be described with reference to the 7.
インク格納部から導かれたインクはリザーバ口8、インクリザーバ室6、インク供給絞り4、供給連通路38を経由して圧力室5に供給される。 The ink derived from the ink storage unit is a reservoir port 8, the ink reservoir chamber 6, the ink supply aperture 4, is supplied to the pressure chamber 5 via the supply communication passage 38. インクの供給力は、流路へ初めてインクを充填する場合や流路内に気泡や塵や粘度が増加した変質インク等が存在する場合にはインク吸引手段85を用いて、インクジェットヘッド外部より強制的に与えられる。 Supply capacity of the ink, when the deterioration such as ink bubbles and dust and viscosity or if the flow path of filling the first ink to the flow path increases exists with the ink suction means 85, force from the ink jet head outside given manner. また、インクジェットヘッドの動作時には、ノズル3に形成されるメニスカスの毛細管力によって与えられる。 Further, during operation of the ink jet head is given by the capillary force of the meniscus formed in the nozzle 3. 圧力発生素子として圧電素子34 A piezoelectric element as a pressure generating element 34
を用いた本実施例では、圧電素子34と振動板33によりユニモルフアクチュエータが構成され、圧電素子34 In the present embodiment using a unimorph actuator is a piezoelectric element 34 and the vibration plate 33, the piezoelectric element 34
への電圧印加により圧電素子34は面内方向に収縮し、 The piezoelectric element 34 contracts in the plane direction by applying a voltage to,
振動板33は圧力室5を収縮する方向にたわみ変形する。 Diaphragm 33 is flexibly deformed in a direction to contract the pressure chamber 5. この時発生する流体圧力により、圧力室5からノズル連通路39、44、45を経てノズル3につながるインク流れが発生し、ノズル開口よりインク滴が吐出する。 The fluid pressure generated at this time, the ink flow occurs leading to the nozzle 3 through the nozzle communication path 39,44,45 from the pressure chamber 5, the ink droplets from the nozzle openings is ejected.

【0030】インク供給絞り4は、図7に示すように、 The ink supply aperture 4, as shown in FIG. 7,
圧力室5の長手方向外側に配置され、細長い供給連通路38の一方の端部の下壁に開口している。 Disposed longitudinally outward of the pressure chamber 5 is open to the lower wall of one end of the elongated supply communication passage 38. 従って、インク吸引手段85を用いてインクを排出した時、インク供給絞り4から供給連通路内に流入したインク噴流は、インク供給絞り4に対向する供給連通路の上壁、即ち圧力室形成基板面に衝突し、供給連通路の他方の端部、即ち圧力室端部との接続部の方向に向きを変えて、供給連通路に沿って流れる。 Therefore, when the discharging of ink by using the ink suction means 85, the ink jet flowing into the supply communication passage from the ink supply aperture 4, the upper wall of the supply communication passage that faces the ink supply aperture 4, i.e. the pressure chamber formation substrate impinges on the surface, the other end of the supply communication passage, i.e. in different directions in the direction of the connecting portion between the pressure chamber end, flows along the supply communication passage. 本発明の構成にすることで、インク噴流が供給連通路に大きな渦を発生させることなく滑らかに向きを変え、更に流れの淀みを作る段部が構造上無くなるため、気泡が滞留する事が皆無となった。 By the structure of the present invention, smoothly reoriented without ink jet to generate a large swirl in the supply communication passage, to further stepped portion is no structural make stagnation of flow, none is possible air bubbles staying It became. しかし、供給連通路38の長さによっては、供給連通路の圧力室側の端部Fに気泡が滞留する可能性が予測された。 However, depending on the length of the supply communication passage 38, possibly air bubbles staying on the end F of the pressure chamber side of the supply communication passage is predicted.
そこで、図8に示すように、供給連通路38の寸法L Therefore, as shown in FIG. 8, the dimensions of the supply communication passage 38 L
1,L2を変えて、端部Fに気泡が滞留するかを観察した。 Changing the 1, L2, and observed whether bubbles from remaining on the end portion F. 観察を可能にするためガラスの振動板を用いた。 With diaphragm glass to allow observation. インク供給絞りの寸法は、インク供給絞りの最小部の直径が30μm,円筒部の長さが20μm,テーパ部のテーパ角度が全角で35度,インク供給絞りの全長(基板厚さ)が60μmである。 The dimensions of the diaphragm ink supply, 30 [mu] m in diameter of the smallest portion of the diaphragm ink supply, length 20μm of the cylindrical portion, 35 ° taper angle of the tapered portion is in full-width, total length of the aperture ink supply (substrate thickness) in 60μm is there. 供給連通路の他の寸法は、幅が200μm,高さ(基板厚さ+接着層厚さ)が180μ Other dimensions of the supply communication passage has a width of 200 [mu] m, height (substrate thickness + adhesive layer thickness) 180μ
mである。 A m.

【0031】故意に気泡を滞留させ、インク吸引手段を用いてその気泡が排出できるかを実験により確認したところ、以下に示す結果を得た。 The deliberately allowed to stay the bubbles, when the bubbles was confirmed by experiment or can be discharged using the ink suction means, with the results shown below.

【0032】 [0032]

【表1】 [Table 1]

【0033】上記表において、×は気泡の排出が不可能であった実施例、△は一部の気泡は排出できた実施例、 [0033] In the above table, × Examples discharge of bubbles is impossible, △ implementation some of the bubbles could be discharged example,
○は気泡が完全に排出できた実施例である。 ○ is an example in which air bubbles could be completely discharged. この結果より寸法L1が重要であり、この寸法が流路の断面の寸法(180μm)より等しいかそれ以上とすることで、供給連通路の流れが圧力室形成基板側に偏ることなく、インク供給絞り形成基板側にも均等に流れるようになることが確かめられた。 This result is important dimensions L1, the dimensions that are equal to or greater than than the size of the cross section of the channel (180 [mu] m), without the flow of supply communication path is biased to the pressure chamber formation substrate side, the ink supply it was confirmed that to flow evenly to the diaphragm forming the substrate side.

【0034】次に、本発明の他の実施例を図9、図1 Next, another embodiment of the present invention FIG. 9, FIG. 1
0、図11に示す。 0, shown in FIG. 11.

【0035】図9に示すように、本実施例ではインク供給絞り形成基板43には、各供給連通路(各圧力室)毎にインク供給絞り104,105が2個形成されている。 As shown in FIG. 9, the ink supply aperture-forming substrate 43 in this embodiment is an ink supply aperture 104 and 105 are two forms for each supply communication passage (the pressure chamber). 図10の断面図に示すように、第1のインク供給絞り104は先の実施例と同様に、圧力室5の長手方向外側に配置され、細長い供給連通路38の一方の端部の下壁に開口している。 As shown in the sectional view of FIG. 10, similarly to the first ink supply aperture 104 in the previous embodiment, is disposed longitudinally outward of the pressure chamber 5, the lower wall of one end of the elongated supply communication passage 38 It is open to. また、第2のインク供給絞り105 Further, the second ink supply aperture 105
は、図11の平面図に示すように、圧力室5と供給連通路38の開口が重なり、相互を接続している端部に開口するように配置し、従って、第2のインク供給絞り10 As shown in the plan view of FIG. 11, overlap the opening of the supply communication passage 38 and the pressure chamber 5, arranged so as to open at an end portion connecting the cross, therefore, stop the second ink supply 10
5が供給連通路38を挟んで圧力室5の端部と対向している。 5 faces the end portion of the pressure chamber 5 across the supply communication passage 38. 第2のインク供給絞り105を設けることにより、図10のF部とG部の気泡を容易に排出することができ、より少ないインク排出量でインクジェット記録装置を正常な状態に回復させることが可能となった。 By providing a second ink supply aperture 105, the bubbles F unit and the G unit of FIG. 10 can be easily discharged, it can be recovered ink jet recording apparatus to a normal state with a smaller ink discharge amount It became. また、本実施例の副次的な効果として、インクリザーバ室6側の流れが2つのインク供給絞りに分散されるため、 As a secondary effect of the present embodiment, the ink reservoir chamber 6 side flow is distributed to the two aperture ink supply,
インクの流れが均一になり、インクリザーバ室6の気泡排出性が向上した。 Flow of ink becomes uniform, and improve the bubble discharge property of the ink reservoir chamber 6.

【0036】インク供給絞りは、先に述べたように圧力室の圧力によって発生するインク流れが、リザーバ室6 The ink supply aperture, the ink flow generated by the pressure in the pressure chamber as mentioned above, the reservoir chamber 6
側へ逃げるのを制限しノズル3側へ効率良く向ける役割を持っている。 We have to limit the escape into the side efficiently direct role to the nozzle 3 side. 従って、インク供給絞りを2個配置させると、ノズル側への流れが少なくなり、駆動電圧を高くしなければならないなど効率が低下する。 Therefore, when the disposed two ink supply aperture, the less flow to the nozzle side, the efficiency is lowered such as the need to increase the driving voltage. この効率を低下させることなく、効果的に気泡を排出させるには、第2のインク供給絞り105から流入する流れを、第1のインク供給絞り104から圧力室5に流れ込む流れより小さくすることが有効であることが解った。 Without lowering the efficiency, in order to effectively discharge the bubbles, the stream flowing from the second ink supply aperture 105, be less than the flow flowing into the pressure chamber 5 from the first ink supply aperture 104 it was found to be effective. 第2のインク供給絞り105からの流れは、供給連通路38と圧力室5の接続部に渦を発生させるため、過度の流れは逆に気泡の排出性を低下させた。 Flows from the second ink supply aperture 105, to generate a vortex in the connection portion of the supply communication passage 38 and the pressure chamber 5, excessive flow reduced the discharge of the bubbles in the opposite. 従って、第1のインク供給絞り104からの流量より少なく、好ましくは半分程度の流量になるように、第1のインク供給絞り104の流体抵抗より、第2のインク供給絞り105の流体抵抗を大きくすることが有効である。 Thus, less than the flow rate from the first ink supply aperture 104, preferably so that about half of the flow rate, greater than the fluid resistance of the first ink supply aperture 104, the fluid resistance of the second ink supply aperture 105 it is effective to. 流体抵抗はインク供給絞りの最小部の直径の4乗に概ね反比例するため、第1のインク供給絞り104の最小部の直径を35μm、第2 Since the fluid resistance that generally inversely proportional to the fourth power of the diameter of the smallest portion of the diaphragm ink supply, 35 [mu] m diameter of the smallest portion of the first ink supply aperture 104, second
のインク供給絞り105の最小部の直径を30μmとすることで、両者のインク流量は2対1に設定できる。 Of By minimizing section 30μm diameter of the ink supply aperture 105, the ink flow rate of both can be set to 2: 1.

【0037】また、渦の発生を小さくすることが、少ないインク流れで効果的に気泡を排出させるために重要であるが、そのためには、第2のインク供給絞り105のテーパの方向を、連通供給路38に向かって広がる方向に取ると良いことが明らかになった。 Further, is possible to reduce the generation of vortex is important in order to discharge effectively bubbles with less ink flows, in order that the direction of the taper of the second ink supply aperture 105, communicating it may take in a direction extending toward the supply path 38 is revealed.

【0038】 [0038]

【発明の効果】以上、説明したように本発明においては、インク供給絞りを積層方向より見て圧力室の外側に配置し供給連通路の一方の端部近傍に接続し、供給連通路の他方の端部を積層方向から見て圧力室の端部に重ね圧力室に接続し、インク供給絞りが供給連通路を隔てて圧力室と対向しないよう配置しすることで、供給連通路から圧力室への流路の気泡を確実に排出させることができ、信頼性の高く、無駄なインク消費の無い経済的なインクジェット記録装置を提供することが可能となった。 Effect of the Invention] above, in the present invention as described, the ink supply aperture as viewed from the laminating direction connected near one end of the arrangement to supply communication path to the outside of the pressure chamber, the other of the supply communication passage of watching the end of the stacking direction connected to the pressure chamber superimposed on an end portion of the pressure chamber, by the ink supply aperture is disposed so as not to face the pressure chamber at a supply communication passage, the pressure chamber from the supply communication passage bubble flow path to it is possible to reliably discharge the high reliability, it has become possible to provide an economical ink jet recording apparatus without wasteful ink consumption.
また、流路中にインクの淀みを発生させる段部が無くなり、積層の位置誤差等の製造ばらつきで、信頼性が著しく低下することのない、製造歩留まりの高いインクジェット記録装置を提供することが可能となった。 Further, there is no stepped portion that generates stagnation of ink in the channel, in the manufacturing variation of the position error of lamination, have never significantly reduced reliability, it can be provided with high production yield inkjet recording apparatus It became.

【0039】また、第2のインク供給絞りを供給連通路を隔てて圧力室と対向する位置に配置したことにより、 Further, by disposing the second ink supply aperture at a position facing the pressure chamber at a supply communication passage,
気泡の排出性を可及的に高められるという効果を有する。 An effect that is as much as possible increases the discharge of the bubbles.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明のインクジェット記録装置の全体を示した斜視図である。 1 is a perspective view showing the whole of the inkjet recording apparatus of the present invention.

【図2】本発明のインクジェットヘッドの全体を示した断面図である。 2 is a sectional view showing the whole of the inkjet head of the present invention.

【図3】本発明のヘッドユニットを示した斜視図である。 3 is a perspective view showing the head unit of the present invention.

【図4】本発明のヘッドユニットを示した斜視図である。 4 is a perspective view showing the head unit of the present invention.

【図5】本発明のインクジェットヘッドの内部構造を説明する分解斜視図である。 5 is an exploded perspective view illustrating the internal structure of the ink jet head of the present invention.

【図6】本発明のインクジェットヘッドのインク流路を説明する断面図である。 6 is a cross-sectional view illustrating the ink channel of the ink jet head of the present invention.

【図7】本発明のインクジェットヘッドのインク流路を説明する平面図である。 7 is a plan view illustrating an ink channel of the ink jet head of the present invention.

【図8】本発明のインクジェットヘッドのインク流路を説明する断面図である。 8 is a cross-sectional view illustrating the ink channel of the ink jet head of the present invention.

【図9】本発明のインクジェットヘッドの内部構造を説明する分解斜視図である。 9 is an exploded perspective view illustrating the internal structure of the ink jet head of the present invention.

【図10】本発明のインクジェットヘッドのインク流路を説明する断面図である。 10 is a cross-sectional view illustrating the ink channel of the ink jet head of the present invention.

【図11】本発明のインクジェットヘッドのインク流路を説明する平面図である。 11 is a plan view illustrating an ink channel of the ink jet head of the present invention.

【図12】本発明のアクチュエータユニットの製造方法を説明する図である。 12 is a diagram for explaining a manufacturing method of the actuator unit of the present invention.

【図13】従来のインクジェットヘッドの構造を説明する断面図である。 13 is a cross-sectional view illustrating a structure of a conventional ink jet head.

【図14】従来のインクジェットヘッドの構造を説明する断面図である。 14 is a cross-sectional view illustrating a structure of a conventional ink jet head.

【図15】従来のインクジェットヘッドの構造を説明する断面図である。 15 is a cross-sectional view illustrating a structure of a conventional ink jet head.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

2 インクジェットヘッドカートリッジ 3 ノズル 4 インク供給絞り 5 圧力室 6 リザーバ室 8 リザーバ口 10 ヘッドユニット 30 アクチュエータユニット 31 封止基板 32 圧力室形成基板 33 振動板 34 圧電素子 38 供給連通路 39 ノズル連通路 40 流路ユニット 41 ノズルプレート 42 リザーバ室形成基板 43 インク供給絞り形成基板 44、45 ノズル連通路 2 the head cartridge 3 nozzles 4 ink supply aperture 5 pressure chambers 6 the reservoir chamber 8 reservoir port 10 head unit 30 actuator unit 31 the sealing substrate 32 pressure chamber formation substrate 33 diaphragm 34 piezoelectric element 38 supply communication passage 39 nozzle communication passage 40 flow road unit 41 nozzle plate 42 reservoir chamber formation substrate 43 ink supply aperture-forming substrate 44, 45 a nozzle communicating path

Claims (7)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 インクを加圧する圧力発生手段を有する圧力室と、供給連通路と、インク供給絞りと、インクリザーバ室とを順に積層配置し、互いに接続するインク流路を形成したインクジェット記録装置において、前記インク供給絞りを積層方向より見て前記圧力室の外側に配置し前記供給連通路の一方の端部近傍に接続し、前記供給連通路の他方の端部を積層方向から見て前記圧力室の端部に重ね前記圧力室に接続し、前記インク供給絞りが前記供給連通路を隔てて前記圧力室と対向しないよう配置したことを特徴とするインクジェット記録装置。 And 1. A pressure chamber having a pressure generating means for pressurizing the ink, and supply communication path, the ink supply aperture, and stacked the ink reservoir chamber sequentially, an ink jet recording apparatus to form an ink flow path connected to one another in, the ink supply aperture as viewed from the lamination direction is arranged outside of the pressure chamber is connected to one end portion of the supply communication passage, wherein a look at the other end of the supply communication passage in the stacking direction an ink jet recording apparatus characterized by connecting to the pressure chamber superimposed on an end portion of the pressure chamber, the ink supply aperture is disposed so as not to face the pressure chamber at a the supply communication passage.
  2. 【請求項2】 前記供給連通路と、前記インク供給絞りは、それぞれ封止基板と、インク供給絞り形成基板とに穿孔した空所として区画され、これらの基板を前記圧力室上に順次積層して前記インク流路を形成したことを特徴とする請求項1記載のインクジェット記録装置。 Wherein said supply communication path, the ink supply aperture includes a sealing substrate, respectively, is defined as a cavity drilled into a formation substrate aperture ink supply, sequentially laminating these substrates on the pressure chamber an ink jet recording apparatus according to claim 1, characterized in that the formation of the ink flow path Te.
  3. 【請求項3】 前記圧力室を、振動板と前記圧力室を区画する窓を有する圧力室形成基板と前記封止基板とをグリーンシートで積層し一体焼成したセラミクス体に構成し、前記振動板の外面に前記圧力室に対応して圧電素子からなる圧力発生手段を設けたことを特徴とする請求項2記載のインクジェット記録装置。 Wherein said pressure chamber, configured to ceramic body of the pressure chamber forming substrate and the sealing substrate is laminated integrally sintered green sheet having a window for partitioning said pressure chamber and the diaphragm, the diaphragm an ink jet recording apparatus according to claim 2, characterized in that a pressure generating unit comprising a piezoelectric element in response to the pressure chamber to the outer surface of the.
  4. 【請求項4】 前記供給連通路の、前記インク供給絞りとの接続位置から前記圧力室との接続位置までの長さが、前記供給連通路の断面の寸法と等しいかそれ以上であることを特徴とする請求項1記載のインクジェット記録装置。 Wherein the supply communication passage, said length from the connection position between the ink supply aperture to the connection position between the pressure chamber is said or equal to the size of the cross section of the supply communication passage more an ink jet recording apparatus according to claim 1, wherein.
  5. 【請求項5】 第2のインク供給絞りを有し、この第2 5. a second ink supply aperture, the second
    のインク供給絞りを前記供給連通路を隔てて前記圧力室と対向する位置に配置したことを特徴とする請求項1記載のインクジェット記録装置。 An ink jet recording apparatus according to claim 1, wherein the ink supply aperture is arranged at a position facing the pressure chamber separating said supply communication passage.
  6. 【請求項6】 前記第2のインク供給絞りの流体抵抗を、前記インク供給絞り(第1のインク供給絞り)の流体抵抗より大きくしたことを特徴とする請求項5記載のインクジェット記録装置。 The method according to claim 6, wherein said second ink supply aperture fluid resistance, the ink supply restrictors (first ink supply aperture) inkjet recording apparatus according to claim 5, characterized in that greater than fluid resistance.
  7. 【請求項7】 前記第2のインク供給絞りはテーパ部を有し、このテーバ部が前記供給連通路側に広がる方向であることを特徴とする請求項5記載のインクジェット記録装置。 Wherein said second ink supply aperture has a tapered portion, the ink jet recording apparatus according to claim 5, wherein the the Taber portion is the direction extending the supply communication passage side.
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