JPH0854364A - 炭酸ガスセンサー素子 - Google Patents
炭酸ガスセンサー素子Info
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- JPH0854364A JPH0854364A JP19141194A JP19141194A JPH0854364A JP H0854364 A JPH0854364 A JP H0854364A JP 19141194 A JP19141194 A JP 19141194A JP 19141194 A JP19141194 A JP 19141194A JP H0854364 A JPH0854364 A JP H0854364A
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- dioxide sensor
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、再現性、長期安定性に優れた炭酸
ガスセンサー素子を提供することを目的とする。 【構成】 本発明のCO2 センサー素子1は、CO2 ガ
スの吸着、脱離による静電容量の変化を利用したCO2
センサー素子1であって、CO2 センサー素子1が少な
くともペロブスカイト型金属酸化物と非複合系金属酸化
物との配合物で形成され、かつ、CO2 センサー素子1
のインピーダンス位相角が−5°〜−35°である構成
を有している。
ガスセンサー素子を提供することを目的とする。 【構成】 本発明のCO2 センサー素子1は、CO2 ガ
スの吸着、脱離による静電容量の変化を利用したCO2
センサー素子1であって、CO2 センサー素子1が少な
くともペロブスカイト型金属酸化物と非複合系金属酸化
物との配合物で形成され、かつ、CO2 センサー素子1
のインピーダンス位相角が−5°〜−35°である構成
を有している。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、炭酸ガスセンサー素
子、特に金属酸化物のCO2 雰囲気下での静電容量の変
化特性を利用した炭酸ガスセンサー素子に関するもので
ある。
子、特に金属酸化物のCO2 雰囲気下での静電容量の変
化特性を利用した炭酸ガスセンサー素子に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】近年、金属酸化物のCO2 雰囲気下での
静電容量の変化特性を利用してCO2を検知する炭酸ガ
スセンサー素子が開発されている。
静電容量の変化特性を利用してCO2を検知する炭酸ガ
スセンサー素子が開発されている。
【0003】例えば、特開平4−24548号公報に
は、炭酸ガスセンサー素子として、ペロブスカイト型金
属酸化物と非複合系金属酸化物とを混合してディスク状
に圧縮形成後500℃で1時間焼成し、焼成後ディスク
の両面に銀ペーストを塗布して炭酸ガスセンサー素子を
形成し、作動温度456〜555℃において非複合系金
属酸化物とCO2 との可逆的な炭酸塩形成・分解反応に
より、静電容量を変化させ、この静電容量の変化からC
O2 及びCO2 濃度を検知する炭酸ガスセンサー素子が
開示されている。
は、炭酸ガスセンサー素子として、ペロブスカイト型金
属酸化物と非複合系金属酸化物とを混合してディスク状
に圧縮形成後500℃で1時間焼成し、焼成後ディスク
の両面に銀ペーストを塗布して炭酸ガスセンサー素子を
形成し、作動温度456〜555℃において非複合系金
属酸化物とCO2 との可逆的な炭酸塩形成・分解反応に
より、静電容量を変化させ、この静電容量の変化からC
O2 及びCO2 濃度を検知する炭酸ガスセンサー素子が
開示されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の構成では、素子の電気特性は、材料の不純物、粒径、
分散性あるいは焼成温度や雰囲気によって決定されると
いう問題点を有していた。また、センシング動作が可能
な温度は465〜555℃と極めて限定され汎用性に欠
けるという問題点があった。炭酸ガスセンサー素子は、
CO2 ガスの吸着、脱離現象に伴う静電容量の変化を利
用したものなので、その現象を左右する物理量でコント
ロールしなければならず、再現性や長期安定性に欠ける
という問題点を有していた。
の構成では、素子の電気特性は、材料の不純物、粒径、
分散性あるいは焼成温度や雰囲気によって決定されると
いう問題点を有していた。また、センシング動作が可能
な温度は465〜555℃と極めて限定され汎用性に欠
けるという問題点があった。炭酸ガスセンサー素子は、
CO2 ガスの吸着、脱離現象に伴う静電容量の変化を利
用したものなので、その現象を左右する物理量でコント
ロールしなければならず、再現性や長期安定性に欠ける
という問題点を有していた。
【0005】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、再現性、長期安定性に優れた炭酸ガスセンサー素子
を提供することを目的とする。
で、再現性、長期安定性に優れた炭酸ガスセンサー素子
を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の炭酸ガスセンサー素子は以下の構成を有して
いる。請求項1に記載の炭酸ガスセンサー素子は、CO
2 ガスの吸着、脱離による静電容量の変化を利用した炭
酸ガスセンサー素子であって、炭酸ガスセンサー素子の
インピーダンス位相角が−5°〜−35°である構成を
有している。
に本発明の炭酸ガスセンサー素子は以下の構成を有して
いる。請求項1に記載の炭酸ガスセンサー素子は、CO
2 ガスの吸着、脱離による静電容量の変化を利用した炭
酸ガスセンサー素子であって、炭酸ガスセンサー素子の
インピーダンス位相角が−5°〜−35°である構成を
有している。
【0007】請求項2に記載の炭酸ガスセンサー素子
は、請求項1において、前記炭酸ガスセンサー素子が少
なくともペロブスカイト型金属酸化物と非複合系金属酸
化物との配合物で形成されている構成を有している。
は、請求項1において、前記炭酸ガスセンサー素子が少
なくともペロブスカイト型金属酸化物と非複合系金属酸
化物との配合物で形成されている構成を有している。
【0008】請求項3に記載の炭酸ガスセンサー素子
は、請求項1又は2の内いずれか1において、前記ペロ
ブスカイト型金属酸化物がBaTiO3 及び/又は非複
合系金属酸化物がCuOからなる構成を有している。
は、請求項1又は2の内いずれか1において、前記ペロ
ブスカイト型金属酸化物がBaTiO3 及び/又は非複
合系金属酸化物がCuOからなる構成を有している。
【0009】請求項4に記載の炭酸ガスセンサー素子
は、請求項3において、前記BaTiO3 と前記CuO
の配合物の焼成温度が500〜1100℃である構成を
有している。
は、請求項3において、前記BaTiO3 と前記CuO
の配合物の焼成温度が500〜1100℃である構成を
有している。
【0010】請求項5に記載の炭酸ガスセンサー素子
は、請求項3又は4の内いずれか1において、前記Ba
TiO3 と前記CuOの配合組成(mol%)がBaT
iO3:CuO=4:6〜6:4である構成を有してい
る。
は、請求項3又は4の内いずれか1において、前記Ba
TiO3 と前記CuOの配合組成(mol%)がBaT
iO3:CuO=4:6〜6:4である構成を有してい
る。
【0011】請求項6に記載の炭酸ガスセンサー素子
は、請求項3乃至5の内いずれか1において、前記Cu
Oの平均粒径が0.2〜7μmである構成を有してい
る。
は、請求項3乃至5の内いずれか1において、前記Cu
Oの平均粒径が0.2〜7μmである構成を有してい
る。
【0012】ここで、インピーダンス位相角(θ)と
は、tanθ=(1/wc)/Rで定義される。尚、
(1/wc)=(Z−R)/iで表される。但し、i:
電流 Z:インピーダンス R:抵抗成分である。
は、tanθ=(1/wc)/Rで定義される。尚、
(1/wc)=(Z−R)/iで表される。但し、i:
電流 Z:インピーダンス R:抵抗成分である。
【0013】θの範囲は、θ>−35°の場合には、C
O2 雰囲気下においても静電容量の変化がほとんど認め
られずCO2 センサーとしての機能を有せず、一方θ<
−5°の場合には、電気的に導通状態となり素子回路の
破壊が発生するおそれがあるので、いずれも好ましくな
い。
O2 雰囲気下においても静電容量の変化がほとんど認め
られずCO2 センサーとしての機能を有せず、一方θ<
−5°の場合には、電気的に導通状態となり素子回路の
破壊が発生するおそれがあるので、いずれも好ましくな
い。
【0014】炭酸ガスセンサー素子の材料としては、特
にペロブスカイト型金属酸化物と非複合系金属酸化物と
の混合物が好ましいがこれに限定されるものではなく、
例えばCa,Mg等の炭酸塩、Ba,Ca等の水酸化物
等と非複合金属酸化物でもθが規定内であれば対応でき
る。
にペロブスカイト型金属酸化物と非複合系金属酸化物と
の混合物が好ましいがこれに限定されるものではなく、
例えばCa,Mg等の炭酸塩、Ba,Ca等の水酸化物
等と非複合金属酸化物でもθが規定内であれば対応でき
る。
【0015】具体的には、ペロブスカイト型金属酸化物
としては、CaTiO3 ,BaTiO3 ,LaFeO
3 ,NaNbO3 ,KlO3 ,SrTiO3 ,BaZr
O3 ,KMgF3 ,CsCdCl3 等が用いられる。ま
た、非複合型金属酸化物としては、CuやCa,Sr,
Ba,Ra,Cr,Fe,Co,Ni,Y,Zr,P
b,Bi,原子番号57〜72のランタノイド系元素の
酸化物等が用いられる。
としては、CaTiO3 ,BaTiO3 ,LaFeO
3 ,NaNbO3 ,KlO3 ,SrTiO3 ,BaZr
O3 ,KMgF3 ,CsCdCl3 等が用いられる。ま
た、非複合型金属酸化物としては、CuやCa,Sr,
Ba,Ra,Cr,Fe,Co,Ni,Y,Zr,P
b,Bi,原子番号57〜72のランタノイド系元素の
酸化物等が用いられる。
【0016】θの制御方法としては、素子材料の組成
比、粒径、焼成温度、充填密度、比表面積等が有効であ
り、特にBaTiO3 /CuO系の混合材料において
は、BaTiO3 /CuOの組成比、CuOの粒径、焼
成温度が最も効果的である。
比、粒径、焼成温度、充填密度、比表面積等が有効であ
り、特にBaTiO3 /CuO系の混合材料において
は、BaTiO3 /CuOの組成比、CuOの粒径、焼
成温度が最も効果的である。
【0017】さらにこの材料系においては、焼成温度を
高くコントロールすることにより、安定性、再現性を向
上させるとともに、機械的な強度も向上させることがで
きる。
高くコントロールすることにより、安定性、再現性を向
上させるとともに、機械的な強度も向上させることがで
きる。
【0018】
【作用】この構成によって、炭酸ガスセンサー素子材料
が化学的に変化してもインピーダンス位相角(θ)によ
り素子の電気特性をコントロールできるので、再現性や
長期安定性を向上させることができる。
が化学的に変化してもインピーダンス位相角(θ)によ
り素子の電気特性をコントロールできるので、再現性や
長期安定性を向上させることができる。
【0019】
【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【0020】(実施例1)図1(a)は本発明の一実施
例における炭酸ガスセンサー素子の平面図であり、図1
(b)は本発明の一実施例における炭酸ガスセンサー素
子の側面図である。1はペロブスカイト型酸化物とCu
Oの配合物を円盤状に圧縮形成したCO2センサー素
子、2はCO2センサー素子1の両面に積層形成された
銀製の電極である。
例における炭酸ガスセンサー素子の平面図であり、図1
(b)は本発明の一実施例における炭酸ガスセンサー素
子の側面図である。1はペロブスカイト型酸化物とCu
Oの配合物を円盤状に圧縮形成したCO2センサー素
子、2はCO2センサー素子1の両面に積層形成された
銀製の電極である。
【0021】原料として和光純薬製のBaCO3 及びT
iO2 (商品名:P25、日本アエロジル社製)を等モ
ル組成秤量し、石川式撹拌らいかい機22号を用いて混
合粉砕した。次に、この混合物を1200℃で12時間
焼成してBaTiO3 を得た。次に、このBaTiO3
と和光純薬製のCuOとを等モル組成秤量し、同じく石
川式撹拌らいかい機22号を用いて混合した。次に、こ
の混合物を成型プレス機(油圧式25トン)を用いて3
ton/cm2 の成型圧で直径12mm,厚さ0.5mmの円
盤状に成形し、これを500℃,700℃,900℃,
1100℃で5時間焼成してCO2 センサー素子1(実
験例1〜4)を得る。次いで、焼成されたCO2 センサ
ー素子1の両面に銀ペースト(商品名:SP−51、田
中貴金属社製)を塗布し、100℃で2時間乾燥させて
銀製の電極2を積層形成し、この電極2上に白金のリー
ド線(図示せず)を付加して図1に示すCO2 センサー
素子1を得た。
iO2 (商品名:P25、日本アエロジル社製)を等モ
ル組成秤量し、石川式撹拌らいかい機22号を用いて混
合粉砕した。次に、この混合物を1200℃で12時間
焼成してBaTiO3 を得た。次に、このBaTiO3
と和光純薬製のCuOとを等モル組成秤量し、同じく石
川式撹拌らいかい機22号を用いて混合した。次に、こ
の混合物を成型プレス機(油圧式25トン)を用いて3
ton/cm2 の成型圧で直径12mm,厚さ0.5mmの円
盤状に成形し、これを500℃,700℃,900℃,
1100℃で5時間焼成してCO2 センサー素子1(実
験例1〜4)を得る。次いで、焼成されたCO2 センサ
ー素子1の両面に銀ペースト(商品名:SP−51、田
中貴金属社製)を塗布し、100℃で2時間乾燥させて
銀製の電極2を積層形成し、この電極2上に白金のリー
ド線(図示せず)を付加して図1に示すCO2 センサー
素子1を得た。
【0022】以上のようにして得られたCO2 センサー
素子1を用い、CO2 に対する感度特性試験を行った。
素子1を用い、CO2 に対する感度特性試験を行った。
【0023】試験方法は、CO2 を含有しない空気から
2%のCO2 を含有する空気に切り換えた時のCO2 セ
ンサー素子1の静電容量の変化、及びθをインピーダン
スアナライザ(商品名:4192A、YHP社製)を用
いて周波数50KHzの条件下で感度測定を行った。こ
こで、CO2 センサー素子1の感度はCO2 を含有しな
い空気中の静電容量に対するCO2 を含有する空気中で
の静電容量の比(Cco2 /Cair)とした。その結
果を(表1)に示した。
2%のCO2 を含有する空気に切り換えた時のCO2 セ
ンサー素子1の静電容量の変化、及びθをインピーダン
スアナライザ(商品名:4192A、YHP社製)を用
いて周波数50KHzの条件下で感度測定を行った。こ
こで、CO2 センサー素子1の感度はCO2 を含有しな
い空気中の静電容量に対するCO2 を含有する空気中で
の静電容量の比(Cco2 /Cair)とした。その結
果を(表1)に示した。
【0024】
【表1】
【0025】この(表1)の実験No.1〜4から明ら
かなように、インピーダンス位相角が−7°〜−30°
でいずれも感度が2以上の数値を示し、特に実験No.
4では作動温度が680℃と高温であることがわかる。
かなように、インピーダンス位相角が−7°〜−30°
でいずれも感度が2以上の数値を示し、特に実験No.
4では作動温度が680℃と高温であることがわかる。
【0026】(実施例2)BaTiO3 原料として、フ
ジチタン社製BaTiO3 (BTSA)(実験No.
5),フジチタン社製BaTiO3 (BTHT)(実験
No.6)を用いた以外は実施例1と同条件で測定を行
った(実験No.5,6)。その結果を(表1)に示し
た。
ジチタン社製BaTiO3 (BTSA)(実験No.
5),フジチタン社製BaTiO3 (BTHT)(実験
No.6)を用いた以外は実施例1と同条件で測定を行
った(実験No.5,6)。その結果を(表1)に示し
た。
【0027】この(表1)の実験No.5,6から明ら
かなように、いずれの場合も静電容量の変化が認めら
れ、その時のθの値は−5°〜−35°の範囲内であっ
た。
かなように、いずれの場合も静電容量の変化が認めら
れ、その時のθの値は−5°〜−35°の範囲内であっ
た。
【0028】(実施例3)BaTiO3 とCuOのモル
比組成をBaTiO3 :CuO=4:6(実験No.
7,8),BaTiO3 :CuO=6:4(実験No.
9,10)とした以外は実施例1と同条件で測定を行っ
た。その結果を(表1)に示した。
比組成をBaTiO3 :CuO=4:6(実験No.
7,8),BaTiO3 :CuO=6:4(実験No.
9,10)とした以外は実施例1と同条件で測定を行っ
た。その結果を(表1)に示した。
【0029】この(表1)の実験No.7〜10から明
らかなように、いずれの場合も静電容量の変化が認めら
れ、その時のθの値は−5°〜−35°の範囲内であ
り、かつ作動温度も極めて高いことがわかった。
らかなように、いずれの場合も静電容量の変化が認めら
れ、その時のθの値は−5°〜−35°の範囲内であ
り、かつ作動温度も極めて高いことがわかった。
【0030】(実施例4)CuOの平均粒径を0.2μ
m(実験No.11,12),7μm(実験No.1
3,14)とした以外は実施例1と同条件で測定を行っ
た。その結果を(表1)に示した。
m(実験No.11,12),7μm(実験No.1
3,14)とした以外は実施例1と同条件で測定を行っ
た。その結果を(表1)に示した。
【0031】この(表1)の実験No.11〜14から
明らかなように、いずれの場合も静電容量の変化が認め
られ、その時のθの値は−5°〜−35°の範囲内であ
った。
明らかなように、いずれの場合も静電容量の変化が認め
られ、その時のθの値は−5°〜−35°の範囲内であ
った。
【0032】(実施例5)BaTiO3 の代わりに和光
純薬製BaCO3 (実験No.15)を用いた以外は実
施例1と同条件で測定を行った。その結果を(表1)に
示した。
純薬製BaCO3 (実験No.15)を用いた以外は実
施例1と同条件で測定を行った。その結果を(表1)に
示した。
【0033】この(表1)の実験No.15から明らか
なように、静電容量の変化が認められ、その時のθの値
は−5°〜−35°の範囲内であった。
なように、静電容量の変化が認められ、その時のθの値
は−5°〜−35°の範囲内であった。
【0034】(比較例1)焼成温度を1150℃(実験
No.16),450℃(実験No.17)とした以外
は実施例1と同条件で測定を行った。その結果を(表
1)に示した。
No.16),450℃(実験No.17)とした以外
は実施例1と同条件で測定を行った。その結果を(表
1)に示した。
【0035】この(表1)の実験No.16,17から
明らかなように、静電容量の変化はほとんど認められ
ず、その時のθの値は−5°〜−35°の範囲ではなか
った。
明らかなように、静電容量の変化はほとんど認められ
ず、その時のθの値は−5°〜−35°の範囲ではなか
った。
【0036】(比較例2)BaTiO3 とCuOのモル
比組成をBaTiO3 :CuO=3.5:6.5(実験
No.18),BaTiO3 :CuO=6.5:3.5
(実験No.19)とした以外は実施例1と同条件で測
定を行った。その結果を(表1)に示した。
比組成をBaTiO3 :CuO=3.5:6.5(実験
No.18),BaTiO3 :CuO=6.5:3.5
(実験No.19)とした以外は実施例1と同条件で測
定を行った。その結果を(表1)に示した。
【0037】この(表1)の実験No.18,19から
明らかなように、いずれの場合にも静電容量の変化はほ
とんど認められず、その時のθの値は−5°〜−35°
の範囲内ではなかった。
明らかなように、いずれの場合にも静電容量の変化はほ
とんど認められず、その時のθの値は−5°〜−35°
の範囲内ではなかった。
【0038】(比較例3)センサー素子材としてBaT
iO3 単体(実験No.20),CuO単体(実験N
o.21)とした以外は実施例1と同条件で測定を行っ
た。その結果を(表1)に示した。
iO3 単体(実験No.20),CuO単体(実験N
o.21)とした以外は実施例1と同条件で測定を行っ
た。その結果を(表1)に示した。
【0039】この(表1)の実験No.20,21から
明らかなように、いずれの場合も静電容量の変化はほと
んど認められず、その時のθの値は−5°〜−35°の
範囲内ではなかった。
明らかなように、いずれの場合も静電容量の変化はほと
んど認められず、その時のθの値は−5°〜−35°の
範囲内ではなかった。
【0040】(実施例6)実験No.2,7,9,1
1,13の炭酸ガスセンサー素子を用い感度の経時的変
化を測定した。その結果を(表2)に示した。
1,13の炭酸ガスセンサー素子を用い感度の経時的変
化を測定した。その結果を(表2)に示した。
【0041】
【表2】
【0042】この(表2)から明らかなように、実施例
の炭酸ガスセンサー素子は動作時間が1000時間で
も、いずれの場合も感度の変化はほとんどみられず安定
した特性を示すことがわかった。
の炭酸ガスセンサー素子は動作時間が1000時間で
も、いずれの場合も感度の変化はほとんどみられず安定
した特性を示すことがわかった。
【0043】
【発明の効果】以上のように本発明は、インピーダンス
位相角が−5°〜−35°からなる構成を有し、BaT
iO3 等のペロブスカイト型酸化物とCuO等の非複合
系金属酸化物の配合物からなる等の構成を有しているの
で、560℃以上の高温域で作動させることができると
ともに、センサー特性として十分良好な感度と応答性、
再現性を得ることができ、更に長期間に亘って安定性を
有し、信頼性に優れた炭酸ガスセンサー素子を実現でき
るものである。
位相角が−5°〜−35°からなる構成を有し、BaT
iO3 等のペロブスカイト型酸化物とCuO等の非複合
系金属酸化物の配合物からなる等の構成を有しているの
で、560℃以上の高温域で作動させることができると
ともに、センサー特性として十分良好な感度と応答性、
再現性を得ることができ、更に長期間に亘って安定性を
有し、信頼性に優れた炭酸ガスセンサー素子を実現でき
るものである。
【図1】(a)本発明の一実施例における炭酸ガスセン
サー素子の平面図 (b)本発明の一実施例における炭酸ガスセンサー素子
の側面図
サー素子の平面図 (b)本発明の一実施例における炭酸ガスセンサー素子
の側面図
1 CO2 センサー素子 2 電極
Claims (6)
- 【請求項1】CO2 ガスの吸着、脱離による静電容量の
変化を利用した炭酸ガスセンサー素子であって、炭酸ガ
スセンサー素子のインピーダンス位相角が−5°〜−3
5°であることを特徴とする炭酸ガスセンサー素子。 - 【請求項2】前記炭酸ガスセンサー素子が少なくともペ
ロブスカイト型金属酸化物と非複合系金属酸化物との配
合物で形成されていることを特徴とする請求項1に記載
の炭酸ガスセンサー素子。 - 【請求項3】前記ペロブスカイト型金属酸化物がBaT
iO3 及び/又は非複合系金属酸化物がCuOからなる
ことを特徴とする請求項1又は2の内いずれか1に記載
の炭酸ガスセンサー素子。 - 【請求項4】前記BaTiO3 と前記CuOの配合物の
焼成温度が500〜1100℃であることを特徴とする
請求項3に記載の炭酸ガスセンサー素子。 - 【請求項5】前記BaTiO3 と前記CuOの配合組成
(mol%)がBaTiO3 :CuO=4:6〜6:4
であることを特徴とする請求項3又は4の内いずれか1
に記載の炭酸ガスセンサー素子。 - 【請求項6】前記CuOの平均粒径が0.2〜7μmで
あることを特徴とする請求項3乃至5の内いずれか1に
記載の炭酸ガスセンサー素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19141194A JPH0854364A (ja) | 1994-08-15 | 1994-08-15 | 炭酸ガスセンサー素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19141194A JPH0854364A (ja) | 1994-08-15 | 1994-08-15 | 炭酸ガスセンサー素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0854364A true JPH0854364A (ja) | 1996-02-27 |
Family
ID=16274167
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19141194A Pending JPH0854364A (ja) | 1994-08-15 | 1994-08-15 | 炭酸ガスセンサー素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0854364A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8313726B2 (en) | 2009-05-15 | 2012-11-20 | Fujitsu Limited | Gas generator and gas generation method |
-
1994
- 1994-08-15 JP JP19141194A patent/JPH0854364A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US8313726B2 (en) | 2009-05-15 | 2012-11-20 | Fujitsu Limited | Gas generator and gas generation method |
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