JPH0852438A - Brush sweeping type cleaning device - Google Patents

Brush sweeping type cleaning device

Info

Publication number
JPH0852438A
JPH0852438A JP6189746A JP18974694A JPH0852438A JP H0852438 A JPH0852438 A JP H0852438A JP 6189746 A JP6189746 A JP 6189746A JP 18974694 A JP18974694 A JP 18974694A JP H0852438 A JPH0852438 A JP H0852438A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
brush
cleaning device
cleaned
rotating member
type cleaning
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP6189746A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3402772B2 (en
Inventor
Tadao Yamada
忠雄 山田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TAIYO DENSAN KK
Original Assignee
TAIYO DENSAN KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TAIYO DENSAN KK filed Critical TAIYO DENSAN KK
Priority to JP18974694A priority Critical patent/JP3402772B2/en
Publication of JPH0852438A publication Critical patent/JPH0852438A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3402772B2 publication Critical patent/JP3402772B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
  • Cleaning In General (AREA)

Abstract

PURPOSE:To drastically reduce a running cost and to ameliorate inferior environment by splashing of dust of an abrasive by providing an inexpensive device with lower electric power consumption without the need for considering a remedy for corrosion of machines and post-treatment of water and ending the cleaning stage for a member to be cleaned in a short period of time. CONSTITUTION:This cleaning device has a rotating member 41 which is arranged along a transporting path for transporting the member 60 to be cleaned and brush members B installed to this rotating member 41. These brush members B are formed by bundling base ends Wa of many flexible wire-shaped bodies W. Brush housings 43 are formed at a required rotating angle pitch within the rotating member 41 and the brush members B are disposed within the respective brush housings 43. The rotating member 41 is rotated by a rotation driving means 47, by which the front ends Wb of the brush members B are brought into sliding contact with the member 60 to be cleaned and the member is thus cleaned.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、例えばIC、トラン
ジスタ、ダイオード、LED、タンタル・コンデンサ等
(以下単に電子部品という)のリードフレームやその他
の被清掃部材を清掃するためのブラシ掃引式清掃装置に
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a brush sweep type cleaning device for cleaning lead frames such as ICs, transistors, diodes, LEDs, tantalum capacitors (hereinafter simply referred to as electronic parts) and other members to be cleaned. Regarding

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば上記電子部品は、図7で示すよう
に、リードフレーム60上に絶縁性樹脂でモールドさ
れ、このモールドされた電子部品61の一側からリード
フレーム60と一体に形成された複数本のリード62が
ダム部63を介して出ている。ところで、上記リードフ
レーム60には、破線で示すようにモールド処理に際し
てモールド樹脂による薄膜状のバリ65ができる。この
薄膜状のバリ65は、リード62にハンダやメッキ等を
のりにくくさせる。また、後工程においてダム部63を
ダム抜き金型でプレス切断するが、モールド樹脂には強
固剤等が混入されているため、バリ65が付着したまま
で当該ダム部63を切断すると金型が早期に摩耗する。
2. Description of the Related Art For example, as shown in FIG. 7, the above electronic component is molded on a lead frame 60 with an insulating resin, and is integrally formed with the lead frame 60 from one side of the molded electronic component 61. A plurality of leads 62 are projected through the dam portion 63. By the way, on the lead frame 60, a thin film burr 65 made of a molding resin is formed during the molding process as shown by a broken line. The thin-film burr 65 prevents the leads 62 from being easily soldered or plated. Further, in a later step, the dam portion 63 is press-cut with a dam-removing mold. However, since the mold resin contains a strengthening agent and the like, if the dam portion 63 is cut with the burr 65 still attached, the mold will be cut. Wear early.

【0003】そこで、モールド処理の後工程として、上
記リード62やダム部63(以下、これらをリード部分
62aと総称する)に付着した薄膜状のバリ65を除去
することが必要になる。このような装置としては、従来
より例えば、ドライ・デフラッシャーあるいはウエット
・デフラッシャーと称する装置が知られている。ドライ
・デフラッシャーは、乾燥したアルミ粒子、ガラス粒
子、あるいは研磨材粒子等(以下単に研磨材粒子とい
う)を、ウエット・デフラッシャーは水を多量に含んだ
研磨材粒子を、それぞれリード部分62aに向けて強力
に噴射させて薄膜状のバリ65を除去するように構成さ
れている。
Therefore, it is necessary to remove the thin film burrs 65 attached to the leads 62 and the dam portions 63 (hereinafter collectively referred to as lead portions 62a) as a post-process of the molding process. As such a device, a device called a dry deflasher or a wet deflasher has been conventionally known. The dry deflasher uses dried aluminum particles, glass particles, or abrasive particles (hereinafter simply referred to as abrasive particles), and the wet deflasher applies abrasive particles containing a large amount of water to the lead portion 62a. It is configured to strongly eject toward and remove the thin film burr 65.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記ド
ライ・デフラッシャーの場合は、研磨材粒子の粒度分布
に偏りが生じ易く、粒子の大きいものはリード隙間に詰
まり易い。特に最近では電子部品61のリード間ピッチ
Pが約0.3mm(リード幅0.18mm、隙間0.12mm)と
狭くなり、粒子の小さいものを用いることが必要にな
る。しかし、粒子の小さい研磨材は薄膜状のバリ65を
除去するのに十分な噴射衝突力が得られない。このため
リードフレームのバリを除去するのに時間がかかる。
However, in the case of the dry deflasher described above, the particle size distribution of the abrasive particles is likely to be biased, and particles having large particles are likely to be clogged in the lead gap. Particularly recently, the pitch P between the leads of the electronic component 61 has been narrowed to about 0.3 mm (lead width 0.18 mm, gap 0.12 mm), and it is necessary to use particles having small particles. However, an abrasive with small particles cannot obtain a sufficient jet collision force to remove the thin film burr 65. Therefore, it takes time to remove the burr on the lead frame.

【0005】一方、ウエット・デフラッシャーの場合
は、上記のような問題はないが、水を多量に使用するた
め、機械の構成が複雑で大掛かりになるうえ、電力消費
量も多くなり、機械の腐食対策や水の後処理のためにコ
ストが大変高くつく。また、両方とも研磨材粒子を噴射
させる構造であるから、研磨材粒子の噴射領域が拡がっ
てモールドされた半導体のパッケージ表面が荒らされ
る。これを防止するには、そのパッケージ表面をマスキ
ングして保護する必要がある。そのうえ、研磨材粒子の
消費量も多くなり、ランニングコストが高くつく。しか
も、研磨材粒子の摩耗埃が飛散してクリーンルームとは
ほど遠い劣悪な環境となる。このため、前段のモールド
工程と本工程(薄膜状のバリ除去及び清掃工程)とを一
連の工程としてつなげることはできなかった。
On the other hand, in the case of the wet deflasher, there is no such problem as described above, but since a large amount of water is used, the structure of the machine becomes complicated and large-scaled, and the power consumption increases, and The cost is very high due to anti-corrosion measures and post-treatment of water. Further, both of them have a structure in which the abrasive particles are jetted, so that the jetting region of the abrasive particles is expanded and the surface of the molded semiconductor package is roughened. To prevent this, it is necessary to mask and protect the package surface. In addition, the consumption amount of the abrasive particles increases, and the running cost becomes high. Moreover, the abrasion dust of the abrasive particles scatters, which creates a poor environment far from the clean room. For this reason, it was not possible to connect the former molding process and this process (thin film deburring and cleaning process) as a series of processes.

【0006】本発明はこのような事情を考慮してなされ
たもので、 機械の構成を簡素にして、電力消費量も少なく、機
械の腐食対策や水の後処理を考慮する必要がなく、安価
なクリーニング装置を提供すること、 上記バリ除去等の清掃工程を短時間で終了させるこ
と、 モールドされたパッケージ表面の荒れを解消しつ
つ、パッケージ表面のマスキングの必要をなくすこと、 研磨材粒子や水の使用をなくして、ランニングコス
トの大幅な低減を図ること、 研磨材の塵埃飛散による劣悪な環境を改善し、前段
工程と薄膜状バリ除去及び清掃工程とをクリーンルーム
内で一連の工程としてつなげるようにすることを技術課
題とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and has a simple structure, low power consumption, no need to consider corrosion countermeasures and post-treatment of water, and is inexpensive. A cleaning device capable of finishing the cleaning process such as deburring in a short time, eliminating roughness of the surface of the molded package and eliminating the need for masking the surface of the package, abrasive particles and water. To reduce the running cost drastically, improve the bad environment due to dust scattering of abrasives, and connect the preceding process and thin film deburring and cleaning process as a series of processes in a clean room Is a technical issue.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は以下のように構成される。即ち、本発明に
よるブラシ掃引式清掃装置は、被清掃部材60を搬送す
る搬送路Rに沿って配置された回転部材41と、その回
転部材41に付設されたブラシ部材Bとを備えて成り、
上記ブラシ部材(B)は、多数の可撓性線状体Wの基端部
Waを束ねて構成し、上記回転部材41内に所要の回転
角度ピッチでブラシハウジング43を形成し、各ブラシ
ハウジング43内にそれぞれ上記ブラシ部材Bを設け、
このブラシ部材Bの先端部Wbをブラシハウジング43
から突出させるとともに、上記回転部材41を回転駆動
手段47で回転させることにより、当該ブラシ部材Bの
先端部Waを被清掃部60に摺接させるように構成す
る。
In order to solve the above problems, the present invention is configured as follows. That is, the brush sweep type cleaning device according to the present invention comprises a rotating member 41 arranged along the conveying path R for conveying the member to be cleaned 60, and a brush member B attached to the rotating member 41.
The brush member (B) is configured by bundling the base ends Wa of a large number of flexible linear bodies W, and the brush housing 43 is formed in the rotating member 41 at a required rotation angle pitch. The above-mentioned brush members B are respectively provided in 43,
The tip Wb of the brush member B is attached to the brush housing 43.
The tip end portion Wa of the brush member B is brought into sliding contact with the cleaning target portion 60 by projecting from the above and rotating the rotation member 41 by the rotation driving means 47.

【0008】[0008]

【発明の作用】本発明では、搬送路Rに沿って被清掃部
材60を搬送しつつ、ブラシ掃引式清掃装置40により
被清掃部材60に付着しているバリ65等を除去する。
即ち、ブラシ掃引式清掃装置40の回転部材41を回転
駆動手段47で回転させる。上記ブラシ部材Bは、多数
の可撓性線状体Wの基端部Waを束ねて構成され、回転
部材41に所要の回転角度ピッチで形成された各ブラシ
ハウジング43内に設けられ、そのブラシハウジング4
3から突出した先端部Wbが被清掃部材60に間欠的に
摺接して当該被清掃部材60に付着している薄膜状のバ
リ65等を除去及び清掃をする。
According to the present invention, while the member 60 to be cleaned is conveyed along the conveying path R, the burr 65 and the like adhering to the member 60 to be cleaned are removed by the brush sweep type cleaning device 40.
That is, the rotation member 41 of the brush sweeping type cleaning device 40 is rotated by the rotation driving means 47. The brush member B is configured by bundling the base end portions Wa of a large number of flexible linear bodies W, and is provided in each brush housing 43 formed in the rotating member 41 at a required rotation angle pitch. Housing 4
The tip portion Wb protruding from 3 intermittently slidably contacts the member to be cleaned 60 to remove and clean the thin film burr 65 and the like attached to the member to be cleaned 60.

【0009】[0009]

【発明の効果】本発明によるブラシ掃引式清掃装置は、
以下の効果を奏する。 回転部材に形成したブラシハウジング内にブラシ部
材を設け、そのブラシ部材の先端部を被清掃部材に間欠
的に摺接して清掃するものであるから、従来技術に比較
して電力消費量も格段に少なく、機械の腐食対策や水の
後処理を考慮する必要がなく、安価なクリーニング装置
を提供することができる。 ブラシ部材は、多数の可撓性線状体の基端部を束ね
て構成したものであるから、従来例のようにモールドさ
れた半導体のパッケージ表面を研磨材粒子による摩耗で
荒らす等の不都合はなくなり、そのパッケージ表面をマ
スキングする必要もなくなる。
The brush sweep type cleaning device according to the present invention comprises:
The following effects are achieved. Since the brush member is provided in the brush housing formed in the rotating member and the tip of the brush member is intermittently slidably contacted with the member to be cleaned for cleaning, the power consumption is remarkably higher than that of the prior art. It is possible to provide an inexpensive cleaning device that does not need to take measures against machine corrosion and post-treatment of water. Since the brush member is configured by bundling the base end portions of a large number of flexible linear members, there is no inconvenience such as roughening the surface of the molded semiconductor package by abrasion with abrasive particles as in the conventional example. It eliminates the need to mask the package surface.

【0010】 研磨材粒子や水を使用しなくて済み、
ランニングコストの大幅な低減を図ることができる。 研磨材粒子の塵埃が飛散することもないから、従来
例の劣悪な環境を改善し、前段工程と薄膜状のバリ除去
及び清掃工程とをクリーンルーム内で一連の工程として
つなげることができる。 回転部材を回転させてブラシ部材の先端部を被清掃
部材に間欠的に摺接して清掃するものであるから、バリ
等の掃き残しは少なくなり、連続的に掃引するものに比
較して格段に清掃効果が向上する。
No need to use abrasive particles or water,
The running cost can be significantly reduced. Since the dust of the abrasive particles does not scatter, the poor environment of the conventional example can be improved, and the preceding step and the thin film deburring and cleaning step can be connected as a series of steps in the clean room. Since the rotating member is rotated to intermittently slide the tip of the brush member against the member to be cleaned for cleaning, the unswept residue of burrs and the like is reduced, which is much greater than that of continuous sweeping. The cleaning effect is improved.

【0011】[0011]

【実施例】以下本発明の実施例を図面に基づいてさらに
詳しく説明する。まず、本発明によるブラシ掃引式清掃
装置を適用したリードフレームのクリーニング装置につ
いて説明する。図4はそのリードフレームのクリーニン
グ装置を示し、同図(A)はそのクリーニング装置の上側
カバーを取り外した状態を示す概略平面図、同図(B)は
そのクリーニング装置の概略正面図である。
Embodiments of the present invention will now be described in more detail with reference to the drawings. First, a lead frame cleaning device to which the brush sweep type cleaning device according to the present invention is applied will be described. FIG. 4 shows a cleaning device for the lead frame, FIG. 4A is a schematic plan view showing a state in which an upper cover of the cleaning device is removed, and FIG. 4B is a schematic front view of the cleaning device.

【0012】このクリーニング装置は、図4(A)(B)に
示すように、被清掃部材であるリードフレーム(図7符
号60)を長手方向に搬送する搬送手段5と、この搬送
手段5により形成される搬送路Rに沿って上側に4台、
下側に3台づつ配置されたブラシ連打式清掃装置20
と、その下流側に上下各1台づつ配置された本願発明に
係るブラシ掃引式清掃装置40と、上記搬送路Rに沿っ
て上下に適当間隔で配置された複数の吸引式集塵器50
とを備えて成る。なお、上記ブラシ連打式清掃装置20
は、本出願人が先に特願平5−136630号により開
示したものと同様に構成されている。
As shown in FIGS. 4 (A) and 4 (B), this cleaning apparatus has a conveying means 5 for conveying a lead frame (reference numeral 60 in FIG. 7), which is a member to be cleaned, in the longitudinal direction, and the conveying means 5. 4 units on the upper side along the formed transport path R,
Brush continuous hammering type cleaning device 20 arranged in three units on the lower side
And a brush sweeping type cleaning device 40 according to the present invention arranged one by one on the downstream side, and a plurality of suction type dust collectors 50 arranged vertically along the conveying path R at appropriate intervals.
And. It should be noted that the brush continuous cleaning device 20
Is constructed in the same manner as that previously disclosed by the present applicant in Japanese Patent Application No. 5-136630.

【0013】上記搬送手段5は、図4(B)に示すよう
に、減速機7を有する搬送駆動モータ6と、正面視で矩
形をなすように機台フレーム1に沿って配置された従動
ローラ8a〜8eと、駆動ローラ6aと上記従動ローラ
8a〜8eとに巻掛けられた無端ベルト9と、上記無端
ベルト9をガイドするために機台フレーム1の上縁に沿
って設けられ、搬送路Rを形成する多数のガイドローラ
10と、リードフレーム60の搬入部4aと搬出部4b
とを構成するガイド部材4とから成り、リードフレーム
60を所要速度で搬送するように構成されている。
As shown in FIG. 4 (B), the conveying means 5 includes a conveying drive motor 6 having a speed reducer 7 and a driven roller arranged along the machine frame 1 so as to form a rectangle in a front view. 8a to 8e, an endless belt 9 wound around the driving roller 6a and the driven rollers 8a to 8e, and provided along the upper edge of the machine frame 1 for guiding the endless belt 9, A large number of guide rollers 10 forming R, and a carry-in section 4a and a carry-out section 4b of the lead frame 60.
And the guide member 4 constituting the above, and is configured to convey the lead frame 60 at a required speed.

【0014】上記ガイドローラ10は、図4(B)、図5
及び図6に示すように、上記ブラシ連打式清掃装置20
の各ブラシ先端部Wbに対向して配置されたメインロー
ラ10A・10Bと、無端ベルト9を押さえる押さえロ
ーラ10Cとから構成されている。メインローラ10A
は搬送路Rの上側に配置されたブラシ連打式清掃装置2
0に対向するもので、他方のメインローラ10Bは搬送
路Rの下側に配置されたブラシ連打式清掃装置20に対
向するものである。
The guide roller 10 is shown in FIGS.
As shown in FIG. 6 and FIG.
The main rollers 10A and 10B are arranged to face each of the brush tip portions Wb, and the pressing roller 10C that presses the endless belt 9. Main roller 10A
Is a continuous brush type cleaning device 2 arranged above the transport path R
0, and the other main roller 10B faces the continuous brush type cleaning device 20 disposed below the conveyance path R.

【0015】上記メインローラ10Aは、図5に示すよ
うに、ローラ組付用ブロック11で枢支された支軸12
と、この支軸12にそれぞれ固設されたベルトガイド用
の段付ローラ13及びフレームガイド用の段付きローラ
14とから成り、ベルト用段付ローラ13の小径部13
bで無端ベルト9を支え、大径部13aの内端面と爪ロ
ーラ部13cとで無端ベルト9をガイドするとともに、
フレーム用段付きローラ14の小径部14bで電子部品
51支え、大径部14aの内端面で当該電子部品51を
規制することにより、リードフレーム60が搬送路Rか
ら脱落するのを防止するように構成されている。なお、
ローラ組付用ブロック11は、前記機台フレーム1の機
台テーブル1Aに着脱自在に固設される。
As shown in FIG. 5, the main roller 10A has a support shaft 12 pivotally supported by a roller assembly block 11.
And a stepped roller 13 for belt guides and a stepped roller 14 for frame guides, which are fixedly mounted on the support shaft 12, respectively. The small diameter portion 13 of the stepped roller 13 for belts
b supports the endless belt 9, and the inner end surface of the large diameter portion 13a and the claw roller portion 13c guide the endless belt 9 and
The small diameter portion 14b of the frame stepped roller 14 supports the electronic component 51, and the inner end surface of the large diameter portion 14a regulates the electronic component 51, so that the lead frame 60 is prevented from dropping from the transport path R. It is configured. In addition,
The roller assembly block 11 is detachably fixed to the machine table 1A of the machine frame 1.

【0016】他方のメインローラ10Bは、図6に示す
ように、ベルト用段付ローラ13の小径部13bと無端
ベルト9とによりリードフレーム50を挟持するととも
に、支軸12で電子部品51支え、フレーム用ローラ1
4の内端面で当該電子部品51を規制するように構成さ
れ、その他は上記メインローラ10Aと同様に構成され
ている。なお、図5及び図6中の符号15は軸受、16
は支軸12の抜止め、17・18はブロック固定用ネジ
穴である。
As shown in FIG. 6, the other main roller 10B holds the lead frame 50 by the small diameter portion 13b of the belt stepped roller 13 and the endless belt 9 and supports the electronic component 51 by the support shaft 12. Frame roller 1
The inner end surface of 4 is configured to regulate the electronic component 51, and the other components are configured similarly to the main roller 10A. Reference numeral 15 in FIGS. 5 and 6 denotes a bearing, 16
Is a retainer of the support shaft 12, and 17 and 18 are block fixing screw holes.

【0017】上記押さえローラ10Cは、図4(B)、図
5及び図6に示すように、一方のメインローラ10A・
10Aの間や他方のメインローラ10B・10Bの間に
配置され、あるいは、上記ローラ組付用ブロック11の
間においては上下一対配置されており、前記メインロー
ラ10A・10B及び無端ベルト9とともにリードフレ
ーム60を挟持搬送するように構成されている。これら
の押さえローラ10Cは、上記ローラ組付用ブロック1
1及び機台テーブル1Aに固定される。また、これらの
押さえローラ10Cは、図5(A)中の仮想線で示すよう
に、その支軸が水平姿勢から起立姿勢に略90°その姿
勢を変更することが可能であり、無端ベルト9の交換を
容易にするように構成されている。なお、上記搬送ロー
ラ10の形状や個数は、リードフレーム60の形態に対
応させて、ローラ組付用ブロック11ごと交換して適宜
変更することができる。
The pressing roller 10C is, as shown in FIGS. 4B, 5 and 6, one of the main rollers 10A.
10A or between the other main rollers 10B and 10B, or a pair of upper and lower parts between the roller assembling blocks 11, and a lead frame together with the main rollers 10A and 10B and the endless belt 9. It is configured so as to sandwich and convey 60. These pressing rollers 10C correspond to the roller assembly block 1 described above.
1 and the machine table 1A. Further, as shown by the phantom line in FIG. 5A, the supporting rollers 10C can change their postures from the horizontal posture to the standing posture by approximately 90 °, and the endless belt 9 Are configured to facilitate replacement of the. The shape and number of the transport rollers 10 can be changed as appropriate by exchanging the roller assembly block 11 according to the form of the lead frame 60.

【0018】次に本発明に係るブラシ掃引式清掃装置4
0について説明する。図1はブラシ掃引式清掃装置40
を示し、同図(A)はその左側面図、同図(B)はその正面
図、同図(C)はブラシ部材Bの縦断面図である。このブ
ラシ掃引式清掃装置40は、搭載ブロック23を構成す
る昇降グブロック23bの前面に搭載され、前記搬送路
Rに沿って配置された回転部材41と、当該昇降ブロッ
ク23bの背面に搭載され、回転部材41を所要の回転
速度で回転駆動する駆動モータ47と、上記回転部材4
1内に設けられたブラシ部材Bを備えて成る。そして上
記駆動モータ47の出力軸48は、昇降ブロック23a
を貫通して正面側に突出され、この出力軸48に回転部
材41の軸支ボス部42aを固定して回転部材41を回
転駆動するように構成されてる。
Next, the brush sweep type cleaning device 4 according to the present invention.
0 will be described. FIG. 1 shows a brush sweep type cleaning device 40.
FIG. 4A is a left side view thereof, FIG. 3B is a front view thereof, and FIG. 3C is a vertical sectional view of the brush member B. The brush sweeping type cleaning device 40 is mounted on the front surface of the elevating / lowering block 23b constituting the mounting block 23, is mounted on the rotating member 41 arranged along the transport path R, and is mounted on the rear surface of the elevating / lowering block 23b to rotate. A drive motor 47 for rotating the member 41 at a required rotation speed, and the rotating member 4
1 is provided with a brush member B. The output shaft 48 of the drive motor 47 is connected to the lifting block 23a.
The shaft support boss portion 42a of the rotating member 41 is fixed to the output shaft 48 to rotatably drive the rotating member 41.

【0019】上記搭載ブロック23は、図1(A)に示す
ように、傾動ブロック23aと、この傾動ブロック23
aに対して上下位置調節可能に固定された昇降ブロック
23bとから成り、傾動ブロック23aは基台ブロック
25の先端部に支軸26を介して傾動可能に支持され、
基台ブロック25に対して進退調節可能に、かつ、傾斜
角度調節可能に固定されている。即ち、上記基台ブロッ
ク25は、機台フレーム上の機台テーブル1Aに固定さ
れている固定ブロック25aと、この固定ブロック25
aに対して進退位置調節可能に固定された可動ブロック
25bとから成り、進退調節ネジ24aにより可動ブロ
ック25bを進退調節した後で固定ネジ24bにより固
定するとともに、上記可動ブロック25bに対して傾動
ブロック23aの傾斜角度を調節し、傾斜部材27とそ
の両端部を固定する一組の固定ネジ28a・28bとに
より当該傾動ブロック23aを固定するように構成され
ている。
As shown in FIG. 1A, the mounting block 23 includes a tilt block 23a and a tilt block 23a.
The tilting block 23a is supported on the tip of the base block 25 via a support shaft 26 so as to be tiltable.
It is fixed to the base block 25 so that it can be moved forward and backward and the tilt angle can be adjusted. That is, the base block 25 includes a fixed block 25a fixed to the machine table 1A on the machine frame and the fixed block 25a.
a movable block 25b fixed so as to be able to adjust the advancing / retreating position with respect to a. The tilting block 23a is fixed by adjusting the tilting angle of the tilting member 23a and fixing the tilting member 27 and a pair of fixing screws 28a and 28b for fixing both ends thereof.

【0020】上記昇降ブロック23bは、回転部材41
を支持する部材から成り、上記傾動ブロック23aに対
して上下位置調節ネジ22aで昇降ブロック23bの上
下位置を調節して図示しない固定ネジにより固定するよ
うに構成されている。これにより後述するブラシ部材B
の先端部Wbをリードフレーム60の所要位置に向けて
位置調節することができる。
The elevating block 23b includes a rotating member 41.
The vertical position of the elevating block 23b is adjusted with respect to the tilting block 23a by the vertical position adjusting screw 22a, and is fixed by a fixing screw (not shown). Thereby, the brush member B described later
The tip end portion Wb of the can be adjusted toward the required position of the lead frame 60.

【0021】上記回転部材41は、軸支ボス部42aを
一体に形成した回転基体42と、この回転基体42の正
面にネジ44aで固定された蓋体44とから成り、上記
回転基体42には所要の回転角度ピッチ(本実施例では
36°ピッチ)でブラシハウジング43が凹設されてい
る。そしてブラシハウジング43内には、前記ブラシ連
打式清掃装置20のブラシ部材と同様のブラシ部材Bが
着脱自在に装填され、上記蓋体44にあけた各ネジ孔4
5にそれぞれ固定ネジ46をねじ込んで各ブラシ部材B
の基端側固定部材B1 を固定してある。
The rotary member 41 comprises a rotary base 42 integrally formed with a shaft support boss 42a, and a lid 44 fixed to the front surface of the rotary base 42 with a screw 44a. The brush housing 43 is recessed at a required rotation angle pitch (36 ° pitch in this embodiment). A brush member B similar to the brush member of the brush continuous cleaning device 20 is detachably loaded in the brush housing 43, and each screw hole 4 formed in the lid body 44.
5 and the fixing screws 46 are screwed into the respective brush members B
The base end side fixing member B 1 is fixed.

【0022】上記ブラシ部材Bは、図1(C)に示すよう
に、多数の可撓性線状体Wの基端部Waを基端側固定部
材B1 で束ねて構成されている。ちなみに、本実施例の
ブラシ部材Bは、0.1mmφ程度のカーボン繊維、あ
るいはピアノ線で構成した。ブラシ部材Bの先端部Wb
は、ブラシハウジング43の先端ガイド孔43aから突
出させてあり、上記回転部材41を駆動モータ47で回
転させることにより、当該ブラシ部材Bの先端部Wbを
前記リードフレーム60のリード部分62aに当接掃引
させ、当該リード部分62aに付着している薄膜状のバ
リ65を除去するように構成されている。なお、上記ブ
ラシ部材Bの先端部Wbが摩耗した場合には、上記蓋体
44を取り外してブラシ部材Bを交換することができ
る。
As shown in FIG. 1C, the brush member B is formed by bundling the base end portions Wa of a large number of flexible linear members W with a base end side fixing member B 1 . By the way, the brush member B of the present embodiment is made of carbon fiber of about 0.1 mmφ or piano wire. Tip Wb of brush member B
Is projected from the tip guide hole 43a of the brush housing 43, and the tip Wb of the brush member B is brought into contact with the lead portion 62a of the lead frame 60 by rotating the rotating member 41 by the drive motor 47. It is configured to sweep and remove the thin film burr 65 attached to the lead portion 62a. When the tip portion Wb of the brush member B is worn, the cover member 44 can be removed and the brush member B can be replaced.

【0023】また、上記ブラシハウジング43内には、
ブラシ部材Bを構成する可撓性線状体Wの途中部が容易
に撓むことができるように撓み空間Sが形成されてい
る。この撓み空間Sは、図1(B)で示すように、回転部
材41の回転方向Fに対して、少なくともブラシ部材B
の可撓性線状体Wが撓む方向に形成すれば良い。上記の
ような撓み空間Sを設け、かつ、ブラシ部材Bの先端部
Wbを先端ガイド孔43aから突出させることにより、
ブラシ部材Bの弾性復元力を生かして清掃効果を高める
とともに、ブラシ部材Bの寿命を大幅に延ばし、その耐
久性をたかめることができる。
In the brush housing 43,
The flexible space S is formed so that the middle part of the flexible linear body W forming the brush member B can be easily flexed. As shown in FIG. 1B, this bending space S is at least the brush member B with respect to the rotation direction F of the rotating member 41.
It may be formed in a direction in which the flexible linear body W of FIG. By providing the bending space S as described above and projecting the tip end portion Wb of the brush member B from the tip guide hole 43a,
The elastic restoring force of the brush member B can be utilized to enhance the cleaning effect, and the life of the brush member B can be significantly extended to enhance its durability.

【0024】なお、上記回転部材41を正転及び逆転さ
せることも可能であり、その場合には図2で示すよう
に、撓み空間Sを可撓性線状体Wに対して前後両側に凹
設するのが良い。さらに、ブラシ部材Bの可撓性線状体
Wが任意の方向へ撓め得るように、図3で示すような撓
み空間Sを可撓性線状体Wの周囲に形成してもよい。上
記ブラシ掃引式清掃装置40においては、ブラシ部材B
の先端部Wbがリードフレーム60に間欠的に当接して
掃引するとともに、当該先端部Wbがリードフレームか
ら離間する際にブラシ部材Bの弾性復元力が作用するた
め、バリ等の掃き残しは格段に少なくなる。つまり、回
転体41のほぼ全周にブラシを植設して連続的に掃引す
るものに比較して格段に清掃効果が向上する。
It is also possible to rotate the rotating member 41 in the forward and reverse directions. In that case, as shown in FIG. 2, the bending space S is recessed in the front and rear sides with respect to the flexible linear body W. It is good to set up. Further, a flexible space S as shown in FIG. 3 may be formed around the flexible linear body W so that the flexible linear body W of the brush member B can be flexed in an arbitrary direction. In the brush sweep type cleaning device 40, the brush member B
The tip end portion Wb of the brush member intermittently abuts and sweeps the lead frame 60, and when the tip end portion Wb is separated from the lead frame, the elastic restoring force of the brush member B acts, so that the unswept residue of the burr or the like is marked. Less. That is, the cleaning effect is remarkably improved as compared with the case where brushes are planted almost all around the rotating body 41 and continuously swept.

【0025】以上の説明で明らかなように、本発明のブ
ラシ掃引式清掃装置によれば、回転部材に形成したブラ
シハウジング内にブラシ部材を設け、そのブラシ部材の
先端部を被清掃部材に間欠的に摺接して清掃するもので
あるから、従来技術に比較して電力消費量も格段に少な
く、機械の腐食対策や水の後処理を考慮する必要がな
く、安価なクリーニング装置を提供することができる。
As is apparent from the above description, according to the brush sweep type cleaning device of the present invention, the brush member is provided in the brush housing formed in the rotating member, and the tip of the brush member is intermittently attached to the member to be cleaned. Since it is to be slidably contacted for cleaning, it consumes much less power than the prior art, and there is no need to consider measures against machine corrosion or post-treatment of water, and to provide an inexpensive cleaning device. You can

【0026】そのうえ、従来例のようにモールドされた
半導体のパッケージ表面を研磨材粒子による摩耗で荒ら
す等の不都合はなくなり、そのパッケージ表面をマスキ
ングする必要もなくなる。しかも、研磨材粒子や水を使
用しなくて済み、ランニングコストの大幅な低減を図る
ことができる。さらに研磨材粒子の塵埃が飛散すること
もないから、従来例の劣悪な環境を改善し、前段工程と
薄膜状のバリ除去及び清掃工程とをクリーンルーム内で
一連の工程としてつなげることができる。
Furthermore, unlike the conventional example, there is no inconvenience that the surface of a molded semiconductor package is roughened by abrasion with abrasive particles, and it is not necessary to mask the package surface. Moreover, it is not necessary to use abrasive particles or water, and the running cost can be greatly reduced. Further, since the dust of the abrasive particles does not scatter, the poor environment of the conventional example can be improved, and the preceding step and the thin film deburring and cleaning step can be connected as a series of steps in the clean room.

【0027】上記実施例ではブラシハウジング43にそ
れぞれ先端部ガイド孔43aを形成したものとして説明
したが、これらの先端部ガイド孔は必ずしも必要ではな
い。また、先端部ガイド孔でブラシ部材Bの先端部Wb
をガイドしない場合には可撓性線状体Wは自由に撓むの
で、前記撓み空間Sも不要になる。さらに、上記実施例
では電子部品のリードフレームを清掃する場合について
説明したが、本発明はこれに限らず、その他の被清掃部
材を清掃する場合についても広く適用できる。
In the above embodiment, the brush housing 43 is described as having the tip end guide holes 43a formed therein, but these tip end guide holes are not always necessary. In addition, the tip portion Wb of the brush member B is guided by the tip portion guide hole.
When the guide wire is not guided, the flexible linear body W flexes freely, so that the flexure space S is also unnecessary. Furthermore, in the above embodiment, the case of cleaning the lead frame of the electronic component has been described, but the present invention is not limited to this, and is widely applicable to the case of cleaning other members to be cleaned.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】ブラシ掃引式清掃装置を示し、同図(A)はその
左側面図、同図(B)はその正面図、同図(C)はブラシ部
材の縦断面図である。
1A and 1B show a brush sweep type cleaning device, FIG. 1A is a left side view thereof, FIG. 1B is a front view thereof, and FIG. 1C is a longitudinal sectional view of a brush member.

【図2】ブラシハウジングの撓み空間の変形例を示す要
部拡大図である。
FIG. 2 is an enlarged view of an essential part showing a modified example of the bending space of the brush housing.

【図3】ブラシハウジングの撓み空間の変形例を示す要
部拡大断面図である。
FIG. 3 is an enlarged sectional view of an essential part showing a modified example of the bending space of the brush housing.

【図4】本発明をによるブラシ掃引式清掃装置を適用し
たリードフレームのクリーニング装置を示し、同図(A)
はそのクリーニング装置の上側カバーを取り外した状態
を示す概略平面図、同図(B)はそのクリーニング装置の
概略正面図である。
FIG. 4 shows a lead frame cleaning device to which a brush sweep type cleaning device according to the present invention is applied.
Is a schematic plan view showing a state in which the upper cover of the cleaning device is removed, and FIG. 1B is a schematic front view of the cleaning device.

【図5】一方のメインローラ及び押さえローラを示し、
同図(A)はその左側面図、同図(B)はその正面図であ
る。
FIG. 5 shows one main roller and one pressing roller,
The figure (A) is the left side view, and the figure (B) is the front view.

【図6】他方のメインローラ及び押さえローラを示し、
同図(A)はその左側面図、同図(B)はその正面図であ
る。
FIG. 6 shows the other main roller and the pressing roller,
The figure (A) is the left side view, and the figure (B) is the front view.

【図7】電子部品用リードフレームの平面図である。FIG. 7 is a plan view of a lead frame for electronic component.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

R…搬送路、40…ブラシ掃引式清掃装置、41…回転
部材、43…ブラシハウジング、43a…先端ガイド
孔、47…回転駆動手段、60…被清掃部材(リードフ
レーム)、61…電子部品、62…リード、62a…リ
ード部分、B…ブラシ部材、W…可撓性線状体、Wa…
可撓性線状体の基端部、Wb…ブラシ部材の先端部、S
…可撓性線状体の撓み空間。
R ... Conveyance path, 40 ... Brush sweep type cleaning device, 41 ... Rotating member, 43 ... Brush housing, 43a ... Tip guide hole, 47 ... Rotation drive means, 60 ... Cleaning target member (lead frame), 61 ... Electronic component, 62 ... Lead, 62a ... Lead portion, B ... Brush member, W ... Flexible linear body, Wa ...
Base end of flexible linear member, Wb ... Tip of brush member, S
... The bending space of the flexible linear body.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 被清掃部材(60)を搬送する搬送路(R)
に沿って配置されたブラシ掃引式清掃装置(40)であっ
て、 上記搬送路(R)に沿って配置された回転部材(41)と、
この回転部材(41)に付設されたブラシ部材(B)を備え
て成り、 上記ブラシ部材(B)は、多数の可撓性線状体(W)の基端
部(Wa)を束ねて構成し、 上記回転部材(41)内に所要の回転角度ピッチでブラシ
ハウジング(43)を形成し、各ブラシハウジング(43)
内にそれぞれ上記ブラシ部材(B)を設け、このブラシ部
材(B)の先端部(Wb)をブラシハウジング(43)から突
出させるとともに、上記回転部材(41)を回転駆動手
段(47)で回転させることにより、当該ブラシ部材(B)
の先端部(Wb)を被清掃部(60)に摺接させるように構
成した、ことを特徴とするブラシ掃引式清掃装置。
1. A transport path (R) for transporting a member (60) to be cleaned.
A brush sweeping type cleaning device (40) arranged along the rotating path (R), and a rotating member (41) arranged along the transport path (R);
This rotating member (41) is provided with a brush member (B) attached thereto, and the brush member (B) is formed by bundling the proximal ends (Wa) of a large number of flexible linear members (W). Then, the brush housing (43) is formed in the rotating member (41) at a required rotation angle pitch, and each brush housing (43) is formed.
Each of the brush members (B) is provided therein, and the tip end (Wb) of the brush member (B) is projected from the brush housing (43), and the rotating member (41) is rotated by the rotation driving means (47). The brush member (B)
A brush sweep type cleaning device, characterized in that the front end (Wb) of the above is brought into sliding contact with the portion to be cleaned (60).
【請求項2】 ブラシハウジング(43)内に可撓性線状
体(W)の撓み空間(S)を形成するとともに、ブラシハウ
ジング(43)の先端ガイド孔(43a)からブラシ部材
(B)の先端部(Wb)を突出させて構成した請求項1に
記載したブラシ掃引式清掃装置。
2. A flexure space (S) for the flexible linear member (W) is formed in the brush housing (43), and a brush member is inserted from the tip guide hole (43a) of the brush housing (43).
The brush sweep type cleaning device according to claim 1, wherein the tip portion (Wb) of (B) is configured to project.
JP18974694A 1994-08-12 1994-08-12 Brush sweep type cleaning device Expired - Fee Related JP3402772B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18974694A JP3402772B2 (en) 1994-08-12 1994-08-12 Brush sweep type cleaning device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18974694A JP3402772B2 (en) 1994-08-12 1994-08-12 Brush sweep type cleaning device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0852438A true JPH0852438A (en) 1996-02-27
JP3402772B2 JP3402772B2 (en) 2003-05-06

Family

ID=16246491

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18974694A Expired - Fee Related JP3402772B2 (en) 1994-08-12 1994-08-12 Brush sweep type cleaning device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3402772B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108235689A (en) * 2017-11-15 2018-06-29 深圳市诚捷智能装备股份有限公司 A kind of naked product cleaning device of capacitor

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108235689A (en) * 2017-11-15 2018-06-29 深圳市诚捷智能装备股份有限公司 A kind of naked product cleaning device of capacitor

Also Published As

Publication number Publication date
JP3402772B2 (en) 2003-05-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4003837B2 (en) Roller with tread and system including the same
JP2010245344A (en) High-pressure liquid jet cleaning equipment for thin-film solar panels
JP2005081297A (en) Substrate surface cleaning apparatus
AU2001246565A1 (en) Method and apparatus for treating a moving surface
JP2927421B1 (en) Powder type eraser
WO2009008531A1 (en) Polishing apparatus
JPH0852438A (en) Brush sweeping type cleaning device
US4969296A (en) Apparatus of surface grinding of planar member
US5993301A (en) Apparatus to clean golden plates
JP4387938B2 (en) Substrate processing equipment
JP3459473B2 (en) Lead frame cleaning equipment
JP2007165554A (en) Substrate processor and substrate processing method
CN112547415B (en) Coating device and coating method
JP4280075B2 (en) Substrate processing equipment
JP2006295112A (en) Substrate washing apparatus and substrate feeding device equipped therewith
US7533593B2 (en) Ball screw unit with dust cleaning and ball deflecting element fixing mechanism
TWI713790B (en) Processing device, plating device, conveying device and processing method provided with the processing device
JP2018047961A (en) Belt cleaner
CN220578142U (en) Buffering type accurate positioning side leaning conveyor belt
CN114515717B (en) Deoiling device before immersion gold of circuit board
JP2021115490A (en) Nozzle cleaning device, coating applicator, nozzle cleaning method and scraper
JPWO2020039802A1 (en) Board processing system and board processing method
TWI817334B (en) Manufacturing apparatus of semiconductor device and substrate cleaning method
CN117984177B (en) Furniture board processingequipment
JPS6316956A (en) Tool cleaning mechanism for bonder

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120229

Year of fee payment: 9

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees