JPH0851351A - レベル変換回路 - Google Patents

レベル変換回路

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JPH0851351A
JPH0851351A JP18726894A JP18726894A JPH0851351A JP H0851351 A JPH0851351 A JP H0851351A JP 18726894 A JP18726894 A JP 18726894A JP 18726894 A JP18726894 A JP 18726894A JP H0851351 A JPH0851351 A JP H0851351A
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    • H03K3/02Generators characterised by the type of circuit or by the means used for producing pulses
    • H03K3/353Generators characterised by the type of circuit or by the means used for producing pulses by the use, as active elements, of field-effect transistors with internal or external positive feedback
    • H03K3/356Bistable circuits
    • H03K3/356104Bistable circuits using complementary field-effect transistors
    • H03K3/356113Bistable circuits using complementary field-effect transistors using additional transistors in the input circuit
    • H03K3/356147Bistable circuits using complementary field-effect transistors using additional transistors in the input circuit using pass gates

Abstract

(57)【要約】 【目的】負ゲート消去型のフラッシュメモリにおける行
デコード回路に用いるのに好適なレベル変換回路を提供
することを目的としている。 【構成】2つの反転回路の入力端と出力端どうしを接続
してラッチ回路を形成し、これら入出力端の接続点N
1,N2と接地点間にそれぞれ2つのNチャネル型MO
SトランジスタQ16,Q15及びQ18,Q17を直
列接続している。各反転回路は電位VH とVL との間の
電圧で動作する。接地点側のトランジスタQ16,Q1
8には、高レベルが電源Vcc、低レベルが電位VL の制
御信号ERSを供給し、接続点N1,N2側のトランジ
スタQ15,17には互いに反転の関係にある入力信号
IN,/INを供給する。上記接続点N1,N2の少な
くとも一方から出力信号/OUT,OUTを得ることを
特徴としている。“H”レベル側と“L”レベル側のレ
ベル変換を一段で実現でき、入力信号のラッチ動作も可
能である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、CMOS回路におけ
るレベル変換回路に関するもので、特に、一段で“H”
レベルと“L”レベルの変換ができ、負ゲート消去型の
フラッシュメモリにおけるワード線の駆動に好適なレベ
ル変換回路に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、CMOS回路におけるレベル変換
回路は、例えば図12あるいは図13に示すように構成
されている。図12は“H”レベルの変換、図13は
“L”レベルの変換を行うもので、入力信号INはどち
らの回路も“H”レベルがVcc、“L”レベルが接地
(GND)である。
【0003】図12に示すレベル変換回路は、Pチャネ
ル型MOSトランジスタQ1,Q2、Nチャネル型MO
SトランジスタQ3,Q4及びCMOSインバータ11
から構成されている。MOSトランジスタQ1,Q2の
ソースにはそれぞれ電位VHが印加され、各ドレインと
接地点GND間にはMOSトランジスタQ3,Q4のド
レイン,ソース間が接続される。MOSトランジスタQ
1のゲートは上記MOSトランジスタQ2,Q4のドレ
イン共通接続点に接続され、MOSトランジスタQ2の
ゲートは上記MOSトランジスタQ1,Q3のドレイン
共通接続点に接続される。上記MOSトランジスタQ3
のゲートには入力信号INが供給され、上記MOSトラ
ンジスタQ4のゲートには上記入力信号INがインバー
タ11を介して供給される。そして、上記MOSトラン
ジスタQ2とQ4との接続点から出力信号OUTを、上
記MOSトランジスタQ1とQ3との接続点から上記出
力信号OUTの反転信号/OUTをそれぞれ出力する。
この回路では、出力信号OUT,/OUTの“L”レベ
ルはGNDレベルのままであるが、“H”レベルは電位
H に変換される。
【0004】図13に示すレベル変換回路は、Pチャネ
ル型MOSトランジスタQ5,Q6、Nチャネル型MO
SトランジスタQ7,Q8及びCMOSインバータ12
から構成されている。MOSトランジスタQ5,Q6の
ソースはそれぞれ電源Vccに接続され、各ドレインと電
位VL 間にはMOSトランジスタQ7,Q8のドレイ
ン,ソース間が接続される。MOSトランジスタQ7の
ゲートは上記MOSトランジスタQ6,Q8のドレイン
共通接続点に接続され、MOSトランジスタQ8のゲー
トは上記MOSトランジスタQ5,Q7のドレイン共通
接続点に接続される。上記MOSトランジスタQ5のゲ
ートには入力信号INが供給され、上記MOSトランジ
スタQ6のゲートには上記入力信号INがインバータ1
2を介して供給される。そして、上記MOSトランジス
タQ6とQ8との接続点から出力信号OUTを、上記M
OSトランジスタQ5とQ7との接続点から上記出力信
号OUTの反転信号/OUTを得るようになっている。
この図13に示す回路では、出力信号OUT,/OUT
の“H”レベルはVccのままであるが、“L”レベルが
電位VL に変換される。
【0005】なお、図12に示した回路におけるPチャ
ネル型MOSトランジスタQ1,Q2は、電位VH でバ
イアスされるNウェル領域内に形成され、図13に示し
た回路におけるNチャネル型MOSトランジスタQ7,
Q8は、電位VL でバイアスされるPウェル領域内に形
成される。
【0006】次に、フラッシュメモリの行デコード回路
について考えてみる。フラッシュメモリのセルトランジ
スタにおけるデータの書き込み時及び消去時の印加電位
はそれぞれ図14及び図15に示すようになる。図14
及び図15はそれぞれセルトランジスタの断面構成と印
加される電位を示しており、図において13は半導体基
板、14はソース、15はドレイン、16はトンネル酸
化膜、17はフローティングゲート、18は絶縁膜(イ
ンターポリ絶縁膜と呼ばれる)、19はコントロールゲ
ートである。
【0007】書き込み時には、図14に示す如くソース
14を接地し、コントロールゲート19に電位Vg (V
g =Vpr>Vcc)、ドレイン15に電位Vd (Vd >
0)をそれぞれ印加する。これによって、フローティン
グゲート17中にホットエレクトロンが注入されて書き
込みが行われる。一方、消去時には、図15に示すよう
にソース14に正の高電位Vs (Vs >0)、コントロ
ールゲート19に負の高電位Vg (Vg =Ver<0)を
印加することにより、トンネル酸化膜16に高電界を印
加し、トンネル電流によりフローティングゲート17中
のエレクトロンを引き抜く(負ゲート消去と呼ばれ
る)。負ゲート消去では、コントロールゲート19に負
電位を印加するので、コントロールゲートに接地電位を
印加して消去を行う方法(ソース消去と呼ばれる)に比
べてソース14に印加する電位を低く抑えることができ
る。
【0008】また、プログラムのベリファイ時には、フ
ローティングゲート17の電位をVccより高く設定して
閾値電圧Vthのチェックを行う。上記コントロールゲー
ト19は、メモリセルアレイ中のワード線に相当するた
め、コントロールゲート19、すなわちワード線を駆動
する行デコード回路は、書き込み時あるいはベリファイ
時にはVccよりも高い電位を、消去時には負電位をワー
ド線に出力することが必要となる。上述した書き込みモ
ード、消去モード及びベリファイモードにおける各電位
H 、電位VL 及びワード線電位をまとめると表1に示
すようになる。
【0009】
【表1】
【0010】このような行デコード回路に上記図12及
び図13に示したレベル変換回路を適用すると図16に
示すようになる。図16は行デコード回路における1本
のワード線に対応する回路部を抽出して示している。ア
ドレス信号Addはデコーダ20に供給され、このデコー
ダ20から出力されるデコード信号SELがラッチ回路
21に供給される。ラッチ回路21はラッチ信号/LA
Tに応答して上記デコード信号SELをラッチする。上
記ラッチ回路21の出力信号は図13に示したレベル変
換回路22に供給され、“L”レベルが電位VL に変換
されて図12に示したレベル変換回路23に供給され
る。このレベル変換回路23によって、レベル変換回路
22の出力信号の“H”レベルが電位VH に変換されて
ワード線に出力される。これによって、ワード線に供給
される信号の“H”レベルはVH 、“L”レベルはVL
となる。なお、上記図16に示す回路では、図12及び
図13に示されたレベル変換回路における出力信号/O
UTを用いる。
【0011】アドレス信号Addがデコードされると、選
択されたワード線に対応するデコード信号SELが
“H”レベルに、非選択のワード線に対応するデコード
信号SELは“L”レベルになる。このデコード信号S
ELの“H”レベルはVcc、“L”レベルはGNDであ
る。上記ラッチ回路21は例えば図17に示すようなセ
ットリセット型フリップフロップ回路で構成され、リセ
ット入力端に供給されるラッチ信号/LATが“H”レ
ベルであれば、出力信号OUTとして入力信号INの
“H”レベルと“L”レベルがそのまま転送される。一
方、ラッチ信号/LATが“L”レベルになると、セッ
ト入力端に供給される入力信号INが“L”レベルの時
には出力信号OUTは“L”レベルを保持し、その後1
度でも入力信号INが“H”レベルになると出力信号O
UTは“H”レベルに反転した状態で保持される。
【0012】上記のような構成において、書き込み時に
は、ラッチ回路21のラッチ信号/LAHが“H”レベ
ルとなり、且つ電位VL はGNDレベルである。アドレ
ス信号AddのデコードはVH =Vccで行われるが、確定
後、電位VH はVccレベルからVppレベルに変化する。
よって、アドレス信号Addで選択されたワード線のみが
Vprレベルとなり、他のワード線(非選択のワード線)
はGNDレベルとなる。
【0013】これに対し、消去時には、電位VH がVcc
レベルになる。また、電位VL をGNDレベルにして全
てのアドレスを非選択、つまり全ワード線のデコード信
号SELを“L”レベルにした状態でラッチ信号/LA
Tを“H”レベルから“L”レベルにする。これによっ
て、まず、全てのワード線が非選択状態にラッチされ
る。次に、消去を行いたくないワード線に対してのみ順
次アドレス選択を行うと、そのワード線のデコード信号
SELのみが“H”レベルとなり、ラッチデータが反転
して選択状態になる。この状態で、電位VL をGNDレ
ベルから負電位Verに変化させると、非選択状態にラッ
チされたワード線のみが負電位Verになって消去が行わ
れる(選択と非選択が消去されるワード線と逆にな
る)。選択状態のワード線はVccレベルのままであり消
去されない。
【0014】このようにして、レベル変換が必要な各動
作モードにおいて所望の動作をさせることができる。次
に、読み出し動作について考える。データの読み出し時
には、ワード線は通常はVccレベルであるので、ラッチ
信号/LATを“H”レベル、電位VL をGNDレベ
ル、電位VH をVccレベルにしてアドレス信号Addをデ
コードする。この時、ラッチ回路21、レベル変換回路
22及びレベル変換回路23はそれぞれ、入力信号をそ
のまま転送していることになり、ゲート遅延分だけデコ
ードが遅れている。
【0015】ここで、上記行デコード回路の構成をソー
ス消去型フラッシュメモリの場合と比べてみる。ソース
消去型では、消去時にセルトランジスタのコントロール
ゲートをGNDレベルにしてソースのみを高電位とす
る。よって、ワード線を負にバイアスする必要はなく、
当然、ワード線間で選択と非選択の別もなくなるため、
ラッチ回路21とレベル変換回路22が必要ないので、
図18に示すような構成で良い。よって、上述した負ゲ
ート消去型の行デコード回路は、ラッチ回路21とレベ
ル変換回路22が介在される分アクセスタイムが悪化し
ていることになる。特に、従来のレベル変換回路は、図
12及び図13に示したように、フィードバック型の回
路構成をしており、Pチャネル型MOSトランジスタと
Nチャネル型MOSトランジスタのレシオをアンバラン
スにして強制反転動作を行っているため、通常のインバ
ータ等に比べてゲート遅延が大きい。また、電源の低電
圧化(例えば5Vから3.3V)に対応して、Vcc回路
系のトランジスタと、書き込み及び消去時に高電位動作
をする回路のトランジスタを別々に形成し、前者はゲー
ト酸化膜を薄くして閾値電圧Vthを低く、後者はゲート
酸化膜を厚くして閾値電圧Vthを高くした場合を考え
る。このように構成するのは、高電圧動作に対応してゲ
ート酸化膜厚を厚くし、閾値電圧Vthを高くしたトラン
ジスタを低電圧化された電源Vccで動作させようとする
と非常にパフォーマンスが悪いことによる。しかし、図
16に示したような構成では、読み出し時に必然的に高
電圧用トランジスタをVcc動作させることが必要であ
り、ますます遅くなることになる。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
のレベル変換回路は、通常のインバータ等に比べてゲー
ト遅延が大きいという問題があった。また、従来のレベ
ル変換回路を負ゲート消去型フラッシュメモリの行デコ
ード回路に用いた場合、読み出し時のデコード動作が遅
くなり、アクセスタイムの悪化を招くという問題があっ
た。しかも、電源の低電圧化に対応させようとするとア
クセスタイムはますます遅くなる。
【0017】この発明は上記のような事情に鑑みてなさ
れたもので、その目的とするところは、ゲート遅延を低
減して動作速度の高速化を図れるレベル変換回路を提供
することにある。
【0018】また、この発明の他の目的は、負ゲート消
去型フラッシュメモリの行デコード回路に適用した時
に、アクセスタイムの高速化が図れるレベル変換回路を
提供することにある。
【0019】この発明の更に他の他の目的は、“H”レ
ベルと“L”レベルのレベル変換を一段で実現でき、入
力信号のラッチ動作も可能となり、動作速度の低下を招
くことなく電源の低電圧化に対応でき、負ゲート消去型
フラッシュメモリの行デコード回路への適用に好適なレ
ベル変換回路を提供することにある。
【0020】
【課題を解決するための手段】この発明のレベルシフト
回路は、第1の電位供給源の電位と第2の電位供給源の
電位との間の電圧を電源として動作する第1の反転手段
と、入力端が上記第1の反転手段の出力端に接続され、
出力端が上記第1の反転手段の入力端に接続され、上記
第1の電位供給源と上記第2の電位供給源との間の電圧
を電源として動作する第2の反転手段と、上記第1の反
転手段の入力端と第3の電位供給源との間に直列接続さ
れた第1導電型の第1,第2トランジスタと、上記第2
の反転手段の入力端と上記第3の電位供給源との間に直
列接続された第1導電型の第3,第4トランジスタと、
第1の制御信号の低レベルを上記第2の電位供給源の電
位に変換して上記第1,第3トランジスタに供給して制
御する制御手段と、高レベルが第4の電位供給源の電
位、低レベルが上記第3の電位供給源の電位の入力信号
が供給され、この入力信号の反転信号を上記第4トラン
ジスタに供給して制御する論理手段とを具備し、上記第
2トランジスタに上記入力信号を供給して制御し、上記
第1の反転手段の出力端及び上記第2の反転手段の出力
端の少なくとも一方から出力信号を得ることを特徴とす
る。
【0021】
【作用】上記構成において、第1の反転手段と第2の反
転手段はラッチ回路を構成しており、制御信号のレベル
に応じてこのラッチ回路のラッチ動作が制御される。制
御信号が高レベルの時には、入力信号とその反転信号に
応じたデータがラッチされ、制御信号が低レベルの時に
はラッチしたデータが保持される。上記第1,第2の反
転手段は、第1の電位供給源と第2の電位供給源との間
の電圧を電源として動作し、これら反転手段の出力端の
少なくとも一方から第1の電位供給源の電位と第2の電
位供給源の電位にレベル変換された出力信号を得る。
【0022】
【実施例】以下、この発明の一実施例について図面を参
照して説明する。図1は、この発明の第1の実施例に係
るレベル変換回路の構成例を示している。このレベル変
換回路は、Pチャネル型MOSトランジスタQ9,Q1
2、Nチャネル型MOSトランジスタQ10,Q11,
Q13〜Q18、電源電位Vccと電位VL で動作するC
MOSインバータ24及びCMOSインバータ25から
構成されている。MOSトランジスタQ9〜Q11の電
流通路は電位VH とVL との間に直列接続され、MOS
トランジスタQ12〜Q14の電流通路は電位VHとVL
との間に直列接続される。上記MOSトランジスタQ
9,Q11のゲートはMOSトランジスタQ12とQ1
3との接続点に接続され、上記MOSトランジスタQ1
2,Q14のゲートはMOSトランジスタQ9とQ10
との接続点に接続される。上記MOSトランジスタQ1
0,Q13のゲートにはラッチ信号LATが供給されて
オン/オフ制御される。また、上記MOSトランジスタ
Q9,Q12のバックゲートは電位VH に接続され、上
記MOSトランジスタQ10,Q11,Q13,Q14
のバックゲートは電位VL に接続される。すなわち、M
OSトランジスタQ9,Q12は、電位VH でバイアス
されるNウェル領域中に形成され、MOSトランジスタ
Q10,Q11,Q13,Q14は、電位VH でバイア
スされるNウェル領域中に形成される。
【0023】上記MOSトランジスタQ12,Q13の
接続点と接地点GNDとの間にはMOSトランジスタQ
16,Q15の電流通路が直列接続され、上記MOSト
ランジスタQ9,Q10の接続点と接地点GNDとの間
にはMOSトランジスタQ18,Q17の電流通路が直
列接続される。上記MOSトランジスタQ15のゲート
には入力信号INが供給され、上記MOSトランジスタ
Q17のゲートには、電源電位Vccと接地電位GNDと
の間の電圧で動作するCMOSインバータ25で反転さ
れた入力信号/INが供給される。また、上記MOSト
ランジスタQ16,Q18のゲートには、消去信号ER
Sが電源電位Vccと電位VL との間の電圧で動作するC
MOSインバータ24を介して供給される。上記各MO
SトランジスタQ15〜Q18のバックゲートは、接地
点GNDに接続されている。そして、上記MOSトラン
ジスタQ9,Q10の接続点から出力信号OUTを出力
し、上記MOSトランジスタQ12,13の接続点から
上記出力信号OUTの反転信号/OUTを出力する。
【0024】次に、上記のような構成において各モード
の動作について図2のタイミングチャートを参照しつつ
説明する。書き込み時には、ラッチ信号LATを“L”
レベル、電位VL は接地電位GND、消去信号ERSは
“L”レベルとなる。アドレスのデコードは、電位VH
はVccレベルで行われるが、確定後この電位VH はVcc
レベルから高電位Vprに変化する。ラッチ信号LATの
“L”レベルにより、MOSトランジスタQ10,Q1
3は非導通状態にあるため、DC的にはMOSトランジ
スタQ10,Q11,Q13,Q14及び電位VL は接
続されていないのと等価である。また、AC的にはMO
SトランジスタQ11のゲート容量とMOSトランジス
タQ13のドレイン容量がノードN1 に、MOSトラン
ジスタQ14のゲート容量とMOSトランジスタQ10
のドレイン容量がノードN2 にそれぞれ付随している
が、MOSトランジスタQ10,Q11,Q13,Q1
4のサイズをQ15〜Q18に比べて十分小さくするこ
とにより、AC的にもほとんど影響をなくすことができ
る。
【0025】更に、MOSトランジスタQ16,Q18
はゲートがVccレベルになり、導通状態にあるため、図
1に示す回路は、書き込み時においては図12に示した
レベル変換と実質的に等しい回路になっており、電位V
H がVccレベルでのゲート遅延もほぼ同等と見做せる。
【0026】ベリファイ時も、書き込み時と同様であ
る。よって、図1に示した回路の“H”レベル側のレベ
ル変換は、図12に示した回路と実質的に同様になる。
消去時には、まず消去信号ERSを“L”レベル、電位
L をGNDレベル、電位VH をVccレベル、ラッチ信
号LATを“L”レベルとし、入力信号INを確定す
る。この時、出力信号OUT及び/OUTはそれぞれ、
入力信号INが“H”レベルならばVccレベルとGND
レベル、また入力信号INが“L”レベルならばGND
レベル(=VL )とVccレベルとなる。ここで、ラッチ
信号LATを“H”レベルとすると、MOSトランジス
タQ9〜Q11、及びMOSトランジスタQ12〜Q1
4はそれぞれインバータ動作を行うので、前述した状態
はこの2つのインバータでラッチされる。次に、消去信
号ERSを“H”レベルに設定する。MOSトランジス
タQ16,Q18のゲートは電位VL (=GNDレベ
ル)となり、これらMOSトランジスタQ16,Q18
は非導通となる。この結果、入力信号INと/INのレ
ベルは反映されなくなるが、前の状態がラッチされてい
るため、出力信号OUTと/OUTのレベルは保持され
る。消去信号ERSが“H”レベルになると同時に、電
位VL はチャージポンプ回路により負電位に降圧されて
行く。出力信号OUTまたは/OUTの“L”レベル側
のノードは電位VL であるのでこのノードも負電位とな
る。この時、MOSトランジスタQ15,Q17のゲー
トはVccレベルまたはGNDレベルであるので、“L”
レベル側はオンしてしまうが、MOSトランジスタQ1
6,Q18のゲートは電位VL であり、必ずオフするの
で接地点GNDへの電流パスは遮断される。よって、負
電位へのレベル変換が可能となる。なお、MOSトラン
ジスタQ10,Q11,Q13,Q14のサイズは、M
OSトランジスタQ15,Q17に比べて小さくともラ
ッチ機能に対して何等問題はない。
【0027】上述したように、図1に示すレベル変換回
路は、一段のレベル変換回路で“H”レベル側と“L”
レベル側のレベル変換が可能である。図3は、この発明
の第2の実施例に係るレベル変換回路を示すもので、図
1に示した回路におけるMOSトランジスタQ10,Q
13を省略したものである。図3において前記図1と同
一構成部には同じ符号を付してその詳細な説明は省略す
る。この図3に示す回路は、図1に示した回路において
ラッチ信号LATが常に“H”レベルとなっていること
に相当する。しかしながら、前述したようにMOSトラ
ンジスタQ15,Q17のサイズをMOSトランジスタ
Q9,Q10,Q12,Q13に比べて十分大きくする
ことが可能であるので、図1に示した回路に比してゲー
ト遅延は若干増加するが、レベル変換機能には何等影響
はなく、図2のタイミングチャートに示したようなレベ
ル変換動作が可能である。
【0028】次に、R/S型のラッチ機能について考え
る。従来技術で述べたように、負ゲート消去を行うフラ
ッシュメモリの行デコード回路では、消去したくないワ
ード線は選択状態に保持し、負電位にしないことが必要
である。このためには、図4に示すように、前述した図
1の回路におけるインバータ25に代えて2入力ノアゲ
ート26を設ければ良い。すなわち、ノアゲート26の
一方の入力端に入力信号INを供給し、他方の入力端に
ラッチ信号LATを供給する。そして、上記ノアゲート
の出力信号をMOSトランジスタQ17のゲートに供給
する。
【0029】上記のような構成において、消去時に、出
力信号OUT,/OUTをラッチする段階で、まず入力
信号INを“L”レベルとした状態でラッチ信号LAT
を“H”レベルに設定する。これによって、出力信号O
UTは“L”レベル、つまり非選択状態にラッチされ、
ノアゲート26の出力信号は“L”レベルに固定され
る。ここで、消去したくない場合は、アドレスを選択し
て入力信号INを“H”レベルにすると、MOSトラン
ジスタQ15がオンとなり、出力信号/OUTはGND
レベルに、出力信号OUTはVccレベルにと選択状態に
反転する。その後、入力信号INが“L”レベルに戻っ
ても、ノアゲート25の出力信号/INが“L”レベル
に固定されているので、出力信号/OUTとOUTは選
択状態に戻ることはない。これにより、従来技術同様の
負電位の選択印加が可能となる。
【0030】なお、図5に示すように、上記図3に示し
た回路におけるインバータ25に代えてノアゲート26
を設けても良いのは勿論である。また、上述した第1な
いし第4の実施例の回路では、各MOSトランジスタQ
9〜Q14が|Vcc|+|Ver|のゲート電位で動作を
行うことになるが、ドレイン耐圧やゲート酸化膜耐圧が
問題となる場合は、図6のタイミングチャートに示すよ
うに、VL レベルがVccより低い所定の電位VT 以下に
ある間は、電位VH 、ラッチ信号LAT、入力信号I
N、及びインバータ24(またはノアゲート26)の電
源Vccをそれぞれ接地電位GNDに落とすことでゲート
電位を|Ver|に緩和できる。この際、接地電位GND
と電位Verとの電位差がVcc以上あるので、ラッチ動作
に支障はない。また、消去を行いたくないワード線のレ
ベルが、電源電位Vccではなく接地電位GNDとなるた
め、各種ディスターブ的にも望ましくなる。
【0031】上述したように、“H”レベルの変換、
“L”レベルの変換及び“L”レベル変換の有無の選択
に対するラッチ機能を一段のレベル変換回路で得られる
ため、負ゲート消去のためのデコードをソース消去のた
めのデコードと同等の速度で実現できる。また、“L”
レベル側のレベル変換をラッチを用いて行っているた
め、負電位の印加時に“H”レベル側をGNDレベルに
できるので動作電位を緩和できる。更に、負バイアスを
印加しないワード線のレベルを接地電位GNDにできる
ことになり、ソースとゲートのバイアスによるディスタ
ーブの回避や、リダンダンシにより救済された不良ワー
ド線へのストレスの印加を回避できる。
【0032】図7は、上述したレベル変換回路をフラッ
シュメモリにおける行デコード回路に適用した場合の構
成例を示している。図7に示す回路は、フラッシュメモ
リにおけるロウデコード回路と消去動作に関係する周辺
回路部を抽出して示している。外部から供給されたアド
レス信号Addは、アドレスバッファ31に入力され、こ
のアドレスバッファ31の出力がアドレスマルチプレク
サ32及びアドレスラッチ回路33に供給される。この
アドレスラッチ回路33の出力及びアドレスカウンタ3
4の出力はそれぞれ、上記アドレスマルチプレクサ32
に供給され、アドレスバッファ31、アドレスラッチ回
路33及びアドレスカウンタ34のいずれかの出力が選
択され、内部アドレスバスABに出力される。内部アド
レスバスABに出力されたアドレス信号は、ロウプリデ
コーダ35及びコンパレータ36に供給される。上記ロ
ウプリデコーダ35はアンドゲート37,37,…から
構成されており、それぞれに上記内部アドレスバスAB
を介して供給されたアドレス信号のうちロウアドレス信
号RAddが供給される。また、各アンドゲート37,3
7,…には、ノアゲート38から出力されるロウプリデ
コーダ35の活性化信号PREが供給されて動作が制御
される。
【0033】上記コンパレータ36は、上記内部アドレ
スバスABを介して供給されたアドレスとリダンダンシ
ROM39に記憶された不良アドレスとを比較し、一致
した時に一致信号HITを出力する。リダンダンシRO
M39は、不良セルのアドレスを記憶するもので、この
ROM39にはロウリダンダンシであればロウアドレス
の本数だけのビット数を記憶できるようになっている。
一方、不良ワード線を一本毎に置き換えるのであれば、
リダンダンシROM39には全てのロウアドレスを記憶
する。また、2ロウ、4ロウといったように、2のn乗
本をまとめての置き換えを行うのであれば、記憶するア
ドレスはnビットだけ減ることになる。このデータは、
フラッシュメモリセルを用いて記憶しても良いし、ポリ
シリコンを用いたヒューズを設けてレーザで溶断するこ
とにより不良アドレスを記憶させる方法を採用しても良
い。
【0034】このように、不良アドレスをリダンダンシ
ROM39に記憶させておき、選択されたアドレスが不
良アドレスと一致するかをコンパレータ36で常にチェ
ックする。選択されたアドレスが不良アドレスと一致し
た場合は、一致信号HITが“H”レベルとなる。これ
によって活性化信号PREが“L”レベルとなり、プリ
デコーダ35を非活性化し、不良行を非選択状態にする
とともに、スペアロウデコーダ45内のレベル変換回路
46の出力でスペアワード線SWLが駆動され、スペア
セルへの置換が行われる。これらの置換はEPROMと
同様である。消去時においては、ワード線WLは一括動
作であり全て非選択状態となり、スペアロウを含めて一
括消去されるため、特にリダンダンシによる制御は行わ
れない。
【0035】上記ノアゲート38には、上記一致信号H
ITと消去信号ERSが供給され、入力されたアドレス
と不良アドレスとが一致した時、及び消去状態の時にロ
ウプリデコーダ35の出力を禁止(“L”レベルに固
定)するようになっている。
【0036】上記ロウプリデコーダ35から出力される
ロウプリデコード信号RPDは、メインデコーダ40に
供給される。メインデコーダ40中には、メモリセルア
レイ41内の各ワード線WLに対応してアンドゲート4
2,42,…、レベル変換回路43,…が設けられてい
る。各レベル変換回路43,…としては、上述した第1
ないし第4の実施例の回路を用いる。
【0037】上記メモリセルアレイ41は、一括して同
時に消去されるセルブロックであり、図示しないが各セ
ルトランジスタのソースはアレイ41内で共通接続さ
れ、消去時には消去電位でバイアスされる。また、書き
込み及び読み出し等の他の動作時には共通ソースは接地
される。一方、各セルトランジスタのドレインは、上記
ワード線WLと直交して配置されたビット線に列毎に共
通接続されている。これらドレインは、消去時は前述し
たようにオープンとなるため特別なデコード操作は不要
であるのでここでは省略している。
【0038】また、上記コンパレータ36から出力され
る一致信号HITは、上述したようにスペアロウデコー
ダ45に供給される。このスペアロウデコーダ45に
は、第1ないし第4の実施例のレベル変換回路46が含
まれており、この回路46の出力でスペアワード線SW
Lを駆動する。図7では説明を簡単にするために、スペ
アワード線SWLが1本の場合を示しているが、複数本
のスペアワード線を設け、スペアロウデコーダ45でこ
れらのワード線を選択して用いても良いのは勿論であ
る。
【0039】次に、上記のような構成において概略的に
動作を説明する。読み出し及び書き込み時には、メモリ
セルアレイ41内の各ワード線WLはロウアドレスRA
ddに応じて一本ずつ選択される必要がある。図7に示す
回路では、外部入力あるいはチップ内部のアドレスカウ
ンタ等によって指定されたロウアドレスRAddをプリデ
コーダ35でデコードした後、更にメインデコーダ40
でデコードして一本のワード線WLを選択するようにな
っている。
【0040】上記レベル変換回路43,46は、“H”
レベルと“L”レベルのレベル変換を一段で行うように
なっており、アンドゲート42,42,…の出力信号ま
たは一致信号HITのラッチ動作も可能となっている。
しかも、アクセス速度の低下を招くことなく電源の低電
圧化に対応できる。よって、図7に示したような負ゲー
ト消去型フラッシュメモリの行デコード回路に好適であ
る。
【0041】図8は、この発明のレベル変換回路の他の
行デコード回路への適用例を示すもので、二重ワード線
構造のフラッシュメモリにおける行デコード回路に適用
したものである。図8において、511 ,512 ,51
3 ,…,51n はプリデコーダ、521 ,522 ,…は
メインデコーダ、531 ,532 ,…,53n-1 はサブ
デコーダ、541 ,542 ,…,54n-1 はサブアレ
イ、MWL,MWL,…はメインワード線、WL,W
L,…はワード線である。上記プリデコーダ511,5
2 ,513 ,…,51n 及びメインデコーダ521
522 ,…内にはそれぞれ、図1、図3、図4及び図5
に示したようなレベル変換回路が設けられている。
【0042】アドレス信号Addは、プリデコーダ51
1 ,512 ,513 ,…,51n に供給されてデコード
される。プリデコーダ511 から出力されるプリデコー
ド信号PRDaはメインデコーダ521 ,522 ,…
に、プリデコーダ512 ,513,…,51n から出力
されるプリデコード信号PRDbはサブデコーダ53
1 ,532 ,…,53n-1 にそれぞれ供給される。メイ
ンデコーダ521 ,522 ,…によってメインワード線
MWL,MWL,…が選択され、これらメインワード線
MWL,MWL,…に供給されたメインデコーダ52
1 ,522 ,…の出力信号とプリデコーダ512 ,51
3 ,…,51n から出力されるプリデコード信号PRD
bとに基づいてサブデコーダ531 ,532 ,…,53
n-1 によりワード線WL,WL,…が選択されるように
なっている。
【0043】図9は、上記図8に示した回路におけるメ
インデコーダ521 ,522 ,…の構成例を一対のメイ
ンワード線MWLi,/MWLiに着目して示してい
る。例えばアンドゲートからなるメインデコード部55
でプリデコード信号PRDaがデコードされ、このデコ
ード出力がレベル変換回路56に供給される。このレベ
ル変換回路56は、図1、図3、図4または図5に示し
た回路と同様な構成になっており、デコード部55の出
力信号をレベル変換してメインワード線MWLiに出力
する。また、このレベル変換回路56の出力信号を電位
H とVL を電源として動作するインバータ57を介し
てメインワード線/MWLiに出力する。
【0044】図10は、上記図8に示した回路における
プリデコーダ512 ,513 ,…,51n の構成例を1
ビットのプリデコード信号PRDbに着目して示してい
る。アンドゲートからなるプリデコード部58にはアド
レス信号Addが供給され、このプリデコード部58の出
力信号がレベル変換回路59に供給される。このレベル
変換回路59は、図1、図3、図4または図5に示した
回路と同様な構成になっており、デコード部58の出力
信号をレベル変換してプリデコード信号をPRDbを出
力する。
【0045】図11は、上記図9に示した回路における
サブデコーダ531 ,532 ,…,53n-1 の構成例を
1つのサブアレイ541 に着目して示している。サブア
レイ541 中の各ワード線WLは、一対のトランスファ
ゲート601 または602 を介して駆動される。一方の
トランスファゲート601 の一端にはプリデコード信号
PRDbが供給され、他端にはワード線WLが接続され
る。他方のトランスファゲート602 の一端は上記ワー
ド線WLに接続され、他端には電位VL が印加される。
そして、両トランスファゲート601 ,602 のNチャ
ネル型MOSトランジスタ61とPチャネル型MOSト
ランジスタ62のゲートにはメインワード線MWLiが
接続され、両トランスファゲート601 ,602 のPチ
ャネル型MOSトランジスタ63とNチャネル型MOS
トランジスタ64のゲートにはメインワード線/MWL
iが接続される。
【0046】上記のような二重ワード線構造の行デコー
ド回路であっても基本的な動作は図7に示した行デコー
ド回路と同様であり、この行デコード回路に第1ないし
第4の実施例に示したレベル変換回路を設ければ、
“H”レベルと“L”レベルのレベル変換を一段で実現
できる。しかも、アンドゲート55,58の出力信号の
ラッチ動作も可能となり、アクセス速度の低下を招くこ
となく電源の低電圧化に対応できる。
【0047】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、ゲート遅延を低減して動作速度の高速化を図れるレ
ベル変換回路が得られる。また、負ゲート消去型フラッ
シュメモリの行デコード回路に適用した時に、アクセス
タイムの高速化が図れるレベル変換回路が得られる。
“H”レベルと“L”レベルのレベル変換を一段で実現
でき、入力信号のラッチ動作も可能となり、動作速度の
低下を招くことなく電源の低電圧化に対応でき、負ゲー
ト消去型フラッシュメモリの行デコード回路への適用に
好適なレベル変換回路が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1の実施例に係るレベル変換回路
を示す回路図。
【図2】図1に示した回路の動作を説明するためのタイ
ミングチャート。
【図3】この発明の第2の実施例に係るレベル変換回路
を示す回路図。
【図4】この発明の第3の実施例に係るレベル変換回路
を示す回路図。
【図5】この発明の第4の実施例に係るレベル変換回路
を示す回路図。
【図6】この発明の第1ないし第4の実施例におけるド
レイン耐圧及びゲート酸化膜耐圧による問題を回避する
ためにゲート電位を緩和する動作について説明するため
のタイミングチャート。
【図7】この発明のレベル変換回路をフラッシュメモリ
における行デコード回路に適用した場合の構成例を説明
するためのもので、ロウデコード回路と消去動作に関係
する周辺回路部を抽出して示す回路図。
【図8】この発明のレベル変換回路の他の行デコード回
路への適用例を説明するためのもので、二重ワード線構
造の行デコード回路に適用する場合の回路図。
【図9】図8に示した回路におけるメインデコーダ部の
構成例を示す回路図。
【図10】図8に示した回路におけるプリデコーダ部の
構成例を示す回路図。
【図11】図8に示した回路におけるサブデコーダ部の
構成例を示す回路図。
【図12】従来の“H”レベルのレベル変換を行うレベ
ル変換回路を示す回路図。
【図13】従来の“L”レベルのレベル変換を行うレベ
ル変換回路を示す回路図。
【図14】フラッシュメモリのセルトランジスタにおけ
るデータの書き込み時の印加電位について説明するため
の断面図。
【図15】フラッシュメモリのセルトランジスタにおけ
るデータの消去時の印加電位について説明するための断
面図。
【図16】負ゲート消去型のフラッシュメモリにおける
行デコード回路に、図12及び図13に示したレベル変
換回路を適用した場合の構成を1本のワード線に着目し
て示す回路図。
【図17】図16に示した回路におけるラッチ回路の構
成例を示す回路図。
【図18】ソース消去型のフラッシュメモリにおける行
デコード回路を1本のワード線に着目して示す回路図。
【符号の説明】
Q9,Q12…Pチャネル型MOSトランジスタ、Q1
0,Q11,Q13〜Q18…Nチャネル型MOSトラ
ンジスタ、24…インバータ(制御手段)、25…イン
バータ(論理手段)、VH …第1の電位供給源、VL
第2の電位供給源、GND…第3の電位供給源、Vcc…
第4の電位供給源、IN…入力信号、OUT,/OUT
…出力信号、LAT…ラッチ信号、ERS…消去信号。
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 29/792

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1の電位供給源の電位と第2の電位供
    給源の電位との間の電圧を電源として動作する第1の反
    転手段と、入力端が上記第1の反転手段の出力端に接続
    され、出力端が上記第1の反転手段の入力端に接続さ
    れ、上記第1の電位供給源と上記第2の電位供給源との
    間の電圧を電源として動作する第2の反転手段と、上記
    第1の反転手段の入力端と第3の電位供給源との間に直
    列接続された第1導電型の第1,第2トランジスタと、
    上記第2の反転手段の入力端と上記第3の電位供給源と
    の間に直列接続された第1導電型の第3,第4トランジ
    スタと、第1の制御信号の低レベルを上記第2の電位供
    給源の電位に変換して上記第1,第3トランジスタに供
    給して制御する制御手段と、高レベルが第4の電位供給
    源の電位、低レベルが上記第3の電位供給源の電位の入
    力信号が供給され、この入力信号の反転信号を上記第4
    トランジスタに供給して制御する論理手段とを具備し、
    上記第2トランジスタに上記入力信号を供給して制御
    し、上記第1の反転手段の出力端及び上記第2の反転手
    段の出力端の少なくとも一方から出力信号を得ることを
    特徴とするレベル変換回路。
  2. 【請求項2】 前記第1,第2の反転手段はそれぞれ、
    ソースが前記第1の電位供給源に接続される第2導電型
    の第5トランジスタと、ドレインが上記第5トランジス
    タのドレインに接続され、ソースが前記第2の電位供給
    源に接続された第1導電型の第6トランジスタとからな
    る相補型インバータであることを特徴とする請求項1に
    記載のレベル変換回路。
  3. 【請求項3】 前記第1,第2の反転手段はそれぞれ、
    ソースが前記第1の電位供給源に接続される第2導電型
    の第5トランジスタと、ドレインが上記第5トランジス
    タのドレインに接続され、ゲートに第2の制御信号が供
    給される第1導電型の第6トランジスタと、ドレインが
    上記第6トランジスタのソースに接続され、ゲートが上
    記第5トランジスタのゲートに共通接続され、ソースが
    前記第2の電位供給源に接続された第1導電型の第7ト
    ランジスタとからなることを特徴とする請求項1に記載
    のレベル変換回路。
  4. 【請求項4】 前記制御手段は、前記第3の電位供給源
    の電位と前記第2の電位供給源の電位との間の電圧を電
    源として動作するインバータからなることを特徴とする
    請求項1に記載のレベル変換回路。
  5. 【請求項5】 前記論理手段は、前記第3の電位供給源
    の電位と前記第4の電位供給源の電位との間の電圧を電
    源として動作する相補型インバータからなることを特徴
    とする請求項1または2に記載のレベル変換回路。
  6. 【請求項6】 前記論理手段は、一方の入力端に前記入
    力信号が供給され、他方の入力端に第3の制御信号が供
    給され、前記第3の電位供給源の電位と前記第4の電位
    供給源の電位との間の電圧を電源として動作するノアゲ
    ートからなることを特徴とする請求項1または3に記載
    のレベル変換回路。
  7. 【請求項7】 前記入力信号としてロウデコード信号を
    供給し、前記第1の制御信号として消去信号を供給し、
    前記出力信号をワード線に供給することにより、負ゲー
    ト消去型フラッシュメモリの選択されたロウのセルトラ
    ンジスタを駆動することを特徴とする請求項1に記載の
    レベル変換回路。
  8. 【請求項8】 前記第3の電位供給源の電位は接地レベ
    ル、前記第4の電位供給源の電位は電源レベルであり、
    書き込み時には前記第1の電位供給源の電位は前記電源
    レベルよりも高く、前記第2の電位供給源の電位は接地
    レベルであり、消去時には前記第1の電位供給源の電位
    は電源レベル、前記第2の電位供給源の電位は接地レベ
    ルよりも低いことを特徴とする請求項7に記載のレベル
    変換回路。
  9. 【請求項9】 ソースが第1の電位供給源に接続された
    Pチャネル型の第1MOSトランジスタと、ドレインが
    上記第1MOSトランジスタのドレインに接続され、ソ
    ースが第2の電位供給源に接続されたNチャネル型の第
    2MOSトランジスタと、ソースが上記第1の電位供給
    源に接続され、ゲートが上記第1,第2MOSトランジ
    スタのドレイン共通接続点に接続され、ドレインが上記
    第1,第2MOSトランジスタのゲートにそれぞれ接続
    されたPチャネル型の第3MOSトランジスタと、ドレ
    インが上記第3MOSトランジスタのソースに接続さ
    れ、ソースが上記第2の電位供給源に接続され、ゲート
    が上記第3MOSトランジスタのゲートに接続されたN
    チャネル型の第4MOSトランジスタと、上記第1,第
    2MOSトランジスタのゲートと第3の電位供給源間に
    直列接続されたNチャネル型の第5,第6MOSトラン
    ジスタと、上記第3,第4MOSトランジスタのゲート
    と上記第3の電位供給源間に直列接続されたNチャネル
    型の第7,第8MOSトランジスタとを具備し、上記第
    5,第7MOSトランジスタのゲートに高レベルが第4
    の電位供給源の電位、低レベルが上記第2の電位供給源
    の電位となる制御信号を供給し、上記第6MOSトラン
    ジスタのゲートに高レベルが上記第4の電位供給源の電
    位、低レベルが上記第3の電位供給源の電位となる入力
    信号を供給し、上記第8MOSトランジスタのゲートに
    上記入力信号の反転信号を供給するようにして成り、上
    記第1,第2MOSトランジスタのドレイン共通接続点
    及び上記第3,第4MOSトランジスタのドレイン共通
    接続点の少なくとも一方から出力信号を得ることを特徴
    とするレベル変換回路。
  10. 【請求項10】 前記入力信号としてロウデコード信号
    を供給し、前記制御信号として消去信号を供給し、前記
    出力信号をワード線に供給することにより、負ゲート消
    去型フラッシュメモリの選択されたロウのセルトランジ
    スタを駆動することを特徴とする請求項9に記載のレベ
    ル変換回路。
  11. 【請求項11】 ソースが第1の電位供給源に接続され
    たPチャネル型の第1MOSトランジスタと、ドレイン
    が上記第1MOSトランジスタのドレインに接続され、
    ゲートに第1の制御信号が供給されるNチャネル型の第
    2MOSトランジスタと、ドレインが上記第2MOSト
    ランジスタのソースに接続され、ソースが第2の電位供
    給源に接続されたNチャネル型の第3MOSトランジス
    タと、ソースが上記第1の電位供給源に接続され、ゲー
    トが上記第1,第3MOSトランジスタのドレイン共通
    接続点に接続され、ドレインが上記第1,第3MOSト
    ランジスタのゲートにそれぞれ接続されたPチャネル型
    の第4MOSトランジスタと、ドレインが上記第4MO
    Sトランジスタのドレインに接続され、ゲートに上記第
    1の制御信号が供給されるNチャネル型の第5MOSト
    ランジスタと、ドレインが上記第5MOSトランジスタ
    のソースに接続され、ソースが上記第2の電位供給源に
    接続され、ゲートが上記第4MOSトランジスタのゲー
    トに接続されたNチャネル型の第6MOSトランジスタ
    と、上記第1,第3MOSトランジスタのゲートと第3
    の電位供給源間に直列接続されたNチャネル型の第7,
    第8MOSトランジスタと、上記第4,第6MOSトラ
    ンジスタのゲートと上記第3の電位供給源間に直列接続
    されたNチャネル型の第9,第10MOSトランジスタ
    とを具備し、上記第7,第9MOSトランジスタのゲー
    トに高レベルが第4の電位供給源の電位、低レベルが上
    記第2の電位供給源の電位となる第2の制御信号を供給
    し、上記第8MOSトランジスタのゲートに高レベルが
    上記第4の電位供給源の電位、低レベルが上記第3の電
    位供給源の電位となる入力信号を供給し、上記第10M
    OSトランジスタのゲートに上記入力信号の反転信号を
    供給するようにして成り、上記第1,第2MOSトラン
    ジスタのドレイン共通接続点及び上記第4,第5MOS
    トランジスタのドレイン共通接続点の少なくとも一方か
    ら出力信号を得ることを特徴とするレベル変換回路。
  12. 【請求項12】 前記入力信号としてロウデコード信号
    を供給し、前記第1の制御信号としてラッチ信号を供給
    し、前記第2の制御信号として消去信号を供給し、前記
    出力信号をワード線に供給することにより、負ゲート消
    去型フラッシュメモリの選択されたロウのセルトランジ
    スタを駆動することを特徴とする請求項11に記載のレ
    ベル変換回路。
  13. 【請求項13】 ソースが第1の電位供給源に接続され
    たPチャネル型の第1MOSトランジスタと、ドレイン
    が上記第1MOSトランジスタのドレインに接続され、
    ソースが第2の電位供給源に接続されたNチャネル型の
    第2MOSトランジスタと、ソースが上記第1の電位供
    給源に接続され、ゲートが上記第1,第2MOSトラン
    ジスタのドレイン共通接続点に接続され、ドレインが上
    記第1,第2MOSトランジスタのゲートにそれぞれ接
    続されたPチャネル型の第3MOSトランジスタと、ド
    レインが上記第3MOSトランジスタのソースに接続さ
    れ、ソースが上記第2の電位供給源に接続され、ゲート
    が上記第3MOSトランジスタのゲートに接続されたN
    チャネル型の第4MOSトランジスタと、上記第1,第
    2MOSトランジスタのゲートと第3の電位供給源間に
    直列接続されたNチャネル型の第5,第6MOSトラン
    ジスタと、上記第3,第4MOSトランジスタのゲート
    と上記第3の電位供給源間に直列接続されたNチャネル
    型の第7,第8MOSトランジスタとを具備し、上記第
    5,第7MOSトランジスタのゲートに高レベルが第4
    の電位供給源の電位、低レベルが上記第2の電位供給源
    の電位となる第1の制御信号を供給し、上記第6MOS
    トランジスタのゲートに高レベルが上記第4の電位供給
    源の電位、低レベルが上記第3の電位供給源の電位とな
    る入力信号を供給し、上記第8MOSトランジスタのゲ
    ートに上記入力信号と第2の制御信号との否定論理和信
    号を供給するようにして成り、上記第1,第2MOSト
    ランジスタのドレイン共通接続点及び上記第3,第4M
    OSトランジスタのドレイン共通接続点の少なくとも一
    方から出力信号を得ることを特徴とするレベル変換回
    路。
  14. 【請求項14】 前記入力信号としてロウデコード信号
    を供給し、前記第1の制御信号として消去信号を供給
    し、前記第2の信号としてラッチ信号を供給し、前記出
    力信号をワード線に供給することにより、負ゲート消去
    型フラッシュメモリの選択されたロウのセルトランジス
    タを駆動することを特徴とする請求項13に記載のレベ
    ル変換回路。
  15. 【請求項15】 ソースが第1の電位供給源に接続され
    たPチャネル型の第1MOSトランジスタと、ドレイン
    が上記第1MOSトランジスタのドレインに接続され、
    ゲートに第1の制御信号が供給されるNチャネル型の第
    2MOSトランジスタと、ドレインが上記第2MOSト
    ランジスタのソースに接続され、ソースが第2の電位供
    給源に接続されたNチャネル型の第3MOSトランジス
    タと、ソースが上記第1の電位供給源に接続され、ゲー
    トが上記第1,第3MOSトランジスタのドレイン共通
    接続点に接続され、ドレインが上記第1,第3MOSト
    ランジスタのゲートにそれぞれ接続されたPチャネル型
    の第4MOSトランジスタと、ドレインが上記第4MO
    Sトランジスタのドレインに接続され、ゲートに上記第
    1の制御信号が供給されるNチャネル型の第5MOSト
    ランジスタと、ドレインが上記第5MOSトランジスタ
    のソースに接続され、ソースが上記第2の電位供給源に
    接続され、ゲートが上記第4MOSトランジスタのゲー
    トに接続されたNチャネル型の第6MOSトランジスタ
    と、上記第1,第3MOSトランジスタのゲートと第3
    の電位供給源間に直列接続されたNチャネル型の第7,
    第8MOSトランジスタと、上記第4,第6MOSトラ
    ンジスタのゲートと上記第3の電位供給源間に直列接続
    されたNチャネル型の第9,第10MOSトランジスタ
    とを具備し、上記第7,第9MOSトランジスタのゲー
    トに高レベルが第4の電位供給源の電位、低レベルが上
    記第2の電位供給源の電位となる第2の制御信号を供給
    し、上記第8MOSトランジスタのゲートに高レベルが
    上記第4の電位供給源の電位、低レベルが上記第3の電
    位供給源の電位となる入力信号を供給し、上記第10M
    OSトランジスタのゲートに上記入力信号と上記第1の
    制御信号との否定論理積信号を供給するようにして成
    り、上記第1,第2MOSトランジスタのドレイン共通
    接続点及び上記第4,第5MOSトランジスタのドレイ
    ン共通接続点の少なくとも一方から出力信号を得ること
    を特徴とするレベル変換回路。
  16. 【請求項16】 前記入力信号としてロウデコード信号
    を供給し、前記第1の制御信号としてラッチ信号を供給
    し、前記第2の制御信号として消去信号を供給し、前記
    出力信号をワード線に供給することにより、負ゲート消
    去型フラッシュメモリの選択されたロウのセルトランジ
    スタを駆動することを特徴とする請求項15に記載のレ
    ベル変換回路。
  17. 【請求項17】 前記第3の電位供給源の電位は接地レ
    ベル、前記第4の電位供給源の電位は電源レベルであ
    り、書き込み時において前記第1の電位供給源の電位は
    前記電源レベルよりも高く、前記第2の電位供給源の電
    位は接地レベルであり、消去時には前記第1の電位供給
    源の電位は電源レベル、前記第2の電位供給源の電位は
    接地レベルよりも低いことを特徴とする請求項10、1
    2、14、16のいずれか1つの項に記載のレベル変換
    回路。
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