JPH084768A - 静圧回転軸受装置 - Google Patents
静圧回転軸受装置Info
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- JPH084768A JPH084768A JP13877694A JP13877694A JPH084768A JP H084768 A JPH084768 A JP H084768A JP 13877694 A JP13877694 A JP 13877694A JP 13877694 A JP13877694 A JP 13877694A JP H084768 A JPH084768 A JP H084768A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】回転軸５と軸受１との隙間６に気体を供給して
回転軸５を支持するようにした静圧回転軸受装置におい
て、上記軸受１及び回転軸５の摺動面１ａ、５ａの表面
粗さ（Ｒｍａｘ）を１．５〜８μｍとする。 【効果】摺動面１ａ、５ａ上に境界層が形成されること
を防止して回転抵抗を減少させられるため、回転軸５を
最も効率よく回転させることができ、特に１０万回転／
分以上の高速回転を高精度に行うことができる。
回転軸５を支持するようにした静圧回転軸受装置におい
て、上記軸受１及び回転軸５の摺動面１ａ、５ａの表面
粗さ（Ｒｍａｘ）を１．５〜８μｍとする。 【効果】摺動面１ａ、５ａ上に境界層が形成されること
を防止して回転抵抗を減少させられるため、回転軸５を
最も効率よく回転させることができ、特に１０万回転／
分以上の高速回転を高精度に行うことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高速回転用の静圧回転
軸受装置に関するものである。
軸受装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、回転軸と軸受の隙間に気体を
供給して支持するようにした静圧回転軸受装置が使用さ
れている。
供給して支持するようにした静圧回転軸受装置が使用さ
れている。
【０００３】例えば、最も一般的で広く用いられている
オリフィス絞り型・自成絞り型静圧回転軸受は、図２に
示すように、回転軸２１を支持する軸受２２に複数の給
気孔２３を設けたものである。この給気孔２３から圧縮
気体を供給し、回転軸２１と軸受２２の互いの摺動面２
１ａ、２２ａを非接触とした状態で回転軸２１を回転さ
せれば、摺動抵抗が小さいことから、極めて高速、高精
度の回転を可能とできる。
オリフィス絞り型・自成絞り型静圧回転軸受は、図２に
示すように、回転軸２１を支持する軸受２２に複数の給
気孔２３を設けたものである。この給気孔２３から圧縮
気体を供給し、回転軸２１と軸受２２の互いの摺動面２
１ａ、２２ａを非接触とした状態で回転軸２１を回転さ
せれば、摺動抵抗が小さいことから、極めて高速、高精
度の回転を可能とできる。
【０００４】また、図３に示すように、軸受２２を多孔
質材料で製作してその気孔より気体を供給させることに
より、流体抵抗によって絞りの効果を得る多孔質絞り型
の静圧回転軸受装置もある。さらに、図４に示すよう
に、自成絞り型の給気口２３を軸受２２内面で円周方向
に細長く引き延ばした形のスロット絞り型や、図５に示
すように、隙間の非常に小さな静圧気体軸受を実現する
ために、回転軸２１側にも溝２１ｂを備えた表面絞り型
などの気体軸受がある。
質材料で製作してその気孔より気体を供給させることに
より、流体抵抗によって絞りの効果を得る多孔質絞り型
の静圧回転軸受装置もある。さらに、図４に示すよう
に、自成絞り型の給気口２３を軸受２２内面で円周方向
に細長く引き延ばした形のスロット絞り型や、図５に示
すように、隙間の非常に小さな静圧気体軸受を実現する
ために、回転軸２１側にも溝２１ｂを備えた表面絞り型
などの気体軸受がある。
【０００５】また、これら回転軸２１や軸受２２の材質
としては、高剛性で熱膨張係数が小さく、加工歪みの小
さいセラミックスが用いられるようになっている（例え
ば実開昭５９−１４９０９２号、５９−１４９０９３号
公報等参照）。そして、回転軸２１の摺動面２１ａの表
面粗さ（Ｒｍａｘ）は０．４〜１．５μｍ、軸受２２の
摺動面２２ａの表面粗さ（Ｒｍａｘ）は０．８〜１．５
μｍと、いずれも滑らかな表面に仕上げている。
としては、高剛性で熱膨張係数が小さく、加工歪みの小
さいセラミックスが用いられるようになっている（例え
ば実開昭５９−１４９０９２号、５９−１４９０９３号
公報等参照）。そして、回転軸２１の摺動面２１ａの表
面粗さ（Ｒｍａｘ）は０．４〜１．５μｍ、軸受２２の
摺動面２２ａの表面粗さ（Ｒｍａｘ）は０．８〜１．５
μｍと、いずれも滑らかな表面に仕上げている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記の如き
静圧回転軸受装置において、低速回転時には問題がない
が、１０万回転／分程度の高速回転領域になると、駆動
力を増加させても回転数が上昇しなくなるという問題点
があった。
静圧回転軸受装置において、低速回転時には問題がない
が、１０万回転／分程度の高速回転領域になると、駆動
力を増加させても回転数が上昇しなくなるという問題点
があった。
【０００７】そのため、高速回転モータや、糸の製造工
程中におけるフリクションディスク等の縒りをかける装
置において、回転数を高くすることができないという不
都合があった。
程中におけるフリクションディスク等の縒りをかける装
置において、回転数を高くすることができないという不
都合があった。
【０００８】そこで、１０万回転／分程度の高速回転を
行う場合は、接触型の玉軸受等を用いていたが、摩耗が
激しいため寿命が極めて短いものであった。
行う場合は、接触型の玉軸受等を用いていたが、摩耗が
激しいため寿命が極めて短いものであった。
【０００９】
【課題を解決するための手段】そこで本発明では、回転
軸と軸受との隙間に気体を供給して、回転軸を支持する
ようにした静圧回転軸受装置において、上記回転軸及び
軸受の摺動面の表面粗さ（Ｒｍａｘ）を１．５〜８μｍ
としたことを特徴とするものである。
軸と軸受との隙間に気体を供給して、回転軸を支持する
ようにした静圧回転軸受装置において、上記回転軸及び
軸受の摺動面の表面粗さ（Ｒｍａｘ）を１．５〜８μｍ
としたことを特徴とするものである。
【００１０】つまり、従来の回転軸受装置において、回
転軸あるいは軸受の摺動面上のごく薄い範囲には境界層
と呼ばれる乱れた空気の流れ（乱流）が生じる。そし
て、回転数を上げるとこの境界層の回転抵抗が大きくな
って、回転数はある値に収束してしまうのである。
転軸あるいは軸受の摺動面上のごく薄い範囲には境界層
と呼ばれる乱れた空気の流れ（乱流）が生じる。そし
て、回転数を上げるとこの境界層の回転抵抗が大きくな
って、回転数はある値に収束してしまうのである。
【００１１】そこで、本発明者らが種々実験の結果、回
転軸及び軸受の摺動面に上記境界層の厚み以上の凹凸を
存在させれば、境界層が形成されにくくなって、回転抵
抗が減り、より回転数を高められることを見出したので
ある。
転軸及び軸受の摺動面に上記境界層の厚み以上の凹凸を
存在させれば、境界層が形成されにくくなって、回転抵
抗が減り、より回転数を高められることを見出したので
ある。
【００１２】そして、上記の効果を奏するためには摺動
面の表面粗さ（Ｒｍａｘ）を１．５μｍ以上とすれば良
いことがわかった。ただし、摺動面の表面粗さ（Ｒｍａ
ｘ）が８μｍを超えると、軸受の静圧剛性が低下するた
め、高速回転中の回転軸に発生する遠心力によって回転
軸と軸受が接触しやすくなり、回転数が上昇しなくなっ
てしまう。
面の表面粗さ（Ｒｍａｘ）を１．５μｍ以上とすれば良
いことがわかった。ただし、摺動面の表面粗さ（Ｒｍａ
ｘ）が８μｍを超えると、軸受の静圧剛性が低下するた
め、高速回転中の回転軸に発生する遠心力によって回転
軸と軸受が接触しやすくなり、回転数が上昇しなくなっ
てしまう。
【００１３】したがって、回転軸及び軸受の摺動面の表
面粗さ（Ｒｍａｘ）を１．５〜８μｍ、より好ましくは
２〜６μｍの範囲とすれば、軸受の静圧剛性を確保しつ
つ、回転軸又は軸受の摺動面上における空気の境界層形
成を防止することができ、軸の回転速度をより高速化さ
せることができるのである。
面粗さ（Ｒｍａｘ）を１．５〜８μｍ、より好ましくは
２〜６μｍの範囲とすれば、軸受の静圧剛性を確保しつ
つ、回転軸又は軸受の摺動面上における空気の境界層形
成を防止することができ、軸の回転速度をより高速化さ
せることができるのである。
【００１４】なお、静圧回転軸受装置では回転軸と軸受
が接触摺動することはないが、本発明では便宜上互いの
対向する面を摺動面と言う。
が接触摺動することはないが、本発明では便宜上互いの
対向する面を摺動面と言う。
【００１５】
【実施例】以下本発明の実施例を図面に基づき説明す
る。
る。
【００１６】図１は、本発明に係る静圧回転軸受装置の
一例であり、軸受１によって回転軸５を回転自在に保持
した構造となっている。そして、軸受１には外周側面に
開口する給気孔２と、該給気孔２から軸受１内面の摺動
面１ａに連通する供給孔３を備えている。また、軸受１
の摺動面１ａ及び回転軸５の摺動面５ａは、いずれも表
面粗さ（Ｒｍａｘ）１．５〜８μｍの比較的粗い面とし
てある。
一例であり、軸受１によって回転軸５を回転自在に保持
した構造となっている。そして、軸受１には外周側面に
開口する給気孔２と、該給気孔２から軸受１内面の摺動
面１ａに連通する供給孔３を備えている。また、軸受１
の摺動面１ａ及び回転軸５の摺動面５ａは、いずれも表
面粗さ（Ｒｍａｘ）１．５〜８μｍの比較的粗い面とし
てある。
【００１７】さらに、上記回転軸５の中央部にはタービ
ン７及びその両端にスペーサ８を固着してあり、軸受１
のタービン７と対向する部分にタービン側給気孔９及び
タービン吹き付けノズル１０を備えて、エアータービン
を構成している。
ン７及びその両端にスペーサ８を固着してあり、軸受１
のタービン７と対向する部分にタービン側給気孔９及び
タービン吹き付けノズル１０を備えて、エアータービン
を構成している。
【００１８】この気体軸受装置を作動させる場合は、ま
ず給気孔２から圧縮気体を供給すれば、供給孔３を経由
して軸受１内部の溝４に気体が流れ込んでスペーサ８と
の間でスラスト方向に静圧支持し、一方供給された気体
は軸受１と回転軸５との隙間６を通ってラジアル方向に
も静圧支持することとなる。
ず給気孔２から圧縮気体を供給すれば、供給孔３を経由
して軸受１内部の溝４に気体が流れ込んでスペーサ８と
の間でスラスト方向に静圧支持し、一方供給された気体
は軸受１と回転軸５との隙間６を通ってラジアル方向に
も静圧支持することとなる。
【００１９】この状態でタービン側給気孔９より圧縮気
体を供給してタービン７を回転させれば回転軸５を回転
させることができる。上記のように回転軸５は軸受１と
は非接触状態に静圧支持されていることから、高速、高
精度の回転ができる。
体を供給してタービン７を回転させれば回転軸５を回転
させることができる。上記のように回転軸５は軸受１と
は非接触状態に静圧支持されていることから、高速、高
精度の回転ができる。
【００２０】そして、軸受１の摺動面１ａ及び回転軸５
の摺動面５ａが表面粗さ（Ｒｍａｘ）１．５〜８μｍの
比較的粗い面となっていることから、この摺動面１ａ、
５ａ上に境界層が形成されにくく、回転抵抗を小さくで
きることから、１０万回転／分以上の高速回転が可能と
なる。
の摺動面５ａが表面粗さ（Ｒｍａｘ）１．５〜８μｍの
比較的粗い面となっていることから、この摺動面１ａ、
５ａ上に境界層が形成されにくく、回転抵抗を小さくで
きることから、１０万回転／分以上の高速回転が可能と
なる。
【００２１】また、上記軸受１、回転軸５の材質として
は、セラミックス、金属、樹脂等さまざまなものを用い
ることができる。これらの中でも、高剛性、低熱膨張係
数、耐食性、軽量等の点からセラミックスを用いること
が好ましく、特にアルミナまたは窒化珪素を主成分とす
るセラミックスが最適である。そして、軸受１や回転軸
５をセラミックスで形成した場合、研磨工程で用いる砥
粒の粒径を調整することによって、容易に摺動面１ａ、
５ａの表面粗さを調整することができる。
は、セラミックス、金属、樹脂等さまざまなものを用い
ることができる。これらの中でも、高剛性、低熱膨張係
数、耐食性、軽量等の点からセラミックスを用いること
が好ましく、特にアルミナまたは窒化珪素を主成分とす
るセラミックスが最適である。そして、軸受１や回転軸
５をセラミックスで形成した場合、研磨工程で用いる砥
粒の粒径を調整することによって、容易に摺動面１ａ、
５ａの表面粗さを調整することができる。
【００２２】なお、図１の実施例ではエアータービンに
より回転軸５を回転駆動させる構造であるため、回転軸
５をより高速に回転させることができるが、この他に電
気モータ等に回転軸を連結して回転させても良い。
より回転軸５を回転駆動させる構造であるため、回転軸
５をより高速に回転させることができるが、この他に電
気モータ等に回転軸を連結して回転させても良い。
【００２３】また、図２〜図５に示す一般的な静圧回転
軸受装置についても、同様に本発明を適用できることは
言うでもない。
軸受装置についても、同様に本発明を適用できることは
言うでもない。
【００２４】そして、本発明の静圧回転軸受装置は、各
種工作機械装置、糸製造工程における縒りをかける装置
等に好適に用いることができる。
種工作機械装置、糸製造工程における縒りをかける装置
等に好適に用いることができる。
【００２５】実験例 ここで、図１に示す気体軸受装置を試作し、摺動面１
ａ、５ａの表面粗さと回転数との関係を調べる実験を行
った。
ａ、５ａの表面粗さと回転数との関係を調べる実験を行
った。
【００２６】軸受１、回転軸５をいずれもアルミナセラ
ミックスで形成して、回転軸５の摺動面５ａの表面粗さ
（Ｒｍａｘ）を４μｍとし、軸受１の摺動面１ａの表面
粗さを種々に変化させたものを用意した。それぞれ、給
気孔２から加える軸受圧力を４．０ｋｇ／ｃｍ2 、ター
ビン側給気孔９から加えるタービン圧力を３．０ｋｇ／
ｃｍ2 としたときの回転軸５の回転数を測定した。軸受
１の摺動面１ａの表面粗さと回転軸５の回転数の関係は
表１及び図６に示す通りである。
ミックスで形成して、回転軸５の摺動面５ａの表面粗さ
（Ｒｍａｘ）を４μｍとし、軸受１の摺動面１ａの表面
粗さを種々に変化させたものを用意した。それぞれ、給
気孔２から加える軸受圧力を４．０ｋｇ／ｃｍ2 、ター
ビン側給気孔９から加えるタービン圧力を３．０ｋｇ／
ｃｍ2 としたときの回転軸５の回転数を測定した。軸受
１の摺動面１ａの表面粗さと回転軸５の回転数の関係は
表１及び図６に示す通りである。
【００２７】この結果より、従来例である表面粗さ１．
０μｍのもの（Ｎｏ．１）に比べ、摺動面１ａの表面粗
さを１．５μｍ以上に大きくすることによって、同じ条
件でも回転数を高くできることがわかる。これは上述し
たように摺動面１ａ上の境界層の発生を防止し、回転抵
抗を減らせるためであると考えられる。ただし、表面粗
さを８μｍよりも大きくするとＮｏ．１の従来例と同程
度の回転数となってしまうため、結局摺動面１ａの表面
粗さは１．５〜８μｍの範囲が良く、特に２〜６μｍの
範囲が良いことがわかった。
０μｍのもの（Ｎｏ．１）に比べ、摺動面１ａの表面粗
さを１．５μｍ以上に大きくすることによって、同じ条
件でも回転数を高くできることがわかる。これは上述し
たように摺動面１ａ上の境界層の発生を防止し、回転抵
抗を減らせるためであると考えられる。ただし、表面粗
さを８μｍよりも大きくするとＮｏ．１の従来例と同程
度の回転数となってしまうため、結局摺動面１ａの表面
粗さは１．５〜８μｍの範囲が良く、特に２〜６μｍの
範囲が良いことがわかった。
【００２８】
【表１】
【００２９】次に、上記と同様にして、軸受１の摺動面
１ａの表面粗さ（Ｒｍａｘ）を３μｍとし、回転軸５の
摺動面５ａの表面粗さを種々に変化させたものを用意し
た。それぞれ、給気孔２から加える軸受圧力を４．０ｋ
ｇ／ｃｍ2 、タービン側給気孔９から加えるタービン圧
力を３．５ｋｇ／ｃｍ2 としたときの回転軸５の回転数
を測定した。軸受１の摺動面１ａの表面粗さと回転軸５
の回転数の関係は図７に示す通りである。
１ａの表面粗さ（Ｒｍａｘ）を３μｍとし、回転軸５の
摺動面５ａの表面粗さを種々に変化させたものを用意し
た。それぞれ、給気孔２から加える軸受圧力を４．０ｋ
ｇ／ｃｍ2 、タービン側給気孔９から加えるタービン圧
力を３．５ｋｇ／ｃｍ2 としたときの回転軸５の回転数
を測定した。軸受１の摺動面１ａの表面粗さと回転軸５
の回転数の関係は図７に示す通りである。
【００３０】前記実験例と同様に、回転軸５の摺動面５
ａの表面粗さを１．５〜８μｍの範囲、より好適には２
〜６μｍの範囲内とすることによって、回転軸５の回転
数を向上させられることがわかる。
ａの表面粗さを１．５〜８μｍの範囲、より好適には２
〜６μｍの範囲内とすることによって、回転軸５の回転
数を向上させられることがわかる。
【００３１】なお、以上の実験例は一例であって、軸受
圧力やタービン圧力等は、静圧回転軸受装置の構造、大
きさ、使用条件等によって最適のものとすれば良い。
圧力やタービン圧力等は、静圧回転軸受装置の構造、大
きさ、使用条件等によって最適のものとすれば良い。
【００３２】
【発明の効果】上述のように本発明は、回転軸と軸受と
の隙間に気体を供給して回転軸を支持するようにした静
圧回転軸受装置において、上記回転軸及び軸受の摺動面
の表面粗さ（Ｒｍａｘ）を１．５〜８μｍとしたことに
よる攪拌作用でもって、摺動面上に空気の境界層が形成
されることを防止して回転抵抗を減少させられるため、
回転軸を最も効率よく回転させることができ、特に１０
万回転／分以上の高速回転を高精度に行うことができ
る。
の隙間に気体を供給して回転軸を支持するようにした静
圧回転軸受装置において、上記回転軸及び軸受の摺動面
の表面粗さ（Ｒｍａｘ）を１．５〜８μｍとしたことに
よる攪拌作用でもって、摺動面上に空気の境界層が形成
されることを防止して回転抵抗を減少させられるため、
回転軸を最も効率よく回転させることができ、特に１０
万回転／分以上の高速回転を高精度に行うことができ
る。
【図１】本発明に係る静圧回転軸受装置の一実施例を示
す概略断面図である。
す概略断面図である。
【図２】一般的な静圧回転軸受装置を示しており、
（ａ）は横断面図、（ｂ）は縦断面図である。
（ａ）は横断面図、（ｂ）は縦断面図である。
【図３】一般的な静圧回転軸受装置を示しており、
（ａ）は横断面図、（ｂ）は縦断面図である。
（ａ）は横断面図、（ｂ）は縦断面図である。
【図４】一般的な静圧回転軸受装置を示しており、
（ａ）は横断面図、（ｂ）は縦断面図である。
（ａ）は横断面図、（ｂ）は縦断面図である。
【図５】一般的な静圧回転軸受装置を示しており、
（ａ）は横断面図、（ｂ）は縦断面図である。
（ａ）は横断面図、（ｂ）は縦断面図である。
【図６】軸受の摺動面の表面粗さと回転数との関係を示
すグラフである。
すグラフである。
【図７】回転軸の摺動面の表面粗さと回転数との関係を
示すグラフである。
示すグラフである。
１：軸受 ２：給気孔 ３：供給孔 ４：溝 ５：回転軸 ６：隙間 ７：タ−ビン ８：スペーサ ９：タービン側給気孔 １０：タービン吹き付けノズル
Claims (1)
- 【請求項１】回転軸と軸受との隙間に気体を供給して回
転軸を支持するようにした静圧回転軸受装置において、
上記回転軸及び軸受の双方の摺動面の表面粗さ（Ｒｍａ
ｘ）を１．５〜８μｍとしたことを特徴とする静圧回転
軸受装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13877694A JPH084768A (ja) | 1994-06-21 | 1994-06-21 | 静圧回転軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13877694A JPH084768A (ja) | 1994-06-21 | 1994-06-21 | 静圧回転軸受装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH084768A true JPH084768A (ja) | 1996-01-09 |
Family
ID=15229936
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13877694A Pending JPH084768A (ja) | 1994-06-21 | 1994-06-21 | 静圧回転軸受装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH084768A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107269702A (zh) * | 2017-07-20 | 2017-10-20 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | 一种静压气体径向轴承 |
-
1994
- 1994-06-21 JP JP13877694A patent/JPH084768A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107269702A (zh) * | 2017-07-20 | 2017-10-20 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | 一种静压气体径向轴承 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040622 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040823 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050412 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060328 |