JPH0839435A - 砥 石 - Google Patents

砥 石

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Publication number
JPH0839435A
JPH0839435A JP19797894A JP19797894A JPH0839435A JP H0839435 A JPH0839435 A JP H0839435A JP 19797894 A JP19797894 A JP 19797894A JP 19797894 A JP19797894 A JP 19797894A JP H0839435 A JPH0839435 A JP H0839435A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wire
oxynitride glass
abrasive grains
grindstone
glass
Prior art date
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Granted
Application number
JP19797894A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroyuki Fujii
Masaaki Ota
昌昭 大田
浩之 藤井
Original Assignee
Shimadzu Corp
株式会社島津製作所
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp, 株式会社島津製作所 filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP19797894A priority Critical patent/JPH0839435A/ja
Publication of JPH0839435A publication Critical patent/JPH0839435A/ja
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23DPLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D61/00Tools for sawing machines or sawing devices; Clamping devices for these tools
    • B23D61/18Sawing tools of special type, e.g. wire saw strands, saw blades or saw wire equipped with diamonds or other abrasive particles in selected individual positions
    • B23D61/185Saw wires; Saw cables; Twisted saw strips

Abstract

(57)【要約】 【構成】 可撓性を有する金属線材2の表面に砥粒3が
ガラス4をバインダーとして接着される。 【効果】 微小孔の内面を精密に研磨できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、微小な孔の内面を研磨
するのに適した砥石に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の砥石の最小径は500μm程度で
あり、それよりも小径の孔の内面を研磨できる砥石はな
かった。そのため、小径の砥石を作成することが要望さ
れていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来の小径の砥石は、
砥粒とガラスや金属等のバインダーとを混合したものを
焼結することで形成するか、若しくは、超鋼等の剛性の
大きなコアとなる金属に砥粒を電着したものであった。
【0004】しかし、焼結品は脆いために小径化しても
実用に供することは困難である。また、電着品はコアと
なる金属と砥粒との接着力が弱く、小径化によりコアと
なる金属の径と砥粒の径との差が小さくなると電着その
ものが困難になるため、やはり小径化は困難である。
【0005】本発明は、上記課題を解決することのでき
る砥石を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の砥石は、可撓性
を有する金属線材と、その線材の表面にガラスをバイン
ダーとして接着される砥粒とを備える。本件発明者は、
モリブデンとオキシナイトライドガラスとは界面におい
てMox Siy 層を形成して強固に接着し、タングステ
ンとオキシナイトライドガラスとは界面においてWx
y 層を形成して強固に接着することを見出した。よっ
て、本発明の砥石における金属線材の材質はモリブデン
及びタングステンの少なくとも一方を含み、バインダー
であるガラスはオキシナイトライドガラスであるのが好
ましい。さらに、本発明の砥石における砥粒はダイヤモ
ンド、CBN、Al2 3 およびSiCのいずれかであ
るのが好ましい。オキシナイトライドガラスはダイヤモ
ンド、CBN、Al2 3 およびSiCにぬれ性が良
く、強固に接着するからである。その金属線材の径は2
0μm〜450μmであるのが好ましい。20μm未満
では強度が低下し、450μmを超えると小径孔の研磨
が困難になるからである。
【0007】
【作用】本発明の砥石によれば、可撓性を有する金属線
材をコアとするため焼結品とする場合に比べ小径化して
も高い強度を得ることができ、その線材と砥粒とをガラ
スバインダーにより接着するため電着する場合に比べ高
い接着力を得ることができる。
【0008】
【実施例】図1に示す第1実施例の砥石1は、コアとな
る可撓性を有するワイヤー2の表面に多数の砥粒3がオ
キシナイトライドガラス4をバインダーとして接着され
ている。一部の砥粒3は部分的にオキシナイトライドガ
ラス4の表面から露出し、残りの砥粒3はオキシナイト
ライドガラス4の内部に埋没状態となっている。そのワ
イヤー2は直径70μmで材質はモリブデン(Mo)で
ある。そのオキシナイトライドガラス4の組成は、Si
2 が51重量%、Si3 4 が7.5重量%、Al2
3 が20.5重量%、CaOが9.5重量%、MgO
が11.5重量%である。その砥粒3は粒径が15μm
〜20μmで材質はダイヤモンドである。
【0009】図2は、その砥石1の製造工程を示すもの
で、まず、炉5の内部に設けられたルツボ6に砥粒3と
オキシナイトライドガラス4との混合物を入れ、そのオ
キシナイトライドガラス4を溶融するためヒーター7に
より1350℃に加熱する。次に、そのルツボ6内の砥
粒3と溶融されたオキシナイトライドガラス4との混合
物中にワイヤー2を上方から浸漬して下方から引き出
し、その混合物をワイヤー2の表面に付着させる。次
に、砥石1の径が所望の径になるように、その混合物付
ワイヤー2を内径100μmのダイス8に通して余分な
混合物を取り除く。次に、その混合物付ワイヤー2を冷
却してコイル状に巻取る。しかる後に、そのワイヤー2
の表面に付着した混合物の表面側のオキシナイトライド
ガラス4を酸によるエッチングによって除去すること
で、図1に示すように一部の砥粒3を部分的にオキシナ
イトライドガラス4の表面から露出させ、砥石1を形成
する。なお、炉5の内部雰囲気は、オキシナイトライド
ガラス4の変質やワイヤー2の酸化を防止するため、窒
素(N2 )ガス等の不活性ガスとする。
【0010】上記砥石1は、可撓性を有するモリブデン
ワイヤー2をコアとするため、焼結品に比べ小径化され
ても高い強度を得ることができ、また、そのワイヤー2
と砥粒3とをオキシナイトライドガラス4をバインダー
として接着するため、電着する場合に比べ高い接着力を
得ることができる。しかも、モリブデンとオキシナイト
ライドガラス4とは界面においてMox Siy 層を形成
して強固に接着し、オキシナイトライドガラス4はダイ
ヤモンド砥粒3に対しぬれ性が良いことから、その砥粒
3はワイヤー2に強固に接着される。上記砥石1を用い
てセラミックス(ZrO2 )材の内径100μmの孔の
内面を研磨した結果、研磨前の表面粗さは18μmであ
ったのが研磨後の表面粗さは0.5μmになり、サブミ
クロンオーダーまで研磨できた。
【0011】図3に示す第2実施例の砥石11は、コア
となる可撓性を有するワイヤー12の表面に多数の砥粒
13がオキシナイトライドガラス14をバインダーとし
て接着されている。各砥粒13は部分的にオキシナイト
ライドガラス14の表面から露出する。そのワイヤー1
2は直径150μmで材質はタングステン(W)であ
る。そのオキシナイトライドガラス14の組成は、Si
2 が56.5重量%、Si3 4 が7.5重量%、A
2 3 が25.5重量%、MgOが10.5重量%で
ある。その砥粒13は粒径が5μm〜10μmで材質は
CBNである。
【0012】図4は、その砥石11の製造工程を示すも
ので、炉15の内部に設けられたルツボ16にオキシナ
イトライドガラス14を入れ、そのオキシナイトライド
ガラス14を溶融するためヒーター17により1550
℃に加熱する。次に、そのルツボ16内の溶融されたオ
キシナイトライドガラス14にワイヤー12を上方から
浸漬して下方から引き出し、そのオキシナイトライドガ
ラス14をワイヤー12の表面に付着させる。次に、砥
石11の径が所望の径になるように、そのオキシナイト
ライドガラス14付ワイヤー12を内径200μmのダ
イス18に通して余分なオキシナイトライドガラス14
を取り除く。次に、そのオキシナイトライドガラス14
の表面に砥粒13をガス圧によりスプレーノズル19を
介し吹き付け、図3に示すように各砥粒13を部分的に
オキシナイトライドガラス14の表面から露出させ、砥
石11を形成する。しかる後に、その砥石11を冷却し
てコイル状に巻取る。なお、炉5の内部雰囲気や砥粒1
3の吹き付け用ガスは、オキシナイトライドガラス4の
変質やワイヤー2の酸化を防止するため、窒素(N2
ガス等の不活性ガスとする。
【0013】上記砥石11は、可撓性を有するタングス
テンワイヤー12をコアとするため、焼結品に比べ小径
化されても高い強度を得ることができ、また、そのワイ
ヤー12と砥粒13とをオキシナイトライドガラス14
をバインダーとして接着するため、電着する場合に比べ
高い接着力を得ることができる。しかも、タングステン
とオキシナイトライドガラス14とは界面においてWx
Siy 層を形成して強固に接着し、オキシナイトライド
ガラス14はCBN砥粒13に対しぬれ性が良いことか
ら、その砥粒13はワイヤー12に強固に接着される。
上記砥石11を用いてセラミックス(ZrO2 )材の内
径220μmの孔の内面を研磨した結果、研磨前の表面
粗さは31μmであったのが研磨後の表面粗さは0.3
μmになり、サブミクロンオーダーまで研磨できた。
【0014】なお、本発明は上記実施例に限定されな
い。例えば、金属線材の材質はモリブデンあるいはタン
グステンに限定されず、モリブデンおよびタングステン
の少なくとも一方を含む合金であってもよい。また砥粒
はダイヤモンドやCBNに限定されず、Al2 3 やS
iCであってもよい。また金属線材の径は20μm〜4
50μmとするのが好ましい。
【0015】
【発明の効果】本発明の砥石によれば、微小孔の内面を
精密に研磨できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例の砥石の断面図
【図2】第1実施例の砥石の製造工程を示す図
【図3】本発明の第2実施例の砥石の断面図
【図4】第2実施例の砥石の製造工程を示す図
【符号の説明】
2、12 ワイヤー 3、13 砥粒 4、14 オキシナイトライドガラス

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 可撓性を有する金属線材と、その線材の
    表面にガラスをバインダーとして接着される砥粒とを備
    える砥石。
JP19797894A 1994-07-30 1994-07-30 砥 石 Granted JPH0839435A (ja)

Priority Applications (1)

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JP19797894A JPH0839435A (ja) 1994-07-30 1994-07-30 砥 石

Applications Claiming Priority (1)

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JP19797894A JPH0839435A (ja) 1994-07-30 1994-07-30 砥 石

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JPH0839435A true JPH0839435A (ja) 1996-02-13

Family

ID=16383488

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JP19797894A Granted JPH0839435A (ja) 1994-07-30 1994-07-30 砥 石

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JP (1) JPH0839435A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100393466C (zh) * 2004-03-19 2008-06-11 中南大学 用于切割金属的金刚石-立方氮化硼锯片及其制作方法
JP2014526395A (ja) * 2011-09-26 2014-10-06 サン−ゴバン セラミックス アンド プラスティクス,インコーポレイティド 研磨粒子材料を含む研磨製品、研磨粒子材料を使用する研磨布紙および形成方法

Cited By (3)

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US9517546B2 (en) 2011-09-26 2016-12-13 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Abrasive articles including abrasive particulate materials, coated abrasives using the abrasive particulate materials and methods of forming

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