JPH08292156A - 表面被覆膜の局所欠陥を認識し、評価する認識および評価方法 - Google Patents
表面被覆膜の局所欠陥を認識し、評価する認識および評価方法Info
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- JPH08292156A JPH08292156A JP8059225A JP5922596A JPH08292156A JP H08292156 A JPH08292156 A JP H08292156A JP 8059225 A JP8059225 A JP 8059225A JP 5922596 A JP5922596 A JP 5922596A JP H08292156 A JPH08292156 A JP H08292156A
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- H04N7/18—Closed-circuit television [CCTV] systems, i.e. systems in which the video signal is not broadcast
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 いかなるタイプの点状の被覆欠陥をも信頼性
高く認識し、客観的な基準を用いてこれら被覆欠陥を評
価する。 【解決手段】 カラービデオカメラ１２、１３、１４、
１５によってガラス板１上の反射性表面被覆膜３の局所
的な色の欠陥を認識し、該欠陥を評価する。このために
白色光を用いて被覆ガラス板に光を当て、表面被覆膜で
反射した光を投影スクリーン６上に映し出す。投影スク
リーン上に現れた画像は一つ以上のカラービデオカメラ
によって取り込まれる。カラービデオカメラにより取り
込まれる表面の三原色ごとに、各画素に対する輝度を決
定する。対応した画素における三原色の輝度値の合計で
各原色の決定した輝度値を除算することにより相対色分
数を決定する。相対色分数は設定値と比較される。
高く認識し、客観的な基準を用いてこれら被覆欠陥を評
価する。 【解決手段】 カラービデオカメラ１２、１３、１４、
１５によってガラス板１上の反射性表面被覆膜３の局所
的な色の欠陥を認識し、該欠陥を評価する。このために
白色光を用いて被覆ガラス板に光を当て、表面被覆膜で
反射した光を投影スクリーン６上に映し出す。投影スク
リーン上に現れた画像は一つ以上のカラービデオカメラ
によって取り込まれる。カラービデオカメラにより取り
込まれる表面の三原色ごとに、各画素に対する輝度を決
定する。対応した画素における三原色の輝度値の合計で
各原色の決定した輝度値を除算することにより相対色分
数を決定する。相対色分数は設定値と比較される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はビデオカメラにより
送られてきた画像をデジタルデータ処理することにより
基板の表面被覆膜に局所的に存在する欠陥を認識し、評
価する認識および評価方法に関する。
送られてきた画像をデジタルデータ処理することにより
基板の表面被覆膜に局所的に存在する欠陥を認識し、評
価する認識および評価方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】以下で『板』と称するガラス板は選択反
射性の表面を有し、太陽光保護ガラスまたは断熱ガラス
として用いられる。選択反射性の被覆は様々な方法で施
される。この被覆は、現在、磁場での陰極スパッタリン
グ法により産業規模で利用されている。ここでは他の層
の間に薄い銀層を挿入し、通常、この銀層は被覆膜とし
て機能するのに適している。この層状構造は、大まかに
は酸化金属接着層と、保護金属層の間に挿入される銀層
と、酸化金属カバー層とを具備する。
射性の表面を有し、太陽光保護ガラスまたは断熱ガラス
として用いられる。選択反射性の被覆は様々な方法で施
される。この被覆は、現在、磁場での陰極スパッタリン
グ法により産業規模で利用されている。ここでは他の層
の間に薄い銀層を挿入し、通常、この銀層は被覆膜とし
て機能するのに適している。この層状構造は、大まかに
は酸化金属接着層と、保護金属層の間に挿入される銀層
と、酸化金属カバー層とを具備する。
【０００３】関連技術分野では、基板に鏡を作製する種
々の作製方法が知られている。光が基板を通らずに被覆
膜で反射する『フロントフェイス』鏡の場合でも、従来
の鏡での透明基板の場合でも、これら鏡にとって本発明
の技術は利益がある。
々の作製方法が知られている。光が基板を通らずに被覆
膜で反射する『フロントフェイス』鏡の場合でも、従来
の鏡での透明基板の場合でも、これら鏡にとって本発明
の技術は利益がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】様々なタイプで種々の
範囲の被覆膜の局所欠陥は全ての被覆工程で生じうる。
基板が透明であると被覆された板の透明性では欠陥が認
識されないことが多いが、例えば局所的に限られた色の
変化が生じるため、主に反射に関して欠陥に気がつく。
上記被覆板を設置したときにはこの被覆板を常に反射に
関して見るため、上記被覆欠陥を認識し、欠陥のある被
覆膜を備えた被覆板は排除すべきである。従来では十分
に自動的な方法がなかく、今日では上述は視覚的な評価
により唯一なされている。
範囲の被覆膜の局所欠陥は全ての被覆工程で生じうる。
基板が透明であると被覆された板の透明性では欠陥が認
識されないことが多いが、例えば局所的に限られた色の
変化が生じるため、主に反射に関して欠陥に気がつく。
上記被覆板を設置したときにはこの被覆板を常に反射に
関して見るため、上記被覆欠陥を認識し、欠陥のある被
覆膜を備えた被覆板は排除すべきである。従来では十分
に自動的な方法がなかく、今日では上述は視覚的な評価
により唯一なされている。
【０００５】陰極スパッタリング法を用いて被覆膜を施
したとき、酸化金属被覆膜を施している間の被覆工程に
おける乱れによって、上記局所欠陥が生じる。特に高ス
パッタリング率の場合、電気的に絶縁する酸化金属付着
層が特にスパッタリング室内の横側陽極面に形成され、
これら層は標的面から横側陽極面へ電気放電する。従っ
て特に強いプラズマが局所的に生じ、上述の被覆欠陥が
点の形で生じる。同様に熱分解またはＣＶＤにより被覆
膜を製造する技術では、例えば基部へ液滴が落ち、また
は異質な粒子が存在することに起因する特定箇所の『ピ
ンホール』付着ギャップにより形成された点状欠陥が一
般的である。
したとき、酸化金属被覆膜を施している間の被覆工程に
おける乱れによって、上記局所欠陥が生じる。特に高ス
パッタリング率の場合、電気的に絶縁する酸化金属付着
層が特にスパッタリング室内の横側陽極面に形成され、
これら層は標的面から横側陽極面へ電気放電する。従っ
て特に強いプラズマが局所的に生じ、上述の被覆欠陥が
点の形で生じる。同様に熱分解またはＣＶＤにより被覆
膜を製造する技術では、例えば基部へ液滴が落ち、また
は異質な粒子が存在することに起因する特定箇所の『ピ
ンホール』付着ギャップにより形成された点状欠陥が一
般的である。
【０００６】本発明の目的は、いかなるタイプの点状の
被覆欠陥をも信頼性高く認識し、客観的な基準を用いて
これらを評価することが可能な自動的な認識および評価
方法を提供することである。この認識および評価方法は
反射性の被覆膜の信頼性ある評価を行え、また産業上の
利用に適している。
被覆欠陥をも信頼性高く認識し、客観的な基準を用いて
これらを評価することが可能な自動的な認識および評価
方法を提供することである。この認識および評価方法は
反射性の被覆膜の信頼性ある評価を行え、また産業上の
利用に適している。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明においては、被覆
された基板に可視スペクトル範囲の広域光、好ましくは
白色光を当て、ビデオカメラとしてカラービデオカメラ
を使用し、各画素に対する三原色の各々の輝度値を検出
し、該三原色の輝度値の合計で各原色の輝度値を除算す
ることにより各画素の各原色に対する相対色分数を決定
し、該相対色分数を所定値と比較してデジタルデータ処
理を行うことで上記目的を達成する。
された基板に可視スペクトル範囲の広域光、好ましくは
白色光を当て、ビデオカメラとしてカラービデオカメラ
を使用し、各画素に対する三原色の各々の輝度値を検出
し、該三原色の輝度値の合計で各原色の輝度値を除算す
ることにより各画素の各原色に対する相対色分数を決定
し、該相対色分数を所定値と比較してデジタルデータ処
理を行うことで上記目的を達成する。
【０００８】本発明は、伝達、特に反射における色の均
一性に関する厳しい条件が設定された純粋に反射する、
または選択的に反射する、および透明である表面被覆膜
を評価するためのビデオ測定システムの場合におけるデ
ジタルデータ処理の適切な使用を提供する。
一性に関する厳しい条件が設定された純粋に反射する、
または選択的に反射する、および透明である表面被覆膜
を評価するためのビデオ測定システムの場合におけるデ
ジタルデータ処理の適切な使用を提供する。
【０００９】確かに、プロセッサを備えたビデオ測定シ
ステムの場合におけるデジタルデータ処理を用いて、テ
レビカメラから送られてきた画像信号を度量衡的に評価
し、不規則面と輝度および色値の差との両方を検出する
ことは基本的には知られている（メッセン＋プルエフェ
ン／オートマチック(Messen + Pruefen/Automatik)１９
７７年１月／２月号の第３４〜４１頁参照）。しかしな
がら上記基本的に知られた方法によりカラービデオカメ
ラを用いて画像分析して色を決定し、部分反射する大き
い領域の面における点状の被覆欠陥を評価することは、
画素の全ての原色の輝度値の合計に対する各原色の測定
輝度値の比率を三原色の測定輝度値から画素ごとに計算
するために本発明の方法を初めに用いて、それにより決
定した相対色分数が次の評価のための基礎として用いら
れるときにのみ、有用な結果を導くのは明らかである。
これにより、特に大領域を有する基板の場合に避けられ
ず、また測定輝度値への影響が避けられない局所的な照
度差が排除される。これにより得られた相対色分数は、
照度の局部的な変化や局部的および／または一時的な変
移からは独立しており、照明が変化してしまったり不規
則であったりしても高感度の色評価を行うことが可能で
ある。しかしながら可視スペクトル範囲においては、評
価すべき表面被覆膜に当てる光は、検査すべき表面被覆
膜上の全ての位置で光スペクトルに含まれた種々の波長
の同じ混合を有するため、照明だけでは三原色の異なる
相対色分数を測定することはできない。
ステムの場合におけるデジタルデータ処理を用いて、テ
レビカメラから送られてきた画像信号を度量衡的に評価
し、不規則面と輝度および色値の差との両方を検出する
ことは基本的には知られている（メッセン＋プルエフェ
ン／オートマチック(Messen + Pruefen/Automatik)１９
７７年１月／２月号の第３４〜４１頁参照）。しかしな
がら上記基本的に知られた方法によりカラービデオカメ
ラを用いて画像分析して色を決定し、部分反射する大き
い領域の面における点状の被覆欠陥を評価することは、
画素の全ての原色の輝度値の合計に対する各原色の測定
輝度値の比率を三原色の測定輝度値から画素ごとに計算
するために本発明の方法を初めに用いて、それにより決
定した相対色分数が次の評価のための基礎として用いら
れるときにのみ、有用な結果を導くのは明らかである。
これにより、特に大領域を有する基板の場合に避けられ
ず、また測定輝度値への影響が避けられない局所的な照
度差が排除される。これにより得られた相対色分数は、
照度の局部的な変化や局部的および／または一時的な変
移からは独立しており、照明が変化してしまったり不規
則であったりしても高感度の色評価を行うことが可能で
ある。しかしながら可視スペクトル範囲においては、評
価すべき表面被覆膜に当てる光は、検査すべき表面被覆
膜上の全ての位置で光スペクトルに含まれた種々の波長
の同じ混合を有するため、照明だけでは三原色の異なる
相対色分数を測定することはできない。
【００１０】用いた照明設置では評価すべき表面全体に
わたり表面被覆膜に局所的に一定の分布の色分数の光を
当てることができない可能性があるときには、欠陥のな
い表面被覆膜を備えた基板の位置に依存した相対色分数
を評価すべき表面全体に対して初めに決定し、これによ
り決定した値を参照値として蓄積し、それから同じ光の
当て方の場合に、考察すべき被覆基板上の位置に依存す
る決定した相対色分数を蓄積した位置に依存した参照値
で除算することが本発明の開発では提案される。このよ
うに、評価すべき表面上の照度差だけでなく、光を当て
ることにおける異なるスペクトル分布をも排除すること
が可能である。
わたり表面被覆膜に局所的に一定の分布の色分数の光を
当てることができない可能性があるときには、欠陥のな
い表面被覆膜を備えた基板の位置に依存した相対色分数
を評価すべき表面全体に対して初めに決定し、これによ
り決定した値を参照値として蓄積し、それから同じ光の
当て方の場合に、考察すべき被覆基板上の位置に依存す
る決定した相対色分数を蓄積した位置に依存した参照値
で除算することが本発明の開発では提案される。このよ
うに、評価すべき表面上の照度差だけでなく、光を当て
ることにおける異なるスペクトル分布をも排除すること
が可能である。
【００１１】ガラス板の表面被覆膜における特に弱い色
点は反射問題よりも小さな透過問題を構成するので、反
射光の評価に本発明の方法を使用するのが好ましい。こ
の場合、被覆されたガラス板の被覆側に光を当て、カラ
ービデオカメラを用いて空気と表面被覆膜との間の境界
で反射された光を検出することに利点がある。しかしな
がら被覆されたガラス板の被覆側の反対表面に光を当
て、ガラス板を通してガラスおよび表面被覆膜、または
表面被覆膜および空気の間の境界で反射された光を検出
することも可能である。
点は反射問題よりも小さな透過問題を構成するので、反
射光の評価に本発明の方法を使用するのが好ましい。こ
の場合、被覆されたガラス板の被覆側に光を当て、カラ
ービデオカメラを用いて空気と表面被覆膜との間の境界
で反射された光を検出することに利点がある。しかしな
がら被覆されたガラス板の被覆側の反対表面に光を当
て、ガラス板を通してガラスおよび表面被覆膜、または
表面被覆膜および空気の間の境界で反射された光を検出
することも可能である。
【００１２】基本的にはカラービデオカメラは表面被覆
膜からの拡散反射像を検出して、その拡散反射像を評価
する。拡散反射像は様々な形態で生じる。従って斜めの
入射角で表面被覆膜に光を当て、拡散反射光として投影
スクリーン上に反射光を映し出し、投影スクリーン上に
映し出された像をカラービデオカメラで検出することは
第一実施形態で可能である。他の実施形態では、表面被
覆膜に拡散光を当てたときの表面被覆膜または基板から
の拡散反射光をカラービデオカメラで直接検出する。拡
散光を表面被覆膜に当てることは、公知の手段を用いて
様々な方法でなされる。
膜からの拡散反射像を検出して、その拡散反射像を評価
する。拡散反射像は様々な形態で生じる。従って斜めの
入射角で表面被覆膜に光を当て、拡散反射光として投影
スクリーン上に反射光を映し出し、投影スクリーン上に
映し出された像をカラービデオカメラで検出することは
第一実施形態で可能である。他の実施形態では、表面被
覆膜に拡散光を当てたときの表面被覆膜または基板から
の拡散反射光をカラービデオカメラで直接検出する。拡
散光を表面被覆膜に当てることは、公知の手段を用いて
様々な方法でなされる。
【００１３】カラービデオカメラを表面被覆膜または被
覆基板へ直接向けたときには、表面被覆膜からの反射光
に直接は帰属しない光線の分数は、可能な限り小さくす
ることに注意すべきである。これは光吸収性の裏面、例
えば黒色の裏面上で被覆基板を観察することによってな
される。
覆基板へ直接向けたときには、表面被覆膜からの反射光
に直接は帰属しない光線の分数は、可能な限り小さくす
ることに注意すべきである。これは光吸収性の裏面、例
えば黒色の裏面上で被覆基板を観察することによってな
される。
【００１４】評価すべき表面の大きさによっては、一つ
以上のカラービデオカメラを用いてもよい。小さな表
面、例えば狭い領域を被覆されたガラス板を評価する場
合には、一つのカメラを用いて全表面を一度に取り込
む。しかしながら例えば大きなガラス板、例えば長さ６
ｍで幅が約３ｍのフロートガラス板において被覆膜塗布
の最終段階で上記方法を使用するときには、複数のカラ
ービデオカメラを同時に用いて良好に測定を行う。好適
実施形態では、ガラス板の全幅にわたって延びる狭域評
価帯を複数のカラービデオカメラにより短い連続した距
離で観察して評価する。このように例えば被覆されたガ
ラス板を連続的に前進させつつ、ガラス板を運搬するロ
ールコンベアの上方に固定したビデオカメラにより、ガ
ラス板の全幅にわたり短い距離の三原色の輝度プロフィ
ールを確定して評価される。連続的な評価帯およびこれ
ら評価帯ごとに決定した輝度プロフィールの相互の分離
が例えば数ｃｍであるときには、上述の方法を用いて上
述の色欠陥に関して十分な精度でガラス板の全表面を研
究できる。
以上のカラービデオカメラを用いてもよい。小さな表
面、例えば狭い領域を被覆されたガラス板を評価する場
合には、一つのカメラを用いて全表面を一度に取り込
む。しかしながら例えば大きなガラス板、例えば長さ６
ｍで幅が約３ｍのフロートガラス板において被覆膜塗布
の最終段階で上記方法を使用するときには、複数のカラ
ービデオカメラを同時に用いて良好に測定を行う。好適
実施形態では、ガラス板の全幅にわたって延びる狭域評
価帯を複数のカラービデオカメラにより短い連続した距
離で観察して評価する。このように例えば被覆されたガ
ラス板を連続的に前進させつつ、ガラス板を運搬するロ
ールコンベアの上方に固定したビデオカメラにより、ガ
ラス板の全幅にわたり短い距離の三原色の輝度プロフィ
ールを確定して評価される。連続的な評価帯およびこれ
ら評価帯ごとに決定した輝度プロフィールの相互の分離
が例えば数ｃｍであるときには、上述の方法を用いて上
述の色欠陥に関して十分な精度でガラス板の全表面を研
究できる。
【００１５】三原色の輝度値に対して、本発明の方法を
用いてカラービデオカメラ自体により、またはカラービ
デオカメラの後に適切に配置した画像処理ステージによ
り送られてきた信号の評価およびデジタル処理中におい
ては、公知の処理および最適化方法を回復してもよい。
カラービデオカメラにより送られた色信号は、通常、対
応するカメラのタイプから独立した三原色（赤、緑およ
び青）へと分解される。それから三原色の強さ、つまり
各原色の輝度値は、各画素に対する３つの別々の画像メ
モリでの後の処理に利用可能である。
用いてカラービデオカメラ自体により、またはカラービ
デオカメラの後に適切に配置した画像処理ステージによ
り送られてきた信号の評価およびデジタル処理中におい
ては、公知の処理および最適化方法を回復してもよい。
カラービデオカメラにより送られた色信号は、通常、対
応するカメラのタイプから独立した三原色（赤、緑およ
び青）へと分解される。それから三原色の強さ、つまり
各原色の輝度値は、各画素に対する３つの別々の画像メ
モリでの後の処理に利用可能である。
【００１６】しかしながら測定した値の最適な評価を得
るために、相対色分数を決定するまえに最適フィルタリ
ング処置、即ち最適濾波処置を良好に行う。
るために、相対色分数を決定するまえに最適フィルタリ
ング処置、即ち最適濾波処置を良好に行う。
【００１７】特に最適化処置は、各原色の観察された輝
度間隔が関連の画像メモリの利用可能な輝度範囲全体へ
と拡大した場合において利点がある輝度値変換を具備す
る。この輝度値変換により色のコントラストや現存のカ
ラー階調での最適な評価が可能となる。輝度値変換は、
測定した輝度値の最低値と最高値との間における輝度間
隔を例えば関連の画像メモリの利用可能な輝度範囲全体
へ線形変換することで行われる。同様に『ヒストグラム
方程式』と呼ばれる方法により輝度値変換を行うことも
可能である。この輝度値変換はビデオ信号自体を直接用
いて、即ち各関連の画像メモリにおける各輝度値のデジ
タル化および蓄積のまえに良好に行われる。
度間隔が関連の画像メモリの利用可能な輝度範囲全体へ
と拡大した場合において利点がある輝度値変換を具備す
る。この輝度値変換により色のコントラストや現存のカ
ラー階調での最適な評価が可能となる。輝度値変換は、
測定した輝度値の最低値と最高値との間における輝度間
隔を例えば関連の画像メモリの利用可能な輝度範囲全体
へ線形変換することで行われる。同様に『ヒストグラム
方程式』と呼ばれる方法により輝度値変換を行うことも
可能である。この輝度値変換はビデオ信号自体を直接用
いて、即ち各関連の画像メモリにおける各輝度値のデジ
タル化および蓄積のまえに良好に行われる。
【００１８】それ自体は公知である濾波処置は、一方で
寄生信号、即ち雑音排除のために、即ち有用信号／ノイ
ズ比率を増大させるための働きをし、他方では信号を平
均化し、平滑化する働きをする。雑音排除のためにフィ
ルタリング、即ち濾波する場合、元の信号からの望まし
くない歪みという観点と、効果的な雑音排除という観点
との間で妥協点を模索するのが最も好ましい。これは比
較的大きな程度の色の欠陥を評価する場合であるので、
平均化の作用は存在する信号にとっては効果的であり且
つ十分である。
寄生信号、即ち雑音排除のために、即ち有用信号／ノイ
ズ比率を増大させるための働きをし、他方では信号を平
均化し、平滑化する働きをする。雑音排除のためにフィ
ルタリング、即ち濾波する場合、元の信号からの望まし
くない歪みという観点と、効果的な雑音排除という観点
との間で妥協点を模索するのが最も好ましい。これは比
較的大きな程度の色の欠陥を評価する場合であるので、
平均化の作用は存在する信号にとっては効果的であり且
つ十分である。
【００１９】相対色分数を決定するまえに最適濾波処置
を行うとき、原理的には、初めに輝度値変換を行い、そ
の輝度値変換の後に得られた信号を平均化し、二次元の
局部濾波による雑音排除を行うという処置を採用するこ
とが可能である。しかしながら局部的な二次元濾波ステ
ージにおいて、まず初めにカラービデオカメラまたはカ
ラービデオカメラに続く画像処理ステージにより送られ
た信号をフィルタリング、即ち濾波し、その濾波した信
号を変換し、これらを更に処理することも可能である。
を行うとき、原理的には、初めに輝度値変換を行い、そ
の輝度値変換の後に得られた信号を平均化し、二次元の
局部濾波による雑音排除を行うという処置を採用するこ
とが可能である。しかしながら局部的な二次元濾波ステ
ージにおいて、まず初めにカラービデオカメラまたはカ
ラービデオカメラに続く画像処理ステージにより送られ
た信号をフィルタリング、即ち濾波し、その濾波した信
号を変換し、これらを更に処理することも可能である。
【００２０】三原色に対し、各画素の相対色分数と、そ
れに従った処置領域における局部色分布とを変換および
濾波された信号から決定したあとにおいては、その決定
した値を確定された標準値と比較することだけが必要で
ある。色に異常があるときには、例えば決定した相対色
分数を欠陥がないときの包囲媒体の相対色分数に一致す
る設定値と比較することにより上記比較を行ってもよ
い。一方、光源設置の性質上、照明において非均一な色
の分布があるときには、上述したように欠陥のない表面
から拡散的に反射した画像の局部的な色の分布を決定
し、その色の分布を蓄積し、設定値と実際の値とを比較
するための設定値として相対色分数の蓄積された値を使
用することが適切である。
れに従った処置領域における局部色分布とを変換および
濾波された信号から決定したあとにおいては、その決定
した値を確定された標準値と比較することだけが必要で
ある。色に異常があるときには、例えば決定した相対色
分数を欠陥がないときの包囲媒体の相対色分数に一致す
る設定値と比較することにより上記比較を行ってもよ
い。一方、光源設置の性質上、照明において非均一な色
の分布があるときには、上述したように欠陥のない表面
から拡散的に反射した画像の局部的な色の分布を決定
し、その色の分布を蓄積し、設定値と実際の値とを比較
するための設定値として相対色分数の蓄積された値を使
用することが適切である。
【００２１】
【発明の実施の形態】特許請求の範囲および種々の実施
形態に関する後述の説明で本発明の特別な特徴および更
なる利点を明らかにする。
形態に関する後述の説明で本発明の特別な特徴および更
なる利点を明らかにする。
【００２２】図１のガラス板１は、例えば幅が約３．２
ｍ、長さが６ｍ、厚さが４ｍｍの薄いフロートガラス板
であり、コンベアローラ２上で水平位置で運搬される。
ガラス板１はその上面に熱放射を反射する表面被覆膜３
を備え、この表面被覆膜３は磁場における陰極スパッタ
ー法を用いて既に利用されてきたものである。被覆され
たガラス板１に光を当てるために、ガラス板１の面の上
方側部に配置したライトプロジェクタ４を使用し、この
ライトプロジェクタ４は表面被覆膜３に対して斜め、例
えば４５°の入射角で直射白色光を当てるのに用いられ
る。ライトプロジェクタ４から照明領域までの距離が長
くなると光線の入射角が大きくなることは避けられない
が、このような入射角の変化は熱放射の入射角が約７０
°を越えなければさほど問題にならない。入射角の変化
による形状的な歪みは計算により補われる。
ｍ、長さが６ｍ、厚さが４ｍｍの薄いフロートガラス板
であり、コンベアローラ２上で水平位置で運搬される。
ガラス板１はその上面に熱放射を反射する表面被覆膜３
を備え、この表面被覆膜３は磁場における陰極スパッタ
ー法を用いて既に利用されてきたものである。被覆され
たガラス板１に光を当てるために、ガラス板１の面の上
方側部に配置したライトプロジェクタ４を使用し、この
ライトプロジェクタ４は表面被覆膜３に対して斜め、例
えば４５°の入射角で直射白色光を当てるのに用いられ
る。ライトプロジェクタ４から照明領域までの距離が長
くなると光線の入射角が大きくなることは避けられない
が、このような入射角の変化は熱放射の入射角が約７０
°を越えなければさほど問題にならない。入射角の変化
による形状的な歪みは計算により補われる。
【００２３】ライトプロジェクタ４からの白色光は部分
反射性の表面被覆膜３によって入射角に一致した反射角
で反射される。反射された光線は拡散性の白色面を有す
る平坦な投影スクリーン６に映し出される。表面被覆膜
３の対応した位置に局所的な被覆欠陥があると、投影ス
クリーン６上に目に見える色の付いた点が現れ、これら
点の表面寸法は、形状的な歪みを考慮したあとが適当で
あるが、被覆欠陥の寸法に一致する。ライトプロジェク
タ４および投影スクリーン６は、ローラコンベアのフレ
ーム１０に固定直立材８または９により適宜取り付けら
れるか、または異なる形式で所定位置に固定される。
反射性の表面被覆膜３によって入射角に一致した反射角
で反射される。反射された光線は拡散性の白色面を有す
る平坦な投影スクリーン６に映し出される。表面被覆膜
３の対応した位置に局所的な被覆欠陥があると、投影ス
クリーン６上に目に見える色の付いた点が現れ、これら
点の表面寸法は、形状的な歪みを考慮したあとが適当で
あるが、被覆欠陥の寸法に一致する。ライトプロジェク
タ４および投影スクリーン６は、ローラコンベアのフレ
ーム１０に固定直立材８または９により適宜取り付けら
れるか、または異なる形式で所定位置に固定される。
【００２４】ライトプロジェクタ４の上方の固定直立材
８には、四つのカラービデオカメラ１２、１３、１４お
よび１５が適切な固定具により一方が他方の上方になる
ように取り付けられている。各カラービデオカメラ１２
〜１５は適切な対物レンズを備え、投影スクリーン６に
対して垂直な方向を向いた光学軸線を有するため、各カ
ラービデオカメラ１２〜１５は投影スクリーン６に現れ
た画像の全高の四分の一ずつを取り込み、これら取り込
まれた四つの領域は互いに重なり合っているか、または
互いに並んで位置する。この方法では、表面被覆膜３に
より反射された光線はガラス板１の全幅にわたり投影ス
クリーン６上に取り入れられる。
８には、四つのカラービデオカメラ１２、１３、１４お
よび１５が適切な固定具により一方が他方の上方になる
ように取り付けられている。各カラービデオカメラ１２
〜１５は適切な対物レンズを備え、投影スクリーン６に
対して垂直な方向を向いた光学軸線を有するため、各カ
ラービデオカメラ１２〜１５は投影スクリーン６に現れ
た画像の全高の四分の一ずつを取り込み、これら取り込
まれた四つの領域は互いに重なり合っているか、または
互いに並んで位置する。この方法では、表面被覆膜３に
より反射された光線はガラス板１の全幅にわたり投影ス
クリーン６上に取り入れられる。
【００２５】カラービデオカメラ１２〜１５は独立して
設けられている。各カラービデオカメラ１２〜１５には
画像処理システムが接続されており、図２に画像処理シ
ステムを本質的な構成要素と共にブロック線図で示し
た。カラービデオカメラ１２〜１５の画像処理システム
はカラービデオカメラ１２（１３、１４、１５）を具備
すると共に、各カラービデオカメラ１２（１３、１４、
１５）により制御されたカラービデオデジタル化ステー
ジを各カラービデオカメラ１２（１３、１４、１５）に
具備する。この画像処理システムは三原色の各々に対す
るマトリックス画像メモリー１６、１７、１８を有す
る。各マトリックス画像メモリー１６、１７、１８はカ
ラービデオカメラの視野における画素それぞれに対応し
た原色のデジタル輝度値を画素ごとに蓄積する。三原色
の輝度を十分正確に描きだせるように、検出すべき視感
度範囲全体を十分多くの輝度レベルに細分すべきであ
る。輝度レベルの数は少なくとも６４であり、例えば個
々に取られる各画素を描くものとして２５６視感度また
は輝度レベルを用いると良好な結果が得られる。
設けられている。各カラービデオカメラ１２〜１５には
画像処理システムが接続されており、図２に画像処理シ
ステムを本質的な構成要素と共にブロック線図で示し
た。カラービデオカメラ１２〜１５の画像処理システム
はカラービデオカメラ１２（１３、１４、１５）を具備
すると共に、各カラービデオカメラ１２（１３、１４、
１５）により制御されたカラービデオデジタル化ステー
ジを各カラービデオカメラ１２（１３、１４、１５）に
具備する。この画像処理システムは三原色の各々に対す
るマトリックス画像メモリー１６、１７、１８を有す
る。各マトリックス画像メモリー１６、１７、１８はカ
ラービデオカメラの視野における画素それぞれに対応し
た原色のデジタル輝度値を画素ごとに蓄積する。三原色
の輝度を十分正確に描きだせるように、検出すべき視感
度範囲全体を十分多くの輝度レベルに細分すべきであ
る。輝度レベルの数は少なくとも６４であり、例えば個
々に取られる各画素を描くものとして２５６視感度また
は輝度レベルを用いると良好な結果が得られる。
【００２６】本願で選択した実施形態の場合には、各カ
ラービデオカメラはそれ自身の画像処理システムを備え
る。しかしながら全てのカラービデオカメラから送られ
てきた信号を同時に処理する高効率画像処理システムを
代用することも可能である。しかしながら信号自体の処
理は基本的に同じである。
ラービデオカメラはそれ自身の画像処理システムを備え
る。しかしながら全てのカラービデオカメラから送られ
てきた信号を同時に処理する高効率画像処理システムを
代用することも可能である。しかしながら信号自体の処
理は基本的に同じである。
【００２７】図２のブロック線図で示したように、最適
フィルタリングステージ、即ち最適濾波ステージ１９、
２０、２１は確定された領域の元の輝度信号を送る各マ
トリックス画像メモリー１６、１７および１８により制
御される。これら最適濾波ステージ１９、２０、２１
は、輝度信号の輝度値変換と輝度信号の二次元の局部的
なフィルタリング、即ち濾波を行い、雑音を排除し、信
号を平滑化し、選択した領域の色の輝度を代表する中間
値を送るためのものである。これに必要な濾波および信
号処理技術は公知であるので詳細には説明しない。最適
濾波ステージ１９は、例えば観察する画像の全幅からの
処理信号からなる赤色の輝度プロフィールを送り、最適
濾波ステージ２０は、例えば緑色の輝度プロフィールを
送り、最適濾波ステージ２１は、例えば青色の輝度プロ
フィールを送る。
フィルタリングステージ、即ち最適濾波ステージ１９、
２０、２１は確定された領域の元の輝度信号を送る各マ
トリックス画像メモリー１６、１７および１８により制
御される。これら最適濾波ステージ１９、２０、２１
は、輝度信号の輝度値変換と輝度信号の二次元の局部的
なフィルタリング、即ち濾波を行い、雑音を排除し、信
号を平滑化し、選択した領域の色の輝度を代表する中間
値を送るためのものである。これに必要な濾波および信
号処理技術は公知であるので詳細には説明しない。最適
濾波ステージ１９は、例えば観察する画像の全幅からの
処理信号からなる赤色の輝度プロフィールを送り、最適
濾波ステージ２０は、例えば緑色の輝度プロフィールを
送り、最適濾波ステージ２１は、例えば青色の輝度プロ
フィールを送る。
【００２８】最適濾波ステージ１９、２０、２１から送
られた信号は、三原色の信号が各々の除算ステージへと
送られるように、除算ステージ２２、２３、２４へ供給
される。これら除算ステージ２２、２３、２４では、三
原色の輝度値を対応の全輝度、即ち三原色の輝度値の合
計と比較する。ここでの除算の後に、対応の原色の相対
色分数の信号が除算ステージ２２、２３、２４から出力
される。
られた信号は、三原色の信号が各々の除算ステージへと
送られるように、除算ステージ２２、２３、２４へ供給
される。これら除算ステージ２２、２３、２４では、三
原色の輝度値を対応の全輝度、即ち三原色の輝度値の合
計と比較する。ここでの除算の後に、対応の原色の相対
色分数の信号が除算ステージ２２、２３、２４から出力
される。
【００２９】除算ステージ２２、２３、２４から出力さ
れた信号は色比較ステージ２５へ供給される。この色比
較ステージ２５では、画像の位置ごとの各原色の色を所
定の設定値と比較すると共に、各場合における各原色の
相対色の差を相対色分数の設定値および実際の値から計
算する。
れた信号は色比較ステージ２５へ供給される。この色比
較ステージ２５では、画像の位置ごとの各原色の色を所
定の設定値と比較すると共に、各場合における各原色の
相対色の差を相対色分数の設定値および実際の値から計
算する。
【００３０】色比較ステージ２５からの出力の時点で色
比較により得られた異なる信号は、その後、評価ステー
ジ２６へと送られる。この評価ステージ２６には事前に
視覚的な評価を基に決定した許可限界値を導入する。こ
の場合には、それ以上にも以下にもならない異なる信号
（つまり設定値信号と実際値信号との間の差）に対して
原色ごとに下限値と上限値とを導入するのが好ましい。
しかしながら、そうではなくて三原色の相対色分数の異
なる信号の絶対値の合計を取り、越えられることのない
上限値と前記合計信号とを比較することも可能である。
導入した限定値以上または以下になったときには、評価
ステージ２６は対応した信号を送るため、表面被覆膜の
欠陥が認識され、適切ならば排除される。
比較により得られた異なる信号は、その後、評価ステー
ジ２６へと送られる。この評価ステージ２６には事前に
視覚的な評価を基に決定した許可限界値を導入する。こ
の場合には、それ以上にも以下にもならない異なる信号
（つまり設定値信号と実際値信号との間の差）に対して
原色ごとに下限値と上限値とを導入するのが好ましい。
しかしながら、そうではなくて三原色の相対色分数の異
なる信号の絶対値の合計を取り、越えられることのない
上限値と前記合計信号とを比較することも可能である。
導入した限定値以上または以下になったときには、評価
ステージ２６は対応した信号を送るため、表面被覆膜の
欠陥が認識され、適切ならば排除される。
【００３１】図３は本方法の作動モードを再び示してお
り、図４は可能性のある一つの測定結果を示したもので
ある。ガラス板が例えばロールコンベア（図１参照）上
で水平位置で運搬されると、二つのコンベアローラの間
の領域の表面被覆膜３により形成された反射像は、ガラ
ス板１の移動方向に比較的幅の狭い投影スクリーン６上
で矢印Ｆの方向へ移動する。四つのカラービデオカメラ
は投影スクリーン６から幅の狭い評価帯を取り入れ、こ
の評価帯は投影像の全高Ｈにわたって延びると共に、個
々のカラービデオカメラに取り込まれる四つの領域Ａ、
Ｂ、ＣおよびＤへと細分されている。短い露出時間で短
い時間間隔で四つのカラービデオカメラを用いると同時
に測定領域を記録することにより評価がなされる。記録
された画像は各画像処理システムに蓄積され、図２を参
照して説明したように評価される。ガラス板が数ｃｍほ
ど前進すると、四つのカラービデオカメラと同時に次の
画像が取り込まれ、ビデオ画像を蓄積し、続いてそのビ
デオ画像を評価する。このようにしてガラス板全体が取
り込まれ、連続した横断帯にて評価される。
り、図４は可能性のある一つの測定結果を示したもので
ある。ガラス板が例えばロールコンベア（図１参照）上
で水平位置で運搬されると、二つのコンベアローラの間
の領域の表面被覆膜３により形成された反射像は、ガラ
ス板１の移動方向に比較的幅の狭い投影スクリーン６上
で矢印Ｆの方向へ移動する。四つのカラービデオカメラ
は投影スクリーン６から幅の狭い評価帯を取り入れ、こ
の評価帯は投影像の全高Ｈにわたって延びると共に、個
々のカラービデオカメラに取り込まれる四つの領域Ａ、
Ｂ、ＣおよびＤへと細分されている。短い露出時間で短
い時間間隔で四つのカラービデオカメラを用いると同時
に測定領域を記録することにより評価がなされる。記録
された画像は各画像処理システムに蓄積され、図２を参
照して説明したように評価される。ガラス板が数ｃｍほ
ど前進すると、四つのカラービデオカメラと同時に次の
画像が取り込まれ、ビデオ画像を蓄積し、続いてそのビ
デオ画像を評価する。このようにしてガラス板全体が取
り込まれ、連続した横断帯にて評価される。
【００３２】マトリックスカメラを用いると、ガラス板
の運動方向において写真、即ち画像として取り込まれる
範囲は１６０ｃｍまでの値となる。これは画像処理では
数ｃｍの幅で横断方向へ延びる評価帯に細分され、上述
したように評価される。マトリックスカメラの代わりに
リニアカメラを用いると、評価帯で必要な局部濾波を行
えるように、数ｍｍの距離で写真、即ち画像を取り込む
べきである。
の運動方向において写真、即ち画像として取り込まれる
範囲は１６０ｃｍまでの値となる。これは画像処理では
数ｃｍの幅で横断方向へ延びる評価帯に細分され、上述
したように評価される。マトリックスカメラの代わりに
リニアカメラを用いると、評価帯で必要な局部濾波を行
えるように、数ｍｍの距離で写真、即ち画像を取り込む
べきである。
【００３３】四つのカラービデオカメラで画像を取り込
んだときに得られた輝度値Ｌがガラス板の幅Ｈに対して
三原色のビデオ信号を処理したあとにプロットされるな
らば、図４で示した線図が得られる。カラービデオカメ
ラで取り込まれた反射光が白色または自然色であるなら
ば、３つの輝度カーブｒ（赤）、ｇ（緑）およびｂ
（青）は互いに略平行で、理想的には重なり合ってい
る。本願で説明した機構では実際には領域Ａでは被覆さ
れたガラス板がより離れているために領域Ａの投影スク
リーン上の輝度は非常に小さく、領域Ｄの終わりへ向け
て連続的に増大するため、輝度カーブの絶対高さは実際
の輝度状態下では一定ではない。
んだときに得られた輝度値Ｌがガラス板の幅Ｈに対して
三原色のビデオ信号を処理したあとにプロットされるな
らば、図４で示した線図が得られる。カラービデオカメ
ラで取り込まれた反射光が白色または自然色であるなら
ば、３つの輝度カーブｒ（赤）、ｇ（緑）およびｂ
（青）は互いに略平行で、理想的には重なり合ってい
る。本願で説明した機構では実際には領域Ａでは被覆さ
れたガラス板がより離れているために領域Ａの投影スク
リーン上の輝度は非常に小さく、領域Ｄの終わりへ向け
て連続的に増大するため、輝度カーブの絶対高さは実際
の輝度状態下では一定ではない。
【００３４】この白色光の輝度変化は評価には影響しな
い。ここでは相対色分数における変化の認識だけが重要
である。投影像が領域Ｘにおいて僅かに赤色の点を有す
る場合、赤色の輝度カーブｒは対応した領域ＡおよびＢ
において著しく増大し、緑色の輝度カーブｇと青色の輝
度カーブｂとは僅かに小さくなる。従って原色である赤
の色分数が増大し、原色である緑および青の色分数が減
少する。相対色分数の設定値を測定して、それに従って
調節すると、表面被覆膜の質に関する明確な情報が得ら
れる。
い。ここでは相対色分数における変化の認識だけが重要
である。投影像が領域Ｘにおいて僅かに赤色の点を有す
る場合、赤色の輝度カーブｒは対応した領域ＡおよびＢ
において著しく増大し、緑色の輝度カーブｇと青色の輝
度カーブｂとは僅かに小さくなる。従って原色である赤
の色分数が増大し、原色である緑および青の色分数が減
少する。相対色分数の設定値を測定して、それに従って
調節すると、表面被覆膜の質に関する明確な情報が得ら
れる。
【００３５】間接反射測定機構用の他の実施形態を図５
に示した。ここでも色の欠陥は、ロールコンベアのコン
ベアローラ２上のガラス板１の進行方向に対して横断す
る測定領域を通る大きなガラス板１上の透明な表面被覆
膜３において評価される。ここでも測定領域の表面被覆
膜３は、鉛直に対して４０°〜６０°の角度で表面被覆
膜３へ斜めに光線を向ける指向性のライトプロジェクタ
４を使用して光を当てる。表面被覆膜３で反射した光線
は、この場合には例えばオパール板や光沢のない半透明
のガラスといった拡散板３０からなる投影スクリーンに
当たる。拡散板３０は、ロールコンベアのフレーム１０
に取り付けられた支持材９へ直立材３１、３２によって
固定されている。オパール板３０内においては、オパー
ル板３０に当たった光線は全方向へ拡散されるため、拡
散して放射する代表の反射像が、カラービデオカメラ１
２〜１５を用いてオパール板３０の後ろから取り込まれ
る。カラービデオカメラ１２〜１５によって送られた信
号は、図１〜図４を参照して説明したのと同様にデジタ
ル処理される。
に示した。ここでも色の欠陥は、ロールコンベアのコン
ベアローラ２上のガラス板１の進行方向に対して横断す
る測定領域を通る大きなガラス板１上の透明な表面被覆
膜３において評価される。ここでも測定領域の表面被覆
膜３は、鉛直に対して４０°〜６０°の角度で表面被覆
膜３へ斜めに光線を向ける指向性のライトプロジェクタ
４を使用して光を当てる。表面被覆膜３で反射した光線
は、この場合には例えばオパール板や光沢のない半透明
のガラスといった拡散板３０からなる投影スクリーンに
当たる。拡散板３０は、ロールコンベアのフレーム１０
に取り付けられた支持材９へ直立材３１、３２によって
固定されている。オパール板３０内においては、オパー
ル板３０に当たった光線は全方向へ拡散されるため、拡
散して放射する代表の反射像が、カラービデオカメラ１
２〜１５を用いてオパール板３０の後ろから取り込まれ
る。カラービデオカメラ１２〜１５によって送られた信
号は、図１〜図４を参照して説明したのと同様にデジタ
ル処理される。
【００３６】図６および図７は直接反射測定、即ち拡散
光下で表面被覆膜へ光を当てて表面被覆膜上に現れた色
の画像を直接検出して評価するための二つの実施形態を
示し、これら二つの実施形態の違いは光の当て方であ
る。両方とも部分反射性の表面被覆膜３を備えたフロー
トガラス板１に関し、このフロートガラス板１はコンベ
アローラ２上で移送され、表面被覆膜３上の色の欠陥を
検出するために移送中に検査される。ガラス板１の移送
方向に対し横断する方向の二つの連続したロール２の間
に、四つのカラービデオカメラ１２、１３、１４、１５
がロールコンベアの上方の適切な支持材に取り付けられ
ている。本実施形態においても、これらカラービデオカ
メラ１２〜１５によって全幅にわたって延びる領域を取
り込み、この領域内では例えば約３ｃｍの幅の狭い評価
帯３３が評価される。三原色用のカラービデオカメラ１
２〜１５によって送られた信号は、ここでも上述の方法
で評価される。
光下で表面被覆膜へ光を当てて表面被覆膜上に現れた色
の画像を直接検出して評価するための二つの実施形態を
示し、これら二つの実施形態の違いは光の当て方であ
る。両方とも部分反射性の表面被覆膜３を備えたフロー
トガラス板１に関し、このフロートガラス板１はコンベ
アローラ２上で移送され、表面被覆膜３上の色の欠陥を
検出するために移送中に検査される。ガラス板１の移送
方向に対し横断する方向の二つの連続したロール２の間
に、四つのカラービデオカメラ１２、１３、１４、１５
がロールコンベアの上方の適切な支持材に取り付けられ
ている。本実施形態においても、これらカラービデオカ
メラ１２〜１５によって全幅にわたって延びる領域を取
り込み、この領域内では例えば約３ｃｍの幅の狭い評価
帯３３が評価される。三原色用のカラービデオカメラ１
２〜１５によって送られた信号は、ここでも上述の方法
で評価される。
【００３７】図６の実施形態では、ガラス板１の上方で
ガラス板１に対し平行に配設された蛍光管３４を用いて
拡散光を当て、蛍光管３４はガラス板１の移送方向に対
し横断方向に配設されている。蛍光管３４の上部はケー
ス３５により保護されている。従って得られた拡散光は
表面被覆膜３へ直接当たり、ガラス板１にわたって横断
方向へ延びる輝度帯を生成する。表面被覆膜３およびガ
ラス板１を通ってガラス板の下方で反射し、そしてガラ
ス板１および表面被覆膜３へ戻った光が、表面被覆膜３
に現れた反射像に重ならないように、光吸収性の黒い被
覆膜３７を備えた面を有するプレート３６を測定領域に
おけるガラス板１の下方に配設する。
ガラス板１に対し平行に配設された蛍光管３４を用いて
拡散光を当て、蛍光管３４はガラス板１の移送方向に対
し横断方向に配設されている。蛍光管３４の上部はケー
ス３５により保護されている。従って得られた拡散光は
表面被覆膜３へ直接当たり、ガラス板１にわたって横断
方向へ延びる輝度帯を生成する。表面被覆膜３およびガ
ラス板１を通ってガラス板の下方で反射し、そしてガラ
ス板１および表面被覆膜３へ戻った光が、表面被覆膜３
に現れた反射像に重ならないように、光吸収性の黒い被
覆膜３７を備えた面を有するプレート３６を測定領域に
おけるガラス板１の下方に配設する。
【００３８】図７の機構においても、ガラス板１の下方
における光の反射と表面被覆膜３からの反射像とが重な
らないように、光吸収性の黒色の被覆膜３７を有するプ
レート３６を測定領域におけるガラス板１の下方に配設
する。この場合、移送方向に対して横断する方向におい
てガラス板１の上方で好ましくは傾斜して配設された拡
散壁４０で指向されるプロジェクション３９により、表
面被覆膜３に拡散光を間接的に当てる。この拡散壁４０
は白色の拡散面を有するため、拡散光はこの拡散壁で反
射する。表面被覆膜３に当てられた拡散光の分数は、拡
散的に表面被覆膜３に光を当て、ここでもカラービデオ
カメラにより表面被覆膜を間接的に観察できるようにす
る。
における光の反射と表面被覆膜３からの反射像とが重な
らないように、光吸収性の黒色の被覆膜３７を有するプ
レート３６を測定領域におけるガラス板１の下方に配設
する。この場合、移送方向に対して横断する方向におい
てガラス板１の上方で好ましくは傾斜して配設された拡
散壁４０で指向されるプロジェクション３９により、表
面被覆膜３に拡散光を間接的に当てる。この拡散壁４０
は白色の拡散面を有するため、拡散光はこの拡散壁で反
射する。表面被覆膜３に当てられた拡散光の分数は、拡
散的に表面被覆膜３に光を当て、ここでもカラービデオ
カメラにより表面被覆膜を間接的に観察できるようにす
る。
【図１】間接反射測定を備えた方法を行うのに適切な装
置を示す図である。
置を示す図である。
【図２】カラービデオカメラにより送られた輝度信号を
評価する回路のブロック線図である。
評価する回路のブロック線図である。
【図３】図１の装置の場合において、カラービデオカメ
ラにより投影スクリーンから取り込まれた狭域測定領域
を示す図である。
ラにより投影スクリーンから取り込まれた狭域測定領域
を示す図である。
【図４】デジタル信号を処理したあとにガラス板の幅に
わたって得られた三原色の輝度プロフィールのグラフで
ある。
わたって得られた三原色の輝度プロフィールのグラフで
ある。
【図５】間接反射測定を備えた方法を行う他の装置を示
す図である。
す図である。
【図６】直接反射測定を備えた方法を行う装置を示す図
である。
である。
【図７】直接反射測定を備えた方法を行う他の装置を示
す図である。
す図である。
１…ガラス板 ３…表面被覆膜 ４…ライトプロジェクタ ６…投影スクリーン １２、１３、１４、１５…カラービデオカメラ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 エッケハルト ビルデ ドイツ連邦共和国，51247 ベルギッシュ グラドバッハ，タウベンシュトラーセ 21
Claims (19)
- 【請求項１】 ビデオカメラから送られてきた画像をデ
ジタルデータ処理することにより基板上の表面被覆膜の
局所欠陥を認識し、評価する認識および評価方法におい
て、上記被覆された基板に可視スペクトル範囲の広帯域
光、好ましくは白色光を当て、上記ビデオカメラとして
カラービデオカメラを使用し、各画素の三原色ごとの輝
度値を検出し、該三原色の輝度値の合計で各原色の輝度
値を除算することにより各画素の各原色に対する相対色
分数を決定し、該相対色分数を所定値と比較してデジタ
ルデータ処理を行うことを特徴とする認識および評価方
法。 - 【請求項２】 局所的に一定に分布する色分数を有する
光を前記評価すべき表面被覆膜に当てる場合において、
前記決定した相対色分数を表面被覆膜の領域にわたって
一定の参照設定値と直接比較することを特徴とする請求
項１に記載の認識および評価方法。 - 【請求項３】 局所的に変化して分布する色分数を有す
る光を前記評価すべき表面被覆膜に当てる場合におい
て、欠陥のない表面被覆膜を有する基板上の位置に依存
した相対色分数を決定し、該相対色分数を蓄積し、評価
すべき表面被覆膜の位置に依存した決定した相対色分数
を参照設定値として蓄積した前記位置に依存した相対色
分数と比較することを特徴とする請求項１に記載の認識
および評価方法。 - 【請求項４】 前記表面被覆膜からの反射光をカラービ
デオカメラにより記録し、該反射光を評価することを特
徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の認識およ
び評価方法。 - 【請求項５】 前記被覆基板に表面被覆膜の側から光を
当てることを特徴とする請求項４に記載の認識および評
価方法。 - 【請求項６】 前記被覆基板に表面被覆膜の反対側から
光を当てることを特徴とする請求項４に記載の認識およ
び評価方法。 - 【請求項７】 前記被覆基板に斜めの入射角で光を当
て、表面被覆膜で反射された光を投影スクリーンに映し
出し、該投影スクリーンに現れた拡散的に反射した画像
を前記カラービデオカメラにより取り込み、該画像を評
価することを特徴とする請求項１〜６のいずれか一つに
記載の認識および評価方法。 - 【請求項８】 前記被覆基板に０°〜７０°、好ましく
は２０°〜６０°の入射角で光を当てることを特徴とす
る請求項７に記載の認識および評価方法。 - 【請求項９】 前記投影スクリーンとして不透明スクリ
ーンを用いることを特徴とする請求項７または８に記載
の認識および評価方法。 - 【請求項１０】 前記投影スクリーンとして半透明の光
沢のないプレートを使用し、該プレート上で見える画像
を伝送画像として取り込み、該画像を評価することを特
徴とする請求項７または８に記載の認識および評価方
法。 - 【請求項１１】 前記被覆基板に拡散光を当て、表面被
覆膜で反射した光をカラービデオカメラにより直接取り
込み、該反射光を評価することを特徴とする請求項１〜
６のいずれか一つに記載の認識および評価方法。 - 【請求項１２】 前記表面被覆膜で反射した光のカラー
ビデオカメラによる検出および評価を、光吸収性の裏
面、好ましくは黒色の裏面上で行うことを特徴とする請
求項１１に記載の認識および評価方法。 - 【請求項１３】 前記相対色分数を決定するまえに色の
コントラストを最適に利用するために原色ごとの各画素
の輝度値信号を輝度値変換することを特徴とする請求項
１〜１２のいずれか一つに記載の認識および評価方法。 - 【請求項１４】 前記画像処理システムに信号を蓄積す
るまえに前記カラービデオカメラのビデオ信号を直接用
いて前記輝度値信号の輝度値変換を行うことを特徴とす
る請求項１３に記載の認識および評価方法。 - 【請求項１５】 前記輝度値変換として、測定した最高
輝度値と最低輝度値との間における輝度間隔を画像メモ
リーの利用可能な輝度範囲全体へ線形変換することを特
徴とする請求項１３または１４に記載の認識および評価
方法。 - 【請求項１６】 前記輝度値変換として、ヒストグラム
方程式と呼ばれる公知の方法を用いることを特徴とする
請求項１３または１４に記載の認識および評価方法。 - 【請求項１７】 前記カラービデオカメラ或いはその後
に配置された画像処理ステージによって送られた信号ま
たは各原色の輝度に対する輝度値変換により最適化され
た信号を相対色分数の決定まえに位置に依存した二次元
高域、低域または帯域濾波することを特徴とする請求項
１〜１６のいずれか一つに記載の認識および評価方法。 - 【請求項１８】 長い基板、例えば連続被覆膜塗布にお
ける被覆の後の被覆されたガラス板を評価する場合にお
いて、被覆された表面を複数のビデオカメラにより同時
に観察し、各ビデオカメラは被覆された表面の部分的な
領域を各々担当することを特徴とする請求項１〜１７の
いずれか一つに記載の認識および評価方法。 - 【請求項１９】 基板の幅にわたり延びる帯状の被覆基
板の領域を取り込み、評価することを特徴とする請求項
１〜１８のいずれか一つに記載の認識および評価方法。
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19509345A DE19509345A1 (de) | 1995-03-15 | 1995-03-15 | Verfahren zum Erkennen und Bewerten von Fehlern in teilreflektierenden Oberflächenschichten |
| EP95401909A EP0732579B1 (fr) | 1995-03-15 | 1995-08-18 | Procédé pour reconnaítre et évaluer des défauts dans des couches superficielles partiellement réfléchissantes |
| FR95401909:7 | 1995-08-18 | ||
| FR19509345:3 | 1995-08-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08292156A true JPH08292156A (ja) | 1996-11-05 |
Family
ID=7756720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8059225A Pending JPH08292156A (ja) | 1995-03-15 | 1996-03-15 | 表面被覆膜の局所欠陥を認識し、評価する認識および評価方法 |
Country Status (10)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5887077A (ja) |
| EP (1) | EP0732579B1 (ja) |
| JP (1) | JPH08292156A (ja) |
| KR (1) | KR100399507B1 (ja) |
| CN (1) | CN1099032C (ja) |
| AT (1) | ATE211820T1 (ja) |
| DE (2) | DE19509345A1 (ja) |
| DK (1) | DK0732579T3 (ja) |
| ES (1) | ES2170128T3 (ja) |
| PT (1) | PT732579E (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011523701A (ja) * | 2008-05-19 | 2011-08-18 | セミシスコ・カンパニー・リミテッド | 基板の品質検査装置及びその検査方法 |
| CN103175851A (zh) * | 2011-12-21 | 2013-06-26 | 北京兆维电子(集团)有限责任公司 | 用于多相机扫描系统的标定工具及标定方法 |
| JP2013217651A (ja) * | 2012-04-04 | 2013-10-24 | Otsuka Denshi Co Ltd | 配光特性測定装置および配光特性測定方法 |
| KR20150087134A (ko) * | 2014-01-20 | 2015-07-29 | 이스라 서피스 비젼 게엠베하 | 코팅 표면이 제공된 재료의 점검 장치 및 점검 방법 |
| JP2016095160A (ja) * | 2014-11-12 | 2016-05-26 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 表面欠陥検出方法及び表面欠陥検出装置 |
| JP2016156822A (ja) * | 2015-02-25 | 2016-09-01 | 株式会社昭和電気研究所 | ウェハ欠陥検査装置 |
Families Citing this family (35)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5909276A (en) * | 1997-03-31 | 1999-06-01 | Microtherm, Llc | Optical inspection module and method for detecting particles and defects on substrates in integrated process tools |
| DE19813072A1 (de) * | 1998-03-25 | 1999-09-30 | Laser Sorter Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der optischen Qualität und zur Detektion von Fehlern von Flachglas und anderen optisch transparenten Materialien |
| DE19948190B4 (de) * | 1999-10-06 | 2013-05-16 | GPP Chemnitz Gesellschaft für Prozeßrechnerprogrammierung mbH | Anordnung zur Charakterisierung von Unregelmässigkeiten auf ebenen und transparenten Oberflächen von Gegenständen, bspw. von einer Kittschicht |
| EP1126273A1 (en) * | 2000-02-09 | 2001-08-22 | Orbis Oy | Method and arrangement for inspecting a transparent object for flaws |
| WO2002018980A2 (en) * | 2000-09-01 | 2002-03-07 | Applied Process Technologies | Optical system for imaging distortions in moving reflective sheets |
| GB2408888B (en) * | 2001-07-27 | 2006-02-22 | Hewlett Packard Co | Electronic image colour plane reconstruction |
| US7082218B2 (en) * | 2001-07-27 | 2006-07-25 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Color correction of images |
| EP1357515A1 (de) * | 2002-04-22 | 2003-10-29 | Agfa-Gevaert AG | Verfahren zur Verarbeitung digitaler Bilddaten von fotografischen Bildern |
| US6995847B2 (en) * | 2002-05-24 | 2006-02-07 | Honeywell International Inc. | Methods and systems for substrate surface evaluation |
| US7463765B2 (en) * | 2003-02-25 | 2008-12-09 | Lamda-Lite Enterprises Incorporated | System and method for detecting and reporting fabrication defects using a multi-variant image analysis |
| DE10326216B4 (de) * | 2003-06-11 | 2007-03-15 | Bayerische Motoren Werke Ag | Verfahren zum Erkennen von Fehlern der Haftung einer Beschichtung auf einem Substrat |
| DE10326217A1 (de) * | 2003-06-11 | 2004-12-30 | Bayerische Motoren Werke Ag | Verfahren zum Erkennen von Fehlern der Haftung einer Beschichtung |
| US20060026807A1 (en) * | 2003-08-07 | 2006-02-09 | Carnevali Jeffrey D | Quick release mounting apparatus |
| DE102005007715B4 (de) * | 2005-02-18 | 2008-07-24 | Schott Ag | Vorrichtung zur Erfassung von Fehlstellen und Verwendung der Vorrichtung |
| WO2007074770A1 (ja) * | 2005-12-26 | 2007-07-05 | Nikon Corporation | 画像解析によって欠陥検査を行う欠陥検査装置 |
| US7369240B1 (en) | 2006-07-20 | 2008-05-06 | Litesentry Corporation | Apparatus and methods for real-time adaptive inspection for glass production |
| US7551274B1 (en) | 2007-02-28 | 2009-06-23 | Lite Sentry Corporation | Defect detection lighting system and methods for large glass sheets |
| DE102007058180B3 (de) * | 2007-12-04 | 2008-08-21 | Höge, Günther | Vorrichtung zur Aufbringung eines Fluids auf einen Körperteil |
| TWI412736B (zh) * | 2009-12-04 | 2013-10-21 | Delta Electronics Inc | 基板內部缺陷檢查裝置及方法 |
| US8270701B2 (en) * | 2010-01-08 | 2012-09-18 | 3M Innovative Properties Company | Optical web-based defect detection using intrasensor uniformity correction |
| WO2012007782A1 (en) * | 2010-07-15 | 2012-01-19 | Ppg Iberica, S.A. | Device for the micro-inspection of flat surfaces and method of use |
| GB201122082D0 (en) * | 2011-12-22 | 2012-02-01 | Rolls Royce Deutschland | Method and apparatus for inspection of components |
| CN103076343B (zh) * | 2012-12-27 | 2016-09-14 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 素玻璃激光检查机及素玻璃检查方法 |
| US9140655B2 (en) | 2012-12-27 | 2015-09-22 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Mother glass inspection device and mother glass inspection method |
| FR3001043B1 (fr) * | 2013-01-11 | 2016-05-06 | Commissariat Energie Atomique | Procede de surveillance de la degradation d'un miroir |
| DE102013216566A1 (de) * | 2013-08-21 | 2015-02-26 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung und verfahren zur erfassung einer zumindest teilweise spiegelnden oberfläche |
| CN103528546A (zh) * | 2013-09-23 | 2014-01-22 | 芜湖长信科技股份有限公司 | 一种检测浮法玻璃波纹度的装置和方法 |
| US9933373B2 (en) * | 2014-04-29 | 2018-04-03 | Glasstech, Inc. | Glass sheet acquisition and positioning mechanism for an inline system for measuring the optical characteristics of a glass sheet |
| CN104316543B (zh) * | 2014-10-10 | 2016-10-05 | 南京大树智能科技股份有限公司 | 一种烟包玻璃纸检测方法 |
| US10851013B2 (en) | 2015-03-05 | 2020-12-01 | Glasstech, Inc. | Glass sheet acquisition and positioning system and associated method for an inline system for measuring the optical characteristics of a glass sheet |
| CN105021530A (zh) * | 2015-06-26 | 2015-11-04 | 淮南市巨惠工贸有限公司 | 一种监测铝塑板生产时漏涂色差的装置 |
| CN111812063B (zh) * | 2020-07-16 | 2022-11-04 | 中国计量大学 | 一种金属漆表面闪光效果的评价方法及测量装置 |
| CN112683912B (zh) * | 2020-11-27 | 2024-06-18 | 成都数之联科技股份有限公司 | 一种布面缺陷视觉检测方法及其装置 |
| CN115435666B (zh) * | 2022-07-13 | 2024-06-11 | 沪东中华造船(集团)有限公司 | 一种船舶涂层区域破损面积估算辅助装置及估算方法 |
| CN116818798A (zh) * | 2023-05-31 | 2023-09-29 | 成都瑞波科材料科技有限公司 | 用于涂布工艺的彩虹纹检测装置、方法及涂布工艺设备 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2182254A5 (ja) * | 1972-04-24 | 1973-12-07 | Saint Gobain Pont A Mousson | |
| US4812904A (en) * | 1986-08-11 | 1989-03-14 | Megatronics, Incorporated | Optical color analysis process |
| US5073952A (en) * | 1988-09-07 | 1991-12-17 | Sigmax Kabushiki Kaisha | Pattern recognition device |
| JP2573434B2 (ja) * | 1991-05-31 | 1997-01-22 | 松下電工株式会社 | 特定色抽出方法 |
| US5225890A (en) * | 1991-10-28 | 1993-07-06 | Gencorp Inc. | Surface inspection apparatus and method |
| JP2756386B2 (ja) * | 1991-12-27 | 1998-05-25 | 日本たばこ産業株式会社 | 円筒形物体の外観検査装置 |
| JPH05332838A (ja) * | 1992-05-26 | 1993-12-17 | Imaizumi Shokai:Kk | 色ムラ外観検査装置 |
| US5335293A (en) * | 1992-06-16 | 1994-08-02 | Key Technology, Inc. | Product inspection method and apparatus |
| GB9219450D0 (en) * | 1992-09-15 | 1992-10-28 | Glaverbel | Thin film thickness monitoring and control |
| GB2272615A (en) * | 1992-11-17 | 1994-05-18 | Rudolf Bisping | Controlling signal-to-noise ratio in noisy recordings |
| DE4309802A1 (de) * | 1993-03-28 | 1994-09-29 | Robert Prof Dr Ing Massen | Produktionsnahe Farbkontrolle mit bildgebenden Sensoren |
-
1995
- 1995-03-15 DE DE19509345A patent/DE19509345A1/de not_active Withdrawn
- 1995-08-18 ES ES95401909T patent/ES2170128T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1995-08-18 AT AT95401909T patent/ATE211820T1/de active
- 1995-08-18 PT PT95401909T patent/PT732579E/pt unknown
- 1995-08-18 DE DE69524939T patent/DE69524939T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-08-18 DK DK95401909T patent/DK0732579T3/da active
- 1995-08-18 EP EP95401909A patent/EP0732579B1/fr not_active Expired - Lifetime
-
1996
- 1996-03-13 US US08/614,606 patent/US5887077A/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-03-14 CN CN96107312A patent/CN1099032C/zh not_active Expired - Lifetime
- 1996-03-14 KR KR1019960007473A patent/KR100399507B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1996-03-15 JP JP8059225A patent/JPH08292156A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011523701A (ja) * | 2008-05-19 | 2011-08-18 | セミシスコ・カンパニー・リミテッド | 基板の品質検査装置及びその検査方法 |
| CN103175851A (zh) * | 2011-12-21 | 2013-06-26 | 北京兆维电子(集团)有限责任公司 | 用于多相机扫描系统的标定工具及标定方法 |
| JP2013217651A (ja) * | 2012-04-04 | 2013-10-24 | Otsuka Denshi Co Ltd | 配光特性測定装置および配光特性測定方法 |
| KR20150087134A (ko) * | 2014-01-20 | 2015-07-29 | 이스라 서피스 비젼 게엠베하 | 코팅 표면이 제공된 재료의 점검 장치 및 점검 방법 |
| JP2015155895A (ja) * | 2014-01-20 | 2015-08-27 | イスラ サーフィス ヴィズィオーン ゲーエムベーハー | コーティングされた表面を有する材料を検査する装置及び方法 |
| JP2016095160A (ja) * | 2014-11-12 | 2016-05-26 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 表面欠陥検出方法及び表面欠陥検出装置 |
| JP2016156822A (ja) * | 2015-02-25 | 2016-09-01 | 株式会社昭和電気研究所 | ウェハ欠陥検査装置 |
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