JPH08271156A - 連続熱処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 被処理物のたわみを防止する。 【構成】 上送り搬送装置18および下送り搬送装置19を
それぞれ各熱処理室２、３内の前後に対向状に設けられ
た可動ラック22および固定ラック23により構成する。可
動ラック22を、上下方向および前後方向に移動自在な可
動ラック本体24と、可動ラック本体24に上下方向に間隔
をおいて複数設けられ、かつ左右方向に間隔をおいて配
された前後方向に長い複数のフォーク27よりなる被処理
物支持フォーク群28とにより構成する。固定ラック23
を、固定ラック本体29と、固定ラック本体29に上下方向
に間隔をおいて複数設けられ、かつ左右方向に間隔をお
いて配された前後方向に長い複数のフォーク33よりなる
被処理物支持フォーク群34とにより構成する。可動ラッ
ク22の被処理物支持フォーク群28の各フォーク27と、固
定ラック23の被処理物支持フォーク群34の各フォーク33
とを左右方向にずれた位置に配する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、たとえば液晶ディス
プレイ、光デバイス等の電子・光学部品からなる板状被
処理物に連続的に熱処理を施す装置に関する。

【０００２】この明細書において、図１の左右を左右と
いうものとし、図２の下側を前、これと反対側を後とい
うものとする。

【０００３】

【従来の技術】この種連続熱処理装置として、炉内に上
下方向にのびる第１および第２の熱処理室が隔壁を介し
て並列状に設けられており、第１の熱処理室の下端部に
被処理物入口が形成されるとともに第２の熱処理室の下
端部に被処理物出口が形成され、隔壁の上端部に両熱処
理室を相互に連通させる連通口が形成され、第１の熱処
理室内に、被処理物入口から送り込まれてきた被処理物
を１枚ずつ保持して間欠的に上方に送る上送り搬送装置
が設けられ、第２の熱処理室内に連通口を通って第１の
熱処理室から送り込まれてきた被処理物を１枚ずつ保持
して間欠的に下方に送る下送り搬送装置が設けられ、炉
内の上端部に、上送り搬送装置により第１の熱処理室の
上端部まで送られてきた被処理物を受け取るとともに連
通口を通して第２の熱処理室に送り込み、さらに下送り
搬送装置に受け渡す横送り搬送装置が設けられており、
上送り搬送装置および下送り搬送装置が、それぞれ昇降
自在および軸線周りに回転自在な垂直状昇降回転棒と軸
線周りに回転自在な垂直状回転棒とよりなる対を複数備
えており、これらの対が各熱処理室の前後、左右に設け
られ、各昇降回転棒および各回転棒の周囲に、それぞれ
同方向を向いて被処理物の前後両端部を支持する被処理
物支持爪が固定されているものが知られている（特公昭
６３−５２３０７号公報参照）。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
装置では、上送り搬送装置および下送り搬送装置による
搬送中には、被処理物はその前後両端部において支持さ
れているだけであるので、被処理物の前後の中間部が下
方にたわむという問題がある。たとえば、液晶ディスプ
レイ用ガラス基板の場合、２枚のガラス基板を、両者間
に液晶を注入するためのミクロンオーダーの隙間（セル
ギャップ）を存在させた状態で張り合わせる必要がある
が、ガラス基板がたわんでいると、上記セルギャップの
精度が出ないという問題がある。また、大型のガラス基
板の場合、たわみによりストレスがかかってマイクロク
ラックやひび等が発生し、マイクロクラックやひび等が
存在すると、温度差によりガラス基板が割れてしまうと
いう問題がある。さらに、板状被処理物のサイズが小さ
くなった場合には、トレイを用意し、このトレイ上に被
処理物を載せるとともにトレイを支持爪で支持して搬送
する必要がある。すると、トレイも加熱されることにな
り、加熱効率が悪くなるとともに、被処理物におけるト
レイとの接触面と非接触面との温度が不均一になるとい
う問題がある。

【０００５】この発明の目的は、上記問題を解決した連
続熱処理装置を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明による第１の連
続熱処理装置は、炉内に上下方向にのびる第１および第
２の熱処理室が隔壁を介して並列状に設けられており、
第１の熱処理室の下端部に被処理物入口が形成されると
ともに第２の熱処理室の下端部に被処理物出口が形成さ
れ、隔壁の上端部に両熱処理室を相互に連通させる連通
口が形成され、第１の熱処理室内に、被処理物入口から
送り込まれてきた板状被処理物を１枚ずつ保持して間欠
的に上方に送る上送り搬送装置が設けられ、第２の熱処
理室内に連通口を通って第１の熱処理室から送り込まれ
てきた板状被処理物を１枚ずつ保持して間欠的に下方に
送る下送り搬送装置が設けられ、炉内の上端部に、上送
り搬送装置により第１の熱処理室の上端部まで送られて
きた板状被処理物を受け取るとともに連通口を通して第
２の熱処理室に送り込み、さらに下送り搬送装置に受け
渡す横送り搬送装置が設けられている連続熱処理装置に
おいて、上送り搬送装置および下送り搬送装置がそれぞ
れ各熱処理室内の前後に対向状に設けられた可動ラック
および固定ラックにより構成され、可動ラックが、被処
理物入口から連通口まで至る高さを有しかつ上下方向お
よび前後方向に移動自在な可動ラック本体と、可動ラッ
ク本体に上下方向に間隔をおいて複数設けられ、かつ左
右方向に間隔をおいて配された前後方向に長い複数のフ
ォークよりなる被処理物支持フォーク群とにより構成さ
れ、固定ラックが、被処理物入口から連通口まで至る高
さを有する固定ラック本体と、固定ラック本体に上下方
向に間隔をおいて複数設けられ、かつ左右方向に間隔を
おいて配された前後方向に長い複数のフォークよりなる
被処理物支持フォーク群とにより構成され、可動ラック
の被処理物支持フォーク群の各フォークと、固定ラック
の被処理物支持フォーク群の各フォークとが左右方向に
ずれた位置に配されているものである。

【０００７】この発明による第２の連続熱処理装置は、
上記第１の連続熱処理装置において、固定ラックが、上
述した第１の連続熱処理装置の固定ラックとは異なっ
て、被処理物入口から連通口まで至る高さを有する固定
ラック本体と、固定ラック本体に上下方向に間隔をおい
て複数設けられた被処理物支持板とにより構成され、固
定ラックの被処理物支持板における可動ラックの被処理
物支持フォーク群の各フォークと対応する左右方向の複
数箇所に、可動ラックが固定ラックに最も接近した状態
で上下方向に移動したさいに可動ラックのフォークが通
過しうる複数の切欠きが、その先端から形成されている
ものである。

【０００８】上記第２の連続熱処理装置において、被処
理物支持板が加熱手段を備えていることがある。

【０００９】

【作用】この発明の第１の連続熱処理装置によれば、被
処理物入口を通して第１熱処理室内に搬入された板状被
処理物は、次のようにして第１熱処理室内を上方に搬送
されるとともに第２熱処理室内を下方に搬送され、被処
理物出口を通して搬出される。予め、上送り搬送装置の
可動ラックと固定ラックとは最も離れた状態にされる。
また、可動ラックの各被処理物支持フォーク群と、固定
ラックの各被処理物支持フォーク群とが上下方向にずれ
た状態になっているとともに、両被処理物支持フォーク
群の先端どうしは平面から見て離隔させられた状態とな
っている。そして、まず適当な搬入手段により、板状被
処理物は上送り搬送装置の固定ラックの最下段の被処理
物支持フォーク群上に載せられる。ついで、可動ラック
が固定ラックに対して接近させられ、その被処理物支持
フォーク群が、固定ラックの被処理物支持フォーク群の
下方に入り込む。ついで、可動ラックが、その各被処理
物支持フォーク群がすぐ上の固定ラックの被処理物支持
フォーク群の上方に来るまで上昇させられ、被処理物が
可動ラックの最下段の被処理物支持フォーク群に載せ替
えられる。ついで、可動ラックが固定ラックに対して最
も離れた位置まで離隔させられる。ついで、可動ラック
が、その各被処理物支持フォーク群がすぐ上の固定ラッ
クの各被処理物支持フォーク群の上方に来るまで上昇さ
せられる。ついで、可動ラックが固定ラックに対して最
も近付いた位置まで接近させられる。ついで、可動ラッ
クが、その各被処理物支持フォーク群がすぐ下の固定ラ
ックの各被処理物支持フォーク群の下方に来るまで下降
させられ、被処理物が固定ラックの下から２番目の被処
理物支持フォーク群上に載せ替えられる。ついで、可動
ラックが固定ラックに対して最も離れた位置まで離隔さ
せられた後下降させられ、最初の状態に戻る。このよう
な、動作を繰り返すことにより、板状被処理物は、上送
り搬送装置の固定ラックの最上段の被処理物支持フォー
ク群上まで搬送される。

【００１０】ついで、横送り搬送装置がこの板状被処理
物を受け取るとともに連通口を通して第２熱処理室に送
り込み、さらに下送り搬送装置の固定ラックの最上段の
被処理物支持フォーク群上に受け渡す。このとき、下送
り搬送装置の可動ラックと固定ラックとは最も離れた状
態にされる。また、可動ラックの各被処理物支持フォー
ク群と、固定ラックの各被処理物支持フォーク群とが上
下方向にずれた状態になっているとともに、両被処理物
支持フォーク群の先端どうしは平面から見て離隔させら
れた状態となっている。そして、まず下送り搬送装置の
可動ラックが上昇させられ、その被処理物支持フォーク
群が固定ラックの被処理物支持フォーク群の上方に至
る。ついで、可動ラックが固定ラックに対して接近させ
られ、その被処理物支持フォーク群が、固定ラックの被
処理物支持フォーク群の下方に入り込む。ついで、可動
ラックが、その各被処理物支持フォーク群がすぐ上の固
定ラックの被処理物支持フォーク群の上方に来るまで上
昇させられ、被処理物が可動ラックの被処理物支持フォ
ーク群に載せ替えられる。ついで、可動ラックが固定ラ
ックに対して最も離れた位置まで離隔させられる。つい
で、可動ラックが、その各被処理物支持フォーク群がす
ぐ下の固定ラックの各被処理物支持フォーク群の下方に
来るまで下降させられる。ついで、可動ラックが固定ラ
ックに対して最も近付いた位置まで接近させられる。つ
いで、可動ラックが、その各被処理物支持フォーク群が
すぐ下の固定ラックの各被処理物支持フォーク群の下方
に来るまで下降させられ、被処理物が固定ラックの上か
ら２番目の被処理物支持フォーク群上に載せ替えられ
る。ついで、可動ラックが固定ラックに対して最も離れ
た位置まで離隔させられ、最初の状態に戻る。このよう
な、動作を繰り返すことにより、板状被処理物は、下送
り搬送装置の固定ラックの最下段の被処理物支持フォー
ク群上まで搬送される。その後、適当な搬出手段によ
り、板状被処理物は被処理物出口を通して第２熱処理室
の外部に搬出される。

【００１１】そして、上送り搬送装置および下送り搬送
装置の可動ラックの被処理物支持フォーク群のフォーク
と、固定ラックの被処理物支持フォーク群のフォークと
が左右方向にずれた位置に配されているので、可動ラッ
クが固定ラックに対して最も接近した状態で上下動する
さいにも、これらのフォークが干渉することはない。

【００１２】この発明の第２の連続熱処理装置によれ
ば、被処理物入口を通して第１熱処理室内に搬入された
板状被処理物は、上記第１の連続熱処理装置の場合と同
様にして、第１熱処理室内を上方に搬送されるとともに
第２熱処理室内を下方に搬送され、被処理物出口を通し
て搬出される。そして、固定ラックの被処理物支持板に
おける可動ラックの被処理物支持フォーク群の各フォー
クと対応する左右方向の複数箇所に、可動ラックが固定
ラックに最も接近した状態で上下方向に移動したさいに
可動ラックのフォークが通過しうる複数の切欠きが、そ
の先端から形成されているので、可動ラックが固定ラッ
クに対して最も接近した状態で上下動するさいには、可
動ラックの被処理物支持フォーク群の各フォークは固定
ラックの被処理物支持板の各切欠きを通過し、その結果
可動ラックの被処理物支持フォーク群と固定ラックの被
処理物支持板とが干渉することはない。

【００１３】また、この発明の第２の連続熱処理装置に
おいて、被処理物支持板が加熱手段を備えていると、上
述のようにして板状被処理物が搬送される間に、上送り
搬送装置および下送り搬送装置の被処理物支持板だけに
より、またはこの被処理物支持板と他の適当な加熱手段
とにより加熱されて熱処理が施される。

【００１４】

【実施例】以下、この発明の実施例を、図面を参照して
説明する。

【００１５】図１〜図３はこの発明の連続熱処理装置の
全体構成を示し、図４〜図８はその要部の構成を示す。
また、図９は上送り搬送装置の動作を示す。

【００１６】図１〜図３において、連続熱処理装置は縦
型の炉(1) を備えている。炉(1) 内に、上下方向にのび
る第１および第２の熱処理室(2)(3)が隔壁(4) を介して
並列状に設けられている。右側の第１熱処理室(2) の下
端部に被処理物入口(5) が形成されるとともに、左側の
第２熱処理室(3) の下端部に被処理物出口(6) が形成さ
れ、隔壁(4) の上端部に両熱処理室(2)(3)を相互に連通
させる連通口(7) が形成されている。そして、図示しな
い適当な搬入装置によって、被処理物入口(5)を通って
板状の被処理物(S) が１枚ずつ第１熱処理室(2) 内に搬
入されるようになっている。また、図示しない適当な搬
出装置によって、被処理物出口(6) を通って被処理物
(S) が１枚ずつ第２熱処理室(3) から搬出されるように
なっている。

【００１７】炉(1) に、第１熱処理室(2) の後側から右
側にかけて雰囲気循環路(8) が形成されている。第１熱
処理室(2) の右側壁に雰囲気入口(9) が形成され、同後
壁に雰囲気出口(11)が形成されている。また、第２熱処
理室(3) の後側から左側にかけて、雰囲気循環路(12)が
形成されている。第２熱処理室(3) の左側壁に雰囲気入
口(13)が形成され、同後壁に雰囲気出口(14)が形成され
ている。そして、各循環路(8)(12) の内部にヒータ(15)
および送風機(16)が配置されており、ヒータ(15)で加熱
した高温雰囲気を送風機(16)により、各循環路(8)(12)
を経て各熱処理室(2)(3)に循環させるようになされてい
る。また、各熱処理室(2)(3)内において雰囲気入口(9)
(13) を覆うようにＨＥＰＡフィルタ(17)が配置されて
いる。そして、高温雰囲気が、各熱処理室(2)(3)内の被
処理物(S) に吹き付けられる前に、ＨＥＰＡフィルタ(1
7)により清浄化されるようになされている。

【００１８】第１熱処理室(2) 内に、被処理物入口(5)
から送り込まれてきた被処理物(S)を１枚ずつ保持して
間欠的に上方に送る上送り搬送装置(18)が設けられ、第
２熱処理室(3) 内に連通口(7) を通って第１熱処理室
(2) から送り込まれてきた被処理物(S) を１枚ずつ保持
して間欠的に下方に送る下送り搬送装置(19)が設けら
れ、炉(1) 内の上端部に、上送り搬送装置(18)により第
１熱処理室(2) の上端部まで送られてきた被処理物(S)
を受け取るとともに連通口(7) を通って第２熱処理室
(3) に送り込み、しかも下送り搬送装置(19)に受け渡す
横送り搬送装置(21)が設けられている。

【００１９】上送り搬送装置(18)は、第１熱処理室(2)
内の前後に対向状に設けられた可動ラック(22)および固
定ラック(23)により構成されている。可動ラック(22)
は、被処理物入口(5) から連通口(7) まで至る高さを有
しかつ上下方向および前後方向に移動自在な可動ラック
本体(24)を備えている。可動ラック本体(24)は、左右１
対の脚(25)を有しており、これらの脚(25)はそれぞれ炉
(1) の底壁に形成された前後方向に長い長孔(26)に通さ
れている。可動ラック本体(24)に、左右方向に間隔をお
いて固定されて後方にのびる複数のステンレス鋼管製フ
ォーク(27)よりなる被処理物支持フォーク群(28)が、上
下方向に間隔をおいて複数設けられている。固定ラック
(23)は、第１熱処理室(2) の後壁に沿って設けられかつ
被処理物入口(5) から連通口(7) まで至る高さを有する
固定ラック本体(29)を備えている。固定ラック本体(29)
は、左右１対の支柱(31)を有しており、これらの支柱(3
1)は炉(1) の底壁を貫通して下方にのび、その下端が炉
(1) の設置される室内の床面等に固定された基枠(32)に
固定されている。固定ラック本体(29)に、左右方向に間
隔をおいて固定された前後方向に長い複数のステンレス
鋼管製フォーク(33)よりなる被処理物支持フォーク群(3
4)が上下方向に間隔をおいて複数設けられている。

【００２０】図４に示すように、可動ラック(22)および
固定ラック(23)の各被処理物支持フォーク群(28)(34)を
構成するすべてのフォーク(27)(33)の上面には、それぞ
れ前後方向に間隔をおいて複数の突起(27a)(33a)が形成
されている。可動ラック(22)および固定ラック(23)の各
被処理物支持フォーク群(28)(34)を構成するフォーク(2
7)(33)の前後方向の長さは、この連続熱処理装置により
熱処理を施されることが予定される最大の板状被処理物
(S) の前後方向の幅よりも長くしておくのがよい。ま
た、可動ラック(22)の被処理物支持フォーク群(28)の各
フォーク(27)と、固定ラック(23)の被処理物支持フォー
ク群(34)の各フォーク(33)とは左右方向にずれた位置に
配されている（図２参照）。

【００２１】下送り搬送装置(19)は、上送り搬送装置(1
8)と全く同一の構成であり、同一部分には同一符号を付
して説明を省略する。

【００２２】横送り搬送装置(21)は、左右方向に長くか
つ左右方向に移動自在である移動バー(35)を備えてい
る。移動バー(35)は、固定ラック(23)の固定ラック本体
(29)の上方に位置している。移動バー(35)の両端部は、
炉(1) の左右両側壁に形成された孔(36)を通って炉(1)
外にのびている。移動バー(35)の炉(1) 内に存在する部
分に、下方に突出したブラケット(37)を介して被処理物
保持部材(38)が固定されている。被処理物保持部材(38)
は、左右方向にのびる棒状部材(39)と、棒状部材(39)に
左右方向に間隔をおいて設けられて前方にのびる複数の
ステンレス鋼管製フォーク(41)とよりなる。図示は省略
したが、各フォーク(41)の上面にも長さ方向に間隔をお
いて複数の突起が形成されている。被処理物保持部材(3
8)は固定ラック(23)の最上段の被処理物支持フォーク群
(34)の上方に位置しており、被処理物保持部材(38)と固
定ラック(23)の最上段の被処理物支持フォーク群(34)と
の間隔は、固定ラック(23)の隣り合う被処理物支持フォ
ーク群(34)間の間隔と等しくなっている。被処理物保持
部材(38)のフォーク(41)の数は固定ラック(23)の被処理
物支持フォーク群(34)のフォーク(33)の数と同一であ
り、かつ隣り合うフォーク(41)どうしの間隔は固定ラッ
ク(23)の被処理物支持フォーク群(34)の隣り合うフォー
ク(33)どうしの間隔と等しくなっている。また、被処理
物保持部材(38)のフォーク(41)の先端は、固定ラック(2
3)の被処理物支持フォーク群(34)のフォーク(33)の先端
と同一垂直面上に来るようになっている。

【００２３】上送り搬送装置(18)の可動ラック(22)の駆
動機構は、次のように炉(1) 外に設けられている。

【００２４】図５および図６に示すように、基枠(32)に
左右方向に間隔をおいて前後方向に長い１対の立ち上が
り壁(42)が固定状に設けられており、立ち上がり壁(42)
の上方に、可動ラック(22)を支持する水平支持板(43)が
配置されている。両立ち上がり壁(42)の左右方向外面の
前後両端部には、それぞれ上下方向にのびるガイドレー
ル(44)が固定されている。水平支持板(43)の下面には左
右方向に間隔をおきかつ両立ち上がり壁(42)の左右方向
外側に位置するように前後方向に長い１対の垂下壁(45)
が固定状に設けられており、両垂下壁(45)の相対向する
面に、それぞれガイドレール(44)に沿って上下方向に摺
動するスライダ(46)が固定されている。左右方向にのび
る水平回転軸(47)の両端部がそれぞれ両立ち上がり壁(4
2)に回転自在に支持されている。回転軸(47)の一端部は
図示しない減速機を介してモータ(48)の駆動軸に連結さ
れている。また、回転軸(47)の長さの中央部の周囲にカ
ム(49)が固定されている。水平支持板(43)の下面にカム
(49)の回転により上下動するカムフォロワ(51)がブラケ
ット(52)を介して回転自在に取り付けられている。そし
て、モータ(48)によって回転軸(47)が回転させられるこ
とによりカム(49)が回転し、これによりカムフォロワ(5
1)を介して水平支持板(43)が上下動させられる。

【００２５】水平支持板(43)の上面における左右両側縁
部にそれぞれ前後方向にのびるガイドレール(53)が固定
されている。両ガイドレール(53)どうしの間において、
水平支持板(43)の上面に上方に突出した２つのブラケッ
ト(54)が前後方向に間隔をおいて固定されており、これ
らのブラケット(54)に前後方向にのびるボールねじ軸(5
5)が回転自在に支持されている。ボールねじ軸(55)の一
端はモータ(56)の駆動軸に連結されている。可動ラック
本体(24)の脚(25)の下端面間に連結板(57)が渡し止めら
れており、連結板(57)の左右両側縁部の前後両端部に、
それぞれガイドレール(53)上を前後方向に摺動するスラ
イダ(58)が固定されている。また、連結板(57)の下面
に、ボールねじ軸(55)にボールを介して嵌められたボー
ルナット(59)が設けられている。そして、モータ(56)に
よりボールねじ軸(55)を回転させることによって、ボー
ルねじ軸(55)とボールナット(59)の働きにより可動ラッ
ク(22)が前後方向に移動するようになっている。

【００２６】下送り搬送装置(19)の可動ラック(22)の駆
動機構は、上送り搬送装置(18)の可動ラック(22)の駆動
機構と全く同一の構成である。

【００２７】横送り搬送装置(21)の駆動機構は、次のよ
うに炉外に設けられている。

【００２８】図７および図８に示すように、炉(1) の頂
壁の上面に左右方向にのびる支持部材(61)が固定されて
いる。支持部材(61)の左右両端部は炉(1) の頂壁の左右
両端部よりも突出している。支持部材(61)の炉(1) の頂
壁よりも左右両側方に突出した部分の下面の前後両側縁
部にそれぞれ左右方向にのびるガイドレール(62)が固定
されている。また、支持部材(61)の炉(1) の頂壁よりも
右方に突出した部分の下面における両ガイドレール(62)
間の部分に左右方向に間隔をおいて下方に突出した２つ
のブラケット(63)が固定されており、これらのブラケッ
ト(63)に左右方向にのびるボールねじ軸(64)が回転自在
に支持されている。ボールねじ軸(64)の右端はモータ(6
5)の駆動軸に連結されている。移動バー(35)の左右両端
部の前後両側に、それぞれブラケット(66)を介してガイ
ドレール(62)に沿って左右方向に摺動するスライダ(67)
が固定されている。また、移動バー(35)の右端部の上面
に、ボールねじ軸(64)にボールを介して嵌められたボー
ルナット(68)が設けられている。そして、モータ(65)に
よりボールねじ軸(64)を回転させることによって、ボー
ルねじ軸(64)とボールナット(68)の働きにより移動バー
(35)が左右方向に移動するようになっている。なお、図
７においては、右側の手前のガイドレール(62)、ブラケ
ット(66)およびスライダ(67)は省略されている。

【００２９】このような構成において、図示しない適当
な搬入手段によって、被処理物入口(5) を通して第１熱
処理室(2) 内に搬入された板状被処理物(S) は、次のよ
うにして炉(1) 内で熱処理を施され、図示しない適当な
搬出手段によって、第２熱処理室(3) から被処理物出口
(6) を通して搬出される。

【００３０】図９に示すように、上送り搬送装置(18)の
可動ラック(22)は、固定ラック(23)から最も離れた位置
にある。また、上送り搬送装置(18)の可動ラック(22)は
下降位置にあり、その被処理物支持フォーク群(28)は、
固定ラック(23)の被処理物支持フォーク群(34)よりも若
干下方に位置している。このとき、可動ラック(22)の被
処理物支持フォーク群(28)の先端と固定ラック(23)の被
処理物支持フォーク群(34)との間には平面から見て間隙
が存在している。この状態で、まず板状被処理物(S)
は、搬入手段によって、被処理物入口(5) を通して固定
ラック(23)の最下段の被処理物支持フォーク群(34)上に
載せられる（ステップＡ）（図９(a) 参照）。ついで、
モータ(56)によりボールねじ軸(55)を回転させ、ボール
ねじ軸(55)とボールナット(59)の働きにより可動ラック
(22)を後方に移動させ、可動ラック(22)を固定ラック(2
3)に最も接近させてその被処理物支持フォーク群(28)を
固定ラック(23)の被処理物支持フォーク群(34)の真下に
来させる（ステップＢ）（図９(b) 参照）。ついで、モ
ータ(48)により回転軸(47)を回転させ、カム(49)とカム
フォロワ(51)との働きにより水平支持板(43)を上昇させ
ることによって、可動ラック(22)をその被処理物支持フ
ォーク群(28)がすぐ上の固定ラック(23)の被処理物支持
フォーク群(34)の上方に来るまで上昇させ、板状被処理
物(S) を可動ラック(22)の被処理物支持フォーク群(28)
上に載せ替える（ステップＣ）（図９(c) 参照）。つい
で、モータ(56)によりボールねじ軸(55)を回転させるこ
とによって、ボールねじ軸(55)とボールナット(59)の働
きにより可動ラック(22)を前方に移動させ、可動ラック
(22)を固定ラック(23)から最も離隔させる（ステップ
Ｄ）（図９(d) 参照）。ついで、モータ(48)により回転
軸(47)を回転させ、カム(49)とカムフォロワ(51)との働
きにより水平支持板(43)を上昇させることによって、可
動ラック(22)をその被処理物支持フォーク群(28)がすぐ
上の固定ラック(23)の被処理物支持フォーク群(34)の上
方に来るまで上昇させる（ステップＥ）（図９(e) 参
照）。ステップＥでの可動ラック(22)の上昇距離は、ス
テップＣでの可動ラック(22)の上昇距離よりも若干大き
くなるようにしておく。ついで、モータ(56)によりボー
ルねじ軸(55)を回転させることによって、ボールねじ軸
(55)とボールナット(59)の働きにより可動ラック(22)を
後方に移動させ、可動ラック(22)を固定ラック(23)に最
も接近させてその被処理物支持フォーク群(28)を固定ラ
ック(23)の被処理物支持フォーク群(34)の真下に来させ
る（ステップＦ）（図９(f)参照）。ついで、モータ(4
8)により回転軸(47)を回転させ、カム(49)とカムフォロ
ワ(51)との働きにより水平支持板(43)を下降させること
によって、可動ラック(22)をその被処理物支持フォーク
群(28)がすぐ下の固定ラック(23)の被処理物支持フォー
ク群(34)の下方に来るまで下降させ、板状被処理物(S)
を固定ラック(23)の下から２番目の被処理物支持フォー
ク群(34)上に載せ替える（ステップＧ）（図９(g) 参
照）。ステップＧでの可動ラック(22)の下降距離は、ス
テップＥでの可動ラック(22)の上昇距離からステップＣ
での可動ラック(22)の上昇距離を減じた距離と等しくな
っている。ついで、モータ(56)によりボールねじ軸(55)
を回転させることによって、ボールねじ軸(55)とボール
ナット(59)の働きにより可動ラック(22)を前方に移動さ
せ、可動ラック(22)を固定ラック(23)から最も離隔させ
る（ステップＨ）（図９(h) 参照）。ついで、モータ(4
8)により回転軸(47)を回転させ、カム(49)とカムフォロ
ワ(51)との働きにより水平支持板(43)を下降させること
によって、可動ラック(22)をその被処理物支持フォーク
群(28)がすぐ下の固定ラック(23)の被処理物支持フォー
ク群(34)の下方に来るまで下降させる（ステップＩ）
（図９(i) 参照）。こうして、可動ラック(22)および固
定ラック(23)は図９(a) に示す状態に戻り、次に搬入さ
れてくる板状被処理物(S) を待つ。このようなステップ
ＡからステップＩまでの動作を１サイクルとし、このサ
イクルを繰り返すことによって、板状被処理物(S) は上
送り搬送装置(18)により第１熱処理室(2) 内を上方に間
欠的に搬送される。

【００３１】下送り搬送装置(19)による板状被処理物
(S) の第２熱処理室(3) 内での下方への搬送は、上述し
たステップＡ〜Ｉの動作をそれぞれ逆の態様で行ない、
かつステップＩ→Ａの順に実施するサイクルを繰り返す
ことにより行なわれる。

【００３２】上送り搬送装置(18)から横送り搬送装置(2
1)への板状被処理物(S) の受け渡し、横送り搬送装置(2
1)による第１熱処理室(2) から第２熱処理室(3) への板
状被処理物(S) の搬送、および横送り搬送装置(21)から
下送り搬送装置(19)への板状被処理物(S) の受け渡し
は、次のようにして行なわれる。上送り搬送装置(18)の
可動ラック(22)および固定ラック(23)が図９(a) に示す
状態にあるとき、モータ(65)によりボールねじ軸(64)が
回転させられ、移動バー(35)はボールねじ軸(64)とボー
ルナット(68)との働きにより左方に移動させられ、被処
理物保持部材(38)が上送り搬送装置(18)の固定ラック(2
3)における最上段の被処理物支持フォーク群(34)の真上
の位置で待機させられている。そして、上送り搬送装置
(18)が上述した１サイクルの動作を行なう間に、上送り
搬送装置(18)の固定ラック(23)の最上段の被処理物支持
フォーク群(34)上に載せられていた板状被処理物(S)
は、被処理物保持部材(38)上に載せ替えられる。つい
で、モータ(65)によりボールねじ軸(64)を回転させ、ボ
ールねじ軸(64)とボールナット(68)との働きにより移動
バー(35)を右方に移動させ、被処理物保持部材(38)を下
送り搬送装置(19)の固定ラック(23)における最上段の被
処理物支持フォーク群(34)の真上の位置に来させる。そ
して、下送り搬送装置(19)が上述した１サイクルの動作
を行なう間に、被処理物保持部材(38)上に載せられてい
た板状被処理物(S) が、下送り搬送装置(19)の固定ラッ
ク(23)の最上段の被処理物支持フォーク群(34)上に載せ
替えられる。

【００３３】上述のようにして、被処理物入口(5) を通
って第１熱処理室(2) 内に搬入された板状の被処理物
(S) が第２熱処理室(3) の被処理物出口(6) から搬出さ
れる間に、ヒータ(15)で加熱された高温雰囲気が送風機
(16)により各熱処理室(2)(3)および各循環路(8)(12) に
循環させられて、ＨＥＰＡフィルタ(17)により清浄化さ
れた高温雰囲気が被処理物(S) に吹き付けられ、これに
より被処理物(S) に適当な熱処理が施される。

【００３４】上記実施例においては、上送り搬送装置(1
8)および下送り搬送装置(19)の可動ラック(22)および固
定ラック(23)の被処理物支持フォーク群(28)(34)を構成
するフォーク(27)(33)、ならびに横送り搬送装置(21)の
被処理物保持部材(38)のフォーク(41)がそれぞれステン
レス鋼管製であるが、これらはセラミックス製であって
もよい。この場合、フォーク(27)(33)(41)が金属製であ
るときに発生するおそれのある板状被処理物の金属汚染
が防止される。また、上記実施例においては、上送り搬
送装置(18)および下送り搬送装置(19)の可動ラック(22)
および固定ラック(23)の被処理物支持フォーク群(28)(3
4)を構成するフォーク(27)(33)、ならびに横送り搬送装
置(21)の被処理物保持部材(38)のフォーク(41)の上面に
それぞれ突起(27a)(33a)が形成されているので、板状被
処理物(S) とフォーク(27)(33)(41)との接触面積が小さ
くなり、フォーク(27)(33)(41)と板状被処理物(S) との
間の伝熱量が少なくなる。したがって、板状被処理物
(S) におけるフォーク(27)(33)(41)への接触部と非接触
部との温度差が極めて小さくなり、板状被処理物(S)全
体を均一に加熱することができる。しかしながら、上述
したすべてのフォーク(27)(33)(41)の上面に突起(27a)
(33a)を形成しておく必要はない。

【００３５】上記実施例において、すべてのフォーク(2
7)(33)(41)を構成するステンレス鋼管の内部を雰囲気通
路としておき、フォーク(27)(33)(41)の突起の先端に雰
囲気吹出口を形成しておいてもよい。この場合、板状被
処理物(S) を非接触状態で支持することが可能になり、
板状被処理物(S) は一層均一に加熱されることになる。

【００３６】図１０はこの発明の他の実施例を示す。

【００３７】図１０において、上送り搬送装置(18)およ
び下送り搬送装置(19)の固定ラック(23)は、被処理物入
口(5) から連通口(7) まで至る高さを有する固定ラック
本体(29)に、アルミニウム製（アルミニウム合金製も含
む）被処理物支持板(70)が上下方向に間隔をおいて複数
設けられることにより構成されている。被処理物支持板
(70)における可動ラック(22)の被処理物支持フォーク群
(28)の各フォーク(27)と対応する左右方向の複数箇所
に、可動ラック(22)が固定ラック(23)に最も接近した状
態で上下方向に移動したさいに可動ラック(22)の各フォ
ーク(27)が通過しうる複数の切欠き(71)が、その先端か
ら形成されている。また、被処理物支持板(70)の下面に
は板状被処理物(S) を加熱するための面ヒータ(72)（加
熱手段）が貼着されている。

【００３８】この実施例の装置において、図示しない適
当な搬入手段によって、被処理物入口(5) を通して第１
熱処理室(2) 内に搬入された板状被処理物(S) は、第１
の実施例と同様にして被処理物が炉内で搬送される。可
動ラック(22)が固定ラック(23)に対して最も接近した状
態で上下動するさいには、可動ラック(22)の被処理物支
持フォーク群(28)の各フォーク(27)は、被処理物支持板
(70)に形成された各切欠き(71)を通過する。

【００３９】上記他の実施例においては、板状被処理物
(S) が炉(1) 内で搬送される間に、上送り搬送装置(18)
および下送り搬送装置(19)の固定ラック(23)の被処理物
支持板(70)を介して面ヒータ(72)で発せられた熱により
加熱されて熱処理が施される。したがって、炉(1) 内
に、第１の実施例の場合のように雰囲気循環路を形成す
る必要がなくなるとともに、ヒータ、送風機およびＨＥ
ＰＡフィルタが不要になる。また、他の方式で板状被処
理物(S) を熱処理する場合には、他の適当な加熱手段が
必要になるが、このような加熱手段も不要になる。

【００４０】また、上記他の実施例において、板状被処
理物(S) の熱処理を、被処理物支持板(70)のみによる加
熱だけではなく、被処理物支持板(70)による加熱と、第
１の実施例の場合と同様な方式による加熱とを併用する
ことにより行ってもよい。

【００４１】さらに、上記他の実施例において、板状被
処理物(S) の熱処理を第１の実施例の場合と同様な方式
によってのみ行ってもよい。この場合、面ヒータ(72)は
不要になる。

【００４２】

【発明の効果】この発明の第１および第２の連続熱処理
装置によれば、上述のように、上送り搬送装置および下
送り搬送装置の可動ラックの被処理物支持フォーク群、
ならびに固定ラックの被処理物支持フォーク群または被
処理物支持板により支持されて板状被処理物が炉内で搬
送されるので、上送り搬送装置および下送り搬送装置に
よる搬送中に板状被処理物がたわむのが防止される。

【００４３】また、２つの連続熱処理装置によれば、板
状被処理物のサイズが小さくなった場合にも、被処理物
支持フォーク群または被処理物支持板上に載せることが
可能になる。したがって、従来の装置のようにトレイを
用意する必要がなくなり、トレイを用いた場合の問題、
すなわち加熱効率が悪くなるとともに、被処理物におけ
るトレイとの接触面と非接触面との温度が不均一になる
という問題の発生を防止できる。

【００４４】さらに、２つの連続熱処理装置によれば、
上送り搬送装置および下送り搬送装置の可動ラックが固
定ラックに対して最も接近した状態で上下動するさいに
も、可動ラックの被処理物支持フォーク群と、固定ラッ
クの被処理物支持フォーク群または被処理物支持板とが
干渉するのを防止できる。

【００４５】また、この発明の第２の連続熱処理装置に
おいて、被処理物支持板が加熱手段を備えていると、板
状被処理物が炉内で搬送される間に、上送り搬送装置お
よび下送り搬送装置の固定ラックの被処理物支持板によ
り加熱される。したがって、板状被処理物の熱処理に、
加熱手段で発生させられた熱を利用することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明による連続熱処理装置の全体構成を示
す正面から見た垂直断面図である。

【図２】同じく水平断面図である。

【図３】同じく右側から見た垂直断面図である。

【図４】可動ラックの一部と固定ラックの一部とを拡大
して示す側面図である。

【図５】図１の部分拡大図である。

【図６】図５のVI−VI線断面図である。

【図７】連続熱処理装置の上部の構造を一部分を省略し
て示す正面から見た部分垂直断面図である。

【図８】図７のVIII−VIII線拡大断面図である。

【図９】上送り搬送装置による搬送動作を順番に示す図
である。

【図１０】この発明の他の実施例を示す可動ラックと固
定ラックの平面図である。

【符号の説明】

(1) 炉 (2) 第１の熱処理室 (3) 第２の熱処理室 (4) 隔壁 (5) 被処理物入口 (6) 被処理物出口 (7) 連通口 (18) 上送り搬送装置 (19) 下送り搬送装置 (21) 横送り搬送装置 (22) 可動ラック (23) 固定ラック (24) 可動ラック本体 (27) フォーク (28) 被処理物支持フォーク群 (29) 固定ラック本体 (33) フォーク (34) 被処理物支持フォーク群 (70) 被処理物支持板 (71) 切欠き (72) ヒータ（加熱手段） (S) 板状被処理物

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 炉内に上下方向にのびる第１および第２
   の熱処理室が隔壁を介して並列状に設けられており、第
   １の熱処理室の下端部に被処理物入口が形成されるとと
   もに第２の熱処理室の下端部に被処理物出口が形成さ
   れ、隔壁の上端部に両熱処理室を相互に連通させる連通
   口が形成され、第１の熱処理室内に、被処理物入口から
   送り込まれてきた板状被処理物を１枚ずつ保持して間欠
   的に上方に送る上送り搬送装置が設けられ、第２の熱処
   理室内に連通口を通って第１の熱処理室から送り込まれ
   てきた板状被処理物を１枚ずつ保持して間欠的に下方に
   送る下送り搬送装置が設けられ、炉内の上端部に、上送
   り搬送装置により第１の熱処理室の上端部まで送られて
   きた板状被処理物を受け取るとともに連通口を通して第
   ２の熱処理室に送り込み、さらに下送り搬送装置に受け
   渡す横送り搬送装置が設けられている連続熱処理装置に
   おいて、 上送り搬送装置および下送り搬送装置がそれぞれ各熱処
   理室内の前後に対向状に設けられた可動ラックおよび固
   定ラックにより構成され、可動ラックが、被処理物入口
   から連通口まで至る高さを有しかつ上下方向および前後
   方向に移動自在な可動ラック本体と、可動ラック本体に
   上下方向に間隔をおいて複数設けられ、かつ左右方向に
   間隔をおいて配された前後方向に長い複数のフォークよ
   りなる被処理物支持フォーク群とにより構成され、固定
   ラックが、被処理物入口から連通口まで至る高さを有す
   る固定ラック本体と、固定ラック本体に上下方向に間隔
   をおいて複数設けられ、かつ左右方向に間隔をおいて配
   された前後方向に長い複数のフォークよりなる被処理物
   支持フォーク群とにより構成され、可動ラックの被処理
   物支持フォーク群の各フォークと、固定ラックの被処理
   物支持フォーク群の各フォークとが左右方向にずれた位
   置に配されている連続熱処理装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の連続熱処理装置におい
   て、固定ラックが、被処理物入口から連通口まで至る高
   さを有する固定ラック本体と、固定ラック本体に上下方
   向に間隔をおいて複数設けられた被処理物支持板とによ
   り構成され、固定ラックの被処理物支持板における可動
   ラックの被処理物支持フォーク群の各フォークと対応す
   る左右方向の複数箇所に、可動ラックが固定ラックに最
   も接近した状態で上下方向に移動したさいに可動ラック
   のフォークが通過しうる複数の切欠きが、その先端から
   形成されている連続熱処理装置。
3. 【請求項３】 被処理物支持板が加熱手段を備えている
   請求項２記載の連続熱処理装置。