JPH0825369A - 樹脂モールド機のクリーニング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 金型のクリーニングを好適に行うことがで
き、確実に良品が製造できるようにする。 【構成】 樹脂モールド後の金型面にブラシを押接して
金型面をブラッシングすることにより金型面上に残留し
た不要樹脂を除去する樹脂モールド機のクリーニング装
置において、前記ブラシとして、前記不要樹脂を金型面
から剥離することを主目的とする剥離用のブラシ３４
ａ、３４ｂと金型面上の樹脂を掃き取って除去すること
を主目的とする掃き取り用のブラシ３２ａ、３２ｂとを
設け、少なくとも前記掃き取り用のブラシ３２ａ、３２
ｂに不要樹脂を吸引して排出する吸引ダクト５０ａ、５
０ｂを設けたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は樹脂モールド機のクリー
ニング装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】樹脂モールドタイプの半導体装置の製造
に用いる樹脂モールド機では、成型品を金型から取り出
した後、金型面に付着した樹脂をクリーニング装置で除
去し、確実な樹脂成形ができるようにしている。図８は
クリーニング装置の従来例で、金型上を移動する際に移
動方向と平行に振動する横ブラシ１０、１２によって金
型面をブラッシングしてクリーニングする装置である。
横ブラシ１０、１２には各々下型および上型の金型面に
向けてブラシ１４が植立され、クリーニング時に金型面
にブラシ１４を押しつけてブラッシングする。１６ａ、
１６ｂは横ブラシ１０、１２を振動させる駆動機構であ
る。１８ａ、１８ｂは金型面から剥離された樹脂を吸引
するための吸引部で、不要樹脂を排出するダクト２０に
連絡する。

【０００３】図９は金型のクリーニング装置の他の従来
例を示す。このクリーニング装置は金型面に対向する面
を開口させた箱形のケーシング２２内に、軸２３の外周
に螺旋状にブラシ毛２４を巻いて取り付けた螺旋回転ブ
ラシ２６ａ、２６ｂを有する。ケーシング２２の側面に
はダクト２８ａ、２８ｂが取り付けられ、クリーニング
時に軸２３が回転駆動されることによって金型面をブラ
ッシングするとともに、螺旋状に取り付けたブラシ毛２
４によって生じるエア流により、不要樹脂がダクト２８
ａ、２８ｂ側に移動されて排出されるよう構成されてい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】通常の樹脂モールド機
に設けられるクリーニング装置は成型品を金型内から取
り出すストッカーハンドとともにローダー機構に設けら
れており、ストッカーハンドとともに金型内に進入し、
ストッカーハンドが成型品をチャック支持して金型外へ
成形品を搬出するため移動する際に金型面をクリーニン
グする。図１０は半導体装置の樹脂モールドに使用する
金型の例で、樹脂モールド後に金型面に付着して残留す
る樹脂の様子を示す。図のように金型面には複雑な凹凸
形状が設けられており、キャビティ凹部の隅部分等に樹
脂３０が付着して残りやすい。

【０００５】樹脂モールド機のクリーニング装置は、こ
のように樹脂モールド後に金型面に付着して残留した樹
脂を金型面からこすり取るようにして取り除くものであ
るが、最近の樹脂モールド製品では密着性の高い樹脂を
使用するようになってきたことから、金型面に樹脂が付
着して残留しやすくなっており、また、かなり複雑な形
状の金型が増えたため金型面に樹脂が残る傾向が強まっ
てきた。

【０００６】そこで、本発明はこれら問題点を解消すべ
くなされたものであり、その目的とするところは、たと
えば樹脂の性質上、金型面に樹脂が付着しがちであるよ
うな場合や、複雑な形状を有する金型を用いたような場
合でも金型面のクリーニングを確実に行うことができ、
これによって的確な樹脂モールドを可能にする樹脂モー
ルド機のクリーニング装置を提供しようとするものであ
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため次の構成を備える。すなわち、樹脂モールド後
の金型面にブラシを押接して金型面をブラッシングする
ことにより金型面上に残留した不要樹脂を除去する樹脂
モールド機のクリーニング装置において、前記ブラシと
して、前記不要樹脂を金型面から剥離することを主目的
とする剥離用のブラシと金型面上の樹脂を掃き取って除
去することを主目的とする掃き取り用のブラシとを設
け、少なくとも前記掃き取り用のブラシに不要樹脂を吸
引して排出する吸引ダクトを設けたことを特徴とする。
また、前記剥離用のブラシが金型面に付着した樹脂を剥
離する剛性の高いブラシ毛によって形成され、前記掃き
取り用のブラシが前記剥離用のブラシよりも剛性の低い
ブラシ毛によって形成されたことを特徴とする。また、
クリーニング装置により前記剥離用のブラシと掃き取り
用のブラシを進退動させる際の移動方向に対して、前記
剥離用のブラシと掃き取り用のブラシを、クリーニング
開始する際に移動方向の前側に前記剥離用ブラシが配置
されるよう隣接させて前後位置に配置したことを特徴と
する。また、前記剥離用のブラシ及び前記掃き取り用の
ブラシとして、クリーニング装置の移動方向に平行に振
動する横ブラシ、あるいは金型面内で回転する回転ブラ
シ、あるいは軸上に螺旋状にブラシ毛を巻回した螺旋回
転ブラシを用いることを特徴とする。また、前記剥離用
のブラシ及び前記掃き取り用のブラシとして、横ブラシ
あるいは回転ブラシを使用し、これら横ブラシ及び回転
ブラシを金型面に弾性的に押圧するスプリング等の弾性
支持機構を設けたことを特徴とする。

【０００８】

【作用】本実施例の樹脂モールド機のクリーニング装置
は、金型面に付着した樹脂を剥離する剥離用のブラシと
金型面に残った樹脂を掃き取る掃き取り用のブラシを併
用してクリーニングする。剥離用のブラシは金型面に付
着した樹脂を剥離することを主目的とし、掃き取り用の
ブラシは金型面から樹脂を掃き取ることを主目的とす
る。金型に付着して残留した樹脂は剥離用ブラシによっ
て金型面からこすり取られ、掃き取り用のブラシによっ
て掃き取られ、吸引ダクトによって排出される。剥離用
のブラシとしては金型面に付着した樹脂を剥離しやすく
するため剛性の高いブラシ毛によって形成することが好
適であり、掃き取り用のブラシとしては比較的柔らかい
ブラシ毛によって形成することが好適である。

【０００９】

【実施例】以下、本発明の好適な実施例を添付図面に基
づいて詳細に説明する。図１は本発明に係る樹脂モール
ド機のクリーニング装置の第１実施例の構成を示す説明
図である。同図で３０ａ、３０ｂは上金型および下金型
であり、図は型開きした状態でクリーニング装置を金型
内に進入させる前の状態を示す。この実施例のクリーニ
ング装置も従来装置と同様に金型面をブラシでブラッシ
ングして金型面に付着した樹脂を剥離除去するが、本装
置の場合は作用の異なる２つのブラシを並列に配置して
クリーニングするよう構成したことを特徴とする。

【００１０】図１で３２ａ、３４ａは上金型３０ａをク
リーニングするブラシであり、３２ｂ、３４ｂは下金型
３０ｂをクリーニングするブラシである。これらブラシ
３２ａ、３２ｂ、３４ａ、３４ｂはいずれも水平面内で
回転して金型面をブラッシングする回転ブラシとして構
成している。図２はブラシ３４ａの平面配置を示す。ブ
ラシ３４ａは図のようにブラシ毛３６を円形に植立し、
複数のブラシ３４ａをクリーニング装置の移動方向と直
交する配置で設置して金型面の全面がブラッシングでき
るようにしている。他のブラシ３２ａ、３２ｂ、３４ｂ
についても同様に複数の回転ブラシを配置して金型面を
ブラッシングできるようにする。

【００１１】図３はブラシ３４ｂの支持方法および回転
駆動機構を示す。ブラシ毛３６は植毛ブロック３８の下
面に植立され、植毛ブロック３６は角形ロッド４０に回
り止めして挿通され、植毛ブロック３６の上面と支持ア
ーム４２との間にスプリング４４が装着される。角形ロ
ッド４０は支持アーム４２に回転自在に支持された回転
軸に取り付けられ、回転軸の上端にプーリ４６が固定さ
れる。プーリ４６はベルト４８によって回転駆動され、
これによってブラシ３４ｂが回転される。スプリング４
４はクリーニングの際にブラシ毛３６を金型面に弾性的
に押圧し、金型面の凹凸に応じたブラッシングを可能に
する。なお、他のブラシ３２ａ、３２ｂ、３４ａもブラ
シ３４ｂと同様な構成によって回転駆動される。

【００１２】図１に示すようにブラシ３２ａとブラシ３
４ａは隣接させて並置するが、ブラシ３２ａに取り付け
るブラシ毛は比較的柔らかな毛を使用し、ブラシ３４ａ
に取り付けるブラシ毛は剛性が高い硬い毛を使用する。
このようにブラシ３２ａとブラシ３４ａとで異なるブラ
シ毛を使用するのは、金型面をクリーニングする際にブ
ラシ３２ａとブラシ３４ａとで異なる作用をさせること
によって、確実なクリーニングを可能にするためであ
る。

【００１３】すなわち、硬いブラシ毛で形成したブラシ
３４ａは金型面をこすって、金型面に付着した樹脂を剥
離する作用に重点をおく剥離用のブラシであり、一方、
柔らかいブラシ毛で形成したブラシ３２ａはブラシ３４
ａによって剥離された樹脂を金型面から掃きとって除去
することを主な目的とする掃き取り用のブラシである。
実施例ではブラシ３２ａの背面側に樹脂を吸引して排出
するための吸引ダクト５０ａを設置した。なお、ブラシ
３４ａには吸引ダクトの吸引力を弱めないようにするた
め吸引ダクトを設けていないが、吸引ダクトを設けるこ
とは可能である。

【００１４】上記説明では上金型３０ａをクリーニング
するブラシ３２ａ、３４ａについて述べたが、下金型３
０ｂをクリーニングするブラシ３２ｂ、３４ｂも、上下
配置を対称として上金型側と同様に構成される。なお、
図１で５０ｂはブラシ３２ｂの背面側に設置した吸引ダ
クト、５２は成形品を金型から取り出すためのストッカ
ーハンドである。

【００１５】上記のようにブラシ３２ａ、３２ｂとブラ
シ３４ａ、３４ｂとで役割を分担してクリーニングする
ため、これらブラシ３２ａ、３２ｂ、３４ａ、３４ｂを
配置する場合には、ブラシ３４ａでまず金型面をブラッ
シングした後にブラシ３２ａが金型面を通過してクリー
ニングするように配置する。図１で柔らかいブラシ毛を
用いたブラシ３２ａ、３２ｂを金型に進入する前側に配
置しているのは、実施例のクリーニング装置では型開き
してクリーニング装置が金型内に進入し、ストッカーハ
ンド５２で成形品をチャックした後、クリーニング装置
が金型外の元位置に戻る際に金型面をブラッシングして
クリーニングするように構成しているからである。

【００１６】ストッカーハンド５２はブラシの後方に設
置されており、ストッカーハンド５２が成形品をチャッ
クする位置まで進入した際にはブラシ３２ａ、３２ｂ、
３４ａ、３４ｂは金型の端位置にあって、クリーニング
装置が元方向に移動する際には、まず硬い毛で形成した
ブラシ３４ａ、３４ｂが金型面をブラッシングして金型
面に付着した樹脂を剥離し、続いて柔らかい毛で形成し
たブラシ３２ａ、３２ｂで金型面を掃くようにするとと
もに吸引ダクト５０ａ、５０ｂで樹脂を吸引することに
よって金型面をクリーニングする。ブラシ３２ａ、３２
ｂはブラシ３４ａ、３４ｂに隣接して配置しているか
ら、ブラシ３４ａ、３４ｂで剥離した樹脂は直ちにブラ
シ３２ａ、３２ｂによって掃き取ることができ、効果的
なクリーニングを行うことができる。

【００１７】ブラシ３２ａ、３２ｂ、３４ａ、３４ｂは
スプリング４４によって弾性的に金型面を押圧するか
ら、金型面に凹凸があっても的確なブラッシングができ
る。なお、ブラシ３２ａ、３２ｂには柔らかいブラシ毛
を使用するからとくにスプリング４４で弾性的に押さえ
るようにしなくてもよい。また、硬いブラシ毛を使用す
るブラシ３４ａ、３４ｂの場合、外周側に植立させるブ
ラシ毛については剛性が高い毛を使用して樹脂を擦り取
りやすくし、内側に植立させるブラシ毛については若干
柔らかい毛を使用して掃き取りやすくするのがよい。

【００１８】上記実施例のクリーニング装置は柔らかい
ブラシ毛を使用したブラシ３２ａ、３２ｂと硬いブラシ
毛を使用したブラシ３４ａ、３４ｂを併用することによ
って、金型面に強く付着して従来のブラシ毛を用いたク
リーニング装置では剥離除去できなかったような樹脂で
あっても除去することが可能になり、また、金型面に残
った樹脂を柔らかいブラシ毛のブラシ３２ａ、３２ｂを
用いて掃きとることによって、複雑な凹凸を有する金型
のような場合でも金型面に樹脂を残さずに確実にクリー
ニングすることが可能になる。

【００１９】上記実施例はブラシ３２ａ、３２ｂ、３４
ａ、３４ｂを回転ブラシとして構成した例であるが、回
転ブラシにかえて図８に示すと同様な金型面と平行に横
方向に振動する横ブラシを使用することもできる。図
４、５は横ブラシを使用する場合の例を示す。図４は金
型面全体をブラッシングできるように横ブラシ５４を複
数個直列に配置し各々の横ブラシ５４の両側にブラシ毛
３６を配置したこと、図５は植毛ブロック５６にブラシ
毛３６を植立させるとともにスプリング５８によって横
ブラシ５４を金型面に弾性的に押圧できるように構成し
たことを示す。

【００２０】このように横ブラシ５４を使用する場合
も、上記実施例と同様に剛性の高いブラシ毛で金型面に
付着した樹脂を剥離除去する作用を目的とするブラシ
と、柔らかいブラシ毛を用いて金型面上の樹脂を掃き取
ることを主目的とするブラシを並置させて金型面をクリ
ーニングすることによって好適なクリーニングを行うこ
とができる。

【００２１】図６は樹脂モールド機のクリーニング装置
の第２実施例の構成を示す説明図である。この実施例の
クリーニング装置は、螺旋回転ブラシ６２ａ、６４ａ、
６２ｂ、６４ｂを各々並置して設置したことを特徴とす
る。これら螺旋回転ブラシ６２ａ、６２ｂ、６４ａ、６
４ｂは図９に示すと同様に螺旋状にブラシ毛を巻回して
成るものである。６２ａ、６２ｂは上金型３０ａ、下金
型３０ｂの各々の金型面に対し金型面から樹脂を掃き取
るようにして除去することを主目的とし、比較的柔らか
いブラシ毛によって形成したもの、６４ａ、６４ｂは金
型面に付着した樹脂を擦り取りやすくするため剛性の高
いブラシ毛を用いて形成したものである。螺旋回転ブラ
シ６２ａ、６２ｂには上記実施例と同様に樹脂を吸引し
て排出する吸引ダクト５０ａ、５０ｂを設ける。

【００２２】これら螺旋回転ブラシ６２ａ、６２ｂ、６
４ａ、６４ｂによるクリーニング作用は上記各実施例の
クリーニング装置と同様である。螺旋回転ブラシ６２
ａ、６２ｂ、６４ａ、６４ｂは回転軸をクリーニング装
置の進退動方向とは直交する向きに配置して設置され、
ストッカーハンド５２で成形品をチャックした後、クリ
ーニング装置が金型外方向へ移動する際に金型面をブラ
ッシングしてクリーニングする。螺旋回転ブラシ６２
ａ、６２ｂでは金型面に残った樹脂を螺旋に巻回いたブ
ラシ毛の作用によって吸引ダクト５０ａ、５０ｂ方向に
押し出すようにして排出する。

【００２３】図７はクリーニング装置の第３実施例を示
す説明図である。この実施例は螺旋回転ブラシ６２ａ、
６２ｂと横ブラシ５４ａ、５４ｂを併用して構成したこ
とを特徴とする。すなわち、本実施例では金型面に付着
する樹脂を剥離除去するブラシとして剛性の高いブラシ
毛によって形成した横ブラシ５４ａ、５４ｂを使用し、
金型面から樹脂を掃き取るブラシとして螺旋回転ブラシ
６２ａ、６２ｂを使用する。金型面から樹脂を剥離除去
することを目的とする場合は螺旋回転ブラシを使用する
よりも横ブラシを使用する方が装置構成が簡易にできて
有利な場合があり、また横ブラシによる方が剥離除去作
用を効果的になし得る場合があるという利点がある。

【００２４】なお、この場合、横ブラシ５４ａ、５４ｂ
にかえて、図１に示す実施例で使用した回転ブラシを使
用することも可能である。このように、ブラシ構成を２
段に分けて構成する場合は、異なる形態のブラシを併用
することが可能である。たとえば、図１に示す実施例の
場合も回転ブラシの一方を横ブラシにかえて使用すると
いったことも可能である。また、上記実施例では軸上に
螺旋状にブラシ毛を巻回した螺旋回転ブラシ６２ａ、６
２ｂ、６４ａ、６４ｂを使用したが、ブラシ毛の剛性が
異なるものを使用する等により必ずしも螺旋に巻回した
ものでなくても使用することができる。

【００２５】また、上記各実施例のクリーニング装置は
クリーニング装置を金型から外方へ引き出す際にブラシ
によるクリーニング作用を行うものであるから、クリー
ニング装置の前側に柔らかいブラシ毛で形成した樹脂の
掃き取り用のブラシ３２ａ、６２ａ等を配置し、その後
ろ側に金型面から樹脂を剥離させることを目的とするブ
ラシ３４ａ、６４ａを配置したが、成形品の取り出しと
クリーニング装置が別個に移動するような装置の場合に
は金型内にクリーニング装置が進入する場合に金型面を
クリーニングするように構成することも可能であり、そ
の場合にはブラシ３２ａ、６２ａ等とブラシ３４ａ、６
４ａ等の配置を逆にする。

【００２６】また、クリーニング装置によっては金型内
に進入する際と金型内から金型外へ移動する際にともに
クリーニング作用をなさせるようにすることも可能であ
る。この場合は、金型に進入する際には樹脂の剥離作用
をなすブラシと掃き取り、吸引作用をなすブラシとをと
もに作動させ、金型外へ向けて移動する際には掃き取り
作用をなすブラシのみ作動させるようにすることも可能
である。また、実施例ではブラシを２段に分けて配置し
たが、ブラシ毛の剛性が異なるもの、あるいは横ブラシ
と回転ブラシといったように異なる作用によるブラシを
併用して３段以上の多段にブラシを配置することも可能
である。本発明に係る樹脂モールド機のクリーニング装
置は、その配置、サイズ等、適宜設定できるものであ
り、種々タイプの樹脂モールド機に適用できることはい
うまでもない。

【００２７】

【発明の効果】本発明に係る樹脂モールド機のクリーニ
ング装置によれば、上述したように、金型面に付着した
樹脂を好適に除去することが可能であり、これによって
金型面に密着しやすい樹脂を用いて樹脂モールドした場
合や、金型面に複雑な凹凸が形成されて樹脂の付着残り
が発生しやすいような金型を用いたような場合でも、金
型面のクリーニングが好適にでき、これによって良品を
確実に製造することが可能になる等の著効を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】クリーニング装置の第１実施例の構成を示す説
明図である。

【図２】ブラシの平面配置を示す説明図である。

【図３】ブラシの取付方法および回転駆動機構を示す説
明図である。

【図４】横ブラシの平面配置を示す説明図である。

【図５】横ブラシの取付状態を示す説明図である。

【図６】クリーニング装置の第２実施例の構成を示す説
明図である。

【図７】クリーニング装置の第３実施例の構成を示す説
明図である。

【図８】横ブラシを用いたクリーニング装置の従来例を
示す説明図である。

【図９】螺旋回転ブラシを用いたクリーニング装置の従
来例を示す説明図である。

【図１０】金型に樹脂が付着する様子を示す説明図であ
る。

【符号の説明】

１０、１２ 横ブラシ １８ａ、１８ｂ 吸引部 ２０ ダクト ２６ａ、２６ｂ 螺旋回転ブラシ ２８ａ、２８ｂ ダクト ３０ａ 上金型 ３０ｂ 下金型 ３２ａ、３２ａ ブラシ ３４ａ、３４ｂ ブラシ ３６、５４ ブラシ毛 ４４、５８ スプリング ５０ａ、５０ｂ 吸引ダクト ５２ ストッカーハンド ５４ 横ブラシ ６２ａ、６２ｂ 螺旋回転ブラシ ６４ａ、６４ｂ 螺旋回転ブラシ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 樹脂モールド後の金型面にブラシを押接
   して金型面をブラッシングすることにより金型面上に残
   留した不要樹脂を除去する樹脂モールド機のクリーニン
   グ装置において、 前記ブラシとして、前記不要樹脂を金型面から剥離する
   ことを主目的とする剥離用のブラシと金型面上の樹脂を
   掃き取って除去することを主目的とする掃き取り用のブ
   ラシとを設け、 少なくとも前記掃き取り用のブラシに不要樹脂を吸引し
   て排出する吸引ダクトを設けたことを特徴とする樹脂モ
   ールド機のクリーニング装置。
2. 【請求項２】 前記剥離用のブラシが金型面に付着した
   樹脂を剥離する剛性の高いブラシ毛によって形成され、 前記掃き取り用のブラシが前記剥離用のブラシよりも剛
   性の低いブラシ毛によって形成されたことを特徴とする
   請求項１記載の樹脂モールド機のクリーニング装置。
3. 【請求項３】 クリーニング装置により前記剥離用のブ
   ラシと掃き取り用のブラシを進退動させる際の移動方向
   に対して、前記剥離用のブラシと掃き取り用のブラシ
   を、クリーニング開始する際に移動方向の前側に前記剥
   離用ブラシが配置されるよう隣接させて前後位置に配置
   したことを特徴とする請求項１または２記載の樹脂モー
   ルド機のクリーニング装置。
4. 【請求項４】 前記剥離用のブラシ及び前記掃き取り用
   のブラシとして、クリーニング装置の移動方向に平行に
   振動する横ブラシ、あるいは金型面内で回転する回転ブ
   ラシ、あるいは軸上に螺旋状にブラシ毛を巻回した螺旋
   回転ブラシを用いることを特徴とする請求項１、２また
   は３記載の樹脂モールド機のクリーニング装置。
5. 【請求項５】 前記剥離用のブラシ及び前記掃き取り用
   のブラシとして、横ブラシあるいは回転ブラシを使用
   し、これら横ブラシ及び回転ブラシを金型面に弾性的に
   押圧するスプリング等の弾性支持機構を設けたことを特
   徴とする請求項４記載の樹脂モールド機のクリーニング
   装置。