JPH08247962A - カラーフィルタの欠陥検出方法及び欠陥検出装置並びにパネルディスプレイの欠陥検出方法及び欠陥検出装置 - Google Patents

カラーフィルタの欠陥検出方法及び欠陥検出装置並びにパネルディスプレイの欠陥検出方法及び欠陥検出装置

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JPH08247962A
JPH08247962A JP7050933A JP5093395A JPH08247962A JP H08247962 A JPH08247962 A JP H08247962A JP 7050933 A JP7050933 A JP 7050933A JP 5093395 A JP5093395 A JP 5093395A JP H08247962 A JPH08247962 A JP H08247962A
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JP
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pixels
pixel
panel display
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JP7050933A
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English (en)
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Tomoaki Endo
智明 遠藤
Yasunari Zenpo
康成 善甫
Motoji Yoshida
元二 吉田
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Sumitomo Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Chemical Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、均一な精度でカラーフィルタの欠
陥が検出できる欠陥検出方法を提供することを目的とす
る。 【構成】 第1のステップで、画像データ(40)が2
値化処理され、カラーフィルタ(10)の各画素が、傷
などの欠陥を有する特定画素(41〜44)と、その他
の画素とに分類される。次に、第2のステップで、全て
の特定画素(41〜44)の中から2つの特定画素(4
1〜44)の組合せの全てを取り出す処理が行われ、組
合せの各々について特定画素(41〜44)間の距離が
算出される。さらに、第3のステップで、全ての特定画
素(41〜44)間の距離のデータから頻度分布パター
ンが作成され、この頻度分布パターンからカラーフィル
タ(10)の欠陥が検出される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶ディスプレイ用の
カラーフィルタの欠陥を検出する欠陥検出方法及び欠陥
検出装置に関する。また、本発明は、走査方法としてラ
スター・スキャン又はX,Yアドレス・スキャンを行
う、発光型或いは非発光型のパネルディスプレイの欠陥
を検出する欠陥検出方法及び欠陥検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、このような分野の技術としては、
特開平2−193271号公報のものが知られている。
この公報に記載された従来の欠陥検出方法は、まず、カ
ラーフィルタ又はパネルディスプレイの表面をカメラな
どで撮像した画像と、この画像を上下左右方向及び斜め
方向にずらした画像との差を算出し、色むら部分を強調
した合成画像を作成する。そして、この合成画像を検査
員が目視にて観察して、カラーフィルタ等に欠陥がある
か判定する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
欠陥検出方法では、検査員の目視によって欠陥検出を行
っているため、検査員の熟練度によって検出精度が左右
され問題であった。特に、熟練度の低い検査員が欠陥検
出を行ったのでは、検出精度が非常に低く問題であっ
た。また、近年の自動化技術の発展の中で、検査工程に
いつまでも人間が介在していたのでは、生産性向上を阻
害すると共に、コスト上昇の要因となり問題であった。
【0004】本発明は、このような問題を解決し、均一
な精度でカラーフィルタの欠陥が検出できる欠陥検出方
法及び欠陥検出装置を提供することを目的とする。ま
た、均一なパネルディスプレイの欠陥が検出できる欠陥
検出方法及び欠陥検出装置を提供することを目的とす
る。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の第1の欠陥検出方法は、複数の感光画素が
マトリックス状に配列された撮像デバイスを用いてカラ
ーフィルタの表面を撮像し、撮像デバイスから出力され
た画像データに基づいてカラーフィルタの欠陥を検出す
る検出方法であって、画像データを所定の輝度のしきい
値に基づいて2値化処理し、撮像デバイスの各感光画素
に対応した画像データの各画素を特定画素とその他の画
素に分類する第1のステップと、全ての特定画素の中か
ら2つの特定画素の組合せの全てを取り出して、組合せ
の各々について特定画素間の距離を算出する第2のステ
ップと、全ての特定画素間の距離のデータから距離の頻
度分布パターンを作成し、この頻度分布パターンからカ
ラーフィルタの欠陥を検出する第3のステップとを備え
ている。ここで、第1のステップは、画像データを複数
の領域に分割する処理を含み、第2のステップでは、分
割した領域ごとに特定画素の組合せの取り出し、及び特
定画素間の距離の算出を行うと共に、第3のステップで
は、分割した領域ごとに頻度分布パターンの作成、及び
カラーフィルタの欠陥の検出を行うとよい。また、第3
のステップでのカラーフィルタの欠陥を検出する処理
は、所定のしきい値を用いた判定手法、パターン認識法
を用いた判定手法、又はニューラルネットワークを用い
た判定手法のいずれかで行うとよい。
【0006】また、本発明の第2の欠陥検出方法は、複
数の感光画素がマトリックス状に配列された撮像デバイ
スを用いてカラーフィルタの表面を撮像し、撮像デバイ
スから出力された画像データに基づいてカラーフィルタ
の欠陥を検出する検出方法であって、画像データを所定
の輝度のしきい値に基づいて2値化処理し、撮像デバイ
スの各感光画素に対応した画像データの各画素を特定画
素とその他の画素に分類する第1のステップと、特定画
素の位置座標(x,y)を、ρ=xcosθ+ysin
θに代入して、θを0度から180度まで1度ずつ変化
させた際の各角度でのρの値を、全ての特定画素につい
て算出する第2のステップと、算出したρの値から角度
ごとにρの値の頻度分布パターンを作成し、これらの頻
度分布パターンからカラーフィルタの欠陥を検出する第
3のステップとを備えている。ここで、第3のステップ
でのカラーフィルタの欠陥を検出する処理は、所定のし
きい値を用いた判定手法、パターン認識法を用いた判定
手法、又はニューラルネットワークを用いた判定手法の
いずれかで行うとよい。
【0007】さらに、本発明の第1の欠陥検出装置は、
複数の感光画素がマトリックス状に配列され、カラーフ
ィルタの表面を撮像する撮像デバイスと、撮像デバイス
から出力された画像データに基づいてカラーフィルタの
欠陥を検出する検出手段とを備える検出装置であって、
検出手段は、画像データを所定の輝度のしきい値に基づ
いて2値化処理し、撮像デバイスの各感光画素に対応し
た画像データの各画素を特定画素とその他の画素に分類
する第1の処理部と、全ての特定画素の中から2つの特
定画素の組合せの全てを取り出して、組合せの各々につ
いて特定画素間の距離を算出する第2の処理部と、全て
の特定画素間の距離のデータから距離の頻度分布パター
ンを作成し、この頻度分布パターンからカラーフィルタ
の欠陥を検出する第3の処理部とを備えている。ここ
で、第1の処理部は、画像データを複数の領域に分割す
る処理を含み、第2の処理部では、分割した領域ごとに
特定画素の組合せの取り出し、及び特定画素間の距離の
算出を行うと共に、第3の処理部では、分割した領域ご
とに頻度分布パターンの作成、及びカラーフィルタの欠
陥の検出を行うとよい。また、第3の処理部でのカラー
フィルタの欠陥を検出する処理は、所定のしきい値を用
いた判定手法、パターン認識法を用いた判定手法、又は
ニューラルネットワークを用いた判定手法のいずれかで
行うとよい。
【0008】さらにまた、本発明の第2の欠陥検出装置
は、複数の感光画素がマトリックス状に配列され、カラ
ーフィルタの表面を撮像する撮像デバイスと、撮像デバ
イスから出力された画像データに基づいてカラーフィル
タの欠陥を検出する検出手段とを備える検出装置であっ
て、検出手段は、画像データを所定の輝度のしきい値に
基づいて2値化処理し、撮像デバイスの各感光画素に対
応した画像データの各画素を特定画素とその他の画素に
分類する第1の処理部と、特定画素の位置座標(x,
y)を、ρ=xcosθ+ysinθに代入して、θを
0度から180度まで1度ずつ変化させた際の各角度で
のρの値を、全ての特定画素について算出する第2の処
理部と、算出したρの値から角度ごとに頻度分布パター
ンを作成し、これらの頻度分布パターンからカラーフィ
ルタの欠陥を検出する第3の処理部とを備えている。こ
こで、第3の処理部でのカラーフィルタの欠陥を検出す
る処理は、所定のしきい値を用いた判定手法、パターン
認識法を用いた判定手法、又はニューラルネットワーク
を用いた判定手法のいずれかで行うとよい。
【0009】さらにまた、本発明の第3の欠陥検出方法
は、複数の画素がマトリックス状に配列されたパネルデ
ィスプレイの表面を撮像デバイスを用いて撮像し、撮像
デバイスから出力された画像データに基づいてパネルデ
ィスプレイの欠陥を検出する検出方法であって、画像デ
ータを所定の輝度のしきい値に基づいて2値化処理し、
パネルディスプレイの各画素を特定画素とその他の画素
に分類する第1のステップと、全ての特定画素の中から
2つの特定画素の組合せの全てを取り出して、組合せの
各々について特定画素間の距離を算出する第2のステッ
プと、全ての特定画素間の距離のデータから距離の頻度
分布パターンを作成し、この頻度分布パターンからパネ
ルディスプレイの欠陥を検出する第3のステップとを備
えている。ここで、第1のステップは、パネルディスプ
レイの全画素を複数の領域に分割する処理を含み、第2
のステップでは、分割した領域ごとに特定画素の組合せ
の取り出し、及び特定画素間の距離の算出を行うと共
に、第3のステップでは、分割した領域ごとに頻度分布
パターンの作成、及びパネルディスプレイの欠陥の検出
を行うとよい。また、第3のステップでのパネルディス
プレイの欠陥を検出する処理は、所定のしきい値を用い
た判定手法、パターン認識法を用いた判定手法、又はニ
ューラルネットワークを用いた判定手法のいずれかで行
うとよい。
【0010】さらにまた、本発明の第4の欠陥検出方法
は、複数の画素がマトリックス状に配列されたパネルデ
ィスプレイの表面を撮像デバイスを用いて撮像し、撮像
デバイスから出力された画像データに基づいてパネルデ
ィスプレイの欠陥を検出する検出方法であって、画像デ
ータを所定の輝度のしきい値に基づいて2値化処理し、
パネルディスプレイの各画素を特定画素とその他の画素
に分類する第1のステップと、特定画素の位置座標
(x,y)を、ρ=xcosθ+ysinθに代入し
て、θを0度から180度まで1度ずつ変化させた際の
各角度でのρの値を、全ての特定画素について算出する
第2のステップと、算出したρの値から角度ごとにρの
値の頻度分布パターンを作成し、これらの頻度分布パタ
ーンからパネルディスプレイの欠陥を検出する第3のス
テップとを備えている。ここで、第3のステップでのパ
ネルディスプレイの欠陥を検出する処理は、所定のしき
い値を用いた判定手法、パターン認識法を用いた判定手
法、又はニューラルネットワークを用いた判定手法のい
ずれかで行うとよい。
【0011】さらにまた、本発明の第3の欠陥検出装置
は、複数の画素がマトリックス状に配列されたパネルデ
ィスプレイの表面を撮像する撮像デバイスと、撮像デバ
イスから出力された画像データに基づいてパネルディス
プレイの欠陥を検出する検出手段とを備える検出装置で
あって、検出手段は、画像データを所定の輝度のしきい
値に基づいて2値化処理し、パネルディスプレイの各画
素を特定画素とその他の画素に分類する第1の処理部
と、全ての特定画素の中から2つの特定画素の組合せの
全てを取り出して、組合せの各々について特定画素間の
距離を算出する第2の処理部と、全ての特定画素間の距
離のデータから距離の頻度分布パターンを作成し、この
頻度分布パターンからパネルディスプレイの欠陥を検出
する第3の処理部とを備えている。ここで、第1の処理
部は、パネルディスプレイの全画素を複数の領域に分割
する処理を含み、第2の処理部では、分割した領域ごと
に特定画素の組合せの取り出し、及び特定画素間の距離
の算出を行うと共に、第3の処理部では、分割した領域
ごとに頻度分布パターンの作成、及びパネルディスプレ
イの欠陥の検出を行うとよい。また、第3の処理部での
パネルディスプレイの欠陥を検出する処理は、所定のし
きい値を用いた判定手法、パターン認識法を用いた判定
手法、又はニューラルネットワークを用いた判定手法の
いずれかで行うとよい。
【0012】さらにまた、本発明の第4の欠陥検出装置
は、複数の画素がマトリックス状に配列されたパネルデ
ィスプレイの表面を撮像する撮像デバイスと、撮像デバ
イスから出力された画像データに基づいてパネルディス
プレイの欠陥を検出する検出手段とを備える検出装置で
あって、検出手段は、画像データを所定の輝度のしきい
値に基づいて2値化処理し、パネルディスプレイの各画
素を特定画素とその他の画素に分類する第1の処理部
と、特定画素の位置座標(x,y)を、ρ=xcosθ
+ysinθに代入して、θを0度から180度まで1
度ずつ変化させた際の各角度でのρの値を、全ての特定
画素について算出する第2の処理部と、算出したρの値
から角度ごとに頻度分布パターンを作成し、これらの頻
度分布パターンからパネルディスプレイの欠陥を検出す
る第3の処理部とを備えている。ここで、第3の処理部
でのパネルディスプレイの欠陥を検出する処理は、所定
のしきい値を用いた判定手法、パターン認識法を用いた
判定手法、又はニューラルネットワークを用いた判定手
法のいずれかで行うとよい。
【0013】
【作用】本発明の第1の欠陥検出方法によれば、第1の
ステップで、画像データが2値化処理され、撮像デバイ
スの各感光画素に対応した画像データの各画素が、特定
画素とその他の画素に分類される。次に、第2のステッ
プで、全ての特定画素の中から2つの特定画素の組合せ
の全てを取り出す処理が行われ、組合せの各々について
特定画素間の距離が算出される。さらに、第3のステッ
プで、全ての特定画素間の距離のデータから距離の頻度
分布パターンが作成され、この頻度分布パターンからカ
ラーフィルタの欠陥が検出される。
【0014】また、本発明の第2の欠陥検出方法によれ
ば、第1のステップで、画像データが2値化処理され、
撮像デバイスの各感光画素に対応した画像データの各画
素が、特定画素とその他の画素に分類される。次に、第
2のステップで、特定画素の位置座標(x,y)が、ρ
=xcosθ+ysinθに代入され、θを0度から1
80度まで1度ずつ変化させた際の各角度でのρの値
が、全ての特定画素について算出される。さらに、第3
のステップで、算出したρの値から角度ごとに頻度分布
パターンが作成され、これらの頻度分布パターンからカ
ラーフィルタの欠陥が検出される。
【0015】さらに、本発明の第1の欠陥検出装置によ
れば、撮像デバイスを用いてカラーフィルタの表面を撮
像すると、撮像デバイスから出力された画像データが検
出手段に入力される。入力された画像データは第1の処
理部に与えられ、撮像デバイスの各感光画素に対応した
画像データの各画素が、2値化処理によって、特定画素
とその他の画素に分類される。分類された画像データは
第2の処理部に与えられ、全ての特定画素の中から2つ
の特定画素の組合せの全てが取り出され、組合せの各々
について特定画素間の距離が算出される。算出された全
ての特定画素間の距離のデータは第3の処理部に与えら
れ、これらのデータから頻度分布パターンが作成され、
この頻度分布パターンからカラーフィルタの欠陥が検出
される。
【0016】さらにまた、本発明の第2の欠陥検出装置
によれば、撮像デバイスを用いてカラーフィルタの表面
を撮像すると、撮像デバイスから出力された画像データ
が検出手段に入力される。入力された画像データは第1
の処理部に与えられ、撮像デバイスの各感光画素に対応
した画像データの各画素が、2値化処理によって、特定
画素とその他の画素に分類される。分類された画像デー
タは第2の処理部に与えられ、特定画素の位置座標
(x,y)が、ρ=xcosθ+ysinθに代入され
る。そして、θを0度から180度まで1度ずつ変化さ
せた際の各角度でのρの値が、全ての特定画素について
算出される。算出されたρの値は第3の処理部に与えら
れ、ρの値から角度ごとに頻度分布パターンが作成さ
れ、これらの頻度分布パターンからカラーフィルタの欠
陥が検出される。
【0017】さらにまた、本発明の第3の欠陥検出方法
によれば、第1のステップで、画像データが2値化処理
され、パネルディスプレイの各画素が、特定画素とその
他の画素に分類される。次に、第2のステップで、全て
の特定画素の中から2つの特定画素の組合せの全てを取
り出す処理が行われ、組合せの各々について特定画素間
の距離が算出される。さらに、第3のステップで、全て
の特定画素間の距離のデータから距離の頻度分布パター
ンが作成され、この頻度分布パターンからパネルディス
プレイの欠陥が検出される。
【0018】さらにまた、本発明の第4の欠陥検出方法
によれば、第1のステップで、画像データが2値化処理
され、パネルディスプレイの各画素が、特定画素とその
他の画素に分類される。次に、第2のステップで、特定
画素の位置座標(x,y)が、ρ=xcosθ+ysi
nθに代入され、θを0度から180度まで1度ずつ変
化させた際の各角度でのρの値が、全ての特定画素につ
いて算出される。さらに、第3のステップで、算出した
ρの値から角度ごとに頻度分布パターンが作成され、こ
れらの頻度分布パターンからパネルディスプレイの欠陥
が検出される。
【0019】さらにまた、本発明の第3の欠陥検出装置
によれば、撮像デバイスを用いてパネルディスプレイの
表面を撮像すると、撮像デバイスから出力された画像デ
ータが検出手段に入力される。入力された画像データは
第1の処理部に与えられ、パネルディスプレイの各画素
が、2値化処理によって、特定画素とその他の画素に分
類される。分類された画像データは第2の処理部に与え
られ、全ての特定画素の中から2つの特定画素の組合せ
の全てが取り出され、組合せの各々について特定画素間
の距離が算出される。算出された全ての特定画素間の距
離のデータは第3の処理部に与えられ、これらのデータ
から頻度分布パターンが作成され、この頻度分布パター
ンからパネルディスプレイの欠陥が検出される。
【0020】さらにまた、本発明の第4の欠陥検出装置
によれば、撮像デバイスを用いてパネルディスプレイの
表面を撮像すると、撮像デバイスから出力された画像デ
ータが検出手段に入力される。入力された画像データは
第1の処理部に与えられ、パネルディスプレイの各画素
が、2値化処理によって、特定画素とその他の画素に分
類される。分類された画像データは第2の処理部に与え
られ、特定画素の位置座標(x,y)が、ρ=xcos
θ+ysinθに代入される。そして、θを0度から1
80度まで1度ずつ変化させた際の各角度でのρの値
が、全ての特定画素について算出される。算出されたρ
の値は第3の処理部に与えられ、ρの値から角度ごとに
頻度分布パターンが作成され、これらの頻度分布パター
ンからパネルディスプレイの欠陥が検出される。
【0021】
【実施例】以下、本発明の好適な実施例について、添付
図面を参照して説明する。
【0022】(実施例1)図1は、本発明の第1の実施
例に係るカラーフィルタの欠陥検出装置の構成を示す概
略図である。同図より、第1の実施例の欠陥検出装置
は、カラーフィルタ10の表面を撮像するCCDカメラ
20と、CCDカメラ20から出力された画像データに
基づいてカラーフィルタ10の欠陥を検出する検出器3
0とを備えている。検出器30は、画像データをアナロ
グ/デジタル(A/D)変換するA/D変換部31と、
A/D変換された画像データを記憶する画像メモリ32
と、画像データの欠陥を検出する処理モジュール33
と、A/D変換部31、画像メモリ32、及び処理モジ
ュール33を制御するCPU34とを備えている。そし
て、A/D変換部31、画像メモリ32、処理モジュー
ル33、及びCPU34は、システムバス35を介して
相互に接続されている。
【0023】処理モジュール33は、画像データを2値
化処理する第1の処理部33aと、傷等の欠陥を有する
画素(以下、特定画素という)間の距離を算出する第2
の処理部33bと、頻度分布パターンを作成し、この頻
度分布パターンからカラーフィルタ10の欠陥を検出す
る第3の処理部33cとを備えている。
【0024】次に、第1の実施例に係る欠陥検出方法に
ついて説明する。この検出方法には上述した第1の実施
例に係る欠陥検出装置が用いられる。まず、CCDカメ
ラ20を用いて、カラーフィルタ10の表面を透過する
透過光像、或いはカラーフィルタ10の表面で反射する
反射光像を撮像する。撮像された画像データはCCDカ
メラ20から出力され、検出器30に与えられる。
【0025】CCDカメラ20の各感光画素20aはマ
トリックス状に配列されており、このため、このCCD
カメラ20で撮像された撮像データは、各感光画素20
aに対応した画素を有している。したがって、この画像
データの各画素の輝度分布を検出器30の処理モジュー
ル33で求めることにより、カラーフィルタ10に欠陥
があるかを自動的に判定することができる。
【0026】具体的には、図2(a)〜(c)に示す各
画像データのように、特定画素が点在している場合に
は、人間の目では特定画素の存在を捕らえることはでき
ない。そこで、このような画像データの場合には、カラ
ーフィルタ10に欠陥がないと判定する。また、図3
(a)〜(c)に示す各画像データのように、特定画素
がほぼ直線上にまとまっている場合は、人間の目で特定
画素を捕らえることが可能となる。そこで、このような
画像データの場合には、カラーフィルタ10には欠陥が
あると判定する。処理モジュール33で、このような判
定を行うことにより、人間の目視による欠陥判定とほぼ
同等な精度が得られる。
【0027】処理モジュール33は、図4のフローチャ
ートに示す処理を行い、カラーフィルタ10に欠陥があ
るかを自動的に判定する。同図より、まず、第1の処理
部33aで、画像データを2値化処理し、画像データの
各画素を、傷等の欠陥を有するために他の部分と輝度の
異なる特定画素と、その他の画素に分類する(ステップ
100)。具体的には、まず、隣接する複数の画素の平
均を取るスムージング処理を、縦方向及び横方向につい
て行う。次に、図5に示すような各画素の輝度分布のグ
ラフを作成し、このグラフより最大輝度と最小輝度とを
抽出する。そして、最大輝度と最小輝度との間を100
%としたときの、最小輝度側から30%の位置の輝度を
しきい値とする。
【0028】次に、画像データをこのしきい値に基づい
て2値化処理して、画像データの各画素の中で、しきい
値以上の輝度の画素を明画素とし、しきい値より低輝度
の画素を暗画素とする。そして、明画素と暗画素との
内、明画素を欠陥画素として検出する場合には、明画素
を特定画素とし、暗画素をその他の画素とする。また、
暗画素を欠陥画素として検出する場合には、暗画素を特
定画素とし、明画素をその他の画素とする。ここで、隣
接する複数の画素をまとめて1画素群とし、画素群ごと
に2値化処理を行ってもよい。この場合、以降の処理も
画素群ごとに行われることとなる。
【0029】さらに、あるしきい値に基づいて画像デー
タを複数の特定領域に分割する(ステップ110)。分
割処理は、まず、上述した図5の輝度分布のグラフよ
り、特定画素の数を抽出する。特定画素の数が多い場合
には、画像データを複数の特定領域に分割して、特定領
域ごとに以後の処理を行えば、処理効率の低下が防止で
きる。そこで、特定画素の数が所定のしきい値以上の場
合には、画像データを複数の特定領域に分割する。な
お、ここでのしきい値及び分割数は、処理効率が低下し
ない範囲で、適宜定められる。また、複数の異なるしき
い値に基づいて段階的に分割数を増やしていってもよ
い。
【0030】次に、第2の処理部33bで、ステップ1
10で分割した特定領域ごとに、全ての特定画素の中か
ら2つの特定画素の組合せの全てを取り出す。そして、
組合せの各々について、特定画素間の距離dを算出する
(ステップ120)。特定画素間の距離dは、特定画素
の位置座標を各々(x1 ,y1 ),(x2 ,y2 )とし
た場合、 d=((x2 −x1 2 +(y2 −y1 2 1/2 より求められる。
【0031】そして、第3の処理部で、特定領域の全て
の特定画素間の距離dのデータから頻度分布パターンを
作成し(ステップ130)、この頻度分布パターンから
カラーフィルタ10に欠陥があるか判定する(ステップ
140)。
【0032】頻度分布パターンの作成は、例えば、図6
(a)に示すように、特定領域40に4点の特定画素4
1〜44がほぼ等間隔d1 で存在する場合には、次のよ
うに行う。まず、4点の特定画素41〜44から2点を
選ぶ組合せは、組合せ1(特定画素41、特定画素4
2)、組合せ2(特定画素41、特定画素43)、組合
せ3(特定画素41、特定画素44)、組合せ4(特定
画素42、特定画素43)、組合せ5(特定画素42、
特定画素44)、組合せ6(特定画素43、特定画素4
4)だけある。各々の特定画素間の距離は、組合せ1=
1 、組合せ2=d2 (d2 =d1 ×2)、組合せ3=
3 (d2 =d1 ×3)、組合せ4=d1、組合せ5=
2 、組合せ6=d1 となる。よって、このように求め
た特定画素間の距離に基づいて作成した頻度分布パター
ンは、図6(b)のようになる。同図より、この頻度分
布パターンは離散的なパターンであることが判る。この
ように離散的なパターンになるのは、CCDカメラ20
の各感光画素20aがマトリックス状に配列され、隣接
する感光画素20aの間隔がどこも等しいからである。
【0033】そして、このように作成した頻度分布パタ
ーンからカラーフィルタ10に欠陥があるか判定する。
図7に示すように、頻度分布パターンの画素間距離が0
に近い部分の頻度が低い(出現回数が少ない)場合は、
カラーフィルタ10に欠陥がないと判定する。これに対
して、図8に示すように、頻度分布パターンの画素間距
離が0に近い部分の頻度が高い(出現回数が多い)場合
は、カラーフィルタ10に欠陥があると判定する。判定
方式には、しきい値を用いる第1の方式、統計的手
法とパターン認識法とを用いる第2の方式、及びニュ
ーラルネットワークを用いる第3の方式の3種類があ
る。
【0034】まず、しきい値を用いる第1の方式は、頻
度分布パターンのある特定画素間の距離について、この
距離の頻度(出現回数)と、前後の距離の頻度とを加算
して、代表値とする。この代表値を全ての距離について
求め、これらの代表値の少なくとも一つに所定のしきい
値より大きな値のものがある場合に、カラーフィルタ1
0に欠陥があると判定する。例として、頻度分布パター
ンを構成する特定画素間の距離と頻度とが次のような場
合、 距離d10=10、頻度=42 距離d11=11、頻度=38 距離d12=12、頻度=35 距離d13=13、頻度=28 距離d14=14、頻度=19 距離d15=15、頻度=14 距離d16=16、頻度=33 距離d17=17、頻度=41 距離d18=18、頻度=27 距離ごとに代表値を求めると、 距離d11=115 距離d12=101 距離d13= 82 距離d14= 61 距離d15= 66 距離d16= 88 距離d17=101 となる。ここで、しきい値を100とすると、距離
11,d12,d17の代表値がしきい値より大きくなり、
このことより、カラーフィルタ10には欠陥があると判
定される。
【0035】次に、統計的手法とパターン認識法とを用
いる第2の方式について説明する。第2の方式は、頻度
分布パターンを2次曲線に近似させて行う。ここで、2
次曲線への近似は、一般的な最小二乗フィッティングを
用いる。最小二乗フィッティングの詳細については、
“新版 数値計算ハンドブック(718頁〜726頁)
大野豊・磯田和男監修 オーム社 1990年”等を参
照されたい。そして、近似させた2次曲線の一次の項の
係数が負の場合に、カラーフィルタ10に欠陥があると
判定する。つまり、カラーフィルタ10に欠陥がある場
合には、特定画素間の距離が短いほど頻度が高くなり
(出現回数が多くなり)、この頻度分布パターンに2次
曲線を近似させれば、右さがりの曲線となる。このよう
な2次曲線は、一次の項の係数が負であることより、近
似させた2次曲線の一次の項の係数を用いて、カラーフ
ィルタ10の欠陥を判定することができる。
【0036】図9,図10は、各々、最小二乗フィッテ
ィングの手法を用いて、頻度分布パターンを2次曲線に
近似させた例である。図9の例では、近似させた2次曲
線の一次の項の係数は正である。これは、2次曲線の頂
点が正の領域にあることからも明らかである。このた
め、第2の方式を用いると、図9の例では、カラーフィ
ルタ10に欠陥がないと判定される。これに対して、図
10の例では、近似させた2次曲線の一次の項の係数は
負である。これは、2次曲線の頂点が負の領域にあるこ
とからも明らかである。このため、第2の方式を用いる
と、図10の例では、カラーフィルタ10に欠陥がある
と判定される。
【0037】カラーフィルタ10を200枚用いて、各
々の画像データを640×480の画素サイズに分解し
て、各々欠陥を判定する実験を行ったところ、正しい判
定をしたカラーフィルタ10の数が148枚と、認識率
74%であった。
【0038】次に、ニューラルネットワークを用いる第
3の方式について説明する。ここでは、入力層、中間
層、出力層を備えた一般的なニューラルネットワークが
用いられる。ニューラルネットワークの詳細について
は、“情報処理ハンドブック(482頁〜485頁)
情報処理学会編 オーム社”等を参照されたい。図11
の概略図に示すように、ニューラルネットワーク50
は、n件の頻度分布パターンの学習データを用いて学習
が行われ、欠陥判定のネットワークが構築される。この
ように構築されたニューラルネットワーク50であれ
ば、新規に判定する頻度分布パターンのデータが入力さ
れた場合にも、高い認識率でカラーフィルタ10の欠陥
の有無を判定することができる。
【0039】カラーフィルタ10を100枚用いて、各
々の画像データを20×10の画素サイズに分解して、
各々欠陥を判定する実験を行ったところ、正しい判定を
したカラーフィルタ10の数が99枚と、認識率99%
であった。ここでは、入力層が20ノード、中間層が4
ノード(1層)、及び出力層が1ノードのニューラルネ
ットワーク50を用い、学習件数は30件であった。
【0040】また、カラーフィルタ10を200枚用い
て、各々の画像データを320×240の画素サイズに
分解して、各々欠陥を判定する実験を行ったところ、正
しい判定をしたカラーフィルタ10の数が176枚と、
認識率88%であった(判別不明11枚、誤認識13
枚)。ここでは、入力層が50ノード、中間層が20ノ
ード(1層)、及び出力層が1ノードのニューラルネッ
トワーク50を用い、学習件数は30件であった。
【0041】(実施例2)次に、本発明の第2の実施例
に係るカラーフィルタの欠陥検出装置、及び欠陥検出方
法について説明する。第2の実施例の欠陥検出装置の構
成は、図1に示した第1の実施例の欠陥検出装置の構成
とほぼ同一であり、処理モジュール33の第2の処理部
33b及び第3の処理部33cでの処理内容のみが異な
っている。つまり、第2の処理部33bでは、Houg
h変換によってρの値を求めており、第3の処理部33
cでは、求めたρの値から頻度分布パターンを作成して
いるのである。
【0042】第2の処理部33b及び第3の処理部33
cの、具体的な処理内容を図12のフローチャートを用
いて説明する。まず、ステップ200及びステップ21
0の処理は、第1の処理部33aが行っており、上述し
たステップ100及びステップ110の処理と同一であ
る。そして、ステップ210の処理終了後、第2の処理
部33bで、特定領域ごとにHough変換を行う(ス
テップ220)。
【0043】Hough変換は、画像処理における画像
中の直線成分を抽出する数学的手法である。つまり、H
ough変換によって得られる頻度分布パターンが突出
したピークを有する曲線であれば、画像中に直線成分が
存在すると判定できるのである。Hough変換の詳細
については、“画像処理ハンドブック(572頁〜57
3頁) 高木幹雄・下田陽久監修 東京大学出版会 1
991年”等を参照されたい。
【0044】具体的には、特定領域内の全ての特定画素
について、それぞれの位置座標(x,y)を、 ρ=xcosθ+ysinθ に順次代入して、角度θを0度から180度まで1度ず
つ変化させた際の各角度θでのρの値を、特定画素ごと
に求める。そして、求めた全てのρの値を整数化する
(ステップ230)。
【0045】次に、第3の処理部33cで、角度θごと
に、横軸にρの値、縦軸に頻度を取り、頻度分布パター
ンを作成する(ステップ240)。そして、この頻度分
布パターンからカラーフィルタ10に欠陥があるか判定
する(ステップ250)。欠陥の判定方式には、ステッ
プ140と同様、しきい値を用いる第1の方式、統
計的手法とパターン認識法とを用いる第2の方式、及び
ニューラルネットワークを用いる第3の方式の3種類
がある。
【0046】これらの方式の内、しきい値を用いる第1
の方式について、以下に例示する。まず、頻度分布パタ
ーン(θ=162°)を構成するρの値と頻度とが次の
ような場合、 ρ=2、頻度=9 ρ=3、頻度=5 ρ=4、頻度=5 ρ=5、頻度=10 ρ=7、頻度=4 3つのρの値が連続している部分を探して、これらの頻
度を加えて代表値とする。つまり、ρ=2,3,4と、
ρ=3,4,5とが連続しているので、代表値は各々1
9,20となる。
【0047】ここで、しきい値を10とすると、いずれ
の代表値もしきい値より大きくなり、このことより、カ
ラーフィルタ10には欠陥があると判定される。つま
り、代表値がしきい値より大きい場合には、その部分に
曲線の突出したピークが存在すると判定されるのであ
る。
【0048】カラーフィルタ10を200枚用いて、各
々の画像データを320×240の画素サイズに分解し
て、各々欠陥を判定する実験を行ったところ、正しい判
定をしたカラーフィルタ10の数が189枚と、認識率
95%であった。
【0049】(実施例3)次に、本発明の第3の実施例
に係るパネルディスプレイの欠陥検出装置、及び欠陥検
出方法について説明する。
【0050】図13は、第3の実施例に係るパネルディ
スプレイの欠陥検出装置の構成を示す概略図である。同
図より、第3の実施例の欠陥検出装置の構成は、図1に
示した第1の実施例の欠陥検出装置の構成とほぼ同一で
あり、測定対象がパネルディスプレイ11である点が異
なっている。
【0051】パネルディスプレイ11はカラーフィルタ
10と異なり、パネルディスプレイ11自身にマトリッ
クス状に配置された複数の画素を有している。このた
め、処理モジュール33の各処理部33a〜33cで対
象となる画素は、CCDカメラ20の各感光画素20a
に対応した画像データの画素ではなく、パネルディスプ
レイ11自身の画素11aである。したがって、各処理
部33a〜33cでは、パネルディスプレイ11の画素
11aを対象として、2値化処理等の各処理を行ってい
る。
【0052】パネルディスプレイ11には、モノクロデ
ィスプレイと、カラーディスプレイとの2種類がある
が、第3の実施例では、モノクロディスプレイを対象と
する。
【0053】ここで、カラーディスプレイを対象とする
場合には、R(赤)のみを透過する色フィルタ、G
(緑)のみを透過する色フィルタ、及びB(青)のみを
透過する色フィルタを、CCDカメラ20のレンズ前面
に順次取り付けて、R・G・Bそれぞれの画像を撮像し
て、これら3種類の画像データに基づいて、パネルディ
スプレイ11の欠陥検出を行えばよい。
【0054】また、パネルディスプレイ11には、走査
方法としてラスター・スキャン又はX,Yアドレス・ス
キャンを行う、発光型或いは非発光型のディスプレイが
ある。発光型のディスプレイとしては、例えば、ブラウ
ン管(CRT)、電界発光パネル(ELP)、発光ダイ
オード(LED)、プラズマディスプレイ(PDP)、
レーザディスプレイ等がある。また、非発光型のディス
プレイとしては、例えば、液晶ディスプレイ(LC
D)、エレクトロクロミックディスプレイ(ECD)、
エレクトロフォレティックディスプレイ(EPID)等
がある。
【0055】次に、第3の実施例に係る欠陥検出方法に
ついて説明する。この検出方法には上述した第3の実施
例に係る欠陥検出装置が用いられる。まず、CCDカメ
ラ20を用いて、パネルディスプレイ11の表面を透過
する透過光像、或いはパネルディスプレイ11の表面で
反射する反射光像を撮像する。撮像された画像データは
CCDカメラ20から出力され、検出器30に与えられ
る。
【0056】パネルディスプレイ11の表面には、複数
の画素11aがマトリックス状に配列されており、パネ
ルディスプレイ11の画素11a間隔は、CCDカメラ
20の各感光画素20aの間隔に比べて広い。このた
め、パネルディスプレイ11の1画素がCCDカメラ2
0の複数の感光画素20aで撮像されることとなり、C
CDカメラ20から出力される画像データには、パネル
ディスプレイ11の各画素が明確に写し込まれる。した
がって、この画像データに基づいて、パネルディスプレ
イ11の各画素11aの輝度分布を検出器30の処理モ
ジュール33で求めることにより、パネルディスプレイ
11に欠陥があるかを自動的に判定することができる。
【0057】処理モジュール33は、図14のフローチ
ャートに示す処理を行い、パネルディスプレイ11に欠
陥があるかを自動的に判定する。同図より、まず、第1
の処理部33aで、画像データを2値化処理し、パネル
ディスプレイ11の各画素11aを、傷等の欠陥を有す
るために他の部分と輝度の異なる特定画素と、その他の
画素に分類する(ステップ300)。具体的には、ま
ず、隣接する複数の画素11aの平均を取るスムージン
グ処理を、縦方向及び横方向について行う。次に、図5
に示すような各画素11aの輝度分布のグラフを作成
し、このグラフより最大輝度と最小輝度とを抽出する。
そして、最大輝度と最小輝度との間を100%としたと
きの、最小輝度側から30%の位置の輝度をしきい値と
する。
【0058】次に、画像データをこのしきい値に基づい
て2値化処理して、パネルディスプレイ11の各画素1
1aの中で、しきい値以上の輝度の画素11aを明画素
とし、しきい値より低輝度の画素11aを暗画素とす
る。そして、明画素と暗画素との内、明画素を欠陥画素
として検出する場合には、明画素を特定画素とし、暗画
素をその他の画素とする。また、暗画素を欠陥画素とし
て検出する場合には、暗画素を特定画素とし、明画素を
その他の画素とする。ここで、隣接する複数の画素をま
とめて1画素群とし、画素群ごとに2値化処理を行って
もよい。この場合、以降の処理も画素群ごとに行われる
こととなる。
【0059】さらに、あるしきい値に基づいて画像デー
タを複数の特定領域に分割する(ステップ310)。分
割処理は、まず、上述した図5の輝度分布のグラフよ
り、特定画素の数を抽出する。特定画素の数が多い場合
には、画像データを複数の特定領域に分割して、特定領
域ごとに以後の処理を行えば、処理効率の低下が防止で
きる。そこで、特定画素の数が所定のしきい値以上の場
合には、画像データを複数の特定領域に分割する。な
お、ここでのしきい値及び分割数は、処理効率が低下し
ない範囲で、適宜定められる。また、複数の異なるしき
い値に基づいて段階的に分割数を増やしていってもよ
い。
【0060】次に、第2の処理部33bで、ステップ3
10で分割した特定領域ごとに、全ての特定画素の中か
ら2つの特定画素の組合せの全てを取り出す。そして、
組合せの各々について、特定画素間の距離dを算出する
(ステップ320)。特定画素間の距離dは、特定画素
の位置座標を各々(x1 ,y1 ),(x2 ,y2 )とし
た場合、 d=((x2 −x1 2 +(y2 −y1 2 1/2 より求められる。
【0061】そして、第3の処理部で、特定領域の全て
の特定画素間の距離dのデータから頻度分布パターンを
作成し(ステップ330)、この頻度分布パターンから
パネルディスプレイ11に欠陥があるか判定する(ステ
ップ340)。
【0062】そして、このように作成した頻度分布パタ
ーンからパネルディスプレイ11に欠陥があるか判定す
る。欠陥の判定は、上述した、しきい値を用いる第1
の方式、統計的手法とパターン認識法とを用いる第2
の方式、及びニューラルネットワークを用いる第3の
方式のいずれを用いてもよい。
【0063】(実施例4)次に、本発明の第4の実施例
に係るパネルディスプレイの欠陥検出装置、及び欠陥検
出方法について説明する。第4の実施例の欠陥検出装置
の構成は、図13に示した第3の実施例の欠陥検出装置
の構成とほぼ同一であり、処理モジュール33の第2の
処理部33b及び第3の処理部33cでの処理内容のみ
が異なっている。つまり、第2の処理部33bでは、H
ough変換によってρの値を求めており、第3の処理
部33cでは、求めたρの値から頻度分布パターンを作
成しているのである。
【0064】第2の処理部33b及び第3の処理部33
cの、具体的な処理内容を図15のフローチャートを用
いて説明する。まず、ステップ400及びステップ41
0の処理は、第1の処理部33aが行っており、上述し
たステップ300及びステップ310の処理と同一であ
る。そして、ステップ410の処理終了後、第2の処理
部33bで、特定領域ごとにHough変換を行う(ス
テップ420)。
【0065】具体的には、特定領域内の全ての特定画素
について、それぞれの位置座標(x,y)を、 ρ=xcosθ+ysinθ に順次代入して、角度θを0度から180度まで1度ず
つ変化させた際の各角度θでのρの値を、特定画素ごと
に求める。そして、求めた全てのρの値を整数化する
(ステップ430)。
【0066】次に、第3の処理部33cで、角度θごと
に、横軸にρの値、縦軸に頻度を取り、頻度分布パター
ンを作成する(ステップ440)。そして、この頻度分
布パターンからパネルディスプレイ11に欠陥があるか
判定する(ステップ450)。欠陥の判定は、上述し
た、しきい値を用いる第1の方式、統計的手法とパ
ターン認識法とを用いる第2の方式、及びニューラル
ネットワークを用いる第3の方式のいずれを用いてもよ
い。
【0067】なお、本発明は上記実施例に限定されるこ
となく、種々の変形が可能である。例えば、ステップ1
10、ステップ210、ステップ310、及びステップ
410で、画像データを特定領域に分割しているが、こ
の処理を省略してもよい。この場合、ステップ120,
220,320,420以降の処理は、画像データ全体
について行われる。
【0068】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明の第
1の欠陥検出方法、及び第1の欠陥検出装置であれば、
特定画素間の距離が全組合せについて算出され、算出さ
れた距離のデータから頻度分布パターンが作成される。
人間がカラーフィルタに欠陥があると目視により認識す
るのは、反射光或いは透過光によるカラーフィルタ表面
の輝度が部分的に異なり、この異なった部分が直線状に
まとまった領域になっている場合である。このような領
域を有する場合には、画像データの特定画素が直線状に
並び、この画像データに基づいて作成された頻度分布パ
ターンは、距離が0に近い部分の頻度が高いパターンと
なる。そこで、頻度分布パターンをパターンマッチング
やニューラルネットワーク等の手法によって解析するこ
とにより、カラーフィルタの欠陥を自動的に検出するこ
とができる。
【0069】このように、人間の目視による認識とほぼ
等しい欠陥認識を自動的に行うことができ、カラーフィ
ルタの生産性が大きく向上する。
【0070】また、本発明の第2の欠陥検出方法、及び
第2の欠陥検出装置であれば、特定画素の位置座標
(x,y)が、ρ=xcosθ+ysinθに代入さ
れ、ρの値が算出される。そして、算出されたρの値か
ら頻度分布パターンが作成される。ここで、特定画素が
直線的に並んでいる場合には、作成された頻度分布パタ
ーンは、突出したピークを有する曲線となる。そこで、
頻度分布パターンをパターンマッチングやニューラルネ
ットワーク等の手法によって解析することにより、カラ
ーフィルタの欠陥を自動的に検出することができる。
【0071】このように、人間の目視による認識とほぼ
等しい欠陥認識を自動的に行うことができ、カラーフィ
ルタの生産性が大きく向上する。
【0072】さらに、本発明の第3の欠陥検出方法、及
び第3の欠陥検出装置であれば、特定画素間の距離が全
組合せについて算出され、算出された距離のデータから
頻度分布パターンが作成される。人間がパネルディスプ
レイに欠陥があると目視により認識するのは、他の画素
に比べて輝度が大きく異なる特定画素が直線的に並んで
いる場合である。ここで、特定画素が直線的に並んでい
る場合には、作成された頻度分布パターンは、距離が0
に近い部分の頻度が高いパターンとなる。そこで、頻度
分布パターンをパターンマッチングやニューラルネット
ワーク等の手法によって解析することにより、パネルデ
ィスプレイの欠陥を自動的に検出することができる。
【0073】このように、人間の目視による認識とほぼ
等しい欠陥認識を自動的に行うことができ、パネルディ
スプレイの生産性が大きく向上する。
【0074】さらにまた、本発明の第4の欠陥検出方
法、及び第4の欠陥検出装置であれば、特定画素の位置
座標(x,y)が、ρ=xcosθ+ysinθに代入
され、ρの値が算出される。そして、算出されたρの値
から頻度分布パターンが作成される。ここで、特定画素
が直線的に並んでいる場合には、作成された頻度分布パ
ターンは、突出したピークを有する曲線となる。そこ
で、頻度分布パターンをパターンマッチングやニューラ
ルネットワーク等の手法によって解析することにより、
パネルディスプレイの欠陥を自動的に検出することがで
きる。
【0075】このように、人間の目視による認識とほぼ
等しい欠陥認識を自動的に行うことができ、パネルディ
スプレイの生産性が大きく向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例に係るカラーフィルタの
欠陥検出装置の構成を示す概略図である。
【図2】(a)〜(c)は、画像データのデータ内容を
示す図である。
【図3】(a)〜(c)は、画像データのデータ内容を
示す図である。
【図4】処理モジュールの処理の流れを示すフローチャ
ートである。
【図5】各画素の輝度分布を示す図である。
【図6】(a)は、画像データのデータ内容を示す図で
ある。(b)は、頻度分布パターンを示す図である。
【図7】特定画素が点在した画像データに基づく頻度分
布パターンを示す図である。
【図8】特定画素が直線状に並んだ画像データに基づく
頻度分布パターンを示す図である。
【図9】特定画素が点在した画像データに基づく頻度分
布パターンを示す図である。
【図10】特定画素が直線状に並んだ画像データに基づ
く頻度分布パターンを示す図である。
【図11】ニューラルネットワークを用いて欠陥判定を
行う処理の概略図である。
【図12】処理モジュールの処理の流れを示すフローチ
ャートである。
【図13】本発明の第3の実施例に係るカラーフィルタ
の欠陥検出装置の構成を示す概略図である。
【図14】処理モジュールの処理の流れを示すフローチ
ャートである。
【図15】処理モジュールの処理の流れを示すフローチ
ャートである。
【符号の説明】
10…カラーフィルタ、11…パネルディスプレイ、1
1a…画素、20…CCDカメラ、20a…感光画素、
30…検出器(検出手段)、33a…第1の処理部、3
3b…第2の処理部、33c…第3の処理部、40…画
像データ、41〜44…特定画素。

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の感光画素がマトリックス状に配列
    された撮像デバイスを用いてカラーフィルタの表面を撮
    像し、前記撮像デバイスから出力された画像データに基
    づいて前記カラーフィルタの欠陥を検出する欠陥検出方
    法において、 前記画像データを所定の輝度のしきい値に基づいて2値
    化処理し、前記撮像デバイスの各感光画素に対応した前
    記画像データの各画素を、特定画素とその他の画素に分
    類する第1のステップと、 全ての前記特定画素の中から2つの前記特定画素の組合
    せの全てを取り出して、前記組合せの各々について前記
    特定画素間の距離を算出する第2のステップと、 全ての前記特定画素間の距離のデータから距離の頻度分
    布パターンを作成し、この頻度分布パターンから前記カ
    ラーフィルタの欠陥を検出する第3のステップとを備え
    ることを特徴とするカラーフィルタの欠陥検出方法。
  2. 【請求項2】 前記第1のステップは、前記画像データ
    を複数の領域に分割する処理を含み、前記第2のステッ
    プでは、分割した領域ごとに前記特定画素の組合せの取
    り出し、及び前記特定画素間の距離の算出を行うと共
    に、前記第3のステップでは、分割した領域ごとに前記
    頻度分布パターンの作成、及び前記カラーフィルタの欠
    陥の検出を行うことを特徴とする請求項1記載のカラー
    フィルタの欠陥検出方法。
  3. 【請求項3】 複数の感光画素がマトリックス状に配列
    された撮像デバイスを用いてカラーフィルタの表面を撮
    像し、前記撮像デバイスから出力された画像データに基
    づいて前記カラーフィルタの欠陥を検出する欠陥検出方
    法において、 前記画像データを所定の輝度のしきい値に基づいて2値
    化処理し、前記撮像デバイスの各感光画素に対応した前
    記画像データの各画素を、特定画素とその他の画素に分
    類する第1のステップと、 前記特定画素の位置座標(x,y)を、 ρ=xcosθ+ysinθ に代入して、θを0度から180度まで1度ずつ変化さ
    せた際の各角度でのρの値を、全ての前記特定画素につ
    いて算出する第2のステップと、 算出したρの値から角度ごとにρの値の頻度分布パター
    ンを作成し、これらの頻度分布パターンから前記カラー
    フィルタの欠陥を検出する第3のステップとを備えるこ
    とを特徴とするカラーフィルタの欠陥検出方法。
  4. 【請求項4】 前記第3のステップでの前記カラーフィ
    ルタの欠陥を検出する処理は、所定のしきい値を用いた
    判定手法、パターン認識法を用いた判定手法、又はニュ
    ーラルネットワークを用いた判定手法のいずれかで行う
    ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項
    に記載のカラーフィルタの欠陥検出方法。
  5. 【請求項5】 複数の感光画素がマトリックス状に配列
    され、前記カラーフィルタの表面を撮像する撮像デバイ
    スと、前記撮像デバイスから出力された画像データに基
    づいて前記カラーフィルタの欠陥を検出する検出手段と
    を備える欠陥検出装置において、 前記画像データを所定の輝度のしきい値に基づいて2値
    化処理し、前記撮像デバイスの各感光画素に対応した前
    記画像データの各画素を、特定画素とその他の画素に分
    類する第1の処理部と、 全ての前記特定画素の中から2つの前記特定画素の組合
    せの全てを取り出して、前記組合せの各々について前記
    特定画素間の距離を算出する第2の処理部と、 全ての前記特定画素間の距離のデータから距離の頻度分
    布パターンを作成し、この頻度分布パターンから前記カ
    ラーフィルタの欠陥を検出する第3の処理部とを備える
    ことを特徴とするカラーフィルタの欠陥検出装置。
  6. 【請求項6】 前記第1の処理部は、前記画像データを
    複数の領域に分割する処理を含み、前記第2の処理部で
    は、分割した領域ごとに前記特定画素の組合せの取り出
    し、及び前記特定画素間の距離の算出を行うと共に、前
    記第3の処理部では、分割した領域ごとに前記頻度分布
    パターンの作成、及び前記カラーフィルタの欠陥の検出
    を行うことを特徴とする請求項5記載のカラーフィルタ
    の欠陥検出装置。
  7. 【請求項7】 複数の感光画素がマトリックス状に配列
    され、前記カラーフィルタの表面を撮像する撮像デバイ
    スと、前記撮像デバイスから出力された画像データに基
    づいて前記カラーフィルタの欠陥を検出する検出手段と
    を備える欠陥検出装置において、 前記検出手段は、前記画像データを所定の輝度のしきい
    値に基づいて2値化処理し、前記撮像デバイスの各感光
    画素に対応した前記画像データの各画素を、特定画素と
    その他の画素に分類する第1の処理部と、 前記特定画素の位置座標(x,y)を、 ρ=xcosθ+ysinθ に代入して、θを0度から180度まで1度ずつ変化さ
    せた際の各角度でのρの値を、全ての前記特定画素につ
    いて算出する第2の処理部と、 算出したρの値から角度ごとに頻度分布パターンを作成
    し、これらの頻度分布パターンから前記カラーフィルタ
    の欠陥を検出する第3の処理部とを備えることを特徴と
    するカラーフィルタの欠陥検出装置。
  8. 【請求項8】 前記第3の処理部での前記カラーフィル
    タの欠陥を検出する処理は、所定のしきい値を用いた判
    定手法、パターン認識法を用いた判定手法、又はニュー
    ラルネットワークを用いた判定手法のいずれかで行うこ
    とを特徴とする請求項5から請求項7のいずれか1項に
    記載のカラーフィルタの欠陥検出装置。
  9. 【請求項9】 複数の画素がマトリックス状に配列され
    たパネルディスプレイの表面を撮像デバイスを用いて撮
    像し、前記撮像デバイスから出力された画像データに基
    づいて前記パネルディスプレイの欠陥を検出する欠陥検
    出方法において、 前記画像データを所定の輝度のしきい値に基づいて2値
    化処理し、前記パネルディスプレイの各画素を特定画素
    とその他の画素に分類する第1のステップと、 全ての前記特定画素の中から2つの前記特定画素の組合
    せの全てを取り出して、前記組合せの各々について前記
    特定画素間の距離を算出する第2のステップと、 全ての前記特定画素間の距離のデータから距離の頻度分
    布パターンを作成し、この頻度分布パターンから前記パ
    ネルディスプレイの欠陥を検出する第3のステップとを
    備えることを特徴とするパネルディスプレイの欠陥検出
    方法。
  10. 【請求項10】 前記第1のステップは、前記パネルデ
    ィスプレイの全画素を複数の領域に分割する処理を含
    み、前記第2のステップでは、分割した領域ごとに前記
    特定画素の組合せの取り出し、及び前記特定画素間の距
    離の算出を行うと共に、前記第3のステップでは、分割
    した領域ごとに前記頻度分布パターンの作成、及び前記
    パネルディスプレイの欠陥の検出を行うことを特徴とす
    る請求項9記載のパネルディスプレイの欠陥検出方法。
  11. 【請求項11】 複数の画素がマトリックス状に配列さ
    れたパネルディスプレイの表面を撮像デバイスを用いて
    撮像し、前記撮像デバイスから出力された画像データに
    基づいて前記パネルディスプレイの欠陥を検出する欠陥
    検出方法において、 前記画像データを所定の輝度のしきい値に基づいて2値
    化処理し、前記パネルディスプレイの各画素を特定画素
    とその他の画素に分類する第1のステップと、 前記特定画素の位置座標(x,y)を、 ρ=xcosθ+ysinθ に代入して、θを0度から180度まで1度ずつ変化さ
    せた際の各角度でのρの値を、全ての前記特定画素につ
    いて算出する第2のステップと、 算出したρの値から角度ごとにρの値の頻度分布パター
    ンを作成し、これらの頻度分布パターンから前記パネル
    ディスプレイの欠陥を検出する第3のステップとを備え
    ることを特徴とするパネルディスプレイの欠陥検出方
    法。
  12. 【請求項12】 前記第3のステップでの前記パネルデ
    ィスプレイの欠陥を検出する処理は、所定のしきい値を
    用いた判定手法、パターン認識法を用いた判定手法、又
    はニューラルネットワークを用いた判定手法のいずれか
    で行うことを特徴とする請求項9から請求項11のいず
    れか1項に記載のパネルディスプレイの欠陥検出方法。
  13. 【請求項13】 複数の画素がマトリックス状に配列さ
    れたパネルディスプレイの表面を撮像する撮像デバイス
    と、前記撮像デバイスから出力された画像データに基づ
    いて前記パネルディスプレイの欠陥を検出する検出手段
    とを備える欠陥検出装置において、 前記検出手段は、前記画像データを所定の輝度のしきい
    値に基づいて2値化処理し、前記パネルディスプレイの
    各画素を特定画素とその他の画素に分類する第1の処理
    部と、 全ての前記特定画素の中から2つの前記特定画素の組合
    せの全てを取り出して、前記組合せの各々について前記
    特定画素間の距離を算出する第2の処理部と、 全ての前記特定画素間の距離のデータから距離の頻度分
    布パターンを作成し、この頻度分布パターンから前記パ
    ネルディスプレイの欠陥を検出する第3の処理部とを備
    えることを特徴とするパネルディスプレイの欠陥検出装
    置。
  14. 【請求項14】 前記第1の処理部は、前記パネルディ
    スプレイの全画素を複数の領域に分割する処理を含み、
    前記第2の処理部では、分割した領域ごとに前記特定画
    素の組合せの取り出し、及び前記特定画素間の距離の算
    出を行うと共に、前記第3の処理部では、分割した領域
    ごとに前記頻度分布パターンの作成、及び前記パネルデ
    ィスプレイの欠陥の検出を行うことを特徴とする請求項
    13記載のパネルディスプレイの欠陥検出装置。
  15. 【請求項15】 複数の画素がマトリックス状に配列さ
    れたパネルディスプレイの表面を撮像する撮像デバイス
    と、前記撮像デバイスから出力された画像データに基づ
    いて前記パネルディスプレイの欠陥を検出する検出手段
    とを備える欠陥検出装置において、 前記検出手段は、前記画像データを所定の輝度のしきい
    値に基づいて2値化処理し、前記パネルディスプレイの
    各画素を特定画素とその他の画素に分類する第1の処理
    部と、 前記特定画素の位置座標(x,y)を、 ρ=xcosθ+ysinθ に代入して、θを0度から180度まで1度ずつ変化さ
    せた際の各角度でのρの値を、全ての前記特定画素につ
    いて算出する第2の処理部と、 算出したρの値から角度ごとに頻度分布パターンを作成
    し、これらの頻度分布パターンから前記パネルディスプ
    レイの欠陥を検出する第3の処理部とを備えることを特
    徴とするパネルディスプレイの欠陥検出装置。
  16. 【請求項16】 前記第3の処理部での前記パネルディ
    スプレイの欠陥を検出する処理は、所定のしきい値を用
    いた判定手法、パターン認識法を用いた判定手法、又は
    ニューラルネットワークを用いた判定手法のいずれかで
    行うことを特徴とする請求項13から請求項15のいず
    れか1項に記載のパネルディスプレイの欠陥検出装置。
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