JPH08233578A - Vibration type gyroscope - Google Patents

Vibration type gyroscope

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Publication number
JPH08233578A
JPH08233578A JP7041079A JP4107995A JPH08233578A JP H08233578 A JPH08233578 A JP H08233578A JP 7041079 A JP7041079 A JP 7041079A JP 4107995 A JP4107995 A JP 4107995A JP H08233578 A JPH08233578 A JP H08233578A
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JP
Japan
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elastic arms
elastic
acceleration
piezoelectric
vibrating
Prior art date
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Application number
JP7041079A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazumasa Onishi
一正 大西
Original Assignee
Alps Electric Co Ltd
アルプス電気株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by Alps Electric Co Ltd, アルプス電気株式会社 filed Critical Alps Electric Co Ltd
Priority to JP7041079A priority Critical patent/JPH08233578A/en
Publication of JPH08233578A publication Critical patent/JPH08233578A/en
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Abstract

PURPOSE: To accurately detect angular velocity alone and separate angular velocity of a rotary motion and acceleration in a linear motion so as to detect them respectively even when a vibrating body moves linearly. CONSTITUTION: This gyroscope is provided with a vibrating body 5 where elastic arms 5a to 5c formed of columnar constant-modulus elastic metal are formed with a constant interval of distance, piezoelectric elements which are respectively fitted to the arms 5a to 5c and vibrate them respectively in an x direction, piezoelectric elements 6a to 6c which are respectively fitted to the arms 5a to 5c and detect the change quantities of the arms 5a to 5c as voltage, an amplifier 8 which amplifies twice the output voltage of the element 6b, an adder 7 which adds the output voltages of the elements 6a and 6c and that of the amplifier 8 to output an angular velocity signal Sω, an adder 9 which adds the output voltages of the elements 6a and 6c, and a subtracter 10 which subtracts the output voltage of the element 6b from that of the adder 9 to output an acceleration signal SA.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、振動子が振動しながら
回転したときに発生するコリオリ力を利用して回転角速
度ωを検出する振動型ジャイロスコープに関し、例え
ば、車載用ナビゲーションシステム、航空機や船舶の慣
性航法システムや姿勢制御システム等に用いられる振動
型ジャイロスコープに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vibration type gyroscope for detecting a rotation angular velocity ω by utilizing a Coriolis force generated when a vibrator rotates while vibrating. The present invention relates to a vibration type gyroscope used for an inertial navigation system and attitude control system of a ship.
【0002】[0002]
【従来の技術】回転角速度を検出するジャイロスコープ
は、航空機や船舶の慣性航法システムなどに使用されて
いるが、最近では、車載用ナビゲーションシステムやロ
ボットや無人走行車の姿勢制御、さらにはテレビカメラ
やビデオカメラの画面振れ防止装置などにも使用されて
いる。このような種々の分野の使用に適するジャイロス
コープとしては小型のものが必要になってきており、そ
こで振動型ジャイロスコープが用いられる。
2. Description of the Related Art Gyroscopes that detect rotational angular velocity are used in inertial navigation systems for aircraft and ships, but recently, they have been used for navigation systems for vehicles, attitude control for robots and unmanned vehicles, and even TV cameras. It is also used in screen shake prevention devices for video cameras. As a gyroscope suitable for use in such various fields, a small gyroscope is required, and a vibrating gyroscope is used there.
【0003】図5は、従来の振動型ジャイロスコープの
構成を示す斜視図である。この図において、1は、エリ
ンバ等の恒弾性金属により形成された柱状の振動子であ
る。この恒弾性金属は、室温付近にて温度変化に対する
ヤング率の変化がほとんどない材料であり、例えばNi
(ニッケル)とCr(クロム)とMn(マンガン)との
合金、またはCo(コバルト)とFe(鉄)とCr(ク
ロム)との合金、あるいはこれにNi(ニッケル)を加
えた合金である。2は、振動子1の一側面に固着され、
振動子1を励振させる励振用圧電素子であり、3は、上
記一側面と隣合う面に固着され、振動子1の振動を電圧
として検出する検出用圧電素子である。
FIG. 5 is a perspective view showing the structure of a conventional vibrating gyroscope. In this figure, reference numeral 1 is a columnar vibrator made of a constant elastic metal such as elinvar. This constant elastic metal is a material in which Young's modulus hardly changes with temperature change near room temperature.
It is an alloy of (nickel), Cr (chromium), and Mn (manganese), an alloy of Co (cobalt), Fe (iron), and Cr (chrome), or an alloy obtained by adding Ni (nickel) thereto. 2 is fixed to one side surface of the vibrator 1,
An excitation piezoelectric element that excites the vibrator 1, and a reference numeral 3 is a detection piezoelectric element that is fixed to the surface adjacent to the one side surface and that detects the vibration of the vibrator 1 as a voltage.
【0004】このような構成において、励振用圧電素子
2を交流によって駆動すると振動子1にx方向の曲げ振
動が生じる。このような状態で振動子1をz軸回りに、
図に示す方向に角速度ωで回転させると、振動子1には
角速度ωに比例するy方向のコリオリ力が生じる。この
コリオリ力によるy方向の変位量が、検出用圧電素子3
により電圧として検出される。
In such a structure, when the exciting piezoelectric element 2 is driven by alternating current, bending vibration in the x direction is generated in the vibrator 1. In such a state, the oscillator 1 is rotated around the z axis,
When the vibrator 1 is rotated at the angular velocity ω in the direction shown in the figure, a Coriolis force in the y direction proportional to the angular velocity ω is generated in the vibrator 1. The amount of displacement in the y direction due to this Coriolis force is the piezoelectric element 3 for detection.
Is detected as a voltage by.
【0005】ここで、コリオリ力と角速度との関係につ
いて説明する。振動子1の質量をm、振動子1のx方向
の振動速度をv(ベクトル値)、角速度をω(ベクトル
値)とすると、コリオリ力F(ベクトル値)は、 F=2m(v×ω) ("×"はベクトル積)・・・・・・・・・(1) なる(1)式で表され、角速度ωに比例することがわか
る。したがって、角速度ωは、コリオリ力Fの大きさに
応じた圧電素子3の検出電圧と(1)式とに基づいて求
めることができる。
Now, the relationship between the Coriolis force and the angular velocity will be described. When the mass of the oscillator 1 is m, the vibration velocity of the oscillator 1 in the x direction is v (vector value), and the angular velocity is ω (vector value), the Coriolis force F (vector value) is F = 2m (v × ω ) (“×” is a vector product) ················································· (1) It is understood that it is proportional to the angular velocity ω. Therefore, the angular velocity ω can be obtained based on the detection voltage of the piezoelectric element 3 according to the magnitude of the Coriolis force F and the equation (1).
【0006】図6は、従来の振動型ジャイロスコープの
他の構成例を示す図である。この図に示す振動型ジャイ
ロスコープは、振動子4を3等分するように2本の溝4
a,4aが形成され、これにより3片の弾性腕4b,4c
および4dが構成されている。
FIG. 6 is a diagram showing another configuration example of a conventional vibration type gyroscope. The vibrating gyroscope shown in this figure has two grooves 4 that divide the vibrator 4 into three equal parts.
a, 4a are formed, whereby three elastic arms 4b, 4c are formed.
And 4d are configured.
【0007】このような構成において、図示しない駆動
用圧電素子によって、両端の弾性腕4b,4dを同位相
(+x方向)に、中央の弾性腕4cを弾性腕4b,4d
と逆位相(−x方向)に振動させる。そして、各弾性腕
4b〜4dが振動している状態で、振動子4をz軸回り
に、図に示す方向に角速度ωで回転させると、弾性腕4
b,4dには+y方向に、弾性腕4cには−y方向に各
々コリオリ力が働いて各弾性腕4b〜4dが変位する。
各弾性腕4b〜4dの変位量は図示しない検出用の圧電
素子により電圧として検出され、角速度ωは、上記検出
電圧と(1)式とに基づいて求められる。
In such a structure, by the driving piezoelectric element (not shown), the elastic arms 4b and 4d at both ends are in phase (+ x direction), and the central elastic arm 4c is elastic arms 4b and 4d.
And oscillate in the opposite phase (-x direction). Then, while the elastic arms 4b to 4d are vibrating, when the vibrator 4 is rotated around the z-axis at the angular velocity ω in the direction shown in the drawing, the elastic arms 4b to 4d are rotated.
Coriolis force acts on b and 4d in the + y direction and on the elastic arm 4c in the -y direction, and the elastic arms 4b to 4d are displaced.
The displacement amount of each of the elastic arms 4b to 4d is detected as a voltage by a detection piezoelectric element (not shown), and the angular velocity ω is obtained based on the detection voltage and the equation (1).
【0008】[0008]
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の振動型ジャイロスコープにおいて、角速度検出が行
われる被検出物が回転運動とともに、直線運動をもして
いる場合、図5の振動子1あるいは図6の弾性腕4b〜
4dに直線運動の加速度に応じた力が働き、このため、
検出された角速度に誤差が生じる問題があった。本発明
は、このような背景の下になされたもので、第1の目的
は、被検出物が直線運動をもしている場合においても、
加速度に基づく誤差が生じず、角速度のみを正しく検出
することができる振動型ジャイロスコープを提供するこ
とを目的とする。また、第2の目的は、被検出物が回転
運動および直線運動をしている場合において、回転運動
の角速度および直線運動の加速度を共に分離して検出す
ることができる振動型ジャイロスコープを提供すること
を目的としている。
By the way, in the above-mentioned conventional vibrating gyroscope, in the case where the object whose angular velocity is to be detected has a linear movement as well as a rotational movement, the vibrator 1 shown in FIG. 6 elastic arms 4b-
A force corresponding to the acceleration of the linear motion acts on 4d, and for this reason,
There is a problem that an error occurs in the detected angular velocity. The present invention has been made under such a background, and a first object is to achieve a linear motion of an object to be detected.
An object of the present invention is to provide a vibrating gyroscope capable of accurately detecting only an angular velocity without causing an error due to acceleration. A second object is to provide a vibrating gyroscope capable of separately detecting both the angular velocity of the rotational movement and the acceleration of the linear movement when the object to be detected is in the rotational movement and the linear movement. Is intended.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、複数の弾性腕が所定間隔をおいて形成された振動体
と、前記複数の弾性腕に各々取り付けられ、前記各弾性
腕を同一方向に異なる位相で振動させる複数の励振手段
と、前記複数の弾性腕に各々取り付けられ、前記各弾性
腕の変位量を検出する変位検出手段と、前記各弾性腕に
各々取り付けられた変位検出手段の出力を演算して加速
度に基づく変位量を相殺し、コリオリ力に基づく変位量
のみを検出するコリオリ力演算手段とを具備することを
特徴としている。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a vibrating body having a plurality of elastic arms formed at predetermined intervals, and a plurality of elastic arms attached to the vibrating body. A plurality of excitation means for vibrating in the same direction at different phases, a displacement detection means attached to each of the plurality of elastic arms to detect the displacement amount of each elastic arm, and a displacement detection attached to each of the elastic arms. Coriolis force calculating means for calculating the output of the means to cancel the displacement amount based on the acceleration and detecting only the displacement amount based on the Coriolis force.
【0010】請求項2に記載の発明は、複数の弾性腕が
所定間隔をおいて形成された振動体と、前記複数の弾性
腕に各々取り付けられ、前記各弾性腕を同一方向に異な
る位相で振動させる複数の励振手段と、前記複数の弾性
腕に各々取り付けられ、前記各弾性腕の変位量を検出す
る変位検出手段と、前記各弾性腕に各々取り付けられた
変位検出手段の出力を演算して加速度に基づく変位量を
相殺し、コリオリ力に基づく変位量のみを検出するコリ
オリ力演算手段と、前記変位検出手段の各出力を演算し
てコリオリ力に基づく変位量を相殺し、加速度に基づく
変位量のみを検出する加速度演算手段とを具備すること
を特徴としている。
According to a second aspect of the present invention, a vibrating body in which a plurality of elastic arms are formed at a predetermined interval and each of the elastic arms are attached to the plurality of elastic arms, and the elastic arms have different phases in the same direction. A plurality of exciting means for vibrating, a displacement detecting means attached to each of the plurality of elastic arms for detecting the displacement amount of each elastic arm, and an output of the displacement detecting means attached to each of the elastic arms are calculated. Coriolis force calculating means for canceling the displacement amount based on the acceleration and detecting only the displacement amount based on the Coriolis force, and each output of the displacement detecting means to cancel the displacement amount based on the Coriolis force, and based on the acceleration An acceleration calculating means for detecting only the displacement amount is provided.
【0011】請求項3に記載の発明は、請求項1または
2に記載の振動型ジャイロスコープにおいて、前記振動
子は、3本の前記弾性腕から構成され、中央の弾性腕と
他の2個の弾性腕とは振動位相が逆になっていることを
特徴としている。
According to a third aspect of the present invention, in the vibrating gyroscope according to the first or second aspect, the vibrator includes three elastic arms, a central elastic arm and the other two elastic arms. It is characterized in that the vibration phase is opposite to that of the elastic arm.
【0012】請求項4に記載の発明は、請求項1または
2に記載の振動型ジャイロスコープにおいて、前記振動
子は、2本の前記弾性腕から構成されており、各弾性腕
の振動位相が逆になっていることを特徴としている。
According to a fourth aspect of the present invention, in the vibrating gyroscope according to the first or second aspect, the vibrator includes two elastic arms, and the vibration phase of each elastic arm is It is characterized by being reversed.
【0013】請求項5に記載の発明は、請求項4に記載
の振動型ジャイロスコープにおいて、前記2本の弾性腕
の先端に各々所定質量の質量付加手段が取り付けられて
いることを特徴としている。
According to a fifth aspect of the invention, in the vibrating gyroscope according to the fourth aspect, mass addition means having a predetermined mass is attached to the tips of the two elastic arms. .
【0014】請求項6に記載の発明は、請求項1または
2に記載の振動型ジャイロスコープにおいて、前記振動
子は、5本の前記弾性腕から構成されており、第1、第
3、第5の弾性腕の振動位相が同一であり、第2、第4
の弾性腕の振動位相が同一であると共に第1、第3、第
5の弾性腕の振動位相の逆位相となっていることを特徴
としている。
According to a sixth aspect of the present invention, in the vibrating gyroscope according to the first or second aspect, the vibrator is composed of five elastic arms. The vibration phases of the elastic arms of No. 5 are the same,
The elastic arms have the same vibration phase and are opposite in phase to the vibration phases of the first, third and fifth elastic arms.
【0015】[0015]
【作用】請求項1に記載の発明によれば、励振手段が駆
動されると、振動体は、各弾性腕が同一方向に異なる位
相で振動する。この振動体が中心軸回りに所定の角速度
で回転すると、振動体の各弾性腕に振動方向と直角方向
にコリオリ力が働く。この回転と同時に、振動体が前方
へ直線運動すると、この直線運動の加速度に基づく力が
振動体の各弾性腕に働く。この結果、各弾性腕はコリオ
リ力と加速度に基づく力とにより変位する。各変位検出
手段は、各弾性腕の変位量を検出し、コリオリ力演算手
段は、各変位検出手段の出力を演算して加速度に基づく
変位量を相殺し、コリオリ力に基づく変位量のみを検出
する。これにより、振動体が回転運動と同時に直線運動
をもしている場合においても、加速度に基づく誤差が生
じず、角速度のみを正しく検出することができる。
According to the first aspect of the invention, when the exciting means is driven, the vibrating body vibrates in the same direction in the elastic arms in different phases. When this vibrating body rotates around the central axis at a predetermined angular velocity, Coriolis force acts on each elastic arm of the vibrating body in a direction perpendicular to the vibration direction. Simultaneously with this rotation, when the vibrating body moves linearly forward, a force based on the acceleration of this linear motion acts on each elastic arm of the vibrating body. As a result, each elastic arm is displaced by the Coriolis force and the force based on the acceleration. Each displacement detection unit detects the displacement amount of each elastic arm, and the Coriolis force calculation unit calculates the output of each displacement detection unit to offset the displacement amount based on the acceleration and detects only the displacement amount based on the Coriolis force. To do. As a result, even when the vibrating body makes a linear motion at the same time as the rotational motion, an error due to the acceleration does not occur and only the angular velocity can be correctly detected.
【0016】請求項2に記載の発明によれば、励振手段
が駆動されると、振動体は、各弾性腕が同一方向に異な
る位相で振動する。この振動体の中心軸回りに所定の角
速度で回転させると、振動体の各弾性腕に振動方向と直
角方向にコリオリ力が働く。この回転と同時に、振動体
を前方へ直線運動させると、この直線運動の加速度に基
づく力が振動体の各弾性腕に働く。この結果、各弾性腕
はコリオリ力と加速度に基づく力とにより変位する。各
変位検出手段は、各弾性腕の変位量を検出し、コリオリ
力演算手段は、各変位検出手段の出力を演算して加速度
に基づく変位量を相殺し、コリオリ力に基づく変位量の
みを検出する。加速度演算手段は、変位検出手段の各出
力を演算してコリオリ力に基づく変位量を相殺し、加速
度に基づく変位量のみを検出する。これにより、振動体
が回転運動と同時に直線運動をもしている場合におい
て、回転運動の角速度および直線運動の加速度を共に分
離して検出することができる。
According to the second aspect of the present invention, when the excitation means is driven, the vibrating body vibrates in the same direction in each elastic arm in different phases. When the vibrating body is rotated around the central axis at a predetermined angular velocity, Coriolis force acts on each elastic arm of the vibrating body in a direction perpendicular to the vibration direction. Simultaneously with this rotation, when the vibrating body is linearly moved forward, a force based on the acceleration of this linear movement acts on each elastic arm of the vibrating body. As a result, each elastic arm is displaced by the Coriolis force and the force based on the acceleration. Each displacement detection unit detects the displacement amount of each elastic arm, and the Coriolis force calculation unit calculates the output of each displacement detection unit to offset the displacement amount based on the acceleration and detects only the displacement amount based on the Coriolis force. To do. The acceleration calculation means calculates each output of the displacement detection means to cancel the displacement amount based on the Coriolis force, and detects only the displacement amount based on the acceleration. Accordingly, when the vibrating body is in a linear motion at the same time as the rotational motion, the angular velocity of the rotary motion and the acceleration of the linear motion can be separately detected.
【0017】請求項5に記載の発明によれば、質量付加
手段を取り付けたので、高感度で加速度を検出すること
ができる。
According to the invention described in claim 5, since the mass adding means is attached, the acceleration can be detected with high sensitivity.
【0018】[0018]
【実施例】 <第1実施例>以下、図面を参照して、本発明の実施例
について説明する。図1は本発明の第1実施例による振
動型ジャイロスコープの構成例を示す斜視図である。こ
の図において、5は、エリンバ等の恒弾性金属からなる
板状の振動子であり、上半部に等しい幅の弾性腕5a〜
5cが一定間隔をおいて形成されている。これらの弾性
腕5a〜5cの各表面には、弾性腕5a〜5cの変位量
を電圧として検出する圧電素子6a〜6cが各々取り付
けられている。また図1において、"○"は圧電素子6
a,6cの分極方向が上向きであることを示し、"×"は
圧電素子6bの分極方向が下向きであることを示してい
る。また、弾性腕5a〜5cの各表面には、図示は省略
しているが、駆動用の圧電素子が取り付けられ、この圧
電素子が交流駆動されることによって、弾性腕5a〜5
cが図に示すx方向(左右方向)へ、常時、振動してい
る。この場合、弾性腕5a、5cは同一位相で振動し、
弾性腕5bはこれらと逆位相で振動している(図の破線
矢印参照)。
Embodiments <First Embodiment> An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of a vibration type gyroscope according to a first embodiment of the present invention. In this figure, reference numeral 5 denotes a plate-shaped vibrator made of a constant elastic metal such as Elinba, which has elastic arms 5a to 5a having the same width as the upper half.
5c are formed at regular intervals. Piezoelectric elements 6a to 6c for detecting displacement amounts of the elastic arms 5a to 5c as voltages are attached to the respective surfaces of these elastic arms 5a to 5c. Further, in FIG. 1, “◯” indicates the piezoelectric element 6
"a" and "6c" indicate that the polarization direction is upward, and "x" indicates that the polarization direction of the piezoelectric element 6b is downward. Although not shown in the drawing, a driving piezoelectric element is attached to each surface of the elastic arms 5a to 5c, and the piezoelectric elements are AC-driven to generate elastic arms 5a to 5c.
c is constantly vibrating in the x direction (left and right direction) shown in the figure. In this case, the elastic arms 5a and 5c vibrate in the same phase,
The elastic arm 5b vibrates in the opposite phase to these (see the broken line arrow in the figure).
【0019】増幅器8は、入力される検出電圧を2倍に
増幅し、加算器7へ出力する。加算器7は、圧電素子6
cの出力電圧、増幅器8の出力電圧および圧電素子6a
の出力電圧を加算し、その加算結果を角速度信号Sωと
して出力する。加算器9は圧電素子6c、6aの出力電
圧を加算し、加算結果を減算器10へ出力する。減算器
10は加算器9の出力電圧から圧電素子6bの出力電圧
を減算し、その結果を加速度信号SAとして出力する。
The amplifier 8 doubles the input detection voltage and outputs it to the adder 7. The adder 7 includes the piezoelectric element 6
c output voltage, amplifier 8 output voltage and piezoelectric element 6a
Of the output voltages are added, and the addition result is output as an angular velocity signal Sω. The adder 9 adds the output voltages of the piezoelectric elements 6c and 6a, and outputs the addition result to the subtractor 10. The subtractor 10 subtracts the output voltage of the piezoelectric element 6b from the output voltage of the adder 9, and outputs the result as an acceleration signal SA.
【0020】以上の構成において、振動子5が、例え
ば、z軸回りに、図に示す方向へ角速度ωで回転する
と、弾性腕5a〜5cが各々x方向へ振動しているた
め、各弾性腕5a、5cに+y方向のコリオリ力Fが働
き、一方、弾性腕5bには−y方向のコリオリ力2Fが
働く。また、上記の回転と同時に、振動子5が前方へ直
線運動を行ったとすると、この直線運動の加速度に基づ
く力A(図1参照)が各弾性腕5a〜5cに働く。
In the above structure, when the vibrator 5 rotates about the z-axis at the angular velocity ω in the direction shown in the figure, the elastic arms 5a to 5c vibrate in the x-direction. Coriolis force F in the + y direction acts on 5a and 5c, while Coriolis force 2F in the -y direction acts on elastic arm 5b. Further, assuming that the oscillator 5 linearly moves forward at the same time as the above rotation, a force A (see FIG. 1) based on the acceleration of this linear motion acts on each elastic arm 5a-5c.
【0021】いまコリオリの力Fに基づく弾性腕5a,
5cのたわみにより、圧電素子6a,6cに電圧αが発
生したとすると、弾性腕5bは2倍の力2Fにより、逆
方向へ2倍たわむが、分極方向も逆になっているため、
結局、圧電素子6bには2αの電圧が発生する。また、
加速度に基づく力Aによる弾性腕5a,5cのたわみに
より、圧電素子6a,6cに電圧βが発生したとする
と、弾性腕5bの圧電素子6bの分極方向が逆であるこ
とから、同圧電素子6bに電圧−βが発生する。
Now, the elastic arm 5a based on the Coriolis force F,
If a voltage α is generated in the piezoelectric elements 6a and 6c due to the deflection of 5c, the elastic arm 5b is twice deflected in the opposite direction by the double force 2F, but the polarization direction is also reversed.
Eventually, a voltage of 2α is generated in the piezoelectric element 6b. Also,
If a voltage β is generated in the piezoelectric elements 6a, 6c by the deflection of the elastic arms 5a, 5c by the force A based on the acceleration, the piezoelectric element 6b of the elastic arm 5b has the opposite polarization direction. A voltage -β is generated at.
【0022】以上の結果、加算器7の角速度信号Sωは
6αとなり、コリオリ力Fのみに比例した値、言い替え
れば角速度ωにのみ比例した値となる。また、減算器1
0の加速度信号SAは3βとなり、加速度に基づく力A
にのみ比例した値、すなわち、加速度に比例した値とな
る。
As a result, the angular velocity signal Sω of the adder 7 becomes 6α, which is a value proportional to only the Coriolis force F, in other words, a value proportional only to the angular velocity ω. Also, the subtractor 1
The acceleration signal SA of 0 becomes 3β, and the force A based on acceleration
A value proportional only to, that is, a value proportional to acceleration.
【0023】<第2実施例>図2は、本発明の第2実施
例による振動型ジャイロスコープの構成例を示す斜視図
である。この図おいて、図1の各部に対応する部分には
同一の符号を付け、その説明を省略する。この図に示す
振動型ジャイロスコープが図1のものと異なる点は振動
子5'の弾性腕5b'のx方向の幅、および重量が、図1
に示す弾性腕5bの幅および質量に比して2倍とされて
いる点と、圧電素子6b'のx方向の幅が図1に示す圧
電素子6bに比して2倍とされている点、および図1に
示す増幅器8が取り外されて圧電素子6b'の出力電圧
が直接、加算器7へ出力される点である。
<Second Embodiment> FIG. 2 is a perspective view showing a structural example of a vibrating gyroscope according to a second embodiment of the present invention. In this figure, parts corresponding to the parts in FIG. 1 are assigned the same reference numerals and explanations thereof are omitted. The vibrating gyroscope shown in this figure differs from that shown in FIG. 1 in that the width of the elastic arm 5b ′ of the vibrator 5 ′ in the x direction and the weight are as shown in FIG.
2 is double the width and mass of the elastic arm 5b, and the x-direction width of the piezoelectric element 6b ′ is double that of the piezoelectric element 6b shown in FIG. , And the amplifier 8 shown in FIG. 1 is removed, and the output voltage of the piezoelectric element 6b ′ is directly output to the adder 7.
【0024】この場合、弾性腕5b'に加わるコリオリ
力は−y方向へ2Fで図1の場合と同じであるが、弾性
腕5b'の重量が図1の弾性腕5bの倍であるため、た
わみ量は図1の弾性腕5bの半分、すなわち、弾性腕5
a、5cのたわみ量と同じになる。また、圧電素子6
b'は、その幅が図1の圧電素子6bの倍となってい
る。また、圧電素子6b'の分極方向は圧電素子6a、
6cの分極方向と逆になっている。以上の結果、コリオ
リ力に基づく圧電素子6b'の出力電圧は+2αとな
る。一方、弾性腕5b'に加わる加速度に基づく力は、
弾性腕5b'の重量が弾性腕5a、5cの倍であること
から2Aとなるが、大きさも倍であることからたわみ量
は弾性腕5a、5cと同じになる。そして、圧電素子6
b'の幅が圧電素子6a、6cの倍、分極方向が圧電素
子6a、6cの分極方向と逆になっているので、加速度
に基づく圧電素子6b'の出力電圧は−2βとなる。以
上の結果、加算器7の出力は4α、加算器9の出力は2
α+2β、減算器10の出力は4βとなり、加算器7の
出力信号として角速度ωに比例する角速度信号Sωが、
減算器10の出力信号として加速度に比例する加速度信
号SAが各々得られる。
In this case, the Coriolis force applied to the elastic arm 5b 'is 2F in the -y direction, which is the same as in the case of FIG. 1, but since the weight of the elastic arm 5b' is twice that of the elastic arm 5b of FIG. The amount of deflection is half that of the elastic arm 5b in FIG.
It becomes the same as the deflection amount of a and 5c. In addition, the piezoelectric element 6
The width of b'is double that of the piezoelectric element 6b in FIG. In addition, the polarization direction of the piezoelectric element 6b 'is the piezoelectric element 6a,
The polarization direction is opposite to that of 6c. As a result, the output voltage of the piezoelectric element 6b 'based on the Coriolis force becomes + 2α. On the other hand, the force based on the acceleration applied to the elastic arm 5b 'is
Since the weight of the elastic arm 5b 'is twice that of the elastic arms 5a and 5c, it becomes 2A, but since the size is also twice, the amount of deflection becomes the same as that of the elastic arms 5a and 5c. Then, the piezoelectric element 6
Since the width of b ′ is twice that of the piezoelectric elements 6a and 6c and the polarization direction is opposite to the polarization direction of the piezoelectric elements 6a and 6c, the output voltage of the piezoelectric element 6b ′ based on acceleration is −2β. As a result, the output of the adder 7 is 4α and the output of the adder 9 is 2α.
α + 2β, the output of the subtractor 10 becomes 4β, and the angular velocity signal Sω proportional to the angular velocity ω is output from the adder 7 as
An acceleration signal SA proportional to the acceleration is obtained as an output signal of the subtractor 10.
【0025】<第3実施例>図3は、本発明の第3実施
例による振動型ジャイロスコープの構成例を示す斜視図
である。この図おいて、11は、エリンバ等の恒弾性金
属からなる略U字状の振動子であり、弾性腕11a,1
1bが一定間隔をおいて形成されている。これらの弾性
腕11a,11bの各表面には、弾性腕11a,11bの
変位量を電圧として検出する圧電素子12a,12bが
各々取り付けられている。13aおよび13bは、箱状
の所定質量の質量付加部材であり、弾性腕11a,11
bの先端部に各々取り付けられている。また、弾性腕1
1a,11bの各表面には、図示は省略しているが、駆
動用の圧電素子が取り付けられ、この圧電素子が交流駆
動されることによって、弾性腕11a,11bが図に示
すx方向(左右方向へ)、常時、振動している。この場
合、弾性腕11a,11bは各々逆位相で振動している
(図の破線矢印参照)。
<Third Embodiment> FIG. 3 is a perspective view showing a structural example of a vibrating gyroscope according to a third embodiment of the present invention. In this figure, 11 is a substantially U-shaped vibrator made of a constant elastic metal such as elinvar.
1b are formed at regular intervals. Piezoelectric elements 12a and 12b for detecting the displacement of the elastic arms 11a and 11b as a voltage are attached to the respective surfaces of the elastic arms 11a and 11b. Reference numerals 13a and 13b are box-shaped mass addition members having a predetermined mass, and are elastic arms 11a and 11b.
Each is attached to the tip of b. Also, the elastic arm 1
Although not shown, a driving piezoelectric element is attached to each surface of 1a and 11b, and by driving the piezoelectric element by alternating current, the elastic arms 11a and 11b move in the x direction (left and right) shown in the figure. Direction), constantly vibrating. In this case, the elastic arms 11a and 11b are vibrating in opposite phases (see the broken line arrow in the figure).
【0026】加算器14は圧電素子12a,12bの出
力電圧を加算し、その加算結果を角速度信号Sωとして
出力する。減算器15は、圧電素子12aの出力電圧か
ら圧電素子12bの出力電圧を減算し、その結果を加速
度信号SAとして出力する。
The adder 14 adds the output voltages of the piezoelectric elements 12a and 12b and outputs the addition result as an angular velocity signal Sω. The subtractor 15 subtracts the output voltage of the piezoelectric element 12b from the output voltage of the piezoelectric element 12a, and outputs the result as an acceleration signal SA.
【0027】以上の構成において、振動子11が、例え
ば、z軸回りに、図に示す方向へ角速度ωで回転する
と、弾性腕11a,11bがx方向へ振動しているた
め、弾性腕11aには+y方向のコリオリ力Fが働き、
一方、弾性腕11bには−y方向のコリオリ力Fが働
く。また、上記の回転と同時に、振動子11が紙面前方
へ直線運動を行ったとすると、この直線運動の加速度に
基づく力A'が各弾性腕11a,11bに働く。この加速
度に基づく力A'は、質量付加部材13a,13bの質量
の分だけ、質量付加部材13a,13bを取り付けない
場合よりも大きく弾性腕11a,11bに働き、第1,2
実施例で説明した加速度に基づく力Aよりも大である。
In the above structure, when the vibrator 11 rotates about the z-axis at the angular velocity ω in the direction shown in the figure, the elastic arms 11a and 11b vibrate in the x-direction. Coriolis force F works in the + y direction,
On the other hand, the Coriolis force F in the -y direction acts on the elastic arm 11b. If the oscillator 11 makes a linear motion forward in the drawing at the same time as the above rotation, a force A ′ based on the acceleration of this linear motion acts on each elastic arm 11a, 11b. The force A ′ based on this acceleration acts on the elastic arms 11a and 11b by an amount corresponding to the mass of the mass adding members 13a and 13b, as compared with the case where the mass adding members 13a and 13b are not attached.
It is larger than the force A based on the acceleration described in the embodiment.
【0028】いま、コリオリ力Fに基づく弾性腕11a
のたわみにより、圧電素子12aに電圧αが発生したと
すると、弾性腕11bは−y方向のコリオリ力Fによ
り、弾性腕11aと逆方向へ同じ変位量たわむが、分極
方向も逆になっているため、結局、圧電素子12bには
αの電圧が発生する。また、加速度に基づく力A'によ
る弾性腕11aのたわみにより、圧電素子12aに電圧
β'が発生したとすると、弾性腕11bの圧電素子12
bの分極方向が逆であることから、同圧電素子12bに
は電圧−β'が発生する。ここで、この圧電素子12a,
12bに発生する電圧β'は、加速度に基づく力A'が第
1,2実施例で説明した加速度に基づく力Aより大であ
ることから、第1,2実施例で説明した電圧βよりも大
である。すなわち、質量付加部材13a,13bを取り
付けたことにより、高感度で加速度が検出されている。
Now, the elastic arm 11a based on the Coriolis force F
Assuming that the voltage α is generated in the piezoelectric element 12a due to the deflection of the elastic arm 11b, the elastic arm 11b is deflected by the Coriolis force F in the -y direction in the same displacement amount in the opposite direction as the elastic arm 11a, but the polarization direction is also opposite. Therefore, eventually, a voltage α is generated in the piezoelectric element 12b. If a voltage β'is generated in the piezoelectric element 12a by the deflection of the elastic arm 11a due to the force A'based on the acceleration, the piezoelectric element 12 of the elastic arm 11b is assumed.
Since the polarization direction of b is opposite, a voltage -β 'is generated in the piezoelectric element 12b. Here, this piezoelectric element 12a,
The voltage β ′ generated at 12b is larger than the voltage β described in the first and second embodiments because the force A ′ based on the acceleration is larger than the force A based on the acceleration described in the first and second embodiments. Is large. That is, the acceleration is detected with high sensitivity by attaching the mass adding members 13a and 13b.
【0029】以上の結果、加算器14の角速度信号Sω
(角速度ωに比例した値)は2αとなり、減算器15の
加速度信号SA(加速度に比例した値)は2β'となる。
As a result, the angular velocity signal Sω of the adder 14
(Value proportional to angular velocity ω) becomes 2α, and acceleration signal SA (value proportional to acceleration) of the subtractor 15 becomes 2β ′.
【0030】<第4実施例>図4は、本発明の第4実施
例による振動型ジャイロスコープの構成例を示す斜視図
である。この図おいて、16は、エリンバ等の恒弾性金
属からなる板状の振動子であり、上半部に5本の弾性腕
16a〜16eが一定間隔をおいて形成されている。弾
性腕16b〜16dは、x方向の幅、および重量が、両
側の弾性腕16a,16eに比して2倍とされている。
これらの弾性腕16a〜16eの各表面には、弾性腕1
6a〜16eの変位量を電圧として検出する圧電素子1
7a〜17eが各々取り付けられている。圧電素子17
b〜17dは、x方向の幅が両側の圧電素子17a,1
7eに比して2倍とされている。また、圧電素子17
a,17cおよび17eの分極方向は、上向きであり、
圧電素子17b,17dの分極方向は下向きである。
<Fourth Embodiment> FIG. 4 is a perspective view showing a structural example of a vibrating gyroscope according to a fourth embodiment of the present invention. In this figure, reference numeral 16 is a plate-shaped vibrator made of a constant elastic metal such as elinvar, and five elastic arms 16a to 16e are formed in the upper half portion at regular intervals. The elastic arms 16b to 16d have a width in the x direction and a weight twice as large as the elastic arms 16a and 16e on both sides.
The elastic arm 1 is provided on each surface of the elastic arms 16a to 16e.
Piezoelectric element 1 for detecting displacement amounts of 6a to 16e as voltage
7a to 17e are attached respectively. Piezoelectric element 17
b to 17d are piezoelectric elements 17a, 1 whose width in the x direction is on both sides.
It is doubled compared to 7e. In addition, the piezoelectric element 17
The polarization directions of a, 17c and 17e are upward,
The polarization directions of the piezoelectric elements 17b and 17d are downward.
【0031】また、弾性腕16a〜16eの各表面に
は、図示は省略しているが、駆動用の圧電素子が取り付
けられ、これらの圧電素子が交流駆動されることによっ
て、弾性腕16a〜16eが図に示すx方向(左右方
向)へ、常時、振動している。この場合、弾性腕16
a,16cおよび16eは同一位相で振動し、弾性腕1
6b,16dはこれらと逆位相で振動している(図の破
線矢印参照)。
Although not shown in the drawings, piezoelectric elements for driving are attached to the respective surfaces of the elastic arms 16a to 16e, and these piezoelectric elements are AC-driven to generate elastic arms 16a to 16e. Constantly vibrates in the x direction (left and right direction) shown in the figure. In this case, the elastic arm 16
a, 16c and 16e vibrate in the same phase, and the elastic arm 1
6b and 16d vibrate in the opposite phase to these (see broken line arrows in the figure).
【0032】加算器18は、圧電素子17a〜17e出
力電圧を加算するものであり、加算器19は、圧電素子
17a,17cおよび17eの出力電圧を加算するもの
であり、加算器20は、圧電素子17b,17dの出力
電圧を加算して、加算結果を角速度検出信号Sωとして
出力する。減算器21は、加算器19の出力電圧から、
加算器20の出力電圧を減算して、減算結果を加速度信
号SAとして出力する。
The adder 18 adds the output voltages of the piezoelectric elements 17a to 17e, the adder 19 adds the output voltages of the piezoelectric elements 17a, 17c and 17e, and the adder 20 outputs the piezoelectric elements. The output voltages of the elements 17b and 17d are added, and the addition result is output as the angular velocity detection signal Sω. The subtractor 21 uses the output voltage of the adder 19
The output voltage of the adder 20 is subtracted, and the subtraction result is output as the acceleration signal SA.
【0033】以上の構成において、振動子16が、例え
ば、z軸回りに、図に示す方向へ角速度ωで回転する
と、弾性腕16a〜16eが各々、x方向へ振動してい
るため、弾性腕16a,16eには+y方向のコリオリ
力Fが働き、弾性腕16cには+y方向のコリオリ力2
Fが働き、弾性腕16b,16dには−y方向のコリオ
リ力2Fが働く。また、上記の回転と同時に、振動子1
6が前方へ直線運動を行ったとすると、この直線運動の
加速度に基づく+y方向の力Aが弾性腕16a,16e
に働き、加速度に基づく+y方向の力2Aが弾性腕16
b〜16dに各々働く。
In the above structure, when the vibrator 16 rotates, for example, around the z-axis at the angular velocity ω in the direction shown in the figure, the elastic arms 16a to 16e each vibrate in the x direction. Coriolis force F in the + y direction acts on 16a and 16e, and Coriolis force 2 in the + y direction acts on elastic arm 16c.
F acts, and Coriolis force 2F in the -y direction acts on the elastic arms 16b and 16d. At the same time as the above rotation, the oscillator 1
If 6 makes a linear motion forward, a force A in the + y direction based on the acceleration of this linear motion is applied to the elastic arms 16a, 16e.
And the force 2A in the + y direction based on the acceleration acts on the elastic arm 16
b to 16d respectively.
【0034】この場合、弾性腕16b〜16dの重量が
弾性腕16a,16eの倍であるため、弾性腕16b〜
16dのたわみ量は、弾性腕16a,16eの半分、す
なわち、弾性腕16a,16eと同じになる。また、圧
電素子17b〜17dは、その幅が圧電素子17a,1
7eの倍となっている。また、圧電素子17a,17c
および17eと、圧電素子17b,17dとの分極方向
が逆になっている。以上の結果、コリオリ力に基づく圧
電素子17a,17eの出力電圧は+α、圧電素子17
b〜17dの出力電圧は+2αとなる。一方、弾性腕1
6a,16eに加わる加速度に基づく、圧電素子17a,
17eの出力電圧は+β、弾性腕16cに加わる加速度
に基づく、圧電素子17cの出力電圧は+2β、弾性腕
16b,16dに加わる加速度に基づく、圧電素子17
b,17dの出力電圧は−2βとなる。
In this case, since the weight of the elastic arms 16b to 16d is twice that of the elastic arms 16a and 16e, the elastic arms 16b to 16d
The amount of deflection of 16d is half that of the elastic arms 16a and 16e, that is, the same as that of the elastic arms 16a and 16e. In addition, the piezoelectric elements 17b to 17d have the width of the piezoelectric elements 17a and 1d.
It is twice as much as 7e. In addition, the piezoelectric elements 17a and 17c
The polarization directions of the piezoelectric elements 17b and 17d are opposite to those of the piezoelectric elements 17b and 17d. As a result, the output voltage of the piezoelectric elements 17a and 17e based on the Coriolis force is + α,
The output voltage of b to 17d is + 2α. On the other hand, elastic arm 1
Piezoelectric elements 17a, based on the acceleration applied to 6a, 16e,
The output voltage of 17e is + β, based on the acceleration applied to the elastic arm 16c, and the output voltage of the piezoelectric element 17c is + 2β, based on the acceleration applied to the elastic arms 16b and 16d.
The output voltage of b and 17d is -2β.
【0035】以上の結果、加算器18の出力は8α、加
算器19の出力は4α+4β、加算器20の出力は4α
−4β、減算器21の出力は8βとなり、加算器18の
出力信号として角速度ωに比例する角速度信号Sωが、
減算器21の出力信号として加速度に比例する加速度信
号SAが各々得られる。
As a result, the output of the adder 18 is 8α, the output of the adder 19 is 4α + 4β, and the output of the adder 20 is 4α.
-4β, the output of the subtracter 21 becomes 8β, and the angular velocity signal Sω proportional to the angular velocity ω is output from the adder 18 as
An acceleration signal SA proportional to the acceleration is obtained as an output signal of the subtracter 21.
【0036】[0036]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
コリオリ力演算手段により、振動体が回転運動に加えて
直線運動をもしている場合においても、加速度に基づく
誤差が生じず、角速度のみを正しく検出することができ
る。また、本発明によれば、コリオリ力演算手段および
加速度演算手段により、振動体が回転運動に加えて直線
運動をもしている場合において、回転運動の角速度およ
び直線運動の加速度を共に分離して検出することができ
る。
As described above, according to the present invention,
By the Coriolis force calculation means, even when the vibrating body makes a linear movement in addition to a rotational movement, an error due to acceleration does not occur and only the angular velocity can be correctly detected. According to the present invention, the Coriolis force calculating unit and the acceleration calculating unit separately detect the angular velocity of the rotational movement and the acceleration of the linear movement when the vibrating body has a linear movement in addition to the rotational movement. can do.
【0037】また、請求項5に記載に発明によれば、質
量付加手段を各弾性腕に取り付けた場合には加速度を高
感度で検出することができる。
According to the invention described in claim 5, when the mass adding means is attached to each elastic arm, the acceleration can be detected with high sensitivity.
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図1】本発明の第1実施例による振動型ジャイロスコ
ープの構成例を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a configuration example of a vibrating gyroscope according to a first embodiment of the present invention.
【図2】同第2実施例による振動型ジャイロスコープの
構成例を示す斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing a configuration example of a vibration type gyroscope according to the second embodiment.
【図3】同第3実施例による振動型ジャイロスコープの
構成例を示す斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view showing a configuration example of a vibrating gyroscope according to the third embodiment.
【図4】同第4実施例による振動型ジャイロスコープの
構成例を示す斜視図である。
FIG. 4 is a perspective view showing a configuration example of a vibration gyroscope according to the fourth embodiment.
【図5】従来の振動型ジャイロスコープの構成例を示す
斜視図である。
FIG. 5 is a perspective view showing a configuration example of a conventional vibrating gyroscope.
【図6】同振動型ジャイロスコープの他の構成例を示す
斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view showing another configuration example of the vibration type gyroscope.
【符号の説明】[Explanation of symbols]
5,5',11,16 振動子 5a〜5c,5b',11a,11b,16a〜16e 弾
性腕 6a〜6c,6b',12a,12b,17a〜17e 圧
電素子 7,9,14,18,19,20 加算器 8 増幅器 10,15,21 減算器 13a,13b 質量付加部材 A 加速度に基づく力 F コリオリの力 Sω 角速度信号 SA 加速度信号
5,5 ', 11,16 vibrator 5a-5c, 5b', 11a, 11b, 16a-16e elastic arm 6a-6c, 6b ', 12a, 12b, 17a-17e piezoelectric element 7,9,14,18, 19,20 Adder 8 Amplifier 10,15,21 Subtractor 13a, 13b Mass addition member A Force based on acceleration F Coriolis force Sω Angular velocity signal SA Acceleration signal

Claims (6)

    【特許請求の範囲】[Claims]
  1. 【請求項1】 複数の弾性腕が所定間隔をおいて形成さ
    れた振動体と、 前記複数の弾性腕に各々取り付けられ、前記各弾性腕を
    同一方向に異なる位相で振動させる複数の励振手段と、 前記複数の弾性腕に各々取り付けられ、前記各弾性腕の
    変位量を検出する変位検出手段と、 前記各弾性腕に各々取り付けられた変位検出手段の出力
    を演算して加速度に基づく変位量を相殺し、コリオリ力
    に基づく変位量のみを検出するコリオリ力演算手段と、 を具備することを特徴とする振動型ジャイロスコープ。
    1. A vibrating body in which a plurality of elastic arms are formed at predetermined intervals, and a plurality of exciting means attached to the plurality of elastic arms and vibrating the elastic arms in the same direction and different phases. A displacement detection unit attached to each of the plurality of elastic arms and configured to detect a displacement amount of each elastic arm; and an output of the displacement detection unit attached to each elastic arm to calculate a displacement amount based on acceleration. A vibrating gyroscope, comprising: a Coriolis force calculating unit that cancels out and detects only a displacement amount based on the Coriolis force.
  2. 【請求項2】 複数の弾性腕が所定間隔をおいて形成さ
    れた振動体と、 前記複数の弾性腕に各々取り付けられ、前記各弾性腕を
    同一方向に異なる位相で振動させる複数の励振手段と、 前記複数の弾性腕に各々取り付けられ、前記各弾性腕の
    変位量を検出する変位検出手段と、 前記各弾性腕に各々取り付けられた変位検出手段の出力
    を演算して加速度に基づく変位量を相殺し、コリオリ力
    に基づく変位量のみを検出するコリオリ力演算手段と、 前記変位検出手段の各出力を演算してコリオリ力に基づ
    く変位量を相殺し、加速度に基づく変位量のみを検出す
    る加速度演算手段と、 を具備することを特徴とする振動型ジャイロスコープ。
    2. A vibrating body having a plurality of elastic arms formed at predetermined intervals, and a plurality of exciting means attached to the plurality of elastic arms and vibrating the elastic arms in the same direction at different phases. A displacement detection unit attached to each of the plurality of elastic arms and configured to detect a displacement amount of each elastic arm; and an output of the displacement detection unit attached to each elastic arm to calculate a displacement amount based on acceleration. Coriolis force calculating means for canceling and detecting only the displacement amount based on the Coriolis force, and acceleration for detecting only the displacement amount based on the acceleration by calculating each output of the displacement detecting means to cancel the displacement amount based on the Coriolis force. A vibrating gyroscope, comprising: an arithmetic means.
  3. 【請求項3】 前記振動子は、3本の前記弾性腕から構
    成され、中央の弾性腕と他の2個の弾性腕とは振動位相
    が逆になっていることを特徴とする請求項1または2に
    記載の振動型ジャイロスコープ。
    3. The vibrator is composed of three elastic arms, and the vibration phases of the central elastic arm and the other two elastic arms are opposite to each other. Alternatively, the vibration type gyroscope described in 2.
  4. 【請求項4】 前記振動子は、2本の前記弾性腕から構
    成されており、各弾性腕の振動位相が逆になっているこ
    とを特徴とする請求項1または2に記載の振動型ジャイ
    ロスコープ。
    4. The vibrating gyroscope according to claim 1, wherein the vibrator is composed of two elastic arms, and the vibration phases of the elastic arms are opposite to each other. scope.
  5. 【請求項5】 前記2本の弾性腕の先端に各々所定質量
    の質量付加手段が取り付けられていることを特徴とする
    請求項4に記載の振動型ジャイロスコープ。
    5. The vibrating gyroscope according to claim 4, wherein mass addition means having a predetermined mass are attached to the distal ends of the two elastic arms, respectively.
  6. 【請求項6】 前記振動子は、5本の前記弾性腕から構
    成されており、第1、第3、第5の弾性腕の振動位相が
    同一であり、第2、第4の弾性腕の振動位相が同一であ
    ると共に第1、第3、第5の弾性腕の振動位相の逆位相
    となっていることを特徴とする請求項1または2に記載
    の振動型ジャイロスコープ。
    6. The vibrator is composed of five elastic arms, and the vibration phases of the first, third, and fifth elastic arms are the same, and the vibrators of the second and fourth elastic arms are the same. The vibration type gyroscope according to claim 1 or 2, wherein the vibration phases are the same and opposite to the vibration phases of the first, third and fifth elastic arms.
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Cited By (4)

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