JPH08228456A - 電子式センサを備える電動シリンダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】推力ロッドの軸方向の推力の検出を電子式とし
て信頼性を高め、部品点数を低減させて全長を短くす
る。 【解決手段】電動機１で駆動される推力軸２の回転は、
ねじ対偶３により推力ロッド４の軸方向の移動に変換さ
れ、負荷を押し又は引く。推力軸２はカップリング２０
１によりロータリエンコーダ２０２に連結され、推力ロ
ッド４の軸方向の位置が検出される。推力軸２は圧縮ば
ね６で中立位置を保ち推力と釣り合って軸方向に移動可
能にされる。カップリングの円筒部２０１ｃの外表面の
バーコード１１の軸方向中央に環状の黒いバーが設けら
れる。固定側に取付けたフォトリフレクタなどのセンサ
素子１２がバーの軸方向の移動にともないバーコード１
１のバーの縁をまたぐ位置に配置されるから、推力軸２
すなわち推力ロッド４の軸方向の推力が検出される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ねじ対偶などを
利用し、回転する電動機で軸方向に駆動される推力ロッ
ドの軸方向の位置と推力とを電子式に検出することがで
きる電子式センサを備える電動シリンダに関する。

【０００２】

【従来の技術】図９は従来例の半断面図である。図にお
いて、電動機１の電動機軸を兼ね回転駆動される推力軸
２の回転は、ねじ対偶３により推力ロッド４の軸方向の
移動に変換される。推力軸２のおねじ３ａとねじ対偶３
を形成するめねじ３ｂは、カプラ３ｃを介して推力ロッ
ド４に固着される。電動機１から延設される筒４ａの先
端の滑り軸受４ｂで軸方向に案内される推力ロッド４の
先端に、図示しない負荷を取付けるためのねじを設けた
結合具４ｃが固着される。カプラ３ｃなどに推力ロッド
４のための図示しない回り止めがある。電動機１が正回
転又は逆回転すれば、ねじ対偶３を介して推力ロッド４
は軸方向に動いて負荷を押し又は引き、正又は逆の推力
を発生する。

【０００３】電動機１の電動機軸を兼ねる推力軸２の両
端は、一方が一対の軸受５ａ、５ｂにより、他方が軸受
５ｚにより内輪の緩いはめあいで回転自在に支承され
る。一対の軸受５ａ、５ｂの外輪の間に圧縮ばね６が挟
まれる。両軸受５ａ、５ｂの内外輪の軸方向外側にＣ形
止め輪７ａ、７ｂ、７ｃなどが設けられ、内外輪はそれ
らより外側に移動できない。両軸受５ａ、５ｂの内外輪
は、軸及びハウジングに対して軸方向に移動可能な緩い
はめあいとされる。推力軸２が中立位置にある図示の状
態から正の推力（圧縮）を受けて反運転側に移動すれ
ば、Ｃ形止め輪７ｃと軸受５ｂの外輪との間及びＣ形止
め輪７ａと軸受５ａの内輪との間に隙間が発生し、圧縮
ばね６が圧縮されて推力軸２の推力（圧縮）と釣り合
う。推力軸２が逆の推力（引張）を受けて運転側に移動
すれば、軸受５ａの外輪及び軸受５ｂの内輪に隙間が発
生し、圧縮ばね６が圧縮されて推力軸２の推力（引張）
と釣り合う。このようにして、圧縮ばね６で中立位置を
保つ推力軸２が中立位置から軸方向の一方側と他方側と
へ推力と釣り合って移動可能にされる。軸受５ａに隣接
して無励磁ブレーキ８を設け、電気的制御によるブレー
キの他に機械的ブレーキを併用する。

【０００４】推力軸２の端部は、軸方向に相対移動可能
で回転方向に共回りするカップリング２０１を介して慣
用の電子式のロータリエンコーダ２０２に結合される。
ロータリエンコーダ２０２は、推力軸２の回転位置を検
出することにより、推力ロッド４の軸方向の位置を検出
する。カップリング２０１は推力軸２側のカップリング
部２０１ａとロータリエンコーダ２０２側のカップリン
グ部２０１ｂとからなる。

【０００５】推力軸２側のカップリング部２０１ａと無
励磁ブレーキ８との間に、推力軸２の軸方向の位置を検
出する機械式の軸方向位置検出器３００が設けられる。
推力軸２のカップリング部２０１ａに隣接する空間の固
定側に、軸方向のガイドバー３０１が固着される。ガイ
ドバー３０１により軸方向に移動可能で回転不能なドッ
グ３０２は、軸受３０３により推力軸２に保持される。
アクチュエータ３０４ａを持つリミットスイッチ３０４
は、取付具３０５で固定側に固着される。アクチュエー
タ３０４ａは、推力軸２の軸方向の移動にともない、回
転しないで軸方向にのみ動くドッグ３０２の山形部をな
ぞる。このため、リミットスイッチ３０４は、推力軸２
の中立位置からの軸方向の移動距離を検出できる。この
移動距離と圧縮ばね６のばね定数とから推力軸２を介し
て推力ロッド４の軸方向の正及び逆の推力を検出する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】前記の従来例では、推
力軸２の回転を介して推力ロッド４の軸方向の位置を検
出するために、電子式のロータリエンコーダ２０２を使
用するから、推力ロッド４の軸方向の位置を検出する部
材の信頼性が高くて寿命も長い。しかし、推力ロッド４
の軸方向の推力を検出するために、機械式のリミットス
イッチ３０４を使用するから、部材の信頼性が低くて寿
命も短い。また、ガイドバー３０１、ドッグ３０２、軸
受３０３及びリミットスイッチ３０４などの部材を必要
とするから、部品点数が多く、電動シリンダの全長も長
い。

【０００７】この発明の目的は、推力ロッドの軸方向の
推力の検出を電子式として信頼性を高め、部品点数を低
減させて全長を短くすることができる電子式センサを備
える電動シリンダを提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】発明１の電子式センサを
備える電動シリンダは、電動機で回転駆動される推力軸
の回転が推力ロッドの軸方向の移動に変換され、推力軸
が軸受で回転自在に支承され、圧縮ばねで中立位置を保
つ推力軸が中立位置から軸方向の一方側と他方側とへ推
力と釣り合って移動可能にされる電動シリンダにおい
て、推力軸の端部が軸方向に相対移動可能で回転方向に
共回りする軸継手を介してロータリエンコーダに結合さ
れ、推力軸に設けた円筒体の外表面に環状のバーコード
が設けられ、円筒体の外表面に隙間を介して固定側に取
付けたセンサ素子がバーコードの軸方向の移動にともな
いバーコードのバーの縁をまたぐ位置に配置されるもの
である。

【０００９】発明１によれば、推力軸の回転が推力ロッ
ドの軸方向の移動に変換され、負荷を押し又は引いて電
動シリンダの基本的な働きをする。圧縮ばねで中立位置
を保つ推力軸は推力と釣り合って移動し、軸方向移動量
は圧縮ばねのばね定数にもとづいて推力を示す。推力軸
が軸方向に移動しても軸継手があるからロータリエンコ
ーダの軸は軸方向に動くことなく、ロータリエンコーダ
は通常のように推力軸の回転位置の検出に支障を受けな
い。普通、推力軸が回転して推力ロッドを軸方向に移動
させたことが先ずロータリエンコーダで検出された後
に、負荷を押し又は引く。この状態でセンサ素子がバー
コードの軸方向の移動にともないバーコードのバーの縁
をまたぐときに、センサ素子はＯＮ又はＯＦＦの信号を
発信するから、推力軸の中立位置からのセンサ素子の軸
方向距離は推力軸の前記の軸方向移動量に関係し、推力
を検出する。バーは環状であるから、推力軸の回転の影
響を受けない。

【００１０】発明２は発明１において、推力軸の回転が
推力ロッドの軸方向の移動に変換される手段を、ねじ対
偶とするものである。発明２によれば、ねじ対偶なの
で、回転が推力ロッドの軸方向の移動に変換されるし、
電動機を低速回転数にする必要がない。発明３は発明１
において、推力軸の回転が推力ロッドの軸方向の移動に
変換される手段を、ウオーム歯車列とラック・ピニオン
歯車列との組合せとするものである。発明３によれば、
ラック・ピニオン歯車列は回転を推力ロッドの軸方向の
移動に変換するし、ウオーム歯車列は電動機を低速回転
数にする必要がない。

【００１１】発明４は発明１、２又は３において、軸継
手の円筒部をバーコードのための円筒体とするものであ
る。発明４によれば、軸継手の円筒部をバーコードのた
めの円筒体として兼用するので部品点数が減り、推力検
出部の軸方向長さが短くなる。発明５は発明１、２、３
又は４において、バーコードのバーが円筒体の中央にあ
り、円筒体が中立位置にある状態で、センサ素子がバー
コードのバーの縁の両方の外側に配置されるものであ
る。発明５によれば、円筒体が中立位置にある状態で、
センサ素子が円筒体の中央にあるバーの縁の両方の外側
に配置されるから、センサ素子は推力軸を介して推力ロ
ッドの軸方向の正（圧縮）又は逆（引張）の推力を検出
する。それぞれの側に軸方向に複数個のセンサ素子を配
置すれば、それぞれの側において、複数の推力値を検出
する。

【００１２】発明６は発明１、２、３又は４において、
バーコードのバーが円筒体の軸方向片側にあり、円筒体
が中立位置にある状態で、センサ素子がバーコードのバ
ーの縁の外側と内側とに配置されるものである。発明６
によれば、円筒体が中立位置にある状態で、センサ素子
がバーの縁の外側と内側とに配置されるから、内側にあ
るセンサ素子は正（又は逆）の推力を、外側にあるセン
サ素子は逆（又は正）の推力を検出する。

【００１３】発明７は発明１、２、３又は４において、
バーコードの複数のバーがバーの幅と同一の間隔で軸方
向に配列され、円筒体が中立位置にある状態で、複数の
バーの中央付近に、一対のセンサ素子が前記幅の半分の
間隔で軸方向に配列されるものである。発明７によれ
ば、一対のセンサ素子の一方と他方との軸方向間隔は、
バーの間隔の半分であるから、バーコードが軸方向に移
動すると、一対のセンサ素子は慣用のロータリエイコー
ダのＡ、Ｂ信号と同じ波形の信号を発信する。このた
め、一方のセンサ素子と他方のセンサ素子との信号の変
化の組合せにより推力の方向が検出できる。方向に応じ
て信号パルスを積分すれば、初期値を起点とする推力値
が得られる。

【００１４】

【発明の実施の形態】図１は実施例１の半断面図、図２
は図１のフォトリフレクタとカップリングのみを示すＡ
−Ａ矢視全断面図、図３は図２のＢ−Ｂ断面図、図４は
図３のバーコードのみを示すＱ矢視平面図であり、図５
は図４に対応する実施例２の平面図であり、図６は図４
に対応する実施例３の平面図であり、図７は実施例４の
要部の半断面図、図８は実施例５の要部の断面図であ
る。従来例及び各図において同一符号を付けるものはお
よそ同一機能を持ち説明を省くことがある。

【００１５】図１において、初めに従来例と同一部分
（同一文章）を説明する。電動機１の電動機軸を兼ね回
転駆動される推力軸２の回転は、ねじ対偶３により推力
ロッド４の軸方向の移動に変換される。推力軸２のおね
じ３ａとねじ対偶３を形成するめねじ３ｂは、カプラ３
ｃを介して推力ロッド４に固着される。電動機１から延
設される筒４ａの先端の滑り軸受４ｂで軸方向に案内さ
れる推力ロッド４の先端に、図示しない負荷を取付ける
ためのねじを設けた結合具４ｃが固着される。カプラ３
ｃなどに推力ロッド４のための図示しない回り止めがあ
る。電動機１が正回転又は逆回転すれば、ねじ対偶３を
介して推力ロッド４は軸方向に動いて負荷を押し又は引
き、正又は逆の推力を発生する。

【００１６】電動機１の電動機軸を兼ねる推力軸２は、
一方が一対の軸受５ａ、５ｂにより、他方が軸受５ｚに
より内輪側の緩いはめあいで回転自在に支承される。一
対の軸受５ａ、５ｂの外輪の間に圧縮ばね６が挟まれ
る。両軸受５ａ、５ｂの内外輪の軸方向外側にＣ形止め
輪７ａ、７ｂ、７ｃなどが設けられ、内外輪はそれらよ
り外側に移動できない。両軸受５ａ、５ｂの内外輪は、
軸及びハウジングに対して軸方向に移動可能な緩いはめ
あいとされる。推力軸２が中立位置にある図示の状態か
ら正の推力（圧縮）を受けて反運転側に移動すれば、Ｃ
形止め輪７ｃと軸受５ｂの外輪との間及びＣ形止め輪７
ａと軸受５ａの内輪との間に隙間が発生し、圧縮ばね６
が圧縮されて推力力軸２の推力（圧縮）と釣り合う。推
力軸２が逆の推力（引張）を受けて運転側に移動すれ
ば、軸受５ａの外輪及び軸受５ｂの内輪に隙間が発生
し、圧縮ばね６が圧縮されて推力軸２の推力（引張）と
釣り合う。このようにして、圧縮ばね６で中立位置を保
つ推力軸２が中立位置から軸方向の一方側と他方側とへ
推力と釣り合って移動可能にされる。軸受５ａに隣接し
て無励磁ブレーキ８を設け、電気的制御によるブレーキ
の他に機械的ブレーキを併用する。

【００１７】推力軸２の端部は、軸方向に相対移動可能
で回転方向に共回りするカップリング２０１を介して慣
用の電子式のロータリエンコーダ２０２に結合される。
ロータリエンコーダ２０２は、推力軸２の回転位置を検
出することにより、推力ロッド４の軸方向の位置を検出
する。カップリング２０１は推力軸２側のカップリング
部２０１ａとロータリエンコーダ２０２側のカップリン
グ部２０１ｂとからなる。

【００１８】以上は従来例と同一構造である。なお、一
対の軸受５ａ、５ｂと一個の圧縮ばね６に代わり、一個
の軸受を軸方向両側から一対の圧縮ばねで押しつけても
よいし、それらの反運転側の軸受構成を運転側の軸受５
ｚと入替えてもよい。また、無励磁ブレーキ８は発明の
必須要件ではない。そして、従来例でカプラ３ｃなどに
推力ロッド４のための図示しない回り止めがある、と説
明したが、推力ロッド４の先端の図示しない負荷自身が
回転不能な場合もあるので、前記回り止めも必須要件で
はない。

【００１９】図１、図２、図３及び図４により実施例１
の特徴を説明する。これらの図において、軸方向に移動
する推力軸２側のカップリング部２０１ａの円筒部２０
１ｃの外表面に白黒などからなる環状のバーコード１１
が設けられ、バーコード１１の黒いバー１１ａが円筒部
２０１ｃの中央にある。円筒部２０１ｃの外表面に隙間
を介して固定側にプリント基板１３を介して取付けたフ
ォトリフレクタなどのセンサ素子１２が、バーコード１
１の軸方向の移動にともないバーコード１１のバー１１
ａの縁をまたぐ位置に配置される。この実施例１では、
円筒部２０１ｃが中立位置にある状態で、各２個のセン
サ素子１２がバーコード１１のバー１１ａの縁の両方の
外側に軸方向に配置される。なお、推力軸２側のカップ
リング部２０１ａの円筒部２０１ｃをバーコードのため
の円筒体として兼用しないで、カップリング部２０１ａ
に隣接してバーコードのための円筒体を特別に設けても
よい。

【００２０】実施例１によれば、電動機１により回転駆
動される推力軸２の回転が、ねじ対偶３により推力ロッ
ド４の軸方向の移動に変換され、図示しない負荷を押し
又は引いて電動シリンダの基本的な働きをする。圧縮ば
ね６で中立位置を保つ推力軸２は推力と釣り合って移動
し、軸方向移動量は圧縮ばね６のばね定数にもとづいて
推力を示す。推力軸２が軸方向に移動してもカップリン
グ２０１があるからロータリエンコーダ２０２の軸は軸
方向に動くことなく、ロータリエンコーダ２０２は通常
のように推力軸２の回転位置を検出の検出に支障を受け
ない。普通、推力軸２が回転して推力ロッド４を軸方向
に移動させたことが先ずロータリエンコーダ２０２で検
出された後に、負荷を押し又は引く。この状態で、セン
サ素子１２がバーコード１１の軸方向の移動にともない
バーコード１１のバー１１ａの縁をまたぐときに、セン
サ素子１２はＯＮ又はＯＦＦの信号を発信するから、推
力軸２の中立位置からのセンサ素子１２の軸方向距離は
推力軸２の前記の軸方向移動量に関係し、推力を検出す
る。カップリング２０１の円筒部２０１ｃが中立位置に
ある状態で、センサ素子１２が円筒部２０１ｃの中央に
あるバー１１ａの縁の両方の外側に配置されるから、セ
ンサ素子１２は推力軸２を介して推力ロッド４の軸方向
の正（圧縮）及び逆（引張）の推力を検出する。それぞ
れの側に軸方向に２個のセンサ素子１２を配置するの
で、それぞれの側において、２つの推力値を検出する。

【００２１】図５に示す実施例２は、バーコード２１の
バー２１ａがバーコード２１の軸方向片側にあり、バー
コード２１が中立位置にある状態で、センサ素子１２が
バーコード２１のバー２１ａの縁の外側と内側とに配置
される。実施例２によれば、内側にあるセンサ素子１２
は正の推力を、外側にあるセンサ素子１２は逆の推力を
検出する。

【００２２】図６に示す実施例３は、バーコード３１の
複数のバー３１ａがバー３１ａの幅Ｐと同一の間隔Ｐで
軸方向に配列される。バーコード３１が中立位置にある
状態で、複数のバー３１ａの中央付近に、一対のセンサ
素子１２ａ、１２ｂが前記幅の半分の間隔Ｐ／２で軸方
向に配列される。実施例３によれば、一対のセンサ素子
の一方１２ａと他方１２ｂとの軸方向間隔は、バー３１
ａの間隔の半分であるから、バーコード３１が軸方向に
移動すると一対のセンサ素子１２ａ、１２ｂは慣用のロ
ータリエンコーダのＡ、Ｂ信号と同じ波形の信号を発信
する。このため、一方のセンサ素子１２ａと他方のセン
サ素子１２ｂとの信号の変化の組合せにより推力の方向
が検出できる。方向に応じて信号パルスを積分すれば、
初期値を起点とする推力値が得られる。

【００２３】図７に示す実施例４は図１のカップリング
２０１に代わり、スプライン結合を使用するもである。
スプライン結合４０１は推力軸２端部のめすスプライン
４０１ａとロータリエンコーダ２０２側のおすスプライ
ン４０１ｂとからなり、軸方向に相対移動可能で回転方
向に共回りする。めすスプライン４０１ａの外表面に図
４と同一の白黒などからなる環状のバーコード１１が設
けられ、バーコード１１の黒いバーがめすスプライン４
０１ａの外表面の中央にある。外表面に隙間を介して固
定側にプリント基板１３を介して取付けたフォトリフレ
クタなどのセンサ素子１２が、バーコード１１の軸方向
の移動にともないバーコード１１のバーの縁をまたぐ位
置に配置される。スプライン結合４０１のおすとめすと
を逆にしてもよい。カップリング２０１やスプライン結
合の他にキー結合などで軸方向に相対移動可能で回転方
向に共回りする軸継手を構成できる。バーコードとセン
サ素子とは図５又は図６に示すものが使用できる。図１
の電動機１を推力軸２に同一軸心で直結しないで、電動
機１が推力軸２と平行で巻掛け伝導装置や平歯車列を使
用してもなんら差し支えない。

【００２４】図８に示す実施例５において、電動機１と
推力軸２とは軸方向に相対移動可能で回転方向に共回り
する一対の軸継手８０１、８０２で結合される。推力軸
２にウオーム８０３が形成され、ウオーム８０３に噛み
合うウオームホイール８０４は軸８０６に固着される。
軸８０６は同時にピニオン８０５を固着し、ピニオン８
０５は推力ロッド４と一体のラック８０７と噛み合う。
推力軸２の他方には、図１と同様に、軸受５ａ、軸受５
ｂ、圧縮ばね６、バーコード１１、センサ素子１２、プ
リント基板１３、カップリング２０１、ロータリエンコ
ーダ２０２などが配置される。

【００２５】以上の各実施例において、センサ素子はホ
トリフレクタ、磁気抵抗素子又はホール素子などであ
る。センサ素子がホトリフレクタの場合は、バーコード
は光を反射する白などと光を反射しない黒などとからな
り、センサ素子が磁気抵抗素子又はホール素子の場合
は、バーコードは磁気的なＮとＳとからなる。

【００２６】

【発明の効果】発明１の電子式センサを備える電動シリ
ンダによれば、センサ素子が推力軸のバーコードの軸方
向の移動にともなってバーコードの環状のバーの縁をま
たぐようにすることにより、センサ素子が推力軸を介し
て推力ロッドの推力を検出するので、推力ロッドの軸方
向の推力の検出を電子式として信頼性を高め、部品点数
を低減させて全長を短くすることができるという効果が
ある。

【００２７】発明２によれば、回転が推力ロッドの軸方
向の移動に変換されるし、電動機を低速回転数にする必
要がないという効果がある。発明３によれば、ラック・
ピニオン歯車列は回転を推力ロッドの軸方向の移動に変
換するし、ウオーム歯車列は電動機を低速回転数にする
必要がないという効果がある。

【００２８】発明４によれば、軸継手の円筒部をバーコ
ードのための円筒体として兼用するので部品点数が減
り、推力検出部の軸方向長さが短くなるという効果があ
る。発明５によれば、センサ素子がバーの縁の両方の外
側に配置されるから、センサ素子は推力軸を介して推力
ロッドの軸方向の正（圧縮）及び逆（引張）の推力を検
出することができるという効果がある。発明６によれ
ば、センサ素子がバーの縁の外側と内側とに配置される
から、センサ素子は推力軸を介して推力ロッドの軸方向
の正（圧縮）及び逆（引張）の推力を検出することがで
きるという効果がある。発明７によれば、一対のセンサ
素子の軸方向間隔は、バーの間隔の半分であるから、両
センサ素子の信号の変化の組合せにより推力の方向が検
出でき、同時にバーの間隔の半分まで分解能を高めるこ
とができ、初期値を起点とする推力値が得られるという
効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例１の半断面図

【図２】図１のフォトリフレクタとカップリングのみを
示すＡ−Ａ矢視全断面図

【図３】図２のＢ−Ｂ断面図

【図４】図３のバーコードのみを示すＱ矢視平面図

【図５】図４に対応する実施例２の平面図

【図６】図４に対応する実施例３の平面図

【図７】実施例４の要部の半断面図

【図８】実施例５の要部の断面図

【図９】従来例の半断面図

【符号の説明】

１ 電動機 ２ 推力軸 ３ ねじ対偶 ４ 推力ロッド ４ａ 筒 ４ｂ 滑り軸受 ４ｃ 結合具 ５ａ 軸受 ５ｂ 軸受 ５ｚ 軸受 ６ 圧縮ばね ７ａ Ｃ形止め輪 ７ｂ Ｃ形止め輪 ７ｃ Ｃ形止め輪 １１ バーコード １１ａ バー １２ センサ素子 １２ａ センサ素
子 １２ｂ センサ素子 １３ プリント
基板 ２１ バーコード ２１ａ バー ３１ バーコード ３１ａ バー ２０１ カップリング ２０１ａ カップ
リング部 ２０２ ロータリエンコーダ ４０１ スプラ
イン結合 ８０１ 軸継手 ８０２ 軸継手 ８０３ ウオーム ８０４ ウオー
ムホイール ８０５ ピニオン ８０６ 軸 ８０７ ラック

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】電動機で回転駆動される推力軸の回転が推
   力ロッドの軸方向の移動に変換され、推力軸が軸受で回
   転自在に支承され、圧縮ばねで中立位置を保つ推力軸が
   中立位置から軸方向の一方側と他方側とへ推力と釣り合
   って移動可能にされる電動シリンダにおいて、 推力軸の端部が軸方向に相対移動可能で回転方向に共回
   りする軸継手を介してロータリエンコーダに結合され、 推力軸に設けた円筒体の外表面に環状のバーコードが設
   けられ、円筒体の外表面に隙間を介して固定側に取付け
   たセンサ素子がバーコードの軸方向の移動にともないバ
   ーコードのバーの縁をまたぐ位置に配置されることを特
   徴とする電子式センサを備える電動シリンダ。
2. 【請求項２】請求項１記載の電子式センサを備える電動
   シリンダにおいて、推力軸の回転が推力ロッドの軸方向
   の移動に変換される手段を、ねじ対偶とすることを特徴
   とする電子式センサを備える電動シリンダ。
3. 【請求項３】請求項１記載の電子式センサを備える電動
   シリンダにおいて、推力軸の回転が推力ロッドの軸方向
   の移動に変換される手段を、ウオーム歯車列とラック・
   ピニオン歯車列との組合せとすることを特徴とする電子
   式センサを備える電動シリンダ。
4. 【請求項４】請求項１、２又は３記載の電子式センサを
   備える電動シリンダにおいて、軸継手の円筒部をバーコ
   ードのための円筒体とすることを特徴とする電子式セン
   サを備える電動シリンダ。
5. 【請求項５】請求項１、２、３又は４記載の電子式セン
   サを備える電動シリンダにおいて、バーコードのバーが
   円筒体の中央にあり、円筒体が中立位置にある状態で、
   センサ素子がバーコードのバーの縁の両方の外側に配置
   されることを特徴とする電子式センサを備える電動シリ
   ンダ。
6. 【請求項６】請求項１、２、３又は４記載の電子式セン
   サを備える電動シリンダにおいて、バーコードのバーが
   円筒体の軸方向片側にあり、円筒体が中立位置にある状
   態で、センサ素子がバーコードのバーの縁の外側と内側
   とに配置されることを特徴とする電子式センサを備える
   電動シリンダ。
7. 【請求項７】請求項１、２、３又は４記載の電子式セン
   サを備える電動シリンダにおいて、バーコードの複数の
   バーがバーの幅と同一の間隔で軸方向に配列され、円筒
   体が中立位置にある状態で、複数のバーの中央付近に、
   一対のセンサ素子が前記幅の半分の間隔で軸方向に配列
   されることを特徴とする電子式センサを備える電動シリ
   ンダ。