JPH08227516A - Magnetic recording medium and magnetic recorder - Google Patents
Magnetic recording medium and magnetic recorderInfo
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- JPH08227516A JPH08227516A JP28051395A JP28051395A JPH08227516A JP H08227516 A JPH08227516 A JP H08227516A JP 28051395 A JP28051395 A JP 28051395A JP 28051395 A JP28051395 A JP 28051395A JP H08227516 A JPH08227516 A JP H08227516A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気テープ、磁気
ディスク等の磁気記録媒体に関し、特に磁性層の膜厚を
薄くすることによって、記録信号の再生時におけるノイ
ズの発生を抑制した磁気記録媒体に関する。さらに本発
明は、前記磁気記録媒体を用いた磁気記録装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording medium such as a magnetic tape and a magnetic disk, and particularly to a magnetic recording medium in which noise is suppressed during reproduction of a recording signal by reducing the thickness of a magnetic layer. Regarding Further, the present invention relates to a magnetic recording device using the magnetic recording medium.
【0002】[0002]
【従来の技術】この種の磁気記録媒体としては、例えば
特開平2−210614号公報に記載されているような
磁気記録媒体が提案されている。この磁気記録媒体は、
基板上にCo−Pt−Crの2層の磁性層を設け、この
2層の磁気層の間にCrからなる非磁性層を介在させた
基本構成からなる。このように磁性層を非磁性層で2層
に分割することにより、個々の磁性層の膜厚はトータル
膜厚が等しい単層の磁性層の場合に比べて薄いので、記
録信号の再生時のノイズを低減することができる。この
ようなタイプの磁気記録媒体は、出力の大きさよりもノ
イズを抑えることが優先課題となる、MR(磁気抵抗
型)ヘッド対応用の磁気記録媒体として好適に使用する
ことができる。2. Description of the Related Art As this type of magnetic recording medium, for example, a magnetic recording medium as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 210610/1990 has been proposed. This magnetic recording medium
It has a basic structure in which two magnetic layers of Co—Pt—Cr are provided on a substrate, and a nonmagnetic layer of Cr is interposed between the two magnetic layers. By thus dividing the magnetic layer into two layers by the non-magnetic layer, the film thickness of each magnetic layer is smaller than that of a single magnetic layer having the same total film thickness. Noise can be reduced. Such a type of magnetic recording medium can be preferably used as a magnetic recording medium for an MR (magnetoresistive type) head, in which suppression of noise is a priority issue rather than output magnitude.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】上述した構成からなる
磁気記録媒体は、非磁性層によって磁性層を分割してい
るので、確かに磁性層の膜厚が薄くなりノイズを抑える
ことができる。しかしながら、その他の特性について実
用上の観点から種々検討した結果、以下のような問題点
があることが判明した。 (1)磁性層が1層のみの場合に比べると、保磁力の低
下が著しい。その為、他の磁性膜材料に比べ優れた保磁
力を有しているPt系磁性膜を用いても、その利点を充
分に生かすことができない。 (2)耐食性が不十分である。長時間使用した際に生じ
る腐食により、再生エラーが生じることがある。 (3)重ね書き特性OW(dB)が不十分である。In the magnetic recording medium having the above-mentioned structure, the magnetic layer is divided by the non-magnetic layer, so that the thickness of the magnetic layer is certainly thin and noise can be suppressed. However, as a result of various studies on other characteristics from a practical point of view, it was found that there are the following problems. (1) The coercive force is significantly reduced as compared with the case where only one magnetic layer is provided. Therefore, even if a Pt-based magnetic film having a coercive force superior to that of other magnetic film materials is used, the advantage cannot be fully utilized. (2) Corrosion resistance is insufficient. Reproduction errors may occur due to corrosion caused by long-term use. (3) The overwriting characteristic OW (dB) is insufficient.
【0004】そこで本発明の目的は、低いノイズを維持
しつつ、保磁力が高く、耐食性及び重ね書き特性に優れ
た磁気記録媒体を提供することにある。さらに本発明の
目的は、信号記録時のS/N比が高く、高い記憶容量を
有し、かつ耐環境性に優れた磁気記録装置を提供するこ
とにある。Therefore, an object of the present invention is to provide a magnetic recording medium which has a high coercive force while maintaining low noise, and which is excellent in corrosion resistance and overwriting characteristics. A further object of the present invention is to provide a magnetic recording device having a high S / N ratio at the time of signal recording, a high storage capacity, and excellent environmental resistance.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明者等は、鋭意究明
の結果、保磁力の低下等の原因が磁性層を分割している
非磁性層の膜材料の材質によるものであることを見い出
し、磁性層をCo−Pt系を用いた場合、ある特定の合
金だけがノイズを低減することができることを究明し
た。本発明はこのような背景のもとに案出されたもので
あり、以下の構成を採用するとによりかかる課題を解決
するものである。As a result of diligent research, the present inventors have found that the cause of the decrease in coercive force is due to the material of the film material of the non-magnetic layer dividing the magnetic layer. It has been clarified that noise can be reduced only by a specific alloy when a Co—Pt-based magnetic layer is used. The present invention has been devised under such a background, and solves this problem by adopting the following configuration.
【0006】本発明は、基板上に、2層以上の磁性層を
有し、前記磁性層間の少なくとも1つに非磁性層を有す
る磁気記録媒体において、前記非磁性層はCrとMoと
を主成分とし、前記磁性層はCoとPtとを主成分とす
ることを特徴とする磁気記録媒体に関する。According to the present invention, in a magnetic recording medium having two or more magnetic layers on a substrate and having a non-magnetic layer in at least one of the magnetic layers, the non-magnetic layer mainly contains Cr and Mo. And a magnetic layer containing Co and Pt as main components.
【0007】さらに本発明は、1又は2以上の磁気ディ
スクと磁気抵抗型ヘッドとを有する磁気記録装置であっ
て、前記磁気ディスクが上記本発明の磁気記録媒体であ
る磁気記録装置に関する。以下本発明について説明す
る。Further, the present invention relates to a magnetic recording apparatus having one or more magnetic disks and a magnetoresistive head, wherein the magnetic disk is the magnetic recording medium of the present invention. The present invention will be described below.
【0008】本発明の磁気記録媒体は、基本的に、基板
上に、2層以上の磁性層を有し、前記磁性層間の少なく
とも1つに非磁性層を有するものである。基板の材質等
には、特に制限はない。例えば、ガラス基板、結晶化ガ
ラス基板、アルミニウム基板、セラミック基板、カーボ
ン基板、シリコン基板等を使用することができる。本発
明の磁気記録媒体は、磁性層を2層以上有する。磁性層
の数は、再生出力、重ね書き特性等考慮して2層以上の
3層、4層、5層等とすることができる。但し、実用的
な観点から、通常は最大5層程度である。しかし、必要
により6層以上の磁性層を設けることも勿論できる。The magnetic recording medium of the present invention basically has two or more magnetic layers on a substrate and a non-magnetic layer in at least one of the magnetic layers. There is no particular limitation on the material of the substrate. For example, a glass substrate, a crystallized glass substrate, an aluminum substrate, a ceramic substrate, a carbon substrate, a silicon substrate or the like can be used. The magnetic recording medium of the present invention has two or more magnetic layers. The number of magnetic layers can be three layers, two layers or more, four layers, five layers, etc. in consideration of reproduction output, overwriting characteristics, and the like. However, from a practical point of view, the maximum number is usually about 5 layers. However, it is of course possible to provide six or more magnetic layers if necessary.
【0009】本発明の磁気記録媒体は、2層以上ある磁
性層の間の少なくとも1つに非磁性層を有する。非磁性
層は、通常、磁性層と磁性層との間に直接設けられる。
但し、必要により、非磁性層と磁性層との間に中間層を
設けることもできる。また、磁性層が3層以上ある場
合、各磁性層の間に、それぞれ非磁性層を設けることが
好ましい。その場合、磁性層の層数をnとするとn−1
層の非磁性層を設けることになる。しかし、磁性層が3
層以上ある場合、場合によっては、全ての磁性層の間に
非磁性層を設けず、磁性層の間の少なくとも1つに非磁
性層を設けることもできる。各磁性層の厚みは50〜2
30Å、好ましくは80〜150Åとすることが適当で
ある。また、各非磁性層の厚みは10〜100Å、好ま
しくは30〜50Åとすることが適当である。The magnetic recording medium of the present invention has a non-magnetic layer in at least one of two or more magnetic layers. The nonmagnetic layer is usually provided directly between the magnetic layers.
However, if necessary, an intermediate layer can be provided between the nonmagnetic layer and the magnetic layer. When there are three or more magnetic layers, it is preferable to provide a non-magnetic layer between each magnetic layer. In that case, if the number of magnetic layers is n, then n-1
A non-magnetic layer of the layer will be provided. However, the magnetic layer is 3
When there are more than one layer, in some cases, the nonmagnetic layer may not be provided between all the magnetic layers, and the nonmagnetic layer may be provided in at least one of the magnetic layers. The thickness of each magnetic layer is 50 to 2
30Å, preferably 80 to 150Å is suitable. The thickness of each nonmagnetic layer is 10 to 100Å, preferably 30 to 50Å.
【0010】磁性層の膜構成としては、実施例で示した
磁性層−非磁性層−磁性層の他に、例えば、磁性層−非
磁性層−磁性層−非磁性層−磁性層という具合に磁性層
の膜数を更に増やしても良い。また、2以上の磁性層に
おける、各磁性層を構成する材料及び膜厚は同一でも異
なっていても良い。同様に2以上の非磁性層における、
各非磁性層を構成する材料及び膜厚は同一でも異なって
いても良い。In addition to the magnetic layer-nonmagnetic layer-magnetic layer shown in the examples, the magnetic layer may have the following structure: magnetic layer-nonmagnetic layer-magnetic layer-nonmagnetic layer-magnetic layer. The number of magnetic layers may be further increased. Further, in two or more magnetic layers, the material and the film thickness of each magnetic layer may be the same or different. Similarly, in two or more non-magnetic layers,
The material and film thickness of each non-magnetic layer may be the same or different.
【0011】本発明において、磁性層はCoとPtを主
成分とする合金である。CoとPtを主成分とする合金
は、十分な保磁力を得るという観点から、CoとPtと
の合計が70at%以上の合金であることが適当であ
る。また、CoとPtとの比率には特に制限はないが、
保磁力、ノイズ及びコストを考慮すると、Pt(at
%)/Co(at%)は0.06以上0.2以下の範囲
であることが適当である。Co及びPt以外の成分には
特に制限はないが、例えば、Cr、Ta、Ni、Si、
B、O、N、Nb、Mn、Mo、Zn、W、Pb、R
e、V、Sm及びZrの1種又は2種以上を適宜使用す
ることができる。これらの元素の添加量は磁気特性等を
考慮して適宜決定され、通常30at%以下であること
が適当である。より具体的な磁性層の材料としては、例
えば、CoPtCr合金、CoPtTa合金、CoPt
CrB合金、CoPtCrTa合金、CoPtCrNi
合金等を挙げることができる。In the present invention, the magnetic layer is an alloy containing Co and Pt as main components. From the viewpoint of obtaining a sufficient coercive force, the alloy containing Co and Pt as the main components is preferably an alloy in which the total amount of Co and Pt is 70 at% or more. Further, although the ratio of Co and Pt is not particularly limited,
Considering coercive force, noise and cost, Pt (at
%) / Co (at%) is suitably in the range of 0.06 or more and 0.2 or less. The components other than Co and Pt are not particularly limited, but for example, Cr, Ta, Ni, Si,
B, O, N, Nb, Mn, Mo, Zn, W, Pb, R
One, two or more of e, V, Sm and Zr can be appropriately used. The addition amount of these elements is appropriately determined in consideration of magnetic properties and the like, and is usually 30 at% or less. More specific materials for the magnetic layer include, for example, CoPtCr alloy, CoPtTa alloy, CoPt.
CrB alloy, CoPtCrTa alloy, CoPtCrNi
Examples thereof include alloys.
【0012】本発明において、非磁性層はCrとMoと
を主成分とする合金である。CrとMoを主成分とする
合金は、磁性層との格子定数のマッチングという観点か
ら、CrとMoとの合計が90at%以上の合金である
ことが適当である。また、CrとMoとの比率には特に
制限はないが、本発明の保磁力等の向上等の効果が高い
という観点から、Moの含有量の下限は2at%、好ま
しい下限は5at%であり、上限は30at%、好まし
い上限は15at%であることが適当である。Cr及び
Mo以外の成分には特に制限はないが、例えば、Zr、
W、B、V、Nb、Ta、Fe、Ni、Re、Ce、Z
n、P、Si、Ga、Hf、Al、Ti等の1種又は2
種以上を挙げることができる。これらの元素の添加量は
磁気特性等を考慮して適宜決定され、通常10at%以
下であることが適当である。尚、本発明においては、非
磁性層を2層構造とし、その一方がCrとMoとを主成
分とする合金からなるものも包含する。その際、基板側
の非磁性層がCrからなり、その上の非磁性層がCrと
Moとを主成分とする合金からなることが好ましい。In the present invention, the nonmagnetic layer is an alloy containing Cr and Mo as main components. From the viewpoint of matching the lattice constant with the magnetic layer, the alloy containing Cr and Mo as the main components is preferably an alloy in which the total of Cr and Mo is 90 at% or more. Further, the ratio of Cr and Mo is not particularly limited, but from the viewpoint that the effect of improving the coercive force and the like of the present invention is high, the lower limit of the Mo content is 2 at% and the preferable lower limit is 5 at%. The upper limit is 30 at%, and the preferable upper limit is 15 at%. The components other than Cr and Mo are not particularly limited, but for example, Zr,
W, B, V, Nb, Ta, Fe, Ni, Re, Ce, Z
One or two of n, P, Si, Ga, Hf, Al, Ti, etc.
There may be more than one species. The addition amount of these elements is appropriately determined in consideration of magnetic properties and the like, and is usually 10 at% or less. The present invention also includes a non-magnetic layer having a two-layer structure, one of which is made of an alloy containing Cr and Mo as main components. At that time, it is preferable that the nonmagnetic layer on the substrate side is made of Cr, and the nonmagnetic layer thereon is made of an alloy containing Cr and Mo as main components.
【0013】本発明に用いる非磁性層を構成するCrと
Moを主成分とする合金は、面間隔が、磁性層のCoと
Ptを主成分とする合金の六方最密充填構造のc軸の長
さと、近似していること、好ましくは実質的に等しいこ
とが、本発明の保磁力等の向上等の効果が高いという観
点とから好ましい。両者の格子間隔を近似させることに
より、磁性層を構成する合金の結晶成長が良好となり保
磁力を含めた種々の磁気特性が向上すると推察される。The alloy containing Cr and Mo as the main components constituting the non-magnetic layer used in the present invention has a surface spacing of c-axis of the hexagonal close-packed structure of the alloy containing Co and Pt as the main components of the magnetic layer. It is preferable that the lengths are close to each other, preferably substantially equal to each other, from the viewpoint that the effect of improving the coercive force and the like of the present invention is high. It is presumed that by approximating the lattice spacing between the two, the crystal growth of the alloy forming the magnetic layer is improved and various magnetic characteristics including coercive force are improved.
【0014】本発明のように非磁性層としてCrとMo
を主成分とする合金を用いることで、磁性層と非磁性層
との格子間隔のマッチングが良好になるので、磁性層の
磁化容易軸が面内方向に向きやすくなる。その結果、保
磁力が良好になる。又、非磁性層がCrの場合に比べて
同じ保磁力なら薄くすることができるので、スパッタリ
ングした際、スパッタリング速度が低くなるので、Cr
とMoを主成分とする合金の結晶性が良くなり、その結
果、磁性層の結晶性が良くなり、保磁力が向上する。特
にインラインの場合、その効果が著しい。As in the present invention, Cr and Mo are used as the non-magnetic layer.
By using an alloy containing as a main component, the lattice spacing of the magnetic layer and the non-magnetic layer can be matched well, so that the easy axis of magnetization of the magnetic layer is easily oriented in the in-plane direction. As a result, the coercive force becomes good. Also, since the non-magnetic layer can be made thinner if it has the same coercive force as compared with the case of Cr, the sputtering rate becomes low when sputtering, so Cr
The crystallinity of the alloy containing Mo and Mo as the main components is improved, and as a result, the crystallinity of the magnetic layer is improved and the coercive force is improved. Especially in the case of in-line, the effect is remarkable.
【0015】本発明の磁気記録媒体は、前記磁性層及び
非磁性層以外に、例えば、凹凸形成層、下地層、保護層
及び潤滑層を有することができる。これら凹凸形成層、
下地層、保護層及び潤滑層は公知のものをそのまま使用
することができる。The magnetic recording medium of the present invention may have, for example, a concavo-convex forming layer, a base layer, a protective layer and a lubricating layer in addition to the magnetic layer and the non-magnetic layer. These irregularity forming layers,
Known layers can be used as the underlayer, the protective layer and the lubricating layer as they are.
【0016】凹凸形成層は、例えば、特公平4−624
13号に開示のものを上げることができる。凹凸形成層
は、例えば、基板と最下層の磁性層との間、または基板
と下地層との間に、設けることができる。但し、基板と
凹凸形成層との間に中間層を設けることもできる。凹凸
形成層は、例えば、アルミニウムや窒化アルミニウム等
を用いてスパッタリング法で形成することができる。凹
凸形成層の表面粗さや膜厚は、得られる磁気記録媒体に
要求される性能に応じて適宜決定できる。実用的には、
例えば、膜厚が100〜500Åの範囲、表面粗さRm
axが50〜150Åの範囲であることができる。The concavo-convex forming layer is, for example, Japanese Patent Publication No. 4-624.
No. 13 disclosed can be raised. The unevenness forming layer can be provided, for example, between the substrate and the lowermost magnetic layer or between the substrate and the underlayer. However, an intermediate layer may be provided between the substrate and the unevenness forming layer. The unevenness forming layer can be formed by a sputtering method using, for example, aluminum or aluminum nitride. The surface roughness and the film thickness of the unevenness forming layer can be appropriately determined according to the performance required for the obtained magnetic recording medium. In practical terms,
For example, the film thickness is in the range of 100 to 500Å, the surface roughness Rm
ax can range from 50 to 150Å.
【0017】下地層は、通常、基板と磁性層との間に設
けられ、磁性層の磁気特性を向上させる目的で設けられ
る。尚、基板の上に凹凸形成層を設けた場合には、凹凸
形成層と磁性層との間に下地層を設けることができる。
下地層は、高い保磁力が得られるような材料とすること
が好ましい。下地層は、1層又は2層以上から構成され
ることができる。下地層としては、例えばCrとCrM
oの2層膜やCrの2層膜を用いることもできる。但
し、Cr(基板側)とCrMo(磁性層側)の2層膜の
方が、高い保磁力が得られる。特に、CrMoの膜厚を
30〜80Åとし、その下層のCrの膜厚を100〜8
00Åとすると、保磁力が特に優れることから好まし
い。また、CrMo層の膜厚/Cr層の膜厚の比は、
0.05〜0.3の間であることが好ましい。また、C
rの2層膜はCrとCrMoの2層膜よりやや保磁力は
落ちるが、実用に供する程度のものは得られる。又、C
rMoの2層膜も下地層として用いることができる。ま
た、上記以外に、又は上記CrとCrMoの2層膜に加
えて、Al層も下地層として使用することができる。The underlayer is usually provided between the substrate and the magnetic layer, and is provided for the purpose of improving the magnetic characteristics of the magnetic layer. When the unevenness forming layer is provided on the substrate, a base layer can be provided between the unevenness forming layer and the magnetic layer.
The underlayer is preferably made of a material that provides a high coercive force. The underlayer can be composed of one layer or two or more layers. As the underlayer, for example, Cr and CrM
It is also possible to use a two-layer film of o or a two-layer film of Cr. However, a higher coercive force is obtained in the two-layer film of Cr (substrate side) and CrMo (magnetic layer side). Particularly, the thickness of CrMo is set to 30 to 80 Å, and the thickness of Cr as the lower layer is set to 100 to 8
A value of 00Å is particularly preferable because the coercive force is particularly excellent. The ratio of the thickness of the CrMo layer / the thickness of the Cr layer is
It is preferably between 0.05 and 0.3. Also, C
The two-layer film of r has a slightly lower coercive force than the two-layer film of Cr and CrMo, but it can be obtained for practical use. Also, C
A two-layer film of rMo can also be used as the underlayer. In addition to the above, or in addition to the above-mentioned two-layer film of Cr and CrMo, an Al layer can also be used as a base layer.
【0018】保護層は、磁性層をヘッドの接触摺動によ
る破壊から防護する目的で磁性層の上(基板と反対側の
面)に設けられる。保護層は、1層又は2層以上から構
成されることができる。保護層としては、例えば酸化ケ
イ素膜、炭素膜、ジルコニア膜、水素化カーボン膜、窒
化ケイ素膜、SiC膜等を挙げることができる。尚、前
述の凹凸形成層を設けた場合、保護層は、スパッタリン
グ法で設け、炭素膜、酸化珪素膜、酸化インジウム膜等
であることが適当である。潤滑層は、ヘッドとの接触摺
動による抵抗を低減する目的で設けられ、例えば、パー
フルオロポリエーテル等が一般には用いられる。The protective layer is provided on the magnetic layer (the surface opposite to the substrate) for the purpose of protecting the magnetic layer from being destroyed by the contact sliding of the head. The protective layer can be composed of one layer or two or more layers. Examples of the protective layer include a silicon oxide film, a carbon film, a zirconia film, a hydrogenated carbon film, a silicon nitride film, and a SiC film. When the above-mentioned concavo-convex forming layer is provided, it is appropriate that the protective layer is provided by a sputtering method and is a carbon film, a silicon oxide film, an indium oxide film or the like. The lubricating layer is provided for the purpose of reducing the resistance due to the sliding contact with the head, and for example, perfluoropolyether or the like is generally used.
【0019】次に本発明の磁気記録装置について説明す
る。本発明の上記磁気記録媒体は、特に、磁気抵抗型ヘ
ッドを有する磁気記録装置において磁気ディスクとして
の使用に適している。本発明の磁気記録装置は、1又は
2以上の磁気ディスクと各磁気ディスクへの磁気情報の
記録・再生に用いる磁気抵抗型ヘッドとを有する。図2
に具体的な装置の一例を示す。Next, the magnetic recording apparatus of the present invention will be described. The magnetic recording medium of the present invention is particularly suitable for use as a magnetic disk in a magnetic recording device having a magnetoresistive head. The magnetic recording apparatus of the present invention has one or more magnetic disks and a magnetoresistive head used for recording / reproducing magnetic information to / from each magnetic disk. Figure 2
Shows an example of a concrete device.
【0020】図中、51〜53は本発明の磁気ディスク
であり、スピンドルモータ50の軸に固定されている。
このスピンドルモータ50の軸が回転することによっ
て、磁気ディスク51〜53も回転する。また磁気ディ
スク53の下面は、必要により、サーボ面として使用す
ることもできる。ヘッド可動部60は、軸を中心に回転
することにより、ヘッドの位置を任意のトラックに移動
することができる。ヘッド可動部60から延びるアーム
の先端に磁気ヘッド61〜65と、必要により、サーボ
用磁気ヘッド66が設けられる。磁気ヘッド61〜65
は、再生専用に磁気抵抗素子を埋め込んだ薄膜ヘッドで
ある。また、サーボ用磁気ヘッド66は、サーボ情報読
み取り専用のヘッドである。In the figure, 51 to 53 are magnetic disks of the present invention, which are fixed to the shaft of the spindle motor 50.
When the shaft of the spindle motor 50 rotates, the magnetic disks 51 to 53 also rotate. Further, the lower surface of the magnetic disk 53 can be used as a servo surface if necessary. The head moving unit 60 can move the position of the head to an arbitrary track by rotating about the axis. Magnetic heads 61 to 65 and, if necessary, servo magnetic heads 66 are provided at the ends of the arms extending from the head movable portion 60. Magnetic heads 61-65
Is a thin film head in which a magnetoresistive element is embedded only for reproduction. The servo magnetic head 66 is a head dedicated to reading servo information.
【0021】ヘッド可動部60の磁気ヘッドとは逆側に
は、ボイスコイル67が設けられている。このボイスコ
イル67は、リニアアクチュエータマグネットアセンブ
リ68に挿入される。これにより、ボイスコイル67に
流す電流を調節し、磁気ヘッド可動部60を回転させる
ことができる。A voice coil 67 is provided on the side of the head movable portion 60 opposite to the magnetic head. The voice coil 67 is inserted into the linear actuator magnet assembly 68. As a result, the current flowing through the voice coil 67 can be adjusted to rotate the magnetic head moving unit 60.
【0022】本発明の装置がサーボ用磁気ヘッド66を
有する場合、磁気ディスク装置の作動中は、常にサーボ
用磁気ヘッド66がサーボ情報を読み取っている。サー
ボ情報は、現在のセクターやトラック等の情報である。
読み取られたサーボ情報は、位置信号出力手段91に送
られる。位置信号出力手段91は、サーボ情報をもとに
ボイスコイル67に流す電流を調製し、磁気ヘッド61
〜65を任意のトラックに移動するとともに、トラック
の情報を位置情報として出力する。When the apparatus of the present invention has the servo magnetic head 66, the servo magnetic head 66 always reads the servo information while the magnetic disk apparatus is operating. The servo information is information on the current sector and track.
The read servo information is sent to the position signal output means 91. The position signal output means 91 adjusts the current to be applied to the voice coil 67 based on the servo information, and the magnetic head 61
.About.65 is moved to an arbitrary track, and track information is output as position information.
【0023】[0023]
【実施例】以下本発明の磁気記録媒体について実施例に
よりさらに説明する。 実施例1 本実施例の磁気記録媒体は、図1に示す通り、ガラス基
板1上に下地層2、第1磁性層3、非磁性層4、第2磁
性層5、保護層6、潤滑層7を順次積層してなる磁気デ
ィスクである。前記ガラス基板1は、アルミノシリケイ
トガラスからなり、その表面はRa=50Å程度に鏡面
研磨されている。前記下地層2は、ガラス基板1側から
A1薄膜2a(膜厚50Å)、Cr薄膜2b(膜厚40
0Å、200Åと200Åの2層構造))、CrMo薄
膜2c(膜厚100Å)からなる。この下地層2は、磁
性層の結晶構造を良好にするために設けられている。
尚、このCrMo薄膜2cはCrが98at%、Moが
2at%で組成比で構成されている。第1及び第2磁性
層3、5は、それぞれ同じ膜材料であるCoPtCr合
金からなり、膜厚も共に120Åである。これら磁性膜
のCo、Pt、Crの各含有量は、それぞれ78at
%、11at%、11at%である。EXAMPLES The magnetic recording medium of the present invention will be further described below with reference to examples. Example 1 As shown in FIG. 1, the magnetic recording medium of this example has an underlayer 2, a first magnetic layer 3, a nonmagnetic layer 4, a second magnetic layer 5, a protective layer 6, and a lubricating layer on a glass substrate 1. 7 is a magnetic disk in which 7 are sequentially stacked. The glass substrate 1 is made of aluminosilicate glass, and the surface thereof is mirror-polished to Ra = 50Å. The underlayer 2 includes an A1 thin film 2a (film thickness 50Å) and a Cr thin film 2b (film thickness 40) from the glass substrate 1 side.
0Å, 200Å and 200Å two-layer structure)), and a CrMo thin film 2c (film thickness 100Å). The underlayer 2 is provided to improve the crystal structure of the magnetic layer.
The CrMo thin film 2c has a composition ratio of 98 at% Cr and 2 at% Mo. The first and second magnetic layers 3 and 5 are made of the same film material, CoPtCr alloy, and have a film thickness of 120Å. The content of Co, Pt, and Cr in these magnetic films is 78 at each.
%, 11 at%, and 11 at%.
【0024】上述の第1及び第2磁性層3、5の間に存
在する非磁性層4は、膜厚50ÅのCrMo合金からな
り、各組成の含有量はCrが95at%、Moが5at
%である。保護層6は、磁性層が磁気ヘッドとの接触に
よって劣化することを防止するためのものであり、磁性
層側から順に配列された、第1保護層6a、第2保護層
6bの二層によって構成される。第1保護層6aは、膜
厚50ÅのCr膜からなり、磁性層に対して化学的保護
層になっている。もう一方の第2保護層6bは硬質微粒
子を分散させた、膜厚160Åの酸化ケイ素膜からな
り、この第2保護層6bによって耐磨耗性が得られる。
潤滑層7は、パーフルオロポリエーテルからなり、この
膜によって磁気ヘッドとの接触を緩和している。The nonmagnetic layer 4 existing between the first and second magnetic layers 3 and 5 is made of a CrMo alloy having a film thickness of 50Å, and the content of each composition is 95 at% of Cr and 5 at% of Mo.
%. The protective layer 6 is for preventing the magnetic layer from deteriorating due to contact with the magnetic head, and is composed of two layers of a first protective layer 6a and a second protective layer 6b arranged in order from the magnetic layer side. Composed. The first protective layer 6a is made of a Cr film having a film thickness of 50Å and is a chemical protective layer for the magnetic layer. The other second protective layer 6b is made of a silicon oxide film having a thickness of 160Å in which hard fine particles are dispersed, and the second protective layer 6b provides abrasion resistance.
The lubricating layer 7 is made of perfluoropolyether, and this film alleviates the contact with the magnetic head.
【0025】以下に上述の構成からなる磁気ディスクの
製造方法について説明する。先ず、イオン交換によって
化学強化したガラス基板1の主表面を精密研磨によって
鏡面(Ra=50Å)にする。次にこのガラス基板1の
主表面上にインライン方式のスパッタリングによって、
A1薄膜2a、Cr薄膜2b、CrMo薄膜2c、第1
磁性層3、非磁性層4、第2磁性層5、保護層6を順次
成膜した。次いで、第1保護層6aに対して親水化処理
を施した後、この基板を、シリカ微粒子(粒径100
Å)を分散した有機ケイ素化合物溶液(水とイソプルピ
アルコール、とテトラエトキシシランとの混合液)をス
ピンコート法により塗布し、焼成することによって第2
保護層6bを形成した。最後に、この第2保護層6b上
にパーフルオロポリエーテルからなる潤滑剤をディップ
処理することによって潤滑層7を形成した。このように
して得られた磁気ディスクの走行テストをヘッド浮上量
3μm以下で行ったが良好であった。そして、保磁力、
残留磁化膜厚積、S/N比、耐食性を評価した。結果を
表1に示す。A method of manufacturing the magnetic disk having the above-mentioned structure will be described below. First, the main surface of the glass substrate 1 chemically strengthened by ion exchange is made into a mirror surface (Ra = 50Å) by precision polishing. Next, by in-line sputtering on the main surface of the glass substrate 1,
A1 thin film 2a, Cr thin film 2b, CrMo thin film 2c, first
The magnetic layer 3, the nonmagnetic layer 4, the second magnetic layer 5, and the protective layer 6 were sequentially formed. Then, after hydrophilizing the first protective layer 6a, the substrate is treated with silica fine particles (particle size: 100).
Å) is dispersed in an organosilicon compound solution (mixture of water, isoprupi alcohol, and tetraethoxysilane) by a spin coating method and baked to form a second layer.
The protective layer 6b was formed. Finally, the lubricant layer 7 was formed on the second protective layer 6b by dipping a lubricant made of perfluoropolyether. The running test of the magnetic disk thus obtained was carried out with a head flying height of 3 μm or less, and was satisfactory. And the coercive force,
The residual magnetization film thickness product, S / N ratio, and corrosion resistance were evaluated. The results are shown in Table 1.
【0026】実施例2〜11 実施例2〜9では、非磁性層のCrMo合金の組成比と
膜厚とを変えた以外は実施例1と同様にして磁気ディス
クを形成した。また、実施例10及び11では、非磁性
層を膜厚50ÅのCrMoZr合金とし、表1に示す組
成比とした以外は実施例1と同様にして磁気ディスクを
形成した。このようにして得られた磁気ディスクの走行
テストをヘッド浮上量3μm以下で行ったが良好であっ
た。そして、保磁力、残留磁化膜厚積、S/N比、耐食
性を評価した。結果を表1に示す。Examples 2 to 11 In Examples 2 to 9, magnetic disks were formed in the same manner as in Example 1 except that the composition ratio and film thickness of the CrMo alloy in the nonmagnetic layer were changed. Further, in Examples 10 and 11, magnetic disks were formed in the same manner as in Example 1 except that the nonmagnetic layer was a CrMoZr alloy having a film thickness of 50Å and the composition ratios shown in Table 1 were used. The running test of the magnetic disk thus obtained was carried out with a head flying height of 3 μm or less, and was satisfactory. Then, the coercive force, the residual magnetization film thickness product, the S / N ratio, and the corrosion resistance were evaluated. The results are shown in Table 1.
【0027】[0027]
【表1】 *磁性膜材料の組成比:at%、膜厚:Å、保磁力Hc:Oe、 残留磁化膜厚積 Mr・δ:memu/cm2 、S/N比:dB *耐食性の試験方法:80℃、80%Rhで10日間放置した後に記録再生の 試験を行った。 ○−エラー増加無し。×−エラーの増加有り。[Table 1] * Composition ratio of magnetic film material: at%, film thickness: Å, coercive force Hc: Oe, remanent magnetization film thickness product Mr.δ: memu / cm 2 , S / N ratio: dB * Corrosion resistance test method: 80 ° C A recording / reproducing test was conducted after leaving it at 80% Rh for 10 days. ○ -No increase in error. × -There is an increase in errors.
【0028】上掲の表1から判るように、CrMo合金
又はCrMoZr合金を用いたものは、比較例に比べて
保磁力、残留磁化膜厚積が高く、ノイズが低い。又、耐
食性も優れていることがわかる。そして、Moの含有量
が2〜30at%のときに特にノイズが低く、保磁力、
残留磁化膜厚積も良好であることがわかった。そして更
に好ましいMo含有量の範囲は5〜15at%であっ
た。As can be seen from Table 1 above, those using the CrMo alloy or CrMoZr alloy have higher coercive force and residual magnetization film thickness products and lower noise than the comparative examples. Further, it can be seen that the corrosion resistance is also excellent. When the Mo content is 2 to 30 at%, the noise is particularly low, the coercive force,
It was found that the residual magnetization film thickness product was also good. And the more preferable range of Mo content was 5 to 15 at%.
【0029】CrMo合金にZrを添加すると、一層ノ
イズ低減効果が増長されることも判る。このような効果
を引き出すためのZrの好ましい含有量は、2〜5at
%である。又、これらの特性は膜厚によっても左右され
るが、諸特性を良好にするためのCrMo合金、CrM
oZr合金の好ましい膜厚は、10〜100Å、特に好
ましくは30Å〜80Åである。これは、10Åを下回
ると、充分な保磁力が得られず、100Åを越えると出
力の低下と重ね書き特性の劣化及びノイズが増加する傾
向があるからである。It can also be seen that the addition of Zr to the CrMo alloy further enhances the noise reduction effect. The preferable content of Zr in order to bring out such an effect is 2 to 5 at.
%. Further, these characteristics depend on the film thickness, but CrMo alloy, CrM for improving various characteristics
The preferred film thickness of the oZr alloy is 10 to 100Å, particularly preferably 30Å to 80Å. This is because if it is less than 10 Å, a sufficient coercive force cannot be obtained, and if it exceeds 100 Å, there is a tendency that the output lowers, the overwriting characteristics deteriorate, and the noise increases.
【0030】本発明と同じCr合金であっても、非磁性
層がCrWやCrTiの場合には本発明の効果は得られ
ない。つまり、CrWは保磁力をCrよりは向上させる
が、CrMoに比べてノイズの低減効果は少なく、Cr
Tiの場合は、Crに対してさえ保磁力もノイズも劣
る。Even if the same Cr alloy as in the present invention is used, the effect of the present invention cannot be obtained when the nonmagnetic layer is CrW or CrTi. In other words, CrW improves coercive force more than Cr, but has less noise reduction effect than CrMo.
In the case of Ti, coercive force and noise are inferior even to Cr.
【0031】実施例12〜18 非磁性層は実施例1と同じものを用い、実施例1とは第
1磁性層3、第2磁性層5の膜組成又は膜材料を変えて
磁気ディスクを作成した。得られた磁気ディスクについ
ても実施例1と同じ項目について評価した。結果を表2
に示す。Examples 12 to 18 The same nonmagnetic layer as that of Example 1 was used, and the magnetic composition was changed from that of Example 1 to change the film composition or material of the first magnetic layer 3 and the second magnetic layer 5 to produce a magnetic disk. did. The same items as in Example 1 were evaluated for the obtained magnetic disk. Table 2 shows the results
Shown in
【0032】[0032]
【表2】 *磁性膜材料の組成比:at%、膜厚:Å、保磁力Hc:Oe、 残留磁化膜厚積 Mr・δ:memu/cm2 、S/N比:dB *耐食性の試験方法:80℃、80%Rhで10日間放置した後に記録再生の 試験を行った。 ○−エラー増加無し。×−エラーの増加有り。[Table 2] * Composition ratio of magnetic film material: at%, film thickness: Å, coercive force Hc: Oe, remanent magnetization film thickness product Mr.δ: memu / cm 2 , S / N ratio: dB * Corrosion resistance test method: 80 ° C A recording / reproducing test was conducted after leaving it at 80% Rh for 10 days. ○ -No increase in error. × -There is an increase in errors.
【0033】表2から判るように、非磁性層にCrMo
系合金を用いてノイズを低減する場合、CoPtCr合
金の磁性膜であれば、Co、Pt、Crの好ましい含有
量は、それぞれ62〜90at%、5〜20at%、5
〜18at%である。又、CoPtTa合金の磁性膜で
あれば、Co、Pt、Taの好ましい含有量は、それぞ
れ94〜73at%、5〜20at%、1〜7at%で
ある。又、CoPtCrTa合金の磁性膜であれば、C
o、Pr、Cr、Taの好ましい含有量は、それぞれ5
5〜89at%、5〜20at%、5〜18at%、1
〜7at%である。又、これらの磁性膜の好ましい膜厚
は、1層当たり80〜180Åである。As can be seen from Table 2, CrMo is formed in the nonmagnetic layer.
When the noise is reduced by using a system alloy, the preferable contents of Co, Pt, and Cr are 62 to 90 at%, 5 to 20 at%, and 5 to 20 at% for the magnetic film of CoPtCr alloy, respectively.
It is -18 at%. Further, in the case of a CoPtTa alloy magnetic film, the preferred contents of Co, Pt, and Ta are 94 to 73 at%, 5 to 20 at%, and 1 to 7 at%, respectively. If the magnetic film is a CoPtCrTa alloy, C
The preferred contents of o, Pr, Cr and Ta are 5 respectively.
5 to 89 at%, 5 to 20 at%, 5 to 18 at%, 1
Is about 7 at%. The preferable film thickness of these magnetic films is 80 to 180Å per layer.
【0034】実施例19 実施例1において、Al薄膜2aをスパッタリング法で
形成したAl凹凸形成層(膜厚50Å、表面粗さRma
x30Å)に代え、かつ保護層6a、6bをスパッタリ
ング法で形成した炭素膜保護層(膜厚130Å)に代え
た以外は実施例1と同様にして磁気ディスクを作成し
た。得られた磁気ディスクについても実施例1と同じ項
目について評価した。その結果、保磁力、残留磁化膜厚
積およびS/N比は実施例1のものとほぼ同様であっ
た。また、耐食性も同様に良好であった。Example 19 In Example 1, an Al unevenness forming layer (film thickness 50Å, surface roughness Rma) formed by sputtering the Al thin film 2a was used.
A magnetic disk was prepared in the same manner as in Example 1 except that the protective layers 6a and 6b were replaced by carbon film protective layers (film thickness 130Å) formed by sputtering instead of x30Å). The same items as in Example 1 were evaluated for the obtained magnetic disk. As a result, the coercive force, the remanent magnetization film thickness product, and the S / N ratio were almost the same as those in Example 1. The corrosion resistance was also good.
【0035】試験例1 (耐食性試験) 本発明の磁気ディスクの耐食性を評価する目的で、エラ
ーの経時的発生数を試験した。試験には、実施例1、
3、5、7及び8並びに比較例1及び3の磁気ディスク
を用いた。80℃、80%Rh、ビット長0.3μmの
条件で、スライスレベル(平均出力)が65%以下にな
ったものをエラーとしその個数を求めた。3000時間
経過時のエラー個数を表3に示す。Test Example 1 (Corrosion Resistance Test) For the purpose of evaluating the corrosion resistance of the magnetic disk of the present invention, the number of errors generated over time was tested. For the test, Example 1,
The magnetic disks of 3, 5, 7 and 8 and Comparative Examples 1 and 3 were used. Under the conditions of 80 ° C., 80% Rh, and bit length of 0.3 μm, when the slice level (average output) became 65% or less, the number was determined as an error. Table 3 shows the number of errors after 3000 hours.
【0036】[0036]
【表3】 [Table 3]
【0037】表3の結果から、本発明の磁気ディスク
は、経時的なエラーの発生個数が少なく、耐食性に優れ
たものであることが分かる。特に、Mo含有量が2〜2
0at%の間では、エラーの発生個数が少ない。From the results shown in Table 3, it can be seen that the magnetic disk of the present invention has a small number of errors over time and is excellent in corrosion resistance. In particular, the Mo content is 2 to 2
The number of error occurrences is small between 0 at%.
【0038】試験例2 (デビエーション特性試験) 本発明の磁気ディスクのデビエーション(ディスクの1
周内の出力の変動率)特性を常法により求めた。試験に
は、実施例1、比較例1及び3の磁気ディスクを用い
た。結果を表4に示す。尚、表4の成膜温度とは、下地
層成膜前の基板加熱温度である。Test Example 2 (Deviation Characteristic Test) Deviation of the magnetic disk of the present invention (disk 1
The fluctuation ratio of the output within the cycle) was obtained by a conventional method. The magnetic disks of Example 1 and Comparative Examples 1 and 3 were used for the test. The results are shown in Table 4. The film forming temperature in Table 4 is the substrate heating temperature before forming the underlayer.
【0039】[0039]
【表4】 [Table 4]
【0040】試験例3 (熱処理による保磁力向上試
験) 本発明の磁気ディスクの熱処理による保磁力の向上の程
度を、VSM(バイブエイティング・サンプル・マグネ
ットメータ)振動試料型磁力計によって保磁力を測定し
た。試験には、実施例3及び比較例1の磁気ディスクを
用いた。結果を表5に示す。尚、表5の熱処理とはSi
O2 膜塗布後の焼成温度である。Test Example 3 (Coercive Force Improvement Test by Heat Treatment) The degree of improvement of the coercive force of the magnetic disk of the present invention by heat treatment was measured by a VSM (Vibeating Sample Magnetometer) vibrating sample magnetometer. did. The magnetic disks of Example 3 and Comparative Example 1 were used for the test. The results are shown in Table 5. The heat treatment in Table 5 is Si
It is the baking temperature after the application of the O 2 film.
【0041】[0041]
【表5】 *第1保護層をスパッタリングで形成し、第2保護層を
デップ法で形成した後、この第2保護層を焼成する目的
で、300℃、1時間の熱処理をした。[Table 5] * After the first protective layer was formed by sputtering and the second protective layer was formed by the dip method, heat treatment was performed at 300 ° C. for 1 hour for the purpose of firing the second protective layer.
【0042】試験例4 (重ね書き特性試験) 本発明の磁気ディスクの重ね書き特性(OW(dB))
を試験する目的で、磁気ディスクに重ね書きを行い、評
価した。結果を表6に示す。 重ね書き方法 2.5MHzで書き込み。出力をV1 とする。 10MHzで重ね書き。 重ね書き後ので2.5MHzで書き込んだ信号の出
力(V2 )を求める。 OW(dB)を以下の式にて求めた。 OW(dB)=20log(V2 /V1 ) 尚、条件は、トラック幅5μm、コイル24ターン、ギ
ャップ長0.27μm、フライングハイト0.05μm
とした。Test Example 4 (Overwriting Characteristic Test) Overwriting characteristics (OW (dB)) of the magnetic disk of the present invention.
For the purpose of testing, the magnetic disk was overwritten and evaluated. The results are shown in Table 6. Overwrite method Write at 2.5MHz. The output is V 1 . Overwrite at 10 MHz. After overwriting, the output (V 2 ) of the written signal at 2.5 MHz is obtained. OW (dB) was calculated by the following formula. OW (dB) = 20 log (V 2 / V 1 ) Conditions are: track width 5 μm, coil 24 turns, gap length 0.27 μm, flying height 0.05 μm
And
【0043】[0043]
【表6】 (単位:dB)[Table 6] (Unit: dB)
【0044】表1〜6に示す結果から、本発明の磁気記
録媒体は、優れた保磁力を有し、耐食性、デピエーショ
ン特性に優れ、成膜後に行う熱処理による保磁力の向上
が高く、重ね書き特性OW(dB)にも優れている。From the results shown in Tables 1 to 6, the magnetic recording medium of the present invention has excellent coercive force, excellent corrosion resistance and depitation characteristics, and the coercive force is improved by the heat treatment performed after film formation. It also has excellent writing characteristics OW (dB).
【0045】実施例20 図2に示す磁気記録装置に実施例1の磁気記録媒体を装
着し、記録及び再生試験を行った。その結果、面記録密
度が600Mbits/cm2 を超えるところでS/N
比が25dBを確保できた。試験例1と同様にして耐環
境テストを行った結果、エラーの増加、スティクション
と耐摩耗性、摩擦係数の増加について異常は認められな
かった。Example 20 The magnetic recording medium of Example 1 was mounted on the magnetic recording apparatus shown in FIG. 2 and recording and reproducing tests were conducted. As a result, when the areal recording density exceeds 600 Mbits / cm 2 , S / N
A ratio of 25 dB was secured. As a result of an environment resistance test conducted in the same manner as in Test Example 1, no abnormalities were found in the increase of errors, stiction and wear resistance, and increase of friction coefficient.
【0046】[0046]
【発明の効果】本発明によれば、低ノイズで優れた保磁
力を有し、耐食性、デピエーション特性に優れ、成膜後
に行う熱処理による保磁力の向上が高く、重ね書き特性
OW(dB)にも優れた磁気記録媒体を提供することが
できる。特に、このような特性を有する本発明の磁気記
録媒体は、磁気抵抗型ヘッドによる記録・再生に適して
いる。さらに本発明によれば、信号記録時のS/N比が
高く、高い記憶容量を有し、かつ耐環境性に優れた磁気
記録装置を提供することができる。According to the present invention, the coercive force is low and the coercive force is excellent, the corrosion resistance and the depeation property are excellent, the coercive force is improved by the heat treatment performed after the film formation, and the overwriting characteristic OW (dB). It is possible to provide an excellent magnetic recording medium. In particular, the magnetic recording medium of the present invention having such characteristics is suitable for recording / reproducing with a magnetoresistive head. Further, according to the present invention, it is possible to provide a magnetic recording device having a high S / N ratio at the time of signal recording, a high storage capacity, and excellent environmental resistance.
【図1】 本発明の磁気記録媒体の断面概略図である。FIG. 1 is a schematic sectional view of a magnetic recording medium of the present invention.
【図2】 本発明の磁気記録装置の概略図である。FIG. 2 is a schematic diagram of a magnetic recording device of the present invention.
1・・・・・・ガラス基板 2・・・・・・下地層 3・・・・・・第1磁性層 4・・・・・・非磁性層 5・・・・・・第2磁性層 6・・・・・・保護層 7・・・・・・潤滑層 50・・・・・スピンドルモータ 51〜53・・磁気ディスク 60・・・・・ヘッド可動部 61〜65・・磁気ヘッド 66・・・・・サーボ用磁気ヘッド 67・・・・・ボイスコイル 68・・・・・リニアアクチュエータマグネットアセン
ブリ 91・・・・・位置信号出力手段 93・・・・・データ記録再生信号処理手段1 ·· Glass substrate 2 ·· Underlayer 3 ··· First magnetic layer 4 ··· Non-magnetic layer 5 ··· Second magnetic layer 6-Protective layer 7-Lubrication layer 50-Spindle motor 51-53-Magnetic disk 60-Head movable part 61-65-Magnetic head 66 ... servo magnetic head 67 ... voice coil 68 ... linear actuator magnet assembly 91 ... position signal output means 93 ... data recording / reproducing signal processing means
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 河合 久雄 東京都新宿区中落合2丁目7番5号 ホー ヤ株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Hisao Kawai 2-7-5 Nakaochiai, Shinjuku-ku, Tokyo Hoya Co., Ltd.
Claims (12)
記磁性層間の少なくとも1つに非磁性層を有する磁気記
録媒体において、 前記非磁性層はCrとMoとを主成分とする合金であ
り、前記磁性層はCoとPtとを主成分とする合金であ
ることを特徴とする磁気記録媒体。1. A magnetic recording medium having two or more magnetic layers on a substrate and a nonmagnetic layer in at least one of the magnetic layers, wherein the nonmagnetic layer contains Cr and Mo as main components. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the magnetic layer is an alloy containing Co and Pt as main components.
を含有する請求項1記載の磁気記録媒体。2. The nonmagnetic layer contains Mo in the range of 2 to 30 at%.
The magnetic recording medium according to claim 1, further comprising:
を含有する請求項2記載の磁気記録媒体。3. The nonmagnetic layer contains Mo in the range of 5 to 15 at%.
The magnetic recording medium according to claim 2, further comprising:
性層を構成する合金の六方最密充填構造のc軸の長さと
が近似しているか、実質的に等しい請求項1記載の磁気
記録媒体。4. The surface spacing of the alloy forming the non-magnetic layer and the length of the c-axis of the hexagonal close-packed structure of the alloy forming the magnetic layer are close to or substantially equal to each other. Magnetic recording medium.
いずれか1項に記載の磁気記録媒体。5. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the nonmagnetic layer contains Zr.
Cr合金である請求項1〜5のいずれか1項に記載の磁
気記録媒体。6. At least one magnetic layer is Co—Pt—
The magnetic recording medium according to any one of claims 1 to 5, which is a Cr alloy.
からなる下地層を有し、最下層の磁性層の直下の2層は
基板側の下地層がクロムからなる層であり、磁性層側の
下地層がクロムとモリブデンとからなる層である請求項
1〜6のいずれか1記載の磁気記録媒体。7. An underlayer composed of two or more layers is provided between the substrate and the lowermost magnetic layer, and the two layers immediately below the lowermost magnetic layer are layers in which the underlayer on the substrate side is made of chromium. 7. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the underlayer on the magnetic layer side is a layer made of chromium and molybdenum.
金からなる第1保護層を有し、該第1保護層の上に酸化
ケイ素からなる第2保護層を有する請求項1〜7のいず
れか1記載の磁気記録媒体。8. The method according to claim 1, further comprising a first protective layer made of chromium or a chromium alloy on the uppermost magnetic layer, and a second protective layer made of silicon oxide on the first protective layer. 2. The magnetic recording medium according to any one of 1.
板と下地層との間に、凹凸形成層を有し、かつ最上の磁
性層の上に保護層を有する請求項1〜7のいずれか1記
載の磁気記録媒体。9. The unevenness forming layer is provided between the substrate and the lowermost magnetic layer, or between the substrate and the underlayer, and the protective layer is provided on the uppermost magnetic layer. 2. The magnetic recording medium according to any one of 1.
のいずれか1記載の磁気記録媒体。10. The substrate according to claim 1, which is a glass substrate.
2. The magnetic recording medium according to any one of 1.
れる請求項1〜10のいずれか1項に記載の磁気記録媒
体。11. The magnetic recording medium according to claim 1, which is used for reproduction by a magnetoresistive head.
抗型ヘッドとを有する磁気記録装置であって、前記磁気
ディスクが請求項1〜10のいずれか1項に記載の磁気
記録媒体である磁気記録装置。12. A magnetic recording device having one or more magnetic disks and a magnetoresistive head, wherein the magnetic disk is the magnetic recording medium according to any one of claims 1 to 10. Recording device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28051395A JPH08227516A (en) | 1994-10-27 | 1995-10-27 | Magnetic recording medium and magnetic recorder |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26386994 | 1994-10-27 | ||
JP6-263869 | 1994-10-27 | ||
JP28051395A JPH08227516A (en) | 1994-10-27 | 1995-10-27 | Magnetic recording medium and magnetic recorder |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08227516A true JPH08227516A (en) | 1996-09-03 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP28051395A Pending JPH08227516A (en) | 1994-10-27 | 1995-10-27 | Magnetic recording medium and magnetic recorder |
Country Status (1)
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JP (1) | JPH08227516A (en) |
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- 1995-10-27 JP JP28051395A patent/JPH08227516A/en active Pending
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