JPH08216409A - インクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッドInfo
- Publication number
- JPH08216409A JPH08216409A JP3122295A JP3122295A JPH08216409A JP H08216409 A JPH08216409 A JP H08216409A JP 3122295 A JP3122295 A JP 3122295A JP 3122295 A JP3122295 A JP 3122295A JP H08216409 A JPH08216409 A JP H08216409A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- insulating film
- glass substrate
- ink jet
- jet head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 インクジェットヘッドのガラス基板上にパタ
ーンニングされているリード線用の絶縁膜であるポリイ
ミド膜の剥離現象がなく、ヘッド寿命が長いインクジェ
ットヘッドを提供することを目的とする。 【構成】 ガラス基板１とポリイミド絶縁膜５との間に
無機化合物からなる絶縁膜を配し、ガラス基板１とポリ
イミド絶縁膜５が分離した構成を備えることを特徴とす
る。 【効果】 この構成によって、インクによるガラス基板
のガラス溶出が発生することがないので、ガラス基板か
らのポリイミド膜の剥離現象が防止され、インクジェッ
トヘッドの長寿命化が実現した。
ーンニングされているリード線用の絶縁膜であるポリイ
ミド膜の剥離現象がなく、ヘッド寿命が長いインクジェ
ットヘッドを提供することを目的とする。 【構成】 ガラス基板１とポリイミド絶縁膜５との間に
無機化合物からなる絶縁膜を配し、ガラス基板１とポリ
イミド絶縁膜５が分離した構成を備えることを特徴とす
る。 【効果】 この構成によって、インクによるガラス基板
のガラス溶出が発生することがないので、ガラス基板か
らのポリイミド膜の剥離現象が防止され、インクジェッ
トヘッドの長寿命化が実現した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクが満たされた圧
力室内に圧力を加え、圧力室の一部に設けられたノズル
よりインク滴を吐出することによって印字を行うインク
ジェットヘッドに関するものである。
力室内に圧力を加え、圧力室の一部に設けられたノズル
よりインク滴を吐出することによって印字を行うインク
ジェットヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、プリンタは、印字の高速化、カラ
ー化、低騒音化の要求が高まってきており、中でもイン
クジェットヘッドを用いたインクジェットプリンタが注
目されている。
ー化、低騒音化の要求が高まってきており、中でもイン
クジェットヘッドを用いたインクジェットプリンタが注
目されている。
【０００３】このインクジェットヘッドの方式は大別し
て連続方式とオンディマンド方式があるが、とくにオン
ディマンド方式のものは構成が簡単で低価格なことから
多く用いられている。
て連続方式とオンディマンド方式があるが、とくにオン
ディマンド方式のものは構成が簡単で低価格なことから
多く用いられている。
【０００４】オンディマンド方式のインクジェットプリ
ンタにおいて、インクを吐出させる方法には様々なもの
がある。例えば、圧電素子の機械的な変位圧力を用いる
もの（特公昭５９−２６１９号公報、特公昭５８−３８
１１０号公報等）、発熱抵抗素子によってインクを加熱
沸騰させ、その圧力を用いるもの（特公昭６１−５９９
１１号公報、特公昭６３−５４５４７号公報等）、導電
性インクに直接通電加熱しインクを蒸発させるか、また
はその沸騰圧力を用いるもの（米国特許３１７９０４２
号明細書、米国特許４５９５９３８号明細書）等であ
る。
ンタにおいて、インクを吐出させる方法には様々なもの
がある。例えば、圧電素子の機械的な変位圧力を用いる
もの（特公昭５９−２６１９号公報、特公昭５８−３８
１１０号公報等）、発熱抵抗素子によってインクを加熱
沸騰させ、その圧力を用いるもの（特公昭６１−５９９
１１号公報、特公昭６３−５４５４７号公報等）、導電
性インクに直接通電加熱しインクを蒸発させるか、また
はその沸騰圧力を用いるもの（米国特許３１７９０４２
号明細書、米国特許４５９５９３８号明細書）等であ
る。
【０００５】この中でも、通電加熱による方法は、他の
二つの方法に対して、圧力を発生させるために特別な素
子を必要とせず、一対の電極を対向させるだけの簡単な
構造であるため、流路形成を含めヘッド全体を簡単に構
成することができるという利点を備えている。
二つの方法に対して、圧力を発生させるために特別な素
子を必要とせず、一対の電極を対向させるだけの簡単な
構造であるため、流路形成を含めヘッド全体を簡単に構
成することができるという利点を備えている。
【０００６】以下、従来のインクジェットヘッドについ
て図５を参照にしながら説明する。図５（ａ）は従来の
インクジェットヘッドの平面図、図５（ｂ）は図５
（ａ）のＢ１−Ｂ２断面図、図５（ｃ）は図５（ａ）の
Ｂ３−Ｂ４断面図である。
て図５を参照にしながら説明する。図５（ａ）は従来の
インクジェットヘッドの平面図、図５（ｂ）は図５
（ａ）のＢ１−Ｂ２断面図、図５（ｃ）は図５（ａ）の
Ｂ３−Ｂ４断面図である。
【０００７】１はホウケイ酸ガラスまたはケイ酸ガラス
からなるガラス基板である。ガラス基板１上に、スパッ
タなどの半導体プロセス技術を用いてＴｉで形成された
一対の電極２ａ，２ｂとリード線３、及び、リード線３
と印字制御回路用ＦＰＣを接続するためのＡｕで形成さ
れたパッド４をパターン形成し、一対の電極２ａ，２ｂ
の露出面積がほぼ等しくなるようにポリイミド絶縁膜５
が形成されている。さらに、導電性インクが満たされる
圧力室６、ノズル７及びインク流路８を構成するポリイ
ミドフィルム等からなるノズル流路基板９を接着層（図
示せず）を介して接着し、これによって図５に示すイン
クジェットヘッドが形成されている。電極表面は通電に
よって電極にかかる電流密度を減少させて、溶解や酸化
の発生を抑えるために電極表面を粗にして表面積を大き
くしている。
からなるガラス基板である。ガラス基板１上に、スパッ
タなどの半導体プロセス技術を用いてＴｉで形成された
一対の電極２ａ，２ｂとリード線３、及び、リード線３
と印字制御回路用ＦＰＣを接続するためのＡｕで形成さ
れたパッド４をパターン形成し、一対の電極２ａ，２ｂ
の露出面積がほぼ等しくなるようにポリイミド絶縁膜５
が形成されている。さらに、導電性インクが満たされる
圧力室６、ノズル７及びインク流路８を構成するポリイ
ミドフィルム等からなるノズル流路基板９を接着層（図
示せず）を介して接着し、これによって図５に示すイン
クジェットヘッドが形成されている。電極表面は通電に
よって電極にかかる電流密度を減少させて、溶解や酸化
の発生を抑えるために電極表面を粗にして表面積を大き
くしている。
【０００８】上記のように構成されたインクジェットヘ
ッドについて、以下にその動作を説明する。
ッドについて、以下にその動作を説明する。
【０００９】信号発生装置１０により一対の電極２ａ，
２ｂに電圧を加えると、所定の体積抵抗率を有する導電
性インクに電流が流れる。この電流によって導電性イン
クは自己発熱して温度が高まり、ついには沸騰が始まり
バブルが発生する。このバブルにより圧力室６内の導電
性インクの圧力が急激に高まり、ノズル７からインク滴
１１が飛び出し、飛翔して記録紙１２に付着しドットを
形成する。沸騰を開始した時点で信号発生装置１０は、
電極２ａ，２ｂへの電圧印加を停止する。膨張したバブ
ルによるドットの形成に伴い消費された導電性インク
は、次の電圧が電極２ａ，２ｂに印加される前にインク
流路８から補給される。この一連の動作の繰り返しによ
り、信号発生装置１０からの信号に応じたインク滴１１
が連続的に生成され、記録紙１２に任意の連続的なドッ
トが形成される。
２ｂに電圧を加えると、所定の体積抵抗率を有する導電
性インクに電流が流れる。この電流によって導電性イン
クは自己発熱して温度が高まり、ついには沸騰が始まり
バブルが発生する。このバブルにより圧力室６内の導電
性インクの圧力が急激に高まり、ノズル７からインク滴
１１が飛び出し、飛翔して記録紙１２に付着しドットを
形成する。沸騰を開始した時点で信号発生装置１０は、
電極２ａ，２ｂへの電圧印加を停止する。膨張したバブ
ルによるドットの形成に伴い消費された導電性インク
は、次の電圧が電極２ａ，２ｂに印加される前にインク
流路８から補給される。この一連の動作の繰り返しによ
り、信号発生装置１０からの信号に応じたインク滴１１
が連続的に生成され、記録紙１２に任意の連続的なドッ
トが形成される。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のインクジェットヘッドにおいては、０〜６０°Ｃの
保存環境下において、ガラス基板１と圧力室６内のイン
ク（主に水溶性の有機溶剤）が反応し、ガラスのアルカ
リ成分（Ｎａ2Ｏ）が溶出する。この溶出現象は特に高
温側において顕著に発生する傾向にある。
来のインクジェットヘッドにおいては、０〜６０°Ｃの
保存環境下において、ガラス基板１と圧力室６内のイン
ク（主に水溶性の有機溶剤）が反応し、ガラスのアルカ
リ成分（Ｎａ2Ｏ）が溶出する。この溶出現象は特に高
温側において顕著に発生する傾向にある。
【００１１】ガラス基板１のアルカリ成分の溶出によっ
て、ガラス基板１とポリイミド絶縁膜５との密着力が低
下し、ポリイミド絶縁膜５の剥離現象が発生する。この
現象が進行すると、インクがリード線間に拡散して電気
的ショートを引き起し、これがインクジェットヘッド耐
久性劣化の原因となっていた。
て、ガラス基板１とポリイミド絶縁膜５との密着力が低
下し、ポリイミド絶縁膜５の剥離現象が発生する。この
現象が進行すると、インクがリード線間に拡散して電気
的ショートを引き起し、これがインクジェットヘッド耐
久性劣化の原因となっていた。
【００１２】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、インクジェットヘッドのガラス基板上にパターンニ
ングされている絶縁膜の剥離現象を無くし、寿命が長い
インクジェットヘッドを提供することを目的とする。
で、インクジェットヘッドのガラス基板上にパターンニ
ングされている絶縁膜の剥離現象を無くし、寿命が長い
インクジェットヘッドを提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明のインクジェットヘッドは、ガラス基板とポ
リイミド樹脂等からなる絶縁膜との間に、ガラス溶出防
止膜を形成し、これによってガラス基板とポリイミド絶
縁膜とが分離された構造とすることを特徴とする。
に、本発明のインクジェットヘッドは、ガラス基板とポ
リイミド樹脂等からなる絶縁膜との間に、ガラス溶出防
止膜を形成し、これによってガラス基板とポリイミド絶
縁膜とが分離された構造とすることを特徴とする。
【００１４】ここで、ガラス溶出防止用膜としては、特
に、インク中の水溶性の有機溶剤に反応しない、ガラス
基板との密着性が高い、電気絶縁性に優れている、とい
う性質が必要であり、例えば、無機化合物からなる絶縁
膜や、有機高分子材料からなる絶縁膜などを用いること
ができるが、特に熱的安定性の点からは、無機化合物か
らなる絶縁膜が望ましい。
に、インク中の水溶性の有機溶剤に反応しない、ガラス
基板との密着性が高い、電気絶縁性に優れている、とい
う性質が必要であり、例えば、無機化合物からなる絶縁
膜や、有機高分子材料からなる絶縁膜などを用いること
ができるが、特に熱的安定性の点からは、無機化合物か
らなる絶縁膜が望ましい。
【００１５】また、形成する膜厚としては、電気絶縁性
や生産性の点から、０．０１〜１００μｍとする。０．
０１μｍ未満の場合、防水性が低いため絶縁性が不十分
となり、また１００μｍを超えると、生産性が低くなる
ためコスト高となる。
や生産性の点から、０．０１〜１００μｍとする。０．
０１μｍ未満の場合、防水性が低いため絶縁性が不十分
となり、また１００μｍを超えると、生産性が低くなる
ためコスト高となる。
【００１６】
【作用】ガラス溶出防止膜を設けることにより、絶縁膜
と接触しているガラス基板表面がインクから遮断される
ため、インクによるガラス基板のガラス溶出がなくな
り、ガラス基板からの絶縁膜の剥離現象を効果的に防止
することができる。
と接触しているガラス基板表面がインクから遮断される
ため、インクによるガラス基板のガラス溶出がなくな
り、ガラス基板からの絶縁膜の剥離現象を効果的に防止
することができる。
【００１７】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図１を参照
にしながら説明する。
にしながら説明する。
【００１８】図１（ａ）は本発明のインクジェットヘッ
ドの平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ１−Ａ２断面
図、図１（ｃ）は図１（ａ）のＡ３−Ａ４断面図であ
る。
ドの平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ１−Ａ２断面
図、図１（ｃ）は図１（ａ）のＡ３−Ａ４断面図であ
る。
【００１９】１はホウケイ酸ガラスまたはケイ酸ガラス
からなるガラス基板である。このガラス基板１上にスパ
ッタ、蒸着、またはメッキ等の半導体プロセス技術を用
いて、ＴｉＯ2で形成されたＴｉＯ2絶縁膜２３が形成さ
れている。さらに、ＴｉＯ2絶縁膜２３上にスパッタ等
の半導体プロセス技術を用い、Ｔｉで形成された一対の
電極２ａ，２ｂとリード線３、及び、リード線３と印字
制御回路用ＦＰＣを接続するためのＡｕで形成されたパ
ッド４をパターン形成し、一対の電極２ａ，２ｂの露出
面積がほぼ等しくなるようにポリイミド絶縁膜５が形成
されている。また、導電性インクが満たされる圧力室
６、ノズル７、及びインク流路８を構成するポリイミド
フィルム等からなるノズル流路基板９を接着層（図示せ
ず）を介して接着し、これによって、インクジェットヘ
ッドが構成されている。
からなるガラス基板である。このガラス基板１上にスパ
ッタ、蒸着、またはメッキ等の半導体プロセス技術を用
いて、ＴｉＯ2で形成されたＴｉＯ2絶縁膜２３が形成さ
れている。さらに、ＴｉＯ2絶縁膜２３上にスパッタ等
の半導体プロセス技術を用い、Ｔｉで形成された一対の
電極２ａ，２ｂとリード線３、及び、リード線３と印字
制御回路用ＦＰＣを接続するためのＡｕで形成されたパ
ッド４をパターン形成し、一対の電極２ａ，２ｂの露出
面積がほぼ等しくなるようにポリイミド絶縁膜５が形成
されている。また、導電性インクが満たされる圧力室
６、ノズル７、及びインク流路８を構成するポリイミド
フィルム等からなるノズル流路基板９を接着層（図示せ
ず）を介して接着し、これによって、インクジェットヘ
ッドが構成されている。
【００２０】図２は本発明のインクジェットヘッドを一
部切欠して示す斜視図、図３は本発明のインクジェット
ヘッドを搭載したヘッドカートリッジを一部切欠して示
す斜視図である。
部切欠して示す斜視図、図３は本発明のインクジェット
ヘッドを搭載したヘッドカートリッジを一部切欠して示
す斜視図である。
【００２１】１３はヘッドベース、１４はヘッドベース
１３を取り付けるインクカートリッジ、１５はインクカ
ートリッジ１４内に設けられたインクタンク、１６はイ
ンクタンク１５内のインクに含まれるゴミや塵などを除
去するインクフィルタ、１７はインクを図２に示す共通
インク室２２に導くためのインク導入孔である。
１３を取り付けるインクカートリッジ、１５はインクカ
ートリッジ１４内に設けられたインクタンク、１６はイ
ンクタンク１５内のインクに含まれるゴミや塵などを除
去するインクフィルタ、１７はインクを図２に示す共通
インク室２２に導くためのインク導入孔である。
【００２２】図４は本発明のインクジェットヘッドを搭
載したインクジェットプリンタを一部切欠して示す斜視
図で、１８はインクカートリッジ１４をプリンタに入れ
るカートリッジ挿入口、１９は挿入されたインクカート
リッジ１４を固定するキャリッジ、２０は往復移動する
キャリッジ１９を導くガイドシャフト、２１は記録紙１
２を送るプラテンローラである。
載したインクジェットプリンタを一部切欠して示す斜視
図で、１８はインクカートリッジ１４をプリンタに入れ
るカートリッジ挿入口、１９は挿入されたインクカート
リッジ１４を固定するキャリッジ、２０は往復移動する
キャリッジ１９を導くガイドシャフト、２１は記録紙１
２を送るプラテンローラである。
【００２３】以上のように構成された実施例のインクジ
ェットヘッドについて、その一製造方法について述べ
る。
ェットヘッドについて、その一製造方法について述べ
る。
【００２４】まず、ガラス基板１上に、ＤＣスパッタリ
ングによりＴｉＯ2薄膜を約２μｍ成膜し、ＴｉＯ2絶縁
膜２３を形成する。次にこのＴｉＯ2絶縁膜２３上に、
ＤＣスパッタリングによりＴｉ薄膜を約２μｍ形成す
る。次にフォトリソグラフィーを用いて電極パターンを
形成し、エッチングにより電極パターン及びリード線パ
ターン以外の不要な部分を除去する。これにより、電極
２ａ，２ｂ及びリード線３が形成される。次に蒸着法に
よりＡｕを約１μｍ形成する。さらにフォトリソグラフ
ィーを用いてパッド４のパターンを形成し、エッチング
によりパッド４のパターン以外の不要な部分を除去す
る。次に粘度１００ｃｐｓの感光性樹脂からなるポリイ
ミド絶縁膜５を約４μｍ塗布する。次に露光装置を用い
て一対の電極２ａ、２ｂ上をマスキングして露光する。
次に現像液を用いて電極上の感光性樹脂を除去してポリ
イミド絶縁膜の開口部２４を形成し、その後、イソプロ
ピルアルコールを用いてリンスする。次に電気炉を用い
て４００°Ｃで焼成し、膜厚が約２μｍのポリイミド絶
縁膜とする。圧力室６、ノズル７及びインク流路８は、
ノズル流路基板９をエキシマレーザで加工して形成され
る。次に電極配線したガラス基板１にノズル流路基板９
を接着する。
ングによりＴｉＯ2薄膜を約２μｍ成膜し、ＴｉＯ2絶縁
膜２３を形成する。次にこのＴｉＯ2絶縁膜２３上に、
ＤＣスパッタリングによりＴｉ薄膜を約２μｍ形成す
る。次にフォトリソグラフィーを用いて電極パターンを
形成し、エッチングにより電極パターン及びリード線パ
ターン以外の不要な部分を除去する。これにより、電極
２ａ，２ｂ及びリード線３が形成される。次に蒸着法に
よりＡｕを約１μｍ形成する。さらにフォトリソグラフ
ィーを用いてパッド４のパターンを形成し、エッチング
によりパッド４のパターン以外の不要な部分を除去す
る。次に粘度１００ｃｐｓの感光性樹脂からなるポリイ
ミド絶縁膜５を約４μｍ塗布する。次に露光装置を用い
て一対の電極２ａ、２ｂ上をマスキングして露光する。
次に現像液を用いて電極上の感光性樹脂を除去してポリ
イミド絶縁膜の開口部２４を形成し、その後、イソプロ
ピルアルコールを用いてリンスする。次に電気炉を用い
て４００°Ｃで焼成し、膜厚が約２μｍのポリイミド絶
縁膜とする。圧力室６、ノズル７及びインク流路８は、
ノズル流路基板９をエキシマレーザで加工して形成され
る。次に電極配線したガラス基板１にノズル流路基板９
を接着する。
【００２５】上記のように構成されたインクジェットヘ
ッドについて、以下にその動作を説明する。
ッドについて、以下にその動作を説明する。
【００２６】信号発生装置１０により一対の電極２ａ、
２ｂに電圧を加えると、所定の体積抵抗率を有する導電
性インクに電流が流れる。この電流によって導電性イン
クは自己発熱して温度が高まり、ついには沸騰が始まり
バブルが発生する。このバブルにより圧力室６内の導電
性インクの圧力が急激に高まり、ノズル７からインク滴
１１が飛び出し、飛翔して記録紙１２に付着しドットを
形成する。沸騰を開始した時点で信号発生装置１０は電
極２ａ、２ｂへの電圧印加を停止する。膨張したバブル
によるドットの形成に伴い消費された導電性インクは、
次の電圧が電極２ａ、２ｂに印加される前にインク流路
８から補給される。この一連の動作の繰り返しにより、
信号発生装置１０からの信号に応じた連続的なドットが
形成される。
２ｂに電圧を加えると、所定の体積抵抗率を有する導電
性インクに電流が流れる。この電流によって導電性イン
クは自己発熱して温度が高まり、ついには沸騰が始まり
バブルが発生する。このバブルにより圧力室６内の導電
性インクの圧力が急激に高まり、ノズル７からインク滴
１１が飛び出し、飛翔して記録紙１２に付着しドットを
形成する。沸騰を開始した時点で信号発生装置１０は電
極２ａ、２ｂへの電圧印加を停止する。膨張したバブル
によるドットの形成に伴い消費された導電性インクは、
次の電圧が電極２ａ、２ｂに印加される前にインク流路
８から補給される。この一連の動作の繰り返しにより、
信号発生装置１０からの信号に応じた連続的なドットが
形成される。
【００２７】次に、本実施例の効果を確認するために、
本実施例のインクジェットヘッドと従来例のインクジェ
ット記録ヘッドを用い、保存環境で最も過酷な温度６０
°Ｃにおけるガラス基板１からのポリイミド絶縁膜５の
剥離発生時間を調査した。結果は、実施例では、２００
０時間以上でも剥離の発生が見られず、これに対し、従
来例では、１００時間で剥離が発生した。
本実施例のインクジェットヘッドと従来例のインクジェ
ット記録ヘッドを用い、保存環境で最も過酷な温度６０
°Ｃにおけるガラス基板１からのポリイミド絶縁膜５の
剥離発生時間を調査した。結果は、実施例では、２００
０時間以上でも剥離の発生が見られず、これに対し、従
来例では、１００時間で剥離が発生した。
【００２８】このように、本実施例のインクジェットヘ
ッドでは、ガラス基板１表面にＴｉＯ2絶縁膜２３を形
成することにより、６０°Ｃで２０００時間以上の耐久
性を持ち実用性のある結果を得た。
ッドでは、ガラス基板１表面にＴｉＯ2絶縁膜２３を形
成することにより、６０°Ｃで２０００時間以上の耐久
性を持ち実用性のある結果を得た。
【００２９】なお、上記実施例では、ガラス溶出防止膜
としてＴｉＯ2絶縁膜を用いたが、無論これに限定され
ず、Ａｌ2０3やＳｉＯ2，Ｓｉ3Ｎ4，Ｔａ2Ｏ5，Ｍｇ
Ｏ，Ｙ2Ｏ3，ＰｂＴｉＯ3，ＳｒＴｉＯ3，ＳＩＡＬＯＮ
またはＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）からなる絶縁膜
を用いることができる。
としてＴｉＯ2絶縁膜を用いたが、無論これに限定され
ず、Ａｌ2０3やＳｉＯ2，Ｓｉ3Ｎ4，Ｔａ2Ｏ5，Ｍｇ
Ｏ，Ｙ2Ｏ3，ＰｂＴｉＯ3，ＳｒＴｉＯ3，ＳＩＡＬＯＮ
またはＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）からなる絶縁膜
を用いることができる。
【００３０】
【発明の効果】本発明においては、ガラス基板とポリイ
ミド樹脂等からなる絶縁膜との間にガラス溶出防止膜を
形成することにより、絶縁膜と接触しているガラス基板
表面がインクから遮断され、これによって、インクによ
るガラス基板のガラス溶出がなくなり、ガラス基板から
の絶縁膜の剥離現象が効果的に防止され、インクジェッ
トヘッドの長寿命化が実現した。
ミド樹脂等からなる絶縁膜との間にガラス溶出防止膜を
形成することにより、絶縁膜と接触しているガラス基板
表面がインクから遮断され、これによって、インクによ
るガラス基板のガラス溶出がなくなり、ガラス基板から
の絶縁膜の剥離現象が効果的に防止され、インクジェッ
トヘッドの長寿命化が実現した。
【図１】本発明のインクジェットヘッドで、（ａ）は平
面図、（ｂ）は（ａ）のＡ１−Ａ２断面図、（ｃ）は
（ａ）のＡ３−Ａ４断面図
面図、（ｂ）は（ａ）のＡ１−Ａ２断面図、（ｃ）は
（ａ）のＡ３−Ａ４断面図
【図２】本発明のインクジェットヘッドを一部切欠して
示す斜視図
示す斜視図
【図３】本発明のインクジェットヘッドを搭載したヘッ
ドカートリッジを一部切欠して示す斜視図
ドカートリッジを一部切欠して示す斜視図
【図４】本発明のインクジェットヘッドを搭載したイン
クジェットプリンタを一部切欠して示す斜視図
クジェットプリンタを一部切欠して示す斜視図
【図５】従来のインクジェットヘッドで、（ａ）は平面
図、（ｂ）は（ａ）のＢ１−Ｂ２断面図、（ｃ）は
（ａ）のＢ３−Ｂ４断面図
図、（ｂ）は（ａ）のＢ１−Ｂ２断面図、（ｃ）は
（ａ）のＢ３−Ｂ４断面図
１ ガラス基板 ２ａ，２ｂ 電極 ３ リード線 ４ パッド ５ ポリイミド絶縁膜 ６ 圧力室 ７ ノズル ８ インク流路 ９ ノズル流路基板 １０ 信号発生装置 １１ インク滴 １２ 記録紙 １３ ヘッドベース １４ インクカートリッジ １５ インクタンク １６ インクフィルタ １７ インク導入孔 １８ カートリッジ挿入孔 １９ キャリッジ ２０ ガイドシャフト ２１ プラテンローラ ２２ 共通インク室 ２３ ＴｉＯ2絶縁膜 ２４ 開口部
Claims (3)
- 【請求項１】ガラス基板上に形成された導電性インクを
収納する圧力室と、前記圧力室の一部に形成された前記
導電性インクを吐出するノズルと、インクへ通電を行う
一対の電極と、前記電極に接続されたリード線と、前記
電極及びリード線を絶縁する絶縁膜とを備えたインクジ
ェットヘッドにおいて、前記ガラス基板と絶縁膜との間
に前記インクによるガラス溶出防止膜を形成したことを
特徴とするインクジェットヘッド。 - 【請求項２】前記絶縁膜がポリイミド絶縁膜であり、且
つ、前記ガラス溶出防止膜が無機化合物からなる絶縁膜
であることを特徴とする請求項１記載のインクジェット
ヘッド。 - 【請求項３】前記無機化合物からなる絶縁膜の厚みが
０．０１〜１００μｍであることを特徴とする請求項２
記載のインクジェットヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3122295A JPH08216409A (ja) | 1995-02-20 | 1995-02-20 | インクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3122295A JPH08216409A (ja) | 1995-02-20 | 1995-02-20 | インクジェットヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08216409A true JPH08216409A (ja) | 1996-08-27 |
Family
ID=12325414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3122295A Pending JPH08216409A (ja) | 1995-02-20 | 1995-02-20 | インクジェットヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08216409A (ja) |
-
1995
- 1995-02-20 JP JP3122295A patent/JPH08216409A/ja active Pending
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