JPH08212740A - Magnetic disk apparatus and manufacture thereof - Google Patents

Magnetic disk apparatus and manufacture thereof

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JPH08212740A
JPH08212740A JP1734195A JP1734195A JPH08212740A JP H08212740 A JPH08212740 A JP H08212740A JP 1734195 A JP1734195 A JP 1734195A JP 1734195 A JP1734195 A JP 1734195A JP H08212740 A JPH08212740 A JP H08212740A
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Yoshiharu Kasamatsu
Yoshibumi Mizoshita
Taku Toyoguchi
Naoyuki Yamamoto
Toru Yokohata
Seiji Yoneoka
尚之 山本
徹 横畑
義文 溝下
祥治 笠松
誠二 米岡
卓 豊口
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Fujitsu Ltd
富士通株式会社
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Abstract

PURPOSE: To further reduce the attraction force between a magnetic recording medium and a magnetic head slider, and to prevent the damage of lubricant on the surface of a magnetic disk surface in a CSS type magnetic disk apparatus using the slider which can float from the surface of the medium.
CONSTITUTION: A magnetic head slider 4 has a floating force generating rail surface 44 formed by allowing the side opposed to the surface of a magnetic recording medium, a first protrusion 45 formed at the air flow input end side on the surface 44, and a second protrusion 46 formed to increase the area larger than the protrusion 45 on the air flow-out end side on the surface 44.
COPYRIGHT: (C)1996,JPO

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク装置及びその製造方法に関し、より詳しくは、磁気記録媒体の面から浮上が可能な磁気ヘッドスライダを使用するコンタクト・スタート・ストップ(CSS)方式の磁気ディスク装置及びその製造方法に関する。 BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a magnetic disk device and a manufacturing method thereof, and more particularly, the contact-start-stop (CSS) method using a magnetic head slider capable floats from the surface of the magnetic recording medium a magnetic disk device and a manufacturing method thereof.

【0002】 [0002]

【従来の技術】磁気ディスク装置においては、記録密度を高くし、小型化を促進する傾向にある。 BACKGROUND OF THE INVENTION Magnetic disk drive, to increase the recording density tends to promote miniaturization. これに伴い、 Along with this,
磁気ヘッドと磁気ディスクとの浮上量(スペーシング量)は小さくなる傾向にある。 The flying height of the magnetic head and the magnetic disk (spacing amount) tends to decrease. 浮上量を小さくしようとする場合には、磁気ディスクの表面の粗さを小さくして磁気ディスクと磁気ヘッドの接触を防止する必要がある。 When attempting to reduce the flying height, it is necessary to prevent the contact between the magnetic disk and the magnetic head by reducing the surface roughness of the magnetic disk.

【0003】磁気ディスク装置は、磁気ヘッドのスライダが磁気ディスクの面上で接触した状態で起動し、停止するCSS方式が採用されることが多い。 The magnetic disk device, starts in a state where the slider of the magnetic head is brought into contact on the surface of the magnetic disk, it is often CSS method of stopping is employed. CSS方式での磁気ヘッドのスライダは、停止状態の磁気ディスク面に接触する一方、磁気ディスク回転によって生じる空気流の作用、即ち流体潤滑による動圧空気軸受けの原理によって磁気ディスク面から浮上する。 Slider of the magnetic head in the CSS system, while in contact with the magnetic disk surface in the stopped state, the action of the air flow generated by the rotation of the magnetic disk, i.e., flies from the magnetic disk surface by the principle of the dynamic pressure air bearing by the fluid lubrication.

【0004】このため、CSS方式の磁気ディスク装置においては、磁気ディスク表面の粗さが小さくなるほど、浮上状態のスライダと磁気ディスクとの接触が防止される一方で、磁気ディスクの停止状態におけるスライダと磁気ディスクとの接触面積が大きくなってスライダと磁気ディスクの吸着が生じ易くなってしまう。 [0004] The magnetic disk drive Therefore, CSS scheme, as the roughness of the magnetic disk surface is reduced, while the contact between the slider and the magnetic disk of the floating state is prevented, and the slider in the stopped state of the magnetic disk adsorption of the slider and the magnetic disk contact area with the magnetic disk is increased becomes liable to occur. そのような吸着の力が大きければ、磁気ディスクを回転させるモータの始動時の負荷が大きくなったり、磁気ディスクの回転起動の際に磁気ヘッドを支持しているサスペンションが破損し易くなる。 The greater the such adsorption force, or the starting load during the motor increases to rotate the magnetic disk, a suspension supporting the magnetic head is easily damaged when the rotation start of the magnetic disk. これによりスライダが正常に浮上し難くなる。 Thus the slider hardly emerged successfully.

【0005】そのような吸着力を小さくするために、磁気ヘッドのスライダのうちの磁気ディスクと対向する空気軸受面(レール面)に複数の突起を設けて磁気ディスクとの接触面積を小さくすることが、例えば特開昭63 [0005] In order to reduce such a suction force, to reduce the contact area with the magnetic disk provided with a plurality of projections on the magnetic disk opposite to the air bearing surface of the slider of the magnetic head (rail surface) but, for example, JP 63
−37874号公報に記載されている。 It is described in -37874 JP.

【0006】 [0006]

【発明が解決しようとする課題】しかし、磁気ヘッドスライダに単に突起を形成するだけでは、磁気ディスクとの吸着を防止するための効果が顕著に現れなかったりその効果が十分でない。 [0006] However, more than just forming the protrusions on the magnetic head slider, the effect is not conspicuous or the effect for preventing the adsorption of the magnetic disk is not sufficient. また、突起の数が少なくなって磁気ヘッドスライダと磁気ディスクの接触面積が小さくなると、突起の接触面の圧力が高くなり、磁気ディスク表面の潤滑剤の膜を破断する。 Further, the contact area of ​​the magnetic head slider and the magnetic disk the number of projections is less decreases, the pressure of the contact surface of the projection is high, breaking the film of the lubricant on the magnetic disk surface. この結果、固体接触点が増加し、突起や磁気ディスク表面が擦れあって磨耗したり、突起と磁気ディスク表面の凝着力が大きくなって信頼性が低下する。 As a result, solid contact points is increased, or worn by rubbing against projections and the magnetic disk surface, lower reliability increases adhesion force of the projections and the magnetic disk surface.

【0007】本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであって、磁気記録媒体と磁気ヘッドスライダとの吸着力をさらに低減するとともに、磁気ディスク表面の潤滑剤の破断を防止することがきる磁気ディスク装置及びその製造方法を提供することを目的とする。 [0007] The present invention was made in view of such problems, with further reduces the suction force of the magnetic recording medium and the magnetic head slider, it is possible to prevent breakage of the lubricant in the magnetic disk surface and to provide a magnetic disk device and a manufacturing method thereof kill.

【0008】 [0008]

【課題を解決するための手段】上記した課題は、図1、 Means for Solving the Problems The problems described above are 1,
図2に例示するように、磁気記録媒体7と、前記磁気記録媒体7の面に対向する側に突出して形成された浮上力発生用のレール面3と該レール面3上に形成された突起4を有し、かつ磁気トランスジューサ6が形成された磁気ヘッドスライダ1と、前記磁気ヘッドスライダ1が前記記録媒体7に接触した状態で、前記突起4の突出量よりも小さくかつ前記記録媒体7の表面粗さより大きい厚さで前記磁気記録媒体7上に形成された潤滑剤の層8とを有することを特徴とする磁気ディスク装置によって解決する。 As illustrated in FIG. 2, the magnetic recording medium 7, which is formed on the magnetic recording medium rail surface 3 for levitation force generation that protrudes on the opposite side to the surface of 7 and the rail surface 3 projections 4 has, and a magnetic head slider 1 in which the magnetic transducer 6 is formed, the state where the magnetic head slider 1 is in contact with the recording medium 7, the projections 4 projecting amount smaller and the recording medium 7 than solved by a magnetic disk device characterized by at greater than the surface roughness thickness and a layer 8 of lubricant formed on the magnetic recording medium 7.

【0009】または、前記潤滑剤の層8は、前記突起4 [0009] Alternatively, a layer 8 of the lubricant, the projection 4
の側面を伝って前記突起4の周辺で前記磁気ヘッドスライダ1のレール面3に到達していることを特徴とする請求項1記載のディスク装置によって解決する。 It is solved by the disk drive according to claim 1, wherein the in is reached the around the side surface along the said projection 4 rail surface 3 of the magnetic head slider 1. または、 Or,
図5に例示するように、前記レール面3であって前記突起4の周辺には、突出量が前記突起4の突出量よりも小さい段差9が形成されていることを特徴とする磁気ディスク装置によって解決する。 As illustrated in FIG. 5, the periphery of the projection 4 a the rail surface 3, the magnetic disk device characterized by small step 9 is formed than the amount of projection of the protrusion amount is the projection 4 It is solved by.

【0010】または、図6に例示するように、前記レール面3のうち前記突起4の周辺には溝15が形成されていることを特徴とする磁気ディスク装置により解決する。 [0010] Alternatively, as illustrated in FIG. 6, the periphery of the projection 4 of the rail surface 3 be solved by a magnetic disk device characterized by being formed with a groove 15. または、図7に例示するように、前記突起4の周辺には、前記レール面3に近づくほど広くなるテーパ16 Or, as illustrated in FIG. 7, the periphery of the projection 4 is wider closer to the rail surface 3 taper 16
が形成されていることを特徴とする磁気ディスク装置によって解決する。 It is solved by a magnetic disk device according to claim to but is formed.

【0011】または、前記突起4の突出量は、前記磁気記録媒体7の面の中心線平均粗さの値の2倍以上であることを特徴とする磁気ディスク装置により解決する。 [0011] Alternatively, the amount of projection of the projection 4 is solved by a magnetic disk apparatus, characterized in that said at least 2 times the center line average roughness values ​​of the surface of the magnetic recording medium 7. または、前記潤滑層8は、前記磁気記録媒体7の表面の中心線平均粗さの値以上であることを特徴とする磁気ディスク装置により解決する。 Alternatively, the lubricating layer 8 is solved by a magnetic disk apparatus, characterized in that said at magnetic recording medium 7 surface center line average roughness of greater than or equal to the. または、前記突起4のクラウン量は1.27×10 -2 μm以下であることを特徴とする磁気ディスク装置により解決する。 Or, crown amount of the projection 4 is solved by a magnetic disk apparatus, characterized in that it is 1.27 × 10 -2 μm or less.

【0012】または、前記突起の頂部の総面積は、前記レール面3の面積の10%以下であることを特徴とする磁気ディスク装置によって解決する。 [0012] Alternatively, the total area of ​​the top of the protrusion is solved by a magnetic disk apparatus, characterized in that more than 10% of the area of ​​the rail surface 3. または、図8に例示するように、前記突起4は、水又は油を弾く材料で形成されていることを特徴とする磁気ディスク装置により解決する。 Or, as illustrated in FIG. 8, the projection 4 may be solved by a magnetic disk device according to claim formed of a material to play the water or oil. または、前記突起の上には、潤滑剤が塗布されていることを特徴とする磁気ディスク装置によって解決する。 Or, on the projection, the lubricant is solved by a magnetic disk device characterized by being coated.

【0013】または、前記突起は前記レール面の両端寄りに2つずつ形成され、前記レール面のうち空気流入端側の該突起は空気流出端側の該突起よりも面積が小さいことを特徴とする磁気ディスク装置によって解決する。 [0013] Alternatively, the projections may be formed by two at both ends near the rail surface, the protrusion of the air inflow end side of the rail surface and wherein the area than the protrusion of the air outflow end side is small solved by a magnetic disk apparatus.
上記した課題は、図10、図11、図13、図14に例示するように、磁気ヘッドスライダのうち磁気記録媒体30に対向する側に形成された浮上力発生用のレール面24と、該レール面24上に形成され且つ頂部が潤滑剤29,36に覆われた突起27,34を備えた磁気ヘッドスライダ28を有する磁気ディスク装置によって解決する。 Problems described above, and 10, 11, 13, as illustrated in FIG. 14, the rail surface 24 of the lift force for generating formed on the side facing the magnetic recording medium 30 of the magnetic head slider, the and top are formed on the rail surface 24 is solved by a magnetic disk device having a magnetic head slider 28 having a protrusion 27 and 34 covered with the lubricant 29, 36.

【0014】または、前記突起34はアモルファスカーボンからなり、前記潤滑剤36は末端にベンゼン環を有するフッ素系の潤滑剤であることを特徴とする磁気ディスク装置によって解決する。 [0014] Alternatively, the projection 34 is made of amorphous carbon, it is solved by a magnetic disk apparatus wherein the lubricant 36 is a fluorine-based lubricant with a benzene ring at the terminal. または、前記突起34は酸化物よりなり、前記潤滑剤36は末端に水素基を有するフッ素系の潤滑剤であることを特徴とする磁気ディスク装置によって解決する。 Alternatively, the projection 34 is made of oxide, it is solved by a magnetic disk apparatus wherein the lubricant 36 is a fluorine-based lubricant having hydrogen group at the terminal.

【0015】または、磁気ヘッドスライダのうち磁気記録媒体30に対向する側に形成された浮上力発生用のレール面24の上に突起27を形成する工程と、前記突起27に潤滑剤29を塗布する工程と、前記潤滑剤29に紫外線を照射して前記潤滑剤29を前記突起24に固着する工程とを有することを特徴とする磁気ディスク装置の製造方法によって解決する。 [0015] Alternatively, the coating forming a projection 27 on the rail surface 24 for levitation force generation formed on the side facing the magnetic recording medium 30 of the magnetic head slider, the lubricant 29 on the projection 27 a step of, solved by the method for manufacturing a magnetic disk device characterized by a step of securing said lubricant 29 by irradiating ultraviolet rays to the lubricant 29 in the projection 24.

【0016】または、磁気ヘッドスライダのうち磁気記録媒体30に対向する側に形成された浮上力発生用のレール面24と、該レール面24上に形成され且つ表面がフッ素化されたカーボンよりなる突起34を備えた磁気ヘッドスライダを有する磁気ディスク装置によって解決する。 [0016] Alternatively, the rail surface 24 of the lift force for generating formed on the side facing the magnetic recording medium 30 of the magnetic head slider and the surface is formed on the rail surface 24 is formed of fluorinated carbon solved by a magnetic disk device having a magnetic head slider having a projection 34. または、磁気ヘッドスライダのうち磁気記録媒体30に対向する側に形成された浮上力発生用のレール面24の上に水素化カーボンよりなる突起34を形成する工程と、アルゴンとフッ化炭素を含む混合ガスを用いて前記突起34の表面をフッ素化する工程とを有することを特徴とする磁気ディスク装置の製造方法によって解決する。 Or, and forming a projection 34 of hydrogenated carbon on the rail surface 24 of the lift force for generating formed on the side facing the magnetic recording medium 30 of the magnetic head slider, the argon and fluorocarbon that a step of fluorinating the surface of the projection 34 by using a mixed gas solved by a manufacturing method of a magnetic disk apparatus according to claim.

【0017】上記した課題は、図15に例示するように、磁気記録媒体の面に対向する側に突出して形成された浮上力発生用のレール面44と、該レール面44上の空気流入端側に形成された第一の突起45と、該レール面44上の空気流出端側に前記第一の突起45より面積が広く形成された第二の突起46を備えた磁気ヘッドスライダ41を有することを特徴とする磁気ディスク装置により解決する。 The problems described above, as illustrated in FIG. 15, the rail surface 44 for levitation force generation that protrudes on the opposite side to the surface of the magnetic recording medium, the air inflow end on the rail surface 44 has a first projection 45 formed on the side, the magnetic head slider 41 having a second projection 46 which area is wider than the first protrusion 45 to the air outflow end side on the rail surface 44 it is solved by a magnetic disk apparatus according to claim.

【0018】または、前記レール面44の空気流入端には傾斜面43が形成され、前記第一の突起45の一部は該傾斜面43にはみ出して該傾斜面43に沿って屈曲して形成されていることを特徴とする磁気ディスク装置により解決する。 [0018] Alternatively, forming said air inflow end of the rail surface 44 inclined surface 43 is formed, a part of the first protrusion 45 is bent along the inclined surface 43 protrudes from the inclined part 43 it is solved by a magnetic disk apparatus according to claim. または、図18に例示するように、前記第一及び第二の突起45,46は、前記レール面44に形成された薄膜から形成されていることを特徴とする磁気ディスク装置により解決する。 Or, as illustrated in FIG. 18, the first and second projections 45 and 46, it is solved by a magnetic disk device according to claim being formed from a thin film formed on the rail surface 44.

【0019】または、図18に例示するように、前記第一及び第二の突起45,46を構成する薄膜54,55 [0019] Alternatively, as illustrated in FIG. 18, the thin film constituting the first and second projections 45 and 46 54 and 55
は二層構造であることを特徴とする磁気ディスク装置によって解決する。 Solved by a magnetic disk apparatus, characterized in that is a two-layer structure. または、前記第一及び第二の突起4 Alternatively, the first and second projections 4
5,46は、前記レール面を覆う保護膜の上に形成されていることを特徴とする磁気ディスク装置により解決する。 5,46, it is solved by a magnetic disk device according to claim which is formed on the protective film covering the rail surface.

【0020】または、前記第一の突起45、前記第二の突起46及び前記レール面は、保護膜48によって覆われていることを特徴とする磁気ディスク装置によって解決する。 [0020] Alternatively, the first protrusion 45, the second projection 46 and the rail surfaces, it is solved by a magnetic disk device according to claim which is covered with a protective film 48. または、磁気ディスクのスライダを構成する基板51上にレール面保護膜53とコンタクト膜55を順に形成する工程と、前記コンタクト膜55、前記レール面保護膜53及び前記基板51の上部までをパターニングして凹部41aを形成するとともに、該凹部41aの両側に突出した前記基板51の上面をレール面42とする工程と、前記レール面42の上に残存した前記コンタクト膜55をパターニングすることにより、前記レール面42の空気流入端寄りに前記コンタクト膜55からなる第一の突起45を形成するとともに、前記レール面4 Or a step of forming a rail surface protective film 53 and the contact layer 55 on the substrate 51 constituting the slider of a magnetic disk in order, until the top of the contact layer 55, the rail surface protective film 53 and the substrate 51 and patterned converting mechanism to form the recesses 41a, the steps of the upper surface of the substrate 51 projecting on either side of the recess 41a and the rail surface 42, by patterning the contact layer 55 remaining on the rail surface 42, the to form a first protrusion 45 formed of the contact layer 55 to the air inlet end side of the rail surface 42, the rail surface 4
2の空気流出端寄りに該第一の突起45よりも面積の大きな前記コンタクト膜55からなる第二の突起46を形成する工程を有することを特徴とする磁気ディスク装置の製造方法により解決する。 Further comprising the step of forming a second projection 46 consisting of a large the contact layer 55 in area than the first protrusion 45 to the second air outflow end toward solved by a manufacturing method of a magnetic disk apparatus according to claim.

【0021】または、前記コンタクト膜55はダイアモンドライクカーボンからなり、前記レール面保護膜53 [0021] Alternatively, the contact layer 55 is made of diamond-like carbon, the rail surface protective film 53
は酸化シリコン、アルミナ、シリコン、炭化シリコン、 Silicon oxide, alumina, silicon, silicon carbide,
ダイアモンドライクカーボンからなることを特徴とする磁気ディスク装置の製造方法により解決する。 It is solved by a manufacturing method of a magnetic disk apparatus characterized by comprising a diamond-like carbon. または、 Or,
前記コンタクト膜55と前記レール面保護膜53の間には、前記コンタクト膜55をパターニングして第一及び第二の突起45,46を形成する際に使用するエッチャントによってエッチングされない中間膜54が形成されていることを特徴とする磁気ディスク装置の製造方法により解決する。 Between the contact layer 55 and the rail surface protective film 53, intermediate films 54 that are not etched by an etchant used in forming the first and second projections 45 and 46 by patterning the contact layer 55 is formed it is solved by the manufacturing method of a magnetic disk apparatus according to claim.

【0022】または、前記第一及び第二の突起45,4 [0022] Alternatively, the first and second projections 45,4
6は、ダイヤモンドライクカーボンからなり、前記中間膜54はシリコン、炭化シリコンからなることを特徴とする磁気ディスク装置の製造方法により解決する。 6 is made of diamond-like carbon, the intermediate layer 54 is solved silicon, the manufacturing method of a magnetic disk apparatus characterized by comprising silicon carbide.

【0023】 [0023]

【作 用】本発明によれば、磁気ヘッドスライダのレール面に突起を設けるとともに、磁気記録媒体表面に塗布する潤滑剤の層の厚さをその突起の突出量よりも小さくかつ記録媒体の表面粗さより大きい厚さとしている。 According to the work for the present invention, provided with a projection on the rail surface of the magnetic head slider, the surface of the small and the recording medium than the projection amount of the thickness of the projection of the layer of lubricant applied to the magnetic recording medium surface It has a thickness greater than the roughness. この条件によれば、その潤滑剤は、突起の側面を伝って突起の周辺で前記磁気ヘッドスライダのレール面に接することになり、突起の回りでの潤滑剤のメニスカスの半径が大きくなる。 According to this condition, the lubricant will be in contact with the rail surface of the magnetic head slider around the projections along the sides of the projection, the radius of the meniscus of the lubricant in the projection around increases. そのメニスカス半径が大きくなることは、磁気ヘッドスライダのレール面と磁気記録媒体面との吸着力が小さくなることを意味している。 That the meniscus radius increases, it means that the adsorption force between the rail surface and the magnetic recording medium surface of the magnetic head slider is reduced.

【0024】また、そのような厚さの潤滑剤は磁気記録媒体の面上で膜切れすることがなくなり、磁気記録媒体の移動の際に磁気記録媒体の面が磁気ヘッドスライダによって磨耗することがなくなる。 Further, lubricants such thickness prevents the membrane breakage on the surface of the magnetic recording medium, that the surface of the magnetic recording medium during the movement of the magnetic recording medium is worn by a magnetic head slider no. また、突起の側面とレール面の間に段差を形成しているので、段差によって潤滑剤が拡大し過ぎることが阻止され、吸着力の増加が防止される。 Further, since the step is formed between the side surface and the rail surface of the projection, it is prevented that step the lubricant is excessively enlarged by the increase of suction force is prevented.

【0025】また、突起の周辺のレール面に溝を形成しているので、潤滑剤が存在しないレール面が磁気記録媒体面から離れることが防止され、磁気ヘッドスライダに取付けられる磁気トランスジューサと磁気記録媒体面との距離が離れ過ぎることがなくなる。 Further, since a groove is formed in the rail plane around the protrusion, the rail surface having no lubricant is prevented from leaving from the magnetic recording medium surface, a magnetic transducer and a magnetic recording attached to the magnetic head slider it is no longer too far distance between the medium surface. また、突起の周辺にはテーパが形成されているので、潤滑剤を突起の側面を伝わり易くなる。 Further, since the periphery of the protrusions are formed taper becomes a lubricant easily transmitted sides of the protrusion.

【0026】また、突起のクラウン量を1.27×10 [0026] In addition, the crown amount of projections 1.27 × 10
-2 μm以下としているので、上記した潤滑剤のメニスカスが確実に形成される。 Since the -2 [mu] m or less, the meniscus of the lubricant described above is reliably formed. また、突起は水又は油を弾く材料で形成しているので、水又は油からなる潤滑剤を使用する場合に、突起が磁気記録媒体から離れ易くなる。 Moreover, the projections since the formation of a material to play the water or oil, when using a lubricant consisting of water or oil, the projections are easily separated from the magnetic recording medium. 別の発明によれば、磁気ヘッドスライダのレール面上の突起に潤滑剤を塗布しているので、磁気ヘッドスライダの突起の表面エネルギーが低下し、突起による磁気ディスク表面の潤滑層の破断が生じにくくなり、磁気ヘッドスライダと磁気ディスクの固体接触が生じ難くなり、これにより突起と磁気ディスクのそれぞれの磨耗が抑制される。 According to the embodiment, since Lubricate projections on the rail surface of the magnetic head slider, and decreases the surface energy of the projection of the magnetic head slider, the breaking of the lubricant layer of the magnetic disk surface is caused due to the projections It becomes Nikuku, solid contact of the magnetic head slider and the magnetic disk is less likely to occur, thereby each of the wear of the projections and the magnetic disk can be suppressed. また、突起と磁気ディスクの凝着力が低下して、磁気記録媒体が回転する場合の負荷が軽減される。 Further, adhesion force of the projections and the magnetic disk is reduced, the load in the case where the magnetic recording medium rotates is reduced.

【0027】また、突起を覆う潤滑剤として撥水性のあるフッ素系潤滑剤を使用しているので、突起の周辺で水分が凝集し難くなり、突起と磁気ディスクを吸着する力が低減する。 Further, the use of the fluorine-based lubricant with a water-repellent as a lubricant that covers the projection, the water around the projection is hardly aggregate, a force for adsorbing projections and the magnetic disk is reduced. さらに、フッ素系潤滑剤を突起の上に塗布した後に、紫外線でフッ素系潤滑剤に照射するようにしたので、潤滑剤の固着性が良くなり、耐久性が増す。 Further, a fluorine-based lubricant was applied on the protrusion. Thus irradiated fluorine-based lubricant in the ultraviolet, the better the fixation of the lubricant, durability is increased.

【0028】突起をカーボンによって形成する場合には表面をフッ素化したので、突起の表面エネルギーが低下し、突起による磁気ディスク表面の潤滑層の破断が生じにくくなり、これにより突起と磁気ディスクのそれぞれの磨耗が抑制される。 [0028] Since the surface in the case of forming by the carbon projections was fluorinated, the surface energy of the projections is decreased, hardly occur breakage of the lubricating layer of the magnetic disk surface by the projections, each projection and the magnetic disk by this wear is suppressed. また、突起と磁気ディスクの凝着力が低下して、磁気記録媒体が回転する場合の負荷が軽減される。 Further, adhesion force of the projections and the magnetic disk is reduced, the load in the case where the magnetic recording medium rotates is reduced. しかも、フッ化されたカーボンは撥水性があるので、突起の周辺で水分が凝集し難くなる。 Moreover, since the carbon is fluorinated it is water-repellent, moisture is less likely to aggregate around the protrusion.

【0029】さらに別の発明によれば、磁気ヘッドスライダの1つのレール面のうち空気流入端寄りに第一の突起を形成するとともに、空気流出端寄りの領域に第一の突起よりも大きな第二の突起を形成している。 [0029] According to yet another aspect of the present invention, to form a first projection on the air inlet end toward one of one rail surface of the magnetic head slider, larger second than the first projections in the region of the trailing edge near forming a second projection. 第一の突起は、小さくなるほど磁気記録媒体から浮き上がる時間が短くなり、しかも、磁気記録媒体との吸着力が低減するので、磁気記録媒体面との摩擦を小さくし且つ磁気ディスク回転初期時の磁気ヘッドスライダの浮き上を早くする。 The first projection is made the more time is reduced floated from the magnetic recording medium small and, since the suction force of the magnetic recording medium is reduced, to reduce the friction between the magnetic recording medium surface and the magnetic disk rotates initial state magnetic to speed up floating above the head slider. 一方、第二の突起は、第一の突起よりも磁気記録媒体から遅く浮き上がって磁気記録媒体との摩擦が第一の突起よりも大きくなるが、第二の突起は大きく形成されて機械的強度が高くなっているので、破損が防止されている。 On the other hand, the second projection is friction between late floated by a magnetic recording medium from the magnetic recording medium than the first projection is larger than the first projection, the second projection is set to be larger mechanical strength so is high, corruption is prevented.

【0030】また、第一の突起は、磁気ヘッドスライダのレール面のうち空気流入端の傾斜面と平坦面との境界に形成され、しかもその境界で傾斜面に沿って屈曲しているので、第一の突起の角が磁気記録媒体面を傷付けることが防止される。 Further, the first projection is formed at the boundary between the inclined surface and the flat surface of the air inlet end of the rail surface of the magnetic head slider, and since bent along the inclined surface in the boundary, corner of the first protrusion is prevented from damaging the magnetic recording medium surface. レール面の上に形成されたコンタクト膜をパターニングして第一及び第二の突起を形成する場合に、そのコンタクト膜の下にエッチングストップ用の中間膜を介在させているので、第一及び第二の突起のバラツキが無くなり、歩留り良く磁気ヘッドスライダが形成される。 In the case of forming the first and second projections by patterning a contact layer formed on the rail surface, since the intermediate film for the etching stop is interposed under the contact layer, the first and there is no variation in the second projection, good yield magnetic head slider is formed.

【0031】 [0031]

【実施例】そこで、以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明する。 EXAMPLES Then, explained based on the embodiment of the present invention with reference to the drawings hereinafter. (第1実施例)図1は、本発明の第1実施例を適用する磁気ヘッドのスライダを示す斜視図である。 (First Embodiment) FIG. 1 is a perspective view showing a slider of a magnetic head for applying a first embodiment of the present invention.

【0032】図1において符号1は、アルミナをベースにしたセラミックから形成された磁気ヘッドのスライダであり、板状バネ2に支持されて磁気ディスクの面上に配置される。 The reference numeral 1 in FIG. 1 is a slider of the magnetic head formed of a ceramic in which the alumina base is placed on the surface of the magnetic disk is supported by the plate-like spring 2. 磁気ディスク(磁気記録媒体)に対向する側のスライダ1の面にはその両側縁に沿って2つのストライプ状のレール面3が突出して形成されている。 Magnetic disk (magnetic recording medium) on the surface of the slider 1 of the side facing the along its opposite side edges two striped rail surface 3 is formed to protrude. それらのレール面3には、マスクとイオンミリングを使用するリソグラフィーによって突起4が2つずつ形成されており、レール面3の全体が磁気ディスクに接触することを防止している。 In their rail surfaces 3, projections 4 by lithography using the mask and ion milling are formed two by two, the entire rail surface 3 is prevented from contacting the magnetic disk. レール面3は、空気軸受面として機能する。 Rail surface 3 functions as an air bearing surface.

【0033】レール面3のうち空気流入端寄りの領域には傾斜面5が形成されており、この傾斜面5によって空気流による浮力が生じ易くなっている。 [0033] The area of ​​the air inlet end toward out of the rail surface 3 is formed with inclined surfaces 5, buoyancy due to the air flow is more likely caused by the inclined surface 5. なお、スライダ1の空気流出側の端面には、磁気抵抗効果素子やスピンバルブ磁気抵抗効果素子のような磁気トランスジューサ6が形成されている。 Note that the end surface of the air outflow side of the slider 1, a magnetic transducer 6 such as a magnetoresistive element or a spin valve magneto-resistive element is formed. 図2は、磁気ディスク7の回転が停止している状態におけるスライダ1の突起4と磁気ディスク7の接触状態を拡大した断面図である。 Figure 2 is an enlarged sectional view of the contact state of the protrusion 4 and the magnetic disk 7 of the slider 1 in a state where the rotation of the magnetic disk 7 is stopped.

【0034】磁気ディスク7の面とスライダ1の突起4 The projections 4 of the surface and the slider 1 of the magnetic disk 7
の面には微小な凹凸が存在し、磁気ディスク7の面の凹凸の中心線の平均の粗さ(Ra )が4nm以下(例えば2 And the surface there is small unevenness, roughness average of unevenness of the center line of the surface of the magnetic disk 7 (Ra) is 4nm or less (e.g., 2
nm)、その表面には潤滑剤を塗布して形成された潤滑層8が4nmの厚さに形成されている。 nm), the lubricating layer 8 formed by coating a lubricant is formed to a thickness of 4nm on its surface. レール面3上に設けられた突起4の高さは磁気ディスク7の中心平均粗さの値の2倍以上、例えば10nmとし、突起4の頂部4aの凹凸の中心線の平均粗さは約1nmとなっている。 The height of the projections 4 provided on the rail surface 3 is more than 2 times the value of the center average roughness of the magnetic disk 7, for example, a 10 nm, the average roughness of the unevenness of the center line of the top 4a of the projections 4 is about 1nm It has become. 潤滑層8は、突起4の突出量よりも薄くかつ磁気ディスク7の表面粗さ又はその表面の中心線平均粗さよりも厚く形成されている。 Lubricating layer 8 is thicker than the center line average roughness of the surface roughness or the surface of the thin and the magnetic disk 7 than the projecting amount of the projection 4. また、潤滑層8は、突起4の側面を伝って突起4の周辺でレール面3に到達している。 The lubricating layer 8 has reached a rail surface 3 around the projections 4 along the side surface of the protrusion 4.

【0035】突起4の頂部の総面積はレール面3の面積の10%以下(例えば30%スライダでは面積0.05mm The total area of ​​the top portion of the projection 4 is less than 10% of the area of ​​the rail surface 3 (e.g. area 0.05mm in 30% slider
2 )であり、また、温度変化を考慮したスライダ1のレール面3のクラウン量も小さくなるように形成されている。 A 2), also it is formed to be smaller crown of rail surface 3 of the slider 1 in consideration of the temperature change. この結果、4個の突起4の頂部4aの平坦度は、潤滑層8の厚さから磁気ディスク7の表面の中心線平均粗さを減じた値以下となる大きさ、或いは突起3の粗さと同じかそれ以下の例えば1nm以下となるように形成されている。 As a result, the flatness of the four projections 4 of the top 4a, the thickness of a value less than that obtained by subtracting the center line average roughness of the surface of the magnetic disk 7 from the size of the lubricating layer 8, or the roughness of the projection 3 It is formed to be equal to or less than equal to or less for example 1 nm.

【0036】また、突起4の頂部4aと磁気ディスク7 Further, the top portion 4a of the projections 4 and the magnetic disk 7
の面の隙間hは約3nmであり、潤滑層8の厚さtが4nm Clearance h is about 3 nm, the thickness t is 4nm lubrication layer 8 of the surface
と隙間hよりも大きく、また、平坦度や温度変化にともなう隙間hの変化も十分小さくなるように設計されている。 And greater than the gap h, also designed also change the gap h due to flatness and temperature changes to be sufficiently small. このため、潤滑層8は、4つの突起4の頂部4aと磁気ディスク7の隙間hを完全に埋め、さらにその一部は突起4の根元まで覆っており、突起4の周りで凹状の半径の大きなメニスカス(menisucus )8aを有している。 Therefore, the lubricating layer 8 fills four clearance h of the top portion 4a and the magnetic disk 7 of the projection 4 completely covers until further some of the roots of the protrusions 4, a concave around the projection 4 radius It has a large meniscus (menisucus) 8a. 突起4の高さは10nmと大きく、4つの突起4を除くレール面3上ではメニスカスは形成されない。 The height of the projections 4 is as large as 10 nm, the meniscus is not formed on the rail surface 3 except four protrusions 4.

【0037】磁気ヘッドのスライダ1と磁気ディスク7 [0037] of the magnetic head slider 1 and the magnetic disk 7
の吸着は、そのメニスカス8aの形成によって発生するものと考えられている。 Adsorption is believed to be caused by the formation of the meniscus 8a. その吸着力Fは次の式に従って決まる。 Its suction force F is determined according to the following equation. F=S×(γ/r) …… 式において、Sはスライダ1において潤滑剤で濡れている領域の面積、γは潤滑剤の表面張力、rは図2に示されるように潤滑剤の外部を中心にしたメニスカス8a F = the S × (γ / r) ...... equation, S is the area of ​​a region that is wet with lubricant in the slider 1, gamma is the surface tension of the lubricant, external lubricant as r is shown in FIG. 2 meniscus 8a centered on the
の半径である。 Of the radius.

【0038】従来の技術では、図4の拡大図に示すように、潤滑剤10の厚さよりも大きな表面粗さを磁気ディスク11面に与えて、潤滑剤がスライダ12を濡らす面積(式のS)を小さくすることにより吸着力Fの低減を図っている。 [0038] In the prior art, as shown in the enlarged view of FIG. 4, a thickness larger surface roughness than the lubricant 10 is given to the magnetic disk 11 side, the area where the lubricant wets the slider 12 (the formula S ) and thereby reducing the suction force F by the smaller. しかし、磁気ディスク11表面粗さが小さくなっている現状では、面積Sを小さくするために潤滑剤を薄くすることは、潤滑剤の膜切れが起こりやすくなるので好ましくはない。 However, at present the magnetic disk 11 surface roughness is reduced, thinning the lubricant in order to reduce the area S is not preferred since easily occur film breakage lubricant.

【0039】また、従来技術の欄で引用した特許公開公報では、液体で濡れる部分の面積Sを小さくして吸着力Fの低減を図っているが、突起の周辺で生じる潤滑層のメニスカスの半径rを大きくすることによって吸着力F [0039] In the patent publications cited in the section of prior art, the area S of the portion wetted by the liquid and smaller and thereby reducing the suction force F, the radius of the meniscus of the lubricating layer generated around the protrusion suction force F by increasing the r
を小さくすることについては何らの記載もない。 Without even any of the description about to be smaller. 吸着力Fが小さいほど、磁気ディスクの回転起動の際にスライダが浮上し易くなる。 More suction force F is small, the slider is easily floated upon starting rotation of the magnetic disk.

【0040】ところで、図2に示すように、潤滑層8とスライダ1のレール面3の接触角をθ、潤滑剤で濡れてないレール面3と潤滑層8との距離をdとすれば、幾何学的な関係からメニスカス8a半径rは、式で表される。 [0040] Incidentally, as shown in FIG. 2, the contact angle of the lubricating layer 8 and the rail surface 3 of the slider 1 theta, if the distance between the rail surface 3 and the lubricating layer 8 that is not wetted by the lubricant and d, meniscus 8a radius r from the geometric relationship can be expressed by equation. なお、接触角θは接触角計によって測定する。 The contact angle θ is measured by the contact angle meter. r=0.5d/(1+ cosθ) …… 従って、メニスカス8aより下の潤滑層8とスライダのレール面3との距離dを大きくするほど吸着力Fが低減することになる。 r = 0.5d / (1+ cosθ) ...... Therefore, the suction force F greater the distance d between the lubricating layer 8 and the rail surface 3 of the slider below the meniscus 8a is to reduce. しかし、潤滑剤で突起4を覆うためには、潤滑層8の膜厚tを厚くする必要があり、式のS However, in order to cover the projections 4 in the lubricant, it is necessary to increase the thickness t of the lubricating layer 8, wherein the S
が大きくなりがちである。 It tends to increase.

【0041】そこで、突起4の突出量は、突起4の周囲のみでメニスカス8aが形成され、他の場所では形成されないような条件で決定する必要がある。 [0041] Therefore, the amount of projection of the projection 4 is formed meniscus 8a only around the projection 4, it is necessary to determine the conditions that are not formed in other places. このように突起4の突出量を調整することによって式のrの値とS The value of the expression of r by adjusting the projecting amount of the thus projections 4 and S
の値の両者を適切に制御することが可能になる。 It is possible to control both the values ​​properly. 次に、 next,
具体的な効果を実験によって確認した。 It was confirmed by experiment the specific effect. その結果を次に説明する。 The results will be described below.

【0042】液体の表面張力γを0.02N/m、接触角θを60°とした場合に、突起4の頂部4aの面積が0.02mm 2である1個の平面円形の突起4に働く吸着力Fは約0.15Nとなった。 The surface tension γ of the liquid 0.02 N / m, when the contact angle θ between 60 °, the area of the top portion 4a of the projections 4 acts on the projections 4 of the one planar circular is 0.02 mm 2 adsorption force F was about 0.15N. これに対して、図3に示すように、潤滑剤の厚さを隙間よりも薄くした場合の磁気ヘッドの吸着力は約0.40Nとなった。 In contrast, as shown in FIG. 3, the suction force of the magnetic head in the case of thinner than the gap thickness of the lubricant was about 0.40 N. これは、本実施例を適用した場合のスライダ1のレール面3の潤滑剤に濡れる部分の面積Sは、突起4の頂部4aの面積に対して高々12%しか増加しないのに対してメニスカス半径rは本実施例により3倍に増加するからである。 This is the area S of the portion wetted by the lubricant of the rail surface 3 of the slider 1 in the case of applying the present embodiment, the meniscus radius whereas increases only at most 12% of the area of ​​the top portion 4a of the projections 4 r is because increases 3-fold by this embodiment.

【0043】本発明においては、図2に示したようなメニスカス8aを確実に形成するためには、スライダ3上のレール面4に与えるクラウン量は、従来知られていることとは反対に小さい方が好ましい。 [0043] In the present invention, in order to reliably form a meniscus 8a as shown in FIG. 2, the crown amount giving the rail surface 4 on the slider 3 is smaller Contrary to previously known it is preferable. 例えば、特開平5 For example, JP-A-5
−307852号公報には1.27×10 -2 μmから7.62×10 -2 μmの範囲のクラウンと、5.08× And scope of the crown from 1.27 × 10 -2 μm of 7.62 × 10 -2 μm to -307 852 discloses, 5.08 ×
10 -3 μmから1.52×10 -3 μmの範囲の3次元表面粗さをスライダ面に付与することが開示されている。 It is disclosed that impart the 10 -3 [mu] m the three-dimensional surface roughness in the range of 1.52 × 10 -3 μm on the slider surface.
これに対して、本実施例のクラウン量は1.27×10 In contrast, the crown of this embodiment is 1.27 × 10
-2 μmより小さいことがむしろ望ましく、またレール面4には表面粗さを大きくするのではなくて潤滑剤のメニスカス半径rを大きくするような高さの突起4を形成し、これにより吸着力Fを低減している。 It is rather desirable -2 smaller than [mu] m, also Rather than increasing the surface roughness to form the height of the projection 4 so as to increase the meniscus radius r of the lubricant to the rail surface 4, thereby attracting force thereby reducing the F.

【0044】本実施例の効果をさらに明らかにするために、本実施例を適用した場合と適用しない場合を比較した例を図3に示す。 [0044] To further clarify the effects of the present embodiment, an example of comparison if not applicable to the case of applying the present embodiment shown in FIG. 図3(a) は、本実施例に基づく設計方針でレール面3に突起4を設けた場合のスライダ1と磁気ディスク7の静摩擦力と潤滑層8の膜厚tとの関係を示している。 FIGS. 3 (a) shows the relationship between the thickness t of the static friction force and a lubricating layer 8 of slider 1 and the magnetic disk 7 when the projection 4 is provided on the rail surfaces 3 in the design policy based on the embodiment . また、図3(b) は、突起を設けない場合のスライダと磁気ディスクの静摩擦力と潤滑剤の膜厚との関係を示している。 Further, FIG. 3 (b) shows the relationship between the thickness of the slider and the static friction force between the magnetic disk and the lubricant case without the protrusions.

【0045】この例では、突起4を設けた場合の磁気ヘッドのスライダ1と磁気ディスク7との接触面積は、突起を設けない場合のほぼ1/100と小さく、また、媒体面の平均の粗さは約1nmである。 [0045] In this example, the contact area between the slider 1 and the magnetic disk 7 of the magnetic head in case of providing the projection 4 is smaller approximately 1/100 of the case without the protrusions, also, the average of the medium surface roughness it is about 1nm. 図3(a) と図3(b) FIGS. 3 (a) and FIG. 3 (b)
を比較すると、潤滑層8の厚さtが磁気ディスクの面の平均粗さ1nmよりも小さい場合(図中(イ)の範囲)には、突起4の存在により静摩擦力が小さくなっているが、これは接触面積を小さくしたことにより、メニスカスの個数が減少したことによるものである。 Comparing, if the thickness t of the lubricant layer 8 is smaller than the average roughness 1nm of the surface of the magnetic disk (the range in FIG. (B)), but the static friction force is reduced by the presence of the projections 4 This is because the by having a small contact area, the number of the meniscus is reduced. この効果は、従来技術のようにスライダのレール面に突起を設けることによって得られる。 This effect is obtained by providing a projection on the rail surface of the slider as in the prior art.

【0046】一方、潤滑層の膜厚が磁気ディスク7の面の平均粗さ1nmより十分大きい場合(図中(ハ)の範囲)には、範囲(イ)よりわずかであるが静摩擦力が減少していることが分かった。 [0046] On the other hand, when the thickness of the lubricating layer is sufficiently greater than the average roughness 1nm of the surface of the magnetic disk 7 (range in FIG. (C)), the range (a) from is a slight static frictional force is reduced It was found to be. これは本実施例の特徴的な効果が現れているものであり、単に突起4を設けるだけで得られるものではない。 This is intended to characteristic effects of the present embodiment has appeared simply not obtained only by providing the protrusions 4. 潤滑剤は薄すぎると膜切れを起こして磁気ディスクの磨耗を誘発するおそれがあるが、潤滑剤が厚いときにも薄いときにも同じような効果があるならば、装置の信頼性向上の観点から潤滑剤は厚い方が良いことになる。 Viewpoint of Lubricating agents may induce wear of the magnetic disk causes a too thin film breakage, if lubricant has similar effects even when a thin even when thick, improving the reliability of the device the lubricant is thicker is a good thing from.

【0047】特に図示しないが、実験によれば潤滑層8 [0047] not particularly shown, the lubricating layer 8 according to the experiments
を厚くするにつれて、ある値の膜厚以上で再び摩擦力が大きくなる傾向にあることが実験により見いだされた。 As the thickening, it tends to re frictional force than the thickness of a certain value increases were found by experiments.
これは、突起4以外の場所でもメニスカスが形成されるからである。 This is because the meniscus is formed at a location other than the protrusion 4. しかし、実際の磁気ディスク装置においては、円板状の磁気ディスクの回転に伴う潤滑剤の飛散などを防止するために、あまり過剰な厚さの潤滑剤は適当でない。 However, the actual magnetic disk device, in order to prevent a scattering of the lubricant caused by the rotation of the disk-shaped magnetic disk, so the excess thickness of the lubricant is not suitable. このため、図3(a),(b) でも過剰な厚さの領域は省いてある。 Therefore, FIG. 3 (a), it is omitted in regions of excess thickness even (b).

【0048】なお、図3(a) 中の範囲(ロ)に示すように、突起4を備えたスライダ1と磁気ディスク7との静摩擦力が図3(b) の範囲(ロ)に比べて小さくなっていないが、これは潤滑剤が突起4の側面を覆う面積が小さい状態であり、式のメニスカス半径rは小さいままで、接触面積Sだけが大きくなったためであると解釈される。 [0048] Incidentally, as shown in range (B) in FIG. 3 (a), and static friction force between the slider 1 and the magnetic disk 7 having a projection 4 is compared with the range (B) shown in FIG. 3 (b) Although not smaller, this is a state area in which the lubricant covers the side surface of the projection 4 is smaller, while the meniscus radius r of formula are small, only the contact area S is interpreted to be due to increased. (第2実施例)図5は、磁気ヘッドのスライダ1においてレール面3と突起4の間に突起4よりも突出量の小さい段9を設けた例を挙げている。 (Second Embodiment) FIG. 5 is an example in which a small stage 9 with the projecting amount than the projections 4 between rail surface 3 and the projection 4 in the slider 1 of the magnetic head.

【0049】スライダ1のレール面3に形成する突起4 The projections 4 to be formed on the rail surface 3 of the slider 1
は、磁気ディスク7からのスライダ1の浮上量を小さくするためには低い方が望ましい。 Is lower in order to reduce the flying height of the slider 1 from the magnetic disk 7 is desirable. しかし、突起4の突出量を小さくすれば突起4以外の場所でメニスカスが形成される確率が高くなる。 However, the probability that a meniscus is formed at a location other than the projections 4 by reducing the amount of projection of the projection 4 is increased. これに対して、図5のような段差9が存在すると、突起4の突出量が小さくても潤滑剤が表面張力等によって段差9を越え難くなり、突起4の存在しない領域でのメニスカスが形成される確率が小さくなり、吸着力の増加が防止される。 In contrast, when the step 9 as shown in FIG. 5 are present, the meniscus in the region lubricant even with a small amount of projection of the projection 4 is not easily exceed the step 9 by surface tension or the like, in the absence of the projections 4 is formed probability is reduced that is, an increase in the suction force can be prevented. 段差9は例えば5 Step 9, for example 5
〜10nm程の高さで、突起4の直径より10%大きい直径をもつように形成する。 ~10nm as in height, it is formed to have a 10% larger diameter than the diameter of the protrusion 4. (第3実施例)図6は、磁気ヘッドのスライダ1のレール面3と突起4の間に溝15を形成した例を挙げている。 (Third Embodiment) Figure 6 an example of forming a groove 15 between the rail surface 3 of the slider 1 of the magnetic head projection 4.

【0050】突起4の周囲に十分な幅と適切な深さ、例えば突起4の周囲に突起4の直径の10%の幅で、深さ10nm程度の溝15を形成することにより、レール面3 The surrounding sufficient width and a suitable depth of the projections 4, for example, 10% of the width of the surrounding of the projections 4 diameter of the protrusion 4, by forming a depth about 10nm groove 15, the rail surface 3
を覆う潤滑層8の厚さd 1を大きくする一方で、溝15 While increasing the thickness d 1 of the lubricating layer 8 covering the groove 15
以外のレール面3と磁気ディスク7との間隔を狭くして磁気トランスジューサ6と磁気ディスク7の間隔が大きくなることを防止できる。 It is possible to prevent the gap of the magnetic transducer 6 and the magnetic disk 7 is increased by narrowing the distance between the rail surface 3 and the magnetic disk 7 except.

【0051】この例では、突起4以外の場所でメニスカスが形成される確率は第1実施例と同じである。 [0051] In this example, the probability that a meniscus is formed at a location other than the projections 4 are the same as the first embodiment. (第4実施例)図7は、頂部4aからレール面3に広がるテーパ16を突起4の周囲に形成したものである。 (Fourth Embodiment) FIG. 7 is obtained by forming a taper 16 extending rail surface 3 from the top 4a around the projection 4.

【0052】磁気ディスク1上の潤滑剤は、テーパ16 [0052] lubricant on the magnetic disk 1, the taper 16
の表面との間に働く毛管凝集力の影響で、突起4と磁気ディスク7の隙間からはみ出して潤滑層8が突起4の頂部4aからその側面に伝わって上昇しやすくなり、半径rの大きなメニスカス18bが形成され易くなる。 Under the influence of capillary cohesive force acting between the surface of the protrusions 4 and a lubricating layer 8 is likely to increase transmitted to the side from the top 4a of the projections 4 protrudes from a gap of the magnetic disk 7, a large meniscus radius r 18b is easily formed. 磁気ディスク7の回転起動時の回転立ち上がり特性を改善するために、潤滑層8の膜厚を無闇に大きくできない場合でも、本実施例の効果を確実に得ようとする場合には、 To improve the rotation rising characteristic of the rotary startup of the magnetic disk 7, even if you can not increase the thickness of the lubricating layer 8 thoughtlessly, when to be reliably obtain the effect of the present embodiment,
図7のテーパ16は有効である。 Taper 16 in FIG. 7 is effective. (第5実施例)図8は、磁気ヘッドのスライダ1のレール面3上の突起4を構成する材料として、水性又は油性の潤滑剤を弾く材料から形成する。 (Fifth Embodiment) FIG 8 is, as a material constituting the protrusion 4 on the rail surface 3 of the slider 1 of the magnetic head is formed from a material to play the lubricant aqueous or oily. これによれば、潤滑層18では上記した実施例と逆のメニスカス18cが生じてメニスカス半径rが大きくなることに等しくなり、 According to this, equal to the meniscus radius r increases the embodiments described above the lubricating layer 18 opposite the meniscus 18c is generated,
これにより吸着力Fは小さくなる。 This by the suction force F is reduced.

【0053】また、突起4の周囲で盛り上がった潤滑層18は、僅かであるが、突起4を持ち上げる力を発生して吸着力Fを低減する。 [0053] The lubricating layer 18 a raised around the projection 4 is a slightly reducing suction force F generates a force to lift the projections 4. なお、潤滑層18を弾く材料でレール面3全体を形成すると、レール面3でのメニスカスの形成が防止されるので、より効果がある。 Incidentally, by forming the entire rail surface 3 a material to play the lubricating layer 18, the formation of a meniscus on the rail surface 3 is prevented, there is more effective. (第6実施例)図9、図10は、本発明の第6実施例の浮上型磁気ヘッドを製造する工程を示している。 (Sixth Embodiment) FIG. 9, FIG. 10 shows a process of manufacturing a floating magnetic head of the sixth embodiment of the present invention.

【0054】まず、図9(a) に示すように、アルミナチタンカーバイド(Al 2 O 3 TiC)、フェライト或いはチタン酸カルシウムなどの材料からなるウェハ21に磁気トランスジューサ22を縦横に複数個形成する。 [0054] First, as shown in FIG. 9 (a), alumina titanium carbide (Al 2 O 3 TiC), to form a plurality of magnetic transducers 22 in a matrix on a wafer 21 made of a material such as ferrite or calcium titanate. この後に、 After this,
ダイシングソーを用いてウェハ21を図9(a) の破線に沿って切断して磁気トランスジューサ22を複数列毎に分割する。 By cutting along the broken lines shown in FIG. 9 (a) the wafer 21 by using a dicing saw to divide the magnetic transducer 22 for each plurality of rows. これにより、複数の磁気トランスジューサ2 Thus, a plurality of magnetic transducers 2
2が一列に並んだ棒状体23が得られる(図9(b))。 2 is rod-like body 23 in a row are obtained (FIG. 9 (b)).

【0055】次に、フォトリソグラフィー技術によって棒状体23の切断面を図9(c) に示すように加工して、 Next, by processing to indicate the cut surface of the rod member 23 in FIG. 9 (c) by photolithography,
磁気ヘッドのスライダのレール面24となる領域の間に凹部23aを形成し、スライドとなる部分の境界に分離溝23bを形成するとともに、レール面の空気流入端側に斜面25を形成する。 A recess 23a between the region to be a rail surface 24 of the slider of the magnetic head, thereby forming a isolation trench 23b in the boundary of the portion serving as a slide to form an inclined surface 25 on the air inflow end side of the rail surface. レール面24は、空気軸受面であり浮上力発生面として機能する。 Rail surface 24 functions as a floating force generating surface is air bearing surface.

【0056】次に、棒状体23の切断面の全体にフォトレジストを塗布してこれを露光、現像し、図10(a) に示すように、レール面24上に矩形又は丸形のレジストパターン26を少なくとも1つ形成する。 Next, exposed to light by applying a photoresist on the entire cut surfaces of the rod-shaped body 23, developed, as shown in FIG. 10 (a), a resist pattern of a rectangular or round on the rail surface 24 26 at least one formation. そして、レジストパターン26をマスクとして使用し、レール面24 Then, using the resist pattern 26 as a mask, the rail surface 24
をイオンミリングによって薄くすると、レジスト26の下には突起27が形成される。 When the thinning by ion milling, under the resist 26 projections 27 are formed. レジストパターン26を溶剤により除去した状態を示すと図10(b) のようになる。 The resist pattern 26 when showing the state was removed by a solvent is shown in FIG. 10 (b).

【0057】その後に、棒状体23の分離溝23bにダイシングソーを入れて棒状体23を複数に分割し、これにより図10(c) に示すような磁気ヘッドのスライダ2 [0057] Then, by dividing the rod-shaped body 23 into a plurality putting dicing saw separation groove 23b of the rod-shaped body 23, thereby 10 slider 2 of the magnetic head as shown in (c)
8の形状にする。 To 8 shape of. その後に、図11(a) に示すように、 Then, as shown in FIG. 11 (a),
レール面24の少なくとも突起部27の頂部に潤滑剤2 Rail surface lubricant 2 to at least the top portion of the protrusion 27 of 24
9を塗布する。 9 is applied. 潤滑剤29としてはフッ素系物質が好ましい。 As the lubricant 29 fluorine-based material is preferred. 潤滑剤29の塗布方法としては、棒状体23のまま浮上面(24、23b)だけを潤滑剤希釈液に浸漬する方法や、ジンバルアッシーした後にヘッド部を浸漬する方法がある。 As a method for coating lubricant 29, a method of immersing leave the air bearing surface of the rod-shaped body 23 only (24,23b) to the lubricant diluent, there is a method of immersing the head portion after the gimbal assembly.

【0058】以上のように突起27の頂部に塗布された潤滑剤29は、突起27の表面エネルギーを低下させる。 [0058] The above lubricant 29 applied to the top of the projection 27 so lowers the surface energy of the projections 27. このため、図11(b) に示すように、スライダ28 Therefore, as shown in FIG. 11 (b), the slider 28
の突起27が磁気ディスク30の保護膜31cの上に乗っている状態で、突起27は保護膜30c上の潤滑層3 In a state where the protrusion 27 is riding on the protective film 31c of the magnetic disk 30, the lubricating layer 3 on the projections 27 protective film 30c
1を破断してその下の保護膜30cに部分的に接触する所謂固体接触が生じ難くなり、また、突起27と保護膜31の凝着力が低下する。 Ruptured one partially-called solid contact is unlikely to occur in contact with the protective layer 30c underneath, also, adhesion force between the projection 27 protective film 31 is reduced. この結果、突起27と磁気ディスク30のそれぞれの磨耗や、突起27と磁気ディスク30の吸着が抑制される。 As a result, each of the wear and the projections 27 and the magnetic disk 30, the adsorption of the projections 27 and the magnetic disk 30 is inhibited.

【0059】また、突起27の頂部を覆う潤滑剤29として、撥水性のあるフッ素系潤滑剤を使用すると、突起27の周辺で水分が凝集し難くなり、突起27と磁気ディスク30を吸着する力が低減する。 [0059] Further, as the lubricant 29 that covers the top of the projection 27, the force by using the fluorine-based lubricant with a water-repellent, moisture is hardly aggregated around the projections 27, to adsorb projections 27 and the magnetic disk 30 There is reduced. これに対して、突起27の頂部に潤滑剤29を塗布しない場合には、突起27の表面エネルギーが高くなって、図12に示すように、磁気ディスク30表面の潤滑剤31が突起27によって膜切れを起こして固体接触が生じ易くなり、突起2 In contrast, when the top of the protrusion 27 is not coated with the lubricant 29, higher surface energy of the projection 27 is, as shown in FIG. 12, the membrane by the lubricant 31 of the magnetic disk 30 surface protrusions 27 solid contact is likely to occur causing the cutting, protrusions 2
7及び磁気ディスク30の磨耗が促進される。 Wear of the 7 and the magnetic disk 30 is accelerated. 図12において、丸で囲まれている部分は、固体接触発生部分である。 12, the portion surrounded by a circle is a solid contact generating moiety.

【0060】なお、図11(b) 、図12中符号30aは磁気ディスク30の基板、30bは磁気ディスク30の磁性層を示している。 [0060] Incidentally, FIG. 11 (b), the in FIG. 12 numeral 30a is a magnetic disk 30 substrate, 30b denotes a magnetic layer of the magnetic disk 30. (第7実施例)第6実施例では、スライダ28のレール面24上に形成する突起27をスライダ28と同じ材料から形成しているが、他の材料であってもよい。 In the (Seventh Embodiment) The sixth embodiment, a projection 27 formed on the rail surface 24 of the slider 28 are formed of the same material as the slider 28, and may be other materials. 以下に、スライダ28と異なる材料から突起を形成する工程を説明する。 Hereinafter, a process of forming a protrusion and slider 28 from different materials.

【0061】まず、第6実施例と同様に、ウェハから切り出した棒状体23に分離溝23bやレール面24を形成した後に、図13(a) に示すように、アモルファスカーボンよりなる保護膜33によってレール面24、傾斜面25を覆う。 [0061] First, as in the sixth embodiment, after forming the isolation trench 23b and the rail surface 24 on the rod-like body 23 cut from the wafer, as shown in FIG. 13 (a), a protective film 33 made of amorphous carbon rail surface 24, covering the inclined surface 25 by. 保護膜33はスパッタにより成長される。 Protective film 33 is grown by sputtering. 続いて、保護膜33を介してレール面24の上に第1実施例と同じレジストパターン26を形成する。 Then, a same resist pattern 26 as the first embodiment on the rail surface 24 through the protective film 33.

【0062】次に、レジストパターン26に覆われない部分の保護膜33を除去し、レジストパターン26の下の保護膜33を突起34として使用する。 Next, a protective film 33 of the portion not covered with the resist pattern 26 is removed, using the protective film 33 under the resist pattern 26 as a projection 34. アモルファスカーボン膜をパターニングする際には、イオンミリングの代わりにプラズマアッシャーを用いてもよい。 When patterning the amorphous carbon film may be a plasma asher in place of ion milling. レジストパターン26を除去した状態を示すと、図13(b)のようになる。 When showing the state of removing the resist pattern 26 is as shown in FIG. 13 (b).

【0063】その後に、第1実施例と同様に、棒状体2 [0063] Then, similarly to the first embodiment, the rod-like body 2
3の分離溝23bにダイシングソーを入れて棒状体23 A third separation groove 23b put dicing saw rod-like body 23
を複数に分割し、これにより図13(c) に示すような磁気ヘッドのスライダ35の形状にする。 Was divided into a plurality, thereby the shape of the slider 35 of the magnetic head shown in FIG. 13 (c). そして、図14 Then, as shown in FIG. 14
(a) に示すように、アモルファスカーボンよりなる突起34の頂部に潤滑剤36を塗布する。 (A), the coating a lubricant 36 to the top of the protrusion 34 of amorphous carbon. 潤滑剤36としては、アモルファスカーボンに対して固着性の良いベンゼン環を有するフッ素系潤滑剤、例えばモンテカチーニ社のフォンブリンAM TMを用いることが好ましい。 As the lubricant 36, a fluorine-based lubricant having a benzene ring sticking and against the amorphous carbon, for example, it is preferable to use the Montecatini Co. Fomblin AM TM.

【0064】なお、フッ素系潤滑剤を塗布した後に紫外線を照射することにより、潤滑剤とアモルファスカーボンの固着性をさらに増す。 [0064] Incidentally, by irradiating ultraviolet after coating a fluorine-based lubricant, further increase the adherence of the lubricant and the amorphous carbon. 例えば、突起34上にフッ素系潤滑剤を5nmの厚さに形成した後に、波長185nm、 For example, after forming a fluorine-based lubricant on the projection 34 to a thickness of 5 nm, the wavelength 185 nm,
エネルギー1mW/cm 2の紫外線をフッ素系潤滑剤に照射すると突起34の頂部には厚さ3nmの固着層が形成される。 Pinned layer having a thickness of 3nm to the top of the projection 34 and the ultraviolet energy 1 mW / cm 2 irradiated to the fluorine-based lubricant is formed.

【0065】以上のように突起34の頂部に塗布された潤滑剤36は、突起34の表面エネルギーを低下させる。 [0065] The above as applied to the top of the projection 34 lubricant 36 reduces the surface energy of the projection 34. このため、図14(b) に示すように、スライダ35 Therefore, as shown in FIG. 14 (b), the slider 35
の突起34が磁気ディスク30の保護膜31cの上に乗っている状態で、突起34は磁気ディスク30の保護膜30c上の潤滑層31を破断することはなく、その潤滑層31の下の保護膜30cに部分的に接触する固体接触が生じ難くなり、また、突起34と磁気ディスク30の保護膜31の凝着力が低下する。 In a state where the protrusion 34 is riding on the protective film 31c of the magnetic disk 30, the projection 34 is not able to break the lubricant layer 31 on the protective film 30c of the magnetic disk 30, the protection under lubricating layer 31 partially solid contact is unlikely to occur in contact with the membrane 30c, also, adhesion force of the protective film 31 of the projections 34 and the magnetic disk 30 is reduced. この結果、突起34と磁気ディスク30のそれぞれの磨耗や突起34と磁気ディスク30の吸着が抑制される。 As a result, the adsorption of the respective wear and projections 34 and the magnetic disk 30 of the projections 34 and the magnetic disk 30 is inhibited.

【0066】なお、アモルファスカーボンの代わりに酸化シリコン(SiO 2 )、ジルコニア(ZrO 2 )のような酸化物薄膜を保護膜33として使用し、この保護膜33をパターニグして突起34を形成してもよい。 [0066] Incidentally, instead of the silicon oxide of the amorphous carbon (SiO 2), an oxide thin film such as a zirconia (ZrO 2) is used as a protective film 33, to form the projection 34 by Patanigu the protective film 33 it may be. このような酸化物薄膜からなる突起34の頂部に塗布される潤滑剤3 Lubricant 3 to be applied to the top of the projection 34 made of such an oxide film
6としては、末端に水酸基を有するフッ素系潤滑剤、例えばモンテカチーニ社のフォブリンZDOL TMを使用する方が固着性が良く、好ましい。 The 6, fluorine-based lubricant terminated with a hydroxyl group, for example, who uses the Montecatini Co. Foburin ZDOL TM is good adherence preferred.

【0067】ところで、カーボン製の突起34の頂部に潤滑剤を塗布せずに、その表面をフッ素化することによって突起34の表面エネルギーが低減される。 [0067] Incidentally, without applying a lubricant to the top of the carbon-made projection 34, the surface energy of the projection 34 is reduced by fluorinating the surface. 突起34 Projection 34
を構成するカーボンとしては、例えばジフェニルエタンをモノマーとする水素化カーボンを使用する。 The carbon constituting the, for example, to use the hydrogenated carbon of the diphenylethane and monomers. この水素化カーボンは、スパッタリング又はプラズマCVDにより形成し、護膜33として使用する。 The hydrogenated carbon is formed by sputtering or plasma CVD, for use as Mamorumaku 33. そして、この保護膜33をパターニングして突起34を形成した後に、突起34の表面を例えばプラズマエッチング装置を使用してフッ素化する。 Then, after forming the projections 34 and patterning the protective film 33, fluorinated using the surface of the protrusion 34 for example a plasma etching apparatus. この場合のフッ素化の条件としては、 The conditions for the fluorination of this case,
例えばプラズマ発生パワーを300Wとし、フッ素化雰囲気を5Torrまで減圧し、その雰囲気中に四フッ化炭素(CF 4 )に流量5%で酸素(O 2 )を添加してなる混合ガスを導入して、処理時間は10分とした。 For example a plasma generation power is set to 300 W, reducing the pressure of the fluorinated atmosphere until 5 Torr, while introducing a mixed gas obtained by adding oxygen (O 2) at a flow rate 5% carbon tetrafluoride (CF 4) into the atmosphere , and the processing time was 10 minutes. 酸素の代わりにアルゴンを使用してもよい。 It may be used argon instead of oxygen.

【0068】そして、フッ素化を確認するために水の接触角を測定したところ、フッ素化前に接触角が52°と小さく、カーボン製の突起34の表面エネルギーが高いことがわかった。 [0068] Then, when the contact angle of water was measured to confirm the fluorination, the contact angle before the fluorination is as small as 52 °, it was found that higher surface energy of the carbon-made projection 34. 一方、フッ素化後には接触角が162 On the other hand, the contact angle after fluorination 162
°となり、カーボン製の突起34の表面エネルギーが低く、しかも撥水性が高くなっていることがわかった。 °, low surface energy of the carbon-made projection 34, moreover been found that the water repellency is high. なお、第6、第7実施例においても、磁気ディスク30を覆う潤滑層31を第1実施例のような厚さにしてもよい。 Incidentally, sixth, also in the seventh embodiment, it may be a lubricating layer 31 covering the magnetic disk 30 in the thickness as in the first embodiment. (第8実施例)図15は、本発明の第8実施例の磁気ディスク装置に使用されるスライダを示す平面図及び側面図である。 (Eighth Embodiment) FIG. 15 is a plan view and a side view showing the slider used in a magnetic disk device of the eighth embodiment of the present invention.

【0069】図15において符号41はAl 2 O 3 TiCよりなる磁気ヘッドのスライダで、そのうち磁気ディスク(磁気記録媒体)に対向する側の面には両側縁に沿ってストライプ状のレール面(空気軸受面)42が突出して形成されている。 [0069] reference numeral 41 in FIG. 15 is a slider of the magnetic head made of Al 2 O 3 TiC, of which striped rail surface along the opposite side edges in the surface facing the magnetic disk (magnetic recording medium) (Air bearing surface) 42 is formed to protrude. それらのレール面42において、空気流入端側には傾斜面43が形成され、更にその傾斜面43と平坦面44の境界にはそれらの面に沿って屈曲した第一の突起45が形成されている。 In their rail surface 42, the air inlet end side inclined surface 43 is formed, even at the boundary of the inclined surface 43 and the flat surface 44 is formed a first protrusion 45 that is bent along their surface there. また、レール面42のうち第一の突起45よりも空気流出端寄りの領域には、第一の突起45よりも平面の面積が広く第一の突起45と同じ高さの第二の突起46が形成されている。 Further, the first in the region of the air outflow end nearer the projection 45, the same height as the first protrusion 45 a large area of ​​the plane than the first protrusion 45 second protrusion 46 of the rail surface 42 There has been formed.

【0070】第一の突起45は平面が直径100μmの円形状で、第二の突起46は平面が200μmの円形状をしており、空気流入端側にある第一の突起45の面積が空気流出端側にある第二の突起46の面積の1/2以下となっている。 [0070] In the first projection 45 is a circular planar diameter 100 [mu] m, the second protrusion 46 has a plane 200μm circular, the area of ​​the first protrusion 45 in the air inflow end side air It has become a half or less of the area of ​​the second projection 46 on the outflow end side. スライダ41の空気流出端面には、磁気抵抗効果素子やスピンバルブ磁気抵抗効果素子のような磁気トランスジューサ47が形成されている。 The air outflow end surface of the slider 41, a magnetic transducer 47 such as a magnetoresistive element or a spin valve magneto-resistive element is formed. なお、 It should be noted that,
スライダ41は、第1実施例のように板バネによって支持される。 The slider 41 is supported by a plate spring as in the first embodiment.

【0071】以上のような構造の磁気ヘッドのスライダ41は、磁気ディスク(不図示)の回転の停止状態では磁気ディスク表面に接触している。 [0071] The slider 41 of the magnetic head having the structure described above is in contact with the magnetic disk surface in a stop state of rotation of the magnetic disk (not shown). 磁気ディスクの回転が開始すると、板バネ(不図示)に支持されたスライダ41は、流体潤滑による動圧空気軸受けの原理によって磁気ディスク面から浮上する。 When the rotation of the magnetic disk is started, the slider 41 supported by the leaf spring (not shown) floats from the magnetic disk surface by the principle of the dynamic pressure air bearing by the fluid lubrication. スライダ41は、空気流入端から空気流出端の順に浮上し、空気流入端の浮上が容易なほどスライダ41の全体が短時間で浮上する。 The slider 41 is floated from the air inflow end to the order of the air outflow end, overall more easy to floating of the air inflow end slider 41 flies in a short time.

【0072】空気流入端側の第一の突起45の平面の大きさをパラメータにして、磁気ディスク回転立ち上がり時間と摩擦力(磁気ディスクと突起の摩擦力)との関係を調べたところ、図16のような実験結果が得られた。 [0072] When by the size of the plane of the first projection 45 of the air inflow end to the parameter examined the relationship between the magnetic disk rotates rising time and the friction force (friction force of the magnetic disk and the projection), FIG. 16 the experimental results such as is obtained.
図16によれば、磁気ディスクの回転開始直後に摩擦力が最大となり、時間が経過するにつれて摩擦力が低下した。 According to FIG. 16, the frictional force immediately after start of rotation of the magnetic disk becomes the maximum, the frictional force is decreased as time elapses. また、空気流入端寄りの第一の突起の頂部の面積が小さいほど、摩擦力が小さく、摩擦力が最大となる時間が短くなった。 Further, as the area of ​​the top of the first projection of the air inlet end toward smaller, frictional force is small, the time the frictional force becomes maximum is shortened. これらの事実は、第一の突起45の頂部の面積が小さくなると、スライダ41と磁気ディスクとの吸着力が低減し、磁気ヘッドの浮上時間が短くなることを意味する。 These facts, the area of ​​the top of the first projection 45 is reduced, the suction force is reduced between the slider 41 and the magnetic disk, which means that floating time of the magnetic head is shortened.

【0073】また、第一の突起45はレール面42の平坦面44から傾斜面43に沿って緩やかに屈曲しているので、第一の突起45の周縁の角が磁気ディスクを引っかけて傷つけることがなく、第一の突起45自身や磁気ディスク面の損傷が防止される。 [0073] Further, since the first projection 45 is gently bent along the flat surface 44 of the rail surface 42 on the inclined surface 43, the corners of the periphery of the first projection 45 hurt Hook the magnetic disk without damage of the first projection 45 itself and the magnetic disk surface is prevented. ところで、空気流入端寄りの第二の突起46は第一の突起45に比べて磁気ディスクから離れる時間が遅いが、第二の突起46の頂部の面積は、第一の突起45よりも広いので機械的強度が高く破損しにくくなっている。 Meanwhile, the second protrusion 46 of the air inlet end toward the slower time away from the magnetic disk in comparison with the first protrusion 45, the area of ​​the top of the second projection 46, since wider than the first protrusion 45 mechanical strength is high and difficult to damage.

【0074】図15に示したスライダ41において、レール面42は保護膜で覆ってもよいし、また突起45, [0074] In the slider 41 shown in FIG. 15, to the rail surface 42 may be covered with a protective layer, also the protrusions 45,
46は、スライダ41と別な材料により形成してもよく、そのような構造のスライダを形成する工程を図17 46 may be formed by another material with the slider 41, FIG forming a slider of such structures 17
及び図18に基づいて簡単に説明する。 And briefly described with reference to FIG. 18. 図17は、スライダの空気流出端面から見た図、図18はスライダの側面図である。 Figure 17 is a view as seen from the air outflow end surface of the slider, FIG. 18 is a side view of the slider.

【0075】まず、第6実施例で説明したと同じように、Al 2 O 3 TiCなどよりなるウェハに磁気トランスジューサを形成した後に、ウェハを複数の棒状の基体に切断し、さらにその切断面をフォトリソグラフィー技術を用いて加工して図15に示すような傾斜面43を形成する。 [0075] First, in the same manner as described in the sixth embodiment, after forming the magnetic transducer to the wafer including, for example, Al 2 O 3 TiC, cutting the wafer into a plurality of rod-shaped base body, the further the cut surface processed to form an inclined surface 43 as shown in FIG. 15 by using the photolithography technique. 傾斜面43は、基体の一部を斜めからイオンミリングすることにより容易に形成される。 The inclined surface 43 is easily formed by ion milling the portions of the substrate from an oblique.

【0076】その後に、図17(a) 及び図18(a) に示すように、基体51の上に炭化シリコン(SiC )よりなる密着層52を3nm、DLC(ダイアモンドライクカーボン)よりなるレール面保護膜53を30nm、Si又はSi [0076] Then, as shown in FIG. 17 (a) and FIG. 18 (a), 3 nm adhesion layer 52 made of silicon carbide (SiC) on the substrate 51, the rail surface made of DLC (diamond like carbon) the protective film 53 30 nm, Si or Si
C よりなる中間膜54を3nm、DLCよりなるコンタクト膜54を30nmの厚さに形成する。 An intermediate layer 54 made of C 3 nm, to form a contact layer 54 made of DLC to a thickness of 30 nm. 続いて、コンタクト膜54上にレジストを塗布した後にレジストを露光、 Subsequently, a resist after the resist is coated on the contact layer 54 exposed,
現像することにより、図17(b) に示すようなレール面42を形成する領域覆うストライプ状のレジストパターン56を形成する。 Developed to form a stripe-shaped resist pattern 56 covering region forming the rail surface 42 as shown in FIG. 17 (b).

【0077】次いで、図17(c) に示すように、レジストパターン56に覆われない領域にあるコンタクト膜5 [0077] Then, as shown in FIG. 17 (c), the contact layer 5 in the region not covered with the resist pattern 56
5、中間膜54、レール面保護膜53、密着層52及び基体51上部を順次イオンミリングによるエッチングによって除去する。 5, the intermediate layer 54, the rail surface protective film 53, the adhesion layer 52 and is removed by etching by sequentially ion milling the base 51 top. これにより2つのレール面42を区分する凹部41aが形成されるとともに、スライダ毎に分割するための溝51aが形成される。 Thus with the recess 41a that separates the two rail surfaces 42 are formed, a groove 51a for dividing each slider is formed. この後にレジストパターン56を除去する。 Removing the resist pattern 56 after this.

【0078】次に、第二のレジストを塗布した後にこの第二のレジストを露光、現像することにより、図17 Next, exposing the second resist after applying the second resist, by development, FIG. 17
(d) 及び図18(b) に示すように、レール面42の傾斜面43と平坦面44の境界を含む領域に例えば直径10 (D) and 18 (b), the region, for example, diameter 10 that includes a boundary of the inclined surface 43 and the flat surface 44 of the rail surface 42
0μmの第一の円形レジストパターン57を形成するとともに、レール面42の傾斜面43を有しない端部寄りに例えば直径200μmの第二の円形レジストパターン58を形成する。 To form a first circular resist pattern 57 0 .mu.m, to form a second circular resist pattern 58 of a diameter 200μm to no end closer to the inclined surface 43 of the rail surface 42.

【0079】次に、図17(e) 及び図18(c) に示すように、コンタクト膜55のうち第一及び第二の円形レジストパターン57,58に覆われない部分を酸素プラズマによって除去すると、第一及び第二の円形レジストパターン57,58の下のコンタクト膜55は、上記した第一及び第二の突起45,46となる。 Next, as shown in FIG. 17 (e) and FIG. 18 (c), the the first and second circular resist not covered by the pattern 57 and 58 portions of the contact film 55 is removed by oxygen plasma , contact film 55 under the first and second circular resist pattern 57 and 58, the first and second projections 45 and 46 described above. この場合、炭化シリコン製の中間膜54は酸素プラズマによってエッチングされないので、レール面保護膜53の膜厚及び突起45,46の膜厚がほぼ均一になって寸法、形状が良好になり、歩留りが向上する。 In this case, since the silicon carbide manufactured by the intermediate layer 54 is not etched by oxygen plasma, the film thickness becomes substantially uniform dimensions of the film thickness and the projections 45, 46 of the rail surface protective film 53, the shape is improved, yield is improves.

【0080】この後に、分割用の溝51aに沿って基体51を分割すると、スライダの形成が完成する。 [0080] After this, when dividing the substrate 51 along the groove 51a for splitting, formation of the slider is completed. スライダのうちレール面42に沿った長さは2mm、2つのレール面42を含む方向の幅は1.6mmである。 Length along the rail surface 42 of the slider width direction including a 2 mm, 2 one rail surface 42 is 1.6 mm. なお、突起45,46をマスクにして中間膜54をパターニングすることにより、中間膜54を突起の一部にしてもよい。 Incidentally, by patterning the intermediate layer 54 and the projections 45 and 46 as a mask, it may be an intermediate film 54 in a part of the protrusion.
また、レール面42を覆う保護膜53を構成する材料は The material constituting the protective film 53 covering the rail surface 42
SiO 2 、Al 2 O 3 、Si、SiC であってもよい。 SiO 2, Al 2 O 3, Si, may be SiC.

【0081】ところで、上記したレール面上の突起の形成、厚さ、頂部の面積は、スライダの形状、傾斜面のテーパ角によって適宜変えることが必要である。 [0081] Incidentally, the formation of projections on the rail surface as described above, the thickness, the area of ​​the apex, the shape of the slider, it is necessary to appropriately changed by the tapered angle of the inclined surface. また、図15の二点鎖線で示すように、突起45,46及びレール面44をSiO 2 、Al 2 O 3 、Si、SiC 、DLC等の保護膜で覆ってもよい。 Further, as shown by a two-dot chain line in FIG. 15, SiO 2 the projections 45, 46 and rail surfaces 44, Al 2 O 3, Si , SiC, may be covered with a protective film of DLC or the like. さらに、空気流出端寄りの第二の突起46はいずれか1個あればよい。 Furthermore, the second protrusion 46 of the outflow end closer may if one or.

【0082】また、本実施例のスライダは、第1実施例のスライダの代わりに使用してもよい。 [0082] The slider of the present embodiment may be used instead of the slider of the first embodiment.

【0083】 [0083]

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、磁気ヘッドスライダのレール面に突起を設けるとともに、磁気記録媒体表面に塗布する潤滑剤の層の厚さをその突起の突出量よりも小さくかつ記録媒体の表面粗さより大きい厚さとしているので、その潤滑剤は、突起の側面を伝って突起の周辺で前記磁気ヘッドスライダのレール面に接することになり、突起の回りでの潤滑剤のメニスカスの半径が大きくなって磁気ヘッドスライダのレール面と磁気記録媒体面との吸着力をさらに低下することができる。 According to the present invention as described above, according to the present invention, provided with a projection on the rail surface of the magnetic head slider, the thickness of the layer of lubricant applied to the magnetic recording medium surface than the projection amount of the projection since a smaller and larger than the surface roughness of the recording medium thickness, the lubricant will be in contact with the rail surface of the magnetic head slider around the projections along the sides of the projections, the lubricant in the projection around can be the radius of the meniscus further decreases the adsorption force between the rail surface and the magnetic recording medium surface of the magnetic head slider increases. また、そのような厚さの潤滑剤は磁気記録媒体の面上で膜切れすることがなくなり、磁気記録媒体の移動の際に磁気記録媒体の面が磁気ヘッドスライダによって磨耗することを確実に防止できる。 Moreover, lubricants such thickness prevents the membrane breakage on the surface of the magnetic recording medium, reliably prevent the surface of the magnetic recording medium during the movement of the magnetic recording medium is worn by a magnetic head slider it can.

【0084】また、突起の側面とレール面の間に段差を形成しているので、段差によって潤滑剤が拡大し過ぎることが阻止され、吸着力の増加を防止できる。 [0084] Further, since the step is formed between the side surface and the rail surface of the projection, it is prevented that the lubricant is excessively enlarged by the step, thereby preventing an increase in suction force. また、突起の周辺のレール面に溝を形成しているので、潤滑剤が存在しないレール面が磁気記録媒体面から離れることが防止され、磁気ヘッドスライダに取付けられる磁気トランスジューサと磁気記録媒体面との距離が離れ過ぎることを防止できる。 Further, since a groove is formed in the rail plane around the protrusion, the rail surface having no lubricant is prevented from leaving from the magnetic recording medium surface, a magnetic transducer and a magnetic recording medium surface that is attached to the slider and it is possible to prevent the distance is too far.

【0085】また、突起の周辺にはテーパが形成されているので、潤滑剤を突起の側面を伝わり易くなる。 [0085] Further, since the periphery of the protrusions are formed taper becomes a lubricant easily transmitted sides of the protrusion. また、突起のクラウン量を1.27×10 -2 μm以下としているので、上記した潤滑剤のメニスカスを確実に形成することができる。 Further, since the crown amount of protrusion is set to 1.27 × 10 -2 μm or less, it is possible to reliably form a meniscus of lubricant above. また、突起は水又は油を弾く材料で形成しているので、水又は油からなる潤滑剤を使用する場合に、突起が磁気記録媒体から離れ易くなる。 Moreover, the projections since the formation of a material to play the water or oil, when using a lubricant consisting of water or oil, the projections are easily separated from the magnetic recording medium.

【0086】別の発明によれば、磁気ヘッドスライダのレール面上の突起に潤滑剤を塗布しているので、磁気ヘッドスライダの突起の表面エネルギーが低下し、突起による磁気ディスク表面の潤滑層の破断を生じにくくし、 According to [0086] Another aspect of the invention, since Lubricate projections on the rail surface of the magnetic head slider, and decreases the surface energy of the projection of the magnetic head slider, the lubricant layer of the magnetic disk surface by projection less likely to cause fracture,
磁気ヘッドスライダと磁気ディスクの固体接触を生じ難くし、これにより突起と磁気ディスクのそれぞれの磨耗を抑制できる。 Hardly give a solid contact between the magnetic head slider and the magnetic disk, thereby suppressing the respective wear of the projections and the magnetic disk. また、突起と磁気ディスクの凝着力が低下して、磁気記録媒体が回転する場合の負荷を軽減できる。 Further, it is possible to reduce the load when the adhesion force of the projections and the magnetic disk is reduced, the magnetic recording medium is rotated.

【0087】また、突起を覆う潤滑剤として、撥水性のあるフッ素系潤滑剤を使用しているので、突起の周辺で水分が凝集し難くなり、突起と磁気ディスクを吸着する力を低減できる。 [0087] Also, as a lubricant that covers the projections, the use of the fluorine-based lubricant with a water-repellent, moisture around the projection is not easily agglomerated, it can reduce the force for adsorbing projections and the magnetic disk. さらに、フッ素系潤滑剤を突起の上に塗布した後に、紫外線でフッ素系潤滑剤に照射しているので、潤滑剤の固着性を良くして耐久性を増すことができる。 Further, a fluorine-based lubricant was applied on the protrusion, since the irradiating a fluorine-based lubricant in the ultraviolet, it is possible to increase the durability and good adherence of the lubricant.

【0088】また、突起をカーボンによって形成する場合には表面をフッ素化するようにしたので、突起の表面エネルギーが低下し、突起による磁気ディスク表面の潤滑層の破断が生じにくくなり、これにより突起と磁気ディスクのそれぞれの磨耗を抑制できる。 [0088] Also, since so as to fluorinate the surface in the case of forming a projection by the carbon, the surface energy of the protrusions is lowered, it breaks the lubricating layer of the magnetic disk surface is less likely to occur due to the projections, thereby the protrusions and it can suppress the respective wear of the magnetic disk. また、突起と磁気ディスクの凝着力が低下して、磁気記録媒体が回転する場合の負荷を軽減できる。 Further, it is possible to reduce the load when the adhesion force of the projections and the magnetic disk is reduced, the magnetic recording medium is rotated. しかも、フッ化されたカーボンは撥水性があるので、突起の周辺で水分を凝集し難くできる。 Moreover, carbon is fluorinated because it is water-repellent, it is difficult to aggregate the water around the protrusion.

【0089】さらに別の発明によれば、磁気ヘッドスライダの1つのレール面のうち空気流入端寄りに第一の突起を形成するとともに、空気流出端寄りの領域に第一の突起よりも大きな第二の突起を形成している。 [0089] According to yet another aspect of the present invention, to form a first projection on the air inlet end toward one of one rail surface of the magnetic head slider, larger second than the first projections in the region of the trailing edge near forming a second projection. これにより、第一の突起が磁気記録媒体から浮き上がる時間が短くなり、しかも、磁気記録媒体との吸着力が低減するので、磁気記録媒体面との摩擦を小さくし且つ磁気ディスク回転初期時の磁気ヘッドスライダの浮き上を早くすることができる。 Thus, the first projection is less time raised from the magnetic recording medium, moreover, since the suction force of the magnetic recording medium is reduced, to reduce the friction between the magnetic recording medium surface and the magnetic disk rotates initial state magnetic it is possible to quickly float above the head slider.

【0090】これに対して、第二の突起は、第一の突起よりも磁気記録媒体から遅く浮き上がって磁気記録媒体との摩擦が第一の突起よりも大きくなるが、第二の突起を大きく形成して機械的強度を高くしているので、それ自身の破損を防止することがきる。 [0090] In contrast, the second projection is friction between late floated by a magnetic recording medium from the magnetic recording medium than the first projection is larger than the first projection, large second projection since formed to have high mechanical strength, wear preventing its own failure. また、第一の突起は、磁気ヘッドスライダのレール面のうち空気流入端の傾斜面と平坦面との境界に形成され、しかもその境界で傾斜面に沿って屈曲しているので、第一の突起の角により磁気記録媒体面を傷付けることを防止できる。 Further, the first projection is formed at the boundary between the inclined surface and the flat surface of the air inlet end of the rail surface of the magnetic head slider, and since bent along the inclined surface at the boundary, the first the corners of the projection can be prevented from damaging the magnetic recording medium surface.

【0091】さらに、レール面の上に形成されたコンタクト膜をパターニングして第一及び第二の突起を形成する場合に、そのコンタクト膜の下にエッチングストップ用の中間層を介在させているので、第一及び第二の突起のバラツキが無くなり、磁気ヘッドスライダの歩留りを向上することができる。 [0091] Further, in the case of forming the first and second projections by patterning a contact layer formed on the rail surface, since the intermediate layer for the etching stop is interposed below the contact layer , there is no variation in the first and second protrusions, it is possible to improve the yield of the magnetic head slider.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】図1は、本発明の第1実施例に使用する磁気ヘッドのスライダを示す斜視図である。 FIG. 1 is a perspective view showing the slider of the magnetic head used in a first embodiment of the present invention.

【図2】図2は、本発明の第1実施例の磁気ディスク装置の磁気ヘッドのスライダと磁気記録媒体を部分拡大した断面図である。 Figure 2 is a cross-sectional view of the slider and the magnetic recording medium was partially enlarged magnetic head of a magnetic disk device of the first embodiment of the present invention.

【図3】図3は、本発明の第1実施例におけるスライダと磁気記録媒体の静摩擦力と潤滑層の膜厚の関係を示す特性図である。 Figure 3 is a characteristic diagram showing the thickness of the relationship between the first static friction force of the slider and the magnetic recording medium of Example and the lubricating layer of the present invention.

【図4】図4は、突起のない従来の磁気ヘッドスライダと磁気記録媒体との接触状態を説明する断面図である。 Figure 4 is a cross-sectional view illustrating a contact state between a conventional magnetic head slider and the magnetic recording medium having no projections.

【図5】図5は、本発明の第2実施例の磁気ディスク装置の磁気ヘッドのスライダと磁気記録媒体を部分拡大した断面図である。 Figure 5 is a cross-sectional view of the slider and the magnetic recording medium was partially enlarged magnetic head of a magnetic disk device of the second embodiment of the present invention.

【図6】図6は、本発明の第3実施例の磁気ディスク装置の磁気ヘッドのスライダと磁気記録媒体を部分拡大した断面図である。 Figure 6 is a cross-sectional view of the slider and the magnetic recording medium was partially enlarged magnetic head of a magnetic disk device of the third embodiment of the present invention.

【図7】図7は、本発明の第4実施例の磁気ディスク装置の磁気ヘッドのスライダと磁気記録媒体を部分拡大した断面図である。 Figure 7 is a cross-sectional view of the slider and the magnetic recording medium was partially enlarged magnetic head of a magnetic disk device of the fourth embodiment of the present invention.

【図8】図8は、本発明の第5実施例の磁気ディスク装置の磁気ヘッドのスライダと磁気記録媒体を部分拡大した断面図である。 Figure 8 is a cross-sectional view of the slider and the magnetic recording medium was partially enlarged magnetic head of a magnetic disk device of the fifth embodiment of the present invention.

【図9】図9は、本発明の第6実施例の磁気ヘッドのスライダの製造工程を示す斜視図(その1)である。 Figure 9 is a sixth embodiment perspective view of a slider of the manufacturing process of the magnetic head of the present invention (Part 1).

【図10】図10は、本発明の第6実施例の磁気ヘッドのスライダの製造工程を示す斜視図(その2)である。 Figure 10 is a perspective view showing the slider of the manufacturing process of the magnetic head of the sixth embodiment of the present invention (Part 2).

【図11】図11(a) は、本発明の第6実施例の磁気ヘッドのスライダの部分拡大断面図であり、図11(b) [11] FIG. 11 (a) is a partially enlarged cross-sectional view of the slider of the magnetic head of the sixth embodiment of the present invention, and FIG. 11 (b)
は、本発明の第6実施例の磁気ヘッドのスライダの突起と磁気記録媒体との接触状態を示す拡大断面図である。 Is an enlarged sectional view showing a contact state between the sixth embodiment of the magnetic head slider projections and the magnetic recording medium of the present invention.

【図12】図12は、突起の無い従来装置に係る磁気ヘッドのスライダと磁気記録媒体との接触状態を示す拡大図である。 Figure 12 is an enlarged view showing a contact state between the slider and the magnetic recording medium of the magnetic head according to a conventional device having no projections.

【図13】図13は、本発明の第7実施例の磁気ヘッドのスライダの製造工程を示す斜視図である。 Figure 13 is a perspective view showing the slider of the manufacturing process of the magnetic head of the seventh embodiment of the present invention.

【図14】図14(a) は、本発明の第7実施例の磁気ヘッドのスライダの部分拡大断面図であり、図14(b) [14] FIG. 14 (a) is a partially enlarged cross-sectional view of the slider of the magnetic head of the seventh embodiment of the present invention, and FIG. 14 (b)
は、本発明の第7実施例の磁気ヘッドのスライダの突起と磁気記録媒体との接触状態を示す拡大断面図である。 Is an enlarged sectional view showing a contact state of the seventh embodiment of the magnetic head slider projections and the magnetic recording medium of the present invention.

【図15】図15は、本発明の第8実施例の磁気ヘッドのスライダを示す平面図及び側面図である。 Figure 15 is a plan view and a side view showing the slider of the magnetic head of the eighth embodiment of the present invention.

【図16】図16は、磁気ヘッドのスライダに形成された突起の大きさをパラメータにして、スライダ・磁気記録媒体間の摩擦力と立ち上がり時間との関係を示す図である。 Figure 16 is to the size of the protrusion formed on the slider of the magnetic head in the parameter is a diagram showing the relationship between the friction force and the rise time of between slider magnetic recording medium.

【図17】図17は、本発明の第8実施例の磁気ヘッドのスライダの製造工程を示す断面図(その1)である。 Figure 17 is a eighth embodiment sectional view showing the slider of the manufacturing process of the magnetic head of the present invention (Part 1).

【図18】図18は、本発明の第8実施例の磁気ヘッドのスライダの製造工程を示す断面図(その2)である。 Figure 18 is a sectional view showing the slider of the manufacturing process of the magnetic head of the eighth embodiment of the present invention (Part 2).

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1 磁気ヘッドのスライダ 2 板状のバネ 3 レール面 4 突起 5 傾斜面 6 磁気トランスジューサ 7 磁気ディスク(磁気記録媒体) 8、18 潤滑層 9 段差 15 溝 16 テーパ 24 レール面 25 斜面 27 突起 28 スライダ 33 保護膜 34 突起 35 スライダ 41 スライダ 42 レール面 43 傾斜面 44 平坦面 45、46 突起 51 基体 52 密着層 53 レール面保護膜 54 中間膜 55 コンタクト膜 56、57、58 レジストパターン 1 of the magnetic head slider 2 plate-like spring 3 rail surface 4 projection 5 inclined surface 6 a magnetic transducer 7 magnetic disk (magnetic recording medium) 8,18 lubricating layer 9 step 15 the groove 16 tapered 24 rail surface 25 slopes 27 projection 28 slider 33 protective film 34 projection 35 slider 41 slider 42 rail surface 43 inclined surface 44 flat surface 45, 46 projection 51 base 52 adhesion layer 53 rail surface protective film 54 interlayer 55 contact film 56, 57, 58 resist pattern

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山本 尚之 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 横畑 徹 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 米岡 誠二 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 豊口 卓 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 ────────────────────────────────────────────────── ─── of the front page continued (72) inventor Yamamoto, Naoyuki Kawasaki City, Kanagawa Prefecture Nakahara-ku, Kamikodanaka 1015 address Fujitsu within Co., Ltd. (72) inventor Yokobatake Toru Kawasaki City, Kanagawa Prefecture Nakahara-ku, Kamikodanaka 1015 address Fujitsu within Co., Ltd. ( 72) inventor Seiji Yoneoka Kanagawa Prefecture, Nakahara-ku, Kawasaki, Kamikodanaka 1015 address Fujitsu within Co., Ltd. (72) inventor Taku Toyoguchi, Kanagawa Prefecture, Nakahara-ku, Kawasaki, Kamikodanaka 1015 address Fujitsu within Co., Ltd.

Claims (28)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】磁気記録媒体と、 前記磁気記録媒体の面に対向する側に突出して形成された浮上力発生用のレール面と該レール面上に形成された突起を有し、かつ磁気トランスジューサが形成された磁気ヘッドスライダと、 前記磁気ヘッドスライダが前記記録媒体に接触した状態で、前記突起の突出量よりも小さくかつ前記記録媒体の表面粗さより大きい厚さで前記磁気記録媒体上に形成された潤滑剤の層とを有することを特徴とする磁気ディスク装置。 And 1. A magnetic recording medium having the magnetic recording medium of the rail surface for projecting lifting force formed generated on the side opposite to the surface and the projections formed on the rail surface, and a magnetic transducer forming a magnetic head slider but formed in the state where the magnetic head slider is in contact with the recording medium, said magnetic recording medium on the surface roughness greater than the thickness of the small and the recording medium than the projection amount of the projection magnetic disk apparatus characterized by having an a layer of lubricant.
  2. 【請求項2】前記潤滑剤の層は、前記突起の側面を伝って前記突起の周辺で前記磁気ヘッドスライダのレール面に到達していることを特徴とする請求項1記載のディスク装置。 Layer wherein said lubricant is a disk apparatus according to claim 1, wherein the along the sides of the projection has reached the rail surface of the magnetic head slider in the vicinity of the protrusion.
  3. 【請求項3】前記レール面において前記突起の周辺には、突出量が前記突起の突出量よりも小さい段差が形成されていることを特徴とする請求項1記載の磁気ディスク装置。 The periphery of the projection 3. A said rail surface, the magnetic disk apparatus according to claim 1, wherein a small step is formed than the amount of projection of the protrusion amount is the projection.
  4. 【請求項4】前記レール面のうち前記突起の周辺には溝が形成されていることを特徴とする請求項1記載の磁気ディスク装置。 4. A magnetic disk apparatus according to claim 1, characterized in that the groove is formed around the projection of the rail surface.
  5. 【請求項5】前記突起の周辺には、前記レール面に近づくほど広くなるテーパが形成されていることを特徴とする請求項1記載の磁気ディスク装置。 5. Surrounding the protrusion, the magnetic disk apparatus according to claim 1, wherein the more widely a tapered approaching the rail surface is formed.
  6. 【請求項6】前記突起の突出量は、前記磁気記録媒体の面の中心線平均粗さの値の2倍以上であることを特徴とする請求項1、3、4又は5記載の磁気ディスク装置。 Projecting amount of wherein said projections claim 1,3,4 or 5, wherein the magnetic disk, wherein said at least 2 times the center line average roughness values ​​of the surface of the magnetic recording medium apparatus.
  7. 【請求項7】前記潤滑層は、前記磁気記録媒体の表面の中心線平均粗さの値以上であることを特徴とする請求項1、3、4又は5記載の磁気ディスク装置。 Wherein said lubricating layer is a magnetic disk apparatus according to claim 1, 3, 4 or 5, wherein the at magnetic recording medium surface center line average roughness of greater than or equal to the.
  8. 【請求項8】前記突起のクラウン量は1.27×10 -2 8. crown amount of the projection is 1.27 × 10 -2
    μm以下であることを特徴とする請求項1、3、4又は5記載の磁気ディスク装置。 The magnetic disk apparatus according to claim 1, 3, 4 or 5, wherein a μm or less.
  9. 【請求項9】前記突起の頂部の総面積は、前記レール面の面積の10%以下であることを特徴とする請求項1、 9. The total area of ​​the top of the projection, according to claim 1, characterized in that more than 10% of the area of ​​the rail surface,
    3、4又は5記載の磁気ディスク装置。 3, 4 or 5 a magnetic disk apparatus according.
  10. 【請求項10】前記突起は、水又は油を弾く材料で形成されていることを特徴とする請求項1、3、4又は5記載の磁気ディスク装置。 Wherein said projections, magnetic disk drive according to claim 1, 3, 4 or 5, wherein a formed of a material to play the water or oil.
  11. 【請求項11】前記突起の上には、潤滑剤が塗布されていることを特徴とする請求項1、3、4又は5記載の磁気ディスク装置。 Wherein said on the protrusions, the magnetic disk apparatus according to claim 1, 3, 4 or 5, wherein the lubricant is applied.
  12. 【請求項12】前記突起は1つの前記レール面の両端寄りに2つ形成され、空気流入端側の該突起は空気流出端側の該突起よりも面積が小さいことを特徴とする請求項1、3、4又は5記載の磁気ディスク装置。 12. The method of claim 11, wherein projections are two formed near both ends of one of the rail surfaces, according to claim 1 protrusion of the air inflow end side, wherein the area is smaller than the protrusion of the air outflow end , 3, 4 or 5 a magnetic disk apparatus according.
  13. 【請求項13】磁気ヘッドスライダのうち磁気記録媒体に対向する側に形成された浮上力発生用のレール面と、 13. A rail surface for floating force generating formed on the side facing the magnetic recording medium of the magnetic head slider,
    該レール面上に形成され且つ頂部が潤滑剤に覆われた突起を備えた磁気ヘッドスライダを有する磁気ディスク装置。 A magnetic disk device having a magnetic head slider having a projection and the top is formed on the rail surface is covered with lubricant.
  14. 【請求項14】前記突起はアモルファスカーボンからなり、前記潤滑剤は末端にベンゼン環を有するフッ素系の潤滑剤であることを特徴とする請求項13に記載の磁気ディスク装置。 14. The projection is made of amorphous carbon, a magnetic disk apparatus according to claim 13, wherein the lubricant is a lubricant of a fluorine system having a benzene ring at the terminal.
  15. 【請求項15】前記突起は酸化物よりなり、前記潤滑剤は末端に水素基を有するフッ素系の潤滑剤であることを特徴とする請求項13に記載の磁気ディスク装置。 15. The projection is made of oxide, the lubricant magnetic disk apparatus according to claim 13, which is a fluorine-based lubricant with the terminal hydrogen groups.
  16. 【請求項16】磁気ヘッドスライダのうち磁気記録媒体に対向する側に形成された浮上力発生用のレール面の上に突起を形成する工程と、 前記突起に潤滑剤を塗布する工程と、 前記潤滑剤に紫外線を照射して前記潤滑剤を前記突起に固着する工程とを有することを特徴とする磁気ディスク装置の製造方法。 A step of 16. forming a projection on the rail surface for the lift force generation formed on the side facing the magnetic recording medium of the magnetic head slider, comprising the steps of applying a lubricant to said protrusion, said method for manufacturing a magnetic disk device characterized by a step of fixing by irradiation with ultraviolet rays lubricant the lubricant to said protrusion.
  17. 【請求項17】磁気ヘッドスライダのうち磁気記録媒体に対向する側に形成された浮上力発生用のレール面と、 17. A rail surface for floating force generating formed on the side facing the magnetic recording medium of the magnetic head slider,
    該レール面上に形成され且つ表面がフッ素化されたカーボンよりなる突起を備えた磁気ヘッドスライダを有する磁気ディスク装置。 A magnetic disk device having a magnetic head slider having a projection and a surface formed on the rail surface is formed of fluorinated carbon.
  18. 【請求項18】磁気ヘッドスライダのうち磁気記録媒体に対向する側に形成された浮上力発生用のレール面の上に水素化カーボンよりなる突起を形成する工程と、 アルゴンとフッ化炭素を含む混合ガスを用いて前記突起表面をフッ素化する工程とを有することを特徴とする磁気ディスク装置の製造方法。 18. A process for forming a projection made of hydrogenated carbon on the rail surface for the lift force generation formed on the side facing the magnetic recording medium of the magnetic head slider, including argon and fluorocarbon method for manufacturing a magnetic disk device characterized by a step of fluorinating the projection surface by using a mixed gas.
  19. 【請求項19】磁気記録媒体の面に対向する側に突出して形成された浮上力発生用のレール面と、該レール面上の空気流入端側に形成された第一の突起と、該レール面上の空気流出端側に前記第一の突起より面積が広く形成された第二の突起を備えた磁気ヘッドスライダを有することを特徴とする磁気ディスク装置。 19. A rail surface for magnetic recording levitation force to protrude on the opposite side is formed on the surface of the medium occurs, a first projection formed on the air inflow end side on the rail surface, the rail magnetic disk apparatus characterized by having a magnetic head slider having a second projection area than the first projection on the air outflow end side on the surface are widely formed.
  20. 【請求項20】前記レール面の空気流入端には傾斜面が形成され、前記第一の突起の一部は該傾斜面にはみ出して該傾斜面に沿って屈曲して形成されていることを特徴とする請求項19に記載の磁気ディスク装置。 20. inclined surface is formed at the air inlet end of the rail surface, that part of the first protrusion is formed by bending along the inclined surface protrudes from the inclined part the magnetic disk apparatus according to claim 19, wherein.
  21. 【請求項21】前記第一及び第二の突起は、前記レール面に形成された薄膜から形成されていることを特徴とする請求項20記載の磁気ディスク装置。 21. The first and second protrusions, magnetic disk drive according to claim 20, wherein the formed thin film formed on the rail surface.
  22. 【請求項22】前記第一及び第二の突起を構成する薄膜は二層構造であることを特徴とする請求項21記載の磁気ディスク装置。 22. A magnetic disk apparatus according to claim 21, wherein the thin film constituting the first and second protrusions is a two-layer structure.
  23. 【請求項23】前記第一及び第二の突起は、前記レール面を覆う保護膜の上に形成されていることを特徴とする請求項20記載の磁気ディスク装置。 23. The first and second protrusions, magnetic disk drive according to claim 20, wherein the formed on the protective film covering the rail surface.
  24. 【請求項24】前記第一の突起、前記第二の突起及び前記レール面は、保護膜によって覆われていることを特徴とする請求項20記載の磁気ディスク装置。 24. The first protrusion, the second protrusion and the rail surface, the magnetic disk apparatus according to claim 20, wherein the is covered with a protective film.
  25. 【請求項25】磁気ディスクのスライダを構成する基板上にレール面保護膜とコンタクト膜を順に形成する工程と、 前記コンタクト膜、前記レール面保護膜及び前記基板の上部までをパターニングして凹部を形成するとともに、 And 25. forming a rail surface protective film and the contact layer on a substrate constituting the slider of a magnetic disk in order, the contact layer, the recesses are patterned to the top of the rail surface protective film and the substrate along with the form,
    該凹部の両側に突出した前記基板の上面をレール面とする工程と、 前記レール面の上に残存した前記コンタクト膜をパターニングすることにより、前記レール面の空気流入端寄りに前記コンタクト膜からなる第一の突起を形成するとともに、前記レール面の空気流出端寄りに該第一の突起よりも面積の大きな前記コンタクト膜からなる第二の突起を形成する工程を有することを特徴とする磁気ディスク装置の製造方法。 A step of the upper surface of the substrate projecting at both sides of the recess and the rail surface, by patterning the contact layer remaining on the rail surface, consisting of the contact layer to the air inflow end side of the said rail surface to form a first projection, a magnetic disk characterized by having a step of forming a second projection made of large the contact layer of the area than the projection of the first air outflow end side of the said rail surface manufacturing method of the device.
  26. 【請求項26】前記コンタクト膜はダイアモンドライクカーボンからなり、前記レール面保護膜は酸化シリコン、アルミナ、シリコン、炭化シリコン、ダイアモンドライクカーボンからなることを特徴とする請求項25に記載の磁気ディスク装置の製造方法。 26. The method of claim 25, wherein the contact layer is made of diamond-like carbon, the rail surface protective film of silicon oxide, alumina, silicon, silicon carbide, magnetic disk drive according to claim 25, characterized in that it consists of diamond-like carbon the method of production.
  27. 【請求項27】前記コンタクト膜と前記レール面保護膜の間には、前記コンタクト膜をパターニングして第一及び第二の突起を形成する際に使用するエッチャントによってエッチングされない中間膜が形成されていることを特徴とする請求項25記載の磁気ディスク装置の製造方法。 The 27. During the contact layer and the rail surface protective layer, the contact layer is the intermediate layer is formed that is not etched by the patterned etchant used in forming the first and second projections method for manufacturing a magnetic disk apparatus according to claim 25, wherein the are.
  28. 【請求項28】前記第一及び第二の突起は、ダイヤモンドライクカーボンからなり、前記中間膜はシリコン、炭化シリコンからなることを特徴とする請求項27記載の磁気ディスク装置の製造方法。 28. The first and second projections are made of diamond-like carbon, it said intermediate layer is silicon, a manufacturing method of a magnetic disk apparatus according to claim 27, wherein the formed of silicon carbide.
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