JPH08203190A - Contact type magnetic disk device - Google Patents

Contact type magnetic disk device

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JPH08203190A
JPH08203190A JP1135595A JP1135595A JPH08203190A JP H08203190 A JPH08203190 A JP H08203190A JP 1135595 A JP1135595 A JP 1135595A JP 1135595 A JP1135595 A JP 1135595A JP H08203190 A JPH08203190 A JP H08203190A
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magnetic disk
contact
head slider
disk device
contact pad
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Akinobu Sato
明伸 佐藤
Masahiro Yanagisawa
雅広 柳沢
Masaru Ajiki
賢 安食
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NEC Corp
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Abstract

PURPOSE: To obtain a contact type magnetic disk device which suppresses the jumping of magnetic head slider, does not wear and damage a magnetic disk medium and has high reliability. CONSTITUTION: This contact type magnetic disk device has an electromagnetic transducing element 1 at this front end and has a contact pad 4. This contact pad 4 is mounted at a magnetic head slider 2 via a damper layer 3. The contact pad including the electromagnetic transducing element 1 may be arranged forward in the progressing direction of a magnetic disk medium and the two contact pads without contg. the electromagnetic transducing element 1 may be arranged backward in parallel. The hardness of the damper layer 3 may be specified to be 1 to 10GPa and a fluororesin, porous SiO2 and ZrO2 may be used for the material thereof and further, the mass of the contact pad 4 may be confined to <=0.1g. As the result, the impact force at the time of contact of the contact pads and the magnetic disk medium is relieved and the wear and damage by a magnetic head slider are lessened. The contact type magnetic disk device having the high durability and reliability is thus obtd.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、接触型磁気ディスク装
置に関し、特に、磁気ヘッドスライダが磁気ディスク媒
体に接触摺動しながら記録再生を行う接触型磁気ディス
ク装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a contact type magnetic disk device, and more particularly to a contact type magnetic disk device for recording and reproducing while a magnetic head slider slides in contact with a magnetic disk medium.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、情報記憶ファイルの分野におい
て、高記録密度化が着実に向上している。このため、磁
気ディスク装置では、情報の書き込み・読み出しを行う
磁気ヘッドと情報を保持している磁気ディスク媒体との
間隙をより小さくすることが、高記録密度化の重要な要
素の1つとなっている。ところで、空気軸受面を形成し
た磁気ヘッドスライダを用いた浮上型磁気ディスク装置
に関しては、磁気ディスク媒体に対する磁気ヘッドスラ
イダの衝撃を緩和し、磁気ディスク媒体の機械的損傷を
防止するために、磁気ディスク媒体にダンパー層を設け
ることが知られている(例えば、特開昭59−2297
43号公報,特開昭60−195738号公報,特開昭
62−26622号公報,特開昭62−287415号
公報,特開昭62−289913号公報,特開平3−1
7814号公報)。
2. Description of the Related Art In recent years, high recording density has been steadily improved in the field of information storage files. Therefore, in the magnetic disk device, it is one of the important factors for increasing the recording density to make the gap between the magnetic head for writing / reading information and the magnetic disk medium holding the information smaller. There is. By the way, in a floating magnetic disk device using a magnetic head slider having an air bearing surface, in order to reduce the impact of the magnetic head slider on the magnetic disk medium and prevent mechanical damage to the magnetic disk medium, It is known to provide a damper layer on the medium (for example, JP-A-59-2297).
No. 43, No. 60-195738, No. 62-26622, No. 62-287415, No. 62-289913, and No. 3-1.
7814 publication).

【0003】一方、磁気ヘッドスライダと磁気ディスク
媒体との間隔を小さくするために、上述したような浮上
型磁気ディスク装置に代って、磁気ヘッドスライダが、
磁気ディスク媒体面に接触摺動しながら記録再生を行
う、いわゆる、接触型磁気ディスク装置が開発されてい
る(例えば、H.Hamilton:Journal of Magnetic Society
of Japan, Vol.15,Supplement No.S2 (1991) 483 、お
よび特開平5−508808号公報)。
On the other hand, in order to reduce the distance between the magnetic head slider and the magnetic disk medium, a magnetic head slider is used instead of the above-mentioned floating magnetic disk device.
A so-called contact-type magnetic disk device has been developed which performs recording / reproduction while sliding on a surface of a magnetic disk medium (for example, H. Hamilton: Journal of Magnetic Society).
of Japan, Vol.15, Supplement No. S2 (1991) 483, and JP-A-5-508808).

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の浮上型
磁気ディスク装置では、磁気ヘッドスライダと磁気ディ
スク媒体との間隔をゼロにすることはできない。一方、
接触型磁気ディスク装置では、磁気ヘッドスライダが磁
気ディスク媒体面上で跳躍するのを防ぐ場合に、磁気ヘ
ッドスライダの押し付け荷重を大きくしなければならな
いが、そうすると、磁気ヘッドおよび磁気ディスク媒体
が摩耗損傷する危険性がある。また、摩耗損傷を防ぐた
めには、磁気ヘッドスライダの押し付け荷重を小さくし
なければならなず、相反する条件の中で、跳躍の抑制お
よび摩耗損傷の低減とを同時に満たす磁気ヘッドスライ
ダが必要となる。
In the above-described conventional floating type magnetic disk device, the distance between the magnetic head slider and the magnetic disk medium cannot be zero. on the other hand,
In the contact-type magnetic disk device, in order to prevent the magnetic head slider from jumping on the surface of the magnetic disk medium, it is necessary to increase the pressing load of the magnetic head slider, which causes wear and damage to the magnetic head and the magnetic disk medium. There is a risk of Further, in order to prevent wear damage, the pressing load of the magnetic head slider must be reduced, and under a contradictory condition, a magnetic head slider that simultaneously satisfies jump suppression and wear damage reduction is required. .

【0005】この跳躍の抑制および摩耗損傷の低減に関
しては、浮上型磁気ディスク装置に用いられている磁気
ディスク媒体のように、ダンパー層または衝撃緩和層な
どと呼ばれる緩衝層を設けることは、磁気ディスク媒体
の機械的損傷を防止する上で効果はあるが、接触型磁気
ディスク装置の課題として挙げられる跳躍の抑制と摩耗
損傷の低減とを同時に満たせないという欠点がある。
In order to suppress the jump and reduce the wear damage, it is necessary to provide a buffer layer called a damper layer or a shock absorbing layer as in a magnetic disk medium used in a floating magnetic disk device. Although it is effective in preventing mechanical damage to the medium, it has a drawback in that it is not possible to simultaneously satisfy the problems of the contact-type magnetic disk drive such as suppression of jump and reduction of wear damage.

【0006】本発明の目的は、このような問題点を解決
した高記録密度,高信頼性の接触型磁気ディスク装置を
提供することにある。
An object of the present invention is to provide a contact type magnetic disk device having a high recording density and a high reliability which solves the above problems.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明の接触型磁気ディ
スク装置は、記録再生を行う電磁変換素子を先端部に形
成しかつ磁気ディスク媒体に接触摺動する接触パッド
と、この接触パッドを装着する磁気ヘッドスライダと、
この磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッドスライダ
支持機構とを備える接触型磁気ディスク装置において、
前記磁気ヘッドスライダと前記接触パッドとの間にダン
パー層を有すること特徴とする。
SUMMARY OF THE INVENTION A contact type magnetic disk device of the present invention is provided with a contact pad having an electromagnetic conversion element for recording / reproducing formed at its tip and slidingly contacting with a magnetic disk medium, and mounting the contact pad. A magnetic head slider,
In a contact-type magnetic disk device including a magnetic head slider support mechanism that supports this magnetic head slider,
A damper layer may be provided between the magnetic head slider and the contact pad.

【0008】また、前記接触パッドが3つの接触パッド
からなり、前記電磁変換素子を含む1つの接触パッドを
前記磁気ディスク媒体の進行方向に対して前方に配置
し、さらに前記電磁変換素子を含まない2つの接触パッ
ドを前記磁気ディスク媒体の進行方向に対して後方に並
列に配置してなることを特徴とする。
Further, the contact pad comprises three contact pads, one contact pad including the electromagnetic conversion element is arranged in front of the traveling direction of the magnetic disk medium, and the electromagnetic conversion element is not included. Two contact pads are arranged in parallel rearward with respect to the traveling direction of the magnetic disk medium.

【0009】さらに、前記ダンパー層の硬度が、1〜1
0GPaであってもよく、前記ダンパー層の材質が、フ
ッ素系樹脂,ポーラス(Porous:多孔質の)SiO2
しくはポーラスZrO2 のいずれか1つからなっていて
もよく、また、前記接触パッドの質量が、0.1g以下
であってもよい。
Further, the hardness of the damper layer is 1 to 1
It may be 0 GPa, and the material of the damper layer may be made of any one of fluororesin, porous SiO 2 and porous ZrO 2 . The mass may be 0.1 g or less.

【0010】[0010]

【作用】磁気ヘッド先端に形成された接触パッドと磁気
ヘッドスライダとの間にダンパー層を設けることによ
り、接触パッドと磁気ディスク媒体とが接触することに
よって生じる衝撃力を緩和することができるが、衝撃力
は、衝突する際の速度の2乗と衝撃力を受けて移動する
質量との積に比例するため、この質量を低減することに
より衝撃力を効率よく緩和することができる。
By providing the damper layer between the contact pad formed at the tip of the magnetic head and the magnetic head slider, the impact force generated by the contact between the contact pad and the magnetic disk medium can be mitigated. Since the impact force is proportional to the product of the square of the velocity at the time of collision and the mass that moves by receiving the impact force, the impact force can be efficiently relieved by reducing this mass.

【0011】本発明では、衝撃力を受けて移動する箇所
は接触パッドのみとし、その質量を小さすくることを可
能としている。そして、衝撃力を効率よく緩和すること
により、跳躍の抑制と摩耗損傷の低減とを同時に満足さ
せ、高記録密度かつ高信頼性の接触型磁気ディスク装置
を提供できる。
According to the present invention, only the contact pad is moved by the impact force so that the mass of the contact pad can be reduced. Further, by efficiently alleviating the impact force, it is possible to provide a contact type magnetic disk device having a high recording density and a high reliability while satisfying both suppression of jumping and reduction of abrasion damage.

【0012】[0012]

【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
Next, the present invention will be described with reference to the drawings.

【0013】図1は、本発明の一実施例の基本構成を示
す断面図である。本発明の接触型磁気ディスク装置は、
図1に示すように、磁気ディスク媒体12に対して記録
再生を行う電磁変換素子1と、この電磁変換素子1の先
端に形成された接触パッド4と、電磁変換素子1および
接触パッド4を装着する磁気ヘッドスライダ2と、この
磁気ヘッドスライダ2を支持する磁気ヘッドスライダ支
持機構6とを備えており、磁気ヘッドスライダ2と接触
パッド4との間にダンパー層3が設けられている。さら
に、磁気ヘッドスライダ2には電磁変換素子1の電極5
が取り付けられ、磁気ヘッドスライダ支持機構6の基部
近傍には、リード線7を接続するための電極(図示せ
ず)が設けられている。
FIG. 1 is a sectional view showing the basic construction of an embodiment of the present invention. The contact type magnetic disk device of the present invention is
As shown in FIG. 1, an electromagnetic conversion element 1 for recording / reproducing on / from a magnetic disk medium 12, a contact pad 4 formed at the tip of this electromagnetic conversion element 1, an electromagnetic conversion element 1 and a contact pad 4 are mounted. The magnetic head slider 2 and the magnetic head slider support mechanism 6 that supports the magnetic head slider 2 are provided, and the damper layer 3 is provided between the magnetic head slider 2 and the contact pad 4. Further, the electrode 5 of the electromagnetic conversion element 1 is attached to the magnetic head slider 2.
, And an electrode (not shown) for connecting the lead wire 7 is provided near the base of the magnetic head slider support mechanism 6.

【0014】本実施例の磁気ヘッドスライダ支持機構6
は、寸法が長さ10mm,幅0.5mm,厚さ0.03
mmの弾性を有するステンレス鋼を用いた。また、磁気
ディスク媒体12は、下地体11の上に磁気記録坦体1
0が形成され、さらに、その上には保護膜9および潤滑
層8が設けられている。そして、この磁気ディスク媒体
12は、矢印Aの方向に回転するように構成されてい
る。
Magnetic head slider support mechanism 6 of this embodiment
Has a length of 10 mm, a width of 0.5 mm, and a thickness of 0.03.
A stainless steel having an elasticity of mm was used. In addition, the magnetic disk medium 12 is a magnetic recording carrier 1 on the base body 11.
0 is formed, and a protective film 9 and a lubricating layer 8 are further provided thereon. The magnetic disk medium 12 is configured to rotate in the direction of arrow A.

【0015】図4(a),同図(b)および図5は、磁
気ヘッドスライダ2の詳細を示す分解斜視図および断面
図であり、図6は、本発明の接触型磁気ディスク装置の
磁気ヘッドスライダ支持機構および磁気ヘッドスライダ
を示す斜視図である。
4 (a), 4 (b) and 5 are an exploded perspective view and a sectional view showing the details of the magnetic head slider 2, and FIG. 6 shows the magnetic field of the contact type magnetic disk device of the present invention. It is a perspective view showing a head slider support mechanism and a magnetic head slider.

【0016】本発明の接触型磁気ディスク装置に用いら
れる磁気ヘッドスライダ2は、図4(a)および図5に
示すように、中央近傍に穴開け加工されたダイヤモンド
からなる基板13の上には、Cu薄膜からなるコイル1
5が形成され、絶縁膜18が被覆されている。そして、
絶縁膜18の上にはFe−Ni合金からなるヨーク14
aが形成されている。このヨーク14aは、同様にFe
−Ni合金からなるリターンヨーク17に接続され、磁
束の通路となる磁気回路を形成している。また、コイル
15の両端は電極16に接続される。
As shown in FIGS. 4 (a) and 5, the magnetic head slider 2 used in the contact type magnetic disk device of the present invention has a diamond-shaped substrate 13 on which a hole is formed near the center. , Cu thin film coil 1
5 is formed and is covered with the insulating film 18. And
A yoke 14 made of Fe-Ni alloy is formed on the insulating film 18.
a is formed. This yoke 14a is also made of Fe.
It is connected to the return yoke 17 made of a -Ni alloy and forms a magnetic circuit that serves as a path for magnetic flux. Further, both ends of the coil 15 are connected to the electrodes 16.

【0017】接触パッド4は、中心部にヨークが貫通す
る構造を有し、図4(b)に示すように、ダイヤモンド
を加工した接触パッドA21と、中央部にヨーク14b
を埋め込んだ接触パッドB22とから構成され、これら
2つ接触パッドを貼り合わせ、さらに、ダンパー層3を
設けた基板13に接着剤等で固定した後、中心線平均粗
さRmax が0.5nm程度の球面研磨を行って作製し
た。
The contact pad 4 has a structure in which a yoke penetrates through the central portion thereof, and as shown in FIG. 4B, a contact pad A21 processed with diamond and a yoke 14b in the central portion.
And a contact pad B22 in which the center line average roughness Rmax is about 0.5 nm after the two contact pads are bonded together and further fixed to the substrate 13 provided with the damper layer 3 with an adhesive or the like. It was manufactured by performing spherical polishing of.

【0018】このようにして作製した磁気ヘッドスライ
ダ2は、図6に示すように、両端に電極23a,23b
を設けたCu薄膜の配線膜19を有する磁気ヘッドスラ
イダ支持機構6に接着剤等で固定され、ヨーク14aと
ヨーク14bとが接続されるとともに、図5に示すよう
に、Auのワイヤー20を介して磁気ヘッドスライダ支
持機構6に設けられた電極23aに接続される。
As shown in FIG. 6, the magnetic head slider 2 thus manufactured has electrodes 23a and 23b on both ends.
Is fixed to the magnetic head slider support mechanism 6 having the Cu thin wiring film 19 provided with the adhesive by an adhesive or the like, the yoke 14a and the yoke 14b are connected, and as shown in FIG. Are connected to the electrodes 23a provided on the magnetic head slider support mechanism 6.

【0019】ここで、図2は、1つの接触パッド4を有
する磁気ヘッドスライダ2の一例を示し、図3は、3つ
の接触パッド4a,4b,4cを有する磁気ヘッドスラ
イダ2aの一例を示す。また、図中の矢印Bおよひ矢印
Cは、それぞれ磁気ディスク媒体の回転方向(進行方
向)を示している。
Here, FIG. 2 shows an example of the magnetic head slider 2 having one contact pad 4, and FIG. 3 shows an example of the magnetic head slider 2a having three contact pads 4a, 4b, 4c. Further, arrows B and C in the figure respectively indicate the rotating direction (traveling direction) of the magnetic disk medium.

【0020】次に、磁気ヘッドスライダの接触パッド部
の材質および質量をそれぞれ変えて作製した実施例1〜
10の内容について説明する。また、これらの実施例と
の比較を行うために、比較例1〜4を併せて作製した。
Next, Examples 1 to 1 manufactured by changing the material and mass of the contact pad portion of the magnetic head slider
The contents of 10 will be described. In addition, Comparative Examples 1 to 4 were also produced in order to make a comparison with these Examples.

【0021】〔実施例1〕 ダンパー層3は、基板13
の上にポリテトラフルオルエチレンを1μmの厚さに形
成した。この被膜は、ポリテトラフルオルエチエンの微
粒子粉末を吹き付け加熱溶融させて形成した。
Example 1 The damper layer 3 is a substrate 13
Polytetrafluoroethylene having a thickness of 1 μm was formed on the above. This coating was formed by spraying fine particles of polytetrafluoroethiene powder and heating and melting.

【0022】次に、図1に示す磁気ディスク媒体12
は、ガラス基板(図示せず)上に形成したCrの下地体
11の上に、磁気記録坦体10が形成されている。この
磁気記録坦体10は、スパッタ法によりCoCrPtを
30nmの膜厚に成膜した。また、保護膜9は、スパッ
タ法により水素10%添加カーボンを20nmの膜厚に
成膜し、潤滑層8は、ディップ法によりパーフルオロポ
リエーテルを3nmの膜厚に成膜した。
Next, the magnetic disk medium 12 shown in FIG.
The magnetic recording carrier 10 is formed on a Cr underlayer 11 formed on a glass substrate (not shown). For this magnetic recording carrier 10, CoCrPt was formed into a film having a thickness of 30 nm by a sputtering method. The protective film 9 was formed by sputtering with carbon having 10% hydrogen added to a film thickness of 20 nm, and the lubricating layer 8 was formed by dipping with a film of perfluoropolyether having a film thickness of 3 nm.

【0023】なお、接触パッド4および磁気ディスク媒
体12に用いた下地体11,磁気記録坦体10,保護膜
9,潤滑層8の種類,形成方法などは特に限定されるも
ではなく、公知の材料,形成方法を特別な制限なく用い
ることができる。
The types and forming methods of the base 11, the magnetic recording carrier 10, the protective film 9 and the lubricating layer 8 used for the contact pad 4 and the magnetic disk medium 12 are not particularly limited, and they are known. The material and the forming method can be used without any particular limitation.

【0024】〔実施例2〕 ダンパー層3として、ペル
フルオロアルコキシフッ素樹脂を用いた。また、ダンパ
ー層3の材質以外は実施例1と同様にした。
Example 2 As the damper layer 3, a perfluoroalkoxy fluororesin was used. Further, except for the material of the damper layer 3, the same procedure as in Example 1 was performed.

【0025】〔実施例3〕 ダンパー層3としてエチレ
ン四フッ化エチレン共重合体を用いた。また、ダンパー
層3の材質以外は実施例1と同様にした。
Example 3 As the damper layer 3, an ethylene tetrafluoride ethylene copolymer was used. Further, except for the material of the damper layer 3, the same procedure as in Example 1 was performed.

【0026】〔実施例4〕 ダンパー層3として、フッ
化ビニリデンを用いた。また、ダンパー層3の材質以外
は実施例1と同様にした。
[Example 4] As the damper layer 3, vinylidene fluoride was used. Further, except for the material of the damper layer 3, the same procedure as in Example 1 was performed.

【0027】〔実施例5〕 ダンパー層3として、ポリ
クロロ三フッ化エチレンを用いた。また、ダンパー層3
の材質以外は実施例1と同様にした。
Example 5 As the damper layer 3, polychlorotrifluoroethylene was used. Also, the damper layer 3
The materials other than the above materials were the same as in Example 1.

【0028】〔実施例6〕 ダンパー層3として、フッ
化ビニルを用いた。また、ダンパー層3の材質以外は実
施例1と同様にした。
[Example 6] As the damper layer 3, vinyl fluoride was used. Further, except for the material of the damper layer 3, the same procedure as in Example 1 was performed.

【0029】〔実施例7〕 ダンパー層3として、ポー
ラス(多孔質)SiO2 を用いた。このポーラスSiO
2 の製法は、次のようにして行った。まず、テトラエト
キシシリケートを原料としたゾルゲル法を用い、ディッ
プ法により成膜した後、凍結乾燥法により1μmの膜厚
に形成した。また、ダンパー層3の材質以外は実施例1
と同様にした。
[Example 7] As the damper layer 3, porous (porous) SiO 2 was used. This porous SiO
The production method of 2 was performed as follows. First, a film was formed by a dip method using a sol-gel method using tetraethoxysilicate as a raw material, and then a film having a thickness of 1 μm was formed by a freeze-drying method. In addition, except for the material of the damper layer 3, Example 1
Same as.

【0030】〔実施例8〕 ダンパー層3として、ポー
ラス(多孔質)ZrO2 を用いた。このポーラスZrO
2 の製法は、実施例7と同様の方法で形成した。また、
ダンパー層3の材質以外は実施例1と同様にした。
Example 8 As the damper layer 3, porous (porous) ZrO 2 was used. This porous ZrO
The manufacturing method of 2 was the same as that of Example 7. Also,
The same procedure as in Example 1 was performed except for the material of the damper layer 3.

【0031】〔実施例9〕 ダンパー層3は実施例1と
同様の方法で形成した。ただし、接触パッドは、図3に
示すように、接触パッドが3つの接触パッド4a,4
b,4cからなり、電磁変換素子(図示せず)を含む接
触パッド4aを磁気ディスク媒体(図示せず)の進行方
向(矢印Cの方向)に対して前方に配置し、さらに電磁
変換素子を含まない接触パッド4b,4cを磁気ディス
ク媒体の進行方向に対して後方に並列に配置した。
[Example 9] The damper layer 3 was formed in the same manner as in Example 1. However, the contact pads are, as shown in FIG. 3, contact pads 4a, 4 having three contact pads.
The contact pad 4a including the electromagnetic conversion elements (not shown) is arranged forward with respect to the traveling direction (direction of arrow C) of the magnetic disk medium (not shown). The contact pads 4b and 4c not included were arranged in parallel rearward with respect to the traveling direction of the magnetic disk medium.

【0032】〔実施例10〕 ダンパー層3は実施例1
と同様の方法で形成した。ただし、接触パードの質量を
0.1gとなるようにした。
[Embodiment 10] The damper layer 3 of Embodiment 1 is used.
It was formed in the same manner as. However, the mass of the contact pad was set to 0.1 g.

【0033】次に、これらの実施例と比較するするため
の比較例として、次のような接触パッド部を併せて作製
した。
Next, as a comparative example for comparison with these examples, the following contact pad portion was also produced.

【0034】〔比較例1〕 ダンパー層3を設けていな
いもの用いた。この製作方法および材質は、ダンパー層
を設けていない点を除いて実施例1と同様にした。
[Comparative Example 1] A material having no damper layer 3 was used. This manufacturing method and material were the same as in Example 1 except that no damper layer was provided.

【0035】〔比較例2〕 ダンパー層3として、スパ
ッタSiO2 を用いた。この製作方法および材質は、ダ
ンパー層以外の点は実施例1と同様にした。
[Comparative Example 2] As the damper layer 3, sputtered SiO 2 was used. The manufacturing method and material were the same as in Example 1 except for the damper layer.

【0036】〔比較例3〕 ダンパー層3は実施例1と
同様の方法で形成した。ただし、接触パードの質量を
0.5gとなるようにした。
Comparative Example 3 The damper layer 3 was formed in the same manner as in Example 1. However, the mass of the contact pad was set to 0.5 g.

【0037】〔比較例3〕 ダンパー層3は実施例1と
同様の方法で形成した。ただし、接触パードの質量を
1.0gとなるようにした。
Comparative Example 3 The damper layer 3 was formed in the same manner as in Example 1. However, the mass of the contact pad was set to 1.0 g.

【0038】上記のように作製した磁気ヘッドスライダ
を用いて摺動耐久性試験を行った。この摺動耐久性試験
時の磁気ディスク媒体の回転数は5400rpmとし
た。また、摺動試験2000時間後における磁気ディス
ク媒体面の平均摩耗厚さ、および定常摺動状態での最大
跳躍量を求めた。
A sliding durability test was conducted using the magnetic head slider manufactured as described above. The rotation speed of the magnetic disk medium during this sliding durability test was 5400 rpm. Further, the average wear thickness of the magnetic disk medium surface after 2000 hours of the sliding test and the maximum jump amount in the steady sliding state were obtained.

【0039】ここで、最大跳躍量とは、摺動耐久性試験
中に磁気ヘッドスライダと磁気ディスク媒体とは常に接
触しているわけではなく、磁気ディスク媒体表面の異常
突起などで跳躍を示した場合に、これを最大跳躍量とし
て求めたものであって、この跳躍量は、レーザードップ
ラー振動計(LDV)を用い、レーザービームを磁気ヘ
ッドスライダの背面に照射し、その反射光の周波数変化
を観測して速度を測定し、さらに、積分することにより
変位に換算して求めた。また、レーザードップラー振動
計を2つ用いて、磁気ヘッドスライダの背面の2箇所の
変位をそれぞれ測定し、ロール角(図2の矢印Dの方
向)の大きさを求めた。
Here, the maximum jump amount does not always mean that the magnetic head slider and the magnetic disk medium are in contact with each other during the sliding durability test, and indicates a jump due to an abnormal protrusion on the surface of the magnetic disk medium. In this case, this is obtained as the maximum jump amount, and this jump amount is measured by irradiating a laser beam on the back surface of the magnetic head slider using a laser Doppler vibrometer (LDV) and changing the frequency of the reflected light. Observed, the velocity was measured, and further, it was converted into displacement by integration and determined. Further, two laser Doppler vibrometers were used to measure displacements at two positions on the back surface of the magnetic head slider, and the size of the roll angle (direction of arrow D in FIG. 2) was obtained.

【0040】次に、実施例1〜10および比較例1〜3
を用いて摺動耐久性試験を行った結果を表1に示す。
Next, Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 to 3
Table 1 shows the results of the sliding durability test conducted using.

【0041】[0041]

【表1】 [Table 1]

【0042】表1によれば、実施例1〜実施例10のい
ずれもが、比較例1のダンパー層を設けていないものと
比較して、平均摩耗厚さおよび最大跳躍量の値が著しく
小さくなっている。すなわち、ダンパー層を設けること
により、跳躍と摩耗損傷に対する要求を同時に満足さ
せ、高記録密度で高信頼性の接触型磁気ディスク装置を
提供できることになる。
According to Table 1, in all of Examples 1 to 10, the average wear thickness and the maximum jump amount are significantly smaller than those of Comparative Example 1 in which the damper layer is not provided. Has become. That is, by providing the damper layer, it is possible to satisfy the requirements for jumping and abrasion damage at the same time, and to provide a highly reliable contact type magnetic disk device with a high recording density.

【0043】次に、接触パッドを3つ設けた実施例9
と、接触パッドが1つの実施例1とを比較すると、さら
に、平均摩耗厚さおよび最大跳躍量の値が小さくなって
おり、また、ロール角が他の実施例と比較しても著しく
小さくなっているのがわかる。これにより、磁気ヘッド
スライダ面に設けた3つの接触パッドのうち、電磁変換
素子を含む1つの接触パッドを磁気ディスク媒体の進行
方向に対して前方に配置し、かつ電磁変換素子を含まな
い2つの接触パッドを磁気ディスク媒体の進行方向に対
して後方に並列に配置することによって、さらに、性能
を向上させることができる。
Next, an embodiment 9 in which three contact pads are provided.
And Example 1 in which the contact pad is one, the average wear thickness and the maximum jump amount are further smaller, and the roll angle is significantly smaller than the other Examples. I understand. As a result, of the three contact pads provided on the magnetic head slider surface, one contact pad including the electromagnetic conversion element is arranged in front of the traveling direction of the magnetic disk medium and two contact pads including no electromagnetic conversion element are arranged. The performance can be further improved by disposing the contact pads in parallel rearward with respect to the traveling direction of the magnetic disk medium.

【0044】また、接触パッド部の質量を変化させた実
施例および比較例を見ると、実施例1および実施例10
の結果から、接触パッド部の質量が0.1g以下では、
平均摩耗厚さおよび最大跳躍量の値が小さいが、比較例
3および比較例4の結果から、接触パッド部の質量が
0.5gや1.0gでは、平均摩耗厚さおよび最大跳躍
量の値が大きくなることがわかる。この結果から、接触
パッド部の質量が0.1g以下でダンパー層の効果が大
きく表れてくることである。
Looking at Examples and Comparative Examples in which the mass of the contact pad portion was changed, Examples 1 and 10 were obtained.
From the result of, when the mass of the contact pad part is 0.1 g or less,
Although the values of the average wear thickness and the maximum jump amount are small, from the results of Comparative Example 3 and Comparative Example 4, when the mass of the contact pad portion is 0.5 g or 1.0 g, the values of the average wear thickness and the maximum jump amount are It can be seen that From this result, the effect of the damper layer is significantly exhibited when the mass of the contact pad portion is 0.1 g or less.

【0045】さらに、接触パッド部の硬度について着目
すると、すべての実施例は、接触パッド部の硬度が1G
Paから10GPaの範囲内であるが、比較例2のよう
に、10GPaよりも大きな硬度のダンパー層を設ける
と、平均摩耗厚さおよび最大跳躍量の値が大きくなって
いる。すなわち、ダンパー層の硬度は、1GPaから1
0GPaが適切な範囲であることがわかる。
Further, paying attention to the hardness of the contact pad portion, the hardness of the contact pad portion is 1 G in all the examples.
Although it is in the range of Pa to 10 GPa, when a damper layer having a hardness greater than 10 GPa is provided as in Comparative Example 2, the average wear thickness and the maximum jump amount are large. That is, the hardness of the damper layer is 1 GPa to 1
It can be seen that 0 GPa is an appropriate range.

【0046】従って、本発明の接触型磁気ディスク装置
は、従来の接触型磁気ディスク装置と比較して、少なく
とも数分の一から数百分の一の平均摩耗厚さと、数分の
一から数十分の一の最大跳躍量を実現することができ、
全体として少なくとも3倍の耐久性が達成され、高信頼
性を確保することができた。また、本発明の接触型磁気
ディスク装置を用いることにより、従来の4倍の線記録
密度を得ることができた。
Therefore, the contact type magnetic disk device of the present invention has an average wear thickness of at least a fraction to a few hundreds and a fraction to a few as compared with the conventional contact type magnetic disk device. It is possible to achieve a maximum jump of one tenth,
The durability was at least tripled as a whole, and high reliability could be secured. Further, by using the contact type magnetic disk device of the present invention, it was possible to obtain a linear recording density four times that of the conventional one.

【0047】[0047]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の触型磁気
ディスク装置は、磁気ヘッド先端に形成された接触パッ
ドと磁気ヘッドスライダとの間にダンパー層を設けるこ
とにより、衝撃力を効率よく緩和することができる。ま
た、この接触パッドの接触箇所が3つ有するもの、ダン
パー層の硬度が1〜10GPaのもの、ダンパー層がフ
ッ素系樹脂,ポーラスSiO2 もしくはポーラスZrO
2 からなるものを用いても、摩耗量および跳躍量を小さ
く抑えることができ、磁気ヘッドおよび磁気ディスク媒
体の摩耗損傷を低減し、装置の耐久性および信頼性を向
上させ、高記録密度を達成できるという効果がある。
As described above, the tactile magnetic disk device of the present invention efficiently provides an impact force by providing the damper layer between the contact pad formed at the tip of the magnetic head and the magnetic head slider. Can be relaxed. Further, the contact pad has three contact points, the damper layer has a hardness of 1 to 10 GPa, the damper layer is a fluororesin, porous SiO 2 or porous ZrO.
Even when using the one consisting of 2 , the amount of wear and the amount of jump can be kept small, the wear damage of the magnetic head and the magnetic disk medium is reduced, the durability and reliability of the device are improved, and a high recording density is achieved. The effect is that you can do it.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例の基本構成を示す断面図であ
る。
FIG. 1 is a sectional view showing a basic configuration of an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の接触型磁気ディスク装置に適用する1
つの接触パッドを有する磁気ヘッドスライダの例を示す
部分斜視図である。
FIG. 2 is applied to the contact type magnetic disk device of the present invention 1
It is a partial perspective view which shows the example of the magnetic head slider which has one contact pad.

【図3】本発明の接触型磁気ディスク装置に適用する3
つの接触パッドを有する磁気ヘッドスライダの例を示す
部分斜視図である。
FIG. 3 is applied to the contact type magnetic disk device of the present invention 3
It is a partial perspective view which shows the example of the magnetic head slider which has one contact pad.

【図4】本発明の接触型磁気ディスク装置の磁気ヘッド
スライダの詳細を示す分解斜視図である。
FIG. 4 is an exploded perspective view showing details of a magnetic head slider of the contact type magnetic disk device of the present invention.

【図5】図4の断面図である。FIG. 5 is a sectional view of FIG. 4;

【図6】本発明の接触型磁気ディスク装置の磁気ヘッド
スライダ支持機構および磁気ヘッドスライダを示す斜視
図である。
FIG. 6 is a perspective view showing a magnetic head slider support mechanism and a magnetic head slider of the contact type magnetic disk device of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 電磁変換素子 2,2a 磁気ヘッドスライダ 3 ダンパー層 4,4a,4b,4c 接触パッド 5,16,23a,23b 電極 6 磁気ヘッドスライダ支持機構 7 リード線 8 潤滑層 9 保護膜 10 磁気記録坦体 11 下地体 12 磁気ディスク媒体 13 基板 14a,14b ヨーク 15 コイル 17 リターンヨーク 18 絶縁膜 19 配線膜 20 ワイヤー 21 接触パッドA 22 接触パッドB DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Electromagnetic conversion element 2, 2a Magnetic head slider 3 Damper layer 4, 4a, 4b, 4c Contact pad 5, 16, 23a, 23b Electrode 6 Magnetic head slider support mechanism 7 Lead wire 8 Lubricating layer 9 Protective film 10 Magnetic recording carrier 11 Underlayer 12 Magnetic Disk Medium 13 Substrate 14a, 14b Yoke 15 Coil 17 Return Yoke 18 Insulating Film 19 Wiring Film 20 Wire 21 Contact Pad A 22 Contact Pad B

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 記録再生を行う電磁変換素子を先端部に
形成しかつ磁気ディスク媒体に接触摺動する接触パッド
と、この接触パッドを装着する磁気ヘッドスライダと、
この磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッドスライダ
支持機構とを備える接触型磁気ディスク装置において、
前記磁気ヘッドスライダと前記接触パッドとの間にダン
パー層を有すること特徴とする接触型磁気ディスク装
置。
1. A contact pad having an electromagnetic conversion element for recording / reproducing formed at its tip and slidingly contacting a magnetic disk medium, and a magnetic head slider having the contact pad mounted thereon.
In a contact-type magnetic disk device including a magnetic head slider support mechanism that supports this magnetic head slider,
A contact-type magnetic disk device comprising a damper layer between the magnetic head slider and the contact pad.
【請求項2】 前記接触パッドが3つの接触パッドから
なり、前記電磁変換素子を含む1つの接触パッドを前記
磁気ディスク媒体の進行方向に対して前方に配置し、さ
らに前記電磁変換素子を含まない2つの接触パッドを前
記磁気ディスク媒体の進行方向に対して後方に並列に配
置してなることを特徴とする請求項1記載の接触型磁気
ディスク装置。
2. The contact pad comprises three contact pads, one contact pad including the electromagnetic conversion element is arranged in front of the traveling direction of the magnetic disk medium, and the electromagnetic conversion element is not included. 2. The contact type magnetic disk device according to claim 1, wherein two contact pads are arranged in parallel rearward with respect to the traveling direction of the magnetic disk medium.
【請求項3】 前記ダンパー層の硬度が、1〜10GP
aであることを特徴とする請求項1または2記載の接触
型磁気ディスク装置。
3. The hardness of the damper layer is 1 to 10 GP.
3. The contact type magnetic disk device according to claim 1, wherein the contact type magnetic disk device is a.
【請求項4】 前記ダンパー層の材質が、フッ素系樹
脂,ポーラス(多孔質)SiO2 もしくはポーラス(多
孔質)ZrO2 のいずれか1つからなることを特徴とす
る請求項1または2記載の接触型磁気ディスク装置。
4. The damper layer according to claim 1, wherein the damper layer is made of any one of fluororesin, porous (porous) SiO 2 and porous ZrO 2 . Contact type magnetic disk device.
【請求項5】 前記接触パッドの質量が、0.1g以下
であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項記
載の接触型磁気ディスク装置。
5. The contact type magnetic disk device according to claim 1, wherein the contact pad has a mass of 0.1 g or less.
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