JPH08174255A - レーザ加工機焦点検出装置 - Google Patents
レーザ加工機焦点検出装置Info
- Publication number
- JPH08174255A JPH08174255A JP6336930A JP33693094A JPH08174255A JP H08174255 A JPH08174255 A JP H08174255A JP 6336930 A JP6336930 A JP 6336930A JP 33693094 A JP33693094 A JP 33693094A JP H08174255 A JPH08174255 A JP H08174255A
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- Japan
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- laser beam
- branched
- energy
- optical sensor
- laser
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高エネルギを出力するレーザビームの焦点位
置を精度良く検出し、加工始めまたは加工中に変化する
レーザビームの焦点位置を直接検出し、常に最適の加工
条件にするためのレーザ加工機の焦点位置検出装置を提
供する。 【構成】 レーザ発振器から発射されるレーザビームを
集光する集光レンズと被加工物との間にレーザビームの
一部を分岐するビームスプリッタを設けて集光レンズの
焦点位置を検出するレーザ加工機焦点検出装置におい
て、ビームスプリッタから分岐したレーザビームを拡大
する凹レンズと、その拡大したレーザビームの一部を通
過させる小穴を有する遮蔽物と、その小穴を通過したレ
ーザビームの光の強度を検出する光センサとを設けてい
る。
置を精度良く検出し、加工始めまたは加工中に変化する
レーザビームの焦点位置を直接検出し、常に最適の加工
条件にするためのレーザ加工機の焦点位置検出装置を提
供する。 【構成】 レーザ発振器から発射されるレーザビームを
集光する集光レンズと被加工物との間にレーザビームの
一部を分岐するビームスプリッタを設けて集光レンズの
焦点位置を検出するレーザ加工機焦点検出装置におい
て、ビームスプリッタから分岐したレーザビームを拡大
する凹レンズと、その拡大したレーザビームの一部を通
過させる小穴を有する遮蔽物と、その小穴を通過したレ
ーザビームの光の強度を検出する光センサとを設けてい
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ加工機焦点検出
装置に係わり、特には、高エネルギのレーザビームの焦
点位置を精度良く検出できるレーザ加工機焦点検出装置
に関するものである。
装置に係わり、特には、高エネルギのレーザビームの焦
点位置を精度良く検出できるレーザ加工機焦点検出装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、レーザ加工機において、集光レン
ズの焦点位置を検出する方法として次のものがある。ま
ず、加工前にレーザビームの焦点位置を決める方法とし
て、実開平１−１３５１９０号公報に示されているよう
に、試験材を予め加工してみてその加工幅や溶融溝の深
さを測定して焦点位置を求め、この焦点位置を合わせて
固定された焦点位置で加工を行なう。
ズの焦点位置を検出する方法として次のものがある。ま
ず、加工前にレーザビームの焦点位置を決める方法とし
て、実開平１−１３５１９０号公報に示されているよう
に、試験材を予め加工してみてその加工幅や溶融溝の深
さを測定して焦点位置を求め、この焦点位置を合わせて
固定された焦点位置で加工を行なう。
【０００３】次に、加工しながらレーザビームの焦点位
置を検出する方法として、特開昭６０ー２２７９８９号
公報に示されているように、レーザビームの集光レンズ
と被加工物との間にビームスプリッタを設けてレーザビ
ームを分岐し、その分岐したレーザビームからレーザビ
ームの焦点位置を検出し、自動的にレーザビームの集光
点位置を加工点位置に合わせて加工を行う。
置を検出する方法として、特開昭６０ー２２７９８９号
公報に示されているように、レーザビームの集光レンズ
と被加工物との間にビームスプリッタを設けてレーザビ
ームを分岐し、その分岐したレーザビームからレーザビ
ームの焦点位置を検出し、自動的にレーザビームの集光
点位置を加工点位置に合わせて加工を行う。
【０００４】また、加工しながらレーザビームの焦点位
置を検出する方法として、特開昭５９ー１５９２９１号
公報に示されているように、レーザビームを減衰器で減
衰し、この減衰したレーザビームを集光レンズにおいて
集光し、その後にレーザビーム像が最も小さくなった位
置を検出して焦点位置を検出し、この焦点位置を合わせ
て加工を行なう。
置を検出する方法として、特開昭５９ー１５９２９１号
公報に示されているように、レーザビームを減衰器で減
衰し、この減衰したレーザビームを集光レンズにおいて
集光し、その後にレーザビーム像が最も小さくなった位
置を検出して焦点位置を検出し、この焦点位置を合わせ
て加工を行なう。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の加工
前にビーム焦点位置を決める方法は、本加工中に光学系
の温度が上昇し焦点位置がズレて加工精度、粗さ等の切
断品質が悪くなる。また、正規の材料またはテスト用の
アクリル板等で予め加工をしてみて焦点位置を決めてい
るため、加工前の工数が必要となり非能率的である。ま
た、上記でアクリル板を使用する場合には有毒ガスが発
生し危険であるという問題点がある。さらに、大出力炭
酸ガスレーザ加工機においては、レーザビームのエネル
ギが大きく、かつ、内蔵された集光レンズが長時間のレ
ーザ照射によって膨張して、わずかながら集光レンズの
光学系にも変化を来たし、そのため焦点位置が変わるた
めに切断精度が変化して均一な品質が保障できなくな
る。このため、作業を一時中断して焦点位置を修正しな
おすことが必要となり、非能率的である。
前にビーム焦点位置を決める方法は、本加工中に光学系
の温度が上昇し焦点位置がズレて加工精度、粗さ等の切
断品質が悪くなる。また、正規の材料またはテスト用の
アクリル板等で予め加工をしてみて焦点位置を決めてい
るため、加工前の工数が必要となり非能率的である。ま
た、上記でアクリル板を使用する場合には有毒ガスが発
生し危険であるという問題点がある。さらに、大出力炭
酸ガスレーザ加工機においては、レーザビームのエネル
ギが大きく、かつ、内蔵された集光レンズが長時間のレ
ーザ照射によって膨張して、わずかながら集光レンズの
光学系にも変化を来たし、そのため焦点位置が変わるた
めに切断精度が変化して均一な品質が保障できなくな
る。このため、作業を一時中断して焦点位置を修正しな
おすことが必要となり、非能率的である。
【０００６】次に、加工しながらレーザビームの焦点位
置を検出する方法の特開昭６０ー２２７９８９号公報、
あるいは、特開昭５９ー１５９２９１号公報の場合に
は、大出力炭酸ガスレーザ加工機等の高出力を必要とす
るレーザビーム加工機において、ビームスプリッタによ
りレーザビームのエネルギ密度を数％にまで低減して
も、焦点近辺のビームエネルギが大きいためにこれを検
出するセンサの損傷が避けられず、これを解決する手段
はいまのところ見当たらない。また、特開昭６０ー２２
７９８９号公報では、被加工物からの反射を光源として
用いているため、被加工物の材質により反射の少ないも
のでは、精度良く加工できないという問題がある。
置を検出する方法の特開昭６０ー２２７９８９号公報、
あるいは、特開昭５９ー１５９２９１号公報の場合に
は、大出力炭酸ガスレーザ加工機等の高出力を必要とす
るレーザビーム加工機において、ビームスプリッタによ
りレーザビームのエネルギ密度を数％にまで低減して
も、焦点近辺のビームエネルギが大きいためにこれを検
出するセンサの損傷が避けられず、これを解決する手段
はいまのところ見当たらない。また、特開昭６０ー２２
７９８９号公報では、被加工物からの反射を光源として
用いているため、被加工物の材質により反射の少ないも
のでは、精度良く加工できないという問題がある。
【０００７】本発明は、上記従来の問題点に着目し、レ
ーザ加工機焦点検出装置に係わり、特に、高エネルギを
出力するレーザビームの焦点位置を精度良く検出し、加
工始めまたは加工中に変化するレーザビームの焦点位置
を直接検出し、常に最適の加工条件にするためのレーザ
加工機の焦点位置検出装置を提供することを目的として
いる。
ーザ加工機焦点検出装置に係わり、特に、高エネルギを
出力するレーザビームの焦点位置を精度良く検出し、加
工始めまたは加工中に変化するレーザビームの焦点位置
を直接検出し、常に最適の加工条件にするためのレーザ
加工機の焦点位置検出装置を提供することを目的として
いる。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のレーザ加工機焦点検出装置の発明では、レ
ーザ発振器から発射されるレーザビームを集光する集光
レンズと被加工物との間にレーザビームの一部を分岐す
るビームスプリッタを設けて集光レンズの焦点位置を検
出するレーザ加工機焦点検出装置において、ビームスプ
リッタから分岐したレーザビームを拡大する凹レンズ
と、その拡大したレーザビームの一部を通過させる小穴
を有する遮蔽物と、その小穴を通過したレーザビームの
光の強度を検出する光センサとを設けたことを特徴とす
る。
め、本発明のレーザ加工機焦点検出装置の発明では、レ
ーザ発振器から発射されるレーザビームを集光する集光
レンズと被加工物との間にレーザビームの一部を分岐す
るビームスプリッタを設けて集光レンズの焦点位置を検
出するレーザ加工機焦点検出装置において、ビームスプ
リッタから分岐したレーザビームを拡大する凹レンズ
と、その拡大したレーザビームの一部を通過させる小穴
を有する遮蔽物と、その小穴を通過したレーザビームの
光の強度を検出する光センサとを設けたことを特徴とす
る。
【０００９】
【作用】上記構成によれば、ビームスプリッタで減衰し
たレーザビームの分岐した一部を凹レンズで拡大してエ
ネルギ密度を低下させ、さらに小穴を通してレーザビー
ムのエネルギの量を低下しているため、現状の光センサ
で正確な光の強度の検出が行える。また、この検出は、
加工用のレーザビームを分岐して測定しているため、加
工始め前、または加工中でも変化するレーザビームの焦
点位置が検出できる。
たレーザビームの分岐した一部を凹レンズで拡大してエ
ネルギ密度を低下させ、さらに小穴を通してレーザビー
ムのエネルギの量を低下しているため、現状の光センサ
で正確な光の強度の検出が行える。また、この検出は、
加工用のレーザビームを分岐して測定しているため、加
工始め前、または加工中でも変化するレーザビームの焦
点位置が検出できる。
【００１０】
【実施例】以下に、本発明に係わるレーザ加工機焦点検
出装置の実施例を図面を参照して説明する。図１はレー
ザ加工機焦点検出装置の断面図であり、図２は温度上昇
前と、温度上昇後の測定を説明する図である。図１にお
いて、図示されないレーザ発振器に連結されたトーチ１
には、集光レンズ２が配置されている。集光レンズ２の
図示の下方には、ビームスプリッタ３が配置され、さら
に、その下方で、トーチ１の先端部近傍１ａの焦点位置
（ｆ）には切断される被加工物４が置かれている。ビー
ムスプリッタ３のほぼ横方位置には、順次、凹レンズ５
と、小穴６ａを有する遮蔽物６と、光センサ７とが同軸
上に配置されている。
出装置の実施例を図面を参照して説明する。図１はレー
ザ加工機焦点検出装置の断面図であり、図２は温度上昇
前と、温度上昇後の測定を説明する図である。図１にお
いて、図示されないレーザ発振器に連結されたトーチ１
には、集光レンズ２が配置されている。集光レンズ２の
図示の下方には、ビームスプリッタ３が配置され、さら
に、その下方で、トーチ１の先端部近傍１ａの焦点位置
（ｆ）には切断される被加工物４が置かれている。ビー
ムスプリッタ３のほぼ横方位置には、順次、凹レンズ５
と、小穴６ａを有する遮蔽物６と、光センサ７とが同軸
上に配置されている。
【００１１】上記構成において、次に作動について説明
する。図示されないレーザ発振器より発射されるレーザ
ビーム１１は、集光レンズ２と被加工物４との間に配置
されたビームスプリッタ３により、レーザビーム１１の
一部が分岐され、直角に屈折されてレーザビーム１２
（以下、分岐レーザビーム１２という）となる。分岐レ
ーザビーム１２は、凹レンズ５により光路が拡大されエ
ネルギの密度が低下される。さらに、低下されたレーザ
ビーム１２は遮蔽物６の小穴６ａを通過してさらにエネ
ルギの量を低下し、光センサ７の受光面７ａに到達す
る。到達した分岐レーザビーム１２は光センサ７によ
り、光のエネルギーの強度が測定される。
する。図示されないレーザ発振器より発射されるレーザ
ビーム１１は、集光レンズ２と被加工物４との間に配置
されたビームスプリッタ３により、レーザビーム１１の
一部が分岐され、直角に屈折されてレーザビーム１２
（以下、分岐レーザビーム１２という）となる。分岐レ
ーザビーム１２は、凹レンズ５により光路が拡大されエ
ネルギの密度が低下される。さらに、低下されたレーザ
ビーム１２は遮蔽物６の小穴６ａを通過してさらにエネ
ルギの量を低下し、光センサ７の受光面７ａに到達す
る。到達した分岐レーザビーム１２は光センサ７によ
り、光のエネルギーの強度が測定される。
【００１２】上記において、被加工物の加工が進むと、
トーチ１の内部の集光レンズ２はレーザビームの長時間
の照射によって温度が上昇しわずかながら膨張する。こ
のため、焦点距離が減少し、作業の進行とともに焦点距
離は時々刻々と変化する。図２に示される実施例では、
被加工物の加工の開始時、すなわち、集光レンズ２の温
度が低いときには、レーザビーム１１は集光レンズ２に
よって焦点距離ｆ１で集光されている。このとき、ビー
ムスプリッタ３によって分岐された分岐レーザビーム１
２ａは凹レンズ５によって平行にされ、平行分岐レーザ
ビーム１３ａとなる。この平行分岐レーザビーム１３ａ
は、遮蔽物６が無いと仮定した場合には、光センサ７の
受光面７ａの位置でのエネルギ密度分布図は図２、およ
び図３に示す実線の分布（ａ）となる。このとき、中央
部では、エネルギ密度はＩａとなる。実際には、測定す
る平行分岐レーザビーム１３ａは遮蔽物６の小穴６ａを
通過しており、この小穴６ａを通過した平行分岐レーザ
ビーム１３ａの一部１４は、さらにエネルギーの量が低
下し図４の実線で示す分布となる。そして、光センサで
測定するのは遮蔽物の小穴の計ｄの範囲の平均値Ｉａで
ある。
トーチ１の内部の集光レンズ２はレーザビームの長時間
の照射によって温度が上昇しわずかながら膨張する。こ
のため、焦点距離が減少し、作業の進行とともに焦点距
離は時々刻々と変化する。図２に示される実施例では、
被加工物の加工の開始時、すなわち、集光レンズ２の温
度が低いときには、レーザビーム１１は集光レンズ２に
よって焦点距離ｆ１で集光されている。このとき、ビー
ムスプリッタ３によって分岐された分岐レーザビーム１
２ａは凹レンズ５によって平行にされ、平行分岐レーザ
ビーム１３ａとなる。この平行分岐レーザビーム１３ａ
は、遮蔽物６が無いと仮定した場合には、光センサ７の
受光面７ａの位置でのエネルギ密度分布図は図２、およ
び図３に示す実線の分布（ａ）となる。このとき、中央
部では、エネルギ密度はＩａとなる。実際には、測定す
る平行分岐レーザビーム１３ａは遮蔽物６の小穴６ａを
通過しており、この小穴６ａを通過した平行分岐レーザ
ビーム１３ａの一部１４は、さらにエネルギーの量が低
下し図４の実線で示す分布となる。そして、光センサで
測定するのは遮蔽物の小穴の計ｄの範囲の平均値Ｉａで
ある。
【００１３】さらに、被加工物の加工が進み、集光レン
ズ２の温度が高くなったときには、レーザビーム１１
は、温度が低いときの焦点距離ｆ１から変化して焦点距
離ｆ２で集光されている。このとき、ビームスプリッタ
３によって分岐された図２に示す点線の分岐レーザビー
ム１２ｂは、温度が低いときの分岐レーザビーム１２ａ
の光路より狭く凹レンズ５によって平行にされ、平行分
岐レーザビーム１３ｂとなる。この平行分岐レーザビー
ム１３ｂは、遮蔽物６が無いと仮定した場合には、光セ
ンサ７の受光面７ａの位置でのエネルギ密度分布図は図
２、および図３に示す分布（ｂ）となる。このとき、中
央部でのエネルギ密度は、温度が低いときのエネルギ密
度Ｉａよりも高いエネルギ密度Ｉｂ（破線で示す）とな
る。実際には、前記と同様に、遮蔽物６の小穴６ａを通
過した平行分岐レーザビーム１３ｂの一部１４はさらに
エネルギの量が低下し、図４の破線で示す分布となる。
光センサで測定するのは遮蔽物６の小穴６ａの径ｄの範
囲の平均値Ｉｂ1 である。
ズ２の温度が高くなったときには、レーザビーム１１
は、温度が低いときの焦点距離ｆ１から変化して焦点距
離ｆ２で集光されている。このとき、ビームスプリッタ
３によって分岐された図２に示す点線の分岐レーザビー
ム１２ｂは、温度が低いときの分岐レーザビーム１２ａ
の光路より狭く凹レンズ５によって平行にされ、平行分
岐レーザビーム１３ｂとなる。この平行分岐レーザビー
ム１３ｂは、遮蔽物６が無いと仮定した場合には、光セ
ンサ７の受光面７ａの位置でのエネルギ密度分布図は図
２、および図３に示す分布（ｂ）となる。このとき、中
央部でのエネルギ密度は、温度が低いときのエネルギ密
度Ｉａよりも高いエネルギ密度Ｉｂ（破線で示す）とな
る。実際には、前記と同様に、遮蔽物６の小穴６ａを通
過した平行分岐レーザビーム１３ｂの一部１４はさらに
エネルギの量が低下し、図４の破線で示す分布となる。
光センサで測定するのは遮蔽物６の小穴６ａの径ｄの範
囲の平均値Ｉｂ1 である。
【００１４】従って、集光レンズ２の温度の変化に対応
する焦点距離の位置の変化は、温度が低いときの分岐し
たレーザビームのエネルギーの強度Ｉａ1 から温度が高
くなるときに、エネルギの強度の変化に対して集光レン
ズ２の焦点距離の位置の変化の関係を把握しておくこと
により、補正できる。なお、上記において、凹レンズを
通過してやや拡大光になったビームのエネルギ密度分布
は、中央が高い山型分布曲線になる。遮蔽物６の小穴６
ａを通過した光センサで検出される光量は、中央の山の
一番高い部分に相当する部分のエネルギに限定して測定
している。中央が高い分布曲線になる。中央の最大値部
分は最も精度よくセンシブルに測定される部分であり、
この部分を光センサにて計測する。
する焦点距離の位置の変化は、温度が低いときの分岐し
たレーザビームのエネルギーの強度Ｉａ1 から温度が高
くなるときに、エネルギの強度の変化に対して集光レン
ズ２の焦点距離の位置の変化の関係を把握しておくこと
により、補正できる。なお、上記において、凹レンズを
通過してやや拡大光になったビームのエネルギ密度分布
は、中央が高い山型分布曲線になる。遮蔽物６の小穴６
ａを通過した光センサで検出される光量は、中央の山の
一番高い部分に相当する部分のエネルギに限定して測定
している。中央が高い分布曲線になる。中央の最大値部
分は最も精度よくセンシブルに測定される部分であり、
この部分を光センサにて計測する。
【００１５】また、上記実施例では、図示していないが
レーザ加工機に設けられたコントローラ等により、温度
の変化に対応する焦点の位置の変化をフィードバックし
て集光レンズ２の位置を変化させることは容易に可能で
ある。また、大出力炭酸ガスレーザ加工機は当然なが
ら、その他のレーザ溶接加工機および、レーザ熱処理機
等の焦点位置検出にも応用可能で、リアルタイムに焦点
位置を調節して最適加工位置に加工点を保持していくこ
とが出来る。
レーザ加工機に設けられたコントローラ等により、温度
の変化に対応する焦点の位置の変化をフィードバックし
て集光レンズ２の位置を変化させることは容易に可能で
ある。また、大出力炭酸ガスレーザ加工機は当然なが
ら、その他のレーザ溶接加工機および、レーザ熱処理機
等の焦点位置検出にも応用可能で、リアルタイムに焦点
位置を調節して最適加工位置に加工点を保持していくこ
とが出来る。
【００１６】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。
【００１７】レーザビームの一部をビームスプリッタに
より分岐させてレーザエネルギを低減させるとともに、
更にそのエネルギを低減させるために凹レンズによって
その密度を減じ、更に小穴を通過させることによってそ
の一部のエネルギにとどめることにより、光センサによ
り測定できるとともに、密度が低いために光センサの損
傷を防止することができる。特に、大出力炭酸ガスレー
ザのように高エネルギ密度の加工機においては、光セン
サの寿命が焦点距離自動測定のキーポイントになるた
め、低エネルギでかつ精度よく測定する本法の最大の効
果といえる。
より分岐させてレーザエネルギを低減させるとともに、
更にそのエネルギを低減させるために凹レンズによって
その密度を減じ、更に小穴を通過させることによってそ
の一部のエネルギにとどめることにより、光センサによ
り測定できるとともに、密度が低いために光センサの損
傷を防止することができる。特に、大出力炭酸ガスレー
ザのように高エネルギ密度の加工機においては、光セン
サの寿命が焦点距離自動測定のキーポイントになるた
め、低エネルギでかつ精度よく測定する本法の最大の効
果といえる。
【００１８】光センサにて検出されるエネルギは、凹レ
ンズで拡大された分岐レーザビームのエネルギ密度分布
の最大値部分を遮蔽物の小穴を通して測定しているた
め、最もセンシブルに精度よく測定でき、焦点位置の微
量の変化に即応できて加工精度が向上する。
ンズで拡大された分岐レーザビームのエネルギ密度分布
の最大値部分を遮蔽物の小穴を通して測定しているた
め、最もセンシブルに精度よく測定でき、焦点位置の微
量の変化に即応できて加工精度が向上する。
【００１９】また、レーザビームの焦点検出方法におい
て、加工用レーザビームの一部を直接取り出して計測し
ているため、特に計測用のレーザ発振機は不要であり、
また、被加工物からの反射光を用いていないため被加工
材の材質の種類等に影響されることなく測定でき、多種
類の被加工材の材質を加工できる
て、加工用レーザビームの一部を直接取り出して計測し
ているため、特に計測用のレーザ発振機は不要であり、
また、被加工物からの反射光を用いていないため被加工
材の材質の種類等に影響されることなく測定でき、多種
類の被加工材の材質を加工できる
【図１】本発明のレーザ加工機焦点検出装置の断面図で
ある。
ある。
【図２】本発明のレーザ加工機焦点検出装置の温度上昇
前と、温度上昇後の測定を説明する図である。
前と、温度上昇後の測定を説明する図である。
【図３】平行分岐レーザビームのエネルギ密度の分布を
説明するための図である。
説明するための図である。
【図４】小穴を通過した平行分岐レーザビームのエネル
ギ量を説明するための図である。
ギ量を説明するための図である。
１… トーチ ２… 集光レンズ ３… ビームスプリッタ ４… 被加工物 ５… 凹レンズ ６ａ… 小穴 ７… 光センサ １１… レーザビーム １２… 分岐レーザビーム。
Claims (1)
- 【請求項１】 レーザ発振器から発射されるレーザビー
ムを集光する集光レンズと被加工物との間にレーザビー
ムの一部を分岐するビームスプリッタを設けて集光レン
ズの焦点位置を検出するレーザ加工機焦点検出装置にお
いて、ビームスプリッタから分岐したレーザビームを拡
大する凹レンズと、その拡大したレーザビームの一部を
通過させる小穴を有する遮蔽物と、その小穴を通過した
レーザビームの光の強度を検出する光センサとを設けた
ことを特徴とするレーザ加工機焦点検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6336930A JPH08174255A (ja) | 1994-12-27 | 1994-12-27 | レーザ加工機焦点検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6336930A JPH08174255A (ja) | 1994-12-27 | 1994-12-27 | レーザ加工機焦点検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08174255A true JPH08174255A (ja) | 1996-07-09 |
Family
ID=18303948
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6336930A Pending JPH08174255A (ja) | 1994-12-27 | 1994-12-27 | レーザ加工機焦点検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08174255A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007216263A (ja) * | 2006-02-16 | 2007-08-30 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | レーザ加工装置及びその加工方法 |
| JP2009255150A (ja) * | 2008-04-21 | 2009-11-05 | Pulstec Industrial Co Ltd | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
| US7754998B2 (en) | 2004-05-26 | 2010-07-13 | Yamazaki Mazak Corporation | Focus adjuster for laser beam machine |
| JP2010179367A (ja) * | 2009-02-05 | 2010-08-19 | Jenoptik Automatisierungstechnik Gmbh | 焦点位置を監視するための一体化センサ装置を備えたレーザ加工ヘッド |
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