JPH08159811A - Movement detection device - Google Patents

Movement detection device

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JPH08159811A
JPH08159811A JP33230694A JP33230694A JPH08159811A JP H08159811 A JPH08159811 A JP H08159811A JP 33230694 A JP33230694 A JP 33230694A JP 33230694 A JP33230694 A JP 33230694A JP H08159811 A JPH08159811 A JP H08159811A
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light
resin plate
incident
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psd
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Application number
JP33230694A
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Japanese (ja)
Inventor
Junichi Nakaho
純一 仲保
Original Assignee
Tokai Rika Co Ltd
株式会社東海理化電機製作所
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Abstract

PURPOSE: To accurately detect the moving quantity of a transparent resin plate by projecting the light of a light emitting element on the surface in which the triangular prism of the transparent resin plate is formed and outputting a current in accordance with the position of light incident on a semiconductor position detecting element opposed to the light emitting element interposing the resin plate therebetween. CONSTITUTION: Light projected from a light emitting element 3 passes through a transparent resin plate 1 and is incident on PSD4 and however, when light passes through the resin plate 1, the light is bent by the resin plate 1 and an optical path is bent except when the light is incident on the top or the velley of a prism 2. The bent light is incident on the position of the right end P1 of a semicoductor position detecting element (PSD) 4. When the resin plate 1 is moved in A direction, the light is incident on the position of the left end 2. The change of the displacement of the position of light incident upon the PSD 4 which is changed with the movement of the resin plate 1 is converted into a pulse to obtain a pulse waveform. Since the moving quantity of the resin plate 1 is proportional to the number of a pulse, the pulse is counted to obtain a moving distance.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【産業上の利用分野】本発明は移動体の直線的な位置の変化や、回転体の回転角度等を精度良く検出する装置に関する発明である。 The present invention relates to a changes in the linear position of the moving body, an invention relates to a device for accurately detecting the rotation angle of the rotating body.

【従来の技術】従来から使用されている移動検出装置で、特に、回転角度を検出する所謂ロータリーエンコーダについて図8乃至図10を使って説明する。 BACKGROUND OF THE INVENTION movement detecting device which is conventionally used, in particular, will be described with reference to FIGS about the so-called rotary encoder for detecting the rotation angle. 図8はロータリーエンコーダの横断面図を示し、図9は上部より内部を見た図を示す。 Figure 8 shows a cross-sectional view of the rotary encoder, Figure 9 shows a view of the interior from the top. ケース31に外部の回転体と連結され、一体となって回転するシャフト32が回転自在に支持されている。 It is connected to an external rotating body case 31, and shaft 32 which rotates integrally is rotatably supported. シャフト32には円板状のディスク3 Discoid disk 3 to the shaft 32
3が固着されている。 3 is fixed. ディスク33には、回転中心を中心として円環状に一定角度ピッチで透光部と遮光部を交互に有するスリットパターン34及び35が設けられている。 The disk 33, the slit pattern 34 and 35 having a light transmission part and the light shielding part alternately provided at a predetermined angular pitch in a circular ring around the rotational center. スリットパターン34と35との関係はお互いが1ピッチの1/4だけずれている。 Relationship between the slit pattern 34 and 35 to each other are shifted by 1/4 of one pitch. 発光素子たるLED The light-emitting element serving as LED
36と受光素子たるフォトダイオード37は、ディスク33のスリットパターン34を挟んでお互い対向してケース31に固着されている。 36 and the light receiving element serving photodiode 37 is fixed to the case 31 by each other face each other across the slit pattern 34 of the disk 33. 同様に、発光素子たるLE Similarly, the light-emitting element serving as LE
D38と受光素子たるフォトダイオード39は、ディスク33のスリットパターン35を挟んでお互い対向してケース31に固着されている。 D38 and the light receiving element serving photodiode 39 is fixed to the case 31 by each other face each other across the slit pattern 35 of the disk 33. したがって、フォトダイオード37はスリットパターン34を、フォトダイオード39はスリットパターン35を検出する。 Therefore, the photodiode 37 is a slit pattern 34, the photo diode 39 detects the slit pattern 35. このような回転角度を検出するロータリーエンコーダは次のように作用する。 Rotary encoder for detecting such rotational angle acts as follows. フォトダイオード37(39)上にスリットパターン34(35)の透光部が来た場合は、LED3 If the translucent portion of the slit pattern 34 (35) to the photodiode 37 (39) on came, LED 3
6(38)の投光する光をフォトダイオード37(3 6 (38) light to photodiode 37 for projecting light (3
9)が受光し信号を出力する。 9) outputs the received light signal. 一方、フォトダイオード37(39)上にスリットパターン34(35)の遮光部が来た場合は、LED36(38)の投光する光をフォトダイオード37(39)が受光しないので、信号を出力しない。 On the other hand, if it came on the photodiode 37 (39) light-shielding portion of the slit pattern 34 (35), since LED36 Photo projecting light to light (38) diode 37 (39) is not received, does not output the signal . ディスク33の回転によりフォトダイオード37(39)上には、スリットパターン34(35) On the photodiode 37 (39) by rotation of the disk 33, the slit pattern 34 (35)
の透光部と遮光部が交互に来るので、フォトダイオード37(39)の出力する信号をパルス化処理した信号は図10のような位相が約1/4周期ずれた2つのパルス信号が得られ、それらのパルス信号から回転角度と回転方向を検出することができる。 Since the transparent portion comes to the light shielding portion is alternately two pulse signals whose phases are shifted approximately 1/4 period, such as a photodiode 37 (39) is processed signal pulsed output signal in FIG. 10 is obtained is, it is possible to detect the rotation angle and rotation direction from those of the pulse signal. 以上で説明した従来の技術においては、次のような問題がある。 In the prior art described above has the following problems. 1つには、発光素子の投光する光が極めて細く絞られている場合には、 One, when the light emitting light emitting device is squeezed very thin, the
ディスクのスリットパターンの透光部と遮光部の比率を1対1に設定すれば、図10の出力信号のハイレベルp By setting the ratio of the light transmission part and the light shielding part of the slit pattern of the disk in a one-to-one, the high level of the output signal of FIG. 10 p
1とローレベルp2の比率も1対1となり、1パルスが一定の角度となり精度が確保できるであろう。 1 the ratio also becomes one to one of the low level p2, will Accuracy1 pulse becomes constant angle can be secured. 例えば、 For example,
分解能が低い場合は透光部や遮光部は大きいため、発光素子の投光する光は相対的に細いものとなり、ほぼp1 Because if the resolution is low light transmitting portion and light shielding portion is large, the light emitting light emitting device becomes what relatively thin, substantially p1
=p2ととなるであろう。 = It would be and p2. ところが、分解能を高くすると、透光部や遮光部は小さいものとなり、それらの広がりと比較して発光素子の投光する光の広がりは無視できなくなり、透光部と遮光部の比率が1対1では、図10 However, the higher the resolution, the light transmitting portion and light shielding portion becomes as small, the light is projected to the spread of light of the light emitting element compared to their spread can not be ignored, the ratio of the light transmission part and the light shielding part is a one-to- In 1, as shown in FIG. 10
の信号においてもはやp1=p2ではなくなる。 It will no longer be p1 = p2 in the signal. そこでp1=p2となるように、スリットパターンの透光部と遮光部の比率を適切に設定したり、信号処理回路のパルス化する部分において、そのパルス化するレベルを調整すること等により、精度を補償するのである。 Therefore such that p1 = p2, or appropriately setting the ratio of the light shielding portion and the transparent portion of the slit pattern, in a portion of the pulse of the signal processing circuit, such as by adjusting the level of the pulsed, precision than is to compensate for. しかしながら、そのような手段には限界があり、一定以上の精度を確保することが困難であった。 However, such means is limited, it is difficult to ensure a certain level of accuracy. このように、分解能を上げることが難しいと共に、1パルスの精度を確保することも難しいのである。 Thus, the it is difficult to increase the resolution, it is also difficult to ensure the accuracy of one pulse.

【発明が解決しようとする課題】従来技術においては、 [Problems that the Invention is to Solve In the prior art,
高い分解能を得ることや、1パルスの精度を得ることが困難であるという2つの課題を解決することにある。 And to obtain a high resolution, in that to obtain a precision of one pulse to solve the two problems that it is difficult.

【課題を解決するための手段】図1に課題を解決するための原理図を示す。 Means for Solving the Problems] shows the principle for solving the problem in FIG. 1は透光性の樹脂等から成る板でその一方の面には多数の三角状プリズム2が連続して形成されている。 1 is a number of triangular prisms 2 on one surface of a plate made of a translucent resin or the like is formed continuously. この透光性樹脂板1は外部の移動手段に連結され移動可能になっている。 The light-transmitting resin plate 1 is movable is connected to outside the mobile unit. 3は発光ダイオード等の発光素子で、4の半導体位置検出素子(以下PSDと称する)と、前記透光性樹脂板1を挟んで対向しており、 3 is a light emitting element such as light emitting diodes, and 4 of the semiconductor position sensitive device (hereinafter referred to as PSD), and face each other across the light-transmitting resin plate 1,
発光素子3の投光した光は透光性樹脂板1を透過し、P Light projected in the light-emitting element 3 passes through the light-transmitting resin plate 1, P
SD4により受光される。 It is received by the SD4. PSD4は入射した光の図1 PSD4 Figure of light incident 1
の矢印X方向の位置を検出する。 Detecting the arrow X-direction position. ここで、発光素子3は透光性樹脂板1の三角状プリズム2が形成されている面の側に配置されている。 Here, the light-emitting element 3 is disposed on a side surface of triangular prism 2 of the light-transmitting resin plate 1 are formed. PSD4は2つの出力端子T1 PSD4 the two output terminals T1
及びT2を有しており、入射した光の位置に応じて、それらの端子T1及びT2からそれぞれ電流I1、I2を出力する。 And it has a T2, depending on the position of the incident light, and outputs the currents I1, I2 respectively, from their terminals T1 and T2.

【作用】以上の検出手段は次のように作用する。 [Action] or more detection means acts in the following manner. 発光素子3の投光した光は透光性樹脂板1を透過しPSD4に入射するが、光が透光性樹脂板1を透過する際に、光がプリズム2の頂点又は谷間に入射する時を除いて、透光性樹脂板1により屈折し、光路を曲げられる。 When light is projected in the light-emitting element 3 is incident on and transmitted through the light-transmitting resin plate 1 PSD 4, when light passing through the transparent resin plate 1, the light is incident to the vertex or valley of the prism 2 except, refracted by the light-transmitting resin plate 1 is bent optical path. PSD4 PSD4
に入射する光の位置の変位δは δ={t−(p/2−x)・tan(α)}・tan(α−β) +h・tan(γ) …………………… (1) sin(α)=n・sin(β) …………………… (2) n・sin(α−β)=sin(γ) …………………… (3) で与えられる。 The displacement [delta] of the position of the incident light into δ = {t- (p / 2-x) · tan (α)} · tan (α-β) + h · tan (γ) ........................ ( given by 1) sin (α) = n · sin (β) ........................ (2) n · sin (α-β) = sin (γ) ........................ (3) It is. ここで、 t:透光性樹脂板1の厚み h:透光性樹脂板1とPSD4の距離 p:プリズム2のピッチ α:プリズム2のプリズム角 x:プリズム2の谷間から発光素子3までのX方向距離 n:透光性樹脂板1の屈折率 である。 Here, t: thickness of the light-transmitting resin plate 1 h: distance of the light-transmitting resin plate 1 and the PSD 4 p: pitch of the prism 2 alpha: prism angle of the prism 2 x: from valley of the prism 2 to the light-emitting element 3 X-distance n: the refractive index of the translucent resin plate 1. 例えば、図1において、LEDの投光した光は透光性樹脂板1により屈折し、PSDの右端P1の位置に入射する(図中の実線)。 For example, in FIG. 1, the light projected the LED is refracted by the light-transmitting resin plate 1, is incident on the position of the right end P1 of the PSD (solid line in the figure). そして、透光性樹脂板1が矢印Aの方向に移動すると(図中の点線)、LEDの投光した光は透光性樹脂板1により屈折し、今度はPSD When the light-transmitting resin plate 1 is moved in the direction of arrow A (dotted line in the figure), the light projected the LED is refracted by the light-transmitting resin plate 1, this time PSD
の左端P2の位置に入射する。 To the incident at the leftmost P2. 図2には透光性樹脂板1 In Figure 2 the light-transmitting resin plate 1
の移動に伴い変化するPSD4に入射する光の位置の変位δの変化をS1で示してあり、変位δの正負を閾値として、パルス化するとS2のような等間隔のパルス波形が得られる。 It is shown moving changes in the displacement δ of the position of the light incident on with varying PSD4 to the at S1, the positive and negative displacement δ as a threshold, equidistant pulse waveform, such as when pulsing S2 is obtained. この変位δの変化S1及びパルス波形S2 This change in the displacement [delta] S1 and pulse waveform S2
の1周期は三角状プリズムのピッチpに等しい。 1 cycle of equal to the pitch p of the triangular prism. さらに、光の変化は左右対称であるので、パルス化した信号のハイレベルとローレベルは同じ間隔となり、従来技術と異なり精度が良いパルス信号が得られる。 Furthermore, the change of light because it is symmetrical, high and low levels of pulsed signal becomes the same distance, unlike the prior art accuracy is obtained a good pulse signal. 透光性樹脂板1の移動量はこのパルス数に比例するので、このパルスを計数することにより透光性樹脂板1の移動距離を認識することができ、移動検出器としての機能を実現できるのである。 The moving amount of the light-transmitting resin plate 1 is proportional to the number of pulses, by counting the pulses can recognize the movement distance of the light-transmitting resin plate 1, it can realize the function as a mobile detector than is. 特に、透光性樹脂板1のプリズム2は微細な形状を形成することも比較的容易であり、高い分解能を安価に容易に実現可能となる。 In particular, the prism 2 of the light-transmitting resin plate 1 is also relatively easy to form a fine shape, a low cost easily realize a high resolution. ところで、PSD4に入射する光の位置は、PSD4の出力する電流I1及びI2から次のようにして算出される。 Incidentally, the position of the light incident on PSD4 is calculated from the current I1 and I2 outputted from the PSD4 as follows. δ=(L/2)・(I1−I2)/(I1+I2) …………… (4) ここで、LはPSD4の光位置検出部の全長である。 δ = (L / 2) · (I1-I2) / (I1 + I2) ............... (4) where, L is the total length of the optical position detector of the PSD 4. しかし、パルス化する段階においては、式(4)のδの正負のみを判別するので、I1−I2のみを必要とし、したがって、式(4)の除算は不要となり、引き算I1− However, in the step of pulsing, since it is determined only sign of δ in formula (4) requires only I1-I2, therefore, the division of formula (4) becomes unnecessary, subtraction I1-
I2或いはI1とI2の大小関係のみでよく、信号処理回路も大幅に簡単になり安価になる。 I2 or well only magnitude relationship I1 and I2, the signal processing circuit is also greatly simplifies less expensive.

【実施例】図3に本発明の実施例の横断面図を、図4には上部から内部を見た図を示す。 A cross-sectional view of an embodiment of the embodiment of the present invention in FIG. 3, FIG. 4 shows a view of the inside from the top. 本実施例は、上述手段を回転角度の検出に適用したもので、所謂ロータリーエンコーダでの実施例である。 This embodiment is obtained by applying the aforementioned means for the detection of the rotation angle, an embodiment of a so-called rotary encoder. ケース11にはシャフト1 The shaft in case 11 1
2が回転自在に支持されており、シャフト12は外部の回転体に連結されている。 2 is rotatably supported, the shaft 12 is connected to the outside of the rotating body. シャフト12には円板状の透光性樹脂板13が固着されており、透光性樹脂板13はシャフト12と一体となって回転する。 The shaft 12 is secured is a circular plate-shaped light-transmitting resin plate 13, the light-transmitting resin plate 13 rotates integrally with the shaft 12. 透光性樹脂板1 Translucent resin plate 1
3には一定のピッチの多数の三角状プリズムが回転中心を中心として円環状に連なったプリズム部14と15が形成されている。 The 3 multiple triangular prisms constant pitch prism portion 14 and 15 continuous to the annular are formed around the rotation center. プリズム部14と15の三角状プリズムのピッチは同じであるが、その位相は1/4異なっている。 The pitch of the triangular prism of the prism portions 14 and 15 are the same, but the phase is different 1/4. つまり、図5に示すようにプリズム部15の頂点はプリズム部14の頂点と谷の丁度中央に位置しているのである。 That is, the vertex of the prism portion 15 as shown in FIG. 5 is are you located just central vertex and the valley of the prism portion 14. 発光素子たるLED16とPSD17は透光性樹脂板13のプリズム部14を挟んでケース11に固着されており、LED16の投光した光はプリズム部1 Emitting element serving LED16 and PSD17 are secured to the case 11 across the prism portion 14 of the light-transmitting resin plate 13, the light projected to LED16 prism portion 1
4を透過し、PSD17によって円周方向の光の位置変化が検出される。 4 through the change in position in the circumferential direction of the light is detected by the PsD17. 同様に、発光素子たるLED18とP Similarly, the light-emitting element serving LED18 and P
SD19は透光性樹脂板13のプリズム部15を挟んでケース11に前記LED16とPSD17と周方向に対し同じ位置に固着されており、LED18の投光した光はプリズム部15を透過し、PSD19によって円周方向の光の位置変化が検出される。 SD19 is secured to the same position relative to the LED16 and PSD17 the circumferential direction of the case 11 across the prism portion 15 of the translucent resin plate 13, the light projected to LED18 is transmitted through the prism portion 15, PSD 19 change in position of the circumferential direction of the light is detected by. 図6は本実施例の信号処理回路のブロック図を示す。 Figure 6 shows a block diagram of a signal processing circuit of the present embodiment. PSD17の2つの出力は電流・電圧変換アンプ20及び21に接続され、PS Two outputs of PSD17 are connected to the current-voltage conversion amplifier 20 and 21, PS
Dの出力電流を電圧に変換される。 It is converted to an output current of the D into voltage. 22はコンパレータで電流・電圧変換アンプ20及び21の出力する電圧を比較し、電流・電圧変換アンプ20の出力電圧が電流・ 22 compares the voltage output of the current-voltage conversion amplifier 20 and 21 in the comparator, the output voltage of the current-voltage conversion amplifier 20 is a current-
電圧変換アンプ21の出力電圧より大きい場合にはハイレベルの電圧を出力し、逆の場合にはロウレベルの電圧(0V)を出力する。 If the output voltage greater than the voltage conversion amplifier 21 outputs a high level voltage, in the case of inverse outputs a low level voltage (0V). 同様PSD19の2つの出力は電流・電圧変換アンプ23及び24に接続され、PSDの出力電流を電圧に変換される。 Similar two outputs of PSD19 are connected to the current-voltage conversion amplifier 23 and 24, is converted to an output current of the PSD into voltage. 25はコンパレータで電流・電圧変換アンプ23及び24の出力する電圧を比較し、電流・電圧変換アンプ23の出力電圧が電流・電圧変換アンプ24の出力電圧より大きい場合にはハイレベルの電圧を出力し、逆の場合にはロウレベルの電圧(0 25 compares the voltage output of the current-voltage conversion amplifiers 23 and 24 in the comparator, a voltage of high level when the output voltage is greater than the output voltage the current-voltage conversion amplifier 24 of the current-voltage conversion amplifier 23 outputs and, a low level of voltage in the case of reverse (0
V)を出力する。 V) to output. 以上の構成の実施例は次のように作用する。 Example of the above configuration operates as follows. 外部の回転体に接続されたシャフト11が回転体の回転により回転するとシャフト11に固着された透光性樹脂板13も一体となって回転し、LED16によりPSD17に投光される光は、プリズム部14により、 When the shaft 11 connected to the outside of the rotating body is rotated by the rotation of the rotary member to rotate in an anchored translucent resin plate 13 also integral with the shaft 11, light projected in PSD17 by LED16 is a prism by part 14,
その位置が前記原理説明の如く変化する。 Its position changes as the principles described. 同様に、LE Similarly, LE
D18によりPSD19に投光される光の位置も、プリズム部15により、変化する。 Position of the light projected to PSD19 by D18 also by the prism unit 15, changes. それら光の位置の変化に応じてコンパレータ22及び25の出力する電圧SA及びSBは、図7に示すような信号波形を示す。 Voltage SA and SB to the output of the comparator 22 and 25 in accordance with a change in the positions of light shows a signal waveform as shown in FIG. ここで、 here,
LED16とPSD17の対とLED18とPSD19 LED16 the pair and the LED18 of PSD17 and PSD19
の対は周方向に対し同じ位置に配置されており、且つ、 Pairs of which are arranged at the same position with respect to the circumferential direction, and,
プリズム部14と15はその位相が1/4周期異なるので、図7の出力信号SAとSBの位相も1/4周期異なっている。 Because the prism portions 14 and 15 the phase is different by 1/4 period are different in phase 1/4 period of the output signal SA and SB in Fig. また、出力信号SA及びSBの信号波形の1 Further, the output signals SA and SB of the signal waveform 1
周期はプリズム部14及び15の1ピッチに等しいので、例えば、プリズム部14及び15の三角状プリズムが全周で360個設けてあるとすると、出力信号SA及びSBの1周期は回転角度の1°に相当するので、出力信号のハイレベルからローレベル若しくはローレベルからハイレベルの変化を検出することにより、最小分解能0.25°まで検出できることになる。 Since the period is equal to one pitch of the prism portions 14 and 15, for example, the triangular prism of the prism portions 14 and 15 and is provided 360 all around, one period of the output signals SA and SB are the rotational angle 1 since equivalent to °, by detecting a change from the high level from the low level or the low level of the high level of the output signal, it can be detected up to minimum resolution 0.25 °. さらに、出力信号SAとSBの位相が1/4周期異なっていることから、それら信号の変化の順番からその回転方向も検出できるのである。 Furthermore, since it is different in phase 1/4 period of the output signal SA and SB, it is from the order of their signal change can detect the direction of rotation. 尚、上記実施例では、透光性樹脂板13 In the above embodiment, the light-transmitting resin plate 13
に2箇所のプリズム部14及び15を設けたが、プリズム部を1箇所とし、2対のLEDとPSDお互い位置を同一半上で周方向の位置を適当にずらして、お互いの出力信号の位相が1/4周期ずれるような構成を採ることもできる。 Is provided with the prism portions 14 and 15 of the two portions, the prism portion and one position, two pairs of an LED and PSD mutual position by shifting the circumferential positions suitably on the same half of the output signal of another phase There may take the like shifted 1/4 period configuration. また、上記実施例では、回転体の回転角度を検出する所謂ロータリーエンコーダを実施例として説明したが、直線的に移動する物体の変位を検出することも可能であることは、図1の原理図から容易に考えられる。 Further, in the above embodiment, a so-called rotary encoder for detecting the rotation angle of the rotating body described as an example, that it is also possible to detect the displacement of the object to be moved linearly, the principle diagram of Fig. 1 easily conceivable from.

【発明の効果】本発明は、高価な部品を使用することなく、高い精度で且つ高い分解能で移動体の変位、或いは、回転体の回転角度を検出することができるという優れた特徴を持っているものである。 According to the present invention, without using an expensive component, the displacement of the movable body and high resolution with high accuracy, or, have excellent characteristics of being able to detect the angle of rotation of the rotor it is those who are.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明の原理説明図 A view for describing the principles of the present invention; FIG

【図2】PSDの出力信号図 [Figure 2] output signal diagram of the PSD

【図3】本発明の実施例の横断面図 Cross-sectional view of an embodiment of the present invention; FIG

【図4】本発明の実施例の正面図 A front view of an embodiment of the present invention; FIG

【図5】本発明の実施例のプリズム部の図 Figure prism portion of the embodiment of the present invention; FIG

【図6】本発明の実施例の回路ブロック図 Figure 6 is a circuit block diagram of an embodiment of the present invention

【図7】本発明の実施例の出力信号波形図 [7] The output signal waveform diagram of an embodiment of the present invention

【図8】従来の技術の横断面図 Figure 8 is a cross-sectional view of the prior art

【図9】従来の技術の正面図 FIG. 9 is a front view of the prior art

【図10】従来の技術の出力信号波形図 [10] output signal waveform diagram of a prior art

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1、13は透光性樹脂板、2、14、15は透光性樹脂板のプリズム部、3、16、18、36、38はLED 1,13 translucent resin plate, 2,14,15 prism portion of the light-transmitting resin plate, 3,16,18,36,38 the LED
4、17、19はPSD、11、31はケース、1 4,17,19 the PSD, 11,31 cases, 1
2、32はシャフト、20、21、23、24は電流・ 2, 32 is a shaft, 20, 21, 23, 24 is current,
電圧変換アンプ、22、25はコンパレータ、33はディスク、34、35はスリットパターン部、37、39 Voltage conversion amplifier, 22 and 25 comparators, 33 disk, 34 and 35 slit pattern portion, 37 and 39
はフォトダイオード Photodiode

Claims (1)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 一方もしくは両方の面に一定の周期で形成された多数の三角状のプリズムを有する透光性板と、 And 1. A one or translucent plate having a plurality of triangular prisms formed at a constant period on both sides,
    該透光性板の一方の側に設けられ該透光性板に投光する投光素子と、該透光性板を挟んで該投光素子と対向し該透光性板を透光した光を受光し、その光の位置を検出する半導体位置検出素子(PSD)と、該半導体位置検出素子(PSD)の出力する信号を演算処理し且つパルス信号に変換する信号処理回路から構成され、該透光性板の移動に伴い該透光性板に形成された一定周期の多数の三角状のプリズムに同期して出力する該半導体位置検出素子(PSD)の周期的に変化する信号を該信号処理回路により演算処理しパルス化し、該パルス信号のパルス数から該透光性板の相対的な移動量を検出することを特徴とする移動検出装置。 A light projecting element for projecting the light-transmissive plate is provided on one side of the light transmissive plate and the light transmitting the light transmissive plate to face the-projecting optical element across the light transmissive plate receiving light, the semiconductor position detecting element for detecting the position of the light (PSD), a signal processing circuit for converting the arithmetic processing and the pulse signal output to the signal of the semiconductor position sensitive device (PSD), the periodically varying signal of said semiconductor position detecting element (PSD) for output in synchronization with a number of triangular prisms having a constant period formed on the light transmissive plate with the movement of the light-transmissive plate signal processing arithmetic processing pulsed by the circuit, the movement detecting device and detecting the amount of relative movement the light-transmitting plate from the number of pulses of the pulse signal.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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EP0947807A2 (en) * 1998-04-01 1999-10-06 Fanuc Ltd. Optical encoder
CN102062581A (en) * 2010-11-30 2011-05-18 中国科学院光电技术研究所 Device for measuring radial runout of axis system base based on pyramid prism

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