JPH08157778A - Lamination of liquid crystal panel and apparatus therefor - Google Patents

Lamination of liquid crystal panel and apparatus therefor

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JPH08157778A
JPH08157778A JP30591094A JP30591094A JPH08157778A JP H08157778 A JPH08157778 A JP H08157778A JP 30591094 A JP30591094 A JP 30591094A JP 30591094 A JP30591094 A JP 30591094A JP H08157778 A JPH08157778 A JP H08157778A
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crystal
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Inventor
Shinji Suzuki
信二 鈴木
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Ushio Inc
ウシオ電機株式会社
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Abstract

PURPOSE: To provide a method and an apparatus for the lamination of a liq. crystal panel which can provide an even gap and can efficiently apply light to an adhesive.
CONSTITUTION: A liq. crystal panel after application of a photocurable adhesive and lamination (a work 3) is set on a stage 12 in a treatment chamber 10, and registration of the work 3 is conduced with the aid of an alignment unit 4, followed by pressing of the work 3. Light emitted from a light irradiation device 20 is sent through a light guide fiber 31 into an outgoing end 32. A controller 50 drives an outgoing moving mechanism 40 and moves the outgoing end 32 along the sites to be coated with an adhesive on the work 3, and light is applied at least twice to a photocurable adhesive applied onto the work to cure the adhesive.
COPYRIGHT: (C)1996,JPO

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【産業上の利用分野】本発明は、液晶パネルの組み立て工程において、透明基板と透明基板または透明基板と半導体基板を光硬化型の接着剤で貼り合わせる液晶パネルの貼り合わせ方法および装置に関する。 The present invention relates, in the assembly process of the liquid crystal panel, to a bonding method and apparatus of the liquid crystal panel of bonding the transparent substrate and the transparent substrate or the transparent substrate and the semiconductor substrate in the light-curable adhesive.

【0002】 [0002]

【従来の技術】液晶画面には透過型と反射型がある。 Of the Related Art LCD is a reflective and transmissive. 透過型液晶画面は、液晶パネルとそれを制御するドライバおよび液晶パネルを裏面から照明するバックライトから構成されている。 Transmissive liquid crystal screen, and a backlight for illuminating the liquid crystal panel and a driver and a liquid crystal panel to control it from the back. 液晶パネルは液晶を封入し、それに掛ける電圧を制御することによりバックライトからの光を透過させたり遮光したりして、画面を表示させる。 The liquid crystal panel sealing liquid crystal, or by shielding or by transmitting light from a backlight by controlling the voltage applied thereto, to display the screen. この場合、液晶パネルは2枚のガラス基板から構成されている。 In this case, the liquid crystal panel is composed of two glass substrates.

【0003】一方、反射型液晶画面は、バックライトを使用せずに室内光を利用するもので、片方の基板が光を反射する鏡面を有する半導体基板等で構成されている。 On the other hand, the reflection type liquid crystal display is for use in a room light without using a backlight, and a semiconductor substrate or the like having a mirror surface one substrate to reflect light.
液晶パネルに入射した室内光はガラス基板、液晶層を通過した後、前記反射鏡面で反射され、再び液晶層、ガラス基板を通過して画面を表示させる。 After room light incident on the liquid crystal panel which has passed through the glass substrate, the liquid crystal layer, the reflected by the reflection mirror, and displays the screen through again the liquid crystal layer, a glass substrate. 反射型液晶画面は、バックライトを使用しないために、消費電力が少ないという利点を持つ。 Reflective liquid crystal screen, in order not to use backlight has the advantage that power consumption is small.

【0004】最近ではコストダウンのためにガラス基板の代わりに樹脂基板を用いることも行われている。 [0004] Recently it has been made to use a resin substrate instead of the glass substrate in order to reduce costs. 通常、液晶パネルを構成する2枚の基板の一方(ガラス基板、樹脂基板もしくは半導体基板)には液晶を駆動するための駆動素子、例えば、薄膜トランジスタ(TFT) Usually, one of the two substrates constituting the liquid crystal panel driving device for (a glass substrate, a resin substrate or a semiconductor substrate) is for driving the liquid crystal, for example, a thin film transistor (TFT)
や透明導電膜で形成された液晶駆動用電極が形成されている。 Liquid crystal drive electrodes and formed of a transparent conductive film is formed.

【0005】他方のガラス基板(または樹脂基板)にはブラックマトリックスと呼ばれる遮光膜、およびカラー液晶パネルの場合はカラーフィルタ等が形成されている。 [0005] The other glass substrate (or resin substrate) in the light-shielding film called a black matrix, and in the case of a color liquid crystal panel has color filters and the like are formed. ブラックマトリックスは例えば、クロム蒸着膜や黒色の樹脂等で形成されており、画像の表示に関係のない液晶以外の部分、すなわち液晶駆動素子や配線の部分等からバックライトまたは反射鏡面からの光が漏れて画像を乱さないように目隠しの役割をする。 Black matrix, for example, is formed of a resin such as chromium deposition film or black, no portion other than the liquid crystal related to the display of the image, that is, light from the backlight or reflecting mirror surface from the portion of the liquid crystal drive elements and wirings the role of blindfolded so as not to disturb the image leak.

【0006】図12は上記した液晶パネル(カラー液晶パネル)の一例を示す図であり、同図において、101 [0006] Figure 12 is a diagram showing an example of a liquid crystal panel described above (color liquid crystal panel), reference numeral 101
はカラーフィルタ基板、102はTFT基板、103はTFT素子(薄膜トランジスタ)、104はブラックマトリックス、105は散布スペーサ、106は配向膜、 The color filter substrate, 102 is a TFT substrate, 103 denotes a TFT element (thin film transistor), 104 black matrix, the spraying spacers 105, 106 alignment film,
107はシール剤、108は表示ITO電極である。 107 sealant 108 is a display ITO electrodes. なお、同図は理解を容易にするため、横方向を縦方向に比べて縮尺して示している。 Incidentally, the figure for ease of understanding, are shown to scale than the lateral longitudinally.

【0007】液晶パネルの製造工程では、上記2枚のガラス基板を別々に製作した後、接着剤(図12におけるシール剤107)で貼り合わせる。 [0007] In the manufacturing process of the liquid crystal panel, After preparing the two glass substrates separately, bonded with an adhesive (sealing agent 107 in FIG. 12). この時、2枚のガラス基板の間に、スペーサと呼ばれる球状の微粒子(図1 In this case, between two glass substrates, spherical particles called spacers (FIG. 1
2におけるスペーサ105)を噴霧して2枚のガラス基板の間に液晶を注入する隙間(ギャップ)を形成する。 By spraying the spacer 105) at 2 between two glass substrates to form a gap (gap) for injecting the liquid crystal.
液晶が漏れないようにするためのシールは前記の接着剤が兼用する。 Seal so that the liquid crystal does not leak the adhesive also serves. すなわち、接着剤は画面表示部分を囲むように細い線状に塗布される。 That is, adhesive is applied to a thin line shape so as to surround the image display portion. その線の幅は1〜1.5m The width of the line is 1~1.5m
m程度である。 It is about m.

【0008】図13はガラス基板上に接着剤(シール剤)を塗布した状態を示す図であり、同図に示すように、通常、ガラス基板上には複数(同図では4面)の製品が搭載されている。 [0008] Figure 13 is a diagram showing a state in which an adhesive is applied (sealant) on a glass substrate, as shown in the figure, usually the product of multiple on a glass substrate (4 Side in drawing) There are mounted. そして、各製品を囲むように接着剤が塗布され、その一部に接着後、液晶を注入するための注入口が設けられる。 Then, the adhesive so as to surround each product is applied, after bonding to a portion thereof, an inlet for injecting a liquid crystal is provided. ガラス基板の4隅には、必要に応じて仮止め用に接着剤が塗布され、2枚のガラス基板を仮止め用に接着剤により仮止めした後に、2枚のガラス基板が貼り合わされる。 The four corners of the glass substrate is adhesive coated necessary for temporary fixing, the two glass substrates after temporarily fixed with an adhesive for temporary fixing, the two glass substrates are bonded.

【0009】接着剤の塗布には、スクリーン印刷が用いられる。 [0009] The application of the adhesive, screen printing is used. また、最近では、ディスペンサと呼ばれる注射器のようなプローブから糸状に接着剤を押し出し、このディスペンサを移動させながら接着剤を塗布する方法が行われている。 In recent years, extruded adhesive thread from the probe, such as a syringe, called dispenser, method of applying an adhesive while moving the dispenser is being carried out. この方法は、印刷による塗布に比べ、スクリーン等が基板表面に接触しないので、塵埃が基板に付着することが少なく、塵埃汚染による不良が起こりにくいという利点を持つ。 This method, compared to the application by printing, the screen or the like does not contact the substrate surface, less the dust is attached to the substrate, it has the advantage that hardly occur failure due dust pollution.

【0010】2枚の基板を貼り合わせるとき、前記のブラックマトリックスが正しく前記遮光したい部分と重なるように、2枚の基板の位置合わせを行う。 [0010] When bonding two substrates, such that the black matrix overlaps correctly the shielding want moiety, to position the two substrates. さらに、隙間(ギャップ)が基板全面に渡って均一になるように、 Furthermore, as the clearance (gap) is uniform over the entire surface of the substrate,
2枚の基板が相対的に接近する方向に圧力を掛けながら接着剤を硬化させる。 Two substrates to cure the adhesive while applying pressure in the direction of relative approach. 従来、2枚の基板を貼り合わせる工程においては、熱硬化型の接着剤を使用して貼り合わせていた。 Conventionally, in the step of bonding two substrates were bonded using a thermosetting adhesive. しかし、この方法では接着剤を硬化させるために高い温度処理を行うため、基板の熱膨張により接着・硬化中に2枚の基板がずれてしまい、製品不良の原因となっていた。 However, in order to perform a high temperature treatment in order to cure the adhesive in this method, it deviates the two substrates during bonding and curing by thermal expansion of the substrate, thus causing product defects. このため、最近では、光硬化性の接着剤を使用して、熱を掛けずに光で硬化させる接着技術が開発され、使用されるようになってきた。 Therefore, recently, by using the photocurable adhesive bonding techniques to cure by light have been developed without applying heat, it has come to be used.

【0011】接着剤を光で硬化させる場合、照射する光の強度が強い程短時間で硬化を完了させることができる。 [0011] If the adhesive is cured by light, it is possible to complete the cure in a short period of time as the high intensity of the irradiated light. このため、強い紫外線強度が得られる高圧水銀灯やメタルハライドランプ等を光源として液晶パネル全体を一括して照射していた。 Therefore, it was irradiated at once the whole liquid crystal panel as a strong light from a high pressure mercury lamp or a metal halide lamp or the like UV strength. 図14は光硬化性の接着剤に光を照射して液晶基板の接着剤を硬化させる従来例を示す図であり、同図において、1はミラー、2は紫外線を放射する高圧水銀灯やメタルハライドランプ等のランプ、 Figure 14 is a diagram showing a conventional example to cure the adhesive of a liquid crystal substrate by irradiating light to the photocurable adhesive, reference numeral 1 denotes a mirror, a high pressure mercury lamp or a metal halide lamp 2 to emit ultraviolet lamps etc.,
3は前記した2枚のガラス基板の間に接着剤を挟み込んで一体形状とした液晶パネル等のワークであり、ランプ2が放射する光はミラー1で反射して集められ、光透過窓11を通過して液晶パネル3のブラックマトリックスを設けた基板側に入射する。 3 is a workpiece such as a liquid crystal panel was set to integrally shape by sandwiching an adhesive between the two glass substrates described above, light the lamp 2 is emitted is collected reflected by the mirror 1, the light transmission window 11 through incident on the substrate side provided with the black matrix of the liquid crystal panel 3.

【0012】10はワーク処理室であり、11は光透過窓、12はワークを載置するステージ、13はガイド、 [0012] 10 is a workpiece processing chamber, the light transmission window 11, 12 is a stage for placing the work, 13 guide,
14は水冷管であり、照射される光によりワークが不所望に加熱しないようにするため、水冷管14により冷却することができる。 14 is a cooling water pipe, in order not to heat the workpiece is undesirably by light irradiated, it can be cooled by the cooling water pipe 14. 15は貫通穴であり、ステージの下の空気導入口16から貫通穴15を介してワーク3の下面に空気を供給することにより、ワーク3を上方に押し上げ加圧する。 15 is a through hole, by supplying air to the lower surface of the workpiece 3 via a through hole 15 from the air inlet 16 under the stage, pressurized push the workpiece 3 upwards.

【0013】同図において、液晶パネルの貼り合わせ工程は次にように行われる。 [0013] In the figure, the bonding step of the liquid crystal panel is then so performed. (1) 処理室10内のステージ12上にワーク3を載置する。 (1) placing the workpiece 3 on the stage 12 of the processing chamber 10. (2) ステージ12の貫通穴15を介して空気を供給する。 (2) supplying air via the through hole 15 of the stage 12. ワーク3は空気圧により上昇し、上面が光透過窓1 Work 3 rises pneumatically, top light transmitting window 1
1に接触して、空気圧により加圧される。 In contact with 1, it is pressurized by the air pressure. (3) ランプ2から紫外線を照射し、ワーク3に塗布された接着剤を硬化させる。 (3) irradiating ultraviolet radiation from the lamp 2, to cure the adhesive applied to the workpiece 3. その際、必要に応じて水冷管1 At that time, the cooling water pipe if necessary 1
4に冷水等を供給してワーク3の不所望な温度上昇を防止する。 By supplying cold water or the like to prevent the undesired rise in temperature of the workpiece 3 to 4.

【0014】ところで、近年、製造効率の向上のため、 [0014] By the way, in recent years, for the improvement of production efficiency,
1枚のワークに複数個の液晶画面を同時に製作したいという要求からワークが大型化してきた。 Work from a desire to manufacture a plurality of LCD screen at the same time has been increased in size to a single work. それに伴い、光を照射する面積も大きくなり、使用するランプの出力や大きさ(長さ)も大きくなったきた。 Along with this, the area to be irradiated with light is also increased, increased output and size (length) is also of lamp used north. 接着剤は、前記図13に示すように、画面表示部分を囲むように細い線状に塗布される。 Adhesive, as shown in FIG. 13, are applied to the thin linear surround the screen display portion. 光の照射が必要な部分はこの線状の部分である。 Necessary part irradiation of light is part of the linear. この線状の部分はワーク全体の面積の5%にも満たない。 The linear portion is not less than 5% of the total area of ​​the workpiece. すなわち、従来の一括した照射では、その光のほとんどが接着剤の無い部分に照射されてしまい、光の利用効率が極端に悪いという問題があった。 That is, in the conventional batch was irradiated, most of the light will be irradiated on a portion having no adhesive, use efficiency of light is a problem extremely poor.

【0015】また、接着剤がない部分に照射された光は基板の温度を上昇させる。 Further, the light emitted to the part no adhesive raises the temperature of the substrate. 従って、温度上昇により基板が膨張し、接着・硬化中に2枚の基板がずれてしまい、 Accordingly, the substrate expands due to a temperature rise, deviates the two substrates during bonding and curing,
製品不良の原因となっていた。 It has been a cause of defective products. この問題を解決する手段としては、導光ファイバを使用して必要な部分のみに光を照射することが考えられる。 As means for solving this problem, it is conceivable to irradiate light only in necessary portions by using the light guiding fiber. 基板が大きい場合や塗布された接着剤(シール剤)の長さが長い場合は、導光ファイバを移動させる等により、照射する光を接着剤に対し相対的に移動させながら照射すればよい。 If the length of the case where the substrate is large and the applied adhesive (sealing agent) is long, by for moving the light guide fiber may be irradiated while relatively moving with respect to the adhesive with light to be irradiated.

【0016】この方法によれば、接着剤の無い部分に照射される光を減少させることができ、効率的に光を使用できる。 According to this method, it is possible to reduce the light irradiated to the portion where no adhesive, efficient light use. また、基板の温度上昇を抑えることができる。 Further, it is possible to suppress the temperature rise of the substrate.
例えば、特開平4−178629号公報には、光ファイバと加圧ローラとを一体構造とし、これを移動させて接着剤を硬化する技術が開示されている。 For example, JP-A-4-178629, the optical fiber and the pressure roller with an integral structure, moves to cure the adhesive techniques have been disclosed which. 該公報の内、光ファイバを移動させる部分については、上記した問題の解決に応用することができる(なお、上記公報に開示された技術は光照射と加圧とを同時に行うための技術であり、上記したような光の利用効率や温度上昇の問題を解決するものではなく、また、これらの問題についての指摘や示唆があるものではない。) Of publication, the portion for moving the optical fiber can be applied to solve the above-mentioned problem (the technique disclosed in the above publication is an art for performing the light irradiation and the pressure at the same time , not solve the problems of the efficiency and the temperature rise of the light as described above, also, not intended there are suggestions and suggestion of these issues.)

【0017】 [0017]

【発明が解決しようとする課題】ところで、種々の実験の結果、単に照射する光を移動させて照射すると、ワーク全面に渡って均一なギャップが得られないことが判明した。 [SUMMARY OF THE INVENTION Incidentally, the results of various experiments, when merely illuminated by moving the light irradiation, it is not a uniform gap over the work entirely obtained was found. これは次の理由によるものと考えられる。 This is considered to be due to the following reasons. すなわち、照射する光を移動させて接着剤を硬化させる場合、 That is, when the adhesive is cured by moving the light to be irradiated,
光が当たっている接着剤の部分が局所的に硬化され、それが光の移動とともに順次接着剤の全長に渡って進行していく。 Portion of the adhesive light is striking is cured locally, it progresses over the entire length of the sequential adhesive with the movement of the light.

【0018】一方、接着剤が硬化するとき、硬化反応により接着剤の体積変化が起こる。 Meanwhile, when the adhesive cures, the volume change of the adhesive takes place by the curing reaction. これは、光硬化型接着剤は光重合反応や光架橋反応を利用して硬化させるためで、このような反応が起こると体積が減少する。 This is because the light-curing adhesive in order to cure by using a photopolymerization reaction or photo-crosslinking reaction, the volume when such reaction occurs is reduced. したがって、光が照射されて硬化した部分は上記体積減少により2枚の基板が引っ張られギャップが小さくなる方向に強い力が働く。 Therefore, the portion where the light is cured by irradiation a strong force in a direction gap pulled the two substrates by the reduction in volume is reduced acts. このとき、光が照射されていない未硬化の部分はまだゲル状で流動的であるので、光が照射された直近の未硬化部は硬化部にひきずられてギャップが縮まり、反対に対辺の未硬化部はスペーサを支点とするテコの力でギャップが広がる。 At this time, the portion of the uncured light is not irradiated is still fluid gel-like, the most recent of the uncured portion irradiated with light shrinks gap is dragged to the hardened part, the opposite side to the opposite non curing unit spreads the gap by the force of the lever to pivot the spacer. 結果的に2枚の基板が傾いた状態で硬化が進行し、ギャップが不均一となる。 Resulting in curing proceeds in an inclined state and the two substrates, the gap is not uniform. これはスペーサを使用する液晶パネル特有の問題である。 This is a liquid crystal panel of the specific problem of using a spacer.

【0019】また、ディスペンサを使って接着剤を塗布した場合には、押し出しプローブの移動速度や接着剤の押し出し量の制御精度のバラツキにより、塗布された接着剤の位置が変動することが起こる。 Further, when the adhesive was applied using a dispenser, the variation in the control precision of the extrusion amount of the moving speed and adhesive extrusion probe, the position of the applied adhesive that happen to vary. このような状態の接着剤に対し、単に導光ファイバとファイバ移動機構の組み合わせにより予めセットした移動パターンで光を照射すると、位置が変動した接着剤の部分に光が当たらず未硬化の部分が生ずる可能性がある。 To the adhesive in such a state, simply by irradiating light in a moving pattern set in advance by a combination of the light guide fiber and the fiber moving mechanism, uncured portions not exposed to light in a portion of the adhesive positioned fluctuates there is a possibility that arise.

【0020】接着剤が充分硬化されない状態で液晶を注入すると、前記したように未硬化の接着剤の成分が液晶中に溶けだし液晶の特性を悪化させ製品不良の原因となる。 [0020] injecting the liquid crystal in a state where the adhesive is not sufficiently cured, component of uncured adhesive as described above causes of defective products worsen the characteristics of the liquid crystal dissolves in the liquid crystal. これを避けるためには、光のスポット径を接着剤の位置変動を見込んで大きくすることが必要であり、光の利用効率が悪いという問題があった。 To avoid this, the spot diameter of the light it is necessary to increase in anticipation of the position change of the adhesive, the light utilization efficiency is poor. 本発明は上記した従来技術の問題点を考慮してなされたものであって、本発明の第1の目的は、ワーク全面に渡って均一なギャップを得ることができ、光の利用効率がよく、基板の温度をほとんど上昇させることなく効率的に接着剤を硬化させることができる液晶パネルの貼り合わせ方法および装置を提供することである。 The present invention was made in view of the problems of the prior art described above, the first object of the present invention, it can obtain a uniform gap over the workpiece entire surface may use efficiency of light is to provide a bonding method and apparatus of a liquid crystal panel can be cured efficiently adhesives without hardly increasing the temperature of the substrate.

【0021】本発明の第2の目的は、接着剤の部分に正確に光を照射することができ、硬化されない部分が生じることがない液晶パネルの貼り合わせ方法および装置を提供することである。 The second object of the present invention can be irradiated accurately light to a portion of the adhesive is to provide a bonding method and apparatus of the liquid crystal panel does not occur hardened portion not. 本発明の第3の目的は、接着剤の位置が変動しても接着剤の部分に正確に光を照射することができる液晶パネルの貼り合わせ方法および装置を提供することである。 A third object of the present invention is to provide a bonding method and apparatus of a liquid crystal panel can be precisely irradiated with light in a portion of the adhesive it is varied the position of the adhesive.

【0022】 [0022]

【課題を解決するための手段】本発明の請求項1の発明は、透明基板と透明基板または透明基板と半導体基板とを光硬化型の接着剤で貼り合わせる液晶パネルの貼り合わせ方法において、光照射部から導光ファイバで導光された光を接着剤に対し相対的に移動させながら照射して、接着剤を硬化させるに際し、接着剤の同一領域を2 The invention of claim 1 of the present invention, in order to solve the problem] is the bonding method of the liquid crystal panel bonding the transparent substrate and the transparent substrate or the transparent substrate and the semiconductor substrate in the light-curable adhesive, light with radiation of guided light is relatively moved with respect to the adhesive in the light guiding fiber from the irradiation unit, when the adhesive is cured, the same region of the adhesive 2
回以上照射することにより接着剤の硬化に必要な照射量に至らしめるようにしたものである。 It is obtained as allowed to reach dose necessary for curing of the adhesive by irradiating more times.

【0023】本発明の請求項2の発明は、請求項1の発明において、第1回目に照射される光の照射量を第2回目以降に照射される光の照射量より少なくしたものである。 The invention of claim 2 is the invention according to claim 1, in which the irradiation amount of light applied to the first time less than the dose of light applied to the second and subsequent times . 本発明の請求項3の発明は、請求項1または請求項2の発明において、導光ファイバで導光された光の移動速度を可変とすることにより、照射量を制御するようにしたものである。 The invention of claim 3 of the present invention is the invention of claim 1 or claim 2, the moving speed of the light guided by the light guiding fiber by a variable, which was to control the amount of radiation is there.

【0024】本発明の請求項4の発明は、請求項1,2 The invention of claim 4 of the present invention, according to claim 1, 2
または請求項3の発明において、導光ファイバで導光された光の照射強度を可変にすることにより照射量を制御するようにしたものである。 Or in the invention of claim 3, in which so as to control the amount of irradiation by the irradiation intensity of light guided by the light guiding fiber to a variable. 本発明の請求項5の発明は、請求項1,2,3または請求項4の発明において、 The invention of claim 5 of the present invention is the invention of claim 1, 2, 3 or claim 4,
導光ファイバの移動原点および上記ワークの位置合わせの基準点を設定し、予め上記導光ファイバの移動原点に対する上記ワークの位置合わせ基準点および上記ワークの位置合わせの基準点に対する接着剤の位置情報を記憶手段に記憶させておき、先ずワークの位置合わせ基準点が上記導光ファイバの移動原点に対し所定の位置になるように上記ワークの位置合わせを行い、ついで、上記記憶手段から読み出した位置情報に基づき、制御手段により上記導光ファイバの出射端を所定位置に移動させながら上記ワークに光を照射して接着剤を硬化させるようにしたものである。 Sets the reference point of the alignment of the mobile home and the work of the light guiding fiber, the position information of the adhesive with respect to the reference point of the alignment of the alignment reference point and the work of the work for moving the origin of the pre said light guiding fiber may be stored in the storage means, first positioning reference point of the workpiece performs positioning of the workpiece to a predetermined position relative to the movement origin of the light guiding fiber, then, read from the memory means positions based on the information, it is obtained so as to cure the adhesive by irradiating light to the work while moving the exit end of the light guiding fiber to a predetermined position by the control means.

【0025】本発明の請求項6の発明は、請求項1, The invention of claim 6 of the present invention, according to claim 1,
2,3または請求項4の発明において、上記接着剤の位置をセンサで検出し、上記センサからの信号によって前記導光ファイバの出射端を接着剤に対して所定位置に保持するように制御しつつ、上記導光ファイバの出射端を移動させながら光を照射して上記接着剤を硬化させるようにしたものである。 2, 3, or In the invention of claim 4, the position of the adhesive was detected by the sensor, and controlled to maintain a predetermined position with respect to an adhesive emitting end of the light guide fiber by a signal from the sensor while, in which so as to cure the adhesive is irradiated with light while moving the exit end of the light guiding fiber.

【0026】本発明の請求項7の発明は、請求項1, The invention of claim 7 of the present invention, according to claim 1,
2,3,4,5または請求項6の発明において、導光ファイバから出射した光をレンズにより集光させて接着剤に照射するようにしたものである。 In five or invention of claim 6, in which so as to irradiate the adhesive by focusing the light emitted from the light guiding fiber by a lens. 本発明の請求項8の発明は、液晶パネルの貼り合わせ装置において、ランプと、集光ミラーと、シャッタを具備した光照射部と、上記光照射部からの光を出射端に導く導光ファイバと、前記光照射部からの光を透明基板と透明基板または透明基板と半導体基板との間に接着剤を挟み込んで一体形状したワークの接着剤に照射するための光透過窓を具備した処理室と、上記処理室内に配置されワークを載置するステージと、上記ワークの2枚の基板が相対的に接近する方向に圧力を掛ける加圧機構と、上記導光ファイバの出射端を保持し、該出射端を移動させる移動機構と、照射回数情報を記憶する記憶手段と、上記記憶手段からの照射回数情報によって上記光照射部および上記移動機構を制御する制御部とを設け、接着剤の同一領域を2回以 The invention of claim 8 of the present invention, in the bonding apparatus of the liquid crystal panel, lamp and a condenser mirror, a light irradiation unit provided with the shutter, the light guide fiber for guiding light from the light irradiation section to the exit end When the process chamber provided with the light transmission window for irradiating the adhesive of a work which is integrally shaped sandwich the adhesive between the transparent substrate and the transparent substrate or the transparent substrate and the semiconductor substrate with light from the light irradiation unit If, holds a stage for placing a workpiece is disposed in the processing chamber, a pressure mechanism for applying pressure in a direction in which two substrates of the work is relatively close, the exit end of the light guiding fiber, a moving mechanism for moving the emission end, a storage means for storing the radiation count information, and a control unit for controlling the light irradiation unit and the moving mechanism by irradiation frequency information from the storage means provided, the same adhesive 2 area more than once 照射することにより接着剤の硬化に必要な照射量に至らしめるようにしたものである。 It is obtained as allowed to reach dose necessary for curing the adhesive by irradiation.

【0027】本発明の請求項9の発明は、請求項8の発明において、制御部に前記移動機構の移動速度を可変制御する速度制御機能を設けたものである。 The invention of claim 9 of the present invention is the invention of claim 8, in which the moving speed of the moving mechanism in the control unit provided with a speed control function for variably controlling. 本発明の請求項10の発明は、請求項8または請求項9の発明において、光照射部に照射強度可変機構を設けたものである。 The invention of claim 10 is the invention according to claim 8 or claim 9 is the light irradiation unit that provided the illumination intensity varying mechanism.
本発明の請求項11の発明は、請求項8,9または請求項10の発明において、ワークを所定の位置に位置合わせする位置合わせ機構と、前記接着剤の位置情報を記憶する記憶手段とを設け、前記制御部が上記記憶手段からの上記位置情報によって上記移動機構を制御し、光を照射しながら出射端をワーク上の接着剤に沿って移動させるようにしたものである。 The invention of claim 11 of the present invention is the invention of claim 8, 9 or claim 10, an alignment mechanism to align the workpiece in a predetermined position, and a storage means for storing position information of said adhesive provided, wherein the control unit is that so as to move along the position controls the movement mechanism by the information, the adhesive on the workpiece the exit end while irradiating light from said storage means.

【0028】本発明の請求項12の発明は、請求項8, The invention of claim 12 of the present invention, according to claim 8,
9または請求項10の発明において、導光ファイバの出射端と一体に支持された接着剤の位置を検出するセンサを設け、前記制御部が上記センサからの信号によって移動機構を制御し、導光ファイバの出射端を接着剤に対して所定位置に保持するように制御しつつ、光を照射しながら出射端をワーク上の接着剤に沿って移動させるようにしたものである。 In the invention of 9 or claim 10, a sensor for detecting the position of the supported adhesive exit end integral with the light guide fiber is provided, wherein the control unit controls the moving mechanism by a signal from the sensor, light while controlling the emission end of the fiber so as to hold in position relative to the adhesive is obtained by so as to move along the exit end while irradiating light to the adhesive on the workpiece.

【0029】本発明の請求項13の発明は、請求項8, The invention of claim 13 of the present invention, according to claim 8,
9,10,11または請求項12の発明において、導光ファイバから出射した光を集光するレンズを設けたものである。 In the invention of 9, 10, 11 or claim 12, in which the light emitted from the light guiding fiber is provided a lens for condensing light.

【0030】 [0030]

【作用】本発明の請求項1および請求項8の発明においては、接着剤の硬化に必要な光の照射量を複数回に分けて照射しているので、照射一回当たりに照射する照射量は小さいものとなり、光が照射された部分と光が照射されていない部分との間で起こる歪みも小さいものとなる。 In the invention of claim 1 and claim 8 of the present invention, since the irradiated separately irradiation amount of light required for curing the adhesive in a plurality of times, the dose of irradiation per one irradiation becomes becomes small, smaller distortion caused between the portion where light is irradiated portion and the light is not irradiated. このため、良好なギャップ均一性を維持しながら液晶パネルを貼り合わせることができる。 Therefore, it is possible to bond the liquid crystal panel while maintaining good gap uniformity.

【0031】すなわち、1回の照射が終了した時点ではギャップの均一性は保たれたままであり、このような照射を複数回繰り返すので、ギャップの均一性が保たれたままで必要な照射量に到達でき、良好なギャップ均一性を維持しながら液晶パネルを貼り合わせることができる。 [0031] That is, remains is kept gap uniformity at the time that a single irradiation is completed, so repeated several times such radiation, reaching the dose necessary while the uniformity of the gap is maintained it can, can be attached to the liquid crystal panel while maintaining good gap uniformity. 本発明の請求項2の発明においては、第1回目に照射される光の照射量を第2回目以降に照射される光の照射量より少なくしているので、第1回目の照射による接着剤の体積の減少を小さくすることができ、第2回目の照射量を大きくしても、ギャップを均一に保持することができる。 In the invention of claim 2 of the present invention, since the smaller than the irradiation amount of the light irradiated to the irradiation amount of light applied to the first time to the second and subsequent times, the first time the adhesive by irradiation with the reduction in volume can be reduced, increasing the second round of irradiation dose, it is possible to uniformly hold the gap.

【0032】すなわち、第1回目の照射における照射量を充分小さくすると、接着剤の体積は殆ど減少せず、ギャップの均一性は保たれる。 [0032] That is, when sufficiently small dose in the irradiation of the first round, the volume of the adhesive hardly decreases, the uniformity of the gap is maintained. 一方、第1回目の照射により接着剤の硬化は進んでいるので、上記照射が終了した時点で接着剤全体に渡って流動性が小さくなっている。 On the other hand, since the proceeding of the curing of the adhesive by the irradiation of the first round, flowable throughout the adhesive when the irradiation is finished is smaller.
この状態で第1回目より大きな照射量で第2回目以降の照射を行った場合、光が照射されている部分の体積減少による強い力が働いても、光が照射されない部分は第1 When performing the irradiation of the second and subsequent times in a large dose than the first time in this state, even working strong force due to volume decrease of the portion where the light is irradiated, the portion where the light is not irradiated first
回目の照射により流動性が小さくなっているので、被照射部に引きずられてギャップが縮まったり広がったりすることはない。 Since the fluidity is smaller by irradiation times th is never or spread contracted gap is dragged to the irradiated portion.

【0033】特に、接着剤の光透過率が悪い場合には、 [0033] In particular, when the light transmittance of the adhesive is poor,
第1回目の照射量を充分に少なく、また、第2回目以降の照射量を大きくすることにより、ギャップの均一性が良く、スループットが良い処理を行うことができる。 The first time sufficiently reduce the dose of, also, by increasing the dose of the second and subsequent times, good uniformity of the gap, it is possible to perform the throughput is good treatment. 本発明の請求項3および請求項9の発明においては、導光ファイバで導光された光の移動速度を可変とすることにより照射量を制御しているので、光の照射強度を一定値に固定することができる。 In the invention of claim 3 and claim 9 of the present invention, the moving speed of the light guided by the light guiding fiber because it controls the amount of radiation by a variable, the irradiation intensity of light to a constant value it can be fixed. このため、光照射部に光の強度を可変させる特別な機構を設ける必要がなく、安価な装置とすることができ、コストを低減化することができる。 Therefore, it is not necessary to the intensity of light providing a special mechanism for varying the light irradiation unit can be an inexpensive device, it is possible to reduce the cost.

【0034】本発明の請求項4および請求項10の発明においては、導光ファイバで導光された光の照射強度を可変にしているので、光の移動速度を一定値に固定することができる。 [0034] In the invention of claim 4 and claim 10 of the present invention, since the irradiation intensity of light guided by the light guiding fiber to a variable, it is possible to fix the speed of movement of the optical constant values . このため、照射量を大きく変化させた場合でも、処理に要する時間を一定とすることができ、安定したスループットが得られる。 Therefore, even when the greatly changing the amount of irradiation, can be made constant the time required for processing, a stable throughput. また、前後工程の装置との処理能力のマッチングを取ることができ、液晶パネル製造ラインの設計が容易となる。 Further, it is possible to take the matching of the processing capacity of the device before and after the process, thereby facilitating the design of the liquid crystal panel production line.

【0035】本発明の請求項5および請求項11の発明においては、接着剤の位置情報を記憶しておき、ワークの位置合わせの基準点が導光ファイバの移動原点に対して所定の位置になるようにワークの位置合わせを行ったのち、上記位置情報によって導光ファイバの出射端を所定位置に移動させながら光を照射して接着剤を硬化させているので、接着剤から光のスポットが外れることがなく、正確に接着剤に光を照射することができる。 [0035] In the invention of claim 5 and claim 11 of the present invention may store the positional information of the adhesive at a predetermined position with respect to the movement origin of the reference point light guiding fiber alignment of the workpiece After alignment of the work was carried out so that, because to cure the adhesive is irradiated with light while moving the exit end of the light guide fiber in a predetermined position by the position information, the light spot from the adhesive without departing, light can be irradiated accurately to the adhesive. このため、光が当たらずに硬化されない部分が生ずることがない。 Therefore, it is not caused a portion not cured without striking light.

【0036】また、光のスポット径を接着剤の幅と同じか、やや広い程度とすることができるので、光の利用効率を向上させることができる。 Further, the same or a spot diameter of the light and the width of the adhesive, it is possible to slightly wide extent, it is possible to improve the utilization efficiency of light. さらに、接着剤の無い部分に照射される光が大幅に減少するため、基板の温度がほとんど上昇することが無い。 Furthermore, since the light irradiated to the portion with no adhesive is greatly reduced, it is not the temperature of the substrate is almost increased. したがって、温度上昇により基板が膨張し、接着・硬化中に2枚の基板がずれてしまい製品不良が発生することもない。 Accordingly, the substrate expands due to a temperature rise, the product may shift if two substrates defect is not generated in the adhesive and curing.

【0037】本発明の請求項6および請求項12の発明においては、接着剤の位置をセンサで検出し、このセンサからの信号によって導光ファイバの出射端を接着剤に対して所定位置に保持するように制御しつつ、導光ファイバの出射端を移動させながら光を照射して接着剤を硬化させているので、接着剤の位置が変動しても忠実に接着剤を倣いながら光を照射することができる。 [0037] In the invention of claim 6 and claim 12 of the present invention, holds the position of adhesive is detected by the sensor, the exit end of the light guide fiber by a signal from the sensor in position relative to adhesive while controlling so that, because while moving the exit end of the light guiding fiber is irradiated with light and curing the adhesive, the position of the adhesive with light while scanning the faithful adhesive be varied irradiated can do. このため、光が当たらずに硬化されない部分が生ずることがない。 Therefore, it is not caused a portion not cured without striking light.

【0038】また、光のスポット径を接着剤の幅と同じか、やや広い程度とすることができるので、光の利用効率を向上させることができる。 Further, the same or a spot diameter of the light and the width of the adhesive, it is possible to slightly wide extent, it is possible to improve the utilization efficiency of light. さらに、接着剤の無い部分に照射される光が大幅に減少するため、基板の温度がほとんど上昇することが無い。 Furthermore, since the light irradiated to the portion with no adhesive is greatly reduced, it is not the temperature of the substrate is almost increased. したがって、温度上昇により基板が膨張し、接着・硬化中に2枚の基板がずれてしまい製品不良が発生することもない。 Accordingly, the substrate expands due to a temperature rise, the product may shift if two substrates defect is not generated in the adhesive and curing.

【0039】本発明の請求項7および請求項13の発明においては、導光ファイバから出射した光をレンズにより集光させて接着剤に照射しているので、出射端と被照射面との距離が離れていても光を接着剤に集中的に照射することができ、照射強度が落ちることが無く、硬化処理の時間を短くすることができる。 [0039] In the invention of claim 7 and claim 13 of the present invention, the distance between since the irradiated adhesive by focusing the light emitted from the light guiding fiber by the lens, the exit end and the surface to be illuminated and is away can also be intensively irradiated with light adhesive may be irradiation intensity can fall without shortening the time of the curing process. また、照射の必要のない部分まで光が照射されることがないので、光の利用効率を向上させることができる。 Further, since the light to unnecessary portions of the irradiation is prevented from being irradiated, it is possible to improve the utilization efficiency of light.

【0040】 [0040]

【実施例】図1は本発明の実施例の全体構成を示す図である。 DETAILED DESCRIPTION FIG. 1 is a diagram showing the overall construction of the embodiment of the present invention. 同図において、20は光照射装置であり、光照射装置20は、集光鏡21、紫外線を放射する超高圧水銀灯やメタルハライドランプ等のランプ22、反射鏡2 In the figure, 20 is a light irradiation device, the light irradiation apparatus 20, focusing mirror 21, a lamp 22, such as ultra-high pressure mercury lamp or a metal halide lamp that emits ultraviolet light, the reflecting mirror 2
3、シャッタ24、光学フィルタ25、ランプに電力を供給するランプ電源部(不図示)から構成されており、 3, the shutter 24, the optical filter 25 is constituted by a lamp power supply unit (not shown) for supplying power to the lamp,
ランプ22が放射する光は集光鏡21で集光され、シャッタ24が開いているとき、反射鏡23→シャッタ24 Light lamp 22 emits is condensed by condensing mirror 21, when the shutter 24 is open, the reflector 23 → shutter 24
→光学フィルタ25を介して導光ファイバ31に入射する。 → input to the light guide fiber 31 through the optical filter 25. また、24aはエアシリンダであり、エアシリンダ24aは後述する制御装置50により制御され、シャッタ24を開閉する。 Moreover, 24a denotes an air cylinder, an air cylinder 24a is controlled by the controller 50 to be described later, to open and close the shutter 24.

【0041】3はワークであり、ワーク3は前記図10 [0041] 3 is a workpiece, the workpiece 3 is the diagram 10
に示したように透明基板と透明基板、もしくは透明基板と半導体基板の間に線状に接着剤を塗布したものであり、ワーク3上には図2に示すように少なくとも2か所に位置合わせの基準となるアライメント・マークAMが印されている。 The transparent substrate and the transparent substrate as shown, or are those in which an adhesive is applied linearly between the transparent substrate and the semiconductor substrate, aligning the at least two places on the work 3, as shown in FIG. 2 alignment mark AM to be the criteria are marked. 4はアライメントユニットであり、アライメントユニット4により、ワーク上に印されたアライメント・マークAMを受像し、後述するようにワークの位置合わせを行う。 4 is a alignment unit, a alignment unit 4 and the image-receiving the alignment marks AM, marked on the workpiece, to align the workpiece as described below.

【0042】10はワーク処理室であり、ワーク処理室10は光透過窓11、ステージ12等から構成され、ステージ12は後述するようにX,Y,Z軸方向(X軸は同図の紙面に対して前後方向、Y軸は左右方向、Z軸は上下方向)に移動可能であり、かつ、X,Y軸で形成される平面に直交する軸(これをθ軸という)を中心として回転可能に構成されている。 [0042] 10 is a workpiece processing chamber, the workpiece treatment chamber 10 is a light transmission window 11 is constructed from the stage 12 or the like, the stage 12 is X as described below, Y, the sheet of Z-axis direction (X-axis the figure movable in the vertical direction) horizontal direction, the Z-axis is the front-rear direction, the Y-axis relative to, and rotating X, axis orthogonal to the plane formed by the Y-axis (this is called θ-axis) as the center to be able to have been constructed.

【0043】また、ステージ12にはワーク3を下方から加圧する手段が設けられ、ワーク3に光を照射して接着剤を硬化させる際、ワーク3は下方から加圧される。 [0043] Further, the stage 12 is provided with means for pressurizing the workpiece 3 from below, when the adhesive is cured by irradiating light to the workpiece 3, the workpiece 3 is pressurized from below.
31は導光ファイバであり、導光ファイバ31の他端には出射端32が設けられており、導光ファイバ31の一端から入射した光は上記出射端32から放出され、ワーク3に照射される。 31 is a light guiding fiber, to the other end of the light guide fiber 31 and exit end 32 is provided, light incident from one end of the light guide fiber 31 is emitted from the emitting end 32, it is irradiated to the workpiece 3 that.

【0044】40は出射端32を移動させる出射端移動機構、50は該出射端移動機構40等を制御する制御装置である。 [0044] 40 emitting end moving mechanism for moving the emission end 32, 50 is a controller for controlling the emission end moving mechanism 40 and the like. 制御装置50は記憶部50aを備えており、 The controller 50 is provided with a storage unit 50a,
記憶部50aには、接着剤への光の照射回数を指示する照射回数情報、出射端32の移動速度を指示する速度制御情報、および、図2に示すワーク3上のアライメント・マークAMに対する接着剤の塗布位置を示す接着剤塗布位置情報(X,Y)、出射端32の移動原点Pに対する基準位置Qの相対位置情報(xo ,yo )、光照射開始位置S、が予め記憶されている。 The storage unit 50a, adhesion radiation count information indicating the number of times of irradiation of light to the adhesive, rate control information for instructing a moving speed of the exit end 32, and, with respect to the alignment marks AM on workpiece 3 as shown in FIG. 2 adhesive applying position information indicating the application position of the adhesive (X, Y), the relative position information of the reference position Q to the movement origin P of the exit end 32 (xo, yo), the light irradiation start position S, but are stored in advance .

【0045】なお、上記基準位置Qは、ワーク3上のアライメント・マークAMを位置合わせする点であり、後述するワーク3の位置合わせ後は、図2に示すように基準位置Qとアライメント・マークAMの位置は一致する。 [0045] Incidentally, the reference position Q is a point of aligning the alignment marks AM on workpiece 3, after the positioning of the workpiece 3 to be described later, the reference position Q and the alignment marks as shown in FIG. 2 position of the AM is consistent. そして、制御装置50は上記記憶情報に基づき、出射端移動機構40を駆動して移動速度および位置を制御しながら接着剤に沿って出射端32を移動させ、照射回数情報により設定された回数だけ接着剤に光を照射する。 Then, the control unit 50 based on the above stored information, drives the emitting end moving mechanism 40 along the adhesive to move the exit end 32 while controlling the moving speed and position, a set number of times by the irradiation times information irradiating light to the adhesive.

【0046】図3は上記したアライメント・ユニット4 [0046] FIG. 3 is the alignment unit 4 described above
およびワーク処理室10の構成の一例を示す図である。 And is a diagram showing an example of a configuration of a workpiece processing chamber 10.
同図において、4はアライメント・ユニットであり、アライメント・ユニット4はレンズ4a、ハーフミラー4 In the figure, 4 is the alignment unit, the alignment unit 4 is a lens 4a, a half mirror 4
b、レンズ4c、ミラー4d、CCD等からなる受光素子4e、ミラー4h、レンズ4gから構成されており、 b, a lens 4c, the mirror 4d, a CCD or the like light-receiving element 4e, a mirror 4h, are composed of a lens 4g,
光ファイバ4fから導入される照明用の光は、レンズ4 Light for illumination to be introduced from the optical fiber. 4f lens 4
g→ミラー4h→ハーフミラー4b→レンズ4c→ミラー4dの経路でワーク3のアライメント・マークAMの周辺に照射され、反射光がミラー4d→レンズ4c→ハーフミラー4b→レンズ4aの経路で受光素子4eにより受像される。 g → is irradiated on the periphery of the alignment marks AM of the workpiece 3 in the path of the mirror 4h → half mirror 4b → lens 4c → mirror 4d, reflected light receiving element in the path of the mirror 4d → lens 4c → half mirror 4b → lens 4a It is receiving by 4e.

【0047】なお、アライメント・マークAMはワーク3上の少なくとも2か所に印されており、それらに対応してアライメント・ユニット4が設けられる。 [0047] The alignment marks AM are marked at least two places on the work 3, the alignment unit 4 is provided corresponding to them. 10はワーク処理室であり、処理室10は光透過窓11と、θステージ12a、Xステージ12b、Yステージ12c, 10 is a workpiece processing chamber, the processing chamber 10 and the light transmission window 11, theta stage 12a, X stage 12b, Y stage 12c,
基台12d等から構成されるステージ12から構成されており、ステージ12上にワーク3が載置される。 Is composed of a composed stage 12 from the base 12d or the like, the workpiece 3 is placed on the stage 12.

【0048】θステージ12aはベアリング12eを介してXステージ12b上に取り付けられており、図示しない駆動モータによりθ軸を中心として回転する。 The θ stage 12a is mounted on the X stage 12b through bearings 12e, it rotates about the θ-axis by a driving motor (not shown). Xステージ12bはスライドガイド12fを介してYステージ12c上に取り付けられており、図示しない駆動モータによりX軸方向(同図紙面の前後方法)に駆動される。 X stage 12b is mounted on the Y stage 12c via a slide guide 12f, it is driven in the X-axis direction by a driving motor (not shown) (before and after the method of FIG page).

【0049】Yステージ12cはスライドガイド12g [0049] Y stage 12c slide guide 12g
を介して基台12d上に取り付けられており、図示しない駆動モータによりY軸方向(同図の左右方向)に駆動される。 Through mounted on a base 12d, it is driven in the Y-axis direction by a driving motor (not shown) (the left-right direction of the drawing). さらに、同図には図示していないが、基台12 Furthermore, although not shown in the figure, the base 12
dをZ軸方向に駆動する手段が設けられ、ステージ12 Means for driving the d in the Z-axis direction is provided, the stage 12
全体が図示しないモータ等によりZ軸方向に駆動される。 Whole is driven in the Z-axis direction by a motor (not shown) or the like.

【0050】また、θステージ12aには、水冷管14 [0050] In addition, the θ stage 12a is, the cooling water pipe 14
とエア導入管17が設けられており、水冷管14に冷水を流すことによりワーク3の不所望な加熱を防止する。 An air inlet pipe 17 is provided to prevent undesired heating of the workpiece 3 by flowing cold water through the cooling water pipe 14.
また、エア導入管17を介してワーク3の下面に空気を供給することにより、ワーク3を上方に押し上げ加圧する。 Moreover, by supplying air to the lower surface of the workpiece 3 through an air inlet pipe 17, pressurizes push the workpiece 3 upwards. 図3において、ワーク3の位置合わせを行うには、 In Figure 3, the aligning of the workpiece 3,
アライメント・ユニット4によりワーク上に印されたアライメント・マークAMを受像して、受像した画像を前記制御装置50に送る。 And receiving the alignment marks AM, marked on the workpiece by the alignment unit 4 sends the image receiving image to the controller 50. 制御装置50は受像された画像データを処理して、後述するようにステージ12をX, The controller 50 processes the image data that has been image-receiving, the stage 12 as described below X,
Y軸方向に移動させ(またはθ軸を中心に回転させ)、 Is moved in the Y-axis direction (or θ rotated shaft around a),
アライメント・マークAMを所定の基準位置Q(図2参照)に一致させる。 Match alignment mark AM in a predetermined reference position Q (see Figure 2).

【0051】図4は前記した出射端移動機構40の構成の一例を示す図であり、同図において、32は前記した出射端であり、出射端32には導光ファイバ31が取り付けられており導光ファイバ31には前記した光照射装置20から光が導入される。 [0051] Figure 4 is a diagram showing an example of the configuration of the exit end moving mechanism 40 described above, reference numeral 32 is a emission end described above, the exit end 32 is light guiding fiber 31 is attached light is introduced from the light irradiation device 20 above the light guide fiber 31. また、上記出射端32に対向して前記したワーク処理室10(同図では点線で示している)の光透過窓11が配置されている。 Further, the light transmission window 11 of the workpiece processing chamber 10 described above so as to face to the exit end 32 (in the figure is shown with a dotted line) is disposed.

【0052】41はフレーム、42は上記出射端32が取り付けられたX軸アームであり、X軸アーム42はボールネジ43cと係合しており、ボールネジ43cはさらにカップリング43bを介してX軸駆動モータ43a [0052] 41 frame, 42 is an X-axis arm the exit end 32 is attached, X-axis arm 42 is engaged with the ball screw 43c, the ball screw 43c are X-axis drive connection via the coupling 43b motor 43a
に結合されている。 It is coupled to. このため、X軸駆動モータ43aが回転するとボールネジ43cが回転し、X軸アーム42 Therefore, the ball screw 43c rotates the X-axis drive motor 43a is rotated, the X-axis arm 42
はX軸方向に移動する。 It is moved in the X-axis direction.

【0053】また、X軸駆動モータ43a、カップリング43b、ボールネジ43cはY軸アーム44に支持されており、Y軸アーム44は第1および第2のガイド部材46,47に設けられたガイドレール46a,47a [0053] Further, X-axis drive motor 43a, a coupling 43 b, the ball screw 43c is supported by the Y-axis arm 44, Y-axis arm 44 is a guide rail provided in the first and second guide members 46 and 47 46a, 47a
に沿って移動可能の取り付けられている。 It is mounted with movable along. さらに、ガイド部材46,47はフレーム41に固定されている。 Further, the guide member 46, 47 is fixed to the frame 41. そして、Y軸アームの一方端はボールネジ45cに係合し、ボールネジ45cはさらにカップリング45bを介してY軸駆動モータ45aに結合されている。 Then, one end of the Y-axis arm engages the ball screw 45c, the ball screw 45c is coupled to the Y-axis drive motor 45a further through a coupling 45b.

【0054】このため、Y軸駆動モータ45aが回転するとボールネジ45cが回転し、Y軸アーム44、すなわち、出射端32はY軸方向に移動する。 [0054] Therefore, to rotate the ball screw 45c is the Y-axis drive motor 45a is rotated, Y-axis arm 44, i.e., the exit end 32 moves in the Y-axis direction. したがって、 Therefore,
X軸駆動モータ43a、Y軸駆動モータ45aを駆動することにより、出射端32をX軸アーム42、Y軸アーム44の可動範囲内の任意の位置に移動させることができる。 X-axis drive motor 43a, by driving the Y axis drive motor 45a, can move the exit end 32 to any position within the movable range of the X-axis arm 42, Y-axis arm 44.

【0055】図5は出射端32の構成を示す図であり、 [0055] Figure 5 is a diagram showing the structure of exit end 32,
同図において、3はワーク、11は光透過窓、31は導光ファイバ、32は出射端である。 In the figure, 3 is the work, 11 light transmission window, 31 is the light guiding fiber, 32 is the exit end. 同図に示すように、 As shown in the figure,
出射端32内には集光レンズ32aが設けられており、 The in exit end 32 is provided with a condenser lens 32a,
導光ファイバ31から放出される光は集光レンズ32a Light emitted from the light guiding fiber 31 is a condenser lens 32a
により集光され、ワーク3の接着剤塗布部に照射される。 The condensed and irradiated to the adhesive coating section of the workpiece 3.

【0056】本実施例においては、上記のように出射端32内に集光レンズ32aを設けているので、ワーク3 [0056] In this embodiment, since the provided condensing lens 32a on the exit end 32 as described above, the workpiece 3
へ照射される光の強度を大きくすることができる。 The intensity of light irradiated to can be increased. 図6 Figure 6
は照射距離と照射強度の関係を示す図であり、同図Aは図5に示すように集光レンズ32aを設けた場合の照射強度を示し、同図Bは図7に示すように集光レンズを設けない場合の照射強度を示している。 Is a diagram showing the relationship between the irradiation intensity and the irradiation distance, the figure A shows the illumination intensity obtained when a condenser lens 32a, as shown in FIG. 5, FIG. B is condensing as shown in FIG. 7 It shows the illumination intensity of the case without the lens. なお、集光レンズを設けない場合、図7に示すように導光ファイバ31から放出される光は約60°の角度で広がる。 Incidentally, the case without the condenser lens, the light emitted from the light guiding fiber 31 as shown in FIG. 7 extends at an angle of approximately 60 °.

【0057】ここで、光透過窓11はワーク3を加圧する力に対抗できる強度を備える必要があるから、ある程度厚いものとなる。 [0057] Here, since the light transmission window 11 needs to have a strength that can counter the force pressurizing the workpiece 3, becomes somewhat thicker. 石英ガラスを光透過窓11に使用した場合、その厚みは、通常、15mm〜40mm程度の厚さとなり、出射端32と被照射面との距離はこの厚み以下とすることができない。 When using quartz glass the light transmission window 11, its thickness is usually becomes a thickness of about 15Mm~40mm, the distance between the exit end 32 and the irradiated surface can not be less this thickness. したがって、出射端32と光透過窓11間の距離を考慮すると、出射端32からワーク3までの距離は50mm程度となる。 Therefore, considering the distance between the exit end 32 and the light transmission window 11, the distance from the exit end 32 to the workpiece 3 is about 50 mm.

【0058】照射距離50mmの場合、図6から明らかなように集光レンズを設けることにより、ほぼ最大照度とすることができ、集光レンズを設けない場合(同図のB)と比べ、照射強度を著しく大きくすることができる。 [0058] When the irradiation distance 50 mm, by providing a clear manner the condenser lens 6, can be made substantially maximum illumination, as compared the case without the condenser lens and (in the figure B), the irradiation strength can considerably be increased that the. 次に、本実施例における液晶パネルの貼り合わせ工程について説明する。 It will now be described bonding process of the liquid crystal panel in the present embodiment. (1) 液晶パネルの基板に、スクリーン印刷等により、前記図13に示すように線状に光硬化型接着剤を塗布し、 (1) to the substrate of the liquid crystal panel, by screen printing or the like, a photocurable adhesive is applied to the linear shape as shown in FIG. 13,
2枚の基板を合わせて必要に応じて仮止め用接着剤により仮止めする。 The combined two substrates temporarily fixed by temporary fixing adhesive according to need. (2) 処理室10のステージ12を図示しない駆動手段によりZ軸方向に下降させて、ワーク3をステージ12上に載置する。 (2) it is lowered in the Z-axis direction by a driving means (not shown) of the stage 12 of the processing chamber 10, placing the workpiece 3 on the stage 12. その際、ワーク3のアライメント・マークAMがアライメント・ユニット4の視野に入るようにするため、ワーク3をステージ12上の所定位置に載置する。 At that time, in order to alignment marks AM on workpiece 3 enters the field of view of the alignment unit 4, placing the workpiece 3 at a predetermined position on the stage 12. ついで、ステージ12を所定位置まで上昇させる。 Then, raise the stage 12 to a predetermined position. (3) ワーク3の位置合わせを行う。 (3) to position the workpiece 3. この位置合わせは次のように行われる。 This alignment is performed as follows.

【0059】アライメント・ユニット4によりワーク3 [0059] work 3 by the alignment unit 4
上に印されたアライメント・マークAMを受像し、制御装置50に送る。 And receiving the alignment marks AM, which was marked above, sent to the control unit 50. 制御装置50は受像した画像データからアライメント・マークAMを識別してその位置を検出し、Xステージ12b,Yステージ12c,θステージ12aを駆動して、アライメント・マークAMの位置を所定の基準位置Q(図2参照)に一致させる。 Controller 50 detects the position to identify the alignment mark AM from the image data receiving, X stage 12b, Y stage 12c, by driving the θ stage 12a, the position of the predetermined reference position of the alignment mark AM to match the Q (see FIG. 2).

【0060】なお、上記位置合わせ操作は、手作業で行うこともできる。 [0060] Incidentally, the alignment operation may also be done manually. すなわち、アライメント・ユニット4 In other words, the alignment unit 4
により受像されたアライメント・マークAMを図示しないモニタ上に表示して、作業者がモニタを見ながらXステージ12b,Yステージ12c,θステージ12aを駆動することにより位置合わせを行う。 Displayed on a monitor (not shown) receiving by the alignment marks AM, X stage 12b while the operator viewing the monitor, Y stage 12c, the positioning by driving the θ stage 12a performed by. (4) エア導入管17より空気を導入して空気圧によりワーク3を押し上げワークを加圧する。 (4) Air is introduced from the air introducing pipe 17 presses the workpiece pushes the workpiece 3 by air pressure. (5) 制御装置50は出射端移動機構40を駆動して出射端32を移動原点に移動させる。 (5) the control unit 50 moves the moving origin exit end 32 drives the emitting end moving mechanism 40.

【0061】ついで、制御装置50は記憶部50aからアライメント・マークの位置に対する接着剤塗布位置情報(X,Y)と移動原点Pに対する基準位置Qの相対位置情報(xo ,yo )を読み出し、これらの情報に基づき上記移動原点Pから光照射開始位置Sまでの移動量を求め、出射端32をワーク3上の光照射開始位置Sまで移動させる。 [0061] Next, the controller 50 reads out the adhesive applying position information from the storage unit 50a with respect to the position of the alignment mark (X, Y) and the relative position information of the reference position Q with respect to the moving origin P (xo, yo), these Determination the amount of movement from the movement origin P to the light irradiation start position S on the basis of the information, move the exit end 32 to the light irradiation start position S on the workpiece 3. (6) 制御装置50はエアシリンダ24aを駆動して光照射装置20のシャッタ24を開く。 (6) The control unit 50 drives the air cylinder 24a to open the shutter 24 of the light irradiation device 20. これにより、光照射装置20のランプ22が放射する光は導光ファイバ31 Thus, light the lamp 22 of the light irradiation device 20 emits the light guiding fiber 31
に導入され、出射端32からワーク3の接着剤塗布部分に照射される。 It is introduced into and emitted from the exit end 32 to the adhesive application part of the workpiece 3. また、必要に応じて光学フィルタ25により照射される光の波長範囲を選定する。 Furthermore, selecting the wavelength range of light emitted by the optical filter 25 as required. (5) 制御装置50は記憶部50aに記憶された接着剤塗布位置情報(X,Y)と、速度制御情報を読み出しながら、出射端32をワーク3の接着剤の塗布箇所に沿って上記速度制御情報により指示される速度で移動させ、出射端32から放出される光を接着剤の塗布箇所に照射する。 (5) the control device 50 the adhesive applying position information stored in the storage unit 50a (X, Y) and, while reading the rate control information, the speed along the exit end 32 to the coating position of the adhesive of the workpiece 3 moving at a speed indicated by the control information, it is irradiated with light emitted from the output end 32 to the coating position of the adhesive.

【0062】なお、照射中、ワーク3の不所望な加熱を防止するため、必要に応じて、水冷管14に冷水を供給してステージ12を冷却する。 [0062] Incidentally, during irradiation, in order to prevent undesired heating of the workpiece 3, as necessary, to cool the stage 12 to supply cold water to the cooling water pipe 14. そして、接着剤への1回目の照射が終わり出射端32が光照射開始位置Sまで戻ると、制御装置50は上記と同様に出射端32を接着剤に沿って移動させ2回目以降の照射を行う。 When the exit end 32 end is first irradiated to the adhesive back to the light irradiation start position S, the control device 50 described above and the irradiation of the second and subsequent moves along the adhesive exit end 32 as well do.

【0063】接着剤への光の照射は、照射回数が制御装置50の記憶部50aに記憶された照射回数に達するまで行われ、出射端32から照射される光のエネルギによりワーク3に塗布された光硬化型接着剤は硬化する。 [0063] irradiation of light to the adhesive is carried out until the number of times of irradiation reaches the number of times of irradiation that is stored in the storage unit 50a of the controller 50 is applied to the workpiece 3 by the energy of the light emitted from the exit end 32 light curable adhesive is cured. ここで、上記光照射時における出射端32の移動速度を変えることにより、接着剤への光の照射量を制御することができる。 Here, by changing the moving speed of the exit end 32 at the time of the light irradiation, it is possible to control the irradiation amount of light to the adhesive. 例えば、出射端32の移動速度を速くすれば光照射量を小さくすることができ、また、出射端32の速度を遅くすれば、光照射量を大きくすることができる。 For example, it is possible to reduce the amount of light irradiation when the moving speed of the exit end 32, also if slow the exit end 32, it is possible to increase the amount of light irradiation.

【0064】したがって、記憶部50aに記憶された速度制御情報を適宜設定することにより接着剤に応じた最適な照射量とすることができ、これにより接着剤の性質にかかわらず、ギャップの均一性を保ちながら接着剤を硬化させることができる。 [0064] Thus, the speed control information stored in the storage unit 50a can be optimized irradiation amount according to the adhesive by the appropriately set, thereby regardless of the nature of the adhesive, the uniformity of the gap it is possible to cure the adhesive while maintaining the. 光硬化型接着剤に添加される感光剤(光反応開始剤)の濃度が高い場合や接着剤のベース・レジン自体の光透過率が悪い場合等、接着剤の光透過率が悪い場合には、第1回目の照射量を充分に少なく、また、第2回目以降の照射量を大きくすることにより、ギャップの均一性が良く、スループットが良い処理を行うことができる。 Photosensitive agent added to the light curing adhesive when the case when there is a high concentration and an adhesive base resin itself of the light transmittance of the (photoinitiator) is poor, etc., the light transmittance of the adhesive is poor the first time sufficiently reduce the dose of, also, by increasing the dose of the second and subsequent times, good uniformity of the gap, it is possible to perform the throughput is good treatment.

【0065】すなわち、接着剤の光透過率が悪い場合には、照射された光は接着剤の表面部で強い吸収を受け、 [0065] That is, when the light transmittance of the adhesive is poor, light irradiated is subjected to strong absorption in the surface portion of the adhesive,
接着剤内部に到達する光の強度は小さいものとなる。 The intensity of light reaching the internal adhesive becomes small. したがって、表面部では短時間で硬化に必要な照射量に到達するが、内部では到達する光が弱いため硬化に必要とされる照射量に至るのに時間がかかる。 Accordingly, in the surface portion to reach the dose necessary to cure in a short time, it takes time to reach the dose required for curing is weak arriving light internally. 換言すれば、全照射量の内、その大部分は内部を硬化するために使われ、表面部においては照射の初期の極く短時間で必要な照射量に到達することになる。 In other words, the total dose, mostly is used to cure the interior, and reaches the initial dose necessary in very short time irradiation in the surface portion.

【0066】このような接着剤を使用する場合、第1回目に照射される光の照射量が大きいと、第1回目の照射で接着剤の表面部の硬化が完了してしまい、表面部に集中して体積の減少が起こる。 [0066] When using such adhesives, the irradiation amount of light applied to the first time is large, will be hardened on the surface portion of the first adhesive irradiation is complete, the surface portion reduction of volume concentration to occur. このとき、内部は未硬化ゲル状であるため、接着剤の形状は表面部の体積減少に引っ張られるように変形する。 At this time, the internal because it is shaped uncured gel, the shape of the adhesive is deformed so as to be pulled to the volume reduction of the surface portion. その結果、前記した1回の照射で接着剤を硬化させる従来例と同じ問題が発生し、 As a result, the same problem as the prior art to cure the adhesive in the irradiation of one of the above occurs,
ギャップが不均一となる。 Gap is not uniform.

【0067】これに対し、第1回目の照射量を充分少ないものにすると、第1回目の照射が終了した時点では接着剤表面部においても硬化が完了していないので、上記した変形は生じず良好なギャップ均一性が保たれている。 [0067] In contrast, when those sufficiently less the first round of dose, because the curing even at the adhesive surface portion at the time when the first irradiation is completed has not been completed, without causing deformation of the above good gap uniformity is maintained. 硬化は完了していないが、硬化反応は進行しているので、塗布した接着剤全長に渡って流動性が低下している。 Curing is not complete, because the curing reaction has progressed, the fluidity over the adhesive full-length coated is reduced. この状態で第2回目以降の照射を行うことになるが、第1回目よりも大きな照射量で照射を行い、照射部分での体積減少による部分的な力が働いても、接着剤全長に渡って接着剤の流動性が低下しているので、前記した部分的な力に対抗することができ、ギャップが不均一になるようなワーク全体に渡る変形は起こらない。 It becomes the irradiation is performed in the second and subsequent times in this state, subjected to irradiation with a large dose than the first time, also worked partial force due to volume reduction in the irradiated area, over the adhesive full-length since the fluidity of the adhesive is reduced Te can oppose to the portion forces, deformation throughout the work such gap becomes uneven does not occur.

【0068】一方、光硬化型接着剤に添加される感光剤(光反応開始剤)の濃度が低い場合や接着剤のベース・ Meanwhile, the base of the case the concentration of added to the light curing adhesive photosensitizer (photoinitiator) is low or the adhesive
レジン自体の光透過率が良い場合等、接着剤の光透過率が良い場合には、照射された光は接着剤の表面部で強い吸収を受けずに接着剤内部に到達する。 Or when the light transmittance of the resin itself is good, if the light transmittance of the adhesive is good, the light emitted reaches to the internal adhesive without being strong absorption at the surface portion of the adhesive. したがって、表面部、内部共に同じように硬化が進行する。 Therefore, the surface portion, is cured inside the same for both to proceed. このような接着剤を使用する場合、光の透過率が悪い接着剤に比べ、第1回目に照射される光の照射量が比較的大きくても、表面部だけが集中的に硬化が完了してしまうようなことは起こらず、従って上記のようにギャップが不均一になることが起こらない。 When using such adhesives, than the light transmittance is poor adhesive, even if the irradiation amount of light applied to the first time is relatively large, only the surface portion is intensively curing is complete and thus such is not caused, thus the gap as described above does not occur may become nonuniform. このような接着剤の場合は、 For such adhesives,
第1回目の照射量は支障がない範囲で大きくした方がスループットが向上して有利である。 Irradiation amount of the first round of better to increase the extent not to interfere is advantageous to increase throughput. (6) 接着剤の全ての塗布部分への照射が終了すると、制御装置50はエアシリンダ24aを駆動してシャッタ2 (6) When the irradiation of all the application portion of the adhesive ends, the control unit 50 the shutter 2 by driving the air cylinder 24a
4を閉じるとともに、出射端移動機構40による出射端32の移動を停止させる。 Close with a 4, to stop the movement of the exit end 32 by the exit end moving mechanism 40. (7) 接着剤の硬化後、ワーク3への加圧を停止し、ステージ12をZ軸方向に下降させ、接着済のワーク3をワーク処理室10より取り出す。 (7) after curing of the adhesive, to stop the application of pressure to the workpiece 3, to lower the stage 12 in the Z-axis direction, to pick out the workpiece 3 of the adhesive already from the work processing chamber 10.

【0069】以上のように、本実施例においては、接着剤の硬化に必要な光の照射量を複数回に分けて照射しているので、良好なギャップ均一性を維持しながら液晶パネルを貼り合わせることができる。 [0069] As described above, in this embodiment, since the irradiated separately irradiation amount of light required for curing the adhesive in a plurality of times, bond the liquid crystal panel while maintaining good gap uniformity it can be matched. また、1回目の照射時の出射端の移動速度を速くし、第2回目以降の出射端の移動速度を遅くして1回目の照射量を小さく、2回目の照射量を大きくすることにより、特に、光透過率の悪い接着剤を用いる場合、第1回目の照射による接着剤の体積の減少を小さくすることができ、ギャップを均一に保持することができる。 Also, by a faster moving speed of the first exit end during irradiation of the second and subsequent to the moving speed of the exit end small first dose, to increase the second dose, in particular, when using a poor adhesive light transmittance, it is possible to reduce the decrease in the volume of the adhesive by the irradiation of the first round, it is possible to uniformly hold the gap.

【0070】さらに、本実施例においては、アライメント・ユニット4によりワーク上のアライメント・マークAMを受像して、ワーク3を位置合わせしたのち、制御装置50の記憶部50aに記憶された接着剤塗布位置情報(X,Y)と移動原点Pに対する基準位置Qの相対位置情報(xo ,yo )に基づき、出射端32を接着剤の塗布位置に沿って移動させ、接着剤に光を照射しているので、接着剤上から光のスポットが外れることがなく、 [0070] Further, in this embodiment, the alignment unit 4 by receiving the alignment marks AM on workpiece, after aligning the workpiece 3, the adhesive stored in the storage unit 50a of the controller 50 is applied position information (X, Y) and the relative position information of the reference position Q with respect to the moving origin P (xo, yo) on the basis of the exit end 32 is moved along the application position of the adhesive by irradiating light to the adhesive because there, without light spot deviates from the adhesive,
接着剤に正確に光を照射することができる。 It is possible to accurately irradiate light to the adhesive.

【0071】このため、光の利用率を大幅に向上させることができ、小さなランプで効果的に接着剤を硬化させることができる。 [0071] Thus, the utilization factor of light can be greatly improved, can be cured effectively glue with a small lamp. また、光のスポットが接着剤から外れることがないので、不所望な部分に光が照射され、劣化等を起こす危険もない。 Further, since the light spot is never out of the adhesive, light is irradiated to undesired portions, there is no danger of deterioration. なお、上記実施例においては、 In the above embodiment,
出射端32の移動速度により接着剤への光の照射量を制御しているが、光照射装置20が放射する光の強度を変化させても、同様に接着剤に照射される光の照射量を制御することができる。 While controlling the irradiation amount of light to the adhesive by the movement speed of the exit end 32, even if the light irradiation device 20 to change the intensity of light emitted, the irradiation amount of the light irradiated to the similarly adhesive it is possible to control the. この場合は速度制御情報に代えて照射強度制御情報を記憶部50aに記憶させておく。 In this case allowed to store the irradiation intensity control information in place of the rate control information in the storage unit 50a.

【0072】光照射装置20が放射する光の強度を制御する手段としては、例えば、光照射装置20に減光フィルタ等を着脱可能に設けることにより実現することができる。 [0072] As a means for light irradiation device 20 controls the intensity of light emitted, for example, it can be realized by providing detachably neutral density filter or the like to the light irradiation device 20. また、ランプに供給する電力を可変させる回路を不図示のランプ電源部に設けることによって行っても良い。 Further, a circuit for varying the power supplied to the lamp may be performed by providing the lamp power supply unit (not shown). この回路にはハーフブリッジ回路等既知の技術を用いることができる。 This circuit can be used a half bridge circuit or the like known techniques.

【0073】光照射手段が放射する光の強度を変えて接着剤への光の照射量を制御することにより、出射端32 [0073] By light irradiation means controls the irradiation amount of light to the adhesive by changing the intensity of light emitted, the emission end 32
を一定の速度で移動させることができるので、安定したスループットを得ることができ、前後の工程との処理能力のマッチングを取ることが可能となる。 Can be moved at a constant speed, it is possible to obtain a stable throughput, it is possible to take the matching of the processing capability of the front and rear steps. 図8はワーク処理室の他の実施例を示す図であり、本実施例において、ワーク3の位置合わせは同図に示すストッパ19とエアシリンダ18により行われ、図2の実施例に示したように、アライメント・ユニット4、および、ワーク3 Figure 8 is a diagram showing another embodiment of a workpiece processing chamber, in this embodiment, the alignment of the workpiece 3 is performed by the stopper 19 and the air cylinder 18 shown in the figure, shown in the embodiment of FIG. 2 as such, the alignment unit 4, and a work 3
を移動させるためのX,Y,θステージを必要としない。 X for moving, Y, does not require a θ stage.

【0074】同図において、11は光透過窓、12はワークを載置するステージ、14はワーク3を冷却する水冷管、17はワーク3を加圧する空気を導入するエア導入管、18はエアシリンダ、19はストッパであり、同図では図示していないが、X軸方向にも、もう一組のエアシリンダとストッパが設けられている。 [0074] In the figure, the light transmission window 11, 12 is a stage for placing the work, the cooling water pipe 14 for cooling the workpiece 3, 17 air introduction pipe for introducing air to pressurize the workpiece 3, 18 Air cylinder, 19 is a stopper, not shown in the figure, also the X-axis direction, another pair of air cylinders and the stopper is provided. また、図2のものと同様、ステージ12をZ軸方向に移動させる手段が設けられている(図示せず)。 Further, similar to that of FIG. 2, (not shown) are provided means for moving the stage 12 in the Z-axis direction.

【0075】図8において、ワーク3を位置合わせするには、エアシリンダ18およびX軸方向に配置されたエアシリンダ(図示せず)により、ワーク3をストッパ1 [0075] In FIG. 8, to align the workpiece 3, by an air cylinder disposed in the air cylinder 18 and the X-axis direction (not shown), the workpiece 3 stopper 1
9およびX軸方向に配置されたストッパ(図示せず)に突き当たるまで移動させる。 Is moved to abut against the 9 and the X-axis direction arranged stopper (not shown). これによりワーク3はステージ12上の所定の基準位置に位置決めされる。 Thus the workpiece 3 is positioned at a predetermined reference position on the stage 12. なお、 It should be noted that,
本実施例におけるその他の工程は、前記した(1) 〜(7) Other steps in this example was (1) to (7)
の工程と同様であり、本実施例においては、上記のように、エアシリンダとストッパによりワークの位置合わせを行っているので、前記実施例に比べ、装置の構成を簡単化することができる。 It is similar to the process, in the present embodiment, as described above, since the performing positioning of the workpiece by the air cylinder and the stopper, as compared to the embodiment, it is possible to simplify the structure of the device.

【0076】図9は本発明の第2の実施例の全体構成を示す図であり、本実施例は出射端にセンサを設け、接着剤の位置を検出しながら接着剤に沿って出射端を移動させる実施例を示しており、本実施例によれば、接着剤の位置が変動しても、光のスポット径を大きくすることなく、確実に接着剤に光を照射することができる。 [0076] Figure 9 is a diagram showing an entire configuration of a second embodiment of the present invention, this embodiment the sensor is provided on the exit end, the exit end along the adhesive while detecting the position of the adhesive It shows an embodiment in which the movement is, according to this embodiment, even if the change position of the adhesive, without increasing the spot diameter of the light, light can be irradiated to ensure adhesive. 図9において、図1に示したものと同一のものには同一の符号が付されており、20は光照射装置であり、ランプ22 9, are denoted by the same reference numerals identical to those shown in FIG. 1, 20 is a light irradiation device, a lamp 22
が放射する光は集光鏡21で集光され、シャッタ24が開いているとき、反射鏡23→シャッタ24→光学フィルタ25を介して導光ファイバ31に入射する。 There light radiation is focused by focusing mirror 21, when the shutter 24 is open, enters the light guide fiber 31 via the reflecting mirror 23 → shutter 24 → the optical filter 25. また、 Also,
24aはエアシリンダであり、エアシリンダ24aは後述する制御装置50により制御され、シャッタ24を開閉する。 24a is an air cylinder, an air cylinder 24a is controlled by the controller 50 to be described later, to open and close the shutter 24.

【0077】3はワーク、10はワーク処理室であり、 [0077] 3 work, 10 is the work processing chamber,
ワーク処理室10は光透過窓11、ステージ12等から構成されており、ワーク3の接着剤を硬化させる際、ワーク3は下方から加圧される。 The workpiece processing chamber 10 light transmission window 11 is constructed from the stage 12 or the like, when the adhesive is cured of the workpiece 3, the workpiece 3 is pressurized from below. 31は上記導光ファイバであり、導光ファイバ31の他端には出射端32が設けられており、導光ファイバ31の一端から入射した光は上記出射端32から放出され、ワーク3に照射される。 31 is the light guide fiber, the other end of the light guide fiber 31 and exit end 32 is provided, light incident from one end of the light guide fiber 31 is emitted from the emitting end 32, irradiate the workpiece 3 It is.

【0078】出射端32にはセンサ33が取り付けられており、上記センサ33は、例えば、発光部33aから照射されワーク3で反射される光を受光部33bで受光することによりワーク3における接着剤の位置を光学的に検出する。 [0078] the outgoing end 32 has sensor 33 is attached, the sensor 33 is, for example, an adhesive in the workpiece 3 by receiving the light reflected by the workpiece 3 is irradiated from the light emitting unit 33a by the light receiving unit 33b detecting the position optically. また、出射端32は前記図5に示したように、集光レンズ32aが設けられており、導光ファイバ31から放出される光は集光レンズ32aにより集光され、ワーク3の接着剤塗布部に照射される。 Further, as the exit end 32 are shown in FIG. 5, a condenser lens 32a is provided, the light emitted from the light guiding fiber 31 is condensed by the condenser lens 32a, the workpiece 3 adhesive application It is applied to the part.

【0079】なお、同図には図示していないが、出射端32には、発光部33aと受光部33bから構成されるセンサが設けられ、該センサと直交する方向にもう一対のセンサが取り付けられている。 [0079] Although not shown in the figure, the exit end 32, the sensor consists of light-emitting unit 33a and the light receiving portion 33b is provided, another pair of sensors mounted in a direction orthogonal to the sensor It is. 40は出射端32を移動させる出射端移動機構であり、出射端移動機構40は前記図4と同様の構成を備えており、X軸アーム42、 40 is emitting end moving mechanism for moving the emission end 32, exit end moving mechanism 40 has a structure similar to that of FIG. 4, X-axis arm 42,
Y軸アーム44を駆動することにより、出射端32をワーク3上の任意の位置に移動させることができる。 By driving the Y-axis arm 44, it is possible to move the exit end 32 at any position on the workpiece 3.

【0080】50は該出射端移動機構40等を制御する制御装置であり、制御装置50は記憶部50aを備えており、記憶部50aには、接着剤への光の照射回数を指示する照射回数情報、出射端32の移動速度を指示する速度制御情報が予め記憶されている。 [0080] 50 is a controller for controlling the emission end moving mechanism 40, etc., the control unit 50 is provided with a storage unit 50a, the storage unit 50a, irradiation instructing irradiation frequency of light to the adhesive count information, rate control information for instructing a moving speed of the exit end 32 are stored in advance. そして、制御装置50はセンサ33の出力および上記記憶情報に基づき、 Then, the control unit 50 based on the output and the storage information of the sensor 33,
出射端移動機構40を駆動して移動速度および位置を制御しながら接着剤に沿って出射端32を移動させ、照射回数情報により設定された回数だけ接着剤に光を照射させる。 Drives the emitting end moving mechanism 40 along the adhesive to move the exit end 32 while controlling the moving speed and position, is irradiated with light by the adhesive count set by irradiation times information.

【0081】図10は上記したワーク処理室10の構成の一例を示す図であり、本実施例は前記図14に示したものと同様の構成を備えており、11は光透過窓、12 [0081] Figure 10 is a diagram showing an example of the configuration of a workpiece processing chamber 10 described above, the present embodiment has a structure similar to that shown in FIG. 14, 11 light transmission window, 12
はワークを載置するステージ、13はガイド、14は水冷管であり、前記したように水冷管14に冷水を流すことによりワーク3の不所望な加熱を防止する。 The stage for mounting a workpiece, 13 guide, 14 is a water cooling pipe, to prevent undesired heating of the workpiece 3 by flowing cold water through the cooling water pipe 14 as described above. 15は貫通穴であり、前記と同様、ワークの接着時、ステージの下の空気導入口16から貫通穴15を介してワーク3の下面に空気を供給することにより、ワーク3を上方に押し上げ加圧する。 15 is a through hole, similar to the above, when the adhesion of the workpiece, by supplying air to the lower surface of the workpiece 3 via a through hole 15 from the air inlet 16 under the stage, pressurized push the workpiece 3 upwards pressure.

【0082】なお、同図には図示していないが、ステージ12を上下方向に駆動する手段が設けられ、ワーク3 [0082] Although not shown in the figure, provided with means for driving the stage 12 in the vertical direction, the workpiece 3
をステージに載置する際、ステージ12全体が下方に移動する。 The when placing the stage, the entire stage 12 is moved downward. 図11はワーク処理室の他の実施例を示す図であり、同図において、11は光透過窓、12はワークを載置するステージ、5はリニアガイド、6は加圧機構であり、本実施例においては、ワーク接着時、加圧機構6 Figure 11 is a diagram showing another embodiment of a workpiece processing chamber, reference numeral 11 is a light transmissive window, 12 stage for mounting a workpiece, 5 linear guide, 6 is a pressure mechanism, the in the embodiment, when the work adhesion, pressing mechanism 6
によりステージ12を上方に押し上げることにより、ワーク3を加圧する。 By pushing up the stage 12 upward by, pressurizing the workpiece 3.

【0083】なお、図11のものにおいても、図10と同様、ステージ12に水冷管14を設け、ワーク3の不所望な加熱を防止することができる。 [0083] Also in that of Figure 11, similar to FIG. 10, the cooling water pipe 14 provided in the stage 12, it is possible to prevent undesired heating of the workpiece 3. また、図10と同様、ステージ12を上下方向に駆動する手段が設けられ、ワーク3をステージに載置する際、ステージ12全体が図示しないモータにより下方に移動する。 Also, similar to FIG. 10, provided with means for driving the stage 12 in the vertical direction, when placing the workpiece 3 on the stage, moves downward by a motor entire stage 12 is not shown. 次に、本実施例における液晶パネルの貼り合わせ工程について説明する。 It will now be described bonding process of the liquid crystal panel in the present embodiment. (1) 液晶パネルの基板に、ディスペンサ等により、前記図13に示すように線状に光硬化型接着剤を塗布し、2 (1) to the substrate of the liquid crystal panel, by a dispenser or the like, a photocurable adhesive is applied to the linear shape as shown in FIG. 13, 2
枚の基板を合わせて必要に応じて仮止め用接着剤により仮止めする。 Temporarily fixed by temporary fixing adhesive optionally combined substrates. (2) 図10もしくは図11に示すステージ12を下降させ、ワーク3を図10もしくは図11の処理室10のステージ12上に載置し、ステージ12を所定位置まで上昇させる。 (2) is lowered to 10 or the stage 12 shown in FIG. 11, by placing the workpiece 3 on the stage 12 of the processing chamber 10 in FIG. 10 or FIG. 11, to raise the stage 12 to a predetermined position. (3) ワーク3を加圧する。 (3) applying the work three months.

【0084】すなわち、図10の場合には、空気導入口16より空気を導入して空気圧によりワーク3を押し上げワークを加圧する。 [0084] That is, in the case of FIG. 10, pressurizing the workpiece pushes the workpiece 3 by the air pressure by introducing air from the air inlet 16. また、図11の場合には、油圧等により加圧機構6を駆動して、ステージ12を上方に移動させワーク3を加圧する。 In the case of FIG. 11, by driving the pressurizing mechanism 6 by the hydraulic or the like, pressurizing the workpiece 3 to move the stage 12 upward. (3) 制御装置50は出射端移動機構40を駆動して出射端32を移動させ、センサ33により接着剤が塗布されている箇所をサーチする。 (3) the controller 50 moves the exit end 32 drives the emitting end moving mechanism 40, search for places where the adhesive is applied by the sensor 33.

【0085】なお、接着剤が塗布された箇所は、通常、 [0085] Incidentally, portions to which the adhesive is applied is usually
白濁しており塗布されていない箇所と比べ光の反射率が異なるので、センサ33により容易に検出することができる。 Because cloudy portion which is not provided coated with a comparison reflectance of different, can be readily detected by the sensor 33. (4) 接着剤の塗布箇所が見つかると、制御装置50はエアシリンダ24aを駆動して光照射装置20のシャッタ24を開く。 (4) If it finds application position of the adhesive, the controller 50 drives the air cylinder 24a to open the shutter 24 of the light irradiation device 20. これにより、光照射装置20のランプ22 Thus, the light irradiating device 20 lamp 22
が放射する光は導光ファイバ31に導入され、出射端3 There light radiation is introduced into the light guide fiber 31, the exit end 3
2からワーク3の接着剤塗布部分に照射される。 2 is applied to the adhesive application part of the workpiece 3. また、 Also,
必要に応じて光学フィルタ25により照射される光の波長範囲を選定する。 Selecting the wavelength range of light emitted by the optical filter 25 as required. (5) 制御装置50はセンサ33により接着剤の塗布箇所を検出しながら、記憶部50aに記憶された上記速度制御情報により指示される速度で出射端32をワーク3の接着剤の塗布箇所に沿って移動させ、出射端から放出される光を接着剤の塗布箇所に照射する。 (5) while detecting the applied portion of the adhesive by the control unit 50 is a sensor 33, an exit end 32 to the coating position of the adhesive of the workpiece 3 at a rate dictated by the rate control information stored in the storage unit 50a along moved to irradiate the light emitted from the output end to the coating position of the adhesive.

【0086】なお、照射中、ワーク3の不所望な加熱を防止するため、必要に応じて、水冷管14に冷水を供給してステージ12を冷却する。 [0086] Incidentally, during irradiation, in order to prevent undesired heating of the workpiece 3, as necessary, to cool the stage 12 to supply cold water to the cooling water pipe 14. そして、接着剤への1回目の照射が終わり出射端32が光照射開始位置まで戻ると、制御装置50は上記と同様に出射端32を接着剤に沿って移動させ2回目以降の照射を行う。 The exit end 32 ends and first irradiation of the adhesive is carried back to the light irradiation start position, the control device 50 described above and the irradiation of the second and subsequent moves along the adhesive exit end 32 as well .

【0087】接着剤への光の照射は、照射回数が制御装置50の記憶部50aに記憶された照射回数に達するまで行われ、出射端32から照射される光のエネルギによりワーク3に塗布された光硬化型接着剤は硬化する。 [0087] irradiation of light to the adhesive is carried out until the number of times of irradiation reaches the number of times of irradiation that is stored in the storage unit 50a of the controller 50 is applied to the workpiece 3 by the energy of the light emitted from the exit end 32 light curable adhesive is cured. なお、第1の実施例と同様、上記光照射時における出射端32の移動速度を変えることにより、接着剤への光の照射量を制御することができ、記憶部50aに記憶された速度制御情報を適宜設定することにより接着剤に応じた最適な照射量とすることができ、これにより接着剤の性質にかかわらず、ギャップの均一性を保ちながら接着剤を硬化させることができる。 As in the first embodiment, by changing the moving speed of the exit end 32 at the time of the light irradiation, it is possible to control the irradiation amount of light to the adhesive, velocity controlled stored in the storage unit 50a information can be optimized irradiation amount according to the adhesive by the appropriately set, thereby regardless of the nature of the adhesive, it is possible to cure the adhesive while maintaining the uniformity of the gap.

【0088】なお、上記実施例においても、第1の実施例と同様、光照射装置20が放射する光の強度を変化させて接着剤に照射される光の照射量を制御することができる。 [0088] Also in the above embodiment, as in the first embodiment, it is possible to light irradiation device 20 controls the irradiation amount of light irradiated to the adhesive by changing the intensity of light emitted. (6) 接着剤の全ての塗布部分への照射が終了すると、制御装置50はエアシリンダ24aを駆動してシャッタ2 (6) When the irradiation of all the application portion of the adhesive ends, the control unit 50 the shutter 2 by driving the air cylinder 24a
4を閉じるとともに、出射端移動機構40による出射端32の移動を停止させる。 Close with a 4, to stop the movement of the exit end 32 by the exit end moving mechanism 40. (7) 接着剤の硬化後、ワーク3への加圧を停止し、接着済のワーク3をワーク処理室10より取り出す。 (7) after curing of the adhesive, to stop the application of pressure to the workpiece 3, to pick out the workpiece 3 of the adhesive already from the work processing chamber 10.

【0089】本実施例においては、上記のように接着剤の位置をセンサで検出し、上記センサからの信号によって前記導光ファイバの出射端を接着剤に対して所定位置に保持するように制御しつつ、上記導光ファイバの出射端を移動させているので、接着剤の位置が変動しても、 [0089] In this embodiment, the position of the adhesive as described above is detected by the sensor, controlled to maintain a predetermined position with respect to an adhesive emitting end of the light guide fiber by a signal from the sensor while, since to move the outgoing end of the light guiding fiber, even if the position of the adhesive is varied,
忠実に接着剤に倣いながら光を照射することができる。 Light can be irradiated while scanning the faithful adhesive.

【0090】このため、ディスペンサにより接着剤を塗布した場合のように、接着剤の塗布位置が変動する場合であっても、光が当たらずに硬化されない部分が生ずることがなく、未硬化の接着剤が溶けだして製品不良の原因となることがない。 [0090] Therefore, as in the case of applying the adhesive by a dispenser, even when the application positions of the adhesive varies, without not cured without striking light areas form the adhesion of uncured agent does not become the cause of the product failure and dissolves. また、接着剤の塗布位置が変動する場合であっても、光のスポット径を接着剤の幅と同じか、わずかに広い程度とすることができるので、光の利用効率を向上させることができる。 Further, even when the application positions of the adhesive varies, the same or a spot diameter of the light and the width of the adhesive, it is possible to slightly wider extent, it is possible to improve the utilization efficiency of light .

【0091】なお、上記第1および第2の実施例においては、ワークを加圧する手段として、空気圧もしくは油圧機構により加圧する例を示したが、上記手段の外、ダイヤフラム等を用いることもできる。 [0091] In the above first and second embodiments, as a means for pressurizing the work, an example pressurized pneumatically or hydraulic mechanism, can also be used outside of the unit, the diaphragm and the like. すなわち、ワークステージとワーク間にダイヤフラムを設け、ダイヤフラムにエアを供給し、ワークを加圧することもできる。 That is, the diaphragm is provided between the workpiece stage and the workpiece to supply air to the diaphragm, it is also possible to pressurize the workpiece. また、特開平5−34653号公報に記載されるような2 Further, 2 as described in JP-A-5-34653
枚の基板の間を真空引きすることにより加圧する方法を用いることもできる。 Between the substrates it is also possible to use a method of pressurizing by drawing a vacuum.

【0092】 [0092]

【発明の効果】以上説明したように、本発明においては、次の効果を得ることができる。 As described in the foregoing, in the present invention, it is possible to obtain the following effects. (1) 接着剤の硬化に必要な光の照射量を複数回に分けて照射しているので、光が照射された部分と光が照射されていない部分との間で起こる歪みも小さいものとすることができ、良好なギャップ均一性を維持しながら液晶パネルを貼り合わせることができる。 (1) Since the irradiated plural times the dose of light required for curing of the adhesive, those light irradiation portion and the light less distortion occurs between the portion which is not irradiated with it can be, can be attached to the liquid crystal panel while maintaining good gap uniformity. このため、製品不良のない液晶パネルを得ることができる。 Therefore, it is possible to obtain no product defect crystal panel. (2) 第1回目に照射される光の照射量を第2回目以降に照射される光の照射量より少なくすることにより、第1 (2) by less than the dose of light to be irradiated with the irradiation amount of light applied to the first time to the second and subsequent times, first
回目の照射による接着剤の体積の減少を小さくすることができ、ギャップを均一に保持することができる。 It is possible to reduce the decrease in the volume of the adhesive by rotating th irradiation, it is possible to uniformly hold the gap.

【0093】特に、光透過率が悪い接着剤を使用する場合には、第1回目の照射量を充分に少なく、また、第2 [0093] Particularly, in the case of using the light transmittance is poor adhesive sufficiently reduce the first round of the dose, and the second
回目以降の照射量を大きくすることにより、ギャップの均一性が良く、スループットが良い処理を行うことができる。 By increasing the amount of irradiation times and subsequent, good uniformity of the gap, it is possible to perform the throughput is good treatment. (3) 導光ファイバで導光された光の移動速度を変えて照射量を制御することにより、光の照射強度を一定値に固定することができ、安価な装置とすることができ、コストを低減化することができる。 By (3) by changing the moving speed of the guided light in the light guiding fiber to control the amount of irradiation, it is possible to fix the irradiation intensity of light to a constant value, it can be an inexpensive device, cost it is possible to reduce the.

【0094】また、導光ファイバで導光された光の照射強度を可変とすれば、光の移動速度を一定値に固定することができるので、照射量を大きく変化させた場合でも、処理に要する時間を一定とすることができ、安定したスループットが得られる。 [0094] Further, if the irradiation intensity of light guided by the light guiding fiber is variable, it is possible to fix the speed of movement of the optical constant values, even when significantly changing the amount of irradiation, the process It can be the time required constant, stable throughput. また、前後工程の装置との処理能力のマッチングを取ることができ、液晶パネル製造ラインの設計が容易となる。 Further, it is possible to take the matching of the processing capacity of the device before and after the process, thereby facilitating the design of the liquid crystal panel production line. (4) 接着剤の位置情報を記憶しておき、ワークの位置合わせの基準点が導光ファイバの移動原点に対して所定の位置になるようにワークの位置合わせを行ったのち、上記位置情報によって導光ファイバの出射端を所定位置に移動させながら光を照射して接着剤を硬化させることにより、接着剤から光のスポットが外れることがなく、正確に接着剤に光を照射することができる。 (4) stores the location information of the adhesive, after the reference point of the alignment of the workpiece were aligned workpiece so as to have a predetermined position with respect to the movement origin of the light guide fiber, the location information by curing the adhesive is irradiated with light while moving the exit end at a predetermined position of the light guide fiber by, without light spot deviates from the adhesive, to irradiate light to accurately glue it can. このため、光が当たらずに硬化されない部分が生ずることがない。 Therefore, it is not caused a portion not cured without striking light.

【0095】また、光のスポット径を接着剤の幅と同じか、やや広い程度とすることができるので、光の利用効率を向上させることができる。 [0095] Also, the same or a spot diameter of the light and the width of the adhesive, it is possible to slightly wide extent, it is possible to improve the utilization efficiency of light. さらに、接着剤の無い部分に照射される光が大幅に減少するため、基板の温度がほとんど上昇することが無い。 Furthermore, since the light irradiated to the portion with no adhesive is greatly reduced, it is not the temperature of the substrate is almost increased. したがって、温度上昇により基板が膨張し、接着・硬化中に2枚の基板がずれてしまい製品不良が発生することもない。 Accordingly, the substrate expands due to a temperature rise, the product may shift if two substrates defect is not generated in the adhesive and curing. (5) 接着剤の位置をセンサで検出し、このセンサからの信号によって導光ファイバの出射端を接着剤に対して所定位置に保持するように制御しつつ、導光ファイバの出射端を移動させながら光を照射して接着剤を硬化させることにより、接着剤の位置が変動しても忠実に接着剤を倣いながら光を照射することができる。 (5) the position of adhesive is detected by the sensor, while controlling so as to hold in position relative adhesive emitting end of the light guide fiber by a signal from the sensor, moving the exit end of the light guiding fiber by curing the adhesive is irradiated with light while the position of the adhesive can be irradiated with light while scanning the faithful adhesive vary. このため、上記 For this reason, the above-mentioned
(4) と同様な効果を得ることができるとともに、ディスペンサで接着剤を塗布した場合のように、接着剤の位置が変動する場合であっても、光が当たらずに硬化されない部分が生ずることがない。 (4) it is possible to obtain the same effect as, as in the case of applying the adhesive dispenser, even when the position of the adhesive varies, not be cured without striking light areas form there is no. (6) 導光ファイバから出射した光をレンズにより集光させて接着剤に照射することにより、出射端と被照射面との距離が離れていても光を接着剤に集中的に照射することができ、照射強度が落ちることが無く、硬化処理の時間を短くすることができる。 (6) by irradiating the adhesive is focused by the light emitted from the light guiding fiber lens, intensively irradiating the adhesive with light even if the distance is away with the exit end and the surface to be illuminated it can be, can be irradiation intensity can fall without shortening the time of the curing process. また、照射の必要のない部分まで光が照射されることがないので、光の利用効率を向上させることができる。 Further, since the light to unnecessary portions of the irradiation is prevented from being irradiated, it is possible to improve the utilization efficiency of light.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明の第1の実施例の全体構成を示す図である。 1 is a diagram showing the overall configuration of a first embodiment of the present invention.

【図2】出射端の移動原点と基準位置、接着剤塗布位置との関係を示す図である。 [Figure 2] mobile home and the reference position of the exit end is a diagram showing the relationship between the adhesive applying position.

【図3】第1の実施例におけるワーク処理室の構成の1 [3] 1 of the configuration of the workpiece processing chamber in the first embodiment
例を示す図である。 Is a diagram illustrating an example.

【図4】第1の実施例における出射端移動機構の1例を示す図である。 4 is a diagram showing an example of exit end moving mechanism in the first embodiment.

【図5】第1の実施例における出射端の構成の1例を示す図である。 5 is a diagram showing an example of configuration of the exit end in the first embodiment.

【図6】照射距離と照射強度の関係を示す図である。 6 is a diagram showing the relation between the irradiation distance and irradiation intensity.

【図7】出射端に集光レンズを設けない場合における光の照射範囲を示す図である。 7 is a diagram showing an irradiation range of light in the case without the condenser lens to the exit end.

【図8】第1の実施例におけるワーク処理室の他の実施例を示す図である。 8 is a diagram showing another embodiment of a workpiece processing chamber in the first embodiment.

【図9】本発明の第2の実施例の全体構成を示す図である。 9 is a diagram showing the overall configuration of the second embodiment of the present invention.

【図10】第2の実施例におけるワーク処理室の一例を示す図である。 10 is a diagram showing an example of a workpiece processing chamber in the second embodiment.

【図11】第2の実施例におけるワーク処理室の他の実施例を示す図である。 11 is a diagram showing another embodiment of a workpiece processing chamber in the second embodiment.

【図12】液晶パネル(カラー液晶パネル)の一例を示す図である。 12 is a diagram illustrating an example of a liquid crystal panel (a color liquid crystal panel).

【図13】ガラス基板上に接着剤(シール剤)を塗布した状態を示す図である。 13 is a diagram showing a state in which the adhesive on the glass substrate (sealant) was applied.

【図14】光を照射して基板の接着剤を硬化させる従来例を示す図である。 [Figure 14] was irradiated with light is a diagram showing a conventional example to cure the adhesive of the substrate.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1 ミラー 2 ランプ 3 ワーク 4 アライメント・ユニット 5 リニアガイド 6 加圧機構 10 処理室 11 光透過窓 12 ステージ 12a θステージ 12b Xステージ 12c Yステージ 12d 基台 13 ガイド 14 水冷管 15 貫通穴 16 空気導入口 17 エア導入管 18 エアシリンダ 19 ストッパ 20 光照射装置 21 集光鏡 22 ランプ 23 反射鏡 24 シャッタ 24a エアシリンダ 25 フィルタ 31 導光ファイバ 32 出射端 33 センサ 40 出射端移動機構 41 フレーム 42 X軸アーム 43a X軸駆動モータ 43b,45b カップリング 43c,45c ボールネジ 44 Y軸アーム 45a Y軸駆動モータ 46,47 ガイド部材 46a,47a ガイドレール 50 制御装置 50a 記憶手段 1 Mirror 2 Lamp 3 work 4 alignment unit 5 linear guide 6 press mechanism 10 processing chamber 11 light transmission window 12 stage 12a theta stage 12b X stage 12c Y stage 12d base 13 guide 14 cooling water pipe 15 through hole 16 an air inlet 17 air inlet tube 18 the air cylinder 19 stops 20 light irradiating device 21 collector mirror 22 lamp 23 reflector 24 shutter 24a the air cylinder 25 filter 31 light guiding fiber 32 exit end 33 sensor 40 emitting end moving mechanism 41 frame 42 X-axis arm 43a X-axis drive motor 43 b, 45b coupling 43c, 45 c ball screw 44 Y-axis arms 45a Y-axis drive motor 46 and 47 guide members 46a, 47a guide rail 50 controller 50a storing means

Claims (13)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 透明基板と透明基板または透明基板と半導体基板とを光硬化型の接着剤で貼り合わせる液晶パネルの貼り合わせ方法において、 光照射部から導光ファイバで導光された光を接着剤に対し相対的に移動させながら照射して、接着剤を硬化させるに際し、 接着剤の同一領域を2回以上照射することにより接着剤の硬化に必要な照射量に至らしめることを特徴とする液晶パネルの貼り合わせ方法。 1. A transparent substrate and bonding method of the liquid crystal panel of bonding the transparent substrate or the transparent substrate and the semiconductor substrate in the light-curable adhesive, bonding the light guided by the light guiding fiber from the light irradiation unit was irradiated while relatively moving with respect agent, when the adhesive is cured, characterized in that allowed to reach dose necessary for curing of the adhesive by irradiating the same region of the adhesive more than once bonding method of the liquid crystal panel.
  2. 【請求項2】 第1回目に照射される光の照射量が第2 2. A dose of light applied to the first time and the second
    回目以降に照射される光の照射量より少ないことを特徴とする請求項1の液晶パネルの貼り合わせ方法。 Bonding method of the liquid crystal panel according to claim 1, characterized in that less than the irradiation amount of light emitted in time onward.
  3. 【請求項3】 導光ファイバで導光された光の移動速度を可変とすることにより照射量を制御することを特徴とする請求項1または請求項2の液晶パネルの貼り合わせ方法。 3. A bonding method of the liquid crystal panel according to claim 1 or claim 2, characterized in that controlling the amount of irradiation by the moving speed of the light guided by the light guiding fiber is variable.
  4. 【請求項4】 導光ファイバで導光された光の照射強度を可変にすることにより照射量を制御することを特徴とする請求項1,2または請求項3の液晶パネルの貼り合わせ方法。 4. The method of claim 1, 2 or bonding method of the liquid crystal panel according to claim 3, characterized in that controlling the amount of irradiation by the irradiation intensity of light guided by the light guiding fiber to a variable.
  5. 【請求項5】 導光ファイバの移動原点および上記ワークの位置合わせの基準点を設定し、 予め上記導光ファイバの移動原点に対する上記ワークの位置合わせ基準点および上記ワークの位置合わせの基準点に対する接着剤の位置情報を記憶手段に記憶させておき、 先ずワークの位置合わせ基準点が上記導光ファイバの移動原点に対し所定の位置になるように上記ワークの位置合わせを行い、 ついで、上記記憶手段から読み出した位置情報に基づき、制御手段により上記導光ファイバの出射端を所定位置に移動させながら上記ワークに光を照射して接着剤を硬化させることを特徴とする請求項1,2,3または請求項4の液晶パネルの貼り合わせ方法。 5. Set the reference point of the alignment of the mobile home and the work of the light guiding fiber, relative to the reference point of the alignment of the alignment reference point and the work of the work with respect to the movement origin in advance the light guiding fiber the position information of the adhesive may be stored in the storage means, first positioning reference point of the workpiece performs positioning of the workpiece to a predetermined position relative to the movement origin of the light guiding fiber, then the storage based on the position information read from the device, according to claim 1, characterized in that the adhesive is cured by irradiating light to the work while moving the exit end of the light guiding fiber to a predetermined position by the control means, 3 or bonding method of the liquid crystal panel of claim 4.
  6. 【請求項6】 上記接着剤の位置をセンサで検出し、 上記センサからの信号によって前記導光ファイバの出射端を接着剤に対して所定位置に保持するように制御しつつ、 上記導光ファイバの出射端を移動させながら光を照射して上記接着剤を硬化させることを特徴とする請求項1, 6. detected by a sensor the position of the adhesive, while controlling so as to hold in position relative adhesive emitting end of the light guide fiber by a signal from the sensor, the light guiding fiber by irradiation with light while moving the exit end according to claim 1, characterized in that curing the adhesive,
    2,3または請求項4の液晶パネルの貼り合わせ方法。 2, 3 or bonding method of the liquid crystal panel of claim 4.
  7. 【請求項7】 導光ファイバから出射した光をレンズにより集光させて接着剤に照射することを特徴とする請求項1,2,3,4,5または請求項6の液晶パネルの貼り合わせ方法。 7. A bonding of the liquid crystal panel according to claim 1, 2, 3, 4 or claim 6 the light emitted from the light guiding fiber is focused by a lens and irradiating the adhesive Method.
  8. 【請求項8】 ランプと、集光ミラーと、シャッタを具備した光照射部と、 上記光照射部からの光を出射端に導く導光ファイバと、 前記光照射部からの光を透明基板と透明基板または透明基板と半導体基板との間に接着剤を挟み込んで一体形状したワークの接着剤に照射するための光透過窓を具備した処理室と、 上記処理室内に配置されワークを載置するステージと、 上記ワークの2枚の基板が相対的に接近する方向に圧力を掛ける加圧機構と、 上記導光ファイバの出射端を保持し、該出射端を移動させる移動機構と、 照射回数情報を記憶する記憶手段と、 上記記憶手段からの照射回数情報によって上記光照射部および上記移動機構を制御する制御部とを備え、 接着剤の同一領域を2回以上照射することにより接着剤の硬化に必要な照射 8. A lamp, a condenser mirror, a light irradiation unit provided with the shutter, and the light guide fiber for guiding light from the light irradiation section to the exit end, and a transparent substrate with light from the light irradiation unit placing a processing chamber provided with the light transmission window for irradiating the adhesive of a work which is integrally shaped sandwich the adhesive, the workpiece disposed in the processing chamber between the transparent substrate or the transparent substrate and the semiconductor substrate a stage, a pressure mechanism for applying pressure in a direction in which two substrates of the work is relatively close, holding the outgoing end of the light guiding fiber, a moving mechanism for moving the emission end, the irradiation times information storage means for storing, curing of the adhesive by the light irradiation unit by the irradiation frequency information from the storage means and a control unit for controlling the moving mechanism to illuminate the same region of the adhesive more than once required irradiation to に至らしめることを特徴とする液晶パネルの貼り合わせ装置。 Bonding apparatus of the liquid crystal panel, characterized in that allowed to reach.
  9. 【請求項9】 制御部が前記移動機構の移動速度を可変制御する速度制御機能を有することを特徴とする請求項8の液晶パネルの貼り合わせ装置。 9. controller bonding apparatus for a liquid crystal panel according to claim 8, characterized in that it has a speed control function for variably controlling a moving speed of the moving mechanism.
  10. 【請求項10】 光照射部が照射強度可変機構を具備することを特徴とする請求項8または請求項9の液晶パネルの貼り合わせ装置。 10. A bonding apparatus of the liquid crystal panel according to claim 8 or claim 9 the light irradiation unit is characterized by including the illumination intensity varying mechanism.
  11. 【請求項11】 ワークを所定の位置に位置合わせする位置合わせ機構と、 前記接着剤の位置情報を記憶する記憶手段を備え、 前記制御部が上記記憶手段からの上記位置情報によって上記移動機構を制御するものであって、 光を照射しながら出射端をワーク上の接着剤に沿って移動させることを特徴とする請求項8,9または請求項1 11. A positioning mechanism for positioning the workpiece in position, comprising a storage unit for storing positional information of said adhesive, said moving mechanism and the control unit by the position information from the storage means It is one which controls, according to claim 8, 9 or claim 1, characterized in that for moving the emission end while irradiating light to the adhesive on the workpiece
    0の液晶パネルの貼り合わせ装置。 0 bonding apparatus for a liquid crystal panel of.
  12. 【請求項12】 導光ファイバの出射端と一体に支持された接着剤の位置を検出するセンサを備え、 前記制御部が上記センサからの信号によって移動機構を制御するものであって、 上記センサからの信号によって導光ファイバの出射端を接着剤に対して所定位置に保持するように制御しつつ、 12. comprising a sensor for detecting the position of the exit end and integrally supported adhesive of the light guide fiber, the control section be one that controls the moving mechanism by a signal from the sensor, the sensor while controlling to hold in position the exit end of the light guide fiber against the adhesive by a signal from,
    光を照射しながら出射端をワーク上の接着剤に沿って移動させることを特徴とする請求項8,9または請求項1 Claim, characterized in that for moving the emission end while irradiating light to the adhesive on the workpiece 8, 9 or claim 1
    0の液晶パネルの貼り合わせ装置。 0 bonding apparatus for a liquid crystal panel of.
  13. 【請求項13】 導光ファイバから出射した光を集光するレンズを設けたことを特徴とする請求項8,9,1 13. The method of claim light emitted from the light guiding fiber, characterized in that a lens for condensing 8,9,1
    0,11または請求項12の液晶パネルの貼り合わせ装置。 Bonding apparatus of the liquid crystal panel of 0,11 or claim 12.
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