JPH0792022A - 光検出器 - Google Patents
光検出器Info
- Publication number
- JPH0792022A JPH0792022A JP5234808A JP23480893A JPH0792022A JP H0792022 A JPH0792022 A JP H0792022A JP 5234808 A JP5234808 A JP 5234808A JP 23480893 A JP23480893 A JP 23480893A JP H0792022 A JPH0792022 A JP H0792022A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- outer case
- photodetector
- photoelectric conversion
- light incident
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な構成で複数の波長の光の光強度を高い
精度で検出することができる光検出器を提供することで
ある。 【構成】 一つの外装ケース１３内に複数の光−電気変
換素子２１が配置され、かつ、これら光−電気変換素子
２１に対応して光学フィルタ２４がそれぞれ配置され
る。外装ケース１３の光入射窓１２ａの窓部材２２を透
過しかつ拡散した光は、各光学フィルタ２４で分光され
てその背後の光−電気変換素子２１にそれぞれ入射す
る。これら光−電気変換素子２１は、入射する光の強度
に対応する電気信号を出力する。これにより、複数の波
長の光が同時に測光される。
精度で検出することができる光検出器を提供することで
ある。 【構成】 一つの外装ケース１３内に複数の光−電気変
換素子２１が配置され、かつ、これら光−電気変換素子
２１に対応して光学フィルタ２４がそれぞれ配置され
る。外装ケース１３の光入射窓１２ａの窓部材２２を透
過しかつ拡散した光は、各光学フィルタ２４で分光され
てその背後の光−電気変換素子２１にそれぞれ入射す
る。これら光−電気変換素子２１は、入射する光の強度
に対応する電気信号を出力する。これにより、複数の波
長の光が同時に測光される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、広帯域の光を複数の波
長の光に分光してその各々について光強度を検出する光
検出器に関する。
長の光に分光してその各々について光強度を検出する光
検出器に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、光を電気信号に変換して光を検
出する光検出器は、サンプルを透過する透過光の減衰の
大きさに基づいて、サンプルの膜厚や成分あるいはサン
プルに含まれる水分を検出する膜厚計や成分計あるいは
水分計、さらには物体から放射されている赤外線を検出
してその温度を検出する放射温度計等、光を用いた計測
や制御あるいは光通信等の分野において広く用いられて
いる。
出する光検出器は、サンプルを透過する透過光の減衰の
大きさに基づいて、サンプルの膜厚や成分あるいはサン
プルに含まれる水分を検出する膜厚計や成分計あるいは
水分計、さらには物体から放射されている赤外線を検出
してその温度を検出する放射温度計等、光を用いた計測
や制御あるいは光通信等の分野において広く用いられて
いる。
【０００３】従来より、光検出器としては、たとえば図
８に示すような構成を有するものが知られている。上記
光検出器１０は、ピン状の端子１を有する円盤状のベー
ス部材２と頂部に光が入射する光入射窓３ａを有すると
ともに上記ベース部材２を覆って固定されるキャップ部
材３とからなる金属製の外装ケース４を有する。この外
装ケース４の上記ベース部材２の上には基台５が固定さ
れ、この基台５の上に光−電気変換素子６が支持され
る。上記光入射窓３ａには、外部から上記光−電気変換
素子６に入射する光が透過する窓部材７が取り付けられ
る。上記端子１は、ボンディングワイヤ８により、光−
電気変換素子６に電気的に接続される。
８に示すような構成を有するものが知られている。上記
光検出器１０は、ピン状の端子１を有する円盤状のベー
ス部材２と頂部に光が入射する光入射窓３ａを有すると
ともに上記ベース部材２を覆って固定されるキャップ部
材３とからなる金属製の外装ケース４を有する。この外
装ケース４の上記ベース部材２の上には基台５が固定さ
れ、この基台５の上に光−電気変換素子６が支持され
る。上記光入射窓３ａには、外部から上記光−電気変換
素子６に入射する光が透過する窓部材７が取り付けられ
る。上記端子１は、ボンディングワイヤ８により、光−
電気変換素子６に電気的に接続される。
【０００４】光検出器１０の光−電気変換素子６は、一
般に、幅広い波長の光に対して感度を有する。したがっ
て、上記のような光検出器１０を用いて特定の波長の光
の強度を測定するためには、上記検出器１０の外部に光
学フィルタを設け、それを透過する光の強度を測定する
必要がある。
般に、幅広い波長の光に対して感度を有する。したがっ
て、上記のような光検出器１０を用いて特定の波長の光
の強度を測定するためには、上記検出器１０の外部に光
学フィルタを設け、それを透過する光の強度を測定する
必要がある。
【０００５】また、光を用いた計測分野等では、検出精
度の向上のために、複数の光学フィルタを用いることに
より、複数の波長の光についてその強度をそれぞれ測定
している。
度の向上のために、複数の光学フィルタを用いることに
より、複数の波長の光についてその強度をそれぞれ測定
している。
【０００６】ところで、上記のような光検出器１０を用
いて複数波長の光を検出するためには、従来より、複数
の光学フィルタを取り付けたディスク（図示せず。）を
上記光検出器１０の光入射窓３ａの前方に配置し、上記
ディスクを回転させて光学フィルタを切り替えるか、あ
るいは複数の光学フィルタを取り付けた部材（図示せ
ず。）を平行移動させる、等の手法を用いて光学フィル
タを切り替えることにより、複数波長の光をいわゆる時
分割式に検出するようにしていた（たとえば特開昭４９
−１０７８２号公報参照）。
いて複数波長の光を検出するためには、従来より、複数
の光学フィルタを取り付けたディスク（図示せず。）を
上記光検出器１０の光入射窓３ａの前方に配置し、上記
ディスクを回転させて光学フィルタを切り替えるか、あ
るいは複数の光学フィルタを取り付けた部材（図示せ
ず。）を平行移動させる、等の手法を用いて光学フィル
タを切り替えることにより、複数波長の光をいわゆる時
分割式に検出するようにしていた（たとえば特開昭４９
−１０７８２号公報参照）。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、複数の
波長の光の強度を光学フィルタの切替えにより測定する
時分割方式のものでは、光学フィルタの切替に時間を必
要とする。このため、異なった波長の光が時間的に同時
に測定できず、光学フィルタの切替の間に、測定対象の
位置が移動したり測定対象の物性が変化するようなとき
には、それぞれの波長が測定対象の異なった位置や測定
対象の異なる状態における光強度を測定してしまい、光
学フィルタの切替の時間に比較して測定対象の位置の変
化や物性変化が大きいときには測定値に誤差が生じると
いう問題があった。
波長の光の強度を光学フィルタの切替えにより測定する
時分割方式のものでは、光学フィルタの切替に時間を必
要とする。このため、異なった波長の光が時間的に同時
に測定できず、光学フィルタの切替の間に、測定対象の
位置が移動したり測定対象の物性が変化するようなとき
には、それぞれの波長が測定対象の異なった位置や測定
対象の異なる状態における光強度を測定してしまい、光
学フィルタの切替の時間に比較して測定対象の位置の変
化や物性変化が大きいときには測定値に誤差が生じると
いう問題があった。
【０００８】特に、複数の波長の光のうちの一つを基準
となる参照波長の光として採用し、この参照波長の光の
検出強度を基準にして他の波長の測定光の検出強度を補
正するような場合、参照波長の光の強度が変わってしま
うと、測定光の測定値は擬似測定値になる。また、光学
フィルタの切替の時間は、光学フィルタの切替機構の制
限から高速にできない場合が多く、高速移動体や測定対
象の形状が小さくかつ移動する物体、あるいは急激な物
性変化などをとらえることが困難であるという問題があ
った。
となる参照波長の光として採用し、この参照波長の光の
検出強度を基準にして他の波長の測定光の検出強度を補
正するような場合、参照波長の光の強度が変わってしま
うと、測定光の測定値は擬似測定値になる。また、光学
フィルタの切替の時間は、光学フィルタの切替機構の制
限から高速にできない場合が多く、高速移動体や測定対
象の形状が小さくかつ移動する物体、あるいは急激な物
性変化などをとらえることが困難であるという問題があ
った。
【０００９】一方、複数の検出器あるいはアレイセンサ
を用いるものも知られている（たとえば、特開昭５８−
１００７２０号公報参照）。このものでは、上記のよう
な問題は解消されるが、個々の検出器に感度のばらつき
があったり、周囲温度に対する感度変化がそれぞれの検
出器間で一定でないために、測定値に誤差が生じるとい
う問題があった。またアレイセンサの場合では、光路分
岐部や分光部がアレイセンサの外装ケースの外にあるた
め外装ケースの外部で光路分岐させても、外装ケースの
窓と光−電気変換素子との間に間隔があるので、隣接光
路間で相互干渉が生じるという問題があった。
を用いるものも知られている（たとえば、特開昭５８−
１００７２０号公報参照）。このものでは、上記のよう
な問題は解消されるが、個々の検出器に感度のばらつき
があったり、周囲温度に対する感度変化がそれぞれの検
出器間で一定でないために、測定値に誤差が生じるとい
う問題があった。またアレイセンサの場合では、光路分
岐部や分光部がアレイセンサの外装ケースの外にあるた
め外装ケースの外部で光路分岐させても、外装ケースの
窓と光−電気変換素子との間に間隔があるので、隣接光
路間で相互干渉が生じるという問題があった。
【００１０】加えて、光学フィルタによる分光機構や、
光路の分岐機構が大きくなり、測光装置自体が大きくな
る、移動機構の故障が発生しやすい、光学系の配置およ
び寸法精度が必要とされるため調整が困難、光路長が長
くなり測定精度が低下する、あるいは測光装置の価格が
上昇する等の問題もあった。
光路の分岐機構が大きくなり、測光装置自体が大きくな
る、移動機構の故障が発生しやすい、光学系の配置およ
び寸法精度が必要とされるため調整が困難、光路長が長
くなり測定精度が低下する、あるいは測光装置の価格が
上昇する等の問題もあった。
【００１１】本発明の目的は、簡単な構成で複数の波長
の光の光強度を高い精度で検出することができる光検出
器を提供することである。
の光の光強度を高い精度で検出することができる光検出
器を提供することである。
【００１２】本発明のいま一つの目的は、周囲温度に影
響されずに複数の波長の光の光強度を高い精度で検出す
ることができる光検出器を提供することである。
響されずに複数の波長の光の光強度を高い精度で検出す
ることができる光検出器を提供することである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１にかかる光検出器は、光が入射する光入射
窓を有する外装ケースと、各々がこの外装ケース内に固
定された基台上に配置され、外装ケースの上記光入射窓
を通して入射する光を電気信号にそれぞれ変換する少な
くとも２個の光−電気変換素子と、上記外装ケース内に
て各光−電気変換素子の光入射側にそれぞれ配置されて
なる光学フィルタと、これら光学フィルタに拡散された
光を入射させる光拡散部材とを備えたことを特徴とす
る。
め、請求項１にかかる光検出器は、光が入射する光入射
窓を有する外装ケースと、各々がこの外装ケース内に固
定された基台上に配置され、外装ケースの上記光入射窓
を通して入射する光を電気信号にそれぞれ変換する少な
くとも２個の光−電気変換素子と、上記外装ケース内に
て各光−電気変換素子の光入射側にそれぞれ配置されて
なる光学フィルタと、これら光学フィルタに拡散された
光を入射させる光拡散部材とを備えたことを特徴とす
る。
【００１４】上記目的を達成するため、請求項２にかか
る光検出器は、請求項１にかかる光検出器において、互
いに隣り合う光−電気変換素子間に遮光板を備えたこと
を特徴とする。
る光検出器は、請求項１にかかる光検出器において、互
いに隣り合う光−電気変換素子間に遮光板を備えたこと
を特徴とする。
【００１５】上記目的を達成するため、請求項３にかか
る光検出器は、請求項１または２にかかる光検出器にお
いて、上記光拡散部材は、外装ケースの上記光入射窓に
配置された光拡散板であることを特徴とする。
る光検出器は、請求項１または２にかかる光検出器にお
いて、上記光拡散部材は、外装ケースの上記光入射窓に
配置された光拡散板であることを特徴とする。
【００１６】上記目的を達成するため、請求項４にかか
る光検出器は、請求項１にかかる光検出器において、上
記光拡散部材は、一端側が外装ケースの上記光入射窓に
配置されるとともに、他端側が上記光−電気変換素子の
各々に分岐してなるランダム光ファイバであることを特
徴とする。
る光検出器は、請求項１にかかる光検出器において、上
記光拡散部材は、一端側が外装ケースの上記光入射窓に
配置されるとともに、他端側が上記光−電気変換素子の
各々に分岐してなるランダム光ファイバであることを特
徴とする。
【００１７】上記目的を達成するため、請求項５にかか
る光検出器は、請求項１または２にかかる光検出器にお
いて、上記光拡散部材は、一端側が外装ケースの上記光
入射窓に配置されるとともに、他端側が上記光入射窓の
前方に導出されたランダム光ファイバであることを特徴
とする。
る光検出器は、請求項１または２にかかる光検出器にお
いて、上記光拡散部材は、一端側が外装ケースの上記光
入射窓に配置されるとともに、他端側が上記光入射窓の
前方に導出されたランダム光ファイバであることを特徴
とする。
【００１８】上記目的を達成するため、請求項６にかか
る光検出器は、請求項１から５のいずれか一にかかる光
検出器において、上記光学フィルタは、光を遮断するも
のと特定の波長の光を透過させるものとからなることを
特徴とする。
る光検出器は、請求項１から５のいずれか一にかかる光
検出器において、上記光学フィルタは、光を遮断するも
のと特定の波長の光を透過させるものとからなることを
特徴とする。
【００１９】上記いま一つの目的を達成するため、請求
項７にかかる光検出器は、光が入射する光入射窓を有す
る外装ケースと、各々がこの外装ケース内に固定された
基台上に配置され、外装ケースの上記光入射窓を通して
入射する光を電気信号にそれぞれ変換する少なくとも２
個の光−電気変換素子と、上記外装ケース内にて各光−
電気変換素子の光入射側にそれぞれ配置されてなる光学
フィルタと、上記基台と光−電気変換素子との間に電気
的に絶縁して配置されてなるペルチェ効果による電子冷
却素子と、上記光−電気変換素子の温度を検出する温度
検出素子とを備えたことを特徴とする。
項７にかかる光検出器は、光が入射する光入射窓を有す
る外装ケースと、各々がこの外装ケース内に固定された
基台上に配置され、外装ケースの上記光入射窓を通して
入射する光を電気信号にそれぞれ変換する少なくとも２
個の光−電気変換素子と、上記外装ケース内にて各光−
電気変換素子の光入射側にそれぞれ配置されてなる光学
フィルタと、上記基台と光−電気変換素子との間に電気
的に絶縁して配置されてなるペルチェ効果による電子冷
却素子と、上記光−電気変換素子の温度を検出する温度
検出素子とを備えたことを特徴とする。
【００２０】上記いま一つの目的を達成するため、請求
項８にかかる光検出器は、請求項７にかかる光検出器に
おいて、互いに隣り合う光−電気変換素子間に遮光板を
備えたことを特徴とする。
項８にかかる光検出器は、請求項７にかかる光検出器に
おいて、互いに隣り合う光−電気変換素子間に遮光板を
備えたことを特徴とする。
【００２１】上記いま一つの目的を達成するため、請求
項９にかかる光検出器は、請求項７または８にかかる光
検出器において、上記光学フィルタは、少なくとも１つ
が光を遮断し、かつ少なくとも２つが特定の波長の光を
それぞれ透過させることを特徴とする。
項９にかかる光検出器は、請求項７または８にかかる光
検出器において、上記光学フィルタは、少なくとも１つ
が光を遮断し、かつ少なくとも２つが特定の波長の光を
それぞれ透過させることを特徴とする。
【００２２】
【発明の作用および効果】請求項１にかかる光検出器に
よれば、一つの外装ケース内に複数の光−電気変換素子
を配置するとともにこれら光−電気変換素子に対応して
光学フィルタを配置し、これら光学フィルタに光拡散部
材から拡散された光が入射するようにしたので、均等に
拡散した光が光学フィルタで分光されて光−電気変換素
子に入射して分光された光の強度が検出され、光路を分
岐したり光学フィルタ等で分光する複雑な光学系を用い
ることなく、簡単な構成で複数の波長の光の強度を高い
精度で検出することができる。また、光学系の調整も容
易になり、測定対象が移動体であっても、測定対象から
の複数の波長の光の光強度を高い精度で検出することが
できる。
よれば、一つの外装ケース内に複数の光−電気変換素子
を配置するとともにこれら光−電気変換素子に対応して
光学フィルタを配置し、これら光学フィルタに光拡散部
材から拡散された光が入射するようにしたので、均等に
拡散した光が光学フィルタで分光されて光−電気変換素
子に入射して分光された光の強度が検出され、光路を分
岐したり光学フィルタ等で分光する複雑な光学系を用い
ることなく、簡単な構成で複数の波長の光の強度を高い
精度で検出することができる。また、光学系の調整も容
易になり、測定対象が移動体であっても、測定対象から
の複数の波長の光の光強度を高い精度で検出することが
できる。
【００２３】また、請求項２にかかる光検出器によれ
ば、互いに隣り合う光−電気変換素子がその間に配置さ
れた遮光板により互いに遮光されるので、各光−電気変
換素子間の相互干渉を防止することができる。
ば、互いに隣り合う光−電気変換素子がその間に配置さ
れた遮光板により互いに遮光されるので、各光−電気変
換素子間の相互干渉を防止することができる。
【００２４】さらに、請求項３にかかる光検出器によれ
ば、光拡散板により入射する検出光が拡散して均等に光
学フィルタに入射するので、検出光を検出器内の複数の
光−電気変換素子に、より均一に導くことが可能にな
り、光学系の調整も容易となり、測定対象の位置変動に
も強くなり高精度の測定が容易になる。
ば、光拡散板により入射する検出光が拡散して均等に光
学フィルタに入射するので、検出光を検出器内の複数の
光−電気変換素子に、より均一に導くことが可能にな
り、光学系の調整も容易となり、測定対象の位置変動に
も強くなり高精度の測定が容易になる。
【００２５】さらに、請求項４にかかる光検出器によれ
ば、一つの外装ケース内に複数の光−電気変換素子を配
置するとともにこれら光−電気変換素子に対応して光学
フィルタが配置され、さらに外装ケース内に配置された
ランダム光ファイバが外装ケースの光入射窓から入射し
た光を各光−電気変換素子にそれぞれ導くので、検出光
を検出器内の複数の光−電気変換素子に、より均一に導
くことが可能になり、光学系の調整も容易となり、測定
対象の位置変動にも強くなり高精度の測定が容易にな
る。
ば、一つの外装ケース内に複数の光−電気変換素子を配
置するとともにこれら光−電気変換素子に対応して光学
フィルタが配置され、さらに外装ケース内に配置された
ランダム光ファイバが外装ケースの光入射窓から入射し
た光を各光−電気変換素子にそれぞれ導くので、検出光
を検出器内の複数の光−電気変換素子に、より均一に導
くことが可能になり、光学系の調整も容易となり、測定
対象の位置変動にも強くなり高精度の測定が容易にな
る。
【００２６】さらにまた、請求項５にかかる光検出器に
よれば、ランダム光ファイバの作用により光を均等に外
装ケース内の光学フィルタに入射させることができるの
で、検出光を検出器内の複数の光−電気変換素子に、よ
り均一に導くことが可能になり、光学系の調整も容易と
なり、測定対象の位置変動にも強くなり高精度の測定が
容易になる。
よれば、ランダム光ファイバの作用により光を均等に外
装ケース内の光学フィルタに入射させることができるの
で、検出光を検出器内の複数の光−電気変換素子に、よ
り均一に導くことが可能になり、光学系の調整も容易と
なり、測定対象の位置変動にも強くなり高精度の測定が
容易になる。
【００２７】さらにまた、請求項６にかかる光検出器に
よれば、光学フィルタの少なくとも一つがそれに対向す
る光−電気変換素子に入射する光を遮断するので、この
光−電気変換素子の出力に基づいて温度等の外乱の影響
を補正し、測定精度を向上させることができる。
よれば、光学フィルタの少なくとも一つがそれに対向す
る光−電気変換素子に入射する光を遮断するので、この
光−電気変換素子の出力に基づいて温度等の外乱の影響
を補正し、測定精度を向上させることができる。
【００２８】さらにまた、請求項７にかかる光検出器に
よれば、温度検出素子が光−電気変換素子の温度を検出
し、基台と光−電気変換素子との間に配置されたペルチ
ェ効果による電子冷却素子により光−電気変換素子の温
度を一定に制御することにより、周囲温度が変化しても
各光−電気変換素子の温度変化が抑えられ、特に、赤外
線を検出する場合にも、赤外線による各光−電気変換素
子の温度上昇が抑えられ、赤外線の検出精度も大幅に向
上する。
よれば、温度検出素子が光−電気変換素子の温度を検出
し、基台と光−電気変換素子との間に配置されたペルチ
ェ効果による電子冷却素子により光−電気変換素子の温
度を一定に制御することにより、周囲温度が変化しても
各光−電気変換素子の温度変化が抑えられ、特に、赤外
線を検出する場合にも、赤外線による各光−電気変換素
子の温度上昇が抑えられ、赤外線の検出精度も大幅に向
上する。
【００２９】さらにまた、請求項８にかかる光検出器に
よれば、請求項７にかかる光検出器において、互いに隣
り合う光−電気変換素子がその間に配置された遮光板に
より互いに遮光されるので、各光−電気変換素子間の相
互干渉を防止することができる。
よれば、請求項７にかかる光検出器において、互いに隣
り合う光−電気変換素子がその間に配置された遮光板に
より互いに遮光されるので、各光−電気変換素子間の相
互干渉を防止することができる。
【００３０】さらにまた、請求項９にかかる光検出器に
よれば、請求項７または８にかかる光検出器において、
光学フィルタの少なくとも一つがそれに対向する光−電
気変換素子に入射する光を遮断するので、この光−電気
変換素子の出力に基づいて温度等の外乱の影響を補正
し、測定精度を向上させることができる。
よれば、請求項７または８にかかる光検出器において、
光学フィルタの少なくとも一つがそれに対向する光−電
気変換素子に入射する光を遮断するので、この光−電気
変換素子の出力に基づいて温度等の外乱の影響を補正
し、測定精度を向上させることができる。
【００３１】
【実施例】以下に、添付の図面を参照して本発明の実施
例を説明する。本発明にかかる光検出器の一実施例の構
成を図１に示す。
例を説明する。本発明にかかる光検出器の一実施例の構
成を図１に示す。
【００３２】上記光検出器２０は、円盤状のベース部材
１１と頂部に光が入射する光入射窓１２ａを有するとと
もに上記ベース部材１１を覆って固定されるキャップ部
材１２とからなる外装ケース１３を備える。この外装ケ
ース１３の上記光入射窓１２ａには、次に説明する光−
電気変換素子２１，２１に外部からそれぞれ入射する光
が透過する窓部材２２が取り付けられている。この窓部
材２２は、上記光−電気変換素子２１，２１の各々に入
射する光のビームのずれを吸収するため、入射する光を
透過させるとともに散乱させる拡散板からなる。この窓
部材２２を構成するこの拡散板としては、たとえばオパ
ールグラスからなるものや、ガラス、フッ化カルシウ
ム、フッ化バリウムなどにブラスト処理したもの等を使
用することができる。
１１と頂部に光が入射する光入射窓１２ａを有するとと
もに上記ベース部材１１を覆って固定されるキャップ部
材１２とからなる外装ケース１３を備える。この外装ケ
ース１３の上記光入射窓１２ａには、次に説明する光−
電気変換素子２１，２１に外部からそれぞれ入射する光
が透過する窓部材２２が取り付けられている。この窓部
材２２は、上記光−電気変換素子２１，２１の各々に入
射する光のビームのずれを吸収するため、入射する光を
透過させるとともに散乱させる拡散板からなる。この窓
部材２２を構成するこの拡散板としては、たとえばオパ
ールグラスからなるものや、ガラス、フッ化カルシウ
ム、フッ化バリウムなどにブラスト処理したもの等を使
用することができる。
【００３３】上記外装ケース１３のベース部材１１の上
には一つの基台２３が固定される。そして、この基台２
３の上には上記光−電気変換素子２１，２１が支持され
る。これら光−電気変換素子２１，２１の上方には、支
持部材１４により、特定の波長の光をそれぞれ透過させ
る光学フィルタ２４，２４がそれぞれ配置される。上記
光−電気変換素子２１としては、たとえばゲルマニュー
ムフォトダイオード、シリコンフォトダイオードのほ
か、ＰｂＳ，ＰｂＳｅ光導電素子やインジュームアンチ
モン光起電力素子等を使用することができる。また、上
記光学フィルタ２４としては、ガラス内に特定の色素を
拡散した色ガラスのほか、Ｓｉ，Ｇｅあるいはガラスな
どの基材に薄膜を蒸着した干渉フィルタ等を使用するこ
とができる。
には一つの基台２３が固定される。そして、この基台２
３の上には上記光−電気変換素子２１，２１が支持され
る。これら光−電気変換素子２１，２１の上方には、支
持部材１４により、特定の波長の光をそれぞれ透過させ
る光学フィルタ２４，２４がそれぞれ配置される。上記
光−電気変換素子２１としては、たとえばゲルマニュー
ムフォトダイオード、シリコンフォトダイオードのほ
か、ＰｂＳ，ＰｂＳｅ光導電素子やインジュームアンチ
モン光起電力素子等を使用することができる。また、上
記光学フィルタ２４としては、ガラス内に特定の色素を
拡散した色ガラスのほか、Ｓｉ，Ｇｅあるいはガラスな
どの基材に薄膜を蒸着した干渉フィルタ等を使用するこ
とができる。
【００３４】上記支持部材１４は、外装ケース１２のキ
ャップ部材１２に内嵌する筒状部１４ａとこの筒状部１
４ａ内に張り渡されたフィルタ支持部１４ｂとからな
る。上記支持部材１４は、その筒状部１４ａの一端とキ
ャップ部材１２に形成された上記光入射窓１２ａのエッ
ジ部との間に、上記窓部材２２の周縁部を挟んで保持す
る。上記筒状部１４はまた、光−電気変換素子２１，２
１に対応してその支持部１４ｂに形成された穴１５，１
５を覆って、支持部１４ｂが光学フィルタ２４，２４を
支持する。
ャップ部材１２に内嵌する筒状部１４ａとこの筒状部１
４ａ内に張り渡されたフィルタ支持部１４ｂとからな
る。上記支持部材１４は、その筒状部１４ａの一端とキ
ャップ部材１２に形成された上記光入射窓１２ａのエッ
ジ部との間に、上記窓部材２２の周縁部を挟んで保持す
る。上記筒状部１４はまた、光−電気変換素子２１，２
１に対応してその支持部１４ｂに形成された穴１５，１
５を覆って、支持部１４ｂが光学フィルタ２４，２４を
支持する。
【００３５】隣り合う上記光−電気変換素子２１，２１
は、支持部材１４の支持部１４ｂから基台２３に向かっ
て伸びる遮光板１４ｃにより互いに遮光される。
は、支持部材１４の支持部１４ｂから基台２３に向かっ
て伸びる遮光板１４ｃにより互いに遮光される。
【００３６】なお、１枚の基台２３の上に多数の光−電
気変換素子２１，２１，…が配置されるときは、これら
光−電気変換素子２１，２１，…は、上記基台２３の上
に、たとえば同心円状もしくはマトリックス状に配置さ
れる。
気変換素子２１，２１，…が配置されるときは、これら
光−電気変換素子２１，２１，…は、上記基台２３の上
に、たとえば同心円状もしくはマトリックス状に配置さ
れる。
【００３７】上記光−電気変換素子２１，２１は、ボン
ディングワイヤ１６により、外装ケース１３のベース部
材１１に設けられた端子２５，２５，…に電気的に接続
される。
ディングワイヤ１６により、外装ケース１３のベース部
材１１に設けられた端子２５，２５，…に電気的に接続
される。
【００３８】このような構成であれば、図５に示すよう
に、光検出器２０の外部に分光装置およびそれに伴う光
学系を用いることなく、測定サンプル２６からの光２７
を直接受け、図１に示す１つの外装ケース１３内に配置
した複数の光−電気変換素子２１，２１とこれら光−電
気変換素子２１，２１の前にそれぞれ配置された光学フ
ィルタ２４，２４により、複数の波長の光強度を、時間
のずれなしに、同時に測光することができる。
に、光検出器２０の外部に分光装置およびそれに伴う光
学系を用いることなく、測定サンプル２６からの光２７
を直接受け、図１に示す１つの外装ケース１３内に配置
した複数の光−電気変換素子２１，２１とこれら光−電
気変換素子２１，２１の前にそれぞれ配置された光学フ
ィルタ２４，２４により、複数の波長の光強度を、時間
のずれなしに、同時に測光することができる。
【００３９】また、多数の光−電気変換素子２１，２
１，…が基台２３の上で同心円もしくはマトリックス状
に配置されている場合、対称位置にある光−電気変換素
子２１，２１，…に対して同じ特性を有する光学フィル
タ２４を配置し、その出力の和を検出信号として用いる
ようにすれば、測定対象の移動等により、光路が変動し
ても、検出信号が一定になり、測定精度が向上する。
１，…が基台２３の上で同心円もしくはマトリックス状
に配置されている場合、対称位置にある光−電気変換素
子２１，２１，…に対して同じ特性を有する光学フィル
タ２４を配置し、その出力の和を検出信号として用いる
ようにすれば、測定対象の移動等により、光路が変動し
ても、検出信号が一定になり、測定精度が向上する。
【００４０】さらに、隣り合う光−電気変換素子２１，
２１の間に位置する遮光板１４ｃが配置されていると、
遮光板１４ｃが隣り合う光−電気変換素子２１，２１を
互いに遮光し、光による各光−電気変換素子２１，２１
間の相互干渉を防止することができる。
２１の間に位置する遮光板１４ｃが配置されていると、
遮光板１４ｃが隣り合う光−電気変換素子２１，２１を
互いに遮光し、光による各光−電気変換素子２１，２１
間の相互干渉を防止することができる。
【００４１】上記した図１の光検出器２０を用いた光学
測定装置の構成の一例を図６に示す。この光学測定装置
は、たとえば膜厚計や水分計あるいは成分計等に使用さ
れるもので、光学測定部４１と演算処理部４２とから構
成される。
測定装置の構成の一例を図６に示す。この光学測定装置
は、たとえば膜厚計や水分計あるいは成分計等に使用さ
れるもので、光学測定部４１と演算処理部４２とから構
成される。
【００４２】上記光学測定部４１は、光源４３からの光
を明滅信号に変調して測定サンプル２６に投射するため
のチョッパ機構４４，この測定サンプル２６からの反射
光を受けて電気信号に変換する既に説明した上記構成を
有する光検出器２０およびこの光検出器２０の出力を増
幅する増幅器４７ａ，４７ｂを備える。上記チョッパ機
構４４は、たとえば１８０度の角度間隔で穴４５ａが形
成された回転円板４５と、この回転円板４５の駆動モー
タ４６からなる。なお、このチョッパ機構４４は、測定
サンプル２６と上記光検出器２０との間に配置されてい
てもよい。
を明滅信号に変調して測定サンプル２６に投射するため
のチョッパ機構４４，この測定サンプル２６からの反射
光を受けて電気信号に変換する既に説明した上記構成を
有する光検出器２０およびこの光検出器２０の出力を増
幅する増幅器４７ａ，４７ｂを備える。上記チョッパ機
構４４は、たとえば１８０度の角度間隔で穴４５ａが形
成された回転円板４５と、この回転円板４５の駆動モー
タ４６からなる。なお、このチョッパ機構４４は、測定
サンプル２６と上記光検出器２０との間に配置されてい
てもよい。
【００４３】一方、上記演算処理部４２は、信号処理回
路４８および出力回路４９からなる。信号処理回路４８
は、上記増幅器４７ａ，４７ｂの出力を演算処理し、膜
厚（膜厚計の場合）、水分（水分計の場合）あるいは成
分（成分計の場合）等の演算結果を出力回路４９に出力
する。この出力回路４９は上記膜厚、水分あるいは成分
等を表示もしくは制御信号等として、出力する。
路４８および出力回路４９からなる。信号処理回路４８
は、上記増幅器４７ａ，４７ｂの出力を演算処理し、膜
厚（膜厚計の場合）、水分（水分計の場合）あるいは成
分（成分計の場合）等の演算結果を出力回路４９に出力
する。この出力回路４９は上記膜厚、水分あるいは成分
等を表示もしくは制御信号等として、出力する。
【００４４】上記のような光学測定装置では、図１の構
成を有する光検出器２０を用いているので、複数の波長
の光の同時測光が可能であり、したがって測定精度が向
上するとともに、チョッパ機構４４には干渉フィルタ等
の光学フィルタを装着する必要がなく、装置構成部品を
簡素化することができ、装置自体の小型化および低価格
化を図ることができる。上記光学測定装置において、測
定サンプル２６への投射光および反射光の導光に、光フ
ァイバを使用することもできる。
成を有する光検出器２０を用いているので、複数の波長
の光の同時測光が可能であり、したがって測定精度が向
上するとともに、チョッパ機構４４には干渉フィルタ等
の光学フィルタを装着する必要がなく、装置構成部品を
簡素化することができ、装置自体の小型化および低価格
化を図ることができる。上記光学測定装置において、測
定サンプル２６への投射光および反射光の導光に、光フ
ァイバを使用することもできる。
【００４５】なお、図６の光学測定装置において、光源
４３を省略し、チョッパ機構４４を光検出器２０の前に
配置することにより、測定サンプル２６からの放射光を
測定して色温度を測定する、色放射温度計を容易に実現
することができる。
４３を省略し、チョッパ機構４４を光検出器２０の前に
配置することにより、測定サンプル２６からの放射光を
測定して色温度を測定する、色放射温度計を容易に実現
することができる。
【００４６】次に、本発明にかかる光検出器のいま一つ
の実施例を図２に示す。この図２の光検出器３０は、図
１において説明した光検出器２０において、外装ケース
１３内にて光入射窓１２ａと光学フィルタ２４との間
に、石英ガラス等のランダム光ファイバ２８を配置して
なるものである。このランダム光ファイバ２８は、その
一端側が外装ケース１３のキャップ部材１２の上記光入
射窓１２ａに配置され、その他端側が上記光−電気変換
素子２１，２１の各々に分岐してなるものである。な
お、図２において、図１に対応する部分には対応する符
号を付して示し、重複した説明は省略する。
の実施例を図２に示す。この図２の光検出器３０は、図
１において説明した光検出器２０において、外装ケース
１３内にて光入射窓１２ａと光学フィルタ２４との間
に、石英ガラス等のランダム光ファイバ２８を配置して
なるものである。このランダム光ファイバ２８は、その
一端側が外装ケース１３のキャップ部材１２の上記光入
射窓１２ａに配置され、その他端側が上記光−電気変換
素子２１，２１の各々に分岐してなるものである。な
お、図２において、図１に対応する部分には対応する符
号を付して示し、重複した説明は省略する。
【００４７】図２の光検出器３０では、外装ケース１３
内に配置されたランダム光ファイバ２８が外装ケース１
３のキャップ部材１２の光入射窓１２ａから入射した光
を各光−電気変換素子２１にそれぞれ導くので、光入射
窓１２ａから入射する光を均等に各光−電気変換素子２
１に入射させることができる。なお、上記ランダム光フ
ァイバ２８としては、石英ガラス光ファイバのほかに、
プラスチック光ファイバや多成分ガラス光ファイバ等を
使用することもできる。
内に配置されたランダム光ファイバ２８が外装ケース１
３のキャップ部材１２の光入射窓１２ａから入射した光
を各光−電気変換素子２１にそれぞれ導くので、光入射
窓１２ａから入射する光を均等に各光−電気変換素子２
１に入射させることができる。なお、上記ランダム光フ
ァイバ２８としては、石英ガラス光ファイバのほかに、
プラスチック光ファイバや多成分ガラス光ファイバ等を
使用することもできる。
【００４８】なお、具体的には図示しないが、図２の光
検出器３０において、拡散板もしくはランダム光ファイ
バを、外装ケース１３の外で窓部材２２に近接して配置
しても上記とほぼ同様の効果を得ることができる。
検出器３０において、拡散板もしくはランダム光ファイ
バを、外装ケース１３の外で窓部材２２に近接して配置
しても上記とほぼ同様の効果を得ることができる。
【００４９】本発明にかかるさらにいま一つの実施例を
図３および図４に示す。この実施例の光検出器４０で
は、基台２３と光−電気変換素子２１，２１との間にペ
ルチェ効果による電子冷却素子３１を、絶縁材３２によ
り電気的に絶縁して配置する一方、上記光−電気変換素
子２１，２１の周囲の温度を検出するサーミスタ等から
なる温度検出素子３３（図４参照。）を上記外装ケース
１３内部に設け、この温度検出素子３３により上記光−
電気変換素子２１，２１の温度を検出し、上記電子冷却
素子３１により光−電気変換素子２１，２１の温度を一
定に制御するようにしたものである。
図３および図４に示す。この実施例の光検出器４０で
は、基台２３と光−電気変換素子２１，２１との間にペ
ルチェ効果による電子冷却素子３１を、絶縁材３２によ
り電気的に絶縁して配置する一方、上記光−電気変換素
子２１，２１の周囲の温度を検出するサーミスタ等から
なる温度検出素子３３（図４参照。）を上記外装ケース
１３内部に設け、この温度検出素子３３により上記光−
電気変換素子２１，２１の温度を検出し、上記電子冷却
素子３１により光−電気変換素子２１，２１の温度を一
定に制御するようにしたものである。
【００５０】このようにすれば、上記電子冷却素子３１
により、周囲温度が変化しても各光−電気変換素子２１
の温度変化が抑えられる。特に、赤外線を検出する場
合、赤外線による各光−電気変換素子２１の温度上昇が
抑えられ、赤外線の検出精度を大幅に向上させることが
できる。
により、周囲温度が変化しても各光−電気変換素子２１
の温度変化が抑えられる。特に、赤外線を検出する場
合、赤外線による各光−電気変換素子２１の温度上昇が
抑えられ、赤外線の検出精度を大幅に向上させることが
できる。
【００５１】また、温度検出素子３３を光−電気変換素
子２１，２１に絶縁して取り付けることにより、光−電
気変換素子２１，２１の温度を直接的に測定することが
でき、光−電気変換素子の温度をより一定に制御するた
めに有効である。
子２１，２１に絶縁して取り付けることにより、光−電
気変換素子２１，２１の温度を直接的に測定することが
でき、光−電気変換素子の温度をより一定に制御するた
めに有効である。
【００５２】以上に説明した、たとえば図１の実施例に
おいて、一つの光学フィルタ２４がその背後に位置する
光−電気変換素子２１へ入射する光を遮断するようにし
た光検出器２０を用いた、図６と同様の光学測定装置の
構成を図７に示す。
おいて、一つの光学フィルタ２４がその背後に位置する
光−電気変換素子２１へ入射する光を遮断するようにし
た光検出器２０を用いた、図６と同様の光学測定装置の
構成を図７に示す。
【００５３】上記光検出器２０は、図７に示すように、
所定の波長の光を透過させる光学フィルタ２４ａとその
背後に位置する光−電気変換素子２１ａ並びに光を遮光
する光学フィルタ２４ｂとその背後に位置する光−電気
変換素子２１ｂを有する。これら光−電気変換素子２１
ａ，２１ｂは、並列接続されて検出用の印加電圧が印加
される。
所定の波長の光を透過させる光学フィルタ２４ａとその
背後に位置する光−電気変換素子２１ａ並びに光を遮光
する光学フィルタ２４ｂとその背後に位置する光−電気
変換素子２１ｂを有する。これら光−電気変換素子２１
ａ，２１ｂは、並列接続されて検出用の印加電圧が印加
される。
【００５４】並列接続された上記光−電気変換素子２１
ａ，２１ｂの出力は、増幅器４７で増幅され、信号処理
回路４８にて処理され、膜厚（膜厚計の場合）、水分
（水分計の場合）あるいは成分（成分計の場合）が演算
される。
ａ，２１ｂの出力は、増幅器４７で増幅され、信号処理
回路４８にて処理され、膜厚（膜厚計の場合）、水分
（水分計の場合）あるいは成分（成分計の場合）が演算
される。
【００５５】上記光学測定装置では、光検出器２０の光
−電気変換素子２１ａと２１ｂとが互いに近接して同じ
外装ケース１３内に配置されているので、温度変化等の
外乱に対して、光−電気変換素子２１ａ，２１ｂが受け
る影響は同じである。したがって、光−電気変換素子２
１ａが受ける外乱により生じる測定誤差は、光−電気変
換素子２１ｂの受ける外乱により相殺され、補正され
る。
−電気変換素子２１ａと２１ｂとが互いに近接して同じ
外装ケース１３内に配置されているので、温度変化等の
外乱に対して、光−電気変換素子２１ａ，２１ｂが受け
る影響は同じである。したがって、光−電気変換素子２
１ａが受ける外乱により生じる測定誤差は、光−電気変
換素子２１ｂの受ける外乱により相殺され、補正され
る。
【００５６】なお、光検出器２０の外装ケース１３内に
複数の光−電気変換素子２１ａがある場合も、各光−電
気変換素子２１ａに対して光−電気変換素子２１ｂをそ
れぞれ配置することにより、図７の回路を適用すること
ができる。
複数の光−電気変換素子２１ａがある場合も、各光−電
気変換素子２１ａに対して光−電気変換素子２１ｂをそ
れぞれ配置することにより、図７の回路を適用すること
ができる。
【００５７】また、光検出器２０の内部に、光−電気変
換素子２１ｂを光−電気変換素子２１ａと対をなすよう
に配置すると、光−電気変換素子の数が多くなりすぎる
場合には、光−電気変換素子２１ａ，２１ｂの出力を個
別に測定し、光−電気変換素子２１ｂの測光出力に基づ
いて、外装ケース１３内に内蔵したパルチェ効果による
電子冷却素子をＰＩＤ（比例−積分−微分）制御回路等
で制御することにより、外装ケース１３内部の温度を一
定に制御し、光検出器周囲の温度変化に対する外乱の影
響を除去することができる。さらに、光−電気変換素子
２１ｂの検出信号を、後段の信号処理回路４８で一定に
なるような係数を求め、光−電気変換素子２１ａの検出
出力を演算処理することにより、外乱の影響を補正する
ことができる。
換素子２１ｂを光−電気変換素子２１ａと対をなすよう
に配置すると、光−電気変換素子の数が多くなりすぎる
場合には、光−電気変換素子２１ａ，２１ｂの出力を個
別に測定し、光−電気変換素子２１ｂの測光出力に基づ
いて、外装ケース１３内に内蔵したパルチェ効果による
電子冷却素子をＰＩＤ（比例−積分−微分）制御回路等
で制御することにより、外装ケース１３内部の温度を一
定に制御し、光検出器周囲の温度変化に対する外乱の影
響を除去することができる。さらに、光−電気変換素子
２１ｂの検出信号を、後段の信号処理回路４８で一定に
なるような係数を求め、光−電気変換素子２１ａの検出
出力を演算処理することにより、外乱の影響を補正する
ことができる。
【図１】 本発明にかかる光検出器の一実施例の縦断面
図である。
図である。
【図２】 本発明にかかる光検出器のいま一つの実施例
の縦断面図である。
の縦断面図である。
【図３】 本発明にかかる光検出器のさらにいま一つの
実施例の縦断面図である。
実施例の縦断面図である。
【図４】 図３のII−II線に沿う断面図である。
【図５】 本発明にかかる光検出器の使用の態様を示す
説明図である。
説明図である。
【図６】 本発明にかかる光検出器を使用した光学測定
装置の構成を示す説明図である。
装置の構成を示す説明図である。
【図７】 本発明にかかる光検出器を使用したいま一つ
の光学測定装置の構成を示す説明図である。
の光学測定装置の構成を示す説明図である。
【図８】 従来の光検出器の構成を示す部分断面斜視図
である。
である。
２ ベース部材 ３ キャップ部材 ３ａ 光入射窓 ４ 外装ケース １１ ベース部材 １２ キャップ部材 １２ａ 光入射窓 １３ 外装ケース １４ 支持部材 １４ａ 筒状部 １４ｂ フィルタ支持部 １４ｃ 遮光板 １５ 穴 １６ ボンディングワイヤ ２０ 光検出器 ２１ 光−電気変換素子 ２１ａ 光−電気変換素子 ２１ｂ 光−電気変換素子 ２２ 窓部材 ２３ 基台 ２４ 光学フィルタ ２５ 端子 ２６ 測定サンプル ２７ 光 ２８ ランダム光ファイバ ２９ 遮光板 ３０ 光検出器 ３１ 電子冷却素子 ３２ 絶縁材 ３３ 温度検出素子 ４０ 光検出器 ４１ 光学測定部 ４２ 演算処理部 ４３ 光源 ４４ チョッパ機構 ４７ 増幅器 ４７ａ 増幅器 ４７ｂ 増幅器 ４８ 信号処理回路 ４９ 出力回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０１Ｊ 3/51 Ｈ０１Ｌ 31/02
Claims (9)
- 【請求項１】 光が入射する光入射窓を有する外装ケー
スと、各々がこの外装ケース内に固定された基台上に配
置され、外装ケースの上記光入射窓を通して入射する光
を電気信号にそれぞれ変換する少なくとも２個の光−電
気変換素子と、上記外装ケース内にて各光−電気変換素
子の光入射側にそれぞれ配置されてなる光学フィルタ
と、これら光学フィルタに拡散された光を入射させる光
拡散部材とを備えたことを特徴とする光検出器。 - 【請求項２】 互いに隣り合う光−電気変換素子間に遮
光板を備えたことを特徴とする請求項１記載の光検出
器。 - 【請求項３】 上記光拡散部材は、外装ケースの上記光
入射窓に配置された光拡散板であることを特徴とする請
求項１または２記載の光検出器。 - 【請求項４】 上記光拡散部材は、一端側が外装ケース
の上記光入射窓に配置されるとともに、他端側が上記光
−電気変換素子の各々に分岐してなるランダム光ファイ
バであることを特徴とする請求項１記載の光検出器。 - 【請求項５】 上記光拡散部材は、一端側が外装ケース
の上記光入射窓に配置されるとともに、他端側が上記光
入射窓の前方に導出されたランダム光ファイバであるこ
とを特徴とする請求項１または２記載の光検出器。 - 【請求項６】 上記光学フィルタは、少なくとも１つが
光を遮断し、かつ少なくとも２つが特定の波長の光をそ
れぞれ透過させることを特徴とする請求項１から５のい
ずれか一記載の光検出器。 - 【請求項７】 光が入射する光入射窓を有する外装ケー
スと、各々がこの外装ケース内に固定された基台上に配
置され、外装ケースの上記光入射窓を通して入射する光
を電気信号にそれぞれ変換する少なくとも２個の光−電
気変換素子と、上記外装ケース内にて各光−電気変換素
子の光入射側にそれぞれ配置されてなる光学フィルタ
と、上記基台と光−電気変換素子との間に電気的に絶縁
して配置されてなるペルチェ効果による電子冷却素子
と、上記光−電気変換素子の温度を検出する温度検出素
子を備えたことを特徴とする光検出器。 - 【請求項８】 互いに隣り合う光−電気変換素子間に遮
光板を備えたことを特徴とする請求項７記載の光検出
器。 - 【請求項９】 上記光学フィルタは、少なくとも１つが
光を遮断し、かつ少なくとも２つが特定の波長の光をそ
れぞれ透過させることを特徴とする請求項７または８記
載の光検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5234808A JPH0792022A (ja) | 1993-09-21 | 1993-09-21 | 光検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5234808A JPH0792022A (ja) | 1993-09-21 | 1993-09-21 | 光検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0792022A true JPH0792022A (ja) | 1995-04-07 |
Family
ID=16976721
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5234808A Pending JPH0792022A (ja) | 1993-09-21 | 1993-09-21 | 光検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0792022A (ja) |
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08304287A (ja) * | 1995-05-12 | 1996-11-22 | Bayer Corp | 光ファイバ拡散光反射率センサ |
| JPH09318446A (ja) * | 1996-05-27 | 1997-12-12 | Yokogawa Electric Corp | マイクロ分光分析器 |
| JP2000138393A (ja) * | 1998-11-04 | 2000-05-16 | Hamamatsu Photonics Kk | 放射線検出器 |
| JP2001264161A (ja) * | 2000-03-17 | 2001-09-26 | Niles Parts Co Ltd | 光センサの構造 |
| JP2003065855A (ja) * | 2001-08-23 | 2003-03-05 | Alpha Medica:Kk | 温度分布計測システム、温度分布計測装置及びその方法 |
| JP2010537363A (ja) * | 2007-08-13 | 2010-12-02 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 適応性がある色を有する照明装置 |
| JP2014532873A (ja) * | 2011-11-03 | 2014-12-08 | ベリフード リミテッド | エンドユーザ食品分析のための低費用分光分析システム |
| US10066990B2 (en) | 2015-07-09 | 2018-09-04 | Verifood, Ltd. | Spatially variable filter systems and methods |
| US10203246B2 (en) | 2015-11-20 | 2019-02-12 | Verifood, Ltd. | Systems and methods for calibration of a handheld spectrometer |
| JP2019139243A (ja) * | 2018-02-08 | 2019-08-22 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出装置 |
| US10648861B2 (en) | 2014-10-23 | 2020-05-12 | Verifood, Ltd. | Accessories for handheld spectrometer |
| US10760964B2 (en) | 2015-02-05 | 2020-09-01 | Verifood, Ltd. | Spectrometry system applications |
| US10775238B2 (en) | 2013-10-31 | 2020-09-15 | Hamamatsu Photonics K.K. | Light-detecting device |
| US10791933B2 (en) | 2016-07-27 | 2020-10-06 | Verifood, Ltd. | Spectrometry systems, methods, and applications |
| US10942065B2 (en) | 2013-08-02 | 2021-03-09 | Verifood, Ltd. | Spectrometry system with decreased light path |
| US11067443B2 (en) | 2015-02-05 | 2021-07-20 | Verifood, Ltd. | Spectrometry system with visible aiming beam |
| US11118971B2 (en) | 2014-01-03 | 2021-09-14 | Verifood Ltd. | Spectrometry systems, methods, and applications |
| US11378449B2 (en) | 2016-07-20 | 2022-07-05 | Verifood, Ltd. | Accessories for handheld spectrometer |
| US12044617B2 (en) | 2018-10-08 | 2024-07-23 | Verifood, Ltd. | Accessories for optical spectrometers |
-
1993
- 1993-09-21 JP JP5234808A patent/JPH0792022A/ja active Pending
Cited By (29)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08304287A (ja) * | 1995-05-12 | 1996-11-22 | Bayer Corp | 光ファイバ拡散光反射率センサ |
| JPH09318446A (ja) * | 1996-05-27 | 1997-12-12 | Yokogawa Electric Corp | マイクロ分光分析器 |
| JP2000138393A (ja) * | 1998-11-04 | 2000-05-16 | Hamamatsu Photonics Kk | 放射線検出器 |
| JP2001264161A (ja) * | 2000-03-17 | 2001-09-26 | Niles Parts Co Ltd | 光センサの構造 |
| JP2003065855A (ja) * | 2001-08-23 | 2003-03-05 | Alpha Medica:Kk | 温度分布計測システム、温度分布計測装置及びその方法 |
| JP2010537363A (ja) * | 2007-08-13 | 2010-12-02 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 適応性がある色を有する照明装置 |
| US10704954B2 (en) | 2011-11-03 | 2020-07-07 | Verifood, Ltd. | Low-cost spectrometry system for end-user food analysis |
| US10323982B2 (en) | 2011-11-03 | 2019-06-18 | Verifood, Ltd. | Low-cost spectrometry system for end-user food analysis |
| JP2014532873A (ja) * | 2011-11-03 | 2014-12-08 | ベリフード リミテッド | エンドユーザ食品分析のための低費用分光分析システム |
| US11237050B2 (en) | 2011-11-03 | 2022-02-01 | Verifood, Ltd. | Low-cost spectrometry system for end-user food analysis |
| US11988556B2 (en) | 2013-08-02 | 2024-05-21 | Verifood Ltd | Spectrometry system with decreased light path |
| US11624651B2 (en) | 2013-08-02 | 2023-04-11 | Verifood, Ltd. | Spectrometry system with decreased light path |
| US10942065B2 (en) | 2013-08-02 | 2021-03-09 | Verifood, Ltd. | Spectrometry system with decreased light path |
| US10775238B2 (en) | 2013-10-31 | 2020-09-15 | Hamamatsu Photonics K.K. | Light-detecting device |
| US10895501B2 (en) | 2013-10-31 | 2021-01-19 | Hamamatsu Photonics K.K. | Light-detecting device |
| US11781910B2 (en) | 2014-01-03 | 2023-10-10 | Verifood Ltd | Spectrometry systems, methods, and applications |
| US11118971B2 (en) | 2014-01-03 | 2021-09-14 | Verifood Ltd. | Spectrometry systems, methods, and applications |
| US10648861B2 (en) | 2014-10-23 | 2020-05-12 | Verifood, Ltd. | Accessories for handheld spectrometer |
| US11333552B2 (en) | 2014-10-23 | 2022-05-17 | Verifood, Ltd. | Accessories for handheld spectrometer |
| US11320307B2 (en) | 2015-02-05 | 2022-05-03 | Verifood, Ltd. | Spectrometry system applications |
| US11067443B2 (en) | 2015-02-05 | 2021-07-20 | Verifood, Ltd. | Spectrometry system with visible aiming beam |
| US10760964B2 (en) | 2015-02-05 | 2020-09-01 | Verifood, Ltd. | Spectrometry system applications |
| US11609119B2 (en) | 2015-02-05 | 2023-03-21 | Verifood, Ltd. | Spectrometry system with visible aiming beam |
| US10066990B2 (en) | 2015-07-09 | 2018-09-04 | Verifood, Ltd. | Spatially variable filter systems and methods |
| US10203246B2 (en) | 2015-11-20 | 2019-02-12 | Verifood, Ltd. | Systems and methods for calibration of a handheld spectrometer |
| US11378449B2 (en) | 2016-07-20 | 2022-07-05 | Verifood, Ltd. | Accessories for handheld spectrometer |
| US10791933B2 (en) | 2016-07-27 | 2020-10-06 | Verifood, Ltd. | Spectrometry systems, methods, and applications |
| JP2019139243A (ja) * | 2018-02-08 | 2019-08-22 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出装置 |
| US12044617B2 (en) | 2018-10-08 | 2024-07-23 | Verifood, Ltd. | Accessories for optical spectrometers |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0792022A (ja) | 光検出器 | |
| US4076421A (en) | Spectrophotometer with parallel sensing | |
| US5086220A (en) | Radiation imaging fiber optic temperature distribution monitor | |
| JPH01153927A (ja) | 熱放射形低温度測定器 | |
| US6459485B1 (en) | Optical system | |
| US8119987B2 (en) | Process and apparatus for the measurement of thermal radiation using regular glass optics and short-wave infrared detectors | |
| EP0176826A2 (en) | Method and apparatus for dual-beam spectral transmission measurements | |
| US4815841A (en) | High resolution color band pyrometer ratioing | |
| JPH07198597A (ja) | 光電測定装置 | |
| CA2084789A1 (en) | Light detector | |
| US10114154B2 (en) | Optical head for receiving light and optical system using the same | |
| JPH0835884A (ja) | 赤外線温度分布測定装置及びその測定方法 | |
| Fabricius et al. | Quantum efficiency characterization of back-illuminated CCDs: Part II. Reflectivity measurements | |
| WO1991003714A1 (en) | A spectrometric method and a spectrometer | |
| JPS63120230A (ja) | 分光測光器 | |
| CA1310506C (en) | Electromagnetic radiation detecting device | |
| KR890004719B1 (ko) | 더블빔 형식의 색측정용 광학필터 분광 광도계 | |
| JPH11337308A (ja) | 受光位置検出装置 | |
| JPH04236335A (ja) | 低温用アレイ型放射計 | |
| KR100693063B1 (ko) | 경년 변화 보정 수단을 구비한 ｎｄｉｒ 가스 센서 | |
| US5453828A (en) | Method of optical sampling | |
| JPH05240700A (ja) | 半導体光検出装置 | |
| RU2726901C2 (ru) | Пирометр | |
| JPH04223238A (ja) | 低温用放射計 | |
| CN118401813A (zh) | 用于测量光辐射的光电检测器 |