JPH0767360A - Electrode structure for electrostatic actuator - Google Patents

Electrode structure for electrostatic actuator

Info

Publication number
JPH0767360A
JPH0767360A JP21195393A JP21195393A JPH0767360A JP H0767360 A JPH0767360 A JP H0767360A JP 21195393 A JP21195393 A JP 21195393A JP 21195393 A JP21195393 A JP 21195393A JP H0767360 A JPH0767360 A JP H0767360A
Authority
JP
Grant status
Application
Patent type
Prior art keywords
electrode structure
shape
conductor
base body
wires
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP21195393A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Nozomi Fujita
Toshiro Higuchi
Seisuke Tsuda
俊郎 樋口
誠輔 津田
望 藤田
Original Assignee
Toshiro Higuchi
Mitsubishi Cable Ind Ltd
三菱電線工業株式会社
俊郎 樋口
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date

Links

Abstract

PURPOSE:To obtain a large rotational output with high efficiency by forming electrode structure, in which an enamel wire is arranged on the circumferential surface of a base body having a hollow or solid columnar shape or conical shape or a shape that these curved surfaces are notched partially in the circumferential direction. CONSTITUTION:The base body 1 of an electrode is formed in a hollow or solid columnar shape or conical shape or a shape that these curved surfaces are notched partially in the circumferential direction. Enameled wires may be arranged on the circumferential surface of the base body 1 in such a manner that the polarity of voltage applied to the enameled wires is not denied mutually when voltage applied to the enameled wires is shifted successively to the adjacent enameled wires and driving force in the fixed direction is generated in base body itself or the opposite insulators, and the enameled wires may be disposed to the whole or a part on the circumferential surface. Installed wires, in which varnish is baked on the surfaces of conductors, may be used as the enamel wires 4, and the enameled wires are fixed onto the base body 1. Accordingly, extremely small inter-conductor distances and conductor pitches can be acquired easily, thus constituting an electrostatic motor having high efficiency, high sensitivity and high torque.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【産業上の利用分野】本発明は、回転出力が得られる静電アクチュエーター用の電極構造に関し、特に、静電モーターの固定子あるいは移動子等に有用なものである。 The present invention relates to relates to an electrode structure for an electrostatic actuator rotational output can be obtained, in particular, is useful in the stator or the mover, etc. of the electrostatic motor.

【0002】 [0002]

【従来の技術】静電アクチュエーターは、面上に交互に発生させた極性の異なる帯電状態を順次シフトさせることによって、電荷間のクーロン力を駆動力に変換しうるものであり、その電極構造としては、平面または曲面の基体上に導体を互いの絶縁を保ちながら多数配置してなるものが知られている。 BACKGROUND OF THE INVENTION Electrostatic actuators, by sequentially shifting the different polarities charged state of being alternately generated on the surface, which can convert the Coulomb force between the charge on the driving force, as the electrode structure is known that a conductor on a substrate of flat or curved formed by arranging a large number while maintaining the mutual isolation. 例えば、該静電アクチュエーターの1つである静電モーターにおいて回転出力を得る場合では、図4に示すように、円筒状もしくは円柱状の基体の胴体曲面上に、導体を該筒状基体の軸と平行に並べて形成した電極構造が用いられている。 For example, in the case of obtaining a rotational output in electrostatic motor, which is one of the electrostatic actuator, as shown in FIG. 4, on the torso curved surface of the cylindrical or cylindrical substrate, the conductor of the tubular base body axis electrode structure is used which is formed by arranging in parallel with. 同図において、 In the figure,
11は基盤となる筒状の絶縁体であり、その表面上に導体12が該筒状の絶縁体11の軸に平行となるよう形成され、対外界または導体間の絶縁,耐圧を保つために、 11 is a cylindrical insulator underlying conductor 12 is formed so as to be parallel to the axis of the cylindrical insulator 11 on its surface, insulation between external field or conductors, in order to maintain the breakdown voltage ,
絶縁体によるオーバーコート層13が形成された構成となっている。 It has a structure in which the overcoat layer 13 of an insulating material is formed. このような電極構造は、実使用上、隣り合った導体間の絶縁を保ちながら、高密度化,高細分化を要求される場合が多い。 Such electrode structures are practically, while maintaining the insulation between adjacent conductors, densification, often requiring high subdivision. また、各導体に印加される電圧は数百ボルトに達する場合もある。 The voltage applied to each conductor may reach several hundred volts.

【0003】従来、上記のような電極構造における導体12の形成は、エッチング法,印刷法,メッキ法,蒸着法などによって行われている。 Conventionally, formation of conductors 12 in the electrode structure as described above, the etching method, a printing method, a plating method, is performed by vapor deposition or the like. また、オーバーコート層13の形成方法としては、絶縁膜を印刷にて形成するキャスト法や、フィルム状絶縁体を被覆するラミネート法などが用いられている。 Further, as a method for forming the overcoat layer 13, and a casting method of forming an insulating film by printing, such as lamination method of coating the film-shaped insulator is used. ところが、上記のような導体パターンの形成法では、いずれの方法によっても、導体の最小幅として0.2〜0.3mm、絶縁間隔の最小幅として0.2mm程度が限界であるために、電極構造の高密度化,高細分化にも限界がある。 However, since the method of forming a conductive pattern as described above, by any method, 0.2 to 0.3 mm as the minimum width of the conductor, is 0.2mm approximately as the minimum width of the insulating space is limited, the electrodes densification of the structure, there is a limit to the high fragmentation. 従って、図4のような静電モーターにおいても、可動側と固定側の電極間に発生するクーロン力による回転出力を一定以上大きくすることができない。 Accordingly, even in the electrostatic motor as in FIG. 4, it is impossible to increase certain level of rotational output due to the Coulomb force generated between the movable side and the stationary side electrodes. また導体の品質面でも、印刷法,メッキ法,蒸着法などでは、導電性の良好な導体を得ることが困難である。 Also in terms of quality of the conductor, a printing method, a plating method, a vapor deposition method, it is difficult to obtain a good conductor of electrical conductivity. またオーバーコート層の形成方法においても、上記キャスト法では絶縁皮膜を一定に形成できないため外界に対する絶縁信頼性に問題があり、ラミネート法では絶縁皮膜は一定であるが狭い導体間に絶縁フィルムが入り込みにくいため、導体間の絶縁信頼性に問題がある。 Also in the method of forming the overcoat layer, in the above casting method has a problem in insulation reliability against external can not be formed in the constant insulating film, the lamination insulating coating insulating film enters between constant is but narrow conductor hard to reason, there is a problem in insulation reliability between the conductor. さらに、導体およびオーバーコート層の上記形成方法は、工程が複雑で長いためコスト高となる。 Furthermore, the method of forming the conductor and the overcoat layer, the step is complicated and long for high cost. 以上のように、従来の曲面状の電極構造は、性能面,品質面,コスト面において種々の問題があった。 As described above, the electrode structure of the conventional curved shape, there are various problems Performance, quality aspects, in terms of cost.

【0004】 [0004]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は上記問題を解消し、導電性・絶縁信頼性に優れ、導体配列の高密度化・極細分化によって高効率で大きな回転出力が得られる静電アクチュエーター用電極構造を低コストで提供することである。 An object of the present invention is to provide a to solve the above problems, excellent conductivity and insulation reliability, electrostatic a large rotational output at a high efficiency is obtained by the high density and extra fine differentiation conductor arrangement the electrode structure for the actuator is to provide at low cost.

【0005】 [0005]

【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記目的を達成するために静電アクチュエーター用電極の導体としてエナメル線を用いることに着目し、さらにこのエナメル線の断面形状が平角形状であれば、容易に高導電性,高絶縁信頼性,高密度,高解像度を有する曲面状の電極構造が得られることを見いだし本発明を完成した。 The present inventors have SUMMARY OF THE INVENTION focuses on the use of enamel wire as the conductor of the electrostatic actuator electrode in order to achieve the above object, further in this cross-sectional shape of the enameled wire is flat shape if, easily highly conductive, high insulation reliability, high density, and completed the present invention found that the curved electrode structure having a high resolution can be obtained.
即ち、本発明の静電アクチュエーター用電極構造は、中空又は中実の円柱状、円錐状、又はこれらの曲面を周方向に一部切り欠いた形状の基体の、周面の全部または一部にエナメル線を配置してなるものであり、特に好ましくは、該エナメル線が絶縁平角線であって、その金属芯線上へのエナメル線用ワニスの塗布が電着塗装により行われたものである。 That is, the electrostatic actuator electrode structure of the present invention, a hollow or solid cylindrical, conical, or these curved surfaces of the substrate part cutaway shape in the circumferential direction, of the peripheral surface in whole or in part are those formed by arranging the enameled wire, particularly preferably the enameled wire is an insulating rectangular wire, in which the coating of the enamel wire varnish to the metal core on is performed by electrodeposition coating.

【0006】 [0006]

【作用】上記構成の静電アクチュエーター用電極構造によって、従来の導体パターン形成方法では得られなかった極小の導体間距離を容易に得ることができる。 The [action] electrostatic actuator electrode structure of the above configuration, the conventional conductive pattern forming method can be easily obtained distance between conductors of minimum which can not be obtained. また、 Also,
従来の劣悪な絶縁性に対して、エナメル線が示す良好な絶縁性,耐熱特性をそのまま電極構造に生かすことができるため、高密度・極細ピッチでありながら、高い絶縁信頼性を有する電極構造を得ることができる。 The conventional poor insulation, good insulation indicated enameled wire, it is possible to utilize the intact electrode structure heat resistance, yet high density and ultra-fine pitch, the electrode structure having a high insulation reliability it is possible to obtain.

【0007】 [0007]

【実施例】以下、本発明の実施例にもとづき具体的に説明する。 EXAMPLES The following specifically described based on examples of the present invention. 図1(a),(b)は、本発明の静電アクチュエーター用電極構造の一部分を模式的に示す斜視図である。 Figure 1 (a), (b) is a perspective view schematically showing a portion of the electrode structure for the electrostatic actuator of the present invention. 図1(a)においてAは本発明の電極構造であり、 A is the electrode structure of the present invention in FIG. 1 (a),
導体2の表面にエナメル線用ワニスを焼付け絶縁皮膜3 Baking the varnish for enameled wire on the surface of the conductor 2 insulation coating 3
を形成してなるエナメル線4が、中実、即ち内部に空間の無い円柱状基体1の外側曲面上に配置される構成である。 Enameled wire 4 which is made by forming a is a solid, i.e. internal to the structure disposed on the outer curved surface of the cylindrical base body 1 without space. また、図1(b)は、エナメル線4が、中空の円柱状基体1の内側の曲面上に配置される以外は図1(a) 1 (b) is, enameled wire 4, except that is arranged in a hollow cylindrical body 1 on the inside of the curved FIGS. 1 (a)
と全く同じ構成である。 And is exactly the same configuration. このような極めて簡単な構成によって、従来に比べ、性能面,品質面,コスト面において優れた曲面状の電極構造が得られる。 Such an extremely simple structure, compared to conventional, Performance, quality surface superior curved electrode structure in terms of cost is obtained.

【0008】上記基体1の形状は、中空又は中実の円柱状、中空又は中実の円錐状(円錐台を含む)、又はこれらの曲面を周方向に一部切り欠いた形状である。 [0008] The shape of the substrate 1, a hollow or solid cylindrical, hollow or solid conical (including frusto-conical), or a shape in which partially cutaway these curved surfaces in the circumferential direction. 中空の円柱・円錐とは、中心軸に垂直な断面形状が同心円からなる有厚環状を呈するものである。 The hollow cylinder-conical, the cross-sectional shape perpendicular to the central axis in which exhibits a chromatic thickness annular consisting concentric. 曲面を周方向に一部切り欠いた形状とは、例えば中実の円柱に対しては、回転軸に垂直な断面が扇型や半月形となるように切り欠いた形状である。 The partially cut-away shape curved in the circumferential direction, for example with respect to the solid cylindrical section perpendicular to the rotation axis has a shape cut out so as to be fan-shaped or half-moon. また周面とは、中空物の外側の凸状曲面または内側の凹状曲面を意味する。 Also a peripheral surface, means an outer convex curved surface or inside of the concave curved surface of the hollow object. 上記基体1の材質としては、導体,不導体等どのようなものでもよく、電極に求められる諸特性や強度等に対して最適な材質を選択すればよい。 The material of the substrate 1, a conductor may be of any type such as a non-conductive, may be selected an optimum material relative properties, strength and the like required of the electrode. 例えば、該基体にアルミベース絶縁基板を用いれば、基体の強度を向上させ、かつ、固定子と移動子との間に生じる摩擦熱や、誘電損失等の発熱を速やかに放熱させることができる。 For example, the use of the aluminum base insulating substrate to said substrate, to improve the strength of the substrate, and frictional heat or generated between the stator and the movable element, it is possible to quickly radiate heat generated such dielectric loss. また、ガラス繊維織布,不織布,クラフト紙のようなものを用いれば、絶縁上の問題を生じるおそれのある金属質の基体を用いることなく、引張り強度などの機械的特性の良好な電極構造とすることができる。 The glass fiber woven fabric, nonwoven fabric, by using a kind of kraft paper, without using a substrate metallic that may cause problems in the insulation, and good electrode structure of the mechanical properties such as tensile strength can do. さらに、アルミナペーパー(アルミナ長繊維不織布)を用いれば、上記のような良好な機械的特性に加えて、アルミベース絶縁基板と同様の熱放散性を持たせることができる。 Furthermore, the use of alumina paper (alumina long fiber nonwoven fabric), in addition to good mechanical properties as described above, can have a similar heat dissipation and aluminum base insulating substrate.

【0009】基体の周面へのエナメル線の配置は、エナメル線に印加する電圧の極性を隣合うエナメル線に順次シフトさせたときに、互いに打ち消し合わず、基体自身あるいは相手の絶縁体に一定方向の推進力を発生させるうるものであれば、どのような配置であってもよく、また、周面上の全部または一部に対して配置するものであればよい。 [0009] placement of the enameled wire to the circumferential surface of the substrate, when sequentially shifting the enameled wire adjacent the polarity of the voltage applied to the enameled wire, not not cancel each other, fixed to the insulator substrate itself or party as long as it can generate a propulsive force in a direction, may be of any configuration, also, it is sufficient that placement against all or part of the circumferential surface. 上記一定方向の推進力とは、基体の軸を中心に回転させる力と、基体の軸方向へ摺動させる力とに分けることができる。 The above-mentioned predetermined direction of propulsion, the force for rotating around the axis of the base body can be divided into a force sliding in the axial direction of the base member. 従って、エナメル線を配置する方向としては、基体の回転軸に平行に配置する方向や、スパイラル状など基体の回転軸に対して所定の角度をなすように配置する方向、また、特殊な例として円周方向に平行に配置する方向などが挙げられる。 Therefore, the direction of placing the enameled wire, and a direction parallel to the rotation axis of the base body, direction arranged to form a predetermined angle relative to the axis of rotation of the spiral such base, also, as a special case such a direction parallel to the circumferential direction thereof. 例えば、基体の回転軸に平行に配置すれば純粋な回転力によって所謂モーターが構成され、回転軸に対して所定の角度をなすように配置すれば軸長手方向に摺動させる分力が発生し、また、円周方向に平行に配置すれば一種のリニアモーターが構成される。 For example, a configuration called a motor where the pure rotational force when positioned parallel to the rotation axis of the substrate, a component force to slide in the axial longitudinal direction when arranged in a predetermined angle with respect to the axis of rotation is generated Further, a type of linear motor is constituted if parallel to the circumferential direction. 異なるエナメル線間の位置関係は互いに平行であることが好ましい。 It is preferred that the positional relationship between the different enameled wire are parallel to each other. 特に、周面上の各エナメル線を互いに平行に密着させ、縞状に最密になるよう配置することによって、印加電圧を効率良く推進力に変換することができる。 In particular, each enameled wire on the peripheral surface parallel to brought into close contact with each other, by arranging so as to be close-packed in stripes, it is possible to convert a voltage applied efficiently propulsion.

【0010】上記エナメル線4は、芯線表面にワニスを焼き付けてなる絶縁線であればどのようなものでもよいが、図2に示すように、導体部2の断面形状を平角状とすることによって、導体から電極表面までの距離が均一化し、電極表面に対して導体を投影したときの該導体の専有面積が極めて高くなる。 [0010] The enameled wire 4 What is may but if insulated wire formed by baking the varnish on the wire surface, as shown in FIG. 2, by making the cross-sectional shape of the conductor portion 2 rectangular shape , and the distance is uniform from the conductor to the electrode surface, the area occupied by the conductor in projecting the conductor to the electrode surface becomes very high. このため、印加電圧を効率良く利用でき、さらに電極表面が平滑化するので好ましい。 Therefore, the applied voltage can be efficiently utilized, and more electrode surface preferably to smooth.

【0011】上記導体2の材質としては、導電性のものであればどの様なものでもよいが、通常の電気銅,銅合金,銅クラッドアルミニウム等が好ましく、特に無酸素銅であれば、上述のように印刷法,メッキ法,蒸着法などによる従来の電極に比べ、はるかに導電性の良好な導体を得ることができる。 [0011] As the material of the conductor 2, it may be any such as long as the conductive, but ordinary electrolytic copper, copper alloys, copper clad aluminum, and the like are preferable, especially if oxygen-free copper, above printing as a plating method, compared with the conventional electrode by vapor deposition method, it is possible to significantly obtain good conductor conductivity. 上記のように、導体2が平角形状の場合は、厚さ0.01〜0.5mm,幅0.1〜5 As described above, if the conductor 2 is a flat shape, thickness of 0.01 to 0.5 mm, a width of 0.1 to 5
mmの範囲内による平角形状が特に好適に用いられ、目的の電極構造に対して最適な形状数値を選択することができるが、絶縁平角線の製造技術の進歩に伴い、さらに極細の平角形状の使用が期待できる。 mm flat shape due to the range of is particularly suitably used, but it is possible to select an optimum shape numerical the electrode structure of the target, with the advancement of manufacturing techniques of the insulating flat wire, further of the rectangular shape of the ultrafine use can be expected.

【0012】エナメル線4の絶縁皮膜材料としては、ポリウレタン,ポリエステルやこれらの変性体、ホルマール,ポリイミド,ポリイミドアミド,アクリル系樹脂などが挙げられ、これらのうち1種または2種以上の混合物を絶縁ワニスとして使用することができる。 [0012] As the insulating coating material of the enamel wire 4, a polyurethane, a polyester and these modified products, formal, polyimide, polyimide amide, and acrylic resins. Insulator mixtures of one or more of these it can be used as a varnish. このような絶縁ワニスを、導体上に塗布・焼付してエナメル線が形成される。 Such an insulating varnish, enamel wire is formed by coating and baking on a conductor.

【0013】上記絶縁ワニスの塗布方法としては公知の方法を用いればよいが、電着塗装による塗布が、均一で薄い皮膜が得られて好ましい。 [0013] may be a known method as a method of applying the insulating varnish, but the coating by electrodeposition coating, preferably uniformly thin coating obtained. 特に、導体2の断面形状が平角状である場合、丸導体を圧延し平角状とした後に絶縁皮膜を電着し、必要に応じて後処理を施す方法が最も好ましい方法であり、皮膜の均一性,薄さ,耐電圧性について優れた品質を得ることができる。 In particular, if the cross-sectional shape of the conductor 2 is a flat shape, and electrodeposited insulating film after the rolling a round conductor flat shape, the most preferred method is a method of performing a post-treatment if necessary, uniform film gender, can be thin to obtain excellent quality for voltage resistance. また、電着塗装によれば、導体の幅が厚さの20倍以上にもなるような偏平の平角形状導体に対して、該導体のコーナー部に形成された絶縁皮膜厚さが該導体の平坦部に形成された絶縁皮膜厚さの1.1倍以上であり、かつ、該平坦部の厚さが0.03mm以下(最小皮膜厚さ1.5μm)であるような、他の形成方法では得られない超薄膜の優れた絶縁皮膜が形成できる。 Further, according to the electrodeposition coating, with respect to the flat of the rectangular shape conductor such as also more than 20 times the width of the thickness of the conductor, the corner portion formed insulating film thickness of the conductor is of the conductor is 1.1 times or more and an insulating film thickness formed on a flat portion, and the thickness of the flat portion, such as a 0.03mm or less (the minimum film thickness 1.5 [mu] m), the other forming methods excellent insulation coating of ultra-thin films in not obtained can be formed.

【0014】上記電着塗装の後処理方法として、1価又は多価アルコール,セロソルブ類,含窒素溶剤,含イオン溶剤などの有機溶剤槽あるいはこれら有機溶剤の蒸気中やミスト中を通過させた後、乾燥、焼き付けを行なう。 [0014] post-processing method for the electrodeposition coating, monohydric or polyhydric alcohols, cellosolves, nitrogen-containing solvent, after passing through the organic solvent tank or in a vapor or mist of the organic solvents, such as free ions solvent , then dried, baked. 上記のような方法が、一般の導線や特に平角形状の導体表面に絶縁皮膜を形成する方法としては好ましい。 The method as described above, as a method of forming an insulating film on the conductor surface of the common conductor and in particular rectangular shape preferred.
また、上記方法に限らず、平角状導線に対する絶縁皮膜形成技術の進歩に伴い、最適の品質の絶縁平角線を用いればよい。 Further, not limited to the above method, with the advancement of the insulating film forming technique for flat shaped conductors may be used for the best quality of the insulating flat wire. 上記平角状導線に対する絶縁皮膜形成のさらに詳しい例示については、特開平3−241609に詳細に記載されている。 For further illustration of the insulating film formed for the flat-shaped conductor, it is described in detail in JP-A-3-241609.

【0015】基体1上にエナメル線4を固定する方法としては、各種接着剤や超音波溶着など種々の方法を用いればよいが、通常のコイル用導線と同様にエナメル線の最外層に自己溶着層を設けると、エナメル線を基体上に配置した後に別途固着剤等を付与せずとも、該層の存在によって線間およびエナメル線と基体との間が容易に固着できる。 [0015] As a method for fixing the enameled wire 4 on the substrate 1, may be used various methods such as various adhesives and ultrasonic welding, but self-welding like the conductor for normal coil on the outermost layer of the enamel wire When a layer, without separately not impart fixing agent or the like after placing the enameled wire on a substrate, between the lines and between enameled wire and the substrate by the presence of the layer can be easily secured. 自己融着層に用いられる材料としては、エポキシとポリアミドの混合物,ナイロン,ポリビニルブチラール等が挙げられる。 The material used in the self-bonding layer, a mixture of epoxy and polyamide, nylon, polyvinyl butyral, and the like.

【0016】上記方法によって得られるエナメル線の中でも、特に平角線を用いた静電アクチュエーター用電極構造によって、従来の電極構造では得られなかった高密度、極細ピッチの電極を得ることができる。 [0016] Among the enameled wire obtained by the above method, in particular by an electrostatic actuator electrode structure using a flat wire, high density could not be obtained in the conventional electrode structure, it is possible to obtain an electrode of the ultra-fine pitch. 従来の電極構造と本発明の電極構造を、平面に展開して比較すると、従来の電極構造が、導体の最小幅として0.2〜 An electrode structure of a conventional electrode structure and the present invention, when compared to expand in a plane, the conventional electrode structure, 0.2 as the minimum width of the conductor
0.3mm、絶縁間隔の最小幅として0.2mm、電極最小ピッチとして0.4mm程度が限界であったのに対して、本発明の電極構造によると導体の最小幅として0.1mm、絶縁間隔の最小幅として3μm、電極最小ピッチとして0.103mmが得られるのである。 0.3 mm, 0.2 mm as the minimum width of the insulation gap, 0.1 mm whereas approximately 0.4mm as electrodes minimum pitch was limited, as the minimum width of the conductor according to the electrode structure of the present invention, the insulating distance 3μm as the minimum width is the 0.103mm is obtained as an electrode minimum pitch.

【0017】図3(a)は、本発明の静電アクチュエーター用電極構造を用いた静電モーターの一例を模式的に示す一部切欠き斜視図である。 [0017] FIG. 3 (a) is a partially cutaway perspective view schematically showing an example of an electrostatic motor using the electrode structure for electrostatic actuator of the present invention. 同図において、Aは固定子であって、アクリル系絶縁ワニスを電着塗装し焼き付けてなる絶縁平角線4が、円柱状基体1aの外周面上に、該基体の中心軸Xと平行となるよう、かつ、互いに密着するように全周に配置されている。 In the figure, A is a stator, formed by baked electrodeposition coating an acrylic-based insulating varnish insulated flat wire 4, on the outer peripheral surface of the cylindrical base body 1a, is parallel to the central axis X of the base body as, and are arranged all around so as to be in close contact with each other. また、Bは移動子であって、固定子Aの外形より僅かに大きい内径を有する中空の円柱状基体1bからなるものである。 Moreover, B is a moving element, is made of a hollow cylindrical body 1b having a slightly larger inner diameter than the outer shape of the stator A. このような静電モーターの構成によって、移動子の回転から大きな回転トルクの軸出力が得られ、小型化が可能となった。 The configuration of such an electrostatic motor, the shaft output of the large rotational torque from the rotation of the moving element is obtained, it became possible to miniaturize.

【0018】図3(b)は、本発明の静電アクチュエーター用電極構造を用いた静電モーターの他の例を模式的に示す一部切欠き斜視図である。 [0018] FIG. 3 (b) is a partially cutaway perspective view showing another example schematically electrostatic electrostatic motor with actuator electrode structure of the present invention. 同図に示す静電モーターの構成は、図3(a)に示した静電モーターに加え、 Configuration of an electrostatic motor shown in the figure, in addition to the electrostatic motor shown in FIG. 3 (a),
移動子Bにも本発明の電極構造を付与したものであり、 Even moving element B is obtained by applying the electrode structure of the present invention,
中空の円柱状基体1bの内周面上に、該基体の中心軸Y On the inner peripheral surface of the hollow cylindrical body 1b, the center axis Y of the base body
と平行となるよう、かつ、互いに密着するように全周に絶縁平角線4を配置したものである。 So as to be parallel with, and is obtained by disposing an insulating flat wire 4 the whole circumference so as to be in close contact with each other. (同図では、これら中心軸Xと中心軸Yとは、同一線状に一致している。)このような静電モーターの構成によって、さらに大きな回転トルクの出力が得られた。 (In the figure, these central axis X and the center axis Y, are matched to the same linear.) By such a configuration of the electrostatic motor, and the output of a large torque is obtained.

【0019】また、上記静電モーターでは、固定子,移動子間の電極間をスリップリングなどで連結すれば、配線を移動子もしくは固定子の片側だけに行えばよいことになり簡略化することができる。 [0019] In the above electrostatic motor, the stator, when connecting the electrodes between the moving element such as a slip ring, be simplified becomes only may be performed that one mover or stator wiring can. さらに、固定子と移動子との間隙に、パーフルオロカーボン液体のような、粘度が低く絶縁性の高い流体を充填すれば、電極に対してさらに高電圧を印加することができ、高出力が得られる。 Furthermore, resulting in a gap between the stator and the movable element, such as a perfluorocarbon liquid, if filled with a low viscosity highly insulating fluid, it is possible to further apply a high voltage to the electrode, a high output is It is.

【0020】 [0020]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明による静電アクチュエーター用電極構造によれば、従来の導体パターン形成方法では得られなかった極小の導体間距離および導体ピッチを容易に得ることができる。 As described above in detail, according to the electrode structure for the electrostatic actuator according to the present invention, is possible to easily obtain the distance between conductors and conductor pitch minimum which can not be obtained by the conventional conductive pattern forming method it can. また、通常のエナメル線が示す良好な絶縁性,耐熱特性を、そのまま電極構造上に生かすことができる。 Further, good insulation indicating normal enameled wire, the heat resistance, it is possible to utilize the intact electrode structure. 従って、高い導電性と優れた絶縁信頼性を有しながら、高密度で極小ピッチの導体配列を有する電極構造が容易に得られるため、従来よりはるかに高効率,高感度,高トルクの静電モーターを低コストで構成することができる。 Therefore, high while having conductivity and excellent insulation reliability, the electrode structure having the conductor arrangement of high density, minimum pitch can be obtained easily, much more efficient than conventional, high sensitivity, electrostatic high torque it is possible to configure the motors at low cost.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明の静電アクチュエーター用電極構造の一部分を模式的に示す斜視図である。 A portion of the electrode structure for the electrostatic actuator of the present invention; FIG is a perspective view schematically showing.

【図2】絶縁平角線を用いた場合の静電アクチュエーター用電極構造の一部分を模式的に示す断面図である。 2 is a cross-sectional view schematically showing a portion of the electrode structure for the electrostatic actuator in the case of using an insulating flat wire.

【図3】本発明の静電アクチュエーター用電極構造を用いた静電モーターの一例を模式的に示す一部切欠き斜視図である。 3 is a partially cutaway perspective view schematically showing an example of an electrostatic motor using the electrode structure for electrostatic actuator of the present invention.

【図4】従来の静電アクチュエーター用電極構造の一部を模式的に示す一部切欠き斜視図である。 4 is a partially cutaway perspective view schematically showing a part of a conventional electrostatic actuator electrode structure.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

A 静電アクチュエーター用電極構造 1 基体 2 導体 3 絶縁皮膜 4 エナメル線 Electrode A electrostatic actuator structure 1 base 2 conductor 3 insulating film 4 enameled wire

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤田 望 兵庫県伊丹市池尻4丁目3番地 三菱電線 工業株式会社伊丹製作所内 (72)発明者 津田 誠輔 兵庫県伊丹市池尻4丁目3番地 三菱電線 工業株式会社伊丹製作所内 ────────────────────────────────────────────────── ─── front page of the continuation (72) inventor Nozomu Fujita, Hyogo Prefecture Itami Ikejiri 4-chome third address Mitsubishi cable Industries Co., Ltd. in Itami Works (72) inventor Tsuda Makoto輔 Hyogo Prefecture Itami Ikejiri 4-chome address 3 Mitsubishi cable in industry Co., Ltd. Itami Works

Claims (4)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 中空又は中実の円柱状、円錐状、又はこれらの曲面を周方向に一部切り欠いた形状の基体の、周面の全部または一部にエナメル線を配置してなる静電アクチュエーター用電極構造。 1. A hollow or solid cylindrical, conical, or part cutaway shape of the substrate these curved surfaces in the circumferential direction, all or part of the peripheral surface formed by arranging the enamel wire electrostatic electrode structural electrostatic actuator.
  2. 【請求項2】 エナメル線が、自己融着層を表面に具備するものである請求項1記載の静電アクチュエーター用電極構造。 Wherein enameled wire, the electrostatic actuator electrode structure of claim 1, wherein those having a self-bonding layer on the surface.
  3. 【請求項3】 エナメル線が、絶縁平角線である請求項1記載の静電アクチュエーター用電極構造。 Wherein enameled wire, according to claim 1 electrostatic actuator electrode structure, wherein the insulating flat wire.
  4. 【請求項4】 エナメル線が、金属芯線上にエナメル線用ワニスを電着塗装にて塗布したものである請求項1記載の静電アクチュエーター用電極構造。 Wherein enameled wire, the electrostatic actuator electrode structure of claim 1 wherein in which a varnish for enameled wire was coated by electrodeposition coating on the metal core.
JP21195393A 1993-08-26 1993-08-26 Electrode structure for electrostatic actuator Pending JPH0767360A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP21195393A JPH0767360A (en) 1993-08-26 1993-08-26 Electrode structure for electrostatic actuator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP21195393A JPH0767360A (en) 1993-08-26 1993-08-26 Electrode structure for electrostatic actuator

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0767360A true true JPH0767360A (en) 1995-03-10

Family

ID=16614435

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP21195393A Pending JPH0767360A (en) 1993-08-26 1993-08-26 Electrode structure for electrostatic actuator

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0767360A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100044069A1 (en) * 2008-08-22 2010-02-25 Usa As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Asymmetric Dielectric Elastomer Composite Material
CN102656793A (en) * 2010-01-08 2012-09-05 欧姆龙 株式会社 Electrostatic induction power generator

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100044069A1 (en) * 2008-08-22 2010-02-25 Usa As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Asymmetric Dielectric Elastomer Composite Material
US8704423B2 (en) * 2008-08-22 2014-04-22 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Asymmetric dielectric elastomer composite material
CN102656793A (en) * 2010-01-08 2012-09-05 欧姆龙 株式会社 Electrostatic induction power generator
US20130134828A1 (en) * 2010-01-08 2013-05-30 Omron Corporation Electrostatic induction power generator
US9362849B2 (en) 2010-01-08 2016-06-07 Omron Corporation Electrostatic induction power generator

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5690498A (en) Spring loaded rotary connector
US5239222A (en) Electrostatic actuator using films
US20030052564A1 (en) Bipolar machines-a new class of homopolar motor/generator
US6140733A (en) Conductor winding configuration for a large electrical machine
US3209187A (en) Printed armature device
US5917155A (en) Electrical conductors coated with corona resistant multilayer insulation system
US6867678B2 (en) Transformer structure
US3683103A (en) Multi-strand electrical conductor
US4644643A (en) Method of electrically interconnecting a laminated printed circuit by use of a compressed, solder-plated connector pin
US6111329A (en) Armature for an electromotive device
US4510476A (en) High voltage isolation transformer
US3944857A (en) Air-core armature
US3742301A (en) Corona generator
US20030052767A1 (en) Coil for electrical and electronic equipment as well as process for production thereof
US7262537B2 (en) Electric motor and generator component having a plurality of windings made from a plurality of individually conductive wires
JPH01298605A (en) Shielding flat cable
JP2001307557A (en) Coating material for partial discharge resistant enameled wire and partial discharge resistant enameled wire
US6261437B1 (en) Anode, process for anodizing, anodized wire and electric device comprising such anodized wire
US3466580A (en) Circuit elements especially for use as scanning coils
US7291956B2 (en) Laminate coil and brushless motor using same
US3623220A (en) Method of making a tubular printed circuit armature using plating techniques
US2897424A (en) Electrostatic apparatus
US7239065B2 (en) Electrostatic actuator with fault tolerant electrode structure
JPH08136211A (en) Rotary-transformer type resolver
US20050225197A1 (en) Slotless rotary electric machine and manufacturing method of coils for such a machine