JPH0763540A - 表面粗さの非接触判別方法と装置 - Google Patents
表面粗さの非接触判別方法と装置Info
- Publication number
- JPH0763540A JPH0763540A JP21243993A JP21243993A JPH0763540A JP H0763540 A JPH0763540 A JP H0763540A JP 21243993 A JP21243993 A JP 21243993A JP 21243993 A JP21243993 A JP 21243993A JP H0763540 A JPH0763540 A JP H0763540A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- surface roughness
- image processing
- processing device
- brightness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 被測定物（２）の表面に傷を付けるおそれの
ない高速で非接触方式の表面粗さ判別手段を提供する。 【構成】 被測定物（２）表面のミクロン・サブミクロ
ンオーダーの凹凸に光線を投射し、これによって生じた
影の明るさの強弱をＣＣＤカメラ（３）で撮影し、得ら
れた影の明るさの実測値を画像処理装置（４）でグラフ
化し、これをモニター（６）上で画像処理装置（４）に
予め入力されている表面粗さの基準値と比較し、被測定
物（２）の表面の粗さが許容限界内にあるか否かを高速
で判別する。
ない高速で非接触方式の表面粗さ判別手段を提供する。 【構成】 被測定物（２）表面のミクロン・サブミクロ
ンオーダーの凹凸に光線を投射し、これによって生じた
影の明るさの強弱をＣＣＤカメラ（３）で撮影し、得ら
れた影の明るさの実測値を画像処理装置（４）でグラフ
化し、これをモニター（６）上で画像処理装置（４）に
予め入力されている表面粗さの基準値と比較し、被測定
物（２）の表面の粗さが許容限界内にあるか否かを高速
で判別する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は被測定物の表面粗さの非
接触判別方法と装置に関するのもであり、更に詳細に
は、精密切削加工部品の研磨面等に存在するミクロン・
サブミクロンオーダーの凹凸をインライン方式で全数検
査するための非接触判別方法と装置に関するものであ
る。
接触判別方法と装置に関するのもであり、更に詳細に
は、精密切削加工部品の研磨面等に存在するミクロン・
サブミクロンオーダーの凹凸をインライン方式で全数検
査するための非接触判別方法と装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】機械部品、例えば精密切削部品の研磨面
等に存在するミクロン・サブミクロンオーダーの凹凸を
測定する際、測定子を被測定物表面に直接接触させて走
行させる接触式の表面粗さ測定装置が使用されている。
等に存在するミクロン・サブミクロンオーダーの凹凸を
測定する際、測定子を被測定物表面に直接接触させて走
行させる接触式の表面粗さ測定装置が使用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記接触式の表面粗さ
測定装置においては、測定子の先端に鋭利なダイヤモン
ドが使用されている。このため、測定子を被測定物の表
面に押付けて走行させると、被測定面に測定子の押付け
による傷が発生する場合があり、高精度を要求される精
密部品や傷つき易い材料からなる部品の表面粗さの測定
に大きな制約が認められていた。
測定装置においては、測定子の先端に鋭利なダイヤモン
ドが使用されている。このため、測定子を被測定物の表
面に押付けて走行させると、被測定面に測定子の押付け
による傷が発生する場合があり、高精度を要求される精
密部品や傷つき易い材料からなる部品の表面粗さの測定
に大きな制約が認められていた。
【０００４】また、接触式の表面粗さ測定装置は、部品
１ケ当りの測定時間が長い（分単位）ので、インライン
方式の部品検査工程に組込んだ場合、被測定物の全数検
査は困難になるといる問題があった。
１ケ当りの測定時間が長い（分単位）ので、インライン
方式の部品検査工程に組込んだ場合、被測定物の全数検
査は困難になるといる問題があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題の解決手段とし
て本発明は、被測定物表面のミクロン・サブミクロンオ
ーダーの凹凸に光線を投射し、これによって生じた影の
明るさの強弱をＣＣＤカメラで撮影し、得られた影の明
るさの実測値を画像処理装置に送出し、この画像処理装
置に予め入力されている表面粗さの基準値と比較して、
被測定物の表面の粗さが許容限界内にあるか否かを判別
することを特徴とする表面粗さの非接触判別方法および
被測定物の整列方向を揃えるシュートとロータリーシリ
ンダ装置ならびに整列方向の判別装置からなる被測定物
の供給装置と、光源およびＣＣＤカメラからなる表面粗
さの測定装置と、この表面粗さの測定装置に接続された
画像処理装置を具備することを特徴とする表面粗さの非
接触判別装置を提供するものである。
て本発明は、被測定物表面のミクロン・サブミクロンオ
ーダーの凹凸に光線を投射し、これによって生じた影の
明るさの強弱をＣＣＤカメラで撮影し、得られた影の明
るさの実測値を画像処理装置に送出し、この画像処理装
置に予め入力されている表面粗さの基準値と比較して、
被測定物の表面の粗さが許容限界内にあるか否かを判別
することを特徴とする表面粗さの非接触判別方法および
被測定物の整列方向を揃えるシュートとロータリーシリ
ンダ装置ならびに整列方向の判別装置からなる被測定物
の供給装置と、光源およびＣＣＤカメラからなる表面粗
さの測定装置と、この表面粗さの測定装置に接続された
画像処理装置を具備することを特徴とする表面粗さの非
接触判別装置を提供するものである。
【０００６】
【作用】被測定物の整列方向を揃えた後、所定の移動経
路を通して被測定物を光源およびＣＣＤカメラからなる
表面粗さの測定装置内に導入する。ＣＣＤカメラで撮影
された被測定物表面の影の明るさの実測値を画像処理装
置に送出し、この画像処理装置に予め入力されている表
面粗さの基準値と比較し、上記実測値が許容限界内にあ
るか否かを判別する。
路を通して被測定物を光源およびＣＣＤカメラからなる
表面粗さの測定装置内に導入する。ＣＣＤカメラで撮影
された被測定物表面の影の明るさの実測値を画像処理装
置に送出し、この画像処理装置に予め入力されている表
面粗さの基準値と比較し、上記実測値が許容限界内にあ
るか否かを判別する。
【０００７】
【実施例】以下、図１乃至図３を参照しながら本発明の
一具体例を説明する。
一具体例を説明する。
【０００８】本発明装置は図１および図３に示すように
被測定物、例えば精密切削加工部品（２）の整列方向を
揃えて測定位置へ送出す部品供給装置（７）（８）
（９）（10）、表面粗さの測定装置（１）（３）、およ
びこの表面粗さの測定装置に電気的に接続された画像処
理装置（４）（５）（６）から構成されている。
被測定物、例えば精密切削加工部品（２）の整列方向を
揃えて測定位置へ送出す部品供給装置（７）（８）
（９）（10）、表面粗さの測定装置（１）（３）、およ
びこの表面粗さの測定装置に電気的に接続された画像処
理装置（４）（５）（６）から構成されている。
【０００９】被測定物（２）の供給装置は、図３に示す
ように上面に被測定物（２）の摺動用Ｖ溝（7A）を形成
した傾斜シュート（７）と、この傾斜シュート（７）の
上方で上記摺動用Ｖ溝（7A）に対向配置された整列方向
の判別装置、例えば光電センサ（８）と、この光電セン
サ（８）に接続された回転チャック（10）付きのロータ
リーシリンダ装置（９）から構成されている。
ように上面に被測定物（２）の摺動用Ｖ溝（7A）を形成
した傾斜シュート（７）と、この傾斜シュート（７）の
上方で上記摺動用Ｖ溝（7A）に対向配置された整列方向
の判別装置、例えば光電センサ（８）と、この光電セン
サ（８）に接続された回転チャック（10）付きのロータ
リーシリンダ装置（９）から構成されている。
【００１０】表面粗さの測定装置は、上記ロータリーシ
リンダ装置（９）のストローク終端に光源（１）とＣＣ
Ｄカメラ（３）を配設することによって構成されてい
る。
リンダ装置（９）のストローク終端に光源（１）とＣＣ
Ｄカメラ（３）を配設することによって構成されてい
る。
【００１１】一方、画像処理装置（４）は、上記ＣＣＤ
カメラ（３）に電気的に接続されており、この画像処理
装置には画像解析用のモニター（５）（６）が接続され
ている。ＣＣＤカメラ（３）は、被測定物（２）の表面
の凹凸を所定の測定範囲、例えば０．５ｍｍ2単位で読
取るようにその視野が調整されている。上記測定処理範
囲は、精度と誤差を考慮し、１点でなく粗さの種類によ
って設定する。ＣＣＤカメラ（３）で読取られた凹凸の
実測値は、図２（Ａ）に示すようにモニター（５）の画
面に例えば縦横とも２５６等分で表示される。画像処理
装置（４）の測定処理範囲ならびにモニター（５）の表
示範囲は、被測定物（２）の表面の粗さの種類と大きさ
に応じて設定するが、一般的には被測定物（２）の縦方
向の粗さを代表する値になるように設定する。図２
（Ａ）に示す実施例では、２５６等分された画面の内、
中央部分の８５画素に縦方向の粗さの画像が表示されて
いる。図２（Ｂ）は、図２（Ａ）に示す縦方向粗さの画
像を画像処理装置（４）でグラフ化したもので、このグ
ラフ化された表面粗さの解析結果はモニター（６）に表
示される。図２（Ｂ）に示すグラフにおいて、ａは、非
測定物の表面に形成された凸部または凹部の幅を示し、
ｂは、凹凸の深さやその状態を示している。上記ａおよ
びｂについて、予め画像処理装置（４）に不良パターン
の基準を入力・記憶させておき、この基準値をＣＣＤカ
メラ（３）で撮影され画像処理装置（４）でグラフ化さ
れた実測値と比較することによって、被測定物（２）の
表面に形成された粗さ、即ち、凹凸の大きさや程度が予
め設定された許容限界内にあるか否かを判別する。
カメラ（３）に電気的に接続されており、この画像処理
装置には画像解析用のモニター（５）（６）が接続され
ている。ＣＣＤカメラ（３）は、被測定物（２）の表面
の凹凸を所定の測定範囲、例えば０．５ｍｍ2単位で読
取るようにその視野が調整されている。上記測定処理範
囲は、精度と誤差を考慮し、１点でなく粗さの種類によ
って設定する。ＣＣＤカメラ（３）で読取られた凹凸の
実測値は、図２（Ａ）に示すようにモニター（５）の画
面に例えば縦横とも２５６等分で表示される。画像処理
装置（４）の測定処理範囲ならびにモニター（５）の表
示範囲は、被測定物（２）の表面の粗さの種類と大きさ
に応じて設定するが、一般的には被測定物（２）の縦方
向の粗さを代表する値になるように設定する。図２
（Ａ）に示す実施例では、２５６等分された画面の内、
中央部分の８５画素に縦方向の粗さの画像が表示されて
いる。図２（Ｂ）は、図２（Ａ）に示す縦方向粗さの画
像を画像処理装置（４）でグラフ化したもので、このグ
ラフ化された表面粗さの解析結果はモニター（６）に表
示される。図２（Ｂ）に示すグラフにおいて、ａは、非
測定物の表面に形成された凸部または凹部の幅を示し、
ｂは、凹凸の深さやその状態を示している。上記ａおよ
びｂについて、予め画像処理装置（４）に不良パターン
の基準を入力・記憶させておき、この基準値をＣＣＤカ
メラ（３）で撮影され画像処理装置（４）でグラフ化さ
れた実測値と比較することによって、被測定物（２）の
表面に形成された粗さ、即ち、凹凸の大きさや程度が予
め設定された許容限界内にあるか否かを判別する。
【００１２】被測定物（２）が例えば円柱状をなし、前
後の区別がある場合には、被測定物（２）の向きを揃え
て表面粗さの測定装置（１）（３）の作動域に導入す
る。被測定物に前後の区別がある場合、図示しない間歇
送出し装置から被測定物（２）（２）を１個ずつ傾斜シ
ュート（７）のＶ溝（7A）上端に自重落下させ、この
後、Ｖ溝（７）内を滑って表面粗さの測定装置（１）
（３）の作動域に向って移動する間の被測定物（２）に
光電センサ（８）を作用させる。光電センサ（８）によ
って前後を判別された被測定物（２）は、Ｖ溝（７）の
終端部分で傾斜シュート（７）からロータリーシリンダ
装置（９）の回転チャック（10）に移し替えられる。光
電センサ（８）で被測定物（２）の前後が規定方向に対
して逆転していることが検出された場合には、図３に示
すようにロータリーシリンダ装置（９）の前進ストロー
クの途上で回転チャック（10）がピストンロッド
（９’）を回転中心として１８０゜回転し、被測定物
（２）の前後方向を反転させ、正規の送出し方向に修正
して表面粗さの測定装置（１）（３）の作動域へ送込
む。Ｖ溝（７）上を滑動する被測定物（２）の向きが規
定方向に維持されている場合には、上記回転チャック
（10）は回転せず、被測定物（２）は向きを変えないま
ま表面粗さの測定装置（１）（３）の作動域へ送込まれ
る。
後の区別がある場合には、被測定物（２）の向きを揃え
て表面粗さの測定装置（１）（３）の作動域に導入す
る。被測定物に前後の区別がある場合、図示しない間歇
送出し装置から被測定物（２）（２）を１個ずつ傾斜シ
ュート（７）のＶ溝（7A）上端に自重落下させ、この
後、Ｖ溝（７）内を滑って表面粗さの測定装置（１）
（３）の作動域に向って移動する間の被測定物（２）に
光電センサ（８）を作用させる。光電センサ（８）によ
って前後を判別された被測定物（２）は、Ｖ溝（７）の
終端部分で傾斜シュート（７）からロータリーシリンダ
装置（９）の回転チャック（10）に移し替えられる。光
電センサ（８）で被測定物（２）の前後が規定方向に対
して逆転していることが検出された場合には、図３に示
すようにロータリーシリンダ装置（９）の前進ストロー
クの途上で回転チャック（10）がピストンロッド
（９’）を回転中心として１８０゜回転し、被測定物
（２）の前後方向を反転させ、正規の送出し方向に修正
して表面粗さの測定装置（１）（３）の作動域へ送込
む。Ｖ溝（７）上を滑動する被測定物（２）の向きが規
定方向に維持されている場合には、上記回転チャック
（10）は回転せず、被測定物（２）は向きを変えないま
ま表面粗さの測定装置（１）（３）の作動域へ送込まれ
る。
【００１３】
【発明の効果】本発明によれば、被測定物（２）が所定
の整列方向で所定の位置に送出され被接触方式で表面粗
さの種類と大きさが直ちに判別されるので、被測定物
（２）のインライン判別が可能となる。また、被測定物
（２）の１個当りの判別時間を約２秒程度の高速にする
ことができるため、分単位の測定時間を必要とする従来
方式に比較して判別所要時間が大幅に短くなり、生産性
が向上する。
の整列方向で所定の位置に送出され被接触方式で表面粗
さの種類と大きさが直ちに判別されるので、被測定物
（２）のインライン判別が可能となる。また、被測定物
（２）の１個当りの判別時間を約２秒程度の高速にする
ことができるため、分単位の測定時間を必要とする従来
方式に比較して判別所要時間が大幅に短くなり、生産性
が向上する。
【図１】本発明装置の全体構造の概念的説明図。
【図２】（Ａ）は第一のモニター上に表示された凹凸の
実測値、（Ｂ）は第二のモニター上に表示された凹凸実
測値のグラフ。
実測値、（Ｂ）は第二のモニター上に表示された凹凸実
測値のグラフ。
【図３】本発明装置の全体構造と被測定物の移動状態の
説明図。
説明図。
１ 光源 ２ 被測定物 ３ ＣＣＤカメラ ４ 画像処理装置 ５ モミター ６ モニター ７ 傾斜シュート ８ 整列方向の判別装置（光電センサ） ９ ロータリーシリンダ装置 10 回転チャック
Claims (2)
- 【請求項１】 被測定物表面のミクロン・サブミクロン
オーダーの凹凸に光線を投射し、これによって生じた影
の明るさの強弱をＣＣＤカメラで撮影し、得られた影の
明るさの実測値を画像処理装置に送出し、この画像処理
装置に予め入力されている表面粗さの基準値と比較し
て、被測定物の表面の粗さが許容限界内にあるか否かを
判別することを特徴とする表面粗さの非接触判別方法。 - 【請求項２】 被測定物の整列方向を揃えるシュートと
ロータリーシリンダ装置ならびに整列方向の判別装置か
らなる被測定物の供給装置と、光源およびＣＣＤカメラ
からなる表面粗さの測定装置と、この表面粗さの測定装
置に接続された画像処理装置を具備することを特徴とす
る表面粗さの非接触判別装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21243993A JPH0763540A (ja) | 1993-08-27 | 1993-08-27 | 表面粗さの非接触判別方法と装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21243993A JPH0763540A (ja) | 1993-08-27 | 1993-08-27 | 表面粗さの非接触判別方法と装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0763540A true JPH0763540A (ja) | 1995-03-10 |
Family
ID=16622631
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21243993A Pending JPH0763540A (ja) | 1993-08-27 | 1993-08-27 | 表面粗さの非接触判別方法と装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0763540A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007060873A1 (ja) * | 2005-11-24 | 2007-05-31 | Kirin Techno-System Corporation | 表面検査装置 |
-
1993
- 1993-08-27 JP JP21243993A patent/JPH0763540A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007060873A1 (ja) * | 2005-11-24 | 2007-05-31 | Kirin Techno-System Corporation | 表面検査装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4878114A (en) | Method and apparatus for assessing surface roughness | |
| US3761186A (en) | Apparatus for optically inspecting the condition of a surface having known variations in the condition | |
| EP0265229A2 (en) | Particle detection method and apparatus | |
| JPH0318708A (ja) | 表面検査方法及び装置 | |
| KR20000016638A (ko) | 작업물 검사 및 취급 방법 | |
| EP0990484A1 (en) | Eyeglass lens processing system | |
| EP0766063B1 (en) | Lens parameter measurement using optical sectioning | |
| JPS5965708A (ja) | 自動表面検査用のゾンデ | |
| JP3464835B2 (ja) | 微小円筒形部品の穴径・同心度測定装置 | |
| US20030179371A1 (en) | Method of objectively evaluating a surface mark | |
| JPH10132537A (ja) | Ｕ字溝形状を有する部品表面の検査方法 | |
| US4275966A (en) | Method and apparatus for the measurement of hardness testing indentations | |
| US5768138A (en) | Automatic tooling inspection system | |
| JPH0723210U (ja) | シリンダブロックのボアの粗残り検査装置 | |
| JP2000298102A (ja) | 表面検査装置 | |
| CN112630233B (zh) | 基板表面缺陷检查方法 | |
| JPH0763540A (ja) | 表面粗さの非接触判別方法と装置 | |
| JP2017087221A (ja) | リアルタイムモニタリング可能な電極チップ検査装置及びこれを備えた溶接システム | |
| JP2005037211A (ja) | 被測定物の外径測定方法、外径測定装置及び外周面研削装置 | |
| CN113125466A (zh) | 缸孔内表面的检查方法以及检查装置 | |
| JP3175615B2 (ja) | スローアウェイチップの検査方法 | |
| JPS58139326A (ja) | Ｖｔｒヘツド位置自動調整機 | |
| JPH01406A (ja) | 試料形状測定装置 | |
| KR102061038B1 (ko) | 중공형 부품 품질검사 장치 | |
| GB2074480A (en) | Working gemstones |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19981027 |