JPH07509048A - 液圧駆動装置又はアクチュエータ用の制御装置 - Google Patents

液圧駆動装置又はアクチュエータ用の制御装置

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JPH07509048A JP6524967A JP52496794A JPH07509048A JP H07509048 A JPH07509048 A JP H07509048A JP 6524967 A JP6524967 A JP 6524967A JP 52496794 A JP52496794 A JP 52496794A JP H07509048 A JPH07509048 A JP H07509048A
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マネスマン、レックスオート、アクチエンゲゼルシャフト
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 液圧駆動装置又はアクチュエータ用の制′装置本発明は、1請求項1の導入部に 記載される如き液圧駆動装置又はアクチュエータ手段用の制御装置に関する。
そのような周知の制御装置を用いた場合には、フィードバック値(フィードバッ ク制御を統御する信号変数)が、時間経過と共に繰り返し決定され、従って、ア クチュエータ手段が目標値の所望の特性又は過程をもたらすまで補正される。
そのような周知の制御装置は、弁の開度に関する目標値の過程を逐次的に決定す るために時間かかかるので、短い時間にわたって作動する制御プログラムに対し てしか使用することができない。従って、より良い経路、あるいは運動過程又は 運動結果をイー1するアクチュエータ手段又はアクチュエータに対しては、フィ ードハック制御装置か使用され、そのようなフィードバック制御装置の重要な特 徴は、位置、速度、力又は圧力の如き状態又は状況の同じ低数の実際値と目標値 とを比較する点にある。目標値及び実際値の偏差(振幅及び位相遅れのロス)を 可能な限り小さく維持するために、アクチュエータに影響を与える追加の変数を コンピュータを介して目標値に加える。補正すべき目標値の計算を行うために、 周波数分析か用いられる。
周知の制御方法においては、各々の制御軸線(すなわち、各々の駆動手段)に対 して周波数分析を適用し、補正された目標値を旧算する。予備テスト(同定)に おいては、周波数応答(周波数挙動又は周波数特性)、従って、各々の油圧サー ボ制御軸線の過渡応答(伝達挙動)か決定される。次に、後続する目標値の曲線 (過程、特性)に関する周波数分析も実行し、上記同定運転において得た過渡応 答を用いて、油圧サーボ制御軸線に関する補正された目標値の計算を可能とする 。
補正された目標値の計算は、実際のテストランの前に行われなければならす、測 定された過渡応答及び該過渡応答から計算された補正された目標値は、デジタル ;計算機に記憶される。
レギュレータ又は閉ループ制御回路の補正された目標値の決定を行うための数学 的なシ計算プロセスにおいては、同定の間に得たシステム行列を直接適用するこ とかできないことに注意する必要かある。上記システム行列を逆転させ、上記目 標値の曲線を周波数領域に変換することが必要である。周波数領域における数学 的な計算の後にだけ、目標値の計算された信号を時間領域へ再度変換することが できる。その計算プログラムは、特定の時間ウィンド又は時間フレームに対して たけ適用可能である。
従って、時間が長い目標値の曲線は、それぞれの独立した時間間隔又は時間段階 に分割すなわち区分されなければならない。その後の補正された目標値の計算に よって、より良好な近似か得られる。そのような計算においては、最後のテスト ランの実際値の過程又は曲線か、目標値及び実際値の比較を行うための基準と見 なされる。
−上述の如き制御装置及び21算方法を用いると、例えば、速度の割合すなわち 役割が優勢であり、また、負荷圧力が小さな範囲内でしか変化しない位、f!  (又は行程)制御(シリンダ駆動装置)に関して、ユーザにおける力及び負荷の 動的な変動か小さいために、オイル圧縮の割合すなわち役割のパーセンテージが 小さい場合、並びに、制御同定(予備テスト)の全周波数範囲及び目標値の所定 の曲線の全周波数範囲に関して、負荷圧力の変動か同じである場合には、満足す べき結果を得ることができる。
力の変動か、従って圧力の変動が、劇的に極めて速く生ずる(閉ループ)制御に 関して、あるいは、より大きな動ツノを、従って、より大きな動力の割合又は賃 借の役割を有する制御装置に関しては、上BeA知の制御装置及び計算方法は、 限定された態様でだけ有用な結果をもたらし、その理由は、流量と弁の開度との 間には直線的な関係が無く、従って、オイル圧縮の割合か、優勢な影響力を有す るからである。シリンダ装置においては、オイル圧縮の割合又は役割の数学的に 適正な評価すなわち算出は、より困難であり、これは、各時点において、圧縮す べきオイルの対応する体積、従って、シリンダのピストンロッドの位置をその計 算において考慮しなければならないという事実に因る。
ピストンのオフセンタ位置(非中心位置)に関しては、各シリンダチャンバの中 のオイル爪か結果的に異なること、並びに、弁とシリンダとの間の導管の体積が 異なることにより、サーボ弁又は制御弁の各計量エツジにおける流量が異なる結 果となる。弁の適正な開度の31算に関しても、計量エツジにおける実際の圧力 降下を考慮する必要がある。
このことは、Gunter Pritschow及びRa1ner Haglに よって”olhydraulik und Pncumatik (34(19 90) 、vo 1.8、p、544−547)”に記載された論文”Δuto matisicrtc Inbctricbnahmc zustandsgc regalter AnLricbssysteme”に記載された条件又は状 況制御された駆動装置1,1トびに、M、Egncr and G、Keupe rによって”olhydraulik und Pneumatik(29(1 985)、vol、9、p、669−677)”に記載された論文”Digit ale。
n1chrlincarc Rcgclungcn und 1dcntifi kaLionsvCrfahren Fur elcktro−hydraul is che 〜’orschubantriebe”に記載された[非線形デ ジタル制御及び同定方法(digital nonlinear contro l and 1dentification mehtods)に関しても当て はまる。
そのような制御装置及び制御方法を用いた場合には、簡単なレギュレータ又は閉 ループ制御装置に比較して、追従誤差を減少させることができる。特に、負荷及 び速度か大きく[1つ迅速に変化する場合には、上記制御誤差を完全に排除する ことはできない。
本発明の目的は、目標値の所定の過程又は特性に従って液圧アクチュエータ又は 液圧駆動装置の制御を改屏し、幾つかのテストランを伴う時間のかかる最適化を υ1除し、また、実際値の過程を目標値の過程に大きく対応させて液圧駆動装置 又はアクチュエータの運動を行わせることである。この目的は、請求項1の特徴 部の特徴により達成される。
測定された条件値すなわち状況値ではなく、シミュレートされた状態変数(状況 変数)を用いて、弁の目標値を連続的に計算することは有利であり、その理由は 、状態変数すなわち状況変数を検知するためのセンサを省略することができるか らである。また、測定された状態変数すなわち状況変数と平行してシミュレート された状態変数すなわち状況変数を得て(すなわち、測定された状態変数及びシ ミュレートされた状態変数を同時に得たり計算して)、これにより、センサが故 障した場合、あるいは、測定された状態変数すなわち状況変数に関して所定の限 界(帯域幅)を越えた場合(すなわち、制御装置の故障の原因となる状況が生し た場合)には、それぞれのシミュレートされた状態変数すなわち状況変数を用い て目標値を計算することができるようにすることができれば、これも有利なこと である。
また、本発明の実施例は、請求の範囲の従属項、並びに、好ましい実施例に関す る以下の記載から理解されよう。
目標値の「予見」すなわち予測計算により、アクチュエータの運動に関する追従 誤λ、は仝く生じない。L1標値の連続的な31算における駆動装置又はアクチ ュエータ装置の現時点のすなわち実際の作動状態の次の新しい予測は、オイル圧 縮の物理的な影響、並びに、負荷圧力の非線形的な依存性を数学的に確実に考慮 に入れる。
更に、弁に関する目標値を計算する時には、ゼロを通過する時の4方制御弁の制 御エツジ又は計量エツジにおける負荷圧力の急激な変化、サーボ弁の負荷圧力に 依存するセロ漏洩(特に、弁の中央位置における)、並びに、流体静力学的に取 り付けられたサーボシリンダの負荷圧力に依存する漏洩の如き影響が考慮される 。このような影響は、運動、力又は圧力の正確な過程にとって非常に重要である 。
レギュレータループ、すなわち、1又はそれ以上の制御軸線を有する閉ループ制 御装置においては、油圧サーボ制御軸線に作用する動的な力又は圧力が、予見す なわち予測するようにオンラインで計算される。複数の制御軸線を有する装置に おいては、上記軸線の互いの結合は、映像的なすなわち幾何学的なコンビュ−夕 によって決定される。弁に関する目標値を51算する時には、各々の油圧サーボ 軸線の動的な力又は圧力か、数学的に考慮される。各々の計算ステップにおいて は、負荷圧力及び外部力か、測定により決定され、目標値を計算する時に連続的 に考慮される。これにより、より広い周波数範囲に対して、収束的な解が得られ る。
l」標値の31算に誤差(長期の誤差も含む)が存在する場合には、シリンダを 位置、力及び圧力に関して固定するだけに、位置、力及び圧力用の追加の閉ルー プ回路か設けられる(目標値か適正に計算されている間には作動しない)。
図面において、 図1は、ピストンを貫通するピストンロフトを有する液圧シリンダ(同期シリン ダ)用の本発明の制御装置すなわち制御手段の回路図であり、図2は、ピストン を貫通するピストンロットを有する液圧シリンダ(同期シリンダ)の形態の液圧 駆動装置の概略図であり、図3は、図1及び図2の液圧駆動装置の加速度曲線の 目標値の過程すなわち特性の線図である。
図1及び図2を参照すると、トランスピユータ(transputer)の如き コンピュータRにおいて、アクチュエータすなわちシリンダの速度に関する目標 値、アクチュエータすなわちシリンダの行程すなわち位置に関する目標値、並び に、加速度の目標値の過程から生じてシリンダ(一般には、駆動装置又はアクチ ュエータ)に作用する動的力か、上記シリンダの加速度、力及び圧力に関する目 標値の所定の過程、並びに、アクチュエータ又は駆動装置の対応する質量から連 続的に計算される。
また、シリンダZ又は油圧モータにおける現時点の(実際の)差圧(力の差)の 連続的な計算か、シリンダチャンパAA、ABにおいて測定された又はシミュレ ートされたシリンダチャンバ圧力PA及びPHに基ついて実行され、また、サー ボ弁S〜・′の計量エツジすなわち制御エツジにおける現時点の圧力降下ΔP1 及びΔP2の連続的な計算が、測定された又はシミュレートされたシリンダチャ ンバ圧ノ月)l\及びPB、並びに、システム圧力PS及びリザーバ圧力PTに 基ついて(了われる。従って、測定されたシリンダチャンバ圧力は、二重の機能 を有している。シリンダチャンバ圧力PA及びPHのそれぞれの測定及びシミュ レーションは、DrJ圧力の決定、並びに、弁SVの3−tffiエツジにおけ る圧力降下の決定を行うために必要とされる。システム圧力PS及びリザーバ圧 力PTのそれぞれの測定及びシミュレーションは、上述の如き状態変数すなわち 状況変数が一定でない場合にたけ必要とされる。シリンダ位置S及び力Fのそれ ぞれの実際値、あるいは、作動シリンダの中の圧力P及び該作動シリンダにおけ る加速度のそれぞれの実際値も連続的に測定される。
確立された目標値及び実際値から、制御すべき装置の伝達挙動(伝達機能)を考 慮に入れて、弁に関する目標値か連続的に計算され、その弁に関する目標値は、 総和回路10の入力端2に供給される。制御すべき装置は、例えば、「油圧サー ボ軸」とすることができる。弁に関する目標値の1算は、目標値及び実際値の連 続的な曲線に関する(すなわち、時間と共に変動する目標値及び実際値に関する )時点において、油圧サーボ軸の測定されたあるいはシミュレートされた実際の システムデータを用いて、周知の数学的及び物理的な関係に従って、オンライン で連続的に実行される。
弁の各々の目標値を計算する時には、以下の事項を考慮に入れる。
すなわち、 現時点の(すなわち実際の)測定されたあるいはシミュレートされたチャンバ圧 力PA、PB、PS及びPT。
現時点において(すなわち実際に)測定されたシリンダ位置(又は行程)Sl並 びに、作動シリンダZにおいて現時点において測定された力F及び圧力P1目標 速度(スピード)及び油圧に関して必要とされる流量、4方サーボ弁S■のゼロ 交差(すなわち過渡状態)における制御エツジのΔp変化の影響、 PAとPBとの間の負荷圧力の差に関連する4方サーボ弁によるゼロ流量(制御 スプールの正又は負のオーバラップすなわち重なりにより生ずる)の影響、負荷 圧力及び実際のチャンバ圧力の差の関数としてのあるいは誤差に関する、流体静 力学的に取り付けられたサーボンリングの内部的な及び外部的な漏洩の影響、 弁及び制御されたサブシステム(制御されているシステム)の運動の影響、及び 、 シリンダZに作用する質量の実際の静的な力及び動的な力である。
このようにすることにより、 負荷圧力及び力の圧力における静的な差(外部の静的な力によって特に生ずる差 )か、実際のチャンバ圧力PA及びPBの測定あるいはシミュレーションから連 続的に決定され、 また、動的な質mの割合すなわち比率(すなわち、運動する質量の割合)が、チ ャンバ圧力及び実際の加速度の測定又はシミュレーションによって決定されるパ ラメータによって決定され、 史に、サーボ弁Svにおける及び測定された信号の時間遅延が、弁の目標値をY ・測するすなわちY・めJI¥)L、その、!1算された値を適時出力すること により、補償される。
この場合(図3)においては、オンラインの31算が行われるので、シリンダの 速度、力又は圧力の目標値に関連する時間2における点に関する弁の目標値を時 間1 (Oms)の点において確実に計算し、その結果を図1の制御システムの 総和回路1oに供給しなければならない。時間2の点に関する弁の目標値の出力 は、装置全体(すなわち、制御手段、駆動手段、弁手段、センサ手段、及び、測 定技術を備える全体的な装置すなわち装置全体)の時間定数Tsの前の間隔すな わち領域において、時間好適と共に生じなければならない。目標値の曲線すなわ ち特性を十分な精度で計算することかできるようにするために、上記曲線をn個 の単一の間隔すなわちステップに分割(すなわち区分)する。すなわち、図3を 参照すると、上記時間定数に相当する時間間隔Tsの中で、目標値の4つの計算 か、それぞれの測定された値あるいはシミュレートされた値に基づいて実行され る。
従って、時間2の点に関する目標値の計算とは別に、時間定数A、B及びCに関 する目標値の3つの計算か、それぞれの測定されたあるいはシミュレートされた 値a、b、cに基づいて実行され、これら3つの中間の1算は、時間2に関する 目標値について決定された固定値に特に!、(つくものである。そのような計算 の精度は、間隔1’ sの後、すなわち、時間2及び3の後のそれぞれの目標値 (すなわち、時間の関数としての目標値)の曲線の過程すなわち特性を時間2に おける目標値の数学的な計算において考慮して組み込んだ場合には、n個の間隔 に分割すなわち区分することを含む別の31算段階′rSによって、更に向上す る。測定された又はシミュレートされた値1に基づいて目標値2を計算するため に、目標値3のデータを考慮して組み込む。予想した結果の精度を高めるために は、計算時間を短くし且つ一定にすることか必要である。従って、並列に動作す るトランスピユータ又は迅速コンピュータを用いることにより、上記n個に区分 された間隔すなわちステップの工計算操作か実行される。ある弁の目標値に関す る全計算時間は、1msよりも短い。すなわち、その弁の目標値の計算を更に細 かく分割することにより、その計算結果を改善することか可能であり、更に、以 前の計算結果も考慮することかできる。
位置、力又は圧力を制御するための図1の閉ループ回路においては、シリンダの 位置、力又は圧力の測定された実際値が読み取られ、閉ループ制御装置の時間定 数に対応する量によってそれ以前に計算されている位置、力又は圧力に関する目 標値と比較される。位置、力又は圧力に関する上記目標値は、ループメモリにあ る時間保持される。弁の目標値2か適正に計算された場合には、閉ループ制御装 置(図1)の出力側には信号か何等存在しない。位置の閉ループ制御回路は、長 期の誤差をバランスさせるためにたけ、すなわち、シリンダの位置を固定するた めにたけ設けられている。これは、制御装置か油圧シリンダ又はモータの力又は 圧力の過程すなわち特性に対して設計されている場合にも当てはまる。この場合 には、測定された実際の力又は測定された実際の圧力が、力及び圧力に関する閉 ループ制御回路にフィードバックされ、該閉ループ制御回路において、該閉ルー プ制御回路に導入される力及び圧力に関する計算された目標値と比較される。
その結果の精度は、目標値を計算するためのパラメータを連続的にチェックする ことによって、オンラインで更に改冴される。目標値と実際値との間に差かある 場合には、計算アルゴリズム(すなわち、弁手段の目標値を計算するためのアル ゴリズム)を変え、これにより、弁の目標値のその後の計算に関して、目標値と 実際(II′!との間の差がより小さくなるようにする。パラメータのこの補正 は、その誤差か許容されるエラーウィンド又はエラーフレームの範囲内になるま で引き続き行われる。
弁 シリンダ FIG、1 目標値 FIG、 3

Claims (25)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.液圧駆動手段又はアクチュエータ手段用の制御手段であって、該アクチュエ ータ手段は、該アクチュエータ手段に供給される加圧された作動流体を有してお り、該作動流体は、前記アクチュエータ手段に供給されるべき当該作動流体の量 を確立するために電気的に制御される弁を介して供給あるいは導かれ(すなわち 、前記弁には、作動流体の量を決定する電気信号が供給される)、また、前記弁 を制御するための前記電気信号は、計算装置によってもたらされるようになされ た制御手段において、 高速計算装置(R)が設けられ、該高速計算装置においては、前記弁に関する目 標値が、目標値の所定の過程又は特性から連続的に計算され、前記駆動手段又は アクチュエータ手段(Z)の運動又は行程、あるいは、前記駆動手段又はアクチ ュエータ手段の力又は圧力を調節するようになされており、前記計算は、任意の 侍間において、その計算時における前記駆動手段又はアクチュエータ手段の1つ の測定された又はシミュレートされた状態変数(条件変数)に少なくとも(すな わち、弁の各目標値に関して)基づいており、前記計算された弁の目標値は、電 気信号として前記弁(SV)に導かれることを特徴とする制御手段。
  2. 2.請求項1の制御手段において、前記シミュレートされた状態変数は、前記測 定された状態変数と平行して得ることができ、これにより、センサ(制御されて いる装置の状態の値に関する)が故障した場合、あるいは、測定された状態変数 (あるいは条件変数)に関する所定の限界(帯域幅)を越えた場合には、それぞ れのシミュレートされた状態変数(条件変数)を用いて前記弁の目標値を計算す ることができることを特徴とする制御手段。
  3. 3.請求項1の制御手段において、前記それぞれの目標値の記算は、前記駆動手 段又はアクチュエータ手段に供給される作動流体の圧力(PA、PB)の状態変 数(条件変数)に少なくとも基づいており、前記圧力は、前記弁と前記駆動手段 又はアクチュエータ手段の作動チャンバとの間に存在することを特徴とする制御 手段。
  4. 4.請求項1の制御手段において、前記弁のそれぞれの目標値の計算は、前記駆 動手段又はアクチュエータ手段の入口ポートと出口ポートとの間の作動流体の差 圧である状態変数又は条件変数に基づいていることを特徴とする制御手段。
  5. 5.請求項1の制御手段において、前記それぞれの目標値の計算は、前記弁にお ける差圧(ΔP1、ΔP2)である状態変数又は条件変数に基づいていることを 特徴とする制御手段。
  6. 6.請求項1の制御手段において、前記測定された状態変数又は条件変数及び前 記シミュレートされた状態変数又は条件変数に加えて、装置(すなわち、制御手 段、駆動手段、弁手段、センサ手段、及び、測定技術を備える全体的な装置すな わち装置全体)の時間定数の間隔に関して別の圧力値が計算され、これら別の圧 力値が、前記測定されたあるいはシミュレートされた値に加えられることを特徴 とする制御手段。
  7. 7.請求項1の制御手段において、前記弁(SV)に供給される電気信号は、総 和回路(10)を介して供給され、前記弁の第2の人口(1)には、前記駆動手 段又はアクチュエータ手段の位置、力、又は、圧力を制御するための閉ループ回 路の出力信号が供給されることを特徴とする制御手段。
  8. 8.請求項1の制御手段において、前記駆動手段又はアクチュエータ手段の運動 又は行程は、加速度、速度、力、圧力又は位置の過程又は特性の形態の目標値と して与えられることを特徴とする制御手段。
  9. 9.請求項1の制御手段において、時間定数(Ts)に関する加速度、力又は圧 力の前記過程又は特性が、前記弁の明度の断面積に作用する任意の差圧における 弁の開度を決定し、その結果生ずる前記駆動手段又はアクチュエータ手段の目標 値に対応する作動流体の量を得るようになされていることを特徴とする制御手段 。
  10. 10.請求項1の制御手段において、加速度、力又は圧力の変化から生ずる圧縮 量、並びに、前記駆動手段又はアクチュエータ手段の作動チャンバ(AA、AB )の圧力に応じて前記駆動手段又はアクチュエータ手段において生ずる漏洩量が 、前記弁の開度の計算を行う間に考慮されることを特徴とする制御手段。
  11. 11.請求項1の制御手段において、前記弁の流量特性及び過渡応答、あるいは 、伝達挙動が、計算の間に考慮されることを特徴とする制御手段。
  12. 12.請求項1の制御手段において、前記駆動手段又はアクチュエータ手段の位 置に関する目標値が、加速度又は越度に関する目標値から計算され、位置に関す る前記目標値が、閉ループに供給される前で、且つ、該閉ループの出力信号が、 補正を行うための総和部材を介して目標他に関する第2の入力側に供給される前 に、少なくとも前記装置のツ時間定数に相当する時間にわたって、ループメモリ に記憶されることを特徴とする制御手段。
  13. 13.請求項1の制御手段において、前記駆動手段又はアクチュエータ手段の位 置(又は行程)、力又は圧力に関する前記目標値が計算され、前記位置(又は行 程)、力又は圧力に関する目標値が閉ループに供給される前で、且つ、該閉ルー プの出力信号(1)が、補正を行うための総和部材(10)を介して、目標値に 関する別の人力側(2)に供給される前に、少なくとも前記装置の時間定数(T s)に相当する時間にわたって、ループメモリに記憶されることを特徴とする制 御手段。
  14. 14.請求項1の制御手段において、前記駆動手段又はアクチュエータ手段が、 1又はそれ以上の液圧アクチュエータ又は液圧駆動装置(Z)を備えることを特 徴とする制御手段。
  15. 15.請求項1の制御手段において、前記駆動手段又はアクチュエータ手段が、 幾つかの作動シリンダ又は作動モータを備えており、各々の作動シリンダに関し て、その目標値の計算に必要とされる状態変数又は条件変数、並びに、パラメー タが、運動の空間幾何から計算されることを特徴とする制御手段。
  16. 16.請求項1の制御手段において、前記作動流体が、作動油を含むことを特徴 とする制御手段。
  17. 17.請求項1の制御手段において、前記弁に供給される目標値の信号が、デジ タル式に計算され、D/Aコンバータを介して、作動信号として前記弁に供給さ れることを特徴とする制御手段。
  18. 18.請求項1の制御手段において、圧力信号が、アナログ式に検知され、デジ タル信号に変換された後に、コンピュータに供給されることを特徴とする制御手 段。
  19. 19.請求項1の制御手段において、前記目標値の曲線の過程又は特性の個々の 間隔又は区間に関する計算時開が一定であることを特徴とする制御手段。
  20. 20.請求項1の制御手段において、前記計算時間が、並列に接続されたコンピ ュータ(R)によって実行されることを特徴とする制御手段。
  21. 21.請求項1の制御手段において、位置(又は行程)、力又は圧力に関する閉 ループ回路の目標値と実際他との間の差がある許容値を越えた場合に、その差を 幾つかの間隔又は区間にわたって減少させて前記許容値に戻したり、あるいは、 その誤差を減少させることを特徴とする制御手段。
  22. 22.請求項1の制御手段において、前記コンピュータ(R)によって決定され ている前記シリンダの目標値に関連する前記弁の目標値の計算が、前記制御装置 の時間定数(Ts)の時間量だけ前に測定されたあるいはシミュレートされた値 に基づくことを特徴とする制御下段。
  23. 23.請求項22の制御手段において、前記制御装置の時間定数(Ts)の時間 の間に、同じ時間間隔(n)を必要とする幾つかの計算操作(A、B、C)が、 それぞれの測定されたあるいはシミュレートされた値(a、b、c)に基づいて 実行されることを特徴とする制御手段。
  24. 24.請求項21の制御手段において、前記時間定数の間隔における前記弁の目 標値を計算するために、前記駆動手段又はアクチュエータ手段の目標値の一部あ るいは過程又は特性が、前記駆動手段又はアクチュエータ手段の時間定数(Ts )の間隔に先行するその間隔の外側で、考慮されることを特徴とする制御手段。
  25. 25.請求項1乃至24のいずれかの制御手段において、前記弁に供給される前 記電気信号が、サーボ弁の流量断面積を比例的に調節することを特徴とする制御 手段。
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