JPH07323428A - 光学シート製造用スタンパーおよびそれを用いた光学シートの製造方法 - Google Patents
光学シート製造用スタンパーおよびそれを用いた光学シートの製造方法Info
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- JPH07323428A JPH07323428A JP14254694A JP14254694A JPH07323428A JP H07323428 A JPH07323428 A JP H07323428A JP 14254694 A JP14254694 A JP 14254694A JP 14254694 A JP14254694 A JP 14254694A JP H07323428 A JPH07323428 A JP H07323428A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 液晶表示部のバックライト等として輝度が高
く、かつ均一で、視野角の制限の少ない照明が可能な光
学シートを効率良く製造するためのスタンパーとその使
用法である光学シートの製造法の提供。 【構成】 基体上に加熱流動性フォトレジスト材料によ
り形成された斑点または縞模様の立体パターン（レジス
ト層）を、加熱流動化することにより曲面化し、この表
面に、導電性金属を被覆し、更にこの上に電鋳により金
属層を形成した後、該金属層を分離して得られたことを
特徴とする金属製の光学シート製造用スタンパー。
く、かつ均一で、視野角の制限の少ない照明が可能な光
学シートを効率良く製造するためのスタンパーとその使
用法である光学シートの製造法の提供。 【構成】 基体上に加熱流動性フォトレジスト材料によ
り形成された斑点または縞模様の立体パターン（レジス
ト層）を、加熱流動化することにより曲面化し、この表
面に、導電性金属を被覆し、更にこの上に電鋳により金
属層を形成した後、該金属層を分離して得られたことを
特徴とする金属製の光学シート製造用スタンパー。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光学シート製造用スタ
ンパーおよびそれを用いた光学シートの製造方法に関す
る。
ンパーおよびそれを用いた光学シートの製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】パーソナルコンピューターの液晶表示部
を背面から照らすバックライトは、表示部が薄型化され
るに伴い、それ迄の直下型に代ってサイドライト（エッ
ジライトともいう）型が多く使われるようになった。サ
イドライト型バックライトにおいては、側面にあるラン
プの光を導光板で液晶表示部全面に導き、裏面の反射板
の作用も加えて液晶側を照らすものである。光源の光を
より有効に利用するため、種々の工夫と改良が行われて
いる。例えば、導光板としてアクリル樹脂製の板の裏面
に白色顔料が入ったインクを用いて点を全面に印刷した
ものや、Ｖ字形状の平行溝を施したもの等が使用されて
いる。
を背面から照らすバックライトは、表示部が薄型化され
るに伴い、それ迄の直下型に代ってサイドライト（エッ
ジライトともいう）型が多く使われるようになった。サ
イドライト型バックライトにおいては、側面にあるラン
プの光を導光板で液晶表示部全面に導き、裏面の反射板
の作用も加えて液晶側を照らすものである。光源の光を
より有効に利用するため、種々の工夫と改良が行われて
いる。例えば、導光板としてアクリル樹脂製の板の裏面
に白色顔料が入ったインクを用いて点を全面に印刷した
ものや、Ｖ字形状の平行溝を施したもの等が使用されて
いる。
【０００３】また、ランプの消費電力を増加させずに更
にバックライトを明るくするために集光シートが用いら
れている。従来の集光シートにはポリカーボネートなど
のプラスチックのシートの前面に頂角９０〜１００度の
プリズムをアレイにしたものが知られている。これはシ
ートの平面側から入った光をシートから出すときプリズ
ムによって狭い範囲の角度に集めるので輝度を増すが、
視野角が狭い不便がある。
にバックライトを明るくするために集光シートが用いら
れている。従来の集光シートにはポリカーボネートなど
のプラスチックのシートの前面に頂角９０〜１００度の
プリズムをアレイにしたものが知られている。これはシ
ートの平面側から入った光をシートから出すときプリズ
ムによって狭い範囲の角度に集めるので輝度を増すが、
視野角が狭い不便がある。
【０００４】一方、大型計算機や通信機器における大容
量情報伝送手段としての光並列伝送や、カメラ一体型ビ
デオテープレコーダの電子の目としての小型ＣＣＤには
画素ピッチに対応したマイクロレンズアレイが用いられ
ている。
量情報伝送手段としての光並列伝送や、カメラ一体型ビ
デオテープレコーダの電子の目としての小型ＣＣＤには
画素ピッチに対応したマイクロレンズアレイが用いられ
ている。
【０００５】本発明者は、マイクロレンズアレイまたは
バー状レンズアレイをシート状に形成することにより集
光機能を持つ素材として液晶表示部のバックライト等の
集光シートに使用でき、曲率を選択することにより集光
度と視野角のバランスを調節することができると考え
た。
バー状レンズアレイをシート状に形成することにより集
光機能を持つ素材として液晶表示部のバックライト等の
集光シートに使用でき、曲率を選択することにより集光
度と視野角のバランスを調節することができると考え
た。
【０００６】マイクロレンズアレイの製造法としては、
光学ガラス基板の表面にレジストパターンを形成した後
にエッチングして円柱形の突部の配列を作成し、レジス
ト層を除去して加熱して凸部を球面状に変形させる方法
（特開昭５８−１８５４４５号、特開平５−１６４９０
４号）、半導体材料に対してフォトレジストパターンを
施してＡｒ+イオンエッチングしてレンズアレイを形成
する方法（Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ ｔｈｅ ｅｌｅｃｔ
ｒｏｃｈｅｍｉｃａｌ ｓｏｃ．，ｖｏｌ．１３１，ｐ
ｐ．２３７３〜２３８０，１９８４）、等が知られてい
る。
光学ガラス基板の表面にレジストパターンを形成した後
にエッチングして円柱形の突部の配列を作成し、レジス
ト層を除去して加熱して凸部を球面状に変形させる方法
（特開昭５８−１８５４４５号、特開平５−１６４９０
４号）、半導体材料に対してフォトレジストパターンを
施してＡｒ+イオンエッチングしてレンズアレイを形成
する方法（Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ ｔｈｅ ｅｌｅｃｔ
ｒｏｃｈｅｍｉｃａｌ ｓｏｃ．，ｖｏｌ．１３１，ｐ
ｐ．２３７３〜２３８０，１９８４）、等が知られてい
る。
【０００７】しかし、これら従来の製法によるマイクロ
レンズアレイは、無機材料であるので可撓性や軽量化に
難があり、また生産性が低いという問題がある。
レンズアレイは、無機材料であるので可撓性や軽量化に
難があり、また生産性が低いという問題がある。
【０００８】一方、レーザ等のスポットを形成させるた
めに用いられる多数の角部をもった凹凸を同心円状に設
けた１個の直径０．４ｍｍといったマイクロフレネルレ
ンズの製法としてガラス、プラスチックス、金属板など
の基板の平滑表面にレジストを塗布し、これに同心円状
のパターンをあてて露光、現像し、同心円状の凸部と凹
部を形成後、この表面にスパッタリング、蒸着などの方
法で導電層を形成し、これを電極としてニッケルを電鋳
し、その後、ニッケル層を剥離し、これをスタンパーと
して、合成樹脂製のマイクロフレネルレンズを製造する
方法が特開昭６０−１０３３０８号公報に開示されてい
る。
めに用いられる多数の角部をもった凹凸を同心円状に設
けた１個の直径０．４ｍｍといったマイクロフレネルレ
ンズの製法としてガラス、プラスチックス、金属板など
の基板の平滑表面にレジストを塗布し、これに同心円状
のパターンをあてて露光、現像し、同心円状の凸部と凹
部を形成後、この表面にスパッタリング、蒸着などの方
法で導電層を形成し、これを電極としてニッケルを電鋳
し、その後、ニッケル層を剥離し、これをスタンパーと
して、合成樹脂製のマイクロフレネルレンズを製造する
方法が特開昭６０−１０３３０８号公報に開示されてい
る。
【０００９】しかしながら、この方法はあくまでも図６
に占めすように、多数の角部をもった凹凸を同心円状に
設けた１個のマイクロフレネルレンズを製造することを
目的とするものであり、シート面全域における輝度の向
上を達成するのに必要な凸レンズの、しかもその集合体
よりなる光学シートを製造するものではない。
に占めすように、多数の角部をもった凹凸を同心円状に
設けた１個のマイクロフレネルレンズを製造することを
目的とするものであり、シート面全域における輝度の向
上を達成するのに必要な凸レンズの、しかもその集合体
よりなる光学シートを製造するものではない。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、液晶
表示部のバックライト等に用いて輝度が高く、かつ均一
で、視野角の制限の少ない照明が可能な光学シートを効
率良く製造するためのスタンパーとその使用法である光
学シートの製造法を提供する点にある。
表示部のバックライト等に用いて輝度が高く、かつ均一
で、視野角の制限の少ない照明が可能な光学シートを効
率良く製造するためのスタンパーとその使用法である光
学シートの製造法を提供する点にある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明者は、レジスト法
により得た斑点状または縞状の立体パターンよりなるレ
ジスト層を加熱溶融することによって曲面化し、更にこ
の上に金属層を形成した後、金属層を取り出せばプラス
チック成形用のスタンパーとして使用できることを見出
した。本発明はこの知見に基づいてなされたものであ
る。
により得た斑点状または縞状の立体パターンよりなるレ
ジスト層を加熱溶融することによって曲面化し、更にこ
の上に金属層を形成した後、金属層を取り出せばプラス
チック成形用のスタンパーとして使用できることを見出
した。本発明はこの知見に基づいてなされたものであ
る。
【００１２】即ち、本発明の第一は、基体上に加熱流動
性フォトレジスト材料により形成された径または幅が
０．１〜１００μｍ、好ましくは０．１〜５０μｍの斑
点または縞模様の立体パターン（レジスト層）を、加熱
流動化することにより形成されたマイクロレンズアレイ
またはバー状（かまぼこ状）レンズアレイのための成形
用曲面に、導電性金属を被覆し、この上に電鋳により金
属層を形成した後該金属層を分離して得られたことを特
徴とする金属製の光学シート製造用スタンパーに関す
る。なお、ここでいうシートは板状のものも含む。フォ
トレジスト材料は加熱流動するものであれば、どれでも
使用可能であるが、１００〜２００℃で溶融して流動化
するものが好ましい。
性フォトレジスト材料により形成された径または幅が
０．１〜１００μｍ、好ましくは０．１〜５０μｍの斑
点または縞模様の立体パターン（レジスト層）を、加熱
流動化することにより形成されたマイクロレンズアレイ
またはバー状（かまぼこ状）レンズアレイのための成形
用曲面に、導電性金属を被覆し、この上に電鋳により金
属層を形成した後該金属層を分離して得られたことを特
徴とする金属製の光学シート製造用スタンパーに関す
る。なお、ここでいうシートは板状のものも含む。フォ
トレジスト材料は加熱流動するものであれば、どれでも
使用可能であるが、１００〜２００℃で溶融して流動化
するものが好ましい。
【００１３】スタンパーの製造を図１を参照して説明す
る。図１における（ａ）〜（ｉ）により、本発明のスタ
ンパーの製造工程例が示される。
る。図１における（ａ）〜（ｉ）により、本発明のスタ
ンパーの製造工程例が示される。
【００１４】（ａ）基体１は、たとえばシリコンウエ
ハ、ガラス板または金属板のようなフォトレジスト形成
用溶液を塗布するためのベースである。
ハ、ガラス板または金属板のようなフォトレジスト形成
用溶液を塗布するためのベースである。
【００１５】（ｂ）シリコン単結晶板やガラス板のよう
な基体１上にネガ型またはポジ型のフォトレジスト形成
用溶液を斑点状または縞状に塗布してフォトレジスト形
成用層２を形成した（レジスト塗布工程）。
な基体１上にネガ型またはポジ型のフォトレジスト形成
用溶液を斑点状または縞状に塗布してフォトレジスト形
成用層２を形成した（レジスト塗布工程）。
【００１６】（ｃ）ガラス板４の上にクロム膜などの遮
光層３を有するフォトマスク５を、前記（ｂ）のレジス
ト形成用層２の上に置き、矢印のように紫外線あるいは
電子線などの活性光線を照射する（露光工程）。前記遮
光層は、径（図２のａに相当する。）または幅（図４の
ｂに相当する。）が０．１〜１００μｍ、好ましくは
０．１〜５０μｍ、更に好ましくは０．１〜２０μｍの
斑点（形状は、正方形、長方形、円形、楕円形など任
意）または縞状のパターンとする。径または幅が細かい
ほど輝度の面内均一性が向上するので、最大でも１００
μｍ、好ましくは５０μｍ、更に好ましくは２０μｍ以
下がよい。
光層３を有するフォトマスク５を、前記（ｂ）のレジス
ト形成用層２の上に置き、矢印のように紫外線あるいは
電子線などの活性光線を照射する（露光工程）。前記遮
光層は、径（図２のａに相当する。）または幅（図４の
ｂに相当する。）が０．１〜１００μｍ、好ましくは
０．１〜５０μｍ、更に好ましくは０．１〜２０μｍの
斑点（形状は、正方形、長方形、円形、楕円形など任
意）または縞状のパターンとする。径または幅が細かい
ほど輝度の面内均一性が向上するので、最大でも１００
μｍ、好ましくは５０μｍ、更に好ましくは２０μｍ以
下がよい。
【００１７】（ｄ）前記フォトレジスト形成用材料とし
てポジ型のものを使用したので、光の当った個所を現像
により溶出した。光が当らなかった部分はそのまま残
り、レジスト層２′となった（現像、リンス工程）。レ
ジスト層の厚みは０．１〜１００μｍが好ましい。な
お、ネガ型のものを用いれば、光が当った部分が残存す
る。現像液は、使用するレジスト材料によって選択され
る。
てポジ型のものを使用したので、光の当った個所を現像
により溶出した。光が当らなかった部分はそのまま残
り、レジスト層２′となった（現像、リンス工程）。レ
ジスト層の厚みは０．１〜１００μｍが好ましい。な
お、ネガ型のものを用いれば、光が当った部分が残存す
る。現像液は、使用するレジスト材料によって選択され
る。
【００１８】（ｅ）レジスト層２′が熱流動する温度に
加熱すると、レジスト層２′が溶融し、その表面張力に
よりレジスト層２′は図に示すように凸状またはかまぼ
こ状（山脈状）に凸出し、上に凸のレンズ形状の群（マ
イクロレンズアレイの形状）または断面が上に凸の曲線
を有する立体縞（バー状レンズアレイの形状）のパター
ンが形成される（加熱凸状化工程）。加熱の温度は、レ
ジスト層の形成材料に依存するが、通常１００〜２００
℃である。
加熱すると、レジスト層２′が溶融し、その表面張力に
よりレジスト層２′は図に示すように凸状またはかまぼ
こ状（山脈状）に凸出し、上に凸のレンズ形状の群（マ
イクロレンズアレイの形状）または断面が上に凸の曲線
を有する立体縞（バー状レンズアレイの形状）のパター
ンが形成される（加熱凸状化工程）。加熱の温度は、レ
ジスト層の形成材料に依存するが、通常１００〜２００
℃である。
【００１９】（ｆ）冷却後、前記マイクロレンズアレイ
の形状２′またはバー状レンズアレイの形状２′の表面
を銀、ニッケル等の導電性金属を蒸着、スパッタリング
等の成膜法により被覆し、導電性金属層６を形成する
（成膜工程）。導電性金属層６の厚さは通常０．０１〜
１μｍである。
の形状２′またはバー状レンズアレイの形状２′の表面
を銀、ニッケル等の導電性金属を蒸着、スパッタリング
等の成膜法により被覆し、導電性金属層６を形成する
（成膜工程）。導電性金属層６の厚さは通常０．０１〜
１μｍである。
【００２０】（ｇ）前記導電性金属層６の上に、電鋳に
より、ニッケル、銅などの金属層７を形成する（電鋳工
程）。金属層の厚さは通常０．０１〜５０ｍｍである
が、これに限定されるものではない。
より、ニッケル、銅などの金属層７を形成する（電鋳工
程）。金属層の厚さは通常０．０１〜５０ｍｍである
が、これに限定されるものではない。
【００２１】（ｈ）レジスト層２′をもつ基体１と、導
電性金属層６／電鋳金属層７よりなる積層体とを剥離す
る（剥離工程）。剥離手段に制限はなく、手でも剥離す
ることができる。
電性金属層６／電鋳金属層７よりなる積層体とを剥離す
る（剥離工程）。剥離手段に制限はなく、手でも剥離す
ることができる。
【００２２】（ｉ）ついで、導電性金属層６は、通常、
酸洗い等により除去する（導電性金属層の除去工程）。
この工程はすべての場合に必要なものではないが、導電
性金属としてＡｇを使用した場合は、スタンパーとして
用いる際汚れが転写する可能性があるので、除去するこ
とが好ましい。
酸洗い等により除去する（導電性金属層の除去工程）。
この工程はすべての場合に必要なものではないが、導電
性金属としてＡｇを使用した場合は、スタンパーとして
用いる際汚れが転写する可能性があるので、除去するこ
とが好ましい。
【００２３】本発明の第二は、請求項１記載のスタンパ
ーの凹凸模様を合成樹脂層に転写することにより光学体
を製造する方法に関する。
ーの凹凸模様を合成樹脂層に転写することにより光学体
を製造する方法に関する。
【００２４】その第一は、透明性の熱可塑性樹脂、好ま
しくはポリカーボネート、メチルフタレート単重合体ま
たは共重合体、ポリエチレンテレフタレート、ポリスチ
レンおよび熱可塑性ノルボルネン樹脂からなる群から選
択された樹脂よりなる厚さ０．０１〜５ｍｍの樹脂シー
トに、請求項１記載のスタンパーを用いて熱プレス法に
より該スタンパーの凹凸を樹脂シートに転写することを
特徴とする金属製の光学シートの製造方法である。
しくはポリカーボネート、メチルフタレート単重合体ま
たは共重合体、ポリエチレンテレフタレート、ポリスチ
レンおよび熱可塑性ノルボルネン樹脂からなる群から選
択された樹脂よりなる厚さ０．０１〜５ｍｍの樹脂シー
トに、請求項１記載のスタンパーを用いて熱プレス法に
より該スタンパーの凹凸を樹脂シートに転写することを
特徴とする金属製の光学シートの製造方法である。
【００２５】その第二は、透明性の熱可塑性樹脂、好ま
しくはポリカーボネート、メチルフタレート単重合体ま
たは共重合体、ポリエチレンテレフタレート、ポリスチ
レンおよび熱可塑性ノルボルネン樹脂からなる群から選
択された樹脂の組成物を、請求項１記載のスタンパーを
底面とする金型に射出成形することを特徴とする光学シ
ートの製造方法である。
しくはポリカーボネート、メチルフタレート単重合体ま
たは共重合体、ポリエチレンテレフタレート、ポリスチ
レンおよび熱可塑性ノルボルネン樹脂からなる群から選
択された樹脂の組成物を、請求項１記載のスタンパーを
底面とする金型に射出成形することを特徴とする光学シ
ートの製造方法である。
【００２６】その第三は、請求項１記載のスタンパーを
底面とする金型に単量体および／またはオリゴマーより
なる光重合性樹脂形成材料および光重合開始剤を注入し
た後、これを紫外線などの光を照射することにより重合
することを特徴とする光学シートの製造方法である。
底面とする金型に単量体および／またはオリゴマーより
なる光重合性樹脂形成材料および光重合開始剤を注入し
た後、これを紫外線などの光を照射することにより重合
することを特徴とする光学シートの製造方法である。
【００２７】前記の樹脂成形用単量体又はオリゴマーと
しては、メチルメタクリレート；エチレングリコール、
１，３−プロパンジオール、トリメチロールプロパン等
のポリオール類とアクリル酸又はメタクリル酸とのエス
テルである多官能（メタ）アクリレート誘導体等の単量
体；メタクリレートオリゴマー、アクリレートオリゴマ
ー、前記多官能誘導体のオリゴマーなどのオリゴマーを
例示することができる。とりわけ、メチルメタクリレー
トに多官能（メタ）アクリレート誘導体および必要に応
じてさらにこれら単量体のオリゴマーを加えたものを使
用することがのぞましい。また光重合開始剤としては過
酸化ベンゾイル、ベンゾイン、ベンゾインエーテル等が
用いられる。
しては、メチルメタクリレート；エチレングリコール、
１，３−プロパンジオール、トリメチロールプロパン等
のポリオール類とアクリル酸又はメタクリル酸とのエス
テルである多官能（メタ）アクリレート誘導体等の単量
体；メタクリレートオリゴマー、アクリレートオリゴマ
ー、前記多官能誘導体のオリゴマーなどのオリゴマーを
例示することができる。とりわけ、メチルメタクリレー
トに多官能（メタ）アクリレート誘導体および必要に応
じてさらにこれら単量体のオリゴマーを加えたものを使
用することがのぞましい。また光重合開始剤としては過
酸化ベンゾイル、ベンゾイン、ベンゾインエーテル等が
用いられる。
【００２８】上記のスタンパーを用いる三つの方法のい
ずれかによっても得られる微細レンズ集合体において
は、ａ、ｂ、ｃ（図３、図４に示すように高さを表わ
す）およびｄ（図２、図４に示すようにピッチを表わ
す）のいずれもが０．１〜１００μｍ、好ましくは０．
１〜５０μｍ、更に好ましくは０．１〜２０μｍである
ことがのぞましい。ａ、ｂ、ｃおよびｄの関係は、マイ
クロレンズアレイシート形成用スタンパーを用いた場合
ずれかによっても得られる微細レンズ集合体において
は、ａ、ｂ、ｃ（図３、図４に示すように高さを表わ
す）およびｄ（図２、図４に示すようにピッチを表わ
す）のいずれもが０．１〜１００μｍ、好ましくは０．
１〜５０μｍ、更に好ましくは０．１〜２０μｍである
ことがのぞましい。ａ、ｂ、ｃおよびｄの関係は、マイ
クロレンズアレイシート形成用スタンパーを用いた場合
【数１】ｄ／２≦ａ≦ｄ ………（１） ｃ≧ａ／４ ………（２） バー状（かまぼこ状）レンズアレイシート形成用スタン
パーを用いた場合
パーを用いた場合
【数２】ｄ／２≦ｂ≦ｄ ………（３） ｃ≧ｂ／４ ………（４） であるのが最も好都合である。前記式（１）〜（４）に
より集光性を高くすることができる。集光シートとして
の利用態様としては、例えば図２に示すように液晶など
のバックライトの一構成要素として使用することができ
る。図２では拡散シート１１の上に集光シート１２を置
いた形で使用しているが、拡散シートの上に集光シート
を置く形でも使用できる。勿論、集光シートは複数枚使
用することもできる。
より集光性を高くすることができる。集光シートとして
の利用態様としては、例えば図２に示すように液晶など
のバックライトの一構成要素として使用することができ
る。図２では拡散シート１１の上に集光シート１２を置
いた形で使用しているが、拡散シートの上に集光シート
を置く形でも使用できる。勿論、集光シートは複数枚使
用することもできる。
【００２９】マイクロレンズアレイの形状としては、集
光シートにおける素レンズの占有面積率を高めるという
観点からは四角柱（正方形または矩形柱）を溶融して得
たものが好ましい。また、バー状レンズアレイの場合
は、複数枚を縦横交差して積層することにより、集光の
方向を調整することができる。
光シートにおける素レンズの占有面積率を高めるという
観点からは四角柱（正方形または矩形柱）を溶融して得
たものが好ましい。また、バー状レンズアレイの場合
は、複数枚を縦横交差して積層することにより、集光の
方向を調整することができる。
【００３０】反射光を利用する場合は、警告用表示板な
どの表面に貼り付ければ、入射光を種々の角度に反射す
るので、人の注意を引くことができる。
どの表面に貼り付ければ、入射光を種々の角度に反射す
るので、人の注意を引くことができる。
【００３１】本発明の実施態様を示せば、つぎのとおり
である。 （１） 基体上に加熱流動性フォトレジスト材料により
形成された径または幅が０．１〜１００μｍの斑点また
は縞模様の立体パターン（レンズ層）を加熱流動化して
曲面化し、この表面に、導電性金属を被覆し、更にこの
上に電鋳により金属層を形成した後、該金属層を分離し
て得られたことを特徴とする金属製の光学シート製造用
スタンパー。 （２） 前記径または幅が０．１〜５０μｍである前項
（１）記載の金属製の光学シート製造用スタンパー。 （３） 前記径または幅が０．１〜２０μｍである前項
（１）記載の金属製の光学シート製造用スタンパー。 （４） 径をａμｍ、幅をｂμｍ、高さをｃμｍ、ピッ
チをｄμｍとしたとき、ａ、ｂ、ｃ、ｄの関係が、マイ
クロレンズアレイシート形成用スタンパーのときは
である。 （１） 基体上に加熱流動性フォトレジスト材料により
形成された径または幅が０．１〜１００μｍの斑点また
は縞模様の立体パターン（レンズ層）を加熱流動化して
曲面化し、この表面に、導電性金属を被覆し、更にこの
上に電鋳により金属層を形成した後、該金属層を分離し
て得られたことを特徴とする金属製の光学シート製造用
スタンパー。 （２） 前記径または幅が０．１〜５０μｍである前項
（１）記載の金属製の光学シート製造用スタンパー。 （３） 前記径または幅が０．１〜２０μｍである前項
（１）記載の金属製の光学シート製造用スタンパー。 （４） 径をａμｍ、幅をｂμｍ、高さをｃμｍ、ピッ
チをｄμｍとしたとき、ａ、ｂ、ｃ、ｄの関係が、マイ
クロレンズアレイシート形成用スタンパーのときは
【数３】ｄ／２≦ａ≦ｄ ｃ≧ａ／４ バー状レンズアレイシート形成用スタンパーのときは
【数４】ｄ／２≦ｂ≦ｄ ｃ≧ｂ／４ を満足するものであり、ａ、ｂ、ｃ、ｄのいずれもが
０．１〜１００μｍ、好ましくは０．１〜５０μｍ、更
に好ましくは０．１〜２０μｍである転写体を与える前
項（１）、（２）または（３）記載の光学シート製造用
スタンパー。 （５） 前項（１）、（２）、（３）または（４）記載
の金属製の光学シート製造用スタンパーの凹凸を合成樹
脂表面に転写することを特徴とする光学シートの製造方
法。 （６） 透明性の熱可塑性樹脂シートに、前項（１）、
（２）、（３）または（４）記載のスタンパーを用いて
熱プレス法により該スタンパーの凹凸を樹脂シートに転
写することを特徴とする光学シートの製造方法。 （７） ポリカーボネート、メチルメタクリレート単重
合体または共重合体、ポリエチレンテレフタレート、ポ
リスチレンおよび熱可塑性ノルボルネン樹脂からなる群
から選択された樹脂よりなる厚さ０．０１〜５ｍｍの樹
脂シートに、前項（１）、（２）、（３）または（４）
記載のスタンパーを用いて熱プレス法により該スタンパ
ーの凹凸を樹脂シートに転写することを特徴とする光学
シートの製造方法。 （８） 透明性熱可塑性樹脂の組成物を前項（１）、
（２）、（３）または（４）記載のスタンパーを底面と
する金型に射出成形することを特徴とする光学シートの
製造方法。 （９） ポリカーボネート、メチルメタクリレート単重
合体または共重合体、ポリエチレンテレフタレート、ポ
リスチレンおよび熱可塑性ノルボルネン樹脂からなる群
から選択された樹脂の組成物を、前項（１）、（２）、
（３）または（４）記載のスタンパーを底面とする金型
に射出成形することを特徴とする光学シートの製造方
法。 （10） 前項（１）、（２）、（３）または（４）記載
のスタンパーを底面とする金型に光重合性の樹脂形成材
料および紫外線重合開始剤を注入した後、これを紫外線
照射により重合することを特徴とする光学シートの製造
方法。 （11） 前項（１）、（２）、（３）または（４）記載
のスタンパーを底面とする金型にメチルメタクリレー
ト、多官能のメタクリレートまたはアクリレートの誘導
体またはこれら単量体のオリゴマーよりなる群から選ば
れた少なくとも１種の樹脂形成材料および紫外線重合開
始剤を注入した後、これを紫外線照射により重合するこ
とを特徴とする光学シートの製造方法。
０．１〜１００μｍ、好ましくは０．１〜５０μｍ、更
に好ましくは０．１〜２０μｍである転写体を与える前
項（１）、（２）または（３）記載の光学シート製造用
スタンパー。 （５） 前項（１）、（２）、（３）または（４）記載
の金属製の光学シート製造用スタンパーの凹凸を合成樹
脂表面に転写することを特徴とする光学シートの製造方
法。 （６） 透明性の熱可塑性樹脂シートに、前項（１）、
（２）、（３）または（４）記載のスタンパーを用いて
熱プレス法により該スタンパーの凹凸を樹脂シートに転
写することを特徴とする光学シートの製造方法。 （７） ポリカーボネート、メチルメタクリレート単重
合体または共重合体、ポリエチレンテレフタレート、ポ
リスチレンおよび熱可塑性ノルボルネン樹脂からなる群
から選択された樹脂よりなる厚さ０．０１〜５ｍｍの樹
脂シートに、前項（１）、（２）、（３）または（４）
記載のスタンパーを用いて熱プレス法により該スタンパ
ーの凹凸を樹脂シートに転写することを特徴とする光学
シートの製造方法。 （８） 透明性熱可塑性樹脂の組成物を前項（１）、
（２）、（３）または（４）記載のスタンパーを底面と
する金型に射出成形することを特徴とする光学シートの
製造方法。 （９） ポリカーボネート、メチルメタクリレート単重
合体または共重合体、ポリエチレンテレフタレート、ポ
リスチレンおよび熱可塑性ノルボルネン樹脂からなる群
から選択された樹脂の組成物を、前項（１）、（２）、
（３）または（４）記載のスタンパーを底面とする金型
に射出成形することを特徴とする光学シートの製造方
法。 （10） 前項（１）、（２）、（３）または（４）記載
のスタンパーを底面とする金型に光重合性の樹脂形成材
料および紫外線重合開始剤を注入した後、これを紫外線
照射により重合することを特徴とする光学シートの製造
方法。 （11） 前項（１）、（２）、（３）または（４）記載
のスタンパーを底面とする金型にメチルメタクリレー
ト、多官能のメタクリレートまたはアクリレートの誘導
体またはこれら単量体のオリゴマーよりなる群から選ば
れた少なくとも１種の樹脂形成材料および紫外線重合開
始剤を注入した後、これを紫外線照射により重合するこ
とを特徴とする光学シートの製造方法。
【００３２】
【実施例】以下に本発明の実施例を示すが、本発明はこ
れにより限定されるものではない。
れにより限定されるものではない。
【００３３】実施例１ １−１ マスターの作製 ４インチ径のシリコンウエハー上に、ノボラック系ポジ
型フォトレジスト（日本ゼオン株式会社製ＺＰＰ３２０
０）をスピン塗布し、ホットプレート上にて１００℃で
９０秒間乾燥して、膜厚２．３μｍのフォトレジスト層
を設けた。次いで、フォトレジスト層に所定のパターン
を有するフォトマスクを密着し、紫外線焼き付け装置
（キャノン株式会社製ＰＬＡ５０１Ｆ、２５０Ｗ超高圧
水銀灯付き）にて約７秒間紫外線を照射した。この後、
２．３８重量％のテトラメチルアンモニウムハイドロキ
サイド水溶液にて９０秒間現像し、次いで純水にてリン
スを行った。得られたパターンは、縦横各４μｍの寸法
を有する略四角柱が、縦横両方向各０．５μｍのスペー
スを介して配列されたものであった。次に、上記レジス
トパターンを有するシリコンウエハーをホットプレート
上で１８０℃で１０分間加熱し、所望の曲面を有するレ
ンズ状のパターンを得た。
型フォトレジスト（日本ゼオン株式会社製ＺＰＰ３２０
０）をスピン塗布し、ホットプレート上にて１００℃で
９０秒間乾燥して、膜厚２．３μｍのフォトレジスト層
を設けた。次いで、フォトレジスト層に所定のパターン
を有するフォトマスクを密着し、紫外線焼き付け装置
（キャノン株式会社製ＰＬＡ５０１Ｆ、２５０Ｗ超高圧
水銀灯付き）にて約７秒間紫外線を照射した。この後、
２．３８重量％のテトラメチルアンモニウムハイドロキ
サイド水溶液にて９０秒間現像し、次いで純水にてリン
スを行った。得られたパターンは、縦横各４μｍの寸法
を有する略四角柱が、縦横両方向各０．５μｍのスペー
スを介して配列されたものであった。次に、上記レジス
トパターンを有するシリコンウエハーをホットプレート
上で１８０℃で１０分間加熱し、所望の曲面を有するレ
ンズ状のパターンを得た。
【００３４】１−２ スタンパーの作製 実施例１−１で作製したマスター上に、蒸着により厚さ
２０００Åの銀の層を設けた後、スルファミン酸ニッケ
ルを主成分とする電解液中で厚さ１ｍｍのニッケルを電
着した。次いで、ニッケル層をレジスト層より分離した
後、表面の銀をクロム酸水溶液で除去して、所望のパタ
ーンを有するスタンパーを得た。
２０００Åの銀の層を設けた後、スルファミン酸ニッケ
ルを主成分とする電解液中で厚さ１ｍｍのニッケルを電
着した。次いで、ニッケル層をレジスト層より分離した
後、表面の銀をクロム酸水溶液で除去して、所望のパタ
ーンを有するスタンパーを得た。
【００３５】１−３ 光学シートの製造 得られたスタンパーを金型表面に用い、射出成形法によ
り厚さ１ｍｍのポリカーボネート製マイクロレンズアレ
イのシートを作成した。
り厚さ１ｍｍのポリカーボネート製マイクロレンズアレ
イのシートを作成した。
【００３６】実施例２ ２−１ マスターの作製 ４インチ径のシリコンウエハー上に、環化ポリイソプレ
ン系ネガ型レジスト（日本ゼオン株式会社製ＺＰＮ１０
３）をスピン塗布し、ホットプレート上にて９０℃で９
０秒間乾燥して、膜厚２．５μｍのフォトレジスト層を
設けた。次いで、フォトレジスト層に所定のパターンを
有するフォトマスクを密着し、実施例１−１で使用した
紫外線焼き付け装置（光学フィルターＵＣ−２０付き）
にて約６秒間紫外線を照射した。この後、ノルマルヘプ
タン／酢酸ノルマルブチル混合液（５０／５０容量％）
にて１分間現像し、次いで酢酸ノルマルブチルにてリン
スを行った。得られたパターンは、上方よりみて縦横各
６μｍの略正方形が、縦横両方向各１．５μｍのスペー
スを介して配列されたものであった。次に、上記レジス
トパターンを有するシリコンウエハーをホットプレート
上で１６０℃で２分間加熱し、所望の曲面を有するレン
ズ状のパターンを得た。
ン系ネガ型レジスト（日本ゼオン株式会社製ＺＰＮ１０
３）をスピン塗布し、ホットプレート上にて９０℃で９
０秒間乾燥して、膜厚２．５μｍのフォトレジスト層を
設けた。次いで、フォトレジスト層に所定のパターンを
有するフォトマスクを密着し、実施例１−１で使用した
紫外線焼き付け装置（光学フィルターＵＣ−２０付き）
にて約６秒間紫外線を照射した。この後、ノルマルヘプ
タン／酢酸ノルマルブチル混合液（５０／５０容量％）
にて１分間現像し、次いで酢酸ノルマルブチルにてリン
スを行った。得られたパターンは、上方よりみて縦横各
６μｍの略正方形が、縦横両方向各１．５μｍのスペー
スを介して配列されたものであった。次に、上記レジス
トパターンを有するシリコンウエハーをホットプレート
上で１６０℃で２分間加熱し、所望の曲面を有するレン
ズ状のパターンを得た。
【００３７】２−２ スタンパーの作製 実施例２−１で作製したマスターを用いて、実施例１−
２と同様にして所望のパターンを有するスタンパーを得
た。
２と同様にして所望のパターンを有するスタンパーを得
た。
【００３８】２−３ 光学シートの製造 スタンパーと、厚さ０．２５ｍｍのポリカーボネートの
シートの間に、下記組成の混合物を注入し、次いでポリ
カーボネートのシートを通して紫外線を照射して重合反
応を行った。ポリカーボネートのシートと合体して硬化
した樹脂をスタンパーから剥離してマイクロレンズアレ
イのシートを得た。 メチルメタクリレート ８１重量部 １，６−ヘキサンジオールジアクリレート １７重量部 ベンゾインブチルエーテル ２重量部
シートの間に、下記組成の混合物を注入し、次いでポリ
カーボネートのシートを通して紫外線を照射して重合反
応を行った。ポリカーボネートのシートと合体して硬化
した樹脂をスタンパーから剥離してマイクロレンズアレ
イのシートを得た。 メチルメタクリレート ８１重量部 １，６−ヘキサンジオールジアクリレート １７重量部 ベンゾインブチルエーテル ２重量部
【００３９】
１） マイクロレンズアレイを、高生産性で低コストで
製造できる。 ２） 本発明は、レジスト層の溶融により液状となった
レジストの表面張力により発生する曲面を利用するの
で、径または幅が１００μｍ以下、とくに５０μｍ以下
の微細、かつ均一な曲面が簡単に得られる。 ３） 液晶表示装置などのバックライト等の照明や表示
板の集光シートとして使用すれば、高輝度で面全体の均
一性に優れ、かつ視野角の制限が少ないというすぐれた
特性を有する。 ４） 反射シートとして夜間の警告用表示板などにも使
用できる。
製造できる。 ２） 本発明は、レジスト層の溶融により液状となった
レジストの表面張力により発生する曲面を利用するの
で、径または幅が１００μｍ以下、とくに５０μｍ以下
の微細、かつ均一な曲面が簡単に得られる。 ３） 液晶表示装置などのバックライト等の照明や表示
板の集光シートとして使用すれば、高輝度で面全体の均
一性に優れ、かつ視野角の制限が少ないというすぐれた
特性を有する。 ４） 反射シートとして夜間の警告用表示板などにも使
用できる。
【図１】本発明のスタンパー製造工程（ａ）〜（ｉ）の
概念図を示す。
概念図を示す。
【図２】本発明に用いる集光シートの１例であるマイク
ロレンズアレイの部分平面図である。
ロレンズアレイの部分平面図である。
【図３】図２の断面図である。
【図４】本発明に用いる集光シートの１例であるバー状
マイクロレンズアレイの部分的斜視図である。
マイクロレンズアレイの部分的斜視図である。
【図５】バックライトの断面図である。
【図６】マイクロフレネルレンズの構造を示す断面図で
ある。
ある。
１ 基体 ２ フォトレジスト形成用層 ２′ レジスト層 ３ 遮光層 ４ ガラス板 ５ フォトマスク ６ 導電性金属層 ７ 金属層 １１ 拡散シート １２ 集光シート １３ 導光板 １４ 反射板 １５ 蛍光灯又は冷隠極管 １６ 反射板 １７ フレーム ２０ マイクロフレネルレンズ ２１ アクリル樹脂板 ２２ ホトポリマー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ２９Ｌ 11:00
Claims (4)
- 【請求項１】 基体上に加熱流動性フォトレジスト材料
により形成された斑点または縞模様の立体パターン（レ
ジスト層）を、加熱流動化することにより曲面化し、こ
の表面に、導電性金属を被覆し、更にこの上に電鋳によ
り金属層を形成した後、該金属層を分離して得られたこ
とを特徴とする金属製の光学シート製造用スタンパー。 - 【請求項２】 透明性の熱可塑性樹脂シートに、請求項
１記載のスタンパーを用いて熱プレス法により該スタン
パーの凹凸を樹脂シートに転写することを特徴とする金
属製の光学シートの製造方法。 - 【請求項３】 透明性の熱可塑性樹脂の組成物を、請求
項１記載のスタンパーを金型に用いて射出成形すること
を特徴とする光学シートの製造方法。 - 【請求項４】 請求項１記載のスタンパーを底面とする
金型に光重合性の樹脂形成材料及び重合開始剤を注入し
た後、これを光照射により重合することを特徴とする光
学シートの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14254694A JPH07323428A (ja) | 1994-06-01 | 1994-06-01 | 光学シート製造用スタンパーおよびそれを用いた光学シートの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14254694A JPH07323428A (ja) | 1994-06-01 | 1994-06-01 | 光学シート製造用スタンパーおよびそれを用いた光学シートの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07323428A true JPH07323428A (ja) | 1995-12-12 |
Family
ID=15317869
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14254694A Pending JPH07323428A (ja) | 1994-06-01 | 1994-06-01 | 光学シート製造用スタンパーおよびそれを用いた光学シートの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07323428A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001323074A (ja) * | 2000-05-17 | 2001-11-20 | Jsr Corp | 微細なパターンが高転写された射出成形体 |
| US6994951B1 (en) * | 2004-10-04 | 2006-02-07 | U-Tech Media Corp. | Method of fabricating a stamper by half-tone technology |
| JP2007062253A (ja) * | 2005-09-01 | 2007-03-15 | Japan Science & Technology Agency | マイクロチップの基板形成用金型の製造方法及び該金型を用いたマイクロチップの基板の製造方法 |
| US7618575B2 (en) | 2001-01-10 | 2009-11-17 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method for wafer scale molding of protective caps |
| KR101328818B1 (ko) * | 2006-03-30 | 2013-11-13 | 키모토 컴파니 리미티드 | 표면요철의 제작방법 |
-
1994
- 1994-06-01 JP JP14254694A patent/JPH07323428A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001323074A (ja) * | 2000-05-17 | 2001-11-20 | Jsr Corp | 微細なパターンが高転写された射出成形体 |
| JP4655330B2 (ja) * | 2000-05-17 | 2011-03-23 | Ｊｓｒ株式会社 | 微細なパターンが高転写された射出成形体 |
| US7618575B2 (en) | 2001-01-10 | 2009-11-17 | Silverbrook Research Pty Ltd | Method for wafer scale molding of protective caps |
| US6994951B1 (en) * | 2004-10-04 | 2006-02-07 | U-Tech Media Corp. | Method of fabricating a stamper by half-tone technology |
| JP2007062253A (ja) * | 2005-09-01 | 2007-03-15 | Japan Science & Technology Agency | マイクロチップの基板形成用金型の製造方法及び該金型を用いたマイクロチップの基板の製造方法 |
| KR101328818B1 (ko) * | 2006-03-30 | 2013-11-13 | 키모토 컴파니 리미티드 | 표면요철의 제작방법 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20040330 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040406 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20040803 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |