JPH0729484U - Test tray positioning mechanism for IC test handler and test tray used for the device - Google Patents

Test tray positioning mechanism for IC test handler and test tray used for the device

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JPH0729484U
JPH0729484U JP6493593U JP6493593U JPH0729484U JP H0729484 U JPH0729484 U JP H0729484U JP 6493593 U JP6493593 U JP 6493593U JP 6493593 U JP6493593 U JP 6493593U JP H0729484 U JPH0729484 U JP H0729484U
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ICテストハンドラに使用するテストトレイ
において、金属及び樹脂で作られた物がある。これらの
トレイに与えられた熱的ストレスを充分に取り除かない
と、トレイは寸法変化を起こしている。このままでデバ
イスの供給や排出を行うとすると、寸法変化のためにデ
バイスのピッキングを失敗する場合が発生する。本考案
は、この熱的寸法変化を最小限に押さえて、ピッキング
・ミスを防止する機構を提供するものである。 【構成】 テストトレイの1側面中央に、センタ位置穴
を設ける。ハンドラの排出部、供給部には、サイド位置
決めアームとセンタ位置決めピンを設け、常にテストト
レイの中央位置を捉える。
(57) [Summary] [Purpose] Some test trays used for IC test handlers are made of metal and resin. If the thermal stresses imparted to these trays are not adequately removed, the trays will undergo dimensional changes. If the device is supplied or discharged as it is, picking of the device may fail due to dimensional change. The present invention provides a mechanism that minimizes this thermal dimensional change and prevents picking mistakes. [Configuration] A center position hole is provided at the center of one side of the test tray. A side positioning arm and a center positioning pin are provided in the discharge part and the supply part of the handler so that the center position of the test tray is always caught.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】[Industrial applications]

ICテストハンドラのデバイス排出部、供給部において、テストトレイの位置 決めに関する。 Regarding the positioning of the test tray in the device ejection section and supply section of the IC test handler.

【0002】[0002]

【従来の技術】[Prior art]

従来技術について図5を用いて説明する。ICテストハンドラ内部において、 デバイス16を搬送する手段として、材質は金属を用いたテストトレイ11が使 用されている。この中には複数個のキャリア・モジュール15がフローティング 状態で保持されており、キャリア・モジュール15各々にデバイス16が搭載さ れる。ICテストハンドラは、供給部でデバイス16をピッキングしテストトレ イ11内に収納する。デバイス16はこの後、テストトレイ11毎搬送され、I C試験装置テストヘッド部で、試験されテストトレイ11に納められたまま搬送 されて、排出部でピッキングされてカストマ・トレイに収納される。 The conventional technique will be described with reference to FIG. Inside the IC test handler, a test tray 11 made of metal is used as a means for transporting the device 16. In this, a plurality of carrier modules 15 are held in a floating state, and a device 16 is mounted on each carrier module 15. The IC test handler picks the device 16 at the supply unit and stores it in the test tray 11. After that, the device 16 is transported together with the test tray 11, tested by the IC tester test head unit, transported while being stored in the test tray 11, picked by the discharge unit, and stored in the customer tray.

【0003】 IC試験装置で試験されるとき、デバイス16は常温雰囲気で試験されるほか 、高温低温雰囲気下で、その性能を試験されることがある。高低温の雰囲気を作 り出すのは、ICテストハンドラ内の恒温室で行われ、デバイス16とテストト レイ11とは、充分にその雰囲気温度に達した後、テストヘッド部で同じ雰囲気 下で試験される。この中で、高温下で試験されたデバイス16は常温近くまで冷 やされ、一方低温下で試験されたデバイス16は常温近くまで暖められて排出部 へ搬送される。When the device 16 is tested by an IC test apparatus, the device 16 may be tested in a normal temperature atmosphere and also in a high temperature and low temperature atmosphere for its performance. A high temperature and low temperature atmosphere is created in a temperature-controlled room inside the IC test handler, and the device 16 and the test tray 11 are tested under the same atmosphere in the test head section after the ambient temperature is sufficiently reached. To be done. In this, the device 16 tested at high temperature is cooled to near room temperature, while the device 16 tested at low temperature is warmed to near room temperature and transported to the discharge part.

【0004】 ところが、恒温室は多数のテストトレイ11を収容できるが、最初に収容した テストトレイ11は、真っ先に恒温室出口側から順番に収容され、短時間で恒温 室から搬出されてしまう。このときテストトレイ11は、熱変形により、膨張或 いは収縮しているため、寸法変化が発生している。この状態で、搬出部に送られ たとき、位置決めピン19はテストトレイ11の側面12側に配置されてあるた めに、位置決めピン19から遠くに離れているほど寸法変化は著しく、図5には 示していないがピック・プレイス(デバイスのピッキング機構)はデバイス16 aなどの、ピッキングを失敗する場合が発生する。However, although the temperature-controlled room can accommodate a large number of test trays 11, the test trays 11 that are first stored are sequentially stored in order from the constant-temperature room outlet side, and are carried out from the temperature-controlled room in a short time. At this time, the test tray 11 expands or contracts due to thermal deformation, so that dimensional change occurs. In this state, since the positioning pin 19 is arranged on the side surface 12 side of the test tray 11 when it is sent to the carry-out section, the dimensional change is remarkable as the distance from the positioning pin 19 increases. Although not shown, the pick place (device picking mechanism) may fail picking such as the device 16a.

【0005】[0005]

【考案が解決しようとする課題】[Problems to be solved by the device]

本考案の目的は、上述したようにテストトレイ自体の温度が、充分に常温に戻 らないうちに搬出部に送られてきたときでも、確実にデバイスをピッキングでき る機構を提供することである。 An object of the present invention is to provide a mechanism capable of reliably picking a device even when the temperature of the test tray itself has been sent to the unloading section before the temperature has sufficiently returned to room temperature as described above. .

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

(請求項1について) 排出部と供給部とでテストトレイ11が停止する各々の箇所で、移動方向と平行 している1直線上の相離れた2点に、2つのサイド位置決めアーム21a,21 bを線対称に保持する。該サイド位置決めアーム21は0度から90度以上の角 度間で回転的往復運動をする。センタ位置決めピン23は、サイド位置決めアー ム21とはテストトレイ11をはさんだ反対側に位置し、且つサイド位置決めア ーム21間距離の中央位置に設ける。該センタ位置決めピン23はテストトレイ 11の移動方向とは直角方向に直線的往復運動をする。又、該センタ位置決めピ ン23の先端は円錐型形状24とし、中央付近には突起25を設ける。 (Claim 1) At each position where the test tray 11 stops at the discharge part and the supply part, two side positioning arms 21a, 21 are provided at two points separated from each other on one straight line parallel to the moving direction. Hold b in line symmetry. The side positioning arm 21 makes a rotational reciprocating motion between 0 ° and 90 ° or more. The center positioning pin 23 is located on the opposite side of the side positioning arm 21 with the test tray 11 in between, and is provided at the center position of the distance between the side positioning arms 21. The center positioning pin 23 linearly reciprocates in a direction perpendicular to the moving direction of the test tray 11. The tip of the center positioning pin 23 has a conical shape 24, and a protrusion 25 is provided near the center.

【0007】 (請求項2について) 排出部と供給部とでテストトレイ11が停止する各々の箇所で、移動方向と平行 している1直線上の相離れた2点に、2つのサイド位置決めシャフト22a,2 2bを設ける。該サイド位置決めシャフト22はテストトレイ11の移動方向と は直角方向に直線的往復運動をする。該サイド位置決めシャフト22の先端には 、回転動作可能なローラ31a,bを取り付ける。更に該ローラ31は取付軸3 2に対しフローティング状態、且つ、バネ33性を持たせ常に取付軸32に対し 中心を維持するような復元性を持たせる。センタ位置決めピン23は請求項1に ついての解決手段で説明した物と同じものを同じ位置に設ける。(Claim 2) At each position where the test tray 11 stops at the discharge part and the supply part, two side positioning shafts are provided at two points apart from each other on one straight line parallel to the moving direction. 22a and 22b are provided. The side positioning shaft 22 linearly reciprocates in a direction perpendicular to the moving direction of the test tray 11. Rollers 31a and 31b capable of rotating are attached to the tip of the side positioning shaft 22. Further, the roller 31 is in a floating state with respect to the mounting shaft 32 and has a spring 33 property so as to have a restoring property such that the center of the mounting shaft 32 is always maintained. The center positioning pin 23 is the same as that described in the means for solving the problems of the first aspect, and is provided at the same position.

【0008】 (請求項3について) テストトレイ11はセンタ位置決めピン23側側面14の中央位置に、センタ位 置決めピン23が相合致するセンタ位置穴26を設ける。(Regarding Claim 3) The test tray 11 is provided with a center position hole 26 in which the center positioning pin 23 is aligned with the center position of the side surface 14 on the side of the center positioning pin 23.

【0009】[0009]

【作用】[Action]

(請求項1について) 2つのサイド位置決めアーム21a,bは、0度位置から90度以上位置まで同 じ推力で回転運動をする。この2つのサイド位置決めアーム21は線対称に取り 付けられてあるので、移動方向とは直角方向にあるテストトレイの2側面12, 13を挟み込むようにして、ほぼ90度位置まで移動し均衡する。同じ推力で運 動するので、テストトレイ11は両サイド位置決めアーム21間の中央に配置さ れ、どちらかに片寄ることはない。 (Claim 1) The two side positioning arms 21a and 21b rotate with the same thrust from the 0 degree position to the 90 degree or more position. Since the two side positioning arms 21 are attached symmetrically with each other, the two side positioning arms 21 are moved to approximately 90 degrees and balanced by sandwiching the two side surfaces 12 and 13 of the test tray which are perpendicular to the moving direction. Since they are moved by the same thrust, the test tray 11 is arranged in the center between both side positioning arms 21 and is not biased to either side.

【0010】 センタ位置決めピン23は、テストトレイ11の移動方向に対し直角方向に伸 びて行き、テストトレイ11側面14に明けられたセンタ位置穴26に挿入され る。先端の円錐型形状24はテストトレイ11の停止位置が多少ずれていても、 確実にセンタ位置穴26を捉えられる働きがある。同時にピンが深く入り込むに つれて円錐型形状24の直径は序序に大きくなるので、センタ位置穴26はそれ に納まろうとして微動しテストトレイ11の多少の位置ずれを補正する働きもあ る。ピン23の中央部分は円柱をなし、そこまで挿入されたとき、テストトレイ 11の移動方向に対して、正確に位置決めをする。次にセンタ位置決めピン23 の突起25がテストトレイ側面14に突き当たり、一定距離押しやることにより 、トレイの移動方向に対し直角方向の位置決めを行う。The center positioning pin 23 extends in a direction perpendicular to the moving direction of the test tray 11 and is inserted into a center position hole 26 formed in the side surface 14 of the test tray 11. The conical shape 24 at the tip has a function of reliably catching the center position hole 26 even if the stop position of the test tray 11 is slightly displaced. At the same time, since the diameter of the conical shape 24 gradually increases as the pin goes deeper, the center position hole 26 also moves slightly to try to fit in the center position hole 26 and also has a function of correcting a slight displacement of the test tray 11. . The central portion of the pin 23 forms a cylinder, and when it is inserted there, it accurately positions with respect to the moving direction of the test tray 11. Next, the protrusion 25 of the center positioning pin 23 abuts on the side surface 14 of the test tray and pushes it by a predetermined distance to perform positioning in a direction perpendicular to the moving direction of the tray.

【0011】 (請求項2について) サイド位置決めシャフト22は、移動方向とは直角方向へ伸びて行き、2つのサ イド位置決めシャフト22でテストトレイ11の2側面12,13を押さえるこ とにより、移動軸方向の位置決めを行う。先端のローラ31はテストトレイ側面 12,13を回転することによりサイド位置決めシャフト22を滑らかに移動さ せる働きをする。更にローラ31の中心部をフローリング状態、且つバネ性を持 たせることにより、テストトレイ11の停止位置の多少の位置ずれに対応して挟 み込むことを可能とする。(Claim 2) The side positioning shaft 22 extends in a direction perpendicular to the moving direction, and is moved by pressing the two side surfaces 12 and 13 of the test tray 11 with the two side positioning shafts 22. Position in the axial direction. The roller 31 at the tip serves to smoothly move the side positioning shaft 22 by rotating the side surfaces 12 and 13 of the test tray. Further, by making the center portion of the roller 31 have a flooring state and having a spring property, it is possible to sandwich the test tray 11 in correspondence with a slight displacement of the stop position of the test tray 11.

【0012】 (請求項3について) テストトレイ11のセンタ位置決めピン23側の側面14の中央に明けられた センタ位置穴26は、センタ位置決めピン23と組み合わされたときに、テスト トレイ移動軸方向の基準位置決定する働きをする。(Claim 3) The center position hole 26 formed at the center of the side surface 14 of the test tray 11 on the side of the center positioning pin 23 is formed in the center of the side surface 14 of the test tray 11. Functions to determine the reference position.

【0013】[0013]

【実施例】【Example】

請求項1と請求項3の実施例を図1を用いて説明する。サイド位置決めアーム 21はL字型形状をなす。排出部、供給部との停止箇所で、テストトレイ移動方 向の1側面14幅にほぼ等しい距離に配置された2つのロータリー・アクチュエ イタ27のシャフトに固定する。これにより2つのサイド位置決めアーム21a ,bは、位置41,42から位置43,44間を回転動作しながら往復運動する 。センタ位置決めピン23は、サイド位置決めアーム21とはテストトレイ11 をはさんだ反対側に位置し、2つのサイド位置決めアーム21間距離の中央位置 に固定する。センタ位置決めピン23はテストトレイ11の移動方向とは直角方 向に直線的往復運動する。更にセンタ位置決めピン23の先端は円錐型形状24 をなし、且つ中央よりには突起25を持たせる。 Embodiments of claims 1 and 3 will be described with reference to FIG. The side positioning arm 21 is L-shaped. It is fixed to the shafts of two rotary actuators 27, which are arranged at a distance almost equal to the width of one side surface 14 in the moving direction of the test tray at the stop points of the discharge section and the supply section. As a result, the two side positioning arms 21a and 21b reciprocate while rotating between the positions 41 and 42 to the positions 43 and 44. The center positioning pin 23 is located on the opposite side of the side positioning arm 21 with respect to the test tray 11, and is fixed at the center position of the distance between the two side positioning arms 21. The center positioning pin 23 linearly reciprocates in a direction perpendicular to the moving direction of the test tray 11. Further, the tip of the center positioning pin 23 has a conical shape 24 and has a protrusion 25 from the center.

【0014】 初めにサイド位置決めアーム21aは、すでにロータリー・アクチュエイタ2 7aが動作して、位置41から回転して位置43まできて停止している。恒温室 に置かれたテストトレイ11は図には示していないがモーターにより回転する2 本のベルト・コンベアに載せられて排出部或いは供給部まで搬送される。サイド 位置決めアーム21aに突き当たり、在荷センサ28でテストトレイ11の存在 が確認されると、モーターはその動作を停止する。次にロータリー・アクチュエ イタ27bが動作しサイド位置決めアーム21bは、位置42から回転しながら 位置44まで移動する。この時ロータリー・アクチュエイタ27a,27bは同 じ推力で動作しているので、テストトレイ11の移動方向に直角な2側面12, 13には同じ力が働き均衡し、一方から押され過ぎることなく中央に位置する。Initially, the side positioning arm 21a has already rotated from the position 41 to the position 43 and is stopped by the operation of the rotary actuator 27a. Although not shown in the figure, the test tray 11 placed in the temperature-controlled room is placed on two belt conveyors rotated by a motor and conveyed to the discharge section or the supply section. When the load sensor 28 confirms the presence of the test tray 11 against the side positioning arm 21a, the motor stops its operation. Next, the rotary actuator 27b operates and the side positioning arm 21b moves from the position 42 to the position 44 while rotating. At this time, since the rotary actuators 27a and 27b operate with the same thrust, the same force acts on the two side surfaces 12 and 13 perpendicular to the moving direction of the test tray 11 and balances them, without being pushed too much from one side. Located in the center.

【0015】 次にエア・シリンダ29aが動作し、センタ位置決めピン23がテストトレイ 11側に押し出される。テストトレイ11の側面14中央には、センタ位置穴2 6が明いており、センタ位置決めピン23はこの穴に入っていく。センタ位置決 めピン23の先端は円錐型形状24をなしているので、センタ位置穴26が多少 ずれていても、支障無く挿入される。多少のずれがある場合は円錐型形状24部 分が挿入されるにつれてテストトレイ11の微小な位置の補正がなされる。ピン の円錐型形状24部分が過ぎて円柱部分が挿入される段階になると、センタ位置 穴26の直径と円柱部分直径とは合致するので、ここでセンタ位置が決定される 。Next, the air cylinder 29a operates, and the center positioning pin 23 is pushed out to the test tray 11 side. A center position hole 26 is formed in the center of the side surface 14 of the test tray 11, and the center positioning pin 23 enters the hole. Since the tip of the center position determining pin 23 has a conical shape 24, even if the center position hole 26 is slightly displaced, it can be inserted without trouble. When there is some deviation, the minute position of the test tray 11 is corrected as the conical shape 24 parts is inserted. When the cylindrical portion is inserted past the conical shape portion 24 of the pin, the diameter of the center position hole 26 and the diameter of the cylindrical portion match, so that the center position is determined here.

【0016】 次にセンタ位置決めピン23に設けた突起25部分がテストトレイ側面14に 当たり、テストトレイ11をサイド位置決めアーム側にあるベアリング30に突 き当たるまで押し込む。これにより、移動方向の直角方向に対する位置が決定さ れる。以上のようにしてテストトレイ11の側面14中央にあるセンタ位置穴2 6を中心にして、位置決めされた状態を図2に示す。Next, the protrusion 25 provided on the center positioning pin 23 contacts the side surface 14 of the test tray and pushes the test tray 11 until it abuts on the bearing 30 on the side of the side positioning arm. As a result, the position with respect to the direction perpendicular to the moving direction is determined. FIG. 2 shows a state in which the test tray 11 is positioned about the center position hole 26 at the center of the side surface 14 of the test tray 11 as described above.

【0017】 請求項2の実施例を図3,図4とを用いて説明する。サイド位置決めシャフト 22a,bは、排出部、供給部との停止箇所で、テストトレイ移動方向の1側面 14幅にほぼ等しい距離に配置された2つのエア・シリンダ29b,cのシャフ トに固定する。更にその先端には、回転動作可能にしたローラ31a,bを取付 る。ローラ31は回転動作可能に取付ると同時に、その中心はフローティング状 態であり、且つ、取付軸32に対しバネ33性機構を有した構造とする。フロー ティング状態で有り、且つ、バネ33性を有するとは、外部からローラ31に対 し力が作用したとき、ローラ31はその中心からずれるが、すぐに取付軸32に 対し中心を保てる様に復元力を持っているという意味である。An embodiment of claim 2 will be described with reference to FIGS. 3 and 4. The side positioning shafts 22a and 22b are fixed to the shafts of the two air cylinders 29b and 29c, which are arranged at a stop position between the discharge unit and the supply unit and are arranged at a distance approximately equal to the width of one side surface 14 in the test tray moving direction. . Furthermore, rollers 31a and 31b which can be rotated are attached to the tip thereof. The roller 31 is rotatably mounted, and at the same time, the center of the roller 31 is in a floating state and the mounting shaft 32 has a spring 33 mechanism. Floating state and spring 33 property means that when a force is applied to the roller 31 from the outside, the roller 31 deviates from the center, but the center can be immediately kept on the mounting shaft 32. It means having resilience.

【0018】 初めにサイド位置決めシャフト22bは、すでにエア・シリンダ29bが動作 して、位置45から延びて位置47で停止させてある。恒温室に置かれたテスト トレイ11は図には示していないがモーターにより回転する2本のベルト・コン ベアに載せられて排出部或いは供給部まで搬送される。サイド位置決めシャフト 22bに突き当たり、在荷センサ28でテストトレイ11の存在を確認されると 、モーターはその動作を停止する。次にエア・シリンダ29cが動作しサイド位 置決めシャフト22cは、位置46から位置48まで伸び出る。Initially, the side positioning shaft 22b has already extended from position 45 and stopped at position 47 with the air cylinder 29b operating. Although not shown in the figure, the test tray 11 placed in the temperature-controlled room is mounted on two belt conveyors rotated by a motor and conveyed to the discharge section or the supply section. When the load sensor 28 confirms the presence of the test tray 11 against the side positioning shaft 22b, the motor stops its operation. The air cylinder 29c is then activated and the side positioning shaft 22c extends from position 46 to position 48.

【0019】 テストトレイ11が正常位置に停止していれば、サイド位置決めシャフト22 cはそのまま伸び出て行くが、停止位置がサイド位置決めシャフト22c側にず れていると、先端のローラ31は一度テストトレイの側面13に当たるが、フロ ーティング状態且つバネ性を持たしてあるので、最初はその中心をずらしながら 、しかし次第にバネ性の復元力の働きで、それ以上はずれないで、テストトレイ の側面13を回転しながら伸びていき停止する。このようにして、サイド位置決 めシャフト22b,cの2本でテストトレイ11を挟み込む。センタ位置決めピ ン23の動作は、先に説明したのと同じである。If the test tray 11 is stopped at the normal position, the side positioning shaft 22c is extended as it is, but if the stop position is shifted to the side positioning shaft 22c side, the roller 31 at the leading end is once moved. Although it hits the side surface 13 of the test tray, it floats and has a spring property, so at first it shifts its center, but gradually due to the restoring force of the spring property, it does not disengage any further and the side surface of the test tray While rotating 13, it extends and stops. In this way, the test tray 11 is sandwiched between the two side positioning shafts 22b and 22c. The operation of the center positioning pin 23 is the same as that described above.

【0020】[0020]

【考案の効果】[Effect of device]

本考案は、以上説明したように構成されるので、以下に記載されるような効果 を奏する。テバイスを高低温の雰囲気下で試験したときは、テストトレイも同じ く高低温の雰囲気下にあり、金属で作られたテストトレイは、熱変形により膨張 、収縮するため、寸法変化が顕著に現れる。このとき充分に常温に戻す時間的余 裕がない場合がある。このようなときに、ピック・プレイスにてデバイスの排出 或いは供給を行わねばならないとき、テストトレイの中央を位置決めするので、 その両端でも、その寸法変化は従来の技術の1/2以下に押さえることができた 。従って、寸法変化による位置ずれで、デバイスの吸着を失敗することなく、常 に正確に排出、供給できる。 Since the present invention is configured as described above, it has the following effects. When the tevice is tested in a high and low temperature atmosphere, the test tray is also in the same high and low temperature atmosphere, and the test tray made of metal expands and contracts due to thermal deformation, resulting in significant dimensional changes. . At this time, there may not be enough time to return to normal temperature. In such a case, when the device must be ejected or supplied at the pick place, the center of the test tray is positioned, so that the dimensional change at both ends should be suppressed to less than half of the conventional technology. I was able to. Therefore, it is possible to always accurately discharge and supply the device without failing to attract the device due to the displacement due to the dimensional change.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】実施例1を示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing a first embodiment.

【図2】実施例1で動作完了時を示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing the completion of operation in the first embodiment.

【図3】実施例2を示す平面図である。FIG. 3 is a plan view showing a second embodiment.

【図4】ローラの細部を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing details of a roller.

【図5】従来の技術を示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing a conventional technique.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 テストトレイ 12 側面 13 側面 14 側面 15 キャリア・モジュール 16,16a デバイス 17 モーター 18 ベルト・コンベア 19 位置決めピン 21,21a,21b サイド位置決めアーム 22,22a,22b サイド位置決めシャフト 23 センタ位置決めピン 24 円錐型形状 25 突起 26 センタ位置穴 27,27a,27b ロータリー・アクチュエイタ 28 在荷センサ 29,29a,29b,29c エア・シリンダ 30 ベアリング 31,31a,31b ローラ 32 取付軸 33 バネ 41,42,43,44,45,46,47,48 位
11 Test Tray 12 Side 13 Side 14 Side 15 Carrier Module 16, 16a Device 17 Motor 18 Belt Conveyor 19 Positioning Pins 21, 21a, 21b Side Positioning Arm 22, 22a, 22b Side Positioning Shaft 23 Center Positioning Pin 24 Conical Shape 25 Protrusion 26 Center Position Hole 27, 27a, 27b Rotary Actuator 28 Load Sensor 29, 29a, 29b, 29c Air Cylinder 30 Bearing 31, 31a, 31b Roller 32 Mounting Shaft 33 Spring 41, 42, 43, 44, 45,46,47,48 positions

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/68 G ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Internal reference number FI Technical indication H01L 21/68 G

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】 ICテストハンドラのデバイス排出部、
供給部でテストトレイの位置決めをする機構において、 排出部と供給部とでテストトレイ(11)が停止する箇
所各々に、線対称で回転動作可能に保持した2つのサイ
ド位置決めアーム(21)と、 2つのサイド位置決めアーム(21)間距離の中央位置
に据え付けた直線的往復運動するセンタ位置決めピン
(23)と、 該センタ位置決めピン(23)に設けた円錐型形状(2
4)と突起(25)と、を具備することを特徴とするテ
ストトレイ位置決め機構。
1. A device discharge part of an IC test handler,
In the mechanism for positioning the test tray by the supply unit, two side positioning arms (21) held rotatably in line symmetry at each position where the test tray (11) stops between the discharge unit and the supply unit, A linear reciprocating center locating pin (23) installed at a central position between the two side locating arms (21) and a conical shape (2) provided on the center locating pin (23).
4) A test tray positioning mechanism comprising: a protrusion (25).
【請求項2】 請求項1記載のサイド位置決めアームに
おいて、 2つのサイド位置決めアーム(21)に代えて、直線的
往復運動するシャフト(22)と、 該シャフト(22)先端には回転動作可能にローラ(3
1)を保持し、 該ローラの中心部はフローティング状態とし、且つバネ
(33)を保有した2つのサイド位置決めシャフト(2
2)からなるテストトレイ位置決め機構。
2. The side positioning arm according to claim 1, wherein, instead of the two side positioning arms (21), a linear reciprocating shaft (22) and a distal end of the shaft (22) are rotatable. Laura (3
1), the central part of the roller is in a floating state, and two side positioning shafts (2) having springs (33) are held.
A test tray positioning mechanism consisting of 2).
【請求項3】 デバイスを収納、搬送するテストトレイ
において、 テストトレイ(11)のセンタ位置決めピン(23)側
の側面の中央に、センタ位置決めピン(23)と相合致
するセンタ位置穴(26)を具備することを特徴とする
テストトレイ。
3. A test tray for accommodating and transporting a device, wherein a center position hole (26) matching the center positioning pin (23) is formed at the center of the side surface of the test tray (11) on the side of the center positioning pin (23). A test tray comprising:
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