JPH07288200A - 高周波アンジュレータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 短波長の円偏光又は楕円偏光高周波アンジュ
レータを得ることを目的とする。 【構成】 高周波アンジュレータ１１のアンテナポート
１２ａからロッドアンテナで共振したモードの電磁界は
電子を垂直面内で蛇行させ、アンテナポート１２ｂから
ロッドアンテナで共振したモードの電磁界は電子を水平
面内で蛇行させる。次に上記アンテナポート１２ａ，１
２ｂから同一周波数の高周波エネルギーを位相を９０度
ずらして入力して位相が９０度ずれたモードの電磁界を
励振する。この時、電子ビームが軸上を通過すると、電
子はらせん軌道を描きながら進行する。従って、短波長
の楕円偏光アンジュレータ光を得ることができる。ま
た、２つのロッドアンテナ１２ａ，１２ｂから同じ強度
の高周波エネルギーを入力すれば円偏光アンジュレータ
光が得ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、放射光を利用する加速
器に設置されるアンジュレータに係り、特に、高周波空
洞による高周波電磁界を用いて電子を蛇行させ、発生す
る放射光を干渉させてアンジュレータ光を発生させる高
周波アンジュレータに関する。

【０００２】

【従来の技術】高エネルギー状態の電子が円運動や振動
をするとき種々の電磁波を放射することが知られてお
り、その放射の一つにシンクロトロン放射がある。この
シンクロトロン放射は、数億電子ボルト（数百Ｍｅｖ）
以上の光エネルギー状態に加速されて真空中をほぼ光速
で運動する電子が、偏向磁場によりその軌道が曲げられ
ると、その軌道の接線方向に放射光と呼ばれる光が放射
される現象である。

【０００３】このシンクロトロン放射による放射光は、
波長が数オングストロームから数千オングストロームま
での連続光であり、この放射光を積分した放射パワーは
極めて大きい。

【０００４】しかし、使用する波長以外の光は被照射体
に損傷を与えてしまうので、狭い波長範囲を選択して使
いたいという要求がある。この要求に答えるために波長
に選択性を持たせると、今度は放射光の強度が低下し、
高輝度な光源とならない。

【０００５】そこで、この波長選択性、高輝度化の要求
を満足させるために、挿入型光源の一つであるアンジュ
レータによるアンジュレータ放射が研究され使用されて
いる。

【０００６】アンジュレータは周期的磁場発生装置であ
り、アンジュレータ中に電子を入射して蛇行運動を行な
わせ各蛇行毎に放射される放射光を干渉させることによ
って、偏光性を有する高輝度な放射光を発生させること
ができる。

【０００７】通常、アンジュレータの周期磁場は、永久
磁石の周期的な配列を電子ビームの通過部を挟み込むよ
うに配置して得ている。永久磁石を用いた従来のアンジ
ュレータの永久磁石の配列を図７に示す。

【０００８】同図において、１−１〜１−ｍ，２−１〜
２−ｍは永久磁石であり、その磁化方向は矢印で示され
ている。ビームの通過部を挟むように上下に設けられた
周期的な永久磁石の配列は、上下ともに、９０°ずつ磁
化方向の異なる永久磁石１−１〜１−４及び２−１〜２
−４の４組で１周期をなしている。

【０００９】同図に示すような永久磁石の磁化方向を用
いることによって、ビーム通過部に周期磁場を形成する
ことができる。この周期磁場は、永久磁石の残留磁化に
限界があるため、各周期のピーク磁場強度はおよそ数百
ガウス〜数キロガウス程度が限界であり、また周期長は
４つの永久磁石の大きさであるから４〜５ｃｍ程度が限
界で、それより小さくすることは難しい。

【００１０】同図に示されたアンジュレータの場合、周
期磁場の分布は、λを磁場の周期長、Ｂ0yを周期磁場の
ピーク値として、 Ｂy ＝Ｂ0yｓｉｎ（２πｚ／λ） …（１） と表すことができる。

【００１１】アンジュレータ放射の特性を示す量として
Ｋパラメータと呼ばれるものがある。これは放射光の特
性を示す量であり、以下の式で定義される。 Ｋ〜９３．４×λ（ｍ）・Ｂ（Ｔ） …（２） アンジュレータ放射は、このＫパラメータの値が１以下
の時に発生する。

【００１２】同図に示したアンジュレータの場合、ビー
ムの蛇行運動は、磁場に垂直な（図７においては水平方
向の）面内でのみ行なわれる。この時のアンジュレータ
放射光の波長λn （ｎは高調波光の次数）は、次式のよ
うになる。

【００１３】

【数１】 ここでγは電子の比エネルギー、θは電子ビーム軌道面
となす角である。この式より、Ｋの値、すなわち磁界Ｂ
が大きくなるほどアンジュレータ光の波長は長くなり、
磁場周期を短くするほど波長は短くなる。

【００１４】また、アンジュレータ光の強度はθ＝０で
最大であり、軌道面と角度を持つ方向の輝度は急激に減
少する。すなわち、ビームの軌道面内にのみ発生するこ
とになる。これが直線偏光アンジュレータ光である。

【００１５】一方、周期磁場を垂直方向だけでなく、同
周期の水平方向の周期磁場と組み合わせることにより、
強い円偏光または楕円偏光アンジュレータ光を通る円偏
光または楕円偏光アンジュレータと呼ばれるものもあ
る。

【００１６】楕円偏光アンジュレータの一例を図８に示
す。同図に示すように、楕円偏光アンジュレータは水平
方向と垂直方向の磁場の一方を永久磁石３−１〜３−ｍ
又は永久磁石４−１〜４−ｍに対して半分だけずらして
あることが特徴である。この場合の、楕円偏光アンジュ
レータの周期磁場は以下の式で示される。

【００１７】

【数２】 この周期磁場において、電子ビームはらせん軌道を描き
ながら進行し、この軌道のｘｙ平面の投影は、ｘ方向の
径とｙ方向の径の比がＢ0y：Ｂ0xの楕円となり、楕円偏
光アンジュレータ光が得られる。

【００１８】ここで、両方向の周期磁場のピーク値が等
しい時、すなわち、Ｂ0x＝Ｂ0yの時には円偏光アンジュ
レータ光となる。また、図７に示す直線偏光アンジュレ
ータは、Ｂ0xまたはＢ0yの値が「０」の場合に相当す
る。

【００１９】アンジュレータとしては、上記のような永
久磁石を用いたもの以外に、高周波空洞により発生する
高周波の電磁界を用いる高周波アンジュレータと呼ばれ
るものがある。

【００２０】この高周波アンジュレータの例としては、
例えば文献“Microwave Undulator”（Proccedings of
the 7th Meeting on Linear Accelerators,1982,P.84
〜86）に示されている。

【００２１】上記文献に示された高周波アンジュレータ
を図９に示す。この高周波アンジュレータは、一種の高
周波空洞であり、高周波電源から供給される高周波エネ
ルギーにより電磁界のモードを立て、横方向に周期的に
作用する力を与えてビームを蛇行させ、アンジュレータ
光を発生する。

【００２２】図９に示す高周波アンジュレータは、断面
形状が長方形に電極を備えた、リッジ型と呼ばれるもの
であり、図示していない高周波電源から、高周波パワー
が結合孔５を介して高周波アンジュレータ６に供給され
る。

【００２３】ビームを蛇行させるための電磁界のモード
としては、通常、方形導波管のＴＥ10N モードと呼ばれ
るものを用いる。このモードは電子ビームが通過する軸
上に、電界と磁界がともに存在するモードである。この
モードにおける電磁界分布を図１０に示す。尚、この図
１０は図９と同様に上記文献より引用したものである。

【００２４】同図において、６は高周波アンジュレータ
本体、７は電子ビームの軌道、８は電気力線、９は磁力
線を示している。このモードにおけるの軸上の電磁界
は、

【００２５】

【数３】 と表わされる。

【００２６】ここで、Ｅ0y，Ｂ0xは、電界８及び磁界９
のピーク値であり、λg は管内波長と呼ばれ、このモー
ドの場合、高周波アンジュレータの長さをＬとして、 λg ＝２Ｌ／Ｎ …（７） で表わされる。

【００２７】ここで、Ｎはビーム通過方向に存在する電
磁分布のピークの数を示している。この式より、電界は
ｘ方向成分、磁界はｙ方向成分のみを持つことが明らか
であり、この双方が電子ビームを垂直方向に作用するこ
とがわかる。

【００２８】さらにこの電磁界は周期λg を持つことが
示される。ところが、この高周波電磁界は時間的に変化
する。すなわち電子ビームが通過する際の時間の経過に
ともなって高周波の位相が変化し、実際に電子ビームに
作用する電磁界は、位置的な分布と時間的な変化の合成
となる。

【００２９】上記文献によれば、電磁界の位置的な周期
λg をこのモードの共振周波数に対する波長λに近くな
るように設計することにより、通過する電子ビームが受
ける電磁力が周期的になることが知られている。

【００３０】この時、電子ビームは、図１０の７で示さ
れる電子ビーム軌道の如く従来の永久磁石を用いた直線
偏光アンジュレータと同様に垂直面（ｙｚ平面）内を蛇
行運動してアンジュレータ光を発生する。これが高周波
アンジュレータの原理である。この際の等価電磁界周期
長λeqは、

【００３１】

【数４】 して与えられる。

【００３２】高周波アンジュレータのビームを蛇行させ
る共振モードの共振周波数を高くすれば、λが小さくな
り、またλg もλと近くなるように定められるため、必
然的にλeqの値も小さくなり、電磁場の周期長は短くな
り、従来の永久磁石を用いたアンジュレータよりも一層
短周期のビーム軌道の蛇行を行なわせることが可能であ
る。

【００３３】

【発明が解決しようとする課題】従来の永久磁石を用い
たアンジュレータにおいては、円偏光または楕円偏光構
造は可能であるが、磁場の周期が永久磁石の大きさによ
って制約され、４〜５ｃｍより小さくすることは困難で
あり短波長の円偏光または楕円偏光アンジュレータ光を
得ることは難しい。

【００３４】一方、高周波アンジュレータは、短波長化
の可能性はあるが、円偏光または楕円偏光構造とするこ
とはできなかった。本発明は上記実情に鑑みてなされた
ものであり、等価的電磁界周期がさらに小さい、すなわ
ち短波長の円偏光または楕円偏光高周波アンジュレータ
を提供することを目的とする。

【００３５】

【課題を解決するための手段】本発明は、 （１） 高周波空洞による高周波電磁界を用いてアンジ
ュレータ光を発生させる高周波アンジュレータにおい
て、前記高周波空洞を前記電子が通過する軸と垂直な面
の形状が９０度回転対称な高周波空洞で構成し、この高
周波空洞内の電子が通過する軸上にこの軸と垂直方向の
電界または磁界もしくは電界及び磁界であって且つ、共
振周波数が同一で前記電磁界分布が互いに９０度回転対
称な２つの共振モードの電磁界を発生するための電磁界
発生手段と、前記電磁界発生手段により発生した前記２
つの共振モードの電磁界を任意の時間位相差で励振して
前記高周波空洞内を通過する電子を蛇行させる励振手段
と、この励振手段によって蛇行させられた電子から発生
する放射光を干渉させてアンジュレータ光を得る手段と
を具備したことを特徴とする。 （２） 上記（１）項において前記励振手段は前記２つ
の共振モードの電磁界を９０度の時間位相差で励振する
ことを特徴とする。

【００３６】

【作用】円筒型又はビームが通過する軸と垂直な面の形
状が９０度回転対称な高周波空洞に電子が入射される
と、電子はその進行方向と直交する水平方向に電磁力を
受けるモードと、垂直方向に電磁力を受けるモードとい
うような、９０度回転対称な電磁界分布をもつ２つのモ
ードによって蛇行させられる。

【００３７】そして、これら２つのモードの電磁界の時
間位相をずらして励振を行なうことによって電子が電磁
界から受ける電磁力は互いに直交する２つの方向に対し
て同周期で位相がずれたものとなり、その結果、円偏光
又は楕円偏光のアンジュレータ光を得ることができる。

【００３８】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の第１実施例に
係るアンジュレータについて説明する。同実施例に係る
断面形状が円形の高周波アンジュレータの構成を図１に
示す。

【００３９】同図において、１１は円筒型高周波空洞の
高周波アンジュレータ本体、１２ａ，１２ｂは高周波エ
ネルギーを高周波アンジュレータ本体１１に導くための
アンテナポートであり、この軸は互いに直角をなしてい
る。

【００４０】そして、このアンテナポート１２ａ，１２
ｂは、同図に示されていない導波管や真空窓の伝送系を
介して、図示されていない高周波電源に接続されてい
る。１３ａ，１３ｂは、高周波アンジュレータの共振周
波数を調整するためのチューナ用のポートであり、１４
はビームポートである。

【００４１】本発明に係る高周波アンジュレータの断面
図、側面図、電磁界分布を図２に示す。同図における側
面図及び断面図は図１の高周波アンジュレータ本体１１
の側面図及び断面図を示しており、側面図は図１のＡ−
Ｂ断面図を表わしている。

【００４２】本発明に係る第１の実施例では、電子を蛇
行させるために使用する共振モードとして、円筒型高周
波空洞のＴＥ11N モードと呼ばれるものを使用してい
る。しかし、このことによって高次のモードであって
も、軸上に、電子の横方向に作用する電磁界が存在する
モード、例えばＴＭ1 1Nモード等を用いてもさしつかえ
ない。

【００４３】ＴＥ11N の「Ｎ」は、軸方向に存在する磁
界の節の個数を示している。この「Ｎ」の値をいくつに
定めるかは、必要なビーム軌道の蛇行の数や周期、高周
波電源の周波数等により異なるが、本発明に係る実施例
ではＮ＝７として説明する。

【００４４】同図において、１５は電気力線、１６は磁
力線を示しており、円筒型高周波空洞のＴＥ117 モード
の電磁界分布は、軸上において電界（破線）１５と磁界
（実線）１６は直交している。そして、この電界（破
線）１５と磁界（実線）１６が共に通過する電子を同一
面（電気力線と平行、磁力線と垂直で軸を含む平面）内
で横方向に周期的に作用し蛇行させる。

【００４５】次に、このモードを電気的に結合するロッ
ドアンテナで励振するためのアンテナの位置について図
２及び図３を用いて説明する。ロッドアンテナの周辺の
電気力線の様子を示す断面図を図３に示す。

【００４６】同図に示すように、ロッドアンテナ１７は
同軸の内導体を伸ばしたような形をしており、この周辺
における電気力線は電界（破線）１５で示したような形
になる。

【００４７】従って、ロッドアンテナ１７を挿入する位
置において共振モードの電界は強くなる。このことか
ら、図２に示すような電磁界分布を持つモードを励振す
るためには、高周波アンジュレータ１１の軸に対して垂
直かつ横側に設けられたアンテナポート１２ｂからロッ
ドアンテナ１７を挿入すればよい。

【００４８】一方、高周波アンジュレータ１１の軸に対
して垂直かつ上側のアンテナポート１２ａからロッドア
ンテナ１７を挿入して同一の周波数を持つ高周波エネル
ギーを入力した場合には、図２に示した電磁界とは９０
度回転対称な、上側のアンテナポート１２ａ近傍におい
て電界の強い電磁界分布となる。

【００４９】上記２つのモードの共振周波数が等しくな
るのは、空洞の断面が円形で９０度回転対称であるため
である。制作上の誤差等により空洞の内壁面形状が９０
度対称から少しずれた場合には、図１に示すチューナポ
ート１３ａ，１３ｂから、円筒形等の形状の金属である
チューナを挿入したり引き出したりすることにより、共
振周波数を変化させて調整を行なう。

【００５０】チューナは、挿入部近傍の磁場を検出して
共振周波数を変化させるため、取付位置は、周期電磁界
のモードで磁界の腹となる位置でなければならず、さら
に２つのチューナポートの位置関係は９０度回転対称で
なければならない。

【００５１】これらの位置に設けたチューナポートの位
置は、２つの共振モードのうちのどちらか一方の磁場の
腹でもう一方の磁場の節になっているため、１つのチュ
ーナはどちらか一方の共振モードの周波数のみを変化さ
せ、もう一方には影響を与えない。従って、個々のモー
ドの共振周波数を独立に調整することができる。

【００５２】図１においては、チューナポートの数は各
モードに対応して２つずつの合計４個として構成されて
いるが、この個数は一例であって、各モードに対応して
２台ずつ、または任意の台数ずつあってもさしつかえな
い。

【００５３】これら２つのモードの電磁界分布は９０度
回転対称であるから、軸上を通過する電子に対して作用
する方向もまた９０度異なっている。すなわち、高周波
アンジュレータ１１の軸に対して垂直かつ上側に設置さ
れているアンテナポート１２ａからロッドアンテナ１７
で共振したモードの電磁界は電子を垂直面内に蛇行さ
せ、高周波アンジュレータ１１の軸に対して垂直かつ横
側に設置されているアンテナポート１２ｂからロッドア
ンテナ１７で励振したモードの電磁界は電子を水平面内
に蛇行させる。

【００５４】次に、上記２つのアンテナポート１２ａ，
１２ｂから、同じ周波数の高周波エネルギーを、位相を
９０度ずらして入力し、位相が９０度ずれたモードの電
磁界を励振する。

【００５５】この時、水平方向と垂直方向の電磁界分布
の変化はそれぞれｓｉｎ及びｃｏｓの時間依存性を持つ
ことになり、この状態で電子ビームが軸上を通過する
と、電子ビームが受ける電磁力は、（４）式に示す楕円
偏光アンジュレータの周期磁場と同様になり、電子はら
せん軌道を描きながら進行する。従って、強い楕円偏光
アンジュレータ光が得られる。

【００５６】また、２つのロッドアンテナ１２ａ，１２
ｂから同じ強度の高周波エネルギーを入力すれば円偏光
アンジュレータ光が得られ、さらにどちらか一方のアン
テナのみから高周波エネルギーを入力すれば直線偏光ア
ンジュレータ光が得られる。

【００５７】双方のアンテナへの入力高周波エネルギー
調整する機能を備えた高周波アンジュレータの電源系及
び伝送系を図４に示す。同図において、２１は高周波発
振器、２２は高周波発振器２１から発振された高周波信
号のうち２つに分波された高周波信号の一方の信号の位
相を調整するための位相調整器、２３ａ及び２３ｂは高
周波発振器２１からの高周波信号を減衰するための減衰
器、２４ａ，２４ｂは減衰器２３ａ，２３ｂによって減
水された高周波信号を増幅するための高周波増幅器であ
る。そして、この高周波増幅器２４ａ，２４ｂは高周波
アンジュレータ本体２６のアンテナポート２５ａ，２５
ｂに接続されている。

【００５８】次に、同図を参照して動作を説明する。高
周波発振器２１より発振された高周波信号は２つに分波
され、分波された高周波信号のうち、一方は位相調整器
２２を介して可変減衰器２３ａに供給される。この位相
調整器２２ではアンテナに送られる高周波信号の位相差
が９０度になるように調整が行なわれる。

【００５９】分波された高周波信号のうち、他方は可変
減衰器２３ｂに供給される。そして、高周波増幅器２４
ａ，２４ｂに供給される高周波信号を可変減衰器２３
ａ，２３ｂで調整することによって、楕円偏光のみでは
なく円偏光や直線偏光のアンジュレータ光を得ることが
できる。

【００６０】従って、本発明に係る高周波アンジュレー
タを用いることによって、より短波長の円偏光または楕
円偏光アンジュレータ光を得られるばかりでなく、可変
減衰器２３ａ，２３ｂを調整するだけで周期磁場のピー
ク値を可変にすることができる。

【００６１】更に、２つのアンテナから位相を９０度ず
らして入力を行なうことによって円偏光または楕円偏光
アンジュレータとしたり、一方のアンテナから高周波の
入力を行なわなければ従来の直線偏光アンジュレータ光
を得ることができる。

【００６２】高周波アンジュレータは、周期磁場の周期
を、従来の永久磁石を用いたタイプと比較して相当短く
することができるため、従来よりもはるかに短周期の円
偏光ないし楕円偏光アンジュレータ光を得ることができ
る。

【００６３】次に、本発明に係るアンジュレータの第２
実施例について説明する。本発明の第１実施例において
は、高周波アンジュレータの断面形状を円形としたが、
円形でなくても９０度回転対称性を有していれば同様の
効果を得ることができる。

【００６４】本発明の第２の実施例として、図５に示す
ような正方形断面のものや、図６に示すような正方形断
面にリッジが四辺より突き出たような形状でも構わな
い。これらの高周波アンジュレータは方形空洞（及びそ
の変形）であるから、電子を蛇行させるために用いるモ
ードはＴＥ10N のようなモードとなる。

【００６５】また、本発明の実施例においては電気的に
結合するアンテナとしてロッドアンテナを用いたが、磁
気的に結合するループアンテナを用いることも可能であ
る。更に第１の実施例においては、同じ共振周波数を有
し電磁界分布が９０度回転対称となる２つのモードの電
磁界を、時間位相が９０度ずれるように励振するものと
したが、時間位相の差は、９０度でなくても楕円偏光ア
ンジュレータ光を得ることができる。すなわち、２つの
モードの時間位相の差をφとすると、電子ビームの受け
る力の水平方向成分ＦX と垂直方向成分Ｆy は、

【００６６】

【数５】 で表わされる。

【００６７】ここで、ψは、ビームの高周波アンジュレ
ータ入射時の初期位相である。この時（Ｆx ，Ｆy ）の
軌跡は、φ＝０，πの時に直線となり、それ以外の時に
は楕円になる。また、Ｆ0x＝Ｆ0y、φ＝±π／２の時に
のみ（Ｆx ，Ｆy ）の軌跡は円となる。

【００６８】従って、φ＝±π／２と限定しなくても、
図４の伝送系のシステムにおいて、可変減衰器２３ａ，
２３ｂ及び位相調整器２２を調整することにより円偏光
または楕円偏光アンジュレータ光を得ることができる。

【００６９】さらに、図４に示した高周波伝送系及び伝
送系システムでは、高周波増幅器を２台使用している
が、１台の高周波増幅器のみを使用し、高周波エネルギ
ーをここで増幅した後に２つに分波し、位相差は分波後
の導波管の長さで調整するという方法を採用することも
できる。

【００７０】

【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、高
周波アンジュレータを用いて円偏光ないし楕円偏光アン
ジュレータ光を得ることができるため、従来よりもはる
かに短周期の磁場を用いて従来よりも短波長の円偏光ま
たは楕円偏光アンジュレータ光を得ることができる。ま
た、高周波電送系の可変減衰器や位相調整器を調整する
だけで容易に直線偏光、円偏光、楕円偏光アンジュレー
タ光を得ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に係る高周波アンジュレー
タの構成を示す図。

【図２】同実施例における高周波アンジュレータの断面
図、側面図及び電磁界分布を示す図。

【図３】同実施例におけるロッドアンテナの周辺の電気
力線の様子を示す断面図。

【図４】同実施例における高周波アンジュレータの電源
系及び伝送系の構成を示す図。

【図５】本発明の第２実施例に係る高周波アンジュレー
タの断面形状を示す第１の断面図。

【図６】同実施例における高周波アンジュレータの断面
形状を示す第２の断面図。

【図７】従来のアンジュレータの永久磁石の配置を示す
図。

【図８】従来の楕円偏光型アンジュレータの永久磁石の
配置を示す図。

【図９】従来の高周波アンジュレータの構成を示す図。

【図１０】従来の高周波アンジュレータ内でのビームの
蛇行軌道と電磁界分布を示す図。

【符号の説明】

１〜４…永久磁石 ５…結合孔 ６…高周波アンジュレータ ７…電子ビームの軌道 ８…電気力線 ９…磁力線 １１…高周波アンジュレータ本体 １２ａ，１２ｂ…アンテナポート １３ａ，１３ｂ…チューナポート １４…ビームポート １５…電気力線 １６…磁力線 １７…ロッドアンテナ ２１…高周波発生器 ２２…位相発生器 ２３ａ，２３ｂ…可変減衰器 ２４ａ，２４ｂ…高周波増幅器 ２５ａ，２５ｂ…アンテナポート ２６…高周波アンジュレータ本体

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 高周波空洞による高周波電磁界を用いて
   アンジュレータ光を発生させる高周波アンジュレータに
   おいて、 前記高周波空洞を前記電子が通過する軸と垂直な面の形
   状が９０度回転対称な高周波空洞で構成し、 この高周波空洞内の電子が通過する軸上にこの軸と垂直
   方向の電界または磁界もしくは電界及び磁界であって且
   つ、共振周波数が同一で前記電磁界分布が互いに９０度
   回転対称な２つの共振モードの電磁界を発生するための
   電磁界発生手段と、 前記電磁界発生手段により発生した前記２つの共振モー
   ドの電磁界を任意の時間位相差で励振して前記高周波空
   洞内を通過する電子を蛇行させる励振手段と、 この励振手段によって蛇行させられた電子から発生する
   放射光を干渉させてアンジュレータ光を得る手段とを具
   備したことを特徴とする高周波アンジュレータ。
2. 【請求項２】 前記励振手段は前記２つの共振モードの
   電磁界を９０度の時間位相差で励振することを特徴とす
   る請求項１記載の高周波アンジュレータ。