JPH07286652A - 移動機構 - Google Patents
移動機構Info
- Publication number
- JPH07286652A JPH07286652A JP7830094A JP7830094A JPH07286652A JP H07286652 A JPH07286652 A JP H07286652A JP 7830094 A JP7830094 A JP 7830094A JP 7830094 A JP7830094 A JP 7830094A JP H07286652 A JPH07286652 A JP H07286652A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ball nut
- ball
- fixed
- ball screw
- moving mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
- F16H57/00—General details of gearing
- F16H57/04—Features relating to lubrication or cooling or heating
- F16H57/048—Type of gearings to be lubricated, cooled or heated
- F16H57/0497—Screw mechanisms
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 クリーンルームで使用できる直動移動機構を
提供する。 【構成】 回転駆動するボールナット２と、前記ボール
ナット２を回転させるローター６等の回転駆動手段と、
ベース部材に固定され、前記ボールナット２と螺合する
ボールネジ１と、前記ボールナット２および前記回転駆
動手段とを内部に備え、その内部の粉塵を外部に導く手
段を有する移動テーブル１とを備える。
提供する。 【構成】 回転駆動するボールナット２と、前記ボール
ナット２を回転させるローター６等の回転駆動手段と、
ベース部材に固定され、前記ボールナット２と螺合する
ボールネジ１と、前記ボールナット２および前記回転駆
動手段とを内部に備え、その内部の粉塵を外部に導く手
段を有する移動テーブル１とを備える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルームにおい
ても使用可能なテーブル直動移動機構に関する。
ても使用可能なテーブル直動移動機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の移動機構は、例えば、実
願平１ー１５１８１号（実開平２ー１０５６３９号）の
願書に添付された明細書及び図面の内容を撮影したマイ
クロフィルムで開示されている。
願平１ー１５１８１号（実開平２ー１０５６３９号）の
願書に添付された明細書及び図面の内容を撮影したマイ
クロフィルムで開示されている。
【０００３】この従来の移動機構は、図５に示すよう
に、ガイド５が案内する方向に直動移動可能で、このガ
イド５に支持された移動テーブル１５と、この移動テー
ブル１５に固定されたハウジング１６内部に回転不能に
固着されたボールナット１７と、ベース９に固定されて
前記移動テーブル１５の直動方向には不動であるととも
にモーター１９により回転駆動し、前記ボールナット１
７と螺合するボールネジ１８と、このボールネジ１８を
回転駆動させるモーター１９とを有し、さらに、前記ハ
ウジング１６は吸引ホース１０を備える。
に、ガイド５が案内する方向に直動移動可能で、このガ
イド５に支持された移動テーブル１５と、この移動テー
ブル１５に固定されたハウジング１６内部に回転不能に
固着されたボールナット１７と、ベース９に固定されて
前記移動テーブル１５の直動方向には不動であるととも
にモーター１９により回転駆動し、前記ボールナット１
７と螺合するボールネジ１８と、このボールネジ１８を
回転駆動させるモーター１９とを有し、さらに、前記ハ
ウジング１６は吸引ホース１０を備える。
【０００４】次に、この従来の移動機構の動作について
図５を参照して説明する。
図５を参照して説明する。
【０００５】まず、モーター１９の駆動によりボールネ
ジ１８が回転駆動する。次に、ハウジング１６に回転不
能に固着された前記ボールネジ１８に螺合したボールナ
ット１７が、前記ボールネジ１８の回転駆動によりガイ
ド５が案内する方向に移動する。このボールナット１７
の移動により移動テーブル１５も同様にガイド５が案内
する方向に直動移動する。
ジ１８が回転駆動する。次に、ハウジング１６に回転不
能に固着された前記ボールネジ１８に螺合したボールナ
ット１７が、前記ボールネジ１８の回転駆動によりガイ
ド５が案内する方向に移動する。このボールナット１７
の移動により移動テーブル１５も同様にガイド５が案内
する方向に直動移動する。
【０００６】この際、前記ボールネジ１８とボールナッ
ト１７との接触部分より発生する塵埃等を前記ボールナ
ット１７をカバーする前記ハウジング１６に設けられた
吸引ホース１０により吸引することで、この塵埃等がク
リーンルーム内に飛散するのを防止する。
ト１７との接触部分より発生する塵埃等を前記ボールナ
ット１７をカバーする前記ハウジング１６に設けられた
吸引ホース１０により吸引することで、この塵埃等がク
リーンルーム内に飛散するのを防止する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】この従来の移動機構で
は、移動テーブルを直動移動させるために、ボールネジ
を高速で回転させた場合、このボールネジの全長のう
ち、ハウジングでカバーされている部分から発生する塵
埃、つまり、ボールナットとボールネジの接触部分から
発生する塵埃等の飛散を防ぐことは可能であるが、ボー
ルネジがハウジングでカバーされていない部分からこの
ボールネジに付着している潤滑油等が飛び散ることを防
ぐことができないという問題点があった。
は、移動テーブルを直動移動させるために、ボールネジ
を高速で回転させた場合、このボールネジの全長のう
ち、ハウジングでカバーされている部分から発生する塵
埃、つまり、ボールナットとボールネジの接触部分から
発生する塵埃等の飛散を防ぐことは可能であるが、ボー
ルネジがハウジングでカバーされていない部分からこの
ボールネジに付着している潤滑油等が飛び散ることを防
ぐことができないという問題点があった。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、本発明の移動機構は、回転駆動するボールナット
と、前記ボールナットを回転させる回転駆動手段と、ベ
ース部材に固定され、前記ボールナットと螺合するボー
ルネジと、前記ボールナットおよび前記回転駆動手段と
を内部に備え、その内部の粉塵を外部に導く手段を有す
る移動テーブルとを備える。
めに、本発明の移動機構は、回転駆動するボールナット
と、前記ボールナットを回転させる回転駆動手段と、ベ
ース部材に固定され、前記ボールナットと螺合するボー
ルネジと、前記ボールナットおよび前記回転駆動手段と
を内部に備え、その内部の粉塵を外部に導く手段を有す
る移動テーブルとを備える。
【０００９】また、他の解決手段として、本発明の移動
機構は、ベース部材に固定されたガイドにより案内され
て直動移動する移動テーブルと、回転駆動するボールナ
ットと、前記ボールナットを回転させる回転駆動手段
と、前記移動テーブルに固定され、前記ボールナットと
螺合するボールネジと、前記ベース部材に固定され、前
記ボールナットおよび前記回転駆動手段を内部に備える
とともに、その内部の粉塵を外部に導く手段を有するハ
ウジングとを備える。
機構は、ベース部材に固定されたガイドにより案内され
て直動移動する移動テーブルと、回転駆動するボールナ
ットと、前記ボールナットを回転させる回転駆動手段
と、前記移動テーブルに固定され、前記ボールナットと
螺合するボールネジと、前記ベース部材に固定され、前
記ボールナットおよび前記回転駆動手段を内部に備える
とともに、その内部の粉塵を外部に導く手段を有するハ
ウジングとを備える。
【００１０】
【実施例】次に、本発明の移動機構の第一の実施例につ
いて図面を参照して詳細に説明する。
いて図面を参照して詳細に説明する。
【００１１】図１は、本発明の第一の実施例を示す断面
図であり、図２は、図１のＡ−Ａ断面図であり、図３
は、Ｂ−Ｂ断面図である。
図であり、図２は、図１のＡ−Ａ断面図であり、図３
は、Ｂ−Ｂ断面図である。
【００１２】ボールネジ１は、その両端がベース９に設
置されるブロック１１に回転不能に固定されており、ボ
ールナット２は、前記ボールネジ１と螺合して回転可能
であるとともに前記ボールネジ１が延びる方向に直動移
動が可能であり、さらに、通気孔を有する。ベアリング
７は、前記ボールナット２を固定する。ローター６は、
ステーター（励磁コイル）３により回転駆動し、前記ボ
ールナット２を回転させる。Ｏリング（もしくは磁気シ
ール）８は、前記ボールナット２および前記ベアリング
７等のユニットをシールする。移動テーブル４は、前記
ボールナット２、前記ローター６、前記ステーター３等
のユニットを内部に有し、前記ボールナット２が直動移
動することにより同様に直動移動する。ガイド５は、前
記ベースに固定され、前記移動テーブルを案内する。吸
引ホース１０は、前記ボールネジ１と前記ボールナット
２との接触部分や前記ベアリング７部分等から発生する
塵埃等を図示しない吸引手段によりクリーンルームの外
部に導く。
置されるブロック１１に回転不能に固定されており、ボ
ールナット２は、前記ボールネジ１と螺合して回転可能
であるとともに前記ボールネジ１が延びる方向に直動移
動が可能であり、さらに、通気孔を有する。ベアリング
７は、前記ボールナット２を固定する。ローター６は、
ステーター（励磁コイル）３により回転駆動し、前記ボ
ールナット２を回転させる。Ｏリング（もしくは磁気シ
ール）８は、前記ボールナット２および前記ベアリング
７等のユニットをシールする。移動テーブル４は、前記
ボールナット２、前記ローター６、前記ステーター３等
のユニットを内部に有し、前記ボールナット２が直動移
動することにより同様に直動移動する。ガイド５は、前
記ベースに固定され、前記移動テーブルを案内する。吸
引ホース１０は、前記ボールネジ１と前記ボールナット
２との接触部分や前記ベアリング７部分等から発生する
塵埃等を図示しない吸引手段によりクリーンルームの外
部に導く。
【００１３】次に、第一の実施例の動作について図面を
参照して説明する。
参照して説明する。
【００１４】移動テーブル４を移動させるために、ま
ず、その移動テーブル４の内部に備えられるローター６
等の回転駆動手段により、ボールナット２が回転する。
このボールナット２は、ベース９に対しブロック１１を
介して固定されたボールネジ１と螺合しているので、回
転することにより、前記ボールネジ１が延びている方向
に直動する。前記ボールナット２が直動移動することに
より、そのボールネジ２をその内部に備える前記移動テ
ーブル４も同様に直動移動する。
ず、その移動テーブル４の内部に備えられるローター６
等の回転駆動手段により、ボールナット２が回転する。
このボールナット２は、ベース９に対しブロック１１を
介して固定されたボールネジ１と螺合しているので、回
転することにより、前記ボールネジ１が延びている方向
に直動する。前記ボールナット２が直動移動することに
より、そのボールネジ２をその内部に備える前記移動テ
ーブル４も同様に直動移動する。
【００１５】ここで、前記ボールナット２と前記ボール
ネジ１との接触部分は、前記ボールナット２の回転によ
る摩擦のために粉塵が発生する。しかし、前記ボールナ
ット２は、通気孔を有しているので、図示しない吸引手
段によりその通気孔および吸引ホース１０を介して、発
生した粉塵を外部に取り出すことができる。また、前記
ボールネジ１は、回転駆動していないので、そのボール
ネジ１の周囲に付着した潤滑油等が飛散されることもな
い。
ネジ１との接触部分は、前記ボールナット２の回転によ
る摩擦のために粉塵が発生する。しかし、前記ボールナ
ット２は、通気孔を有しているので、図示しない吸引手
段によりその通気孔および吸引ホース１０を介して、発
生した粉塵を外部に取り出すことができる。また、前記
ボールネジ１は、回転駆動していないので、そのボール
ネジ１の周囲に付着した潤滑油等が飛散されることもな
い。
【００１６】次に、本発明の第二の実施例について図面
を参照して詳細に説明する。
を参照して詳細に説明する。
【００１７】図４は、第二の実施例を示す断面図であ
る。
る。
【００１８】移動テーブル１４は、ベース９に設置され
たガイド５により案内されて直動移動する。ボールネジ
１は、前記移動テーブル１４に回転不能に固定され、前
記ガイド５と平行方向に延びている。ボールナット２
は、前記ボールネジ１と螺合しており回転可能であり、
さらに、通気孔１２を有する。ベアリング７は、前記ボ
ールナット２を固定する。ローター６は、ステーター
（励磁コイル）３により回転駆動し、前記ボールナット
２を回転させる。Ｏリング（もしくは磁気シール）８
は、前記ボールナット２および前記ベアリング７等のユ
ニットをシールする。ハウジング１３は、前記ベース９
に固定され、前記ボールナット２及びそのボールナット
２を回転させる手段（ローター６等）を内部に備えると
ともに、吸引ホース１０を備える。ここで、第一の実施
例の構成と同一部分は図１、図２および図３と同一の番
号を付してある。
たガイド５により案内されて直動移動する。ボールネジ
１は、前記移動テーブル１４に回転不能に固定され、前
記ガイド５と平行方向に延びている。ボールナット２
は、前記ボールネジ１と螺合しており回転可能であり、
さらに、通気孔１２を有する。ベアリング７は、前記ボ
ールナット２を固定する。ローター６は、ステーター
（励磁コイル）３により回転駆動し、前記ボールナット
２を回転させる。Ｏリング（もしくは磁気シール）８
は、前記ボールナット２および前記ベアリング７等のユ
ニットをシールする。ハウジング１３は、前記ベース９
に固定され、前記ボールナット２及びそのボールナット
２を回転させる手段（ローター６等）を内部に備えると
ともに、吸引ホース１０を備える。ここで、第一の実施
例の構成と同一部分は図１、図２および図３と同一の番
号を付してある。
【００１９】次に、第二の実施例の動作について図面を
参照して説明する。
参照して説明する。
【００２０】移動テーブル１４をガイド１５の案内によ
り直動移動させるために、まず、ボールナット２がロー
ター６等の回転駆動手段により回転させられる。これら
回転駆動手段およびボールナット２は、ベース９に固定
されたハウジング１３内部に備えられており、このボー
ルナット２は回転はするが直動移動はしない。次に、前
記ボールナット２と螺合したボールネジ１がこのボール
ナット２が回転することで、自身が回転することなく直
動移動する。次に、このボールネジ１が直動移動するこ
とで、そのボールネジ１と固着した前記移動テーブル１
４も同様に直動移動する。
り直動移動させるために、まず、ボールナット２がロー
ター６等の回転駆動手段により回転させられる。これら
回転駆動手段およびボールナット２は、ベース９に固定
されたハウジング１３内部に備えられており、このボー
ルナット２は回転はするが直動移動はしない。次に、前
記ボールナット２と螺合したボールネジ１がこのボール
ナット２が回転することで、自身が回転することなく直
動移動する。次に、このボールネジ１が直動移動するこ
とで、そのボールネジ１と固着した前記移動テーブル１
４も同様に直動移動する。
【００２１】ここで、前記ボールナット２が回転するこ
とにより発生する粉塵等を外部に導く動作は前述の第一
の実施例と同様であるので説明は省略する。また、前記
ボールネジ１が回転しないことによる効果も前述の第一
の実施例と同様である。
とにより発生する粉塵等を外部に導く動作は前述の第一
の実施例と同様であるので説明は省略する。また、前記
ボールネジ１が回転しないことによる効果も前述の第一
の実施例と同様である。
【００２２】さらに、第二の実施例においては、第一の
実施例と異なり、移動テーブル１４の内部にボールナッ
ト２およびその回転駆動手段等を備える必要がない構成
としたので、前記移動テーブル１４を非常に軽量なもの
とすることができ、より高速に移動させることができ
る。また、用途に合わせて、この移動テーブル１４の形
状を容易に変更することができる。
実施例と異なり、移動テーブル１４の内部にボールナッ
ト２およびその回転駆動手段等を備える必要がない構成
としたので、前記移動テーブル１４を非常に軽量なもの
とすることができ、より高速に移動させることができ
る。また、用途に合わせて、この移動テーブル１４の形
状を容易に変更することができる。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の移動機構
は、クリーンルーム内において使用した場合に、ボール
ネジを回転させることなく移動テーブルを移動させるた
めにこのボールネジに付着した潤滑油等が飛散するのを
防ぐことができ、さらに、ボールナットに通気孔を設
け、このボールナット周辺から発生する粉塵等をこの通
気孔から吸引してクリーンルームの外部に出すために、
クリーンルーム内の清浄さを保つことができる。
は、クリーンルーム内において使用した場合に、ボール
ネジを回転させることなく移動テーブルを移動させるた
めにこのボールネジに付着した潤滑油等が飛散するのを
防ぐことができ、さらに、ボールナットに通気孔を設
け、このボールナット周辺から発生する粉塵等をこの通
気孔から吸引してクリーンルームの外部に出すために、
クリーンルーム内の清浄さを保つことができる。
【図１】本発明の第一の実施例の構成を示す断面図。
【図２】図１のＡ−Ａ断面のボールナットを示す断面
図。
図。
【図３】図１のＢ−Ｂ断面図。
【図４】本発明の第二の実施例の構成を示す水平断面
図。
図。
【図５】従来の移動機構の構成を示す断面図。
１、１７ ボールネジ ２、１８ ボールナット ３ ステーター ４、１４、１５ 移動テーブル ５ ガイド ６ ローター ７ ベアリング ８ Ｏリングもしくは磁気シール ９ ベース １０ 吸引ホース １１ ブロック １２ 通気孔 １３、１６ ハウジング １９ モーター
Claims (4)
- 【請求項１】 回転駆動するボールナットと、 前記ボールナットを回転させる回転駆動手段と、 ベース部材に固定され、前記ボールナットと螺合するボ
ールネジと、 前記ボールナットおよび前記回転駆動手段とを内部に備
え、その内部の粉塵を外部に導く手段を有する移動テー
ブルと、 を有することを特徴とする移動機構。 - 【請求項２】 ベース部材に固定されたガイドにより案
内されて直動移動する移動テーブルと、 回転駆動するボールナットと、 前記ボールナットを回転させる回転駆動手段と、 前記移動テーブルに固定され、前記ボールナットと螺合
するボールネジと、 前記ベース部材に固定され、前記ボールナットおよび前
記回転駆動手段を内部に備えるとともに、その内部の粉
塵を外部に導く手段を有するハウジングと、 を有することを特徴とする移動機構。 - 【請求項３】 前記ボールナットは、通気孔を有するこ
とを特徴とする前記請求項１または２に記載の移動機
構。 - 【請求項４】 前記回転駆動手段は、励磁コイルから発
生させた磁力により前記ボールナットを回転させる手段
であることを特徴とする前記請求項１または２に記載の
移動機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7830094A JPH07286652A (ja) | 1994-04-18 | 1994-04-18 | 移動機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7830094A JPH07286652A (ja) | 1994-04-18 | 1994-04-18 | 移動機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07286652A true JPH07286652A (ja) | 1995-10-31 |
Family
ID=13658079
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7830094A Pending JPH07286652A (ja) | 1994-04-18 | 1994-04-18 | 移動機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07286652A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111255869A (zh) * | 2018-11-30 | 2020-06-09 | 全研科技有限公司 | 滑台结构 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58207563A (ja) * | 1982-03-15 | 1983-12-03 | カ−ネイ・アンド・トレツカ−・コ−ポレ−シヨン | ボ−ルナツト装置 |
| JPS6435166A (en) * | 1987-07-30 | 1989-02-06 | Hitachi Electr Eng | Feed screw mechanism of no dust generation type |
| JPH0439451A (ja) * | 1990-06-05 | 1992-02-10 | Ntn Corp | 電動アクチュエータを用いた直線送り装置 |
| JP4097150B2 (ja) * | 2004-03-19 | 2008-06-11 | ダイワ精工株式会社 | 魚釣用電動リール |
-
1994
- 1994-04-18 JP JP7830094A patent/JPH07286652A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58207563A (ja) * | 1982-03-15 | 1983-12-03 | カ−ネイ・アンド・トレツカ−・コ−ポレ−シヨン | ボ−ルナツト装置 |
| JPS6435166A (en) * | 1987-07-30 | 1989-02-06 | Hitachi Electr Eng | Feed screw mechanism of no dust generation type |
| JPH0439451A (ja) * | 1990-06-05 | 1992-02-10 | Ntn Corp | 電動アクチュエータを用いた直線送り装置 |
| JP4097150B2 (ja) * | 2004-03-19 | 2008-06-11 | ダイワ精工株式会社 | 魚釣用電動リール |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111255869A (zh) * | 2018-11-30 | 2020-06-09 | 全研科技有限公司 | 滑台结构 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19961224 |