JPH07280729A - ガス濃度測定装置 - Google Patents
ガス濃度測定装置Info
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- JPH07280729A JPH07280729A JP9574594A JP9574594A JPH07280729A JP H07280729 A JPH07280729 A JP H07280729A JP 9574594 A JP9574594 A JP 9574594A JP 9574594 A JP9574594 A JP 9574594A JP H07280729 A JPH07280729 A JP H07280729A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体レーザダイオードから発振されるレー
ザ光を用いてガス状化学物質の濃度を測定するガス濃度
測定装置において、頻繁な波長調整等の煩雑な作業を要
することなく一定の波長のレーザ光を発振できるように
して、高感度、かつ、高能率でガス濃度の測定ができる
ようにした。 【構成】 光源１から発振されるレーザ光の波長に対し
て変調を与えるための変調信号と標準ガス６を透過した
レザー光の受光信号とにより奇数倍検波信号を発生する
第２位相敏感検波装置8aを設け、この装置8aから出力さ
れる奇数次微分検波信号を制御信号に変換して光源１へ
フィーバック制御信号として加えることによってレザー
光の波長を常時目標波長に固定する。そして、測定対象
ガス５を透過したレザー光の受光信号と変調信号とによ
り第１位相敏感検波装置８から偶数倍検波信号を出力す
るようにして高感度のガス濃度測定を可能とする。
ザ光を用いてガス状化学物質の濃度を測定するガス濃度
測定装置において、頻繁な波長調整等の煩雑な作業を要
することなく一定の波長のレーザ光を発振できるように
して、高感度、かつ、高能率でガス濃度の測定ができる
ようにした。 【構成】 光源１から発振されるレーザ光の波長に対し
て変調を与えるための変調信号と標準ガス６を透過した
レザー光の受光信号とにより奇数倍検波信号を発生する
第２位相敏感検波装置8aを設け、この装置8aから出力さ
れる奇数次微分検波信号を制御信号に変換して光源１へ
フィーバック制御信号として加えることによってレザー
光の波長を常時目標波長に固定する。そして、測定対象
ガス５を透過したレザー光の受光信号と変調信号とによ
り第１位相敏感検波装置８から偶数倍検波信号を出力す
るようにして高感度のガス濃度測定を可能とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレーザ光を用いてガス状
化学物質の濃度を測定するガス濃度測定装置に関する。
化学物質の濃度を測定するガス濃度測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種ガス濃度測定装置の１例が
図５に示されている。
図５に示されている。
【０００３】図５において、１はレーザ光を発振する半
導体レーザダイオード（以下LDと略称する）からなる光
源、２はLD１の温度を制御するためのヒータ、電子冷却
素子等からなる温度調整器、3 はLD１を駆動するための
駆動電流を発生する定電流発生装置、９はレーザ光の発
振波長を所要の範囲で走査せしめるためのランプ波を発
生する第１波形発生器である。
導体レーザダイオード（以下LDと略称する）からなる光
源、２はLD１の温度を制御するためのヒータ、電子冷却
素子等からなる温度調整器、3 はLD１を駆動するための
駆動電流を発生する定電流発生装置、９はレーザ光の発
振波長を所要の範囲で走査せしめるためのランプ波を発
生する第１波形発生器である。
【０００４】14は定電流発生装置３からの電流信号と第
１波形発生装置９からのランプ波とを合成するための波
形混合器、21は第１波形発生器９からのランプ波を断・
接するためのスイッチ、５は測定対象ガス、７は測定対
象ガス５を透過したレーザ光を受光する第１受光装置で
ある。
１波形発生装置９からのランプ波とを合成するための波
形混合器、21は第１波形発生器９からのランプ波を断・
接するためのスイッチ、５は測定対象ガス、７は測定対
象ガス５を透過したレーザ光を受光する第１受光装置で
ある。
【０００５】このガス濃度測定装置においては、波形混
合器14によりLD１に投入される電流量を制御するととも
に温度調整器２にてLD１の温度を制御することによって
測定対象ガス５の化学種が吸収する波長（化学種毎に固
有の吸収波長を有する）のレーザ光をLD１から発振す
る。第１受光装置７は測定対象ガス５を透過したレーザ
光を受光して測定濃度出力（吸収スペクトル信号）を出
力する。
合器14によりLD１に投入される電流量を制御するととも
に温度調整器２にてLD１の温度を制御することによって
測定対象ガス５の化学種が吸収する波長（化学種毎に固
有の吸収波長を有する）のレーザ光をLD１から発振す
る。第１受光装置７は測定対象ガス５を透過したレーザ
光を受光して測定濃度出力（吸収スペクトル信号）を出
力する。
【０００６】また、図６には従来の他のガス濃度測定装
置が示されている。図６において、10はLD１から発振さ
れるレーザ光の波長に変調を加えるための変調信号(1f
信号) を発生する第２波形発生器、13は第１波形発生器
９からのランプ波と第２波形発生器10からの変調信号と
を合成する第２波形混合器である。
置が示されている。図６において、10はLD１から発振さ
れるレーザ光の波長に変調を加えるための変調信号(1f
信号) を発生する第２波形発生器、13は第１波形発生器
９からのランプ波と第２波形発生器10からの変調信号と
を合成する第２波形混合器である。
【０００７】12は第２波形発生器10からの変調信号(1f
信号) を偶数倍するための第１周波数逓倍器、８は第１
受光装置７からの受光信号と第１周波数逓倍器12からの
偶数倍された変調信号( 2n・f 信号) を受けて偶数次微
分吸収スペクトル信号を出力する第１位相敏感検波装置
である。他の構成は図５に示す従来のものと同様であ
り、対応する部材には同じ符号が付されている。
信号) を偶数倍するための第１周波数逓倍器、８は第１
受光装置７からの受光信号と第１周波数逓倍器12からの
偶数倍された変調信号( 2n・f 信号) を受けて偶数次微
分吸収スペクトル信号を出力する第１位相敏感検波装置
である。他の構成は図５に示す従来のものと同様であ
り、対応する部材には同じ符号が付されている。
【０００８】このガス濃度測定装置においては、第２波
形発生器10から発信された変調信号( 1f信号) と第１波
形発生器９から発信されたランプ波とを合成した信号を
LD１に付与することによりLD１から発振されるレーザ光
に変調を加えて測定対象ガス５を透過せしめる。
形発生器10から発信された変調信号( 1f信号) と第１波
形発生器９から発信されたランプ波とを合成した信号を
LD１に付与することによりLD１から発振されるレーザ光
に変調を加えて測定対象ガス５を透過せしめる。
【０００９】第１受光装置７から出力される吸収スペク
トル信号のうち、第１周波数逓倍器12から出力された信
号( 2n・f 信号) に同調する信号のみを第１位相敏感検
波装置８から偶数次微分吸収スペクトル信号として出力
する。そして、次の式１に示されるLamber−Beerの法則
に照合して解析することにより測定対象ガス５中の化学
種の濃度を検出する。
トル信号のうち、第１周波数逓倍器12から出力された信
号( 2n・f 信号) に同調する信号のみを第１位相敏感検
波装置８から偶数次微分吸収スペクトル信号として出力
する。そして、次の式１に示されるLamber−Beerの法則
に照合して解析することにより測定対象ガス５中の化学
種の濃度を検出する。
【００１０】
【式１】
【００１１】ここで、Ｉt ＝透過光量、Ｉo ＝入射光量 λc ＝吸収中心波長、ε＝吸収係数 Ｃ＝測定対象ガスの化学種濃度、ｄ＝吸収長
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のガス濃度測
定装置においては、波形混合器14によってLD１に投入さ
れる電流量を制御し、かつ、温度調整器２によりLD１の
温度を制御しているにも拘らず、LD１への投入電流量や
LD１の温度が僅かでも変化すると、LD１から発振される
レーザ光の波長が大きく変化してしまうため、LD１から
一定波長のレーザ光を長時間安定して測定対象ガス５に
照射し続けることは困難であった。
定装置においては、波形混合器14によってLD１に投入さ
れる電流量を制御し、かつ、温度調整器２によりLD１の
温度を制御しているにも拘らず、LD１への投入電流量や
LD１の温度が僅かでも変化すると、LD１から発振される
レーザ光の波長が大きく変化してしまうため、LD１から
一定波長のレーザ光を長時間安定して測定対象ガス５に
照射し続けることは困難であった。
【００１３】このため、レーザ光の波長を測定対象ガス
５中の化学種の吸収中心波長に固定させることが困難と
なる。従って、正確なガス濃度の測定を行うには、頻繁
にレーザ光の波長較正作業を行なう等の煩雑な作業が必
要となる。
５中の化学種の吸収中心波長に固定させることが困難と
なる。従って、正確なガス濃度の測定を行うには、頻繁
にレーザ光の波長較正作業を行なう等の煩雑な作業が必
要となる。
【００１４】本発明の目的とするところは、レーザ光の
波長較正等の煩雑な作業を要することなく、一定の波長
のレーザ光を長時間安定して測定対象ガスに照射するこ
とができ、かつ、高感度のガス濃度測定ができるガス濃
度測定装置を提供することにある。
波長較正等の煩雑な作業を要することなく、一定の波長
のレーザ光を長時間安定して測定対象ガスに照射するこ
とができ、かつ、高感度のガス濃度測定ができるガス濃
度測定装置を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために発明されたものであって、その要旨とすると
ころは、レーザ光を発振する光源と、この光源を駆動す
るための電流を発生する手段と、上記光源から発振され
測定対象ガスを透過したレーザ光を受光してそれに対応
する受光信号を発信する第１受光装置とを具えたガス濃
度測定装置において、上記光源から発振され標準ガスを
透過したレーザ光を受光してそれに対応する受光信号を
発信する第２受光装置と、上記光源から発振されるレー
ザ光の波長に変調を与えるための変調信号を発生する第
２波形発生器と、この第２波形発生器から発生した変調
信号と上記第２受光装置から発信された受光信号を受信
して奇数倍検波信号を出力する第２位相敏感検波装置
と、この第２位相敏感検波装置から出力された奇数次微
分検波信号を制御信号に変換して上記光源にフィードバ
ックする手段と、上記第１受光装置から発信された受光
信号と上記第２波形発生器から発生した変調信号を受信
して偶数次微分検波信号を出力する第１位相敏感検波装
置を備えることを特徴とするガス濃度測定装置にある。
するために発明されたものであって、その要旨とすると
ころは、レーザ光を発振する光源と、この光源を駆動す
るための電流を発生する手段と、上記光源から発振され
測定対象ガスを透過したレーザ光を受光してそれに対応
する受光信号を発信する第１受光装置とを具えたガス濃
度測定装置において、上記光源から発振され標準ガスを
透過したレーザ光を受光してそれに対応する受光信号を
発信する第２受光装置と、上記光源から発振されるレー
ザ光の波長に変調を与えるための変調信号を発生する第
２波形発生器と、この第２波形発生器から発生した変調
信号と上記第２受光装置から発信された受光信号を受信
して奇数倍検波信号を出力する第２位相敏感検波装置
と、この第２位相敏感検波装置から出力された奇数次微
分検波信号を制御信号に変換して上記光源にフィードバ
ックする手段と、上記第１受光装置から発信された受光
信号と上記第２波形発生器から発生した変調信号を受信
して偶数次微分検波信号を出力する第１位相敏感検波装
置を備えることを特徴とするガス濃度測定装置にある。
【００１６】
【作用】本発明においては、上記構成を具えているた
め、第２位相敏感検波装置にて奇数倍検波を行ってこれ
を制御信号に変換し、光源への投入電流量や温度調整に
対してフィードバック制御を加えることにより、光源よ
り発振されるレーザ光の波長を目標とする吸収中心波長
に固定することができる。
め、第２位相敏感検波装置にて奇数倍検波を行ってこれ
を制御信号に変換し、光源への投入電流量や温度調整に
対してフィードバック制御を加えることにより、光源よ
り発振されるレーザ光の波長を目標とする吸収中心波長
に固定することができる。
【００１７】これと同時に第１位相敏感検波装置によ
り、第１受光装置から発信された受光信号に対して偶数
倍検波を行うことによって測定対象ガスの化学種の濃度
を高感度で検出することができる。
り、第１受光装置から発信された受光信号に対して偶数
倍検波を行うことによって測定対象ガスの化学種の濃度
を高感度で検出することができる。
【００１８】
【実施例】以下、図１〜図４を参照して本発明の実施例
を詳細に説明する。図１はガス濃度測定装置のブロック
図が示されている。図１において、１は半導体レーザダ
イオード（以下LDと略称する) からなる光源、２はLD１
の温度を制御するための温度調整器、３はLD１を定常駆
動するための電流を発生する定電流発生装置である。
を詳細に説明する。図１はガス濃度測定装置のブロック
図が示されている。図１において、１は半導体レーザダ
イオード（以下LDと略称する) からなる光源、２はLD１
の温度を制御するための温度調整器、３はLD１を定常駆
動するための電流を発生する定電流発生装置である。
【００１９】５は化学種の濃度を測定する対象となる測
定対象ガス、６は測定対象の化学種のみからなる標準ガ
ス、４はLD１から発振されたレーザ光を測定対象ガス５
及び標準ガス６に分光する反射器、プリズム等からなる
の光学系である。
定対象ガス、６は測定対象の化学種のみからなる標準ガ
ス、４はLD１から発振されたレーザ光を測定対象ガス５
及び標準ガス６に分光する反射器、プリズム等からなる
の光学系である。
【００２０】７は測定対象ガス５を透過したレーザ光を
受光してそれに応じた受光信号を出力する第１受光装
置、7aは標準ガス６を透過したレーザ光を受光してそれ
に応じた受光信号を出力する第２受光装置である。
受光してそれに応じた受光信号を出力する第１受光装
置、7aは標準ガス６を透過したレーザ光を受光してそれ
に応じた受光信号を出力する第２受光装置である。
【００２１】９はレーザ光の波長を所要の範囲で走査せ
しめるためのランプ波を発生する第１波形発生器、10は
レーザ光の波長に変調を加えるための変調信号(1f 信
号) を発生する第２波形発生器、12はこの変調信号(1f
信号) を受けてこれを偶数倍してなる変調信号(2n ・f
信号) を出力する第１周波数逓倍器、12a は変調信号(1
f 信号) を受けてこれを奇数倍してなる変調信号（(2n
＋1)f 信号）を出力する第２周波数逓倍器である。
しめるためのランプ波を発生する第１波形発生器、10は
レーザ光の波長に変調を加えるための変調信号(1f 信
号) を発生する第２波形発生器、12はこの変調信号(1f
信号) を受けてこれを偶数倍してなる変調信号(2n ・f
信号) を出力する第１周波数逓倍器、12a は変調信号(1
f 信号) を受けてこれを奇数倍してなる変調信号（(2n
＋1)f 信号）を出力する第２周波数逓倍器である。
【００２２】８は第１受光装置７から出力された受光信
号と第１周波数逓倍器12から出力された変調信号(2n ・
f 信号) を受けて偶数次微分吸収スペクトル信号(2n ・
f 検波信号) を出力する第１位相敏感検波装置、8aは第
２受光装置7aから出力された受光信号と第２周波数逓倍
器21a から出力された変調信号（(2n ＋1)f 信号) を受
けて制御信号、即ち、奇数次微分スペクトル信号を検波
信号変換器11に出力する第２位相敏感検波装置、11は第
２位相敏感検波装置8aから入力された奇数次微分スペク
トル信号を制御用信号に変換するための検波信号変換器
である。
号と第１周波数逓倍器12から出力された変調信号(2n ・
f 信号) を受けて偶数次微分吸収スペクトル信号(2n ・
f 検波信号) を出力する第１位相敏感検波装置、8aは第
２受光装置7aから出力された受光信号と第２周波数逓倍
器21a から出力された変調信号（(2n ＋1)f 信号) を受
けて制御信号、即ち、奇数次微分スペクトル信号を検波
信号変換器11に出力する第２位相敏感検波装置、11は第
２位相敏感検波装置8aから入力された奇数次微分スペク
トル信号を制御用信号に変換するための検波信号変換器
である。
【００２３】13は第１波形発生器９から出力されたラン
プ波と第２波形発生器10から出力された変調信号(1f 信
号) 、もしくは、この変調信号(1f 信号) と検波信号変
換器11から出力された制御信号とを合成する第２波形混
合器、22は制御信号とランプ波とを切り換えて第２波形
混合器13に入力するための切換スイッチ、14は第２波形
混合器13から出力された波形信号と定電流発生装置３か
らの電流とを合成する波形混合器である。
プ波と第２波形発生器10から出力された変調信号(1f 信
号) 、もしくは、この変調信号(1f 信号) と検波信号変
換器11から出力された制御信号とを合成する第２波形混
合器、22は制御信号とランプ波とを切り換えて第２波形
混合器13に入力するための切換スイッチ、14は第２波形
混合器13から出力された波形信号と定電流発生装置３か
らの電流とを合成する波形混合器である。
【００２４】このガス濃度測定装置において、第２波形
発生器10から出力された変調信号(1f 信号) と第１波形
発生器９から出力されたランプ波、もしくは、この変調
信号(1f 信号) と検波信号変換器11から出力された制御
信号とを第２波形混合器13で合成し、この波形信号と定
電流発生装置３からの電流を波形混合器14で合成した信
号をLD１に付与することによりLD１から発振されるレー
ザ光に変調を加えて測定対象ガス５及び標準ガス６を透
過せしめる。
発生器10から出力された変調信号(1f 信号) と第１波形
発生器９から出力されたランプ波、もしくは、この変調
信号(1f 信号) と検波信号変換器11から出力された制御
信号とを第２波形混合器13で合成し、この波形信号と定
電流発生装置３からの電流を波形混合器14で合成した信
号をLD１に付与することによりLD１から発振されるレー
ザ光に変調を加えて測定対象ガス５及び標準ガス６を透
過せしめる。
【００２５】第１受光装置７から出力された受光信号の
うち、第１周波数逓倍器12から出力された変調信号（2n
・f 信号) に同調する信号のみが第１位相敏感検波装置
８より偶数次微分吸収スペクトル信号として出力され
る。即ち、測定対象ガス５を透過したレーザ光の微分量
が高感度で検出され、これを前述の式１で示されるLaｍ
bert-Beer の法則に照合して解析することにより測定対
象ガス６中の化学種の濃度が検出される。
うち、第１周波数逓倍器12から出力された変調信号（2n
・f 信号) に同調する信号のみが第１位相敏感検波装置
８より偶数次微分吸収スペクトル信号として出力され
る。即ち、測定対象ガス５を透過したレーザ光の微分量
が高感度で検出され、これを前述の式１で示されるLaｍ
bert-Beer の法則に照合して解析することにより測定対
象ガス６中の化学種の濃度が検出される。
【００２６】一方、第２受光装置7aから出力された受光
信号のうち第２周波数逓倍器12a から出力された変調信
号((2n＋1)f 信号) と同調する信号のみが第２位相敏感
検波装置8aから奇数次微分吸収スペクトル信号として出
力され、この信号が検波信号変換器11により制御信号に
変換されてLD１へフィードバックされる。
信号のうち第２周波数逓倍器12a から出力された変調信
号((2n＋1)f 信号) と同調する信号のみが第２位相敏感
検波装置8aから奇数次微分吸収スペクトル信号として出
力され、この信号が検波信号変換器11により制御信号に
変換されてLD１へフィードバックされる。
【００２７】以下その動作に付き説明する。通常、測定
対象ガス中の化学種の吸収スペクトルは図２に示される
ように、多くの吸収線から構成され、これら各吸収線は
図３(A) に示されるような形をなす。
対象ガス中の化学種の吸収スペクトルは図２に示される
ように、多くの吸収線から構成され、これら各吸収線は
図３(A) に示されるような形をなす。
【００２８】しかるに、第１受光装置７の受光信号の中
から変調信号（2n・f 信号) と同期した信号のみを第１
位相敏感検波装置８から取り出すと、この検波信号は吸
収スペクトルの波長に関する２次微分形信号であって、
この検波信号の特徴は図３(C) に示されるように吸収ス
ペクトル中心波長で最大ピークレベルとなる。
から変調信号（2n・f 信号) と同期した信号のみを第１
位相敏感検波装置８から取り出すと、この検波信号は吸
収スペクトルの波長に関する２次微分形信号であって、
この検波信号の特徴は図３(C) に示されるように吸収ス
ペクトル中心波長で最大ピークレベルとなる。
【００２９】また、第２受光装置7aの受光信号の中から
変調信号（（2n＋1)f 信号）と同期した信号のみを第２
位相敏感検波装置8aから取り出すと、この検波信号は吸
収スペクトルの波長に関する（2n＋1)次微分形信号であ
って、この検波信号の特徴は図３(B) に示されるように
吸収スペクトル中心波長でＯレベルとなる。
変調信号（（2n＋1)f 信号）と同期した信号のみを第２
位相敏感検波装置8aから取り出すと、この検波信号は吸
収スペクトルの波長に関する（2n＋1)次微分形信号であ
って、この検波信号の特徴は図３(B) に示されるように
吸収スペクトル中心波長でＯレベルとなる。
【００３０】そこで、この検波信号が常にＯレベルにな
るように、LD１にフィードバック制御を加えれば、LD１
から発振されるレーザ光の波長を図３(A) に示されるよ
うに目標とする吸収中心の波長に固定することができ
る。
るように、LD１にフィードバック制御を加えれば、LD１
から発振されるレーザ光の波長を図３(A) に示されるよ
うに目標とする吸収中心の波長に固定することができ
る。
【００３１】また、これと同時に受光装置７から出力さ
れる受光信号に対して、第１位相敏感検波装置８にて偶
数倍検波を行えば、測定対象ガス５の化学種の濃度も高
感度で検出することができる。
れる受光信号に対して、第１位相敏感検波装置８にて偶
数倍検波を行えば、測定対象ガス５の化学種の濃度も高
感度で検出することができる。
【００３２】図４(A) 、(B) は、上記本発明の実施例に
係わる測定装置と、図６に示す従来の測定装置を用いて
測定対象ガス中の酸素濃度を計測した結果を比較したも
のである。なお、図４(A) 、(B) の縦軸は計測値( 酸素
濃度に対応) 、横軸は時間である。図４(A) 、(B) から
明らかなとおり、実施例における計測結果は波長の頻繁
な調整等の煩雑な作業を必要とせずに、レーザ光の波長
を安定に保持することができる。
係わる測定装置と、図６に示す従来の測定装置を用いて
測定対象ガス中の酸素濃度を計測した結果を比較したも
のである。なお、図４(A) 、(B) の縦軸は計測値( 酸素
濃度に対応) 、横軸は時間である。図４(A) 、(B) から
明らかなとおり、実施例における計測結果は波長の頻繁
な調整等の煩雑な作業を必要とせずに、レーザ光の波長
を安定に保持することができる。
【００３３】
【発明の効果】本発明においては、光源から発振される
レーザ光の波長を測定対象ガス中の化学種の吸収中心波
長に長時間安定して保持することが可能となり、従っ
て、波長調整等の煩雑な作業を要することなく測定対象
ガス中の化学種のガス濃度を高感度で測定することがで
きる。
レーザ光の波長を測定対象ガス中の化学種の吸収中心波
長に長時間安定して保持することが可能となり、従っ
て、波長調整等の煩雑な作業を要することなく測定対象
ガス中の化学種のガス濃度を高感度で測定することがで
きる。
【図１】本発明の１実施例に係わるガス濃度測定装置の
ブロック図である。
ブロック図である。
【図２】上記実施例における化学種の吸収スペクトルの
全体例を示す図である。
全体例を示す図である。
【図３】上記実施例の吸収スペクトルの波形を示し、
(A) は単体の吸収スペクトル、(B) は一次微分吸収スペ
クトル、(C) は２次微分吸収スペクトルである。
(A) は単体の吸収スペクトル、(B) は一次微分吸収スペ
クトル、(C) は２次微分吸収スペクトルである。
【図４】(A) は上記実施例の測定結果を、(B) は従来装
置の計測結果を示す線図である。
置の計測結果を示す線図である。
【図５】従来のガス濃度測定装置のブロック図である。
【図６】従来の他のガス濃度測定装置のブロック図であ
る。
る。
１ 光源 ２ 温度調整器 ３ 定電流発生装置 ５ 測定対象ガス ６ 標準ガス ７ 第１受光装置 7a 第２受光装置 ８ 第１位相敏感検波装置 8a 第２位相敏感検波装置 ９ 第１波形発生器 10 第２波形発生器 11 検波信号変換器 12 第１周波数逓倍器 12a 第２周波数逓倍器 13 第２波形混合器 14 波形混合器
Claims (1)
- 【請求項１】 レーザ光を発振する光源と、この光源を
駆動するための電流を発生する手段と、上記光源から発
振され測定対象ガスを透過したレーザ光を受光してそれ
に対応する受光信号を発信する第１受光装置とを具えた
ガス濃度測定装置において、上記光源から発振され標準
ガスを透過したレーザ光を受光してそれに対応する受光
信号を発信する第２受光装置と、上記光源から発振され
るレーザ光の波長に変調を与えるための変調信号を発生
する第２波形発生器と、この第２波形発生器から発生し
た変調信号と上記第２受光装置から発信された受光信号
を受信して奇数倍検波信号を出力する第２位相敏感検波
装置と、この第２位相敏感検波装置から出力された奇数
次微分検波信号を制御信号に変換して上記光源にフィー
ドバックする手段と、上記第１受光装置から発信された
受光信号と上記第２波形発生器から発生した変調信号を
受信して偶数次微分検波信号を出力する第１位相敏感検
波装置を備えることを特徴とするガス濃度測定装置。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP09574594A JP3782473B2 (ja) | 1994-04-08 | 1994-04-08 | ガス濃度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09574594A JP3782473B2 (ja) | 1994-04-08 | 1994-04-08 | ガス濃度測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07280729A true JPH07280729A (ja) | 1995-10-27 |
| JP3782473B2 JP3782473B2 (ja) | 2006-06-07 |
Family
ID=14146036
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09574594A Expired - Lifetime JP3782473B2 (ja) | 1994-04-08 | 1994-04-08 | ガス濃度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3782473B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001074653A (ja) * | 1999-08-31 | 2001-03-23 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ガス濃度計測装置及び燃焼炉 |
| CN102680020A (zh) * | 2012-05-16 | 2012-09-19 | 清华大学 | 一种基于波长调制光谱技术的气体参数在线测量方法 |
| CN103852443A (zh) * | 2014-03-19 | 2014-06-11 | 中国人民解放军装备学院 | 免标定调制光谱的实现方法 |
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-
1994
- 1994-04-08 JP JP09574594A patent/JP3782473B2/ja not_active Expired - Lifetime
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|---|---|
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