JPH07261190A - Tab搭載方法 - Google Patents

Tab搭載方法

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JPH07261190A
JPH07261190A JP23454594A JP23454594A JPH07261190A JP H07261190 A JPH07261190 A JP H07261190A JP 23454594 A JP23454594 A JP 23454594A JP 23454594 A JP23454594 A JP 23454594A JP H07261190 A JPH07261190 A JP H07261190A
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JP
Japan
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tab
cell
alignment marks
axis
alignment
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Application number
JP23454594A
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English (en)
Inventor
Yoshihiro Koshio
義宏 小塩
Noriya Wada
憲也 和田
Atsushi Onoshiro
淳 斧城
Hiroshi Umetsu
寛 梅津
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi High Tech Corp
Original Assignee
Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
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Publication date
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Application filed by Hitachi Electronics Engineering Co Ltd filed Critical Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Priority to JP23454594A priority Critical patent/JPH07261190A/ja
Publication of JPH07261190A publication Critical patent/JPH07261190A/ja
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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/0266Marks, test patterns or identification means
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/36Assembling printed circuits with other printed circuits
    • H05K3/361Assembling flexible printed circuits with other printed circuits

Abstract

(57)【要約】 【目的】 セルにTABを搭載する際に、微細なピッチ
間隔で設けられている両者のリードが正確に接続された
状態で、重ね合わせるようにする。 【構成】 TAB2をセル1に重ね合わせる際に、両者
のリード3,6が確実に電気的に接続されるように極め
て厳格に位置合わせしなければならないが、このために
セル1及びTAB2にはアライメントマーク7,8が設
けられている。相互に重ね合わせられるアライメントマ
ーク7,8は、1台のテレビカメラ13の視野に納めら
れて、この画像信号を信号処理部14に取り込んで、そ
の補正値演算回路17でX軸方向の補正量、Y軸方向の
補正量及びθ方向の補正量を演算して、これらXYθの
各方向における補正信号がサーボ回路17に入力され
て、TAB2を保持するXYθテーブル11を駆動し
て、このTAB2の位置を補正する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶ディスプレイ装置
を構成する液晶パネルの製造工程において、ガラス基板
からなるセルにドライバICを搭載したTABを搭載す
る方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】液晶ディスプレイ装置の製造工程におい
て、液晶パネルを構成するガラス基板からなるセルに異
方性導電膜(ACF:Anisotropic Conductive Film )
を介して、ドライバICを搭載したからなるTAB(Ta
pe Automated Bonding)を実装するが、セルには微小な
ピッチ間隔でリードが設けられており、またTAB側に
も同様に微小ピッチ間隔にしてリードが設けられてお
り、これら2つの部材を重ね合わせる際には、両方のリ
ードが正確に重なり合うようにしなければならない。こ
のために、セル及びTABをそれぞれ位置調整手段に装
架して、この位置調整手段を駆動することにより両者の
位置合せを行うようにしている。そして、この位置合せ
を可能ならしめるために、セル及びTABにはそれぞれ
アライメントマークが設けられており、このアライメン
トマークをテレビカメラで撮影して、その画像認識を行
うことによって、アライメントマークの位置を検出し
て、位置調整手段に位置補正信号を入力して、各々を所
定の部位に配置するように構成している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来技術に
おいては、セル及びTABに形成され、相互に重ね合わ
せられる2つのアライメントマークを検出するために、
それぞれ別個のテレビカメラを用いるようにしていた。
このために、2つのアライメントマークを検出する2台
のテレビカメラが相互間に正確に位置が合っていなけれ
ば、2つの部材を重ね合せた時に、両アライメントマー
クの位置がずれてしまう。従って、テレビカメラの据え
付け時やメンテナンス時等における両者の位置合せが極
めて面倒になるという問題点がある。
【0004】また、両アライメントマークの位置合せを
行った後において、TABをセルに実装するために、こ
のTABを移動させなければならないが、別々のテレビ
カメラを用いてアライメントマークの位置調整を行って
いることから、TABとセルとはある程度離れた位置で
位置調整が行われることになり、このためにTABの移
動量が大きくなり、その分だけ位置ずれが起きるおそれ
がある。特に、近年においては、液晶ディスプレイの画
素数を増やすために、リードのピッチ間隔が極めて短く
なってきており、このために僅かでも位置ずれがある
と、リード同士を当接させることができなくなってしま
う。
【0005】本発明は以上の点に鑑みてなされたもので
あって、その目的とするところは、TABをセルに対し
て極めて正確に位置合せできるようにすることにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明は、一対からなるアライメントマーク間
に多数のリードを設けられたTABと、このTABのア
ライメントマークに対応する位置にアライメントマーク
を設けたガラス基板からなるセルとを、リードを重ね合
わせるようにして接合するために、前記TAB及びセル
のうち、少なくとも一方を位置補正手段に保持させて設
け、相互に接合される各対のアライメントマークを単一
のテレビカメラの視野内に入れて、これら両アライメン
トマークを画像認識してその間の位置ずれを検出し、位
置補正手段を駆動することにより両部材の位置合せを行
うようにしたことをその特徴とするものである。
【0007】
【作用】セル及びTABを所定の位置に配置する。この
動作は、コンベアやロボット等適宜用いられる搬入手段
により行われるものであって、例えばティーチング等の
手段によって、両部材を粗位置決めされるが、これら搬
入手段によっては、セル及びTABに設けられているア
ライメントマークがテレビカメラの視野内に入る程度の
位置出しが行われれば良い。
【0008】1台のテレビカメラでセルのアライメント
マークとTABのアライメントマークとが視野に捉えら
れると、画像認識手段によって、まず両アライメントマ
ークの正確な位置を検出して、それぞれ基準位置からの
ずれを検出する。TAB及びセルの少なくとも一方は位
置補正手段に装着されているから、この位置ずれ量に基
づいて、位置補正手段を駆動することにより、セルとT
ABとの相対位置を補正して、両者の微細位置決めを行
う。然る後に、TABを移動させて、セルの上に接合さ
せる。
【0009】テレビカメラを用いた画像認識手段により
2つのアライメントマークの位置合わせを行うに当っ
て、1台のテレビカメラを用いて、この2つのアライメ
ントマークを同一の視野内において画像認識を行うよう
にしているから、2台のテレビカメラを用いて個別的に
画像認識を行う場合と比較して、テレビカメラの相対位
置のずれによる誤差を排除でき、またセルとTABとの
接合部分に極めて近い位置で両部材の微細位置決めでき
るので、TABの接合時における移動による誤差も最小
限に抑制されることになる。従って、極めて微小なピッ
チ間隔に設けられる両部材のリードを正確に重ね合わせ
るように接合できることになり、TABを高精度に搭載
できるようになる。
【0010】
【実施例】以下、図面に基づいて本発明の一実施例を説
明する。まず、図1において、1はセル、2はTABで
ある。セル1には、その周囲に微小ピッチ間隔をもって
多数のリード3が所定の間隔毎に複数群にわたって形成
されており、またこのリード3を設けた部位には、異方
性導電膜4が貼着されている。TAB2はフレキシブル
基板を構成するものであって、集積回路素子等のドライ
バIC5が搭載されると共に、セル1のリード群と同じ
ピッチ間隔を持って多数のリード6が設けられており、
このTAB2は、そのリード6がセル1に形成されてい
る各群のリード3と正確に重なり合うようにして接合さ
れて、異方性導電膜4により接着される。
【0011】TAB2をセル1に重ね合わせる際には、
両者を極めて厳格に位置合わせしなければならないが、
このためにセル1における各群のリード3の両側にはア
ライメントマーク7L,7Rが形成されており、またT
AB2のリード6の両側にもアライメントマーク8L,
8Rが形成されている(なお、以下の説明においては、
特に位置が限定されない場合には、アライメント7,8
の符号を用いる)。ここで、アライメントマーク7,8
の形状は四角形となっており、これらアライメントマー
ク7,8を基準にして両者の厳格な位置合わせを行う。
【0012】而して、図2に示したように、セル1はコ
ンベア10に沿って搬送されるようになっており、この
コンベア10において、TAB2はその位置補正手段と
してのXYθ(X軸はセル1の搬送方向、Y軸はX軸と
直交する方向、θ軸は水平面で回転する方向である)テ
ーブル11に着脱可能にクランプされるようになってお
り、このXYθテーブル11は2軸ロボット12に搭載
されている。2軸ロボット12は、XYθテーブル11
をY軸方向とZ軸(上下方向)とに駆動できるように構
成したものである。コンベア10により搬送されるセル
1は、このコンベア10の動作制御を行うことによっ
て、またロボット12のY軸駆動機構によってTAB2
を変位させることによって、これらセル1とTAB2と
がそれぞれ粗位置決めされる。そして、この状態から、
XYθテーブル11を作動させることによって、TAB
2を厳格に微細位置決めが行われる。この状態で、ロボ
ット12のY軸駆動機構によって、このTAB2をセル
1の上部位置に変位させて、Z軸駆動機構を作動させる
ことによって、TAB2をセル1に重ね合わせるように
なっている。
【0013】微細位置決めを行うに当っては画像認識手
段を用いる。このために、テレビカメラ13L,13R
(なお、テレビカメラの位置が特に限定されない場合に
おいては、符号13を用いる)が設置されている。テレ
ビカメラ13Lは左側のアライメントマーク7L,8L
を検出して、セル1に対するTAB2のずれ量を測定
し、またテレビカメラ13Rは右側のアライメントマー
ク7R,8Rを検出して、これらの検出信号に基づいて
XYθテーブル11を駆動することによりこのずれを補
正する。ここで、アライメントマーク7,8は左右両側
に設けられているから、テレビカメラ13は2台設けら
れるが、セル1及びTAB2における片側のアライメン
トマーク7L,8Lは1台のテレビカメラ13Lの、ま
た他側のアライメントマーク7R,8Rは他の1台のテ
レビカメラ13Rの視野内に捉えるようになっている。
従って、前述した粗位置決めの段階では、セル1及びT
AB2は、図3に示したように、アライメントマークは
1台のテレビカメラの視野範囲S内に入るように相互に
極めて近接した位置に位置決めされることになる。
【0014】而して、テレビカメラ13により2個のア
ライメントマーク7,8が視野内に捉えられて、この画
像信号は信号処理部14に伝送される。信号処理部14
は、重心位置検出回路15と、座標位置演算回路16と
を有し、まずテレビカメラ13の画像を重心位置検出回
路15に取り込んで、画像上に表示されているアライメ
ントマーク7,8の重心位置を検出する。そして、これ
ら2つの重心位置に関する信号は座標位置演算回路16
に取り込まれて、2つの重心位置の座標位置が演算され
る。今、図4に示したように、アライメントマーク7の
重心位置がXY直交座標軸において(x1 ,y1 )の位
置であり、アライメントマーク8の重心位置が(x2
2 )であったとすると、この2つのアライメントマー
ク7,8のずれはX軸方向ではx1 −x2 であり、また
Y軸方向のずれはy1 −y2 である。従って、このX軸
方向及びY軸方向のずれx1 −x2 及びy1 −y2 が0
となる位置となるように、TAB2の位置を補正する必
要がある。ただし、この微細位置決め時においては、ア
ライメントマーク7,8を同時に視野に入れた状態を維
持するために、Y軸方向は所定の間隔だけ離れた位置と
する。
【0015】アライメントマーク7,8はリード3,6
の両側に配置されているので、この両側のアライメント
マークの位置を検出するために、2台のテレビカメラ1
3が設けられているが、この2台のテレビカメラ13か
らの画像信号は同じように処理される。従って、図2に
おいては、信号処理部14を構成する回路については、
左側のものをL、右側のものをRの添字を付す。そし
て、左右の座標位置演算回路16L,16Rからの出力
信号は、補正値演算回路17に取り込まれて、この補正
値演算回路17でX軸方向の補正量、Y軸方向の補正量
及びθ方向の補正量を演算する。このようにして演算さ
れたXYθの各方向における補正信号がXYθテーブル
11のサーボ回路18入力されて、XYθテーブル11
が駆動されるようになる。
【0016】而して、コンベア10にセル1を搭載する
と共に、2軸ロボット12におけるXYθテーブル11
にTAB2をクランプさせて、セル1を所定の位置に搬
入すると共に、2軸ロボット12によりTAB2を所定
の位置に位置決めする。これによって、セル1とTAB
2とを重ね合わせる際における基準となるアライメント
マーク7,8がテレビカメラ13の視野内に入るように
する。この状態で、テレビカメラ13L,13Rからの
画像信号を信号処理部14L,14Rにおける重心位置
検出回路15L,15Rに伝送して、2つのアライメン
トマーク7L及び8Lの重心位置とアライメントマーク
7R及び8Rの重心位置をそれぞれ検出する。そして、
この重心位置に関する信号を座標位置演算回路16L,
16Rに取り込んで、アライメントマーク7L,8L間
のXY直交座標軸上での位置ずれと、アライメントマー
ク7R,8RのXY直交座標軸上での位置ずれを検出す
る。そして、これらの位置ずれ量に関する信号が補正値
演算回路17に取り込まれて、TAB2のX軸方向,Y
軸方向及びθ方向のずれ量を演算して、サーボ回路18
にこれら各方向における補正値を入力して、XYθテー
ブル11を作動させることによって、TAB2をセル1
に対して厳格に微細位置決めすることができるようにな
る。
【0017】このようにしてTAB2の微細位置決めが
完了すると、2軸ロボット12におけるY軸駆動機構を
作動させて、TAB2をセル1の上方位置に変位させ、
かつZ軸駆動機構を作動させることにより、TAB2を
セル1上に重ね合わせ、図示しない加圧機構によって、
所定の荷重でTAB2を押し付けることによって、この
TAB2は異方導電膜4を介してセル1に接合固定され
る。
【0018】ここで、相互に重ね合わせられる2個のア
ライメントマーク7,8を検出するに当って、1台のテ
レビカメラ13を用い、この2つのアライメントマーク
7,8を同一の視野内において画像認識を行うようにし
ているから、各アライメントマーク7,8を個別的に検
出するために2台のテレビカメラを用いて個別的に画像
認識を行う場合と比較して、テレビカメラの相対位置の
ずれによる誤差を排除できるようになる。また、セル1
のアライメントマーク7とTAB2のアライメントマー
ク8とを1台のテレビカメラ13の視野内に捉えること
から、この微細位置決めはTAB2をセル1に極めて近
接した位置で行うことができるようになる。従って、T
AB2の接合時における移動による誤差が最小限に抑制
されることになる。従って、極めて微小なピッチ間隔に
設けられる両部材のリード3,6を正確に重ね合わせる
ように接合できることになり、TAB2を高精度に搭載
できるようになる。
【0019】次に、図5乃至図9は本発明の第2の実施
例を示すものであって、この実施例においては、TAB
2をセル1に搭載する際に、相互の間における位置ずれ
の微調整を行うために、セル1側ではXY方向の位置調
整を行い、またθ方向の位置調整はTAB2側で行うよ
うに構成している。そこで、以下の説明において、第1
の実施例お同一または均等な部材については同じ符号を
付して、その説明は省略する。
【0020】而して、図5及び図6に示したように、セ
ル1は粗位置決めした状態にして設置台20上に装着さ
れ、この設置台20に形成した真空吸着孔21に負圧を
作用させることによって、固定的に保持される。そし
て、設置台20はXY方向に位置微調整できるようにな
っている。このために、設置台20はXY駆動機構22
上に設置されている。このXY駆動機構22は、基台2
3を有し、この基台23にはX軸方向に変位可能な可動
テーブル24が装着されており、この可動テーブル24
上に載置台20がY軸方向に変位可能に装着されてい
る。X軸方向及びY軸方向に変位させるために、基台2
3と可動テーブル24との間、及び可動テーブル24と
設置台20との間には、それぞれX軸駆動手段25及び
Y軸駆動手段26が設けられている。X軸駆動手段25
及びY軸駆動手段26は、周知のようにボールねじ送り
手段から構成され、基台23と可動テーブル24との間
及び可動テーブル24と設置台20との間には、それぞ
れX軸方向及びY軸方向へのガイド手段を備えている。
なお、図示は省略するが、基台23は、ボールねじ搬送
手段や、コンベア等によって、図5に矢印で示したよう
に、セル1の設置部と、TAB2の搭載部と、セル1の
搬出部とに移動可能な構成となっている。
【0021】27はTAB保持手段を示し、このTAB
保持手段27は回転部材28に装着されており、この回
転部材28は回転軸28aを中心として180°往復回
転するようになっている。図7に示したように、TAB
保持手段27は、回動軸29を有し、この回動軸29は
回転部材28に装着した軸受30内にその軸回りに回動
可能にして昇降可能に挿通されている。回動軸29の先
端には、TAB2を吸着する吸着ヘッド31が装着され
ている。また、回動軸29には、作動部片32が連結さ
れており、この作動部片32にはピン32aが立設され
ている。従って、この作動部片32を回動させることに
よって、回動軸29を軸回りに回動させて、この回動軸
29に装着した吸着ヘッド31をθ方向に位置補正でき
るようになっている。このために、回動軸駆動手段33
が設けられている。この回動軸駆動手段33は、正逆回
転可能なモータ34を有し、モータ34には送りねじ3
5が連設されている。送りねじ35には押動ブロック3
6が挿通されている。この押動ブロック36はスライド
ガイド37に沿って移動可能となって、作動部片32の
ピン32aに当接しており、またこの作動部片32を押
動ブロック36に当接させる方向に付勢するばね38が
設けられている。従って、モータ34を駆動すると、押
動ブロック36が移動して、回動軸29が回動すること
になり、これによって先端に設けた吸着ヘッド31を回
動させて、この吸着ヘッド31に吸着させたTAB2を
θ方向に位置補正を行えるように構成されている。
【0022】TAB2を吸着した吸着ヘッド31は、θ
方向の位置補正を行った状態で、回動軸29を回転部材
28に対して軸線方向に移動させることにより昇降させ
るようになされている。このために、回動軸29には、
常時上方に突出する方向にばね39が作用しており、ま
たその上部には適宜の支持部材に固定して設けたシリン
ダ40が設けられて、このシリンダ40を作動させるこ
とによって、ばね39に抗して下降するようになってい
る。なお、この回動軸29の上下動時に作動部片32が
みだりに移動しないように保持するために、回動軸29
と軸受33との間には、回動追従部材41が介装されて
おり、回動軸29はこの回動追従部材41に作動部片3
2を連結するようにしている。これによって、回動軸2
9の上下動時に、この回動軸29は作動部片32に対し
て軸線方向に相対移動するようになる。
【0023】設置台20に装着されているセル1及びT
AB保持手段27に吸着されているTAB2は、ほぼ同
じ高さ位置で、相互に近接させた状態にして、これらセ
ル1及びTAB2に設けたアライメントマーク42L,
42R及び43L,43R(図9参照、なお以下の説明
においては、特に位置が限定されない場合には、アライ
メント42,43の符号を用いる)を画像認識手段50
で検出することによって、これらセル1及びTAB2の
位置ずれを検出するようになっている。この画像認識手
段50は、図8に示したように、ランプ51a,反射ミ
ラー51b,ライトガイド51c及び照明用レンズ51
dからなる照明手段51を備え、照明手段51からの照
明光はハーフミラー52に反射させて、被写体であるア
ライメントマーク42,43に向けて照射される。ま
た、被写体からの反射光は、ハーフミラー52を透過す
るようになっている。ここで、左右のアライメントマー
クはかなり近い位置に設けられており、このために左右
のアライメントマークの検出を行うためのものとして共
用される。即ち、ハーフミラー52を透過した被写体か
らの反射光は、対物レンズ53を経て、その光路に対し
て45°の角度に設けた一対の反射鏡54L,54Rが
設けられており、これら反射鏡54L,54Rに対向す
るように一対のテレビカメラ55L,55Rが設けられ
ている。このように構成することにより、アライメント
マーク42Lと43Lとがテレビカメラ55Lの視野内
に入り、またアライメントマーク42Rと43Rとはテ
レビカメラ55Rの視野に入るようになっている。
【0024】画像認識手段50は、テレビカメラ55
L,55Rからの映像信号を取り込んで、各アライメン
トマークの座標位置を検出する座標位置検出回路56を
備えている。ここで、アライメントマーク42,43は
線状のものであり、座標位置検出回路56は、これらア
ライメントマーク42,43の先端部等というように、
マークの特異点を検出するものであって、4つのアライ
メントマーク42L,42R及び43L,43Rにおけ
るXY直交座標上の位置を割り出して、これらの座標位
置から、セル1のXY方向の位置ずれ及びTAB2のθ
方向の位置ずれを検出して、X軸駆動手段25,Y軸駆
動手段26のサーボ回路57及び回動軸29を回動させ
るモータ34のサーボ回路58にサーボ信号を入力し
て、それぞれの位置調整を行うことができるようになっ
ている。
【0025】以上のように構成することによって、セル
1は設置台20に装着し、またTAB2は真空吸着ヘッ
ド27に吸着させて、これらセル1及びTAB2を所定
の位置に配置する。そして、画像認識手段50における
テレビカメラ55L,55Rによってセル1及びTAB
2のアライメントマーク42L,42R及び43L,4
3Rを撮影する。アライメントマーク42L,43Lは
テレビカメラ55Lで、またアライメントマーク42
R,43Rはテレビカメラ55Rで撮影される。そし
て、これらテレビカメラ55L,55Rの画面上での各
アライメントマークの位置と、テレビカメラ55L,5
5Rの相対位置関係とから、座標位置検出回路56でX
Y直交座標上での4つのアライメントマーク42L,4
2R,43L,43Rの位置を割り出す。
【0026】そこで、図9に示したように、セル1側の
アライメントマーク42L,42Rを結ぶ線Sに対する
TAB2側のアライメントマーク43L,43Rを結ぶ
線Tの傾きを検出して、この傾き角Δθを演算する。そ
して、この傾き角Δθを補正するために、サーボ回路5
8には、モータ34の駆動信号が入力されて、このモー
タ34が作動して、回動軸29を所定角度だけ軸回りに
回転させることによって、TAB2のθ補正を行う。こ
こで、傾き角Δθの補正をより円滑に行うには、TAB
2を吸着している吸着ヘッド31が装着されている回動
軸29の回動中心をアライメントマーク43L,43R
を結ぶ線Tを2等分した位置Pに配置する。これによっ
て、回動軸29を回動させてθ補正を行った時に、TA
B2がXY方向にさらにずれることがなくなる。
【0027】この状態で、アライメントマーク42Lと
43Lとの間(またはアライメントマーク42Rと43
Rとの間)のXY方向のずれを検出して、X軸方向のず
れΔxがあれば、X軸駆動手段25を作動させて、この
ずれΔxが0となるように補正する。また、Y軸方向の
ずれΔyがあると、このY軸方向の間隔が所定の値とな
るように、Y軸駆動手段26を作動させる。これによっ
て、セル1のXY補正が行われる。なお、セル1側のア
ライメントマーク42L,42RとTAB2側のアライ
メントマーク43L,43Rとを並べた状態にする関係
から、両部材のアライメントマーク間にはY軸方向に所
定の基準間隔だけ離した位置となるように設定されてお
り、Y軸方向のずれ量はこの基準値となるように補正さ
れる。
【0028】セル1とTAB2との間で位置調整が行わ
れると、一度回動軸28を上昇させることにより、吸着
ヘッド31に保持されているTAB2を上昇させて、セ
ル1と干渉しない位置に退避させ、Y軸駆動手段26を
作動させて、吸着ヘッド31を前述した基準間隔だけ移
動させて、シリンダ40を作動させることによって、吸
着ヘッド31を下降させると共に、所定の加圧力を加え
る。これによって、TAB2はセル1に接合される。而
して、セル1とTAB2とは相互に位置調整がなされて
いるので、両部材のリードが確実に重なり合う状態とな
る。
【0029】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、セル側
のアライメントマークとTAB側のアライメントマーク
とを1台のテレビカメラの視野内に捉えて、画像認識手
段により微細位置決めを行うように構成したので、それ
ぞれのアライメントマークを個別的にテレビカメラで撮
影して位置決めを行う場合と比較して、極めて正確に微
細位置決めでき、TABをセルに対して、微細に設けら
れているリードを確実に電気的に接続した状態に搭載で
きる等の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】セルとそれに接合されるTABとを示す外観図
である。
【図2】本発明の第1の実施例を示すTABのセルに対
する位置決めを行うための装置構成図である。
【図3】テレビカメラの視野を示す説明図である。
【図4】座標位置の検出原理を示す説明図である。
【図5】本発明の第2の実施例を示すTABの搭載装置
の概略構成図である。
【図6】第2の実施例におけるセルの位置調整機構の構
成説明図である。
【図7】第2の実施例におけるTABの位置調整機構の
構成説明図である。
【図8】第2の実施例における画像認識手段の構成説明
図である。
【図9】第2の実施例における座標位置の検出原理を示
す説明図である。
【符号の説明】
1 セル 2 TAB 3,6 リード 7,7L,7R,8,8L,8R アライメントマーク 11 XYθテーブル 13,13L,13R テレビカメラ 14L,14R 信号処理部 15L,15R 重心位置検出回路 16L,16R 座標位置演算回路 17 補正値演算回路 18 サーボ回路 20 載置台 22 XY駆動機構 25 X軸駆動手段 26 Y軸駆動手段 27 TAB保持手段 29 回動軸 31 吸着ヘッド 32 作動指片 33 回動軸駆動手段 42,42L,42R,43,43L,43R アライ
メントマーク 50 画像認識手段 55,55L,55R テレビカメラ 56 座標位置検出回路 57,58 サーボ回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 梅津 寛 東京都千代田区大手町二丁目6番2号 日 立電子エンジニアリング株式会社内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一対からなるアライメントマーク間に多
    数のリードを設けられたTABと、このTABのアライ
    メントマークに対応する位置にアライメントマークを設
    けたガラス基板からなるセルとを、リードを重ね合わせ
    るようにして接合するために、前記TAB及びセルのう
    ち、少なくとも一方を位置補正手段に保持させて設け、
    相互に接合される各対のアライメントマークを単一のテ
    レビカメラの視野内に入れて、これら両アライメントマ
    ークを画像認識してその間の位置ずれを検出し、位置補
    正手段を駆動することにより両部材の位置合せを行うよ
    うにしたことを特徴とするTAB搭載方法。
  2. 【請求項2】 前記位置補正手段は、一方側の部材を水
    平面内で縦横方向に位置補正するようになし、他方側の
    部材を回転方向に位置補正するようにしたことを特徴と
    する請求項1記載のTAB搭載方法。
  3. 【請求項3】 前記セル側を水平面内で縦横方向の位置
    補正を行い、また前記TAB側を回転方向に位置補正す
    るようにしたことを特徴とする請求項2記載のTAB搭
    載方法。
  4. 【請求項4】 前記TABにおける両アライメントマー
    クを結ぶ線上を真空吸着して、この線の中心を回転中心
    として回転方向の位置調整を行うようにしたことを特徴
    とする請求項3記載のTAB搭載方法。
JP23454594A 1994-02-01 1994-09-05 Tab搭載方法 Pending JPH07261190A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011039271A (ja) * 2009-08-11 2011-02-24 Hitachi High-Technologies Corp 電子部品実装処理装置及び実装処理方法並びに電子部品実装アライメント方法

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