JPH07234370A - Method for adjusting scanning optical device - Google Patents

Method for adjusting scanning optical device

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JPH07234370A
JPH07234370A JP5289094A JP5289094A JPH07234370A JP H07234370 A JPH07234370 A JP H07234370A JP 5289094 A JP5289094 A JP 5289094A JP 5289094 A JP5289094 A JP 5289094A JP H07234370 A JPH07234370 A JP H07234370A
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JP
Japan
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lens
optical
scanned
scanning
adhesive
Prior art date
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Pending
Application number
JP5289094A
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Japanese (ja)
Inventor
Manabu Kato
加藤  学
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To obtain an output of high quality by suppressing the curvature and tilt of a scanned surface for the adjusting method of the optical scanning device. CONSTITUTION:In the assembling process of the adjusting method of the scanning optical device, an ftheta lens 16 which has its adhesion surface coated with a photosetting adhesive is mounted on a base 17 where all optical elements except the ftheta lens 16 are assembled, and while light is emitted by a light source 11, an optical deflector 15 is rotated to make an optical scan; and CCD sensors 21 arranged at plural positions on the scanned surface 20 measure the irradiated position and the curvature and tilt of the scanned surface 20 are calculated. A control circuit 22 calculates the movement quantity of the ftheta lens 16 to be corrected by using a prepared look-up table and moves up and down arms 18a and 18b independently to move up and down the ftheta lens 16, thereby correcting the curvature and tilt on the scanned surface 20. After the adjustment, the ftheta lens 16 is fixed to the base 17 by an ultraviolet ray irradiating mechanism.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、光源から出射した光束
を偏向素子で偏向し、fθレンズを介して被走査面上を
光走査して画像情報を記録するようにした電子写真プロ
セスを有するレーザービームプリンタ(LBP)やデジ
タル複写機等に好適な走査光学装置の調整方法に関する
ものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention has an electrophotographic process for recording image information by deflecting a light beam emitted from a light source with a deflecting element and optically scanning the surface to be scanned through an f.theta. Lens. The present invention relates to a method for adjusting a scanning optical device suitable for a laser beam printer (LBP), a digital copying machine and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来からLBP等の走査光学装置におい
ては、画像信号に応じて光源手段から放射した光束を光
変調している。そして、この光変調された光束をポリゴ
ンミラーから成る光偏向器により周期的に偏向させ、f
θ特性を有する結像光学系によって感光性の記録媒体面
上にスポット状に集光させ画像記録を行っている。
2. Description of the Related Art Conventionally, in a scanning optical device such as an LBP, a light beam emitted from a light source means is optically modulated according to an image signal. Then, this light-modulated light beam is periodically deflected by an optical deflector composed of a polygon mirror, and f
An image is recorded on a photosensitive recording medium surface in the form of a spot by an image forming optical system having a θ characteristic.

【0003】図5は従来の走査光学装置の概略図であ
り、光源1の出射方向にコリメータレンズ2が設けら
れ、その光軸上に絞り3、シリンドリカルレンズ4、ポ
リゴンミラーから成る光偏向器5が順次に配置されてい
る。また、光偏向器5の反射方向にはfθ特性を有する
結像光学系6及び感光ドラム等の被走査面7が設けられ
ている。
FIG. 5 is a schematic view of a conventional scanning optical device, in which a collimator lens 2 is provided in the emitting direction of a light source 1, and an optical deflector 5 comprising a diaphragm 3, a cylindrical lens 4 and a polygon mirror on the optical axis thereof. Are arranged in sequence. Further, in the reflection direction of the optical deflector 5, an imaging optical system 6 having an fθ characteristic and a surface to be scanned 7 such as a photosensitive drum are provided.

【0004】光源1から放射した発散光束はコリメータ
ーレンズ2により略平行光束となり、絞り3によって平
行光束は制限されシリンドリカルレンズ4に入射する。
シリンドリカルレンズ4は副走査方向にのみ屈折力を有
し、入射した光束は主走査面上に集束し、光偏向器5の
反射面にほぼ線像として結像する。光偏向器5の反射面
で反射偏向された光束は結像光学系6を介して集光さ
れ、光偏向器5を図中の矢印方向に回転させることによ
って、被走査面7上を走査している。
The divergent light beam emitted from the light source 1 is converted into a substantially parallel light beam by the collimator lens 2, and the parallel light beam is limited by the diaphragm 3 and enters the cylindrical lens 4.
The cylindrical lens 4 has a refracting power only in the sub-scanning direction, and the incident light beam is focused on the main scanning surface and is focused on the reflecting surface of the optical deflector 5 as a substantially linear image. The light beam reflected and deflected by the reflecting surface of the optical deflector 5 is condensed via the imaging optical system 6, and the surface to be scanned 7 is scanned by rotating the optical deflector 5 in the direction of the arrow in the figure. ing.

【0005】また、他の従来例として図6に示すよう
に、光源1からシリンドリカルレンズ4までを、特にf
θレンズ6の光軸及び光偏向器5の回転軸を含む面内に
配置し、結像光学系6の光軸に対して対称性を持たせる
ように構成されている走査光学装置も知られている。
As another conventional example, as shown in FIG. 6, from the light source 1 to the cylindrical lens 4, especially f
There is also known a scanning optical device which is arranged in a plane including the optical axis of the θ lens 6 and the rotation axis of the optical deflector 5 and is configured to have symmetry with respect to the optical axis of the imaging optical system 6. ing.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】上述のような走査光学
装置を、LBPやデジタル複写機等の装置に組み込み使
用する場合に、高品位な出力を得るためには、走査光学
装置における被走査面の曲がり、傾きは抑えなければな
らない。この被走査面の曲がり、傾きは所定範囲内に光
学部品の位置ずれや傾きにより発生するため、従来では
光学部品及び取付基台の精度を高めることで対処してい
るが、これらの精度を高めるには限界があり、かつコス
トが掛かるという欠点がある。被走査面の傾きに関して
は基台、折り返しミラー等の傾き調整を行っているが、
曲がりに関しては現実的な調整方法がないため、被走査
面の良好な直線性を得ることは困難である。
In order to obtain a high-quality output when the scanning optical device as described above is used by incorporating it into a device such as an LBP or a digital copying machine, the surface to be scanned in the scanning optical device is to be obtained. The bend and tilt of the must be suppressed. Since the bending and inclination of the surface to be scanned are caused by the positional deviation and inclination of the optical components within a predetermined range, conventionally, this is dealt with by increasing the precision of the optical components and the mounting base. Has the drawbacks of being limited and costly. Regarding the tilt of the scanned surface, the tilt of the base, folding mirror, etc. is adjusted,
It is difficult to obtain good linearity of the surface to be scanned, because there is no realistic adjustment method for bending.

【0007】また後述した従来例のように、偏向素子へ
の光束を偏向素子の回転軸とfθレンズの光軸を含む面
から入射させる走査光学装置では、偏向素子の反射面が
前後することにより、反射面上での線像の高さが変化
し、被走査面が曲がってしまう問題点がある。
Further, as in the conventional example described later, in the scanning optical device in which the light flux to the deflecting element is made incident from the surface including the rotation axis of the deflecting element and the optical axis of the fθ lens, the reflecting surface of the deflecting element moves forward and backward. However, there is a problem that the height of the line image on the reflecting surface changes and the surface to be scanned is bent.

【0008】本発明の目的は、上述の問題点を解消し、
より高品位な出力が得られる走査光学装置の調整方法を
提供することにある。
The object of the present invention is to solve the above-mentioned problems,
An object of the present invention is to provide a method for adjusting a scanning optical device that can obtain a higher quality output.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明に係る走査光学装置の調整方法は、光源から出
射された光束を変換する第1の光学系と、該第1の光学
系から出射された光束を偏向する偏向素子と、該偏向素
子により偏向走査された光束を被走査面上にスポット状
に結像させる第2の光学系とを有する走査光学装置にお
いて、前記第1又は第2の光学系を接着剤を塗布した状
態で基台上に載置し、前記接着剤の硬化前に前記第1又
は第2の光学系の位置の光学的調整を行い、調整後に前
記接着剤を硬化させてその位置を固定することを特徴と
する。
A method for adjusting a scanning optical device according to the present invention for achieving the above object comprises a first optical system for converting a light beam emitted from a light source, and the first optical system. A deflecting element for deflecting a light beam emitted from the scanning optical device; and a second optical system for forming a light beam deflected and scanned by the deflecting element into a spot on the surface to be scanned. The second optical system is placed on the base in a state where the adhesive is applied, the position of the first or second optical system is optically adjusted before the adhesive is cured, and the adhesive is applied after the adjustment. It is characterized in that the agent is cured to fix its position.

【0010】[0010]

【作用】上述の構成を有する走査光学装置の調整方法
は、第1又は第2の光学系を基台に固定する手段として
接着剤を用い、接着剤の硬化前に光学素子の位置調整を
行い、調節後に接着剤を硬化させることにより光学素子
を固定し、被走査面への出力を良好にする。
In the method of adjusting the scanning optical device having the above-mentioned structure, the adhesive is used as a means for fixing the first or second optical system to the base, and the position of the optical element is adjusted before the adhesive is cured. After the adjustment, the adhesive is cured to fix the optical element and improve the output to the surface to be scanned.

【0011】[0011]

【実施例】本発明を図1〜図4に図示の実施例に基づい
て詳細に説明する。図1は本発明の第1の実施例の走査
光学装置の調整方法の説明図である。半導体レーザーか
ら成る光源11の出射方向にコリメータレンズ12を設
け、その光軸上に絞り13、シリンドリカルレンズ1
4、ポリゴンミラーから成る光偏向器15を配置する。
この光偏向器15はモータ等の駆動手段を有する回転軸
によって回転可能に保持する。光偏向器15の反射方向
には、fθレンズ16を基台17に載せて固定しない状
態とし、fθレンズ16の上部左右2個所にアーム18
a、18bを取り付ける。fθレンズ16の背後に、折
り返しミラー19、被走査面20を設け、被走査面20
上には複数の位置に対物レンズを介してCCDセンサ2
1を配置する。CCDセンサ21の出力は制御回路22
に接続し、制御回路22の出力は例えばステッピングモ
ータを内蔵する昇降機構23に接続し、昇降機構23に
アーム18a、18bを連結する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described in detail with reference to the embodiments shown in FIGS. FIG. 1 is an explanatory diagram of an adjusting method for a scanning optical device according to a first embodiment of the present invention. A collimator lens 12 is provided in the emitting direction of a light source 11 made of a semiconductor laser, and a diaphragm 13 and a cylindrical lens 1 are provided on the optical axis thereof.
4. An optical deflector 15 composed of a polygon mirror is arranged.
The optical deflector 15 is rotatably held by a rotating shaft having a driving means such as a motor. In the reflection direction of the optical deflector 15, the fθ lens 16 is placed on the base 17 and is not fixed, and the arms 18 are provided on the upper left and right two positions of the fθ lens 16.
Attach a and 18b. Behind the fθ lens 16, a folding mirror 19 and a scanned surface 20 are provided.
The CCD sensor 2 is located at a plurality of positions through the objective lens.
Place 1 The output of the CCD sensor 21 is the control circuit 22.
The output of the control circuit 22 is connected to an elevating mechanism 23 incorporating a stepping motor, for example, and the arms 18a and 18b are connected to the elevating mechanism 23.

【0012】ここで、fθレンズ16は主走査方向と副
走査方向とで互いに異なる曲率を持つ1枚のレンズによ
り構成されており、レンズ面の形状は非球面である。こ
の非球面形状はfθレンズ16と光軸との交点を原点と
し光軸方向をX軸、主走査面内において光軸と直交する
軸をY軸、副走査面内において光軸と直交する軸をZ軸
としたとき、
Here, the fθ lens 16 is composed of one lens having different curvatures in the main scanning direction and the sub-scanning direction, and the shape of the lens surface is an aspherical surface. This aspherical shape has an origin at the intersection of the fθ lens 16 and the optical axis, the optical axis direction is the X axis, the axis orthogonal to the optical axis in the main scanning plane is the Y axis, and the optical axis in the sub scanning plane is orthogonal to the optical axis. Is the Z axis,

【0013】主走査方向に関しては、Rを曲率半径、
K、B4、B6、B8、B10 を非球面係数とすると、次式とな
る。 X=(Y2 /R)/[1+{1−(1+K)・(Y/
R)2}1/2] +B44 +B66 +B88 +B1010
Regarding the main scanning direction, R is the radius of curvature,
When K, B 4 , B 6 , B 8 and B 10 are aspherical coefficients, the following equation is obtained. X = (Y 2 / R) / [1+ {1- (1 + K) ・ (Y /
R) 2 } 1/2 ] + B 4 Y 4 + B 6 Y 6 + B 8 Y 8 + B 10 Y 10

【0014】副走査方向に関しては、rを曲率半径、
D2、D4、D6、D8、D10 を非球面係数とすると、次式とな
る。 X=(z2 /r)/[1+{1−(z/r’)2}1/2] ただし、r’=r(1+D22 +D44 +D66 +D8
8 +D1010
In the sub-scanning direction, r is the radius of curvature,
When D 2 , D 4 , D 6 , D 8 and D 10 are aspherical coefficients, the following equation is obtained. X = (z 2 / r) / [1+ {1- (z / r ') 2} 1/2] However, r' = r (1 + D 2 Y 2 + D 4 Y 4 + D 6 Y 6 + D 8 Y
8 + D 10 Y 10)

【0015】上式は母線方向が10次までの関数で表せ
る非球面であり、また子線方向はYの値によって曲率が
異なるトーリック面であることを示している。
The above equation indicates that the generatrix direction is an aspherical surface that can be expressed by a function up to the tenth order, and that the sagittal direction is a toric surface having a different curvature depending on the value of Y.

【0016】本実施例では、上述のような走査光学装置
の組立工程において、図2に示すようにfθレンズ16
以外の光学素子を全て組み付けた基台17に、光硬化型
接着剤Bを基台17との接着面に塗布したfθレンズ1
6を載せる。ここで、光源11を発光させ光偏向器15
を回転させて光走査を行い、被走査面20上の複数の位
置に配置したCCDセンサ21により照射位置を測定
し、この出力を制御回路22に送り、制御回路22は被
走査面20における曲がり及び傾きを算出する。
In this embodiment, in the assembling process of the scanning optical device as described above, as shown in FIG.
Fθ lens 1 in which the photo-curable adhesive B is applied to the bonding surface with the base 17 on the base 17 on which all optical elements other than
Place 6. Here, the light source 11 is caused to emit light and the optical deflector 15
Is rotated to perform optical scanning, the irradiation position is measured by CCD sensors 21 arranged at a plurality of positions on the surface 20 to be scanned, and the output is sent to the control circuit 22. The control circuit 22 bends the surface 20 to be scanned. And the slope is calculated.

【0017】被走査面20の曲がり、傾きが一定の範囲
に入っていないときには、予め用意されたルックアップ
テーブルより、制御回路22はfθレンズ16の修正す
べき移動量を算出し、昇降機構23に信号を送り、昇降
機構23に連結された2本のアーム18a、18bをそ
れぞれ独立に上下動させることにより、fθレンズ16
を動かし被走査面20での曲がり、傾きを補正する。更
に、この一連のルーチンを繰り返すことにより、より精
度良く被走査面20における曲がり、傾きを補正するこ
とが可能である。この調整後に、紫外線照射機構24に
より接着面に紫外線を照射し接着剤Bを硬化させること
で、fθレンズ16を基台17に固定する。
When the surface to be scanned 20 is not bent or tilted within a certain range, the control circuit 22 calculates the amount of movement of the fθ lens 16 to be corrected from the look-up table prepared in advance, and the elevating mechanism 23. To move the two arms 18a and 18b connected to the elevating mechanism 23 up and down independently of each other.
Is moved to correct the bending and inclination on the surface 20 to be scanned. Further, by repeating this series of routines, it is possible to more accurately correct the bending and inclination of the surface 20 to be scanned. After the adjustment, the ultraviolet ray irradiation mechanism 24 irradiates the adhesive surface with ultraviolet rays to cure the adhesive B, thereby fixing the fθ lens 16 to the base 17.

【0018】なお本実施例においては、接着剤Bに光硬
化型のものを使用したが、熱硬化型等の他の接着剤を使
用しても同様の効果が得られる。
In this embodiment, the photo-curing adhesive is used as the adhesive B, but the same effect can be obtained by using other adhesive such as thermosetting adhesive.

【0019】表1は本実施例における走査光学装置の調
整方法の設計値である。
Table 1 shows design values of the adjusting method of the scanning optical device in this embodiment.

【0020】 表1 第1の実施例の設計値 走査幅 210mm 波長 780mm fθレンズ屈折率 1.52 偏光器からのコリメータ光束集光位置 239mm 偏光器−スリット 27mm スリット−fθレンズ1面 3mm fθレンズ肉厚 6mm fθレンズ2面−被走査面 111.9mm fθレンズの主走査方向の断面形状 1面 2面 R 2.53125E+01 R 2.79634E+01 K −4.23698E+00 K −5.30040E+00 B4 −4.23617E−06 B4 −4.67247E−06 B6 2.09448E−09 B6 2.00841E−09 B8 −5.83344E−13 B8 −5.98012E−13 B10 7.79461E−17 B10 8.93499E−17 fθレンズの副走査方向の断面形状 1面 2面 r −4.85318E+01 r −1.11620E+01 D2U 1.60939E−03 D4U −3.29657E−06 D6U 3.52198E−09 D8U −1.87739E−12 D10 U 3.86902E−16 D2L 1.54392E−03 D4L −3.01900E−06 D6L 2.95771E−09 D8L −1.41801E−12 D10 L 2.60958E−16Table 1 Design values of the first embodiment Scanning width 210 mm Wavelength 780 mm fθ lens refractive index 1.52 Collimator light beam focusing position from polarizer 239 mm Polarizer-slit 27 mm Slit-fθ lens 1 surface 3 mm fθ lens meat Thickness 6 mm fθ lens 2 surface−scanned surface 111.9 mm fθ lens main scanning direction cross-sectional shape 1 surface 2 surface R 2.53125E + 01 R 2.796334E + 01 K −4.23698E + 00 K −5.30040E + 00 B 4 −4.233617E -06 B 4 -4.67247E-06 B 6 2.09448E-09 B 6 2.00841E-09 B 8 -5.83344E-13 B 8 -5.98012E-13 B 10 7.79461E-17 B 10 8 .93499E-17 f [theta] lens cross-sectional shape in the sub-scanning direction 1 surface 2 surface r -4.8 5318E + 01 r -1.11620E + 01 D 2 U 1.60939E-03 D 4 U -3.29657E-06 D 6 U 3.52198E-09 D 8 U -1.87739E-12 D 10 U 3.86902E-16 D 2 L 1.54392E-03 D 4 L -3.01900E-06 D 6 L 2.95771E-09 D 8 L -1.41801E-12 D 10 L 2.60958E-16

【0021】また、表2はfθレンズ16をその光軸を
中心として5’回転させた場合及び高さ方向に0.1m
m上げた場合において、それぞれの光束の照射位置、被
走査面の傾き、曲がりの補正値を示したものである。こ
のように、fθレンズ16を上下方向に移動又は光軸を
中心として回転させることにより、被走査面の傾き、曲
がりを補正することが可能である。
Table 2 shows that when the fθ lens 16 is rotated 5 ′ about its optical axis and in the height direction, it is 0.1 m.
It shows correction values for the irradiation position of each light beam, the tilt of the surface to be scanned, and the bending when the light is raised by m. As described above, by moving the fθ lens 16 in the vertical direction or rotating it about the optical axis, it is possible to correct the inclination and bending of the surface to be scanned.

【0022】 表2 照射位置 fθレンズ スタート側 中央 エンド側 傾き 曲がり 高さ0.1 up 0.306 0.398 0.308 -0.002 -0.091 光軸中心5’回転 0.106 0 -0.103 -0.209 0Table 2 Irradiation position fθ lens Start side Central end side Tilt Bending height 0.1 up 0.306 0.398 0.308 -0.002 -0.091 5'rotation of optical axis center 0.106 0 -0.103 -0.209 0

【0023】図3は第2の実施例の構成図であり、第1
の実施例における2本のアーム18a、18bの代りに
1本のアーム31をfθレンズ16の上部中央に取り付
け、昇降機構23に連結する。
FIG. 3 is a block diagram of the second embodiment.
Instead of the two arms 18a and 18b in the above embodiment, one arm 31 is attached to the center of the upper part of the fθ lens 16 and is connected to the elevating mechanism 23.

【0024】この第2の実施例において第1の実施例と
異なる点は、アーム18a、18bによりfθレンズ1
6を左右独立に上下移動させるのではなく、アーム31
によりfθレンズ16を基台17に平行に上下させる点
にあり、その他は第1の実施例と同様である。本実施例
は第1の実施例よりも容易に被走査面の曲がりを補正す
ることができるが、表2から分かるように傾きは補正で
きないため、折り返しミラー19又は基台17等に傾き
調整機能を持たせることが必要である。
The second embodiment is different from the first embodiment in that the arms 18a and 18b are used to form the fθ lens 1.
6 does not move up and down independently left and right, but the arm 31
Therefore, the fθ lens 16 is moved up and down in parallel with the base 17, and the other points are the same as in the first embodiment. In this embodiment, the bending of the surface to be scanned can be corrected more easily than in the first embodiment, but as can be seen from Table 2, the tilt cannot be corrected, and therefore the folding mirror 19 or the base 17 has a tilt adjusting function. It is necessary to have.

【0025】図4は第3の実施例におけるシリンドリカ
ルレンズ14の基台部の構成図であり、基台17上に固
定した台座32上に、底面に接着剤Bを塗布したシリン
ドリカルレンズ14の上部中央にアーム33を取り付
け、このアーム33を昇降機構23に連結する。
FIG. 4 is a block diagram of the base portion of the cylindrical lens 14 in the third embodiment. The base 32 is fixed on the base 17, and the upper portion of the cylindrical lens 14 having the bottom surface coated with the adhesive B is adhered. An arm 33 is attached at the center, and this arm 33 is connected to the lifting mechanism 23.

【0026】この第3の実施例において第1の実施例と
異なる点は、fθレンズ16は始めから基台17上に固
定し、fθレンズ16を移動させる代りに、シリンドリ
カルレンズ14を上下方向に移動させることにより、被
走査面20における光束の曲がり、傾きを補正する点に
あり、その他は第1の実施例と同様である。
The third embodiment differs from the first embodiment in that the f.theta. Lens 16 is fixed on the base 17 from the beginning and the f.theta. Lens 16 is moved, but the cylindrical lens 14 is moved vertically. This is the same as in the first embodiment except that the light beam is bent and tilted on the surface to be scanned 20 by moving it.

【0027】第1の実施例と同様にアーム33を上下さ
せ、CCDセンサ21を用いて被走査面20上での曲が
り、傾き調整を行った後に、紫外光を照射して接着剤B
を硬化させシリンドリカルレンズ14を台座32上に固
定する。
As in the first embodiment, the arm 33 is moved up and down, and the CCD sensor 21 is used to adjust the bending and inclination on the surface 20 to be scanned, and then the ultraviolet rays are irradiated to the adhesive B.
Is cured and the cylindrical lens 14 is fixed on the pedestal 32.

【0028】表3は表1の設計値に基づいた走査光学装
置において、シリンドリカルレンズ14を0.1mm上
方にシフトさせたときの光束の照射位置、被走査面の傾
き、曲がりの補正値を示したものである。なお、本実施
例においても第2の実施例と同様に、被走査面20上で
の傾きは補正することができないので、別途に補正を行
う必要がある。
Table 3 shows the irradiation position of the light beam, the inclination of the surface to be scanned, and the correction value of the curve when the cylindrical lens 14 is shifted upward by 0.1 mm in the scanning optical device based on the design values of Table 1. It is a thing. Note that, in the present embodiment as well, as in the second embodiment, the inclination on the scanned surface 20 cannot be corrected, so it is necessary to perform the correction separately.

【0029】 表3 照射位置 シリンドリカルレンズ スタート側 中央 エンド側 傾き 曲がり高さ 0.1 up -0.186 -0.265 -0.184 -0.002 -0.08 Table 3 Irradiation position Cylindrical lens Start side Center end side Tilt Bending height 0.1 up -0.186 -0.265 -0.184 -0.002 -0.08

【0030】調整が終了した後においては、図1におい
て光源11から出射した発散光束は、コリメータレンズ
12によって平行光束となり、絞り13によって光量を
制限され、シリンドリカルレンズ14に入射する。シリ
ンドリカルレンズ14は副走査方向にのみ屈折力を有す
るため、主走査方向の光束はそのまま光偏向器15に入
射するが、副走査方向の光束はシリンドリカルレンズ1
4によって光偏向器15の偏向反射面付近に結像され
る。従って、光偏向器15に入射する光束は主走査方向
に長い線像となり、光偏向器15の矢印方向の回転によ
って偏向される。光偏向器15により偏向された光束
は、fθレンズ16に入射し、更に折り返しミラー19
で反射し被走査面20上に結像して被走査面20上を精
度良く光走査する。
After the adjustment is completed, the divergent light beam emitted from the light source 11 in FIG. 1 becomes a parallel light beam by the collimator lens 12, the light amount is limited by the diaphragm 13, and the light beam enters the cylindrical lens 14. Since the cylindrical lens 14 has a refracting power only in the sub-scanning direction, the light beam in the main scanning direction is incident on the optical deflector 15 as it is, but the light beam in the sub-scanning direction is in the cylindrical lens 1.
An image is formed in the vicinity of the deflecting / reflecting surface of the optical deflector 15 by 4. Therefore, the light beam incident on the optical deflector 15 becomes a long line image in the main scanning direction and is deflected by the rotation of the optical deflector 15 in the arrow direction. The light beam deflected by the optical deflector 15 enters the fθ lens 16 and is further reflected by the folding mirror 19.
And is imaged on the surface to be scanned 20, and the surface to be scanned 20 is optically scanned with high precision.

【0031】[0031]

【発明の効果】以上説明したように本発明係る走査光学
装置の調整方法は、第1の光学系又は第2の光学系を基
台に固定する際に、接着剤の硬化前にこれらの位置調整
を行い、調整後に接着剤を硬化させることにより固定を
行い、被走査面における補正を容易にかつ低コストで行
う。
As described above, in the method for adjusting the scanning optical device according to the present invention, when fixing the first optical system or the second optical system to the base, these positions are set before the adhesive is cured. Adjustment is performed and fixing is performed by curing the adhesive after the adjustment, and the correction on the surface to be scanned is performed easily and at low cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】第1の実施例の説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of a first embodiment.

【図2】fθレンズ部の説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram of an fθ lens unit.

【図3】第2の実施例の説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of a second embodiment.

【図4】第3の実施例の説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of a third embodiment.

【図5】従来例の説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of a conventional example.

【図6】他の従来例の説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram of another conventional example.

【符号の説明】 11 光源 14 シリンドリカルレンズ 15 光偏向器 16 fθレンズ 17 基台 18a、18b、31、33 アーム 21 CCDセンサ 22 制御回路 23 昇降機構 24 紫外線照射装置 32 台座[Explanation of reference numerals] 11 light source 14 cylindrical lens 15 light deflector 16 fθ lens 17 base 18a, 18b, 31, 33 arm 21 CCD sensor 22 control circuit 23 lifting mechanism 24 ultraviolet irradiation device 32 pedestal

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光源から出射された光束を変換する第1
の光学系と、該第1の光学系から出射された光束を偏向
する偏向素子と、該偏向素子により偏向走査された光束
を被走査面上にスポット状に結像させる第2の光学系と
を有する走査光学装置において、前記第1又は第2の光
学系を接着剤を塗布した状態で基台上に載置し、前記接
着剤の硬化前に前記第1又は第2の光学系の位置の光学
的調整を行い、調整後に前記接着剤を硬化させてその位
置を固定することを特徴とする走査光学装置の調整方
法。
1. A first device for converting a light beam emitted from a light source.
Optical system, a deflecting element for deflecting the light beam emitted from the first optical system, and a second optical system for forming a light beam deflected and scanned by the deflecting element into a spot on the surface to be scanned. In the scanning optical device having the above, the first or second optical system is placed on a base with an adhesive applied, and the position of the first or second optical system is set before the adhesive is cured. 2. The method for adjusting a scanning optical device, wherein the optical adjustment is performed, and after the adjustment, the adhesive is cured to fix the position.
【請求項2】 前記接着剤は光硬化型接着剤とした請求
項1に記載の走査光学装置の調整方法。
2. The method for adjusting a scanning optical device according to claim 1, wherein the adhesive is a photocurable adhesive.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1299232C (en) * 2002-06-26 2007-02-07 宇东科技股份有限公司 Semi-automatic adjusting device for making scanners and method for using the same
JP2007171626A (en) * 2005-12-22 2007-07-05 Ricoh Co Ltd Optical scanner and image forming apparatus

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