JPH07234140A - Fluidic flowmeter - Google Patents

Fluidic flowmeter

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JPH07234140A
JPH07234140A JP4780294A JP4780294A JPH07234140A JP H07234140 A JPH07234140 A JP H07234140A JP 4780294 A JP4780294 A JP 4780294A JP 4780294 A JP4780294 A JP 4780294A JP H07234140 A JPH07234140 A JP H07234140A
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JP
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fluidic
gas
fluid
target
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Kazumitsu Nukui
一光 温井
Tetsuo Naganuma
徹郎 長沼
Yuichi Nagano
裕一 長野
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Tokyo Gas Co Ltd
Original Assignee
Tokyo Gas Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To reduce the effect of pressure fluctuations on an upstream side by stabilizing fluidic oscillation. CONSTITUTION:The gas received from the inlet part 11 of a fluidic flowmeter passes-through a first gas passage 14 and an opening part 16 to reach the nozzle 21 within a second gas passage 15. The gas ejected from the nozzle 21 is branched by the end part on the upstream side of a target part 51 to be guided to feedback passages 27, 28 by guide walls 51a, 51b to alternately flow through the feedback passages 27, 28. The frequency of the changeover in the flow directions of the gas is detected on the basis of the outputs of pressure sensors 33, 34 and a flow rate is measured on the basis of this frequency.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ガスメータ等に利用さ
れるフルイディック流量計に係り、特に上流側での圧力
変動の影響を低減させる手段を有するフルイディック流
量計に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fluidic flowmeter used for gas meters and the like, and more particularly to a fluidic flowmeter having means for reducing the influence of pressure fluctuations on the upstream side.

【0002】[0002]

【従来の技術】フルイディック流量計は、噴流を発生さ
せるノズルの下流側に、一対の側壁によって流路拡大部
を形成すると共に、側壁の外側に設けられたリターンガ
イドによって、ノズルを通過した流体を各側壁の外側に
沿ってノズルの噴出口側へ導く一対のフィードバック流
路を形成し、ノズルを通過した流体が一対のフィードバ
ック流路を交互に流れる現象(以下、フルイディック発
振という。)を利用し、ノズルを通過した流体の流れる
方向の切り替わりの周波数(以下、発振周波数とい
う。)に基づいて流体の流量を計量するものである。
2. Description of the Related Art A fluidic flow meter has a flow passage expanding portion formed by a pair of side walls on the downstream side of a nozzle for generating a jet flow, and a fluid passing through the nozzle by a return guide provided on the outside of the side wall. Forming a pair of feedback flow paths that lead to the jet outlet side of the nozzle along the outer side of each side wall, and a fluid that has passed through the nozzle alternately flows through the pair of feedback flow paths (hereinafter referred to as fluidic oscillation). The flow rate of the fluid is measured based on the frequency of switching of the flow direction of the fluid that has passed through the nozzle (hereinafter referred to as oscillation frequency).

【0003】ところで、ガスメータとして使用する流量
計では、流量計の下流側に接続された機器によって発生
するガス圧力の変動(脈動)が流量計の計量部や流量計
の上流側へ伝わらないように、流量計の出口部に、絞り
や、パンチングメタル(多数の孔を形成した金属板)、
焼結金属等の多孔質板や、ゴムチューブ等の緩衝流路を
設けたものが提案されている。
By the way, in a flow meter used as a gas meter, fluctuation (pulsation) of gas pressure generated by a device connected to the downstream side of the flow meter is prevented from being transmitted to the metering section of the flow meter or the upstream side of the flow meter. , At the outlet of the flowmeter, a diaphragm or punching metal (a metal plate with a large number of holes),
A porous plate made of sintered metal or the like, or a plate provided with a buffer channel such as a rubber tube has been proposed.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、流量計
をガスメータとして用いた場合には、近隣のガスメータ
の状態や近隣のガスの使用状況等によって、流量計の上
流側でも圧力変動が発生するが、従来は流量計の上流側
での圧力変動については考慮されていなかった。上流側
での圧力変動があるガスの流量をフルイディック流量計
によって計量した場合、上流側での圧力変動によってフ
ルイディック流量計の発振周波数が乱れ、例えば、フル
イディック流量計の発振周波数が上流側での圧力変動の
周波数またはその1/2の周波数に変化する場合があ
る。そのため、計量した流量の誤差が大きくなったり、
流量を計量できなくなったりするという問題点があっ
た。
However, when a flow meter is used as a gas meter, pressure fluctuations occur on the upstream side of the flow meter depending on the state of the nearby gas meter and the usage status of the nearby gas. Conventionally, the pressure fluctuation on the upstream side of the flowmeter has not been considered. When the flow rate of gas with pressure fluctuation on the upstream side is measured by a fluidic flow meter, the oscillation frequency of the fluidic flow meter is disturbed by the pressure fluctuation on the upstream side, for example, the oscillation frequency of the fluidic flow meter is on the upstream side. There is a case where the frequency of the pressure fluctuation at 1 or the frequency of half of the pressure fluctuation changes. Therefore, the error of the measured flow rate becomes large,
There was a problem that the flow rate could not be measured.

【0005】このような上流側での圧力変動の影響を低
減させる方法として、フルイディック流量計の内部の構
造を工夫することで、フルイディック発振を安定に行わ
せることが考えられる。例えば、特開平1−25072
5号公報に示されるように、ノズルの噴出口の前方に、
ノズルから噴出された流体を分岐するターゲットを設け
ることでフルイディック発振の安定化を図ることができ
る。
As a method of reducing the influence of such pressure fluctuations on the upstream side, it is conceivable to stabilize the fluidic oscillation by devising the internal structure of the fluidic flowmeter. For example, Japanese Patent Laid-Open No. 1-25072
As shown in Japanese Patent Publication No. 5, in front of the nozzle outlet,
It is possible to stabilize the fluidic oscillation by providing a target that branches the fluid ejected from the nozzle.

【0006】このようなターゲットを有するフルイディ
ック流量計の一例の要部を図5に示す。このフルイディ
ック流量計では、ノズル21の下流側に、拡大された流
路を形成する一対の側壁23、24が設けられ、この側
壁23、24の間に、所定の間隔を開けて、上流側に第
1ターゲット25、下流側に第2ターゲット26がそれ
ぞれ配設されている。また、側壁23、24の外側に
は、ノズル21を通過した流体を各側壁23、24の外
周部に沿ってノズル21の噴出口側へ帰還させる一対の
フィードバック流路27、28を形成するリターンガイ
ド29が配設されている。また、フィードバック流路2
7、28の各出口部分と出口部12との間には、リター
ンガイド29の背面と本体10とによって、一対の排出
路31、32が形成されている。また、噴出口の近傍に
は、それぞれ、ノズル21を通過した流体の流れる方向
の切り替わりを検出するための圧力センサ33、34が
配設されている。
FIG. 5 shows an essential part of an example of a fluidic flowmeter having such a target. In this fluidic flow meter, a pair of side walls 23 and 24 that form an enlarged flow path are provided on the downstream side of the nozzle 21, and a predetermined space is provided between the side walls 23 and 24 to upstream side. The first target 25 and the second target 26 are disposed on the downstream side. In addition, a pair of feedback flow paths 27 and 28 are formed outside the side walls 23 and 24 to return the fluid passing through the nozzle 21 to the ejection port side of the nozzle 21 along the outer peripheral portions of the side walls 23 and 24. A guide 29 is provided. In addition, the feedback channel 2
A pair of discharge passages 31 and 32 are formed between the outlet portions of 7 and 28 and the outlet portion 12 by the back surface of the return guide 29 and the main body 10. Further, pressure sensors 33 and 34 for detecting switching of the flowing direction of the fluid that has passed through the nozzle 21 are provided near the ejection ports, respectively.

【0007】しかしながら、このような構成のフルイデ
ィック流量計では、第1ターゲット25と第2ターゲッ
ト26の間、および第2ターゲット26とリターンガイ
ド29の間にそれぞれ空間があるため、各側壁23、2
4に沿って流れる流体の一部がこれらの空間に流れ込ん
でしまい、ノズル21の噴出口側へ帰還する流れが弱く
なってしまう。その結果、フルイディック流量計の上流
側で圧力変動がある場合にフルイディック発振が不安定
になりやすいという問題点がある。
However, in the fluidic flowmeter having such a structure, there are spaces between the first target 25 and the second target 26 and between the second target 26 and the return guide 29, so that the side walls 23, Two
A part of the fluid flowing along 4 flows into these spaces, and the flow returning to the ejection port side of the nozzle 21 becomes weak. As a result, there is a problem that the fluidic oscillation tends to become unstable when there is a pressure fluctuation on the upstream side of the fluidic flow meter.

【0008】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、フルイディック発振を安定化して、
上流側での圧力変動の影響を低減できるようにしたフル
イディック流量計を提供することにある。
The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to stabilize fluidic oscillation,
An object of the present invention is to provide a fluidic flow meter capable of reducing the influence of pressure fluctuation on the upstream side.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明のフルイディック
流量計は、流体を受け入れる入口部と、この入口部から
受け入れた流体を通過させて噴流を発生させるノズル
と、このノズルの下流側に設けられ、拡大された流路を
形成する一対の側壁と、この側壁の外側に設けられ、ノ
ズルを通過した流体を各側壁の外側に沿ってノズルの噴
出口側へ帰還させる一対のフィードバック流路を形成す
るリターンガイドと、フィードバック流路を通過した流
体を排出する出口部と、ノズルを通過した流体の流れる
方向の切り替わりを検出する検出手段と、一対の側壁の
間に設けられ、ノズルを通過した流体を分岐するターゲ
ットと、一対の側壁の間であってターゲットの下流側に
設けられ、ターゲットによって分岐された流体をフィー
ドバック流路に導くための2つの案内用壁とを備えたも
のである。
A fluidic flowmeter according to the present invention is provided with an inlet portion for receiving a fluid, a nozzle for passing a fluid received from the inlet portion to generate a jet flow, and a downstream side of the nozzle. A pair of side walls forming an enlarged flow path, and a pair of feedback flow paths provided outside the side walls for returning the fluid that has passed through the nozzles to the ejection port side of the nozzles along the outer side of each side wall. A return guide that is formed, an outlet that discharges the fluid that has passed through the feedback channel, a detection unit that detects the switching of the flowing direction of the fluid that has passed through the nozzle, and a pair of side walls that are provided between the side wall and the nozzle. Provided between the target for branching the fluid and the pair of side walls and on the downstream side of the target, and guiding the fluid branched by the target to the feedback channel. It is obtained and two of the guide wall of the eye.

【0010】このフルイディック流量計では、ノズルを
通過した流体は、ターゲットによって分岐され、案内用
壁によってフィードバック流路に導かれる。これによ
り、フルイディック発振が安定に行われる。
In this fluidic flow meter, the fluid that has passed through the nozzle is branched by the target and guided to the feedback channel by the guiding wall. Thereby, fluidic oscillation is stably performed.

【0011】請求項2記載のフルイディック流量計は、
請求項1記載のフルイディック流量計において、案内用
壁が、ターゲットからリターンガイドの間に連続的に設
けられているものである。
The fluidic flowmeter according to claim 2 is
In the fluidic flow meter according to claim 1, the guide wall is continuously provided between the target and the return guide.

【0012】[0012]

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings.

【0013】図1は本発明の第1実施例のフルイディッ
ク流量計の構成を示す断面図である。なお、本実施例
は、ガスメータとして使用するフルイディック流量計の
例である。図1に示すように、本実施例のフルイディッ
ク流量計は、気体(ガス)を受け入れる入口部11と気
体を排出する出口部12とを有する本体10を備えてい
る。本体10内には隔壁13が設けられ、この隔壁13
と入口部11との間に第1の気体流路14が形成され、
隔壁13と出口部12との間に第2の気体流路15が形
成されている。隔壁13には開口部16が設けられ、第
1の気体流路14内には、開口部16を閉塞可能な弁1
7が設けられている。また、本体10の外側にはソレノ
イド18が固定され、このソレノイド18のプランジャ
19が、本体10の側壁を貫通して弁17に接合されて
いる。そして、ソレノイド18が消磁状態のときは弁1
7が開口部16から離れ、開口部16が開放された状態
となり、ソレノイド18が励磁状態のときはプランジャ
19が突出して弁17が開口部16を閉塞するようにな
っている。
FIG. 1 is a sectional view showing the structure of a fluidic flow meter according to the first embodiment of the present invention. The present embodiment is an example of a fluidic flow meter used as a gas meter. As shown in FIG. 1, the fluidic flow meter of this embodiment includes a main body 10 having an inlet portion 11 for receiving gas (gas) and an outlet portion 12 for discharging gas. A partition wall 13 is provided in the main body 10, and the partition wall 13
The first gas flow path 14 is formed between the inlet 11 and
A second gas flow path 15 is formed between the partition wall 13 and the outlet portion 12. An opening 16 is provided in the partition wall 13, and a valve 1 capable of closing the opening 16 in the first gas flow path 14.
7 is provided. A solenoid 18 is fixed to the outside of the main body 10, and a plunger 19 of the solenoid 18 penetrates a side wall of the main body 10 and is joined to the valve 17. When the solenoid 18 is demagnetized, the valve 1
7 is separated from the opening 16, the opening 16 is opened, and when the solenoid 18 is in the excited state, the plunger 19 projects and the valve 17 closes the opening 16.

【0014】第2の気体流路15内には、入口部11か
ら受け入れた気体を通過させて噴流を発生させるノズル
21が設けられている。このノズル21の上流側には気
体の流れを整える整流部材22が設けられている。ノズ
ル21の下流側には、拡大された流路を形成する一対の
側壁23、24が設けられている。この側壁23、24
の間には、ターゲットおよび案内用壁として作用するタ
ーゲット部51が設けられている。また、側壁23、2
4の外側には、ノズル21を通過した気体を各側壁2
3、24の外周部に沿ってノズル21の噴出口側へ帰還
させる一対のフィードバック流路27、28を形成する
リターンガイド29が配設されている。また、フィード
バック流路27、28の各出口部分と出口部12との間
には、リターンガイド29の背面と本体10とによっ
て、一対の排出路31、32が形成されている。
In the second gas passage 15, there is provided a nozzle 21 which allows the gas received from the inlet portion 11 to pass therethrough to generate a jet flow. A rectifying member 22 that regulates the flow of gas is provided on the upstream side of the nozzle 21. On the downstream side of the nozzle 21, a pair of side walls 23, 24 forming an enlarged flow path are provided. This side wall 23, 24
A target portion 51 that acts as a target and a guiding wall is provided between the two. Also, the side walls 23, 2
The gas that has passed through the nozzle 21 is provided outside each of the side walls 2
A return guide 29 is provided along the outer peripheral portions of 3, 24 to form a pair of feedback flow paths 27, 28 for returning to the ejection port side of the nozzle 21. A pair of discharge passages 31 and 32 are formed between the outlet portions of the feedback flow passages 27 and 28 and the outlet portion 12 by the back surface of the return guide 29 and the main body 10.

【0015】ターゲット部51は、リターンガイド29
と一体化されていると共に、上流側の端部からリターン
ガイド29に至るまでに徐々に幅が拡大する形状となっ
ている。そして、ターゲット部51の上流側の端部がタ
ーゲットとして作用し、この端部からリターンガイド2
9に至るまでの2つの壁面が、ターゲットによって分岐
された気体をフィードバック流路27、28に導くため
の2つの案内用壁51a、51bとなっている。
The target section 51 includes a return guide 29.
In addition to being integrated, the width gradually increases from the upstream end to the return guide 29. Then, the upstream end of the target portion 51 acts as a target, and from this end, the return guide 2
Two wall surfaces up to 9 serve as two guide walls 51a and 51b for guiding the gas branched by the target to the feedback flow paths 27 and 28.

【0016】また、ノズル21の噴出口の近傍には、ノ
ズル21を通過した気体の流れる方向の切り替わりを検
出する検出手段としての圧力センサ33、34が配設さ
れている。
In addition, pressure sensors 33 and 34 as detecting means for detecting the switching of the flow direction of the gas passing through the nozzle 21 are provided in the vicinity of the ejection port of the nozzle 21.

【0017】図2は本実施例のフルイディック流量計の
回路部分の構成を示すブロック図である。この図に示す
ように、フルイディック流量計は、各圧力センサ33、
34の出力を入力し、流量を演算する流量演算部41
と、この流量演算部41によって演算された流量を表示
する表示部42と、流量演算部41によって制御され、
ソレノイド18を駆動するソレノイド駆動回路43とを
備えている。流量演算部41は、例えば各圧力センサ3
3、34の出力を2値化してパルス化し、単位時間当た
りのパルス数をカウントして、ノズル21を通過した気
体の流れる方向の切り替わりの周波数を求め、この周波
数を流量に換算する。また、本実施例のフルイディック
流量計は、ガスメータとして使用した場合における安全
機能として、例えば、流量演算部41が所定量以上の流
量を検出した場合や所定の流量を所定時間以上検出した
場合等に、ソレノイド駆動回路43を動作させてソレノ
イド18を励磁し、弁17によって開口部16を閉塞し
てガスを遮断するようになっている。なお、流量演算部
41は、例えばマイクロコンピュータによって実現され
る。
FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of the circuit portion of the fluidic flow meter of this embodiment. As shown in this figure, the fluidic flowmeter is provided with each pressure sensor 33,
Flow rate calculator 41 that inputs the output of 34 and calculates the flow rate
And a display unit 42 that displays the flow rate calculated by the flow rate calculation unit 41, and is controlled by the flow rate calculation unit 41.
And a solenoid drive circuit 43 for driving the solenoid 18. The flow rate calculation unit 41 uses, for example, each pressure sensor 3
The outputs of 3 and 34 are binarized and pulsed, the number of pulses per unit time is counted, the switching frequency of the flowing direction of the gas passing through the nozzle 21 is obtained, and this frequency is converted into a flow rate. Further, the fluidic flow meter of the present embodiment has a safety function when used as a gas meter, for example, when the flow rate calculation unit 41 detects a flow rate of a predetermined amount or more, or when a predetermined flow rate is detected for a predetermined time or more, etc. In addition, the solenoid drive circuit 43 is operated to excite the solenoid 18, and the valve 17 closes the opening 16 to shut off the gas. The flow rate calculation unit 41 is realized by, for example, a microcomputer.

【0018】次に、本実施例のフルイディック流量計の
作用について説明する。
Next, the operation of the fluidic flow meter of this embodiment will be described.

【0019】フルイディック流量計の入口部11から受
け入れられた気体は、第1の気体流路14、開口部16
を通過して、第2の気体流路15に入る。第2の気体流
路15に入った気体は、整流部材22を経て、ノズル2
1を通過し、噴流となってノズル21より噴出される。
ノズル21より噴出された気体は、コアンダ効果により
一方の側壁に沿って流れる。ここでは、まず側壁23に
沿って流れるものとする。側壁23に沿って流れた気体
は、更にフィードバック流路27を経て、ノズル21の
噴出口側へ帰還され、排出路31を経て出口部12より
排出される。このとき、ノズル21より噴出された気体
は、フィードバック流路27を流れてきた気体によって
方向が変えられ、今度は他方の側壁24に沿って流れる
ようになる。この気体は、更にフィードバック流路28
を経て、ノズル21の噴出口側へ帰還され、排出路32
を経て出口部12より排出される。すると、ノズル21
より噴出された気体は、今度は、フィードバック流路2
8を流れてきた気体によって方向が変えられ、再び側壁
23、フィードバック流路27に沿って流れるようにな
る。以上の動作を繰り返すことにより、ノズル21を通
過した気体は一対のフィードバック流路27、28を交
互に流れる。この気体の流れる方向の切り替わりの周波
数は流量と対応関係がある。ノズル21を通過した気体
の流れる方向の切り替わりの周波数は、圧力センサ3
3、34の出力に基づいて流量演算部41によって求め
られる。流量演算部41は、求めた周波数より流量を演
算し、表示部42に表示する。また、流量演算部41
は、所定量以上の流量を検出した場合や所定の流量を所
定時間以上検出した場合等に、ソレノイド駆動回路43
を動作させてソレノイド18を励磁し、弁17によって
開口部16を閉塞し、フルイディック流量計の下流側へ
の気体(ガス)の供給を停止する。
The gas received from the inlet portion 11 of the fluidic flow meter is the first gas flow path 14 and the opening portion 16.
To enter the second gas flow path 15. The gas that has entered the second gas flow path 15 passes through the rectifying member 22 and the nozzle 2
1, and becomes a jet flow and is ejected from the nozzle 21.
The gas ejected from the nozzle 21 flows along one side wall due to the Coanda effect. Here, it shall first flow along the side wall 23. The gas flowing along the side wall 23 is further returned to the ejection port side of the nozzle 21 via the feedback flow path 27, and is discharged from the outlet portion 12 via the discharge path 31. At this time, the gas ejected from the nozzle 21 is changed in direction by the gas flowing through the feedback flow path 27, and now flows along the other side wall 24. This gas is further fed back to the feedback channel 28.
Through the discharge path 32 of the nozzle 21.
And then discharged from the outlet section 12. Then, the nozzle 21
The gas ejected from the feedback flow channel 2 this time.
The gas flowing in 8 changes its direction and again flows along the side wall 23 and the feedback flow path 27. By repeating the above operation, the gas passing through the nozzle 21 alternately flows through the pair of feedback flow paths 27 and 28. The switching frequency of the gas flow direction has a correspondence with the flow rate. The frequency at which the flow direction of the gas passing through the nozzle 21 is switched is determined by the pressure sensor 3
It is calculated by the flow rate calculation unit 41 based on the outputs of 3 and 34. The flow rate calculation unit 41 calculates the flow rate from the obtained frequency and displays it on the display unit 42. In addition, the flow rate calculation unit 41
Is the solenoid drive circuit 43 when a flow rate of a predetermined amount or more is detected, or when a predetermined flow rate is detected for a predetermined time or more.
Is operated to excite the solenoid 18, the opening 16 is closed by the valve 17, and the supply of gas to the downstream side of the fluidic flow meter is stopped.

【0020】ところで、本実施例のフルイディック流量
計では、2つの側壁23、24の間にターゲット部51
が設けられており、ノズル21を通過した気体は、ター
ゲット部51の上流側の端部で分岐され、更に、側壁2
3、24とターゲット部51の案内用壁51a、51b
とによってフィードバック流路27、28に導かれる。
また、本実施例では、ターゲット部51の上流側の端部
からリターンガイド29までの間に、各側壁23、24
に沿って流れる流体の一部が流れ込むような空間がな
い。従って、本実施例のフルイディック流量計によれ
ば、フィードバック流路27、28を経てノズル21の
噴出口側へ帰還する流れが強くなり、フルイディック発
振が安定に行われる。そのため、フルイディック流量計
の上流側で気体の圧力変動がある場合でも、正確な流量
の計量が可能となる。
By the way, in the fluidic flow meter of this embodiment, the target portion 51 is provided between the two side walls 23 and 24.
The gas that has passed through the nozzle 21 is branched at the upstream end of the target portion 51, and the side wall 2
3, 24 and guide walls 51a and 51b of the target unit 51
And are guided to the feedback channels 27 and 28.
In the present embodiment, the side walls 23, 24 are provided between the upstream end of the target portion 51 and the return guide 29.
There is no space for a part of the fluid flowing along to flow into. Therefore, according to the fluidic flowmeter of the present embodiment, the flow returning to the ejection port side of the nozzle 21 via the feedback flow paths 27 and 28 becomes strong, and fluidic oscillation is stably performed. Therefore, even if the gas pressure fluctuates on the upstream side of the fluidic flow meter, it is possible to accurately measure the flow rate.

【0021】また、本実施例のフルイディック流量計で
は、フルイディック発振が安定に行われるので、流量が
小さい場合でも正確な流量の計量が可能となる。
Further, in the fluidic flowmeter of this embodiment, since fluidic oscillation is stably performed, accurate flowrate can be measured even when the flowrate is small.

【0022】図3は本発明の第2実施例のフルイディッ
ク流量計の要部の構成を示す断面図である。本実施例
は、第1実施例のフルイディック流量計において、ター
ゲット部51の代わりに、リターンガイド29と分離し
たターゲット52を設けると共に、このターゲット52
からリターンガイド29に至るまでの間に2つの案内用
壁53、54を設けたものである。2つの案内用壁5
3、54の間隔は、上流側から下流側にかけて徐々に大
きくなっている。その他の構成、作用および効果は第1
実施例と同様である。
FIG. 3 is a sectional view showing the structure of the essential part of the fluidic flow meter of the second embodiment of the present invention. In this embodiment, in the fluidic flowmeter of the first embodiment, a target 52 separate from the return guide 29 is provided instead of the target portion 51, and the target 52 is also provided.
Two guiding walls 53 and 54 are provided between the first and the second guides. Two guide walls 5
The interval between 3 and 54 gradually increases from the upstream side to the downstream side. Other configurations, actions and effects are first
It is similar to the embodiment.

【0023】図4は本発明の第3実施例のフルイディッ
ク流量計の要部の構成を示す断面図である。本実施例
は、第1実施例のフルイディック流量計において、ター
ゲット部51の代わりに、リターンガイド29と分離し
たターゲット部56を設けたものである。このターゲッ
ト部56は、上流側の端部から下流側の端部にかけて徐
々に幅が拡大する形状となっている。そして、ターゲッ
ト部56の上流側の端部がターゲットとして作用し、こ
の上流側の端部から下流側の端部に至るまでの2つの壁
面が、ターゲットによって分岐された気体をフィードバ
ック流路27、28に導くための2つの案内用壁56
a、56bとなっている。
FIG. 4 is a sectional view showing the structure of the essential part of a fluidic flowmeter according to the third embodiment of the present invention. In this embodiment, in the fluidic flowmeter of the first embodiment, a target portion 56 separate from the return guide 29 is provided instead of the target portion 51. The target portion 56 has a shape in which the width gradually increases from the upstream end portion to the downstream end portion. The upstream end of the target portion 56 acts as a target, and the two wall surfaces from the upstream end to the downstream end feed the gas branched by the target to the feedback flow path 27. Two guiding walls 56 for leading to 28
a and 56b.

【0024】本実施例では、ターゲット部56とリター
ンガイド29との間に空間があるものの、案内用壁56
a、56bの作用により、図5に示す例に比べると、フ
ィードバック流路27、28を経てノズル21の噴出口
側へ帰還する流れが強くなり、フルイディック発振が安
定化する。その他の構成、作用および効果は第1実施例
と同様である。
In this embodiment, although there is a space between the target portion 56 and the return guide 29, the guide wall 56 is provided.
As compared with the example shown in FIG. 5, due to the actions of a and 56b, the flow returning to the ejection port side of the nozzle 21 via the feedback flow paths 27 and 28 becomes stronger, and the fluidic oscillation is stabilized. Other configurations, operations and effects are similar to those of the first embodiment.

【0025】なお、本発明は上記各実施例に限定され
ず、例えば、圧力センサ33、34の代わりに、圧力セ
ンサ33の位置における圧力と圧力センサ34の位置に
おける圧力との差圧を求める差圧センサを設けても良
い。
The present invention is not limited to the above-described embodiments, and for example, instead of the pressure sensors 33 and 34, the difference between the pressure at the position of the pressure sensor 33 and the pressure at the position of the pressure sensor 34 is obtained. A pressure sensor may be provided.

【0026】また、上記各実施例ではガス等の気体の流
量を計量するフルイディック流量計について説明した
が、本発明のフルイディック流量計は、気体のみならず
液体の流量を計量する流量計としても利用することがで
きる。
In each of the above embodiments, the fluidic flowmeter for measuring the flow rate of gas such as gas has been described. However, the fluidic flowmeter of the present invention serves as a flowmeter for measuring the flow rate of not only gas but also liquid. Can also be used.

【0027】[0027]

【発明の効果】以上説明したように本発明のフルイディ
ック流量計によれば、ノズルを通過した流体が、ターゲ
ットによって分岐され、案内用壁によってフィードバッ
ク流路に導かれるので、フルイディック発振が安定化さ
れ、上流側での圧力変動の影響を低減することができる
という効果がある。
As described above, according to the fluidic flow meter of the present invention, the fluid that has passed through the nozzle is branched by the target and guided to the feedback flow path by the guiding wall, so that fluidic oscillation is stable. Therefore, it is possible to reduce the influence of the pressure fluctuation on the upstream side.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1実施例のフルイディック流量計の
構成を示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a configuration of a fluidic flow meter according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第1実施例のフルイディック流量計の
回路部分の構成を示すブロック図である。
FIG. 2 is a block diagram showing a configuration of a circuit portion of the fluidic flow meter according to the first embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第2実施例のフルイディック流量計の
要部の構成を示す断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a configuration of a main part of a fluidic flow meter according to a second embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第3実施例のフルイディック流量計の
要部の構成を示す断面図である。
FIG. 4 is a sectional view showing a configuration of a main part of a fluidic flow meter according to a third embodiment of the present invention.

【図5】ターゲットを有するフルイディック流量計の一
例の要部を示す断面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view showing a main part of an example of a fluidic flowmeter having a target.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 入口部 12 出口部 21 ノズル 23、24 側壁 27、28 フィードバック流路 29 リターンガイド 33、34 圧力センサ 51 ターゲット部 51a、51b 案内用壁 11 inlet part 12 outlet part 21 nozzle 23, 24 side wall 27, 28 feedback channel 29 return guide 33, 34 pressure sensor 51 target part 51a, 51b guiding wall

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 流体を受け入れる入口部と、 この入口部から受け入れた流体を通過させて噴流を発生
させるノズルと、 このノズルの下流側に設けられ、拡大された流路を形成
する一対の側壁と、 この側壁の外側に設けられ、前記ノズルを通過した流体
を各側壁の外側に沿って前記ノズルの噴出口側へ帰還さ
せる一対のフィードバック流路を形成するリターンガイ
ドと、 前記フィードバック流路を通過した流体を排出する出口
部と、 前記ノズルを通過した流体の流れる方向の切り替わりを
検出する検出手段と、 前記一対の側壁の間に設けられ、前記ノズルを通過した
流体を分岐するターゲットと、 前記一対の側壁の間であって前記ターゲットの下流側に
設けられ、前記ターゲットによって分岐された流体を前
記フィードバック流路に導くための2つの案内用壁とを
具備することを特徴とするフルイディック流量計。
1. An inlet part for receiving a fluid, a nozzle for passing the fluid received from the inlet part to generate a jet flow, and a pair of side walls provided on the downstream side of the nozzle and forming an enlarged flow path. And a return guide that is provided on the outside of the side wall and forms a pair of feedback flow paths for returning the fluid that has passed through the nozzles to the ejection port side of the nozzle along the outside of each side wall, and the feedback flow path. An outlet for discharging the fluid that has passed through, a detection unit that detects switching of the flowing direction of the fluid that has passed through the nozzle, a target that is provided between the pair of sidewalls, and that branches the fluid that has passed through the nozzle, It is provided between the pair of side walls and downstream of the target, and guides the fluid branched by the target to the feedback channel. A fluidic flowmeter characterized by comprising the two guiding walls of the.
【請求項2】 前記案内用壁は、前記ターゲットから前
記リターンガイドの間に連続的に設けられていることを
特徴とする請求項1記載のフルイディック流量計。
2. The fluidic flow meter according to claim 1, wherein the guide wall is continuously provided between the target and the return guide.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114964718A (en) * 2022-08-02 2022-08-30 北京科技大学 Device and method for detecting jet cavitation and oscillation characteristics in confining pressure environment

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