JPH07223841A - 熱線遮蔽ガラス - Google Patents
熱線遮蔽ガラスInfo
- Publication number
- JPH07223841A JPH07223841A JP2017594A JP2017594A JPH07223841A JP H07223841 A JPH07223841 A JP H07223841A JP 2017594 A JP2017594 A JP 2017594A JP 2017594 A JP2017594 A JP 2017594A JP H07223841 A JPH07223841 A JP H07223841A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- metal silicide
- metal
- silicide film
- glass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
- C03C17/3429—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating
- C03C17/3482—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating comprising silicon, hydrogenated silicon or a silicide
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- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 光学特性と耐久性に優れ、低から中可視光透
過率を調整できる熱線遮蔽ガラスを提供する。 【構成】 透明なガラスの少なくとも一面に、周期律の
原子番号が２２〜２８の金属又はこれらの合金を含有す
るＭeＳiｘ（ｘ＝１又は２）のケイ化金属膜を形成し、
このケイ化金属膜上に保護膜を形成した。
過率を調整できる熱線遮蔽ガラスを提供する。 【構成】 透明なガラスの少なくとも一面に、周期律の
原子番号が２２〜２８の金属又はこれらの合金を含有す
るＭeＳiｘ（ｘ＝１又は２）のケイ化金属膜を形成し、
このケイ化金属膜上に保護膜を形成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は熱線遮蔽ガラスに関し、
特に光学特性と耐久性に優れ、低〜中可視光透過率の調
整が容易な熱線遮蔽ガラスに関する。
特に光学特性と耐久性に優れ、低〜中可視光透過率の調
整が容易な熱線遮蔽ガラスに関する。
【０００２】
【従来の技術】最近、日除けの目的で、高可視光透過率
ではなく、低から中可視光透過率を下げる熱線遮蔽ガラ
スが要求されている。このような要求を満たす従来の熱
線遮蔽ガラスとしては、一般的な金属膜や金属酸化膜を
用いたもの、或いは特開昭６３−２６０８４０号公報に
開示されているようにケイ化金属膜を用いたものが知ら
れている。
ではなく、低から中可視光透過率を下げる熱線遮蔽ガラ
スが要求されている。このような要求を満たす従来の熱
線遮蔽ガラスとしては、一般的な金属膜や金属酸化膜を
用いたもの、或いは特開昭６３−２６０８４０号公報に
開示されているようにケイ化金属膜を用いたものが知ら
れている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、一般的
な金属膜や金属酸化膜を用いた熱線遮蔽ガラスにあって
は、単に透過率を下げた場合、色調がニュートラルにな
らないで濃いイエローかブラウンになり、反射率が高く
なり、耐久性が劣化するなど、実用的でない。また、ケ
イ化金属膜を用いた熱線遮蔽ガラスにあっては、特に耐
薬品性などの耐久性が充分でない。
な金属膜や金属酸化膜を用いた熱線遮蔽ガラスにあって
は、単に透過率を下げた場合、色調がニュートラルにな
らないで濃いイエローかブラウンになり、反射率が高く
なり、耐久性が劣化するなど、実用的でない。また、ケ
イ化金属膜を用いた熱線遮蔽ガラスにあっては、特に耐
薬品性などの耐久性が充分でない。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明は、透明なガラスの少なくとも一面に、周期律の
原子番号が２２〜２８の金属又はこれらの合金を含有す
るＭeＳiｘ（ｘ＝１又は２）のケイ化金属膜を形成し、
このケイ化金属膜上に保護膜を形成した。
本発明は、透明なガラスの少なくとも一面に、周期律の
原子番号が２２〜２８の金属又はこれらの合金を含有す
るＭeＳiｘ（ｘ＝１又は２）のケイ化金属膜を形成し、
このケイ化金属膜上に保護膜を形成した。
【０００５】周期律の原子番号が２２〜２８の金属又は
これらの合金を含有するＭeＳiｘ（ｘ＝１又は２）のケ
イ化金属膜としては、特に限られないが、好ましくはＮ
iＳi2又はＴiＳi2である。また、Ｍe量は、２５atomic
％以下であることが好ましく、これより大きい場合に
は、透過色がニュートラルでなく、かつ反射率が高くな
る等の光学的不都合を生じるおそれがある。更に、ケイ
化金属膜の膜厚は、成膜雰囲気によって異なるが、２〜
２０ｎｍで、純アルゴン雰囲気では２〜１０ｎｍの範囲
で透過率３０〜７０％が得られる。
これらの合金を含有するＭeＳiｘ（ｘ＝１又は２）のケ
イ化金属膜としては、特に限られないが、好ましくはＮ
iＳi2又はＴiＳi2である。また、Ｍe量は、２５atomic
％以下であることが好ましく、これより大きい場合に
は、透過色がニュートラルでなく、かつ反射率が高くな
る等の光学的不都合を生じるおそれがある。更に、ケイ
化金属膜の膜厚は、成膜雰囲気によって異なるが、２〜
２０ｎｍで、純アルゴン雰囲気では２〜１０ｎｍの範囲
で透過率３０〜７０％が得られる。
【０００６】保護膜としては耐薬品性に優れたものであ
れば良く、好ましくは、ＺrＯ2、Ｔa2Ｏ5、ＮbＯ2のい
ずれかであり、これらは耐薬品性に優れるとともに、Ｍ
eＳiｘ上に保護膜を成膜するときに生成されるＭeＳiＯ
ｘの酸化ケイ化金属膜との組合わせより、耐摩耗性にも
優れる。この保護膜の膜厚は、２〜３０ｎｍで、１０〜
２０ｎｍで最も耐久性が優れ、これより薄い場合には充
分な耐薬品性が得られず、厚い場合には膜の結晶化が進
み、同様に充分な耐久性が得られない。
れば良く、好ましくは、ＺrＯ2、Ｔa2Ｏ5、ＮbＯ2のい
ずれかであり、これらは耐薬品性に優れるとともに、Ｍ
eＳiｘ上に保護膜を成膜するときに生成されるＭeＳiＯ
ｘの酸化ケイ化金属膜との組合わせより、耐摩耗性にも
優れる。この保護膜の膜厚は、２〜３０ｎｍで、１０〜
２０ｎｍで最も耐久性が優れ、これより薄い場合には充
分な耐薬品性が得られず、厚い場合には膜の結晶化が進
み、同様に充分な耐久性が得られない。
【０００７】上記のようにＭeＳiｘ上に保護膜を成膜す
るときに、ＭeＳiｘ層の表面がプラズマや熱で酸化さ
れ、ＭeＳiＯｘへ変化する。その膜厚は、成膜雰囲気に
より異なるが１〜１０ｎｍで、純酸素雰囲気では通常１
〜３ｎｍの範囲である。
るときに、ＭeＳiｘ層の表面がプラズマや熱で酸化さ
れ、ＭeＳiＯｘへ変化する。その膜厚は、成膜雰囲気に
より異なるが１〜１０ｎｍで、純酸素雰囲気では通常１
〜３ｎｍの範囲である。
【０００８】
【作用】ケイ化金属膜上に保護膜を形成することによ
り、透過色がニュートラルで、基板色を大きく変化させ
ることなく、反射率が低く、光学特性に優れるととも
に、耐久性に優れた、しかもケイ化金属膜の膜厚を制御
することで透過率の調整が可能な熱線遮蔽ガラスを得る
ことができる。
り、透過色がニュートラルで、基板色を大きく変化させ
ることなく、反射率が低く、光学特性に優れるととも
に、耐久性に優れた、しかもケイ化金属膜の膜厚を制御
することで透過率の調整が可能な熱線遮蔽ガラスを得る
ことができる。
【０００９】
〈実施例１〉ガラス上に、次の膜構成からなる層を形成
した。 吸収膜（ＭeＳiｘ） ：ＴiＳi2（膜厚：３ｎｍ） 酸化膜（ＭeＳiＯｘ）：ＴiＳiＯ（膜厚：２ｎｍ） 保護膜 ：ＺrＯ2（膜厚：２０ｎｍ）
した。 吸収膜（ＭeＳiｘ） ：ＴiＳi2（膜厚：３ｎｍ） 酸化膜（ＭeＳiＯｘ）：ＴiＳiＯ（膜厚：２ｎｍ） 保護膜 ：ＺrＯ2（膜厚：２０ｎｍ）
【００１０】〈実施例２〉ガラス上に、次の膜構成から
なる層を形成した。 吸収膜（ＭeＳiｘ） ：ＴiＳi2（膜厚：５ｎｍ） 酸化膜（ＭeＳiＯｘ）：ＴiＳiＯ（膜厚：２ｎｍ） 保護膜 ：ＺrＯ2（膜厚：２０ｎｍ）
なる層を形成した。 吸収膜（ＭeＳiｘ） ：ＴiＳi2（膜厚：５ｎｍ） 酸化膜（ＭeＳiＯｘ）：ＴiＳiＯ（膜厚：２ｎｍ） 保護膜 ：ＺrＯ2（膜厚：２０ｎｍ）
【００１１】〈実施例３〉ガラス上に、次の膜構成から
なる層を形成した。 吸収膜（ＭeＳiｘ） ：ＴiＳi2（膜厚：７ｎｍ） 酸化膜（ＭeＳiＯｘ）：ＴiＳiＯ（膜厚：２ｎｍ） 保護膜 ：ＺrＯ2（膜厚：２０ｎｍ）
なる層を形成した。 吸収膜（ＭeＳiｘ） ：ＴiＳi2（膜厚：７ｎｍ） 酸化膜（ＭeＳiＯｘ）：ＴiＳiＯ（膜厚：２ｎｍ） 保護膜 ：ＺrＯ2（膜厚：２０ｎｍ）
【００１２】〈実施例４〉ガラス上に、次の膜構成から
なる層を形成した。 吸収膜（ＭeＳiｘ） ：ＴiＳi2（膜厚：４ｎｍ） 酸化膜（ＭeＳiＯｘ）：ＮiＳiＯ（膜厚：２ｎｍ） 保護膜 ：ＺrＯ2（膜厚：２０ｎｍ）
なる層を形成した。 吸収膜（ＭeＳiｘ） ：ＴiＳi2（膜厚：４ｎｍ） 酸化膜（ＭeＳiＯｘ）：ＮiＳiＯ（膜厚：２ｎｍ） 保護膜 ：ＺrＯ2（膜厚：２０ｎｍ）
【００１３】〈比較例１〉ガラス上に、ＴiＳi2（膜
厚：５ｎｍ）の吸収膜を形成した。 〈比較例２〉ガラス上に、ＮiＳi2（膜厚：４ｎｍ）の
吸収膜を形成した。 〈比較例３〉ガラス上に、ＣrＮ（膜厚：４ｎｍ）の吸
収膜を形成した。 〈比較例４〉ガラス上に、Ｃr（膜厚：１ｎｍ）の吸収
膜を形成した。 〈比較例５〉ガラス上に、ＣrＮ（膜厚：４ｎｍ）の吸
収膜を形成し、この吸収膜上にＺrＯ2（膜厚：２０ｎ
ｍ）の保護膜を形成した。
厚：５ｎｍ）の吸収膜を形成した。 〈比較例２〉ガラス上に、ＮiＳi2（膜厚：４ｎｍ）の
吸収膜を形成した。 〈比較例３〉ガラス上に、ＣrＮ（膜厚：４ｎｍ）の吸
収膜を形成した。 〈比較例４〉ガラス上に、Ｃr（膜厚：１ｎｍ）の吸収
膜を形成した。 〈比較例５〉ガラス上に、ＣrＮ（膜厚：４ｎｍ）の吸
収膜を形成し、この吸収膜上にＺrＯ2（膜厚：２０ｎ
ｍ）の保護膜を形成した。
【００１４】以上の実施例１〜４及び比較例１〜５につ
いて、光学特性及び耐久性を評価した。その結果を以下
の（表１）に示している。尚、同表中、耐薬品性（Ｎa
ＯＨ−０．１Ｎ−２ｈｒ、Ｈ2ＳＯ4−０．１Ｎ−２ｈ
ｒ）の欄中の記号は、ΔＴとΔＲについて、○：ほとん
ど変化しない（１％≧）、△：僅かに変化する（１〜３
％）、×：膜が溶解する、ことを示している。また、テ
ーバー＃１は５００ｇ×１０００回を、テーバー＃２は
２５０ｇ×５００回の評価条件とし、数値はΔＴ／ΔＨ
である。
いて、光学特性及び耐久性を評価した。その結果を以下
の（表１）に示している。尚、同表中、耐薬品性（Ｎa
ＯＨ−０．１Ｎ−２ｈｒ、Ｈ2ＳＯ4−０．１Ｎ−２ｈ
ｒ）の欄中の記号は、ΔＴとΔＲについて、○：ほとん
ど変化しない（１％≧）、△：僅かに変化する（１〜３
％）、×：膜が溶解する、ことを示している。また、テ
ーバー＃１は５００ｇ×１０００回を、テーバー＃２は
２５０ｇ×５００回の評価条件とし、数値はΔＴ／ΔＨ
である。
【００１５】
【表１】
【００１６】また、ケイ化金属膜を用いた場合と、それ
以外の金属膜を用いた場合の透過率の違いを以下の（表
２）に示している。尚、同表中、ＳＺはガラスである。
また、付加電流値及び搬送スピードは、２０インチター
ゲットの場合である。
以外の金属膜を用いた場合の透過率の違いを以下の（表
２）に示している。尚、同表中、ＳＺはガラスである。
また、付加電流値及び搬送スピードは、２０インチター
ゲットの場合である。
【００１７】
【表２】
【００１８】
【発明の効果】以上に説明したように本発明によれば、
透明なガラスの少なくとも一面に、周期律の原子番号が
２２〜２８の金属又はこれらの合金を含有するケイ化金
属膜を形成し、このケイ化金属膜上に保護膜を形成した
ので、透過色がニュートラルで、基板色を大きく変化さ
せることなく、反射率が低くなるなど光学特性に優れる
とともに、耐久性にも優れ、しかもケイ化金属膜の膜厚
を制御することで透過率の調整が可能な熱線遮蔽ガラス
を得ることができる。更に、スパッタ可能なケイ化金属
を用いることによって生産性が向上する。
透明なガラスの少なくとも一面に、周期律の原子番号が
２２〜２８の金属又はこれらの合金を含有するケイ化金
属膜を形成し、このケイ化金属膜上に保護膜を形成した
ので、透過色がニュートラルで、基板色を大きく変化さ
せることなく、反射率が低くなるなど光学特性に優れる
とともに、耐久性にも優れ、しかもケイ化金属膜の膜厚
を制御することで透過率の調整が可能な熱線遮蔽ガラス
を得ることができる。更に、スパッタ可能なケイ化金属
を用いることによって生産性が向上する。
Claims (5)
- 【請求項１】 透明なガラスの少なくとも一面に、周期
律の原子番号が２２〜２８の金属又はこれらの合金を含
有するＭeＳiｘ（ｘ＝１又は２）のケイ化金属膜を形成
し、このケイ化金属膜上に保護膜を形成してなることを
特徴とする熱線遮蔽ガラス。 - 【請求項２】 前記ケイ化金属膜はＮiＳi2又はＴiＳi2
であることを特徴とする請求項１に記載の熱線遮蔽ガラ
ス。 - 【請求項３】 前記ケイ化金属膜のＭe量は２５atomic
％以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載の
熱線遮蔽ガラス。 - 【請求項４】 前記保護膜はＺrＯ2、Ｔa2Ｏ5、ＮbＯ2
のいずれかであることを特徴とする請求項１乃至３のい
ずれかに記載の熱線遮蔽ガラス。 - 【請求項５】 前記ケイ化金属膜と保護膜との間にＭe
ＳiＯｘの酸化ケイ化金属膜が形成されていることを特
徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の熱線遮蔽ガ
ラス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017594A JPH07223841A (ja) | 1994-02-17 | 1994-02-17 | 熱線遮蔽ガラス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017594A JPH07223841A (ja) | 1994-02-17 | 1994-02-17 | 熱線遮蔽ガラス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07223841A true JPH07223841A (ja) | 1995-08-22 |
Family
ID=12019849
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2017594A Withdrawn JPH07223841A (ja) | 1994-02-17 | 1994-02-17 | 熱線遮蔽ガラス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07223841A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102012106518A1 (de) * | 2012-07-18 | 2014-01-23 | H2 Solar Gmbh | Beschichtung von Substraten mit Siliciden und deren Oxide |
| WO2014167293A1 (en) * | 2013-04-11 | 2014-10-16 | Pilkington Group Limited | Heat treatable coated glass pane |
-
1994
- 1994-02-17 JP JP2017594A patent/JPH07223841A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102012106518A1 (de) * | 2012-07-18 | 2014-01-23 | H2 Solar Gmbh | Beschichtung von Substraten mit Siliciden und deren Oxide |
| WO2014167293A1 (en) * | 2013-04-11 | 2014-10-16 | Pilkington Group Limited | Heat treatable coated glass pane |
| JP2016520506A (ja) * | 2013-04-11 | 2016-07-14 | ピルキントン グループ リミテッド | 熱処理可能な被覆ガラス板 |
| US10131572B2 (en) | 2013-04-11 | 2018-11-20 | Pilkington Group Limited | Heat treatable coated glass pane |
| CN110228952A (zh) * | 2013-04-11 | 2019-09-13 | 皮尔金顿集团有限公司 | 可热处理的涂覆玻璃板 |
| EP3725751A1 (en) * | 2013-04-11 | 2020-10-21 | Pilkington Group Limited | Heat treatable coated glass pane |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010508 |