JPH07192853A - 流体加熱装置 - Google Patents
流体加熱装置Info
- Publication number
- JPH07192853A JPH07192853A JP33305793A JP33305793A JPH07192853A JP H07192853 A JPH07192853 A JP H07192853A JP 33305793 A JP33305793 A JP 33305793A JP 33305793 A JP33305793 A JP 33305793A JP H07192853 A JPH07192853 A JP H07192853A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluid
- heating
- heating element
- purity
- heated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Surface Heating Bodies (AREA)
- Resistance Heating (AREA)
- Instantaneous Water Boilers, Portable Hot-Water Supply Apparatuses, And Control Of Portable Hot-Water Supply Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 流体の純度を保った状態で加熱することがで
きる流体加熱装置を提供する。 【構成】 線状の加熱要素が埋設された合成樹脂からな
る管状部材１が複数連結されている。これらの加熱要素
２のそれぞれ両端が通電端子３ａ、３ｂに接続され、そ
してこれらの通電端子３ａ、３ｂが通電手段に接続され
ている。管状部材１中に流体を流し、そして加熱要素２
に通電して発熱させると、流体は加熱要素に接触するこ
とがなく流体の純度を保った状態で加熱される。
きる流体加熱装置を提供する。 【構成】 線状の加熱要素が埋設された合成樹脂からな
る管状部材１が複数連結されている。これらの加熱要素
２のそれぞれ両端が通電端子３ａ、３ｂに接続され、そ
してこれらの通電端子３ａ、３ｂが通電手段に接続され
ている。管状部材１中に流体を流し、そして加熱要素２
に通電して発熱させると、流体は加熱要素に接触するこ
とがなく流体の純度を保った状態で加熱される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、流体を一定温度に加熱
する装置に関する。
する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置等の精密機器の分野では、例
えば、基板表面を洗浄するのに温純水が用いられ、また
水酸化ナトリウムの工業的製造には７０〜８０℃に加熱
された飽和食塩水が用いられる等、流体を加熱して使用
することが多い。流体の加熱は、例えば、第２図に示す
ような加熱装置を用いて行われている。この装置は、純
水の入った本体１１に表面がチタン等の金属で被われた
ヒーター１２を挿入して加熱する装置である。
えば、基板表面を洗浄するのに温純水が用いられ、また
水酸化ナトリウムの工業的製造には７０〜８０℃に加熱
された飽和食塩水が用いられる等、流体を加熱して使用
することが多い。流体の加熱は、例えば、第２図に示す
ような加熱装置を用いて行われている。この装置は、純
水の入った本体１１に表面がチタン等の金属で被われた
ヒーター１２を挿入して加熱する装置である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記の加熱
装置においては流体が直接ヒーター１２と接触するた
め、流体中にヒーター表面の金属等が溶出して純度が低
下していた。このような流体を、例えば上記の用途に使
用すると、基板表面の汚染や水酸化ナトリウムの純度の
低下といった問題を引き起こす。
装置においては流体が直接ヒーター１２と接触するた
め、流体中にヒーター表面の金属等が溶出して純度が低
下していた。このような流体を、例えば上記の用途に使
用すると、基板表面の汚染や水酸化ナトリウムの純度の
低下といった問題を引き起こす。
【０００４】本発明は上記の点を解決するもので、その
目的は、流体の純度を保ったままで一定温度に加熱する
ことができる装置を提供するものである。
目的は、流体の純度を保ったままで一定温度に加熱する
ことができる装置を提供するものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの構成を、実施例図面である図１を参照に説明する
と、線状の加熱要素が埋設された合成樹脂からなる管状
部材が複数連結され、かつこれらの加熱要素のそれぞれ
が通電手段に接続されているように構成されていること
によって特徴づけられる。
めの構成を、実施例図面である図１を参照に説明する
と、線状の加熱要素が埋設された合成樹脂からなる管状
部材が複数連結され、かつこれらの加熱要素のそれぞれ
が通電手段に接続されているように構成されていること
によって特徴づけられる。
【０００６】
【作用】複数連結された管状部材１中に流体を流しなが
ら加熱すると、加熱要素２が管状部材１に埋設されてい
るため、流体が加熱要素２に接触せず加熱要素２から流
体への溶出がない。従って、純度を保ったままで流体を
加熱することができる。
ら加熱すると、加熱要素２が管状部材１に埋設されてい
るため、流体が加熱要素２に接触せず加熱要素２から流
体への溶出がない。従って、純度を保ったままで流体を
加熱することができる。
【０００７】
【実施例】図１は本発明実施例の流体加熱装置の要部を
示す図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）は（ａ）の一部
の拡大図である。
示す図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）は（ａ）の一部
の拡大図である。
【０００８】ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）か
らなるＬ字形および直管形の各管状部材１の内周部近傍
には、加熱要素としてのニクロム線２が管状部材１の軸
を中心として螺旋状に埋設され、ニクロム線２の両端は
管状部材１の外周に固設された２つの通電端子３ａ、３
ｂにそれぞれ接続されている。この通電端子３ａ、３ｂ
のそれぞれは図示していない通電手段に接続されてい
る。このような各管状部材１はその両端を溶着接合され
て蛇行形に配管されている。加熱要素が埋設された管状
部材１は、例えばＰＰＳで被覆されたニクロム線を予め
螺旋状に巻き、これを芯としてＰＰＳを射出成形するこ
とにより得る。
らなるＬ字形および直管形の各管状部材１の内周部近傍
には、加熱要素としてのニクロム線２が管状部材１の軸
を中心として螺旋状に埋設され、ニクロム線２の両端は
管状部材１の外周に固設された２つの通電端子３ａ、３
ｂにそれぞれ接続されている。この通電端子３ａ、３ｂ
のそれぞれは図示していない通電手段に接続されてい
る。このような各管状部材１はその両端を溶着接合され
て蛇行形に配管されている。加熱要素が埋設された管状
部材１は、例えばＰＰＳで被覆されたニクロム線を予め
螺旋状に巻き、これを芯としてＰＰＳを射出成形するこ
とにより得る。
【０００９】各通電端子３ａ、３ｂに電流を流してニク
ロム線２を発熱させて、管状部材１の内周部分を加熱す
る。この配管の一方向より加熱しようとする流体を流す
と、流体は加熱された管状部材１の内周部と接触して加
熱される。この時、流体はニクロム線２に接触せずに加
熱されるため、ニクロム線２からの流体への溶出がな
く、従って流体の純度を保ったままで加熱される。本実
施例では、ニクロム線の埋設位置を管状部材１の内周部
近傍とし、かつニクロム線を螺旋状に巻いたため、流体
の加熱効率が良好となる。また管状部材１の口径は加熱
効率を考慮すると２５Ａ以下であることが好ましい。さ
らに管状部材１の材質は、低溶出性、耐薬品性および４
００℃程度の耐熱性を有する合成樹脂であればよく、Ｐ
ＰＳ以外に例えばＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケト
ン）等が使用され得る。さらにまた加熱要素としては、
電熱材料であればよく、ニクロム線以外に例えば鉄クロ
ム合金等が使用され得る。流体の加熱温度は、加熱要素
の径、巻き数、電流量、流体の速度、配管の長さ等を適
宜選択することにより所望の温度に調節され得る。
ロム線２を発熱させて、管状部材１の内周部分を加熱す
る。この配管の一方向より加熱しようとする流体を流す
と、流体は加熱された管状部材１の内周部と接触して加
熱される。この時、流体はニクロム線２に接触せずに加
熱されるため、ニクロム線２からの流体への溶出がな
く、従って流体の純度を保ったままで加熱される。本実
施例では、ニクロム線の埋設位置を管状部材１の内周部
近傍とし、かつニクロム線を螺旋状に巻いたため、流体
の加熱効率が良好となる。また管状部材１の口径は加熱
効率を考慮すると２５Ａ以下であることが好ましい。さ
らに管状部材１の材質は、低溶出性、耐薬品性および４
００℃程度の耐熱性を有する合成樹脂であればよく、Ｐ
ＰＳ以外に例えばＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケト
ン）等が使用され得る。さらにまた加熱要素としては、
電熱材料であればよく、ニクロム線以外に例えば鉄クロ
ム合金等が使用され得る。流体の加熱温度は、加熱要素
の径、巻き数、電流量、流体の速度、配管の長さ等を適
宜選択することにより所望の温度に調節され得る。
【００１０】このように本発明の流体加熱装置は、上記
した基板等の洗浄用の純水の加熱や水酸化ナトリウム製
造用の飽和食塩水の加熱だけでなく、例えば、飲料等の
殺菌等、流体の純度を保ったままでの加熱を必要とする
種々の分野に利用され得る。
した基板等の洗浄用の純水の加熱や水酸化ナトリウム製
造用の飽和食塩水の加熱だけでなく、例えば、飲料等の
殺菌等、流体の純度を保ったままでの加熱を必要とする
種々の分野に利用され得る。
【００１１】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明の
流体加熱装置によれば、加熱要素に接触させることなく
流体を加熱するので、流体への加熱要素からの溶出がな
く、従って、純度を保ったまま流体を一定温度に加熱で
きる。
流体加熱装置によれば、加熱要素に接触させることなく
流体を加熱するので、流体への加熱要素からの溶出がな
く、従って、純度を保ったまま流体を一定温度に加熱で
きる。
【図１】本発明の実施例である流体加熱装置の要部を示
す図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）は（ａ）の一部の
拡大図である。
す図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）は（ａ）の一部の
拡大図である。
【図２】従来の純水加熱装置を示す図であり、（ａ）は
正面図、（ｂ）は右側面図である。
正面図、（ｂ）は右側面図である。
１ 管状部材 ２ 加熱要素 ３ａ、３ｂ 通電端子 １１ 本体 １２ ヒーター
Claims (1)
- 【請求項１】 線状の加熱要素が埋設された合成樹脂か
らなる管状部材が複数連結され、かつこれらの加熱要素
のそれぞれが通電手段に接続されていることを特徴とす
る流体加熱装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33305793A JPH07192853A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 流体加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33305793A JPH07192853A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 流体加熱装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07192853A true JPH07192853A (ja) | 1995-07-28 |
Family
ID=18261789
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33305793A Pending JPH07192853A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 流体加熱装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07192853A (ja) |
-
1993
- 1993-12-27 JP JP33305793A patent/JPH07192853A/ja active Pending
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