JPH07171526A - Ultrasonic washing apparatus - Google Patents

Ultrasonic washing apparatus

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JPH07171526A
JPH07171526A JP32432393A JP32432393A JPH07171526A JP H07171526 A JPH07171526 A JP H07171526A JP 32432393 A JP32432393 A JP 32432393A JP 32432393 A JP32432393 A JP 32432393A JP H07171526 A JPH07171526 A JP H07171526A
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JP
Japan
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ultrasonic
amplitude
oscillators
frequency
phase
Prior art date
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Pending
Application number
JP32432393A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shunichiro Fujioka
俊一郎 藤岡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide an ultrasonic washing apparatus capable of washing an object to be washed in a definite washing degree or more regardless of the input position of the object to be washed. CONSTITUTION:A plurality of oscillators 2a,2b,2d are arranged so that ultrasonic waves are oscillated toward the central part of a washing tank 1 to allow ultrasonic waves oscillated from the respective oscillators to interfere with each other to markedly generate a mutually strengthened region and a mutually weakened region in the washing tank 1. By changing at least either one of the amplitude, phase and frequency of the respective oscillators, the mutually strengthed region is moved to allow an object to be washed to coincide with an input position.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、超音波振動により物体
に付着した汚れや異物を除去するための超音波洗浄装置
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultrasonic cleaning device for removing dirt and foreign matter attached to an object by ultrasonic vibration.

【0002】[0002]

【従来の技術】超音波を用いて物体を洗浄する方法とし
ては、例えば、文献「工業ライブラリー22 強力超音
波応用」日刊工業新聞社の頁84に記載されているよう
に、洗浄液の入った洗浄槽の底部に、超音波発振子を取
り付け、洗浄槽の底面から洗浄液に超音波振動を生じさ
せて、被洗浄物の汚れを除去する方法が一般的である。
一般に、洗浄に用いられる超音波周波数は、主に20k
Hzから400kHzが用いられている。最近では、数
MHzの周波数も用いられている。また、洗浄槽内の超
音波振動は、洗浄槽の深さ方向に進行する定在波となっ
ていると考えられている。
2. Description of the Related Art As a method for cleaning an object using ultrasonic waves, for example, as described in the document "Industrial Library 22 High-Power Ultrasonic Application", page 84 of Nikkan Kogyo Shimbun, a cleaning solution was introduced. Generally, an ultrasonic oscillator is attached to the bottom of the cleaning tank, and ultrasonic vibration is generated in the cleaning liquid from the bottom surface of the cleaning tank to remove stains on the object to be cleaned.
Generally, the ultrasonic frequency used for cleaning is mainly 20k.
Hz to 400 kHz are used. Recently, frequencies of several MHz are also used. Moreover, it is considered that the ultrasonic vibration in the cleaning tank is a standing wave that propagates in the depth direction of the cleaning tank.

【0003】一方、超音波洗浄における超音波の制御方
法としては、洗浄層の底面の取り付けられた超音波発振
子単体か、または、複数の超音波発振子をまとめて制御
する方法が用いられている。一般的には、周波数を一定
にし、出力(振幅)を変化調整する方法や、周波数をス
イープさせて、定在波の位置を変化させる方法や、一定
の幅のある帯域の超音波周波数を一度に発振させる方法
などが用いられている。また、洗浄液量を変えて反射波
の影響を制御する方法も知られている。
On the other hand, as a method for controlling ultrasonic waves in ultrasonic cleaning, a single ultrasonic oscillator attached to the bottom surface of the cleaning layer or a method of collectively controlling a plurality of ultrasonic oscillators is used. There is. Generally, the frequency is kept constant and the output (amplitude) is adjusted, the frequency is swept to change the position of the standing wave, and the ultrasonic frequency in a band with a certain width is set once. The method of oscillating is used. Further, a method of controlling the influence of reflected waves by changing the amount of cleaning liquid is also known.

【0004】また、被洗浄物を揺動させたり、回転させ
たり、周波数の異なる洗浄槽を複数個用意する超音波洗
浄装置も知られている。
There is also known an ultrasonic cleaning apparatus in which an object to be cleaned is swung or rotated, and a plurality of cleaning tanks having different frequencies are prepared.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】従来の超音波洗浄装置
では、洗浄物を投入する位置が変ると洗浄度に差が生じ
たり、洗浄物が大きいときには洗浄ムラができ、極端な
場合には、未洗浄の部分が生じたりしていた。
In the conventional ultrasonic cleaning apparatus, when the position to put the cleaning object is changed, the cleaning degree is different, and when the cleaning object is large, the cleaning unevenness occurs, and in an extreme case, There was an unwashed part.

【0006】本発明の第1の目的は、被洗浄物を投入す
る位置に係わらず一定の洗浄度で洗浄することができる
超音波洗浄装置を提供することにある。
A first object of the present invention is to provide an ultrasonic cleaning apparatus capable of cleaning an object to be cleaned with a constant cleaning degree regardless of the position where the object is cleaned.

【0007】本発明の第2の目的は、大きな洗浄物をム
ラなく洗浄することができる超音波洗浄装置を提供する
ことにある。
A second object of the present invention is to provide an ultrasonic cleaning apparatus capable of uniformly cleaning a large cleaning object.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記第1の目的を達成す
るために、本発明の第1の態様では、複数の発振子と洗
浄槽とを備えた超音波洗浄装置において、複数の発振子
を、前記洗浄槽の中央部に向かって複数の方向から超音
波を発振するように配置した。
In order to achieve the above first object, in a first aspect of the present invention, in an ultrasonic cleaning apparatus having a plurality of oscillators and a cleaning tank, a plurality of oscillators are provided. Were arranged so as to oscillate ultrasonic waves from a plurality of directions toward the central portion of the cleaning tank.

【0009】この構成に加えてさらに、ユーザから前記
洗浄槽内の任意の座標の入力を受け付ける受け付け手段
と、複数の発振子に対して、それぞれ振幅、位相、周波
数を設定し、発振子を発振させる発振手段と、洗浄槽内
において複数の発振子から発振された超音波が強めあう
領域を演算し、超音波が強めあう領域と前記任意の座標
とを一致するさせるための前記複数の発振子のそれぞれ
の振幅、位相、周波数を求め、求めた振幅、位相、周波
数条件で発振子を発振させるよう発振手段に指示する演
算手段とを配置することができる。
In addition to this configuration, a receiving means for receiving an input of arbitrary coordinates in the cleaning tank from a user, and an amplitude, a phase, and a frequency are set for a plurality of oscillators to oscillate the oscillator. And a plurality of oscillators for calculating a region where ultrasonic waves oscillated from a plurality of oscillators intensify each other in the cleaning tank, and to match the region where ultrasonic waves intensify each other with the arbitrary coordinates. It is possible to arrange an arithmetic means for obtaining respective amplitudes, phases and frequencies of the above, and for instructing the oscillation means to oscillate the oscillator under the obtained amplitude, phase and frequency conditions.

【0010】また上記第2の目的を達成するために、本
発明の第2の態様では、上記第1の態様の、複数の発振
子を、洗浄槽の中央部に向かって複数の方向から超音波
を発振するように配置した超音波洗浄装置に、ユーザか
ら洗浄槽内の任意の図形を表わす関数の入力を受け付け
る受け付け手段と、複数の発振子に対して、それぞれ振
幅、位相、周波数を設定し、発振子を発振させる発振手
段と、洗浄槽内において複数の発振子から発振された超
音波が強めあう領域を演算し、超音波が強めあう領域が
任意の図形上に位置し、時間の経過とともに移動するた
めの複数の発振子のそれぞれの振幅、位相、周波数を時
間の経過ごとに求め、求めた前記振幅、位相、周波数条
件で前記発振子を発振させるよう発振手段に指示する演
算手段とを配置する。
In order to achieve the above-mentioned second object, in the second aspect of the present invention, the plurality of oscillators of the above-mentioned first aspect are superposed from a plurality of directions toward the central portion of the cleaning tank. Reception means for receiving an input of a function representing an arbitrary figure in the cleaning tank from the user to the ultrasonic cleaning device arranged to oscillate sound waves, and setting the amplitude, phase, and frequency for each of the plurality of oscillators. Then, the oscillating means for oscillating the oscillator and the region where the ultrasonic waves oscillated from the plurality of oscillators intensify each other in the washing tank are calculated, and the region in which the ultrasonic waves intensify is located on an arbitrary figure. Arithmetic means for obtaining the amplitude, phase, and frequency of each of the plurality of oscillators for moving with the passage of time, and instructing the oscillation means to oscillate the oscillator under the obtained amplitude, phase, and frequency conditions. And place .

【0011】[0011]

【作用】本発明の第1の態様では、複数の発振子を、洗
浄槽の中央部に向かって複数の方向から超音波を発振す
るように配置するため、洗浄槽内では、各発振子から発
振された超音波が干渉して、互いに強めあう領域と弱め
あう領域とが顕著に生じる。また、洗浄槽の中央部に向
かって複数の方向から超音波を発振するように配置して
いるため、発振子の振幅、位相、および、周波数の少な
くともいずれか1つを変化させることにより、強めあう
領域を移動させることができる。したがって、この強め
あった領域で被洗浄物を洗浄すると、効果的に洗浄でき
る。従来、被洗浄物を投入する位置をかえると、超音波
振動が強めあっている領域で洗浄する場合と、弱めあっ
ている領域で洗浄する場合とが生じ、そのため、一定の
洗浄度で洗浄することができなかった。本発明では、被
洗浄物を投入する位置をかえた場合でも、発振子の振
幅、位相、および、周波数の少なくともいずれか1つを
変化させることによりを移動させ、被洗浄物の位置に一
致させることが可能であるので、一定の洗浄度で洗浄を
行うことができる。
In the first aspect of the present invention, the plurality of oscillators are arranged so as to oscillate ultrasonic waves from a plurality of directions toward the central portion of the cleaning tank. The oscillated ultrasonic waves interfere with each other to remarkably form a mutually reinforcing region and a mutually weakening region. Further, since the ultrasonic waves are arranged so as to oscillate from a plurality of directions toward the central portion of the cleaning tank, it is possible to strengthen the ultrasonic wave by changing at least one of the amplitude, phase, and frequency of the oscillator. You can move the matching area. Therefore, if the object to be cleaned is cleaned in this strengthened area, it can be effectively cleaned. Conventionally, when the position where the object to be cleaned is put is changed, there are cases where cleaning is performed in an area where ultrasonic vibrations are strengthened and when cleaning is performed in an area where ultrasonic vibrations are weakened. Therefore, cleaning is performed at a certain cleaning degree. I couldn't. According to the present invention, even when the position to which the object to be cleaned is changed is changed, at least one of the amplitude, phase, and frequency of the oscillator is moved so as to match the position of the object to be cleaned. Therefore, it is possible to perform cleaning with a constant cleaning degree.

【0012】この超音波振動が強めあっている領域は、
演算によりもとめることができる。よって、受け付け手
段によって、ユーザから被洗浄物を投入する座標の入力
を受け付けたうえで、演算手段が、超音波が強めあう領
域と任意の座標とを一致するさせるための各発振子のそ
れぞれの振幅、位相、周波数を求め、求めた振幅、位
相、周波数条件で発振子を発振させるよう指示すること
により、ユーザは、入力手段に被洗浄物を投入する座標
を入力するだけで、常に超音波振動が強めあっている領
域で洗浄することができる。
The region where the ultrasonic vibrations are strengthened is
It can be obtained by calculation. Therefore, the accepting means accepts the input of the coordinates for throwing in the object to be cleaned from the user, and then the computing means makes each of the oscillators for matching the area where the ultrasonic waves strengthen each other and the arbitrary coordinates. By determining the amplitude, phase, and frequency, and instructing the oscillator to oscillate under the determined amplitude, phase, and frequency conditions, the user can simply input the coordinates into which the object to be cleaned is input into the input means, and the ultrasonic wave is always generated. It is possible to clean in areas where vibrations are intensified.

【0013】本発明の第2の態様では、複数の発振子
を、洗浄槽の中央部に向かって複数の方向から超音波を
発振するように配置して、超音波振動が強めあった領域
を発生させた上、この領域を任意の図形上で移動させ
る。任意の図形が被洗浄物全体を覆うような形状にする
ことにより、大きな被洗浄物であっても、超音波振動が
強めあった領域が被洗浄物状全体の上を移動していくの
で、均一に洗浄することができる。任意の図形は、受け
付け手段が、関数としてユーザからの入力を受け付け
る。演算手段は、超音波が強めあう領域を演算し、超音
波が強めあう領域が任意の図形上に位置し、時間の経過
とともに移動するように、複数の発振子のそれぞれの振
幅、位相、周波数を時間の経過ごとに求め、求めた前記
振幅、位相、周波数条件で発振子を発振させるよう指示
する。
In the second aspect of the present invention, a plurality of oscillators are arranged so as to oscillate ultrasonic waves from a plurality of directions toward the central portion of the cleaning tank, and a region where ultrasonic vibrations are strengthened is provided. Once generated, this area is moved on any figure. By making a shape so that an arbitrary figure covers the entire object to be cleaned, even for a large object to be cleaned, the region where the ultrasonic vibrations are strengthened moves over the entire object to be cleaned. It can be washed uniformly. The accepting unit accepts an input from the user as a function for an arbitrary figure. The calculation means calculates the region where the ultrasonic waves strengthen each other, and the region where the ultrasonic waves strengthen each other is located on an arbitrary figure, and the amplitude, phase, and frequency of each of the plurality of oscillators are moved so that they move with the passage of time. Is calculated for each elapsed time, and the oscillator is instructed to oscillate under the calculated amplitude, phase, and frequency conditions.

【0014】[0014]

【実施例】本発明の一実施例の超音波洗浄装置につい
て、図面を用いて説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An ultrasonic cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0015】(実施例1)本発明の第1の実施例の超音
波洗浄装置は、図1に示すように、洗浄液3を入れる洗
浄槽1の周囲に、4個の超音波発信子2a、2b、2
c、2d(2cは、図1では不図示)を備えている。超
音波発信子2a、2b、2c、2dは、超音波発信器6
に接続されている。この超音波発信器6は、超音波発信
子2a、2b、2c、2dに対し、それぞれ、位相、出
力、周波数を制御した超音波信号を与える。超音波発信
子2a、2b、2c、2dは、洗浄槽1内の洗浄液3
に、それぞれ超音波振動を与え、これらの振動が合成さ
れた超音波場を作り出す。
(Embodiment 1) As shown in FIG. 1, the ultrasonic cleaning apparatus according to the first embodiment of the present invention has four ultrasonic wave transmitters 2a around a cleaning tank 1 in which a cleaning liquid 3 is placed. 2b, 2
c, 2d (2c is not shown in FIG. 1). The ultrasonic transmitters 2a, 2b, 2c, 2d are the ultrasonic transmitters 6.
It is connected to the. The ultrasonic transmitter 6 gives ultrasonic signals whose phases, outputs, and frequencies are controlled to the ultrasonic transmitters 2a, 2b, 2c, and 2d. The ultrasonic transmitters 2a, 2b, 2c, 2d are the cleaning liquid 3 in the cleaning tank 1.
Then, ultrasonic vibrations are applied to each of them and an ultrasonic field is synthesized by these vibrations.

【0016】この洗浄液3中に、洗浄治具5に入れた被
洗浄物4を入れると、合成超音波場に同期した揺動を与
えられ被洗浄物4が洗浄される。
When the object to be cleaned 4 placed in the cleaning jig 5 is put into the cleaning liquid 3, the object to be cleaned 4 is cleaned by being shaken in synchronization with the synthetic ultrasonic field.

【0017】超音波発信器6には、超音波発信器6の超
音波出力の位相、出力、周波数を変更するためのコント
ローラ11が接続されている。また、コントローラ11
には、洗浄槽1内に発生している超音波場の位置および
強度を演算して、位相、振幅、周波数をコントローラ1
1に指示する演算部12が接続されている。演算部12
には、ユーザが必要としている洗浄液3の強超音波場の
出力レベル、強超音波場の位置の指示をユーザから受け
付ける入力部13と、ユーザに異常を知らせるための表
示部14とが接続されている。
A controller 11 for changing the phase, output and frequency of the ultrasonic wave output of the ultrasonic wave transmitter 6 is connected to the ultrasonic wave transmitter 6. In addition, the controller 11
The controller 1 calculates the phase, amplitude, and frequency by calculating the position and intensity of the ultrasonic field generated in the cleaning tank 1.
The calculation unit 12 for instructing 1 is connected. Arithmetic unit 12
Is connected to an input unit 13 that receives an output level of the cleaning liquid 3 of the cleaning liquid 3 required by the user and an instruction of the position of the strong ultrasonic field from the user, and a display unit 14 that notifies the user of an abnormality. ing.

【0018】超音波発振器6の構成を図5(a)、
(b)を用いて説明する。
The structure of the ultrasonic oscillator 6 is shown in FIG.
An explanation will be given using (b).

【0019】超音波発振器6は、図5(a)に示すよう
に、超音波信号を発振する発振回路61a、61b、6
1c、61dと、増幅回路62a、62b、62c、6
2dと、これらに電源を供給する電源回路63とを備え
ている。発振子2aは、増幅回路62aを介して発振回
路61aと接続されている。発振回路61aで、発振さ
れた超音波信号は、増幅回路62aで発振子を振動させ
るのに必要な振幅に増幅され、発振子2aを振動させ
る。同様に、発振子2bは、発振回路61bと増幅回路
62bとに接続され、発振子2cは、発振回路61cと
増幅回路62cとに接続され、発振子2dは、発振回路
61dと増幅回路62dとに接続されている。コントロ
ーラ11は、発振回路61a〜61dに接続され、これ
らの出力する超音波信号の位相、周波数、振幅(出力)
を制御する。
The ultrasonic oscillator 6 is, as shown in FIG. 5A, oscillating circuits 61a, 61b, 6 for oscillating ultrasonic signals.
1c and 61d and amplifier circuits 62a, 62b, 62c and 6
2d, and a power supply circuit 63 that supplies power to these. The oscillator 2a is connected to the oscillator circuit 61a via the amplifier circuit 62a. The ultrasonic signal oscillated by the oscillator circuit 61a is amplified by the amplifier circuit 62a to an amplitude necessary for vibrating the oscillator to vibrate the oscillator 2a. Similarly, the oscillator 2b is connected to the oscillator circuit 61b and the amplifier circuit 62b, the oscillator 2c is connected to the oscillator circuit 61c and the amplifier circuit 62c, and the oscillator 2d is connected to the oscillator circuit 61d and the amplifier circuit 62d. It is connected to the. The controller 11 is connected to the oscillation circuits 61a to 61d, and the phases, frequencies, and amplitudes (outputs) of the ultrasonic signals that are output from the controllers 11a to 61d.
To control.

【0020】具体的には、本実施例では、発振回路61
aとして、図5(b)に示すような、可変コイル64
a、可変抵抗65a、66aを備えた回路を用いてい
る。発振回路61aと増幅回路62aとを接続する手段
としては、トランス67aを用いている。コントローラ
11は、図5(b)の回路において、可変コイル64a
のインダクタンスの大きさを調節することにより超音波
発振子2aの発振する超音波の周波数を制御する。ま
た、コントローラ11は、可変抵抗65aの抵抗値を調
節することにより、位相を制御し、可変抵抗66aの抵
抗値を調節することにより振幅を制御する。発振回路6
1b、61c、61dも、発振回路61aと同様の構成
である。コントローラ11は、これらの回路の可変コイ
ルと可変抵抗の値を調節することにより、超音波発振子
2b、2c、2dの発振する超音波の周波数、位相、振
幅を、発振子ごとに制御する。
Specifically, in this embodiment, the oscillation circuit 61
As a, the variable coil 64 as shown in FIG.
A circuit including a and variable resistors 65a and 66a is used. A transformer 67a is used as a means for connecting the oscillator circuit 61a and the amplifier circuit 62a. The controller 11 uses the variable coil 64a in the circuit of FIG.
The frequency of the ultrasonic wave oscillated by the ultrasonic oscillator 2a is controlled by adjusting the magnitude of the inductance of the ultrasonic wave. Further, the controller 11 controls the phase by adjusting the resistance value of the variable resistor 65a, and controls the amplitude by adjusting the resistance value of the variable resistor 66a. Oscillation circuit 6
1b, 61c and 61d also have the same configuration as the oscillation circuit 61a. The controller 11 controls the frequency, phase, and amplitude of the ultrasonic waves oscillated by the ultrasonic oscillators 2b, 2c, and 2d by adjusting the values of the variable coils and variable resistors of these circuits.

【0021】超音波発振子2a、2b、2c、2dの配
置と、超音波場の関係について、図2、図3、図4を用
いて説明する。
The relationship between the arrangement of the ultrasonic oscillators 2a, 2b, 2c and 2d and the ultrasonic field will be described with reference to FIGS. 2, 3 and 4.

【0022】洗浄槽1の内壁の側面は、図2に示すよう
に、正8角柱の形状に形成されている。向かい合う2つ
の側面間の距離は、2Rである。超音波発振子2a、2
b、2c、2dは、図2に示すように、洗浄槽1の互い
に向かい合わない4つの側面に取り付けられている。
The side surface of the inner wall of the cleaning tank 1 is formed in the shape of a regular octagonal prism, as shown in FIG. The distance between two facing sides is 2R. Ultrasonic oscillators 2a, 2
As shown in FIG. 2, b, 2c, and 2d are attached to four side surfaces of the cleaning tank 1 that do not face each other.

【0023】従来の超音波洗浄装置は超音波発振子が洗
浄槽の底面に配置されているため、超音波が発振される
方向は一方向である。そのため、底面と洗浄液面との間
を進行する定在波になっていると考えられている。
In the conventional ultrasonic cleaning device, since the ultrasonic oscillator is arranged on the bottom surface of the cleaning tank, the ultrasonic waves are oscillated in one direction. Therefore, it is considered to be a standing wave that travels between the bottom surface and the cleaning liquid surface.

【0024】本実施例では、超音波発振子2a〜2dを
洗浄槽1の側面に配置する。発明者らの実験および解析
によると、本実施例のように超音波発振子を側面に配置
すると、発振された超音波は、洗浄槽1の中心に向かっ
て4方向から進行した直接波と、洗浄槽1の側面で反射
された反射波とが干渉しあって、洗浄槽1内には、図
3、図4のように、超音波振動が強めあっている領域
(強超音波場)9、11と、弱めあっている領域10と
が生じる。また、発振子2a〜2dから発せられる超音
波の振幅、位相および周波数のうち、少なくともいずれ
か1つを変えることにより、強超音波場の位置を、洗浄
槽の径方向に移動させることができることがわかった。
In this embodiment, the ultrasonic oscillators 2a to 2d are arranged on the side surface of the cleaning tank 1. According to the experiments and analysis by the inventors, when the ultrasonic oscillator is arranged on the side surface as in the present embodiment, the oscillated ultrasonic waves are direct waves traveling from four directions toward the center of the cleaning tank 1, A region (strong ultrasonic field) 9 in which ultrasonic vibrations intensify in the cleaning tank 1 as shown in FIGS. 3 and 4 due to interference with the reflected waves reflected from the side surface of the cleaning tank 1. , 11 and weakened regions 10 are produced. Further, the position of the strong ultrasonic field can be moved in the radial direction of the cleaning tank by changing at least one of the amplitude, phase and frequency of the ultrasonic waves emitted from the oscillators 2a to 2d. I understood.

【0025】そこで、本実施例では、洗浄槽内の超音波
振動の強超音波場の位置を演算により求めた上で、超音
波振動子の発信する超音波振動の振幅、位相および周波
数のうち少なくともいずれかを制御することにより、強
超音波場の位置を移動させ、被洗浄物4の位置と一致さ
せる。また、超音波振動子の発信する超音波振動の振幅
を制御することにより、強超音波場の振幅を洗浄に必要
な振幅まで高める。これにより、被洗浄物4の投入する
場所で、洗浄度が変ることがなく、被洗浄物を一定の洗
浄度で常に効果的に洗浄できる。
Therefore, in this embodiment, after the position of the strong ultrasonic field of the ultrasonic vibration in the cleaning tank is calculated, the amplitude, phase and frequency of the ultrasonic vibration transmitted by the ultrasonic vibrator are calculated. By controlling at least one of them, the position of the strong ultrasonic field is moved to match the position of the object to be cleaned 4. Further, by controlling the amplitude of ultrasonic vibrations emitted by the ultrasonic vibrator, the amplitude of the strong ultrasonic field is increased to the amplitude required for cleaning. As a result, the degree of cleaning does not change at the place where the object to be cleaned 4 is put, and the object to be cleaned can always be effectively cleaned at a constant cleaning level.

【0026】本発明において、洗浄槽内の強超音波場
は、以下に示す数式を用いて演算によってもとめること
ができる。本実施例で用いる数式について説明する。
In the present invention, the strong ultrasonic field in the cleaning tank can be calculated by using the following mathematical formula. The mathematical formulas used in this embodiment will be described.

【0027】基本的前提 1、洗浄液3中の超音波の速度をvとする。Basic Assumption 1 The velocity of ultrasonic waves in the cleaning liquid 3 is v.

【0028】2、被洗浄物4の存在による超音波振動の
減衰を、伝搬距離lに比例して超音波振動の振幅(出
力)が減衰する近似項に置き換えて演算をおこなう(近
似項=減衰関数D(l))。
2. The attenuation of the ultrasonic vibration due to the existence of the object to be cleaned 4 is replaced with an approximate term in which the amplitude (output) of the ultrasonic vibration is attenuated in proportion to the propagation distance l and the calculation is performed (approximate term = attenuation). Function D (l)).

【0029】3、超音波振動の反射は、超音波発振子2
a等の対面に位置する洗浄槽1の内壁で、1回限り生じ
るとする。
3. The reflection of ultrasonic vibration is reflected by the ultrasonic oscillator 2.
It is assumed that it occurs only once on the inner wall of the cleaning tank 1 that faces the surface such as a.

【0030】4、超音波が反射する時には、波形が反転
するとする。
4. It is assumed that the waveform is inverted when the ultrasonic wave is reflected.

【0031】5、複数の超音波振動が重なったときに
は、それらの合成波が生じるとする。
5. When a plurality of ultrasonic vibrations overlap, a composite wave of them is generated.

【0032】6、発振子2a〜2dと同一平面(xy平
面)上の点に限定して強超音波場を演算するものとす
る。
6. The strong ultrasonic field is calculated only at points on the same plane (xy plane) as the oscillators 2a to 2d.

【0033】つぎに、上述の基本的前提をもとに、図
6、図7、図8、図9、図10、図11を用いて、洗浄
槽1内の合成超音波振動を求める際に用いる数式を以下
に説明する。以下の式および説明文は、図6に示すよう
な洗浄槽1内の深さ方向に垂直な平面上の任意の点Hに
おける超音波振動出力(振幅)を示すためのものであ
る。これら任意の点の位置は、洗浄槽の中心を0点とし
たx、y座標によって表わす。また、発振子2aから発
振される超音波振動の周波数をf1、初期位相をα1、初
期振幅をW1で表わす。同様に、発振子2bの超音波振
動は、周波数f2、初期位相α2、初期振幅W2で表わ
し、発振子2cの超音波振動は、周波数f3、初期位相
α3、初期振幅W3で表わし、発振子2dの超音波振動
は、周波数f4、初期位相α4、初期振幅W4で表わす。
Next, on the basis of the above-mentioned basic premise, when obtaining the synthetic ultrasonic vibration in the cleaning tank 1 with reference to FIGS. 6, 7, 8, 9, 10 and 11. The formulas used will be described below. The following formulas and explanations are for showing the ultrasonic vibration output (amplitude) at an arbitrary point H on a plane perpendicular to the depth direction in the cleaning tank 1 as shown in FIG. The positions of these arbitrary points are represented by x and y coordinates with the center of the cleaning tank as 0 point. Further, the frequency of the ultrasonic vibration oscillated from the oscillator 2a is represented by f 1 , the initial phase is represented by α 1 , and the initial amplitude is represented by W 1 . Similarly, the ultrasonic vibration of the oscillator 2b is represented by a frequency f 2 , an initial phase α 2 , and an initial amplitude W 2 , and the ultrasonic vibration of the oscillator 2c is represented by a frequency f 3 , an initial phase α 3 , an initial amplitude W 3 The ultrasonic vibration of the oscillator 2d is expressed by frequency f 4 , initial phase α 4 , and initial amplitude W 4 .

【0034】1、発振子2aから発振された超音波によ
って、任意の点H(x,y)に生じる超音波振動の出力
(振幅)A1は、図6、図7、図8を用いて、以下のよ
うに表わされる。この場合、Hにおける振動出力A
1(x、y)は、y方向の成分のみを有し、x方向の成
分は0と考えられる。
1. The output (amplitude) A 1 of ultrasonic vibration generated at an arbitrary point H (x, y) by the ultrasonic wave oscillated from the oscillator 2a will be described with reference to FIGS. 6, 7 and 8. , Is expressed as follows. In this case, the vibration output A at H
1 (x, y) has only the y-direction component, and the x-direction component is considered to be 0.

【0035】1)まず、H点が、発振子2aから発せら
れた超音波のうち、発振子2aからの直接波(図7の正
波21)によって生じる超音波振動の出力A’は、以下
のように表わされる。
1) First, at the point H, the output A'of ultrasonic vibration generated by the direct wave (the positive wave 21 in FIG. 7) from the oscillator 2a among the ultrasonic waves emitted from the oscillator 2a is as follows. It is expressed as.

【0036】a)発振子2aから点Hまでの距離l
1は、 l1=R+y で表わされるので、発振された超音波の減衰量は、 D(l1) である。
A) Distance l from oscillator 2a to point H
Since 1 is represented by l 1 = R + y, the attenuation amount of the oscillated ultrasonic wave is D (l 1 ).

【0037】b)点Hまで超音波振動が到達するのに要
する到達時間t1 は t1=l1/v である。
B) The arrival time t 1 required for the ultrasonic vibration to reach the point H is t 1 = l 1 / v.

【0038】c)したがって出力は A1′(y)=D(l1)W1 sin(ω11+α1)……(1) で表される。C) Therefore, the output is represented by A 1 ′ (y) = D (l 1 ) W 1 sin (ω 1 t 1 + α 1 ) ... (1)

【0039】2) つぎにH点が、発振子2aから発せら
れた超音波のうち、発振子2aの対面の内壁面による反
射波22によって生じる超音波振動の出力A1′(y)は、
以下のように表される。
2) Next, at point H, of the ultrasonic waves emitted from the oscillator 2a, the output A 1 ′ (y) of ultrasonic vibration generated by the reflected wave 22 by the inner wall surface of the oscillator 2a facing is:
It is expressed as follows.

【0040】a)点Hまでの距離l1′は l1′=R+R+(R−y) =3R−y で表される。A) The distance l 1 ′ to the point H is represented by l 1 ′ = R + R + (R−y) = 3R−y.

【0041】b)点Hまでの到達時間t1′は t1′=3R−y/v である。B) The arrival time t 1 ′ to the point H is t 1 ′ = 3R−y / v.

【0042】c)したがって出力は A1″(y)=−D(l1′)W1 sin(ω11′+α1)……(2) で表される。C) Therefore, the output is expressed by A 1 ″ (y) = − D (l 1 ′) W 1 sin (ω 1 t 1 ′ + α 1 ) ... (2)

【0043】よって、発振子2aから発せられた超音波
によって生じる点Hの超音波振動の出力A1は A1(y)=A1′(y)+A1″(y)……(3) A1(x)=0 ……(4) 2.つぎに、発振子2bから発振された超音波によって
生じる点H(x,y)の超音波振動の出力A2 (x,
y)は、図6、図9を用いて以下のように表される。
Therefore, the output A 1 of the ultrasonic vibration at the point H generated by the ultrasonic wave emitted from the oscillator 2a is A 1 (y) = A 1 ′ (y) + A 1 ″ (y) (3) A 1 (x) = 0 (4) 2. Next, the output A 2 (x, of the ultrasonic vibration of the point H (x, y) generated by the ultrasonic wave oscillated from the oscillator 2b.
y) is expressed as follows using FIGS. 6 and 9.

【0044】1) 点Hが、発振子2bから発せられた超
音波のうち、直接波(正波)によって生じる超音波振動
の出力A2′(y)、A2′(x)は、図6、図9を用いて、以
下のように表される。
1) Point H is the ultrasonic vibration output A 2 ′ (y), A 2 ′ (x) generated by a direct wave (a positive wave) of the ultrasonic waves emitted from the oscillator 2b. 6 and FIG. 9, it is expressed as follows.

【0045】a)図9のA−A方向で検討すると、発振
子2bから点Hまでの距離l2は、 l2=R−(xsinθ−ycosθ)で表され、よって減衰
量は D(l2) となる。
A) Considering in the AA direction of FIG. 9, the distance l 2 from the oscillator 2b to the point H is expressed by l 2 = R− (xsin θ−y cos θ), and therefore the attenuation amount is D (l 2 )

【0046】b)正波の点Hまでの到達時間t2は t2=l2/v である。B) The arrival time t 2 to the point H of the positive wave is t 2 = l 2 / v.

【0047】c)したがって、出力は A2′(y)=sinθ・D(l2)W2 sin(ω22+α2)……(5) A2′(x)=cosθ・D(l2)W2 sin(ω22+α2)……(6) で表される。C) Therefore, the output is A 2 ′ (y) = sin θ · D (l 2 ) W 2 sin (ω 2 t 2 + α 2 ) ... (5) A 2 ′ (x) = cos θ · D ( l 2 ) W 2 sin (ω 2 t 2 + α 2 ) ... (6)

【0048】2) 点Hが、発振子2bから発せられた超
音波のうち、発振子2bの対面の内壁面による反射波か
ら受ける出力A2″(y)、A2″(x)は、以下のように表さ
れる。
2) The outputs A 2 ″ (y) and A 2 ″ (x) received by the point H from the reflected wave by the inner wall surface of the oscillator 2 b facing the ultrasonic wave emitted from the oscillator 2 b are It is expressed as follows.

【0049】a)図9のA−A方向で検討すると発振子
2bから点Hまでの距離l2′は l2′=2R+R+(xsinθ+ycosθ) l2′=3R+(xsinθ+ycosθ)で表され、よって
減衰量は D(l2′) となる。
A) Considering in the AA direction of FIG. 9, the distance l 2 ′ from the oscillator 2b to the point H is represented by l 2 ′ = 2R + R + (xsin θ + y cos θ) l 2 ′ = 3R + (x sin θ + y cos θ), and thus the attenuation The quantity is D (l 2 ′).

【0050】b)反射波の点Hまでの到達時間t2′は t2′=l2′/v である。B) The arrival time t 2 ′ of the reflected wave to the point H is t 2 ′ = l 2 ′ / v.

【0051】c)したがって、出力は A2″(y)=−sinθD(l2′)W2 sin(ω22′+α2)……(7) A2″(x)=−cosθD(l2′)W2 sin(ω22′+α2)……(8) である。C) Therefore, the output is A 2 ″ (y) = − sin θD (l 2 ′) W 2 sin (ω 2 t 2 ′ + α 2 ) ... (7) A 2 ″ (x) = − cos θD ( l 2 ′) W 2 sin (ω 2 t 2 ′ + α 2 ) ... (8).

【0052】よって、発振子2bからの超音波振動によ
る点Hでの出力A2は、 A2(y)=A2′(y)+A2″(y)……(9) A2(x)=A2′(x)+A2″(x)……(10) で表される。
Therefore, the output A 2 at the point H due to the ultrasonic vibration from the oscillator 2b is A 2 (y) = A 2 ′ (y) + A 2 ″ (y) (9) A 2 (x ) = A 2 ′ (x) + A 2 ″ (x) ... (10)

【0053】3.発振子2cから発振された超音波によ
って生じるH(x,y)の超音波振動の出力A3(x,
y)は、図6、図10を用いて、以下のように表され
る。
3. Output A 3 (x, of ultrasonic vibration of H (x, y) generated by the ultrasonic wave oscillated from the oscillator 2c
y) is expressed as follows using FIGS. 6 and 10.

【0054】1) 点Hが、発振子2cから発せられた超
音波のうち、正波によって受ける超音波振動出力A3
(y)、A3′(x)は、図6、図10を用いて以下のように
表される。
1) Point H receives an ultrasonic vibration output A 3 ′ which is a positive wave of the ultrasonic waves emitted from the oscillator 2c.
(y) and A 3 ′ (x) are expressed as follows using FIGS. 6 and 10.

【0055】a)図10のB−B方向で検討すると発振
子2cから点Hまでの距離l3は、 l3=R−(xcosθ+ysinθ)で表され、よって減衰
量は D(l3) となる。
A) Examination in the BB direction of FIG. 10 shows that the distance l 3 from the oscillator 2c to the point H is represented by l 3 = R− (xcos θ + y sin θ), and therefore the attenuation amount is D (l 3 ). Become.

【0056】b)正波の点Hまでの到着時間t3は t3=l3/v である。B) The arrival time t 3 to the point H of the positive wave is t 3 = l 3 / v.

【0057】c)したがって出力は A3′(y)=cosθ・D(l3)W3 sin(ω33+α3)……(11) A3′(x)=sinθ・D(l3)W3 sin(ω33+α3)……(12) で表される。C) Therefore, the output is A 3 ′ (y) = cos θ · D (l 3 ) W 3 sin (ω 3 t 3 + α 3 ) ... (11) A 3 ′ (x) = sin θ · D (l 3 ) W 3 sin (ω 3 t 3 + α 3 ) ... (12)

【0058】2) 点Hが、発振子2bから発せられた超
音波のうち、発振子2bの対面の内壁面による反射波か
ら受ける出力A3″(y)、A3″(x)は、以下のように表さ
れる。
2) Outputs A 3 ″ (y) and A 3 ″ (x), which the point H receives from the reflected waves by the inner wall surface of the oscillator 2 b facing the inside of the ultrasonic waves emitted from the oscillator 2 b, are It is expressed as follows.

【0059】a)図10のB−B方向で検討すると発振
子2cから点Hまでの距離l3′は、 l3′=2R+R+(xcosθ+ysinθ) =3R+(xcosθ+ysinθ)で表され、よって減衰量
は D(l3′) となる。
A) Examination in the BB direction in FIG. 10 shows that the distance l 3 ′ from the oscillator 2c to the point H is represented by l 3 ′ = 2R + R + (xcos θ + y sin θ) = 3R + (x cos θ + y sin θ). It becomes D (l 3 ′).

【0060】b)反射波の点Hまでの到着時間t3′は t3′=l3′/v である。[0060] b) arrival time until the H point of the reflected wave t 3 'is t 3' is a = l 3 '/ v.

【0061】c)したがって出力は A3″(y)=−cosθ・D(l3′)W3 sin(ω33′+α3)……(13) A3″(x)=−sinθ・D(l3′)W3 sin(ω33′+α3)……(14) である。C) Therefore, the output is A 3 ″ (y) = − cos θ · D (l 3 ′) W 3 sin (ω 3 t 3 ′ + α 3 ) ... (13) A 3 ″ (x) = − sin θ・ D (l 3 ′) W 3 sin (ω 3 t 3 ′ + α 3 ) ... (14)

【0062】よって、発振子2cからの超音波による点
Hの超音波振動の出力A3は A3(y)=A3′(y)+A3″(y)……(15) A3(x)=A3′(x)+A3″(x)……(16) で表される。
Therefore, the output A 3 of the ultrasonic vibration of the point H by the ultrasonic wave from the oscillator 2c is A 3 (y) = A 3 ′ (y) + A 3 ″ (y) (15) A 3 ( x) = A 3 ′ (x) + A 3 ″ (x) (16)

【0063】4.発振子2dから発振された超音波によ
るH(x,y)の超音波振動の出力A4(x,y)は、
図6、図11を用いて、以下のように表される。この場
合、点Hにおける振動出力A4(x,y)は、x方向の
成分のみを有し、y方向の成分は0と考えられる。
4. The output A 4 (x, y) of the ultrasonic vibration of H (x, y) due to the ultrasonic waves oscillated from the oscillator 2d is
It is expressed as follows using FIGS. 6 and 11. In this case, the vibration output A 4 (x, y) at the point H has only the x-direction component, and the y-direction component is considered to be zero.

【0064】1) 点Hが、発振子2dから発せられた超
音波の正波によって生じる超音波振動の出力A4′(x)
は、図6、図11を用いて以下のように表される。
1) The point H is the output A 4 ′ (x) of the ultrasonic vibration generated by the positive wave of the ultrasonic wave emitted from the oscillator 2d.
Is expressed as follows using FIGS. 6 and 11.

【0065】a)発振子2dから点Hまでの距離l4は l4=R+xで表され、よって減衰量は D=(l4) となる。A) The distance l 4 from the oscillator 2d to the point H is represented by l 4 = R + x, so the attenuation amount is D = (l 4 ).

【0066】b)正波の点Hまでの到達時間t4は t4=l4/v である。B) The arrival time t 4 to the point H of the positive wave is t 4 = l 4 / v.

【0067】c)したがって出力は A4′(x)=D(l4)W4 sin(ω44+α4)……(17) で表される。C) Therefore, the output is represented by A 4 ′ (x) = D (l 4 ) W 4 sin (ω 4 t 4 + α 4 ) ... (17)

【0068】2) 点Hが発振子2dの対面の内壁面によ
る反射波から受ける出力A4″(x)は、以下のように表さ
れる。
2) The output A 4 ″ (x) that the point H receives from the reflected wave by the inner wall surface of the facing surface of the oscillator 2 d is expressed as follows.

【0069】a)発振子2dから点Hまでの距離l4
は l4′=2R+(R−x) =3R−x で表される。
A) Distance l 4 ′ from oscillator 2d to point H
Is represented by l 4 ′ = 2R + (R−x) = 3R−x.

【0070】よって減衰量は D(l4′) となる。Therefore, the amount of attenuation is D (l 4 ′).

【0071】b)反射波の点Hまでの到達時間t4′は t4′=l4′/v である。[0071] b) time to reach point H of the reflected wave t 4 'is t 4' is a = l 4 '/ v.

【0072】c)したがって出力は、 A4″(x)=−D(l4′)W4 sin(ω44′+α4)……(18) で表される。C) Therefore, the output is represented by A 4 ″ (x) = − D (l 4 ′) W 4 sin (ω 4 t 4 ′ + α 4 ) ... (18)

【0073】よって、発振子2dからの超音波振動によ
る点Hでの出力A4は A4(y)=0 ……(19) A4(x)=A4′(x)+A4″(x)……(20) で表される。
Therefore, the output A 4 at the point H due to the ultrasonic vibration from the oscillator 2d is A 4 (y) = 0 (19) A 4 (x) = A 4 ′ (x) + A 4 ″ ( x) …… (20)

【0074】5.総合の合成出力 発振子2a,2b,2c,2dから発振される超音波振
動によってH(x,y)に生じる振動出力A(x,y)
は、上述のA1〜A4を加えあわせたものであり A(y)=Σ4 i=1i(y)……(21) A(x)=Σ4 i=1i(x)……(22) で表される。
5. Total synthetic output Vibration output A (x, y) generated at H (x, y) by ultrasonic vibration oscillated from oscillators 2a, 2b, 2c, 2d
Is a combination of the above A 1 to A 4 and A (y) = Σ 4 i = 1 A i (y) (21) A (x) = Σ 4 i = 1 A i (x ) …… (22)

【0075】つぎに、本実施例の超音波洗浄装置の動作
を、上述の数式と図12から図24を用いて、具体的に
説明する。
Next, the operation of the ultrasonic cleaning apparatus according to this embodiment will be specifically described with reference to the above mathematical formula and FIGS. 12 to 24.

【0076】入力部13は、洗浄槽1内のどの位置に被
洗浄物4を投入するかを表わす座標K(x,y)の入力
と、被洗浄物4を洗浄するのに必要な最低の超音波振動
の出力(振幅)Sの入力とを受け付ける。さらに、入力
部13は、強超音波場(洗浄槽内で最も高い超音波振幅
が得られる領域)の移動を、発振子2aから2dの出力
1〜W4を変えることで行うか、周波数f1〜f4を変え
ることで行うか、位相α1〜α4を変えることで行うかの
いずれかの選択をユーザから受け付ける。
The input unit 13 inputs the coordinates K (x, y) indicating the position in the cleaning tank 1 to which the object 4 to be cleaned and the minimum required to clean the object 4 to be cleaned. An input (output) (amplitude) S of ultrasonic vibration is received. Further, the input unit 13 moves the strong ultrasonic field (the region where the highest ultrasonic amplitude is obtained in the cleaning tank) by changing the outputs W 1 to W 4 of the oscillators 2a to 2d or by changing the frequency. The user receives a selection of either changing f 1 to f 4 or changing the phases α 1 to α 4 .

【0077】演算部12は、図示していないが、プログ
ラムを格納するメモリと、メモリ内のプログラムを読み
込んでプログラムにしたがって演算を行うCPUとを備
えている。メモリには、図12から図24にフローチャ
ートで示した内容のプログラムが予め格納されている。
演算部12のCPU12は、このプログラムを読み込
み、以下のように動作する。
Although not shown, the arithmetic unit 12 is provided with a memory for storing a program and a CPU for reading the program in the memory and performing an arithmetic operation according to the program. A program having the contents shown in the flowcharts of FIGS. 12 to 24 is stored in the memory in advance.
The CPU 12 of the arithmetic unit 12 reads this program and operates as follows.

【0078】まず、演算部12は、図12のように、入
力部13から被洗浄物4を投入する点を表わす座標K
(x,y)を読み込む(ステップ101)。続けて、ス
テップ102では、入力部13から被洗浄物4の洗浄に
必要な超音波振動の出力Sを読み込む。さらに、ステッ
プ103で、入力部13から強超音波場の移動を出力、
周波数、位相のいずれかの変更で行うかの選択を取込
み、出力変更で行うことが選択されていた場合には、ス
テップ104に進む。また、位相変更で行うことが選択
されていた場合には、図20のステップ171へ進み、
周波数変更で行うことが選択されていた場合には、図1
5のステップ121へ進む。
First, the calculation unit 12, as shown in FIG. 12, has a coordinate K representing the point at which the object to be cleaned 4 is input from the input unit 13.
(X, y) is read (step 101). Succeedingly, in step 102, the output S of the ultrasonic vibration necessary for cleaning the object to be cleaned 4 is read from the input unit 13. Further, in step 103, the movement of the strong ultrasonic field is output from the input unit 13,
The selection as to whether to change the frequency or the phase is taken in. If the change to the output has been selected, the process proceeds to step 104. If it is selected to change the phase, the process proceeds to step 171 in FIG.
If it was selected to change the frequency,
Go to step 121 of step 5.

【0079】ステップ104では、発振子2a〜2dの
周波数f1〜f4の値を表わす固定値と、位相α1〜α4
値を表わす固定値とを演算部12のメモリから読み込
む。これらの固定値は、例えば、発振子2aでは、発振
器6の可変抵抗65aおよび可変コイル64aの可変幅
によって定まる出力可能な振動周波数幅および位相幅の
うち、予め定めた特定の値である。発振子2b〜2dに
ついても同様に定まる周波数幅および位相幅のうち、予
め定めた特定の値である。これらは、予め演算部12の
メモリに格納されている。
In step 104, the fixed values representing the values of the frequencies f 1 to f 4 of the oscillators 2 a to 2 d and the fixed values representing the values of the phases α 1 to α 4 are read from the memory of the arithmetic unit 12. In the oscillator 2a, these fixed values are, for example, predetermined specific values of the outputtable oscillation frequency width and phase width determined by the variable widths of the variable resistor 65a and the variable coil 64a of the oscillator 6. The oscillators 2b to 2d also have a predetermined specific value among the frequency width and the phase width that are similarly determined. These are stored in the memory of the arithmetic unit 12 in advance.

【0080】ステップ105では、発振子2a〜2dの
最小の出力W1〜W4を表わす固定値を演算部12のメモ
リから読み込む。最小の出力W1の値は、発振子2aに
接続される図5(a)、(b)の発振器6の可変抵抗6
6a等の可変の範囲に応じて定められる値である。発振
子2b〜2dについても同様に定められる。これらの最
小の出力値は、予め演算部12のメモリに格納されてい
る。
In step 105, a fixed value representing the minimum output W 1 to W 4 of the oscillators 2a to 2d is read from the memory of the arithmetic unit 12. The minimum value of the output W 1 is the variable resistance 6 of the oscillator 6 of FIGS. 5A and 5B connected to the oscillator 2a.
It is a value determined according to a variable range such as 6a. The same applies to the oscillators 2b to 2d. These minimum output values are stored in the memory of the arithmetic unit 12 in advance.

【0081】つぎに、洗浄槽1内の複数の点501につ
いて、振動の出力Aを計算する。この時には、発振子2
a〜2dは、まだ発振させない。発振子2a〜2dを発
振させるのは、以下に説明するように発振子2a〜2d
に発振させる超音波振動の出力、周波数、位相のすべて
が演算によって定まった後である。
Next, the vibration output A is calculated for a plurality of points 501 in the cleaning tank 1. At this time, the oscillator 2
a to 2d are not yet oscillated. The oscillators 2a to 2d are oscillated by the oscillators 2a to 2d as described below.
After the output, frequency, and phase of the ultrasonic vibrations that are oscillated by the are all determined by calculation.

【0082】計算を行う点501は、図6のように、発
振子2a〜2dと同一平面(xy平面)の上にxy方向
にそれぞれ一定間隔で位置する格子点である。この格子
点の座標は、予め定められたものであり、演算部12
は、これら格子点における超音波振動の出力Aを、上述
の数式(1)から(22)と、ステップ104と105
で取り込んだ周波数f1〜f4、位相α1〜α4、出力W1
〜W4を用いて演算するプログラムを動作させて(ステ
ップ106)、各格子点における超音波振動の出力Aを
求める。
As shown in FIG. 6, points 501 to be calculated are lattice points located on the same plane (xy plane) as the oscillators 2a to 2d at regular intervals in the xy directions. The coordinates of the grid points are predetermined and are calculated by the calculation unit 12
Represents the output A of the ultrasonic vibrations at these lattice points by the above-mentioned formulas (1) to (22) and steps 104 and 105.
Frequency f 1 to f 4 , phase α 1 to α 4 , output W 1
A program for calculation using ˜W 4 is operated (step 106) to obtain the output A of ultrasonic vibration at each lattice point.

【0083】そして、求めた洗浄槽内の複数の超音波振
動の出力Aを比較することにより、最も大きな値Amax
を求め、ステップ101で取り込んだ被洗浄物4を入れ
る点Kの座標(x,y)と、Amaxが得られた点Lの座
標(x,y)とが一致しているかどうかを調べ、一致し
ている場合ステップ108へ進み、一致していない場合
ステップ110へ進む(ステップ107)。これによ
り、L(x,y)を中心とする領域に位置する強超音波
場と、被洗浄物4を入れる点とが一致しているかどうか
を調べることができる。
Then, by comparing the obtained outputs A of a plurality of ultrasonic vibrations in the cleaning tank, the maximum value A max is obtained.
Then, it is checked whether or not the coordinates (x, y) of the point K into which the object to be cleaned 4 loaded in step 101 is inserted and the coordinates (x, y) of the point L at which A max is obtained are matched. If they match, the process proceeds to step 108, and if they do not match, the process proceeds to step 110 (step 107). Thereby, it is possible to check whether or not the strong ultrasonic field located in the region centered on L (x, y) and the point where the object to be cleaned 4 is placed match.

【0084】ステップ108では、点L(x,y)を中
心とする強超音波場と被洗浄物4を入れる点Kとが一致
しているので、点L(x,y)の超音波振動の出力A
maxが、ステップ102で取り込んだ洗浄に必要な超音
波振動の出力と同等以上かどうかを調べ、同等以上であ
る場合に、ステップ119へ進む。また、同等より小さ
い場合には、ステップ109へ進む。
At step 108, since the strong ultrasonic field centered on the point L (x, y) and the point K into which the object to be cleaned 4 is placed coincide with each other, the ultrasonic vibration at the point L (x, y) is detected. Output A
It is checked whether or not max is equal to or more than the output of the ultrasonic vibrations required for cleaning captured in step 102, and if equal or more, the process proceeds to step 119. If it is smaller than the same, the process proceeds to step 109.

【0085】ステップ109では、必要な超音波振動の
出力が得られていないため、発振子2a〜2dの出力W
1〜W4にそれぞれ予め定めた大きさkを加えて、出力W
1〜W4を一律に大きくしてステップ106に戻り、再
度、各格子点について超音波振動の出力Aを計算する。
これを、強超音波場の出力Amaxが、ステップ108で
出力Sより大きくなるまで繰り返す。
At step 109, since the output of the necessary ultrasonic vibration is not obtained, the output W of the oscillators 2a to 2d is obtained.
Add a predetermined size k to 1 to W 4 and output W
1 to W 4 are uniformly increased and the process returns to step 106, and the output A of the ultrasonic vibration is calculated again for each lattice point.
This is repeated until the output A max of the strong ultrasonic field becomes larger than the output S in step 108.

【0086】ステップ119、120では、すべての発
振子2a〜2dが、発振すべき超音波振動の条件が出そ
ろったので、実際に発振子2a〜2dを発振させる。ま
ず、ステップ106の計算で用いた出力W1〜W4、周波
数f1〜f4および位相α1〜α4で発振するように、発振
器6を調節するようにコントローラ11に指示する(ス
テップ119)。コントローラ11は、発振器6の発振
回路61a〜61dの可変抵抗65a、66a等、可変
コイル66a等の値を調節する。
In steps 119 and 120, since all the oscillators 2a to 2d have the conditions of ultrasonic vibration to be oscillated, the oscillators 2a to 2d are actually oscillated. First, the controller 11 is instructed to adjust the oscillator 6 so as to oscillate at the outputs W 1 to W 4 , frequencies f 1 to f 4 and phases α 1 to α 4 used in the calculation of step 106 (step 119). ). The controller 11 adjusts the values of the variable resistors 65a and 66a of the oscillation circuits 61a to 61d of the oscillator 6 and the variable coil 66a.

【0087】続けて、演算部12は、コントローラ11
に発振子2a〜2dを実際に発振させるように指示する
(ステップ120)。コントローラ11は、発振器6の
電源回路63を外部電源と接続して、発振器6を発振さ
せ、発振子2a〜2dから超音波を出力させる。これに
より、洗浄槽1内には、点L近傍を中心として出力A
maxの強超音波場が発生する。点Lの位置および出力A
maxは、ユーザが入力した位置Kおよび必要とする出力
Sと一致しているので、ユーザは、位置Kに被洗浄物4
を投入することにより必要な強度の超音波振動で被洗浄
物4を洗浄することができる。
Subsequently, the arithmetic unit 12 is connected to the controller 11
Is instructed to actually oscillate the oscillators 2a to 2d (step 120). The controller 11 connects the power supply circuit 63 of the oscillator 6 to an external power supply, oscillates the oscillator 6, and causes the oscillators 2a to 2d to output ultrasonic waves. As a result, in the cleaning tank 1, the output A is centered around the point L.
A strong ultrasonic field of max is generated. Position of point L and output A
Since max coincides with the position K input by the user and the required output S, the user can set the object to be cleaned 4 at the position K.
It is possible to clean the object to be cleaned 4 with ultrasonic vibration of a required intensity by introducing the.

【0088】ステップ107で、最大の出力Amaxが得
られた点Lが、被洗浄物を投入する点Kと一致していな
い場合には、ステップ110からステップ117によ
り、発振子2a〜2dの出力W1〜W4を変化させること
により、これらを一致させる動作を行う。
If the point L at which the maximum output A max is obtained does not match the point K at which the object to be cleaned is put in at step 107, steps 110 to 117 are performed to set the oscillators 2a to 2d. By changing the outputs W 1 to W 4 , the operation of matching them is performed.

【0089】ステップ110では、発振子2aの出力W
1のみを予め定めた値kだけ増加させ、他の出力W2〜W
4は、そのままの値とする。そして、ステップ111で
は、増加させたW1が、発振子2aが出力可能な最大の
出力W1maxを超えていなければ、ステップ106へ戻
り、再度、増加させた出力W1を用いて、洗浄槽1内の
超音波出力を演算する。出力W1を増加させることによ
り、ステップ107の点Lの座標は移動していく。そし
て、出力W1が、最大の出力W1maxより大きくなるか、
または、ステップ107で点Lが点Kと一致するまで、
1をkづつ大きくして、これらのステップを繰り返
す。発振子2aが出力可能な最大の出力W1m axは、発振
器6の発振回路61aの可変抵抗66aの可変幅で定ま
る値であるので、この値に合わせて予め定められてい
る。
In step 110, the output W of the oscillator 2a
Only 1 is increased by a predetermined value k, and other outputs W 2 to W
4 is left as it is. Then, in step 111, if the increased W 1 does not exceed the maximum output W 1max that the oscillator 2a can output, the process returns to step 106 and the increased output W 1 is used again to wash the cleaning tank. The ultrasonic output within 1 is calculated. By increasing the output W 1 , the coordinates of the point L in step 107 move. Then, the output W 1 becomes larger than the maximum output W 1max ,
Alternatively, until the point L coincides with the point K in step 107,
Increase W 1 by k and repeat these steps. Output W 1 m ax up oscillator 2a is capable of outputting, so is the value determined by the variable width of the variable resistor 66a of the oscillation circuit 61a of the oscillator 6 are predetermined in accordance with this value.

【0090】ステップ111で、出力W1が、最大の出
力W1maxを超えた場合には、ステップ112に進み、W
1をW1maxにし、発振子2bの出力W2を予め定めた値k
だけ増加させ、他の出力W3〜W4は、そのままの値とす
る。そして、ステップ113では、増加させたW2が、
発振子2bが出力可能な最大の出力W2maxを超えていな
ければ、ステップ106へ戻り、再度、増加させた出力
1を用いて、洗浄槽1内の超音波出力を演算する。出
力W2を増加させることにより、出力W1を増加させた場
合とは異なる方向へ、ステップ107の点Lの座標は移
動していく。そして、出力W2が、最大の出力W2max
り大きくなるか、または、ステップ107で点Lが点K
と一致するまで、W2をkづつ大きくして、これらのス
テップを繰り返す。発振子2bが出力可能な最大の出力
2maxは、発振器6の発振回路61bの可変抵抗の可変
幅で定まる値であるので、この値に合わせて予め定めら
れている。
In step 111, when the output W 1 exceeds the maximum output W 1max , the process proceeds to step 112 and W
Set 1 to W 1max and set the output W 2 of the oscillator 2b to a predetermined value k
However, the other outputs W 3 to W 4 are kept at the same values. Then, in step 113, the increased W 2 is
If the maximum output W 2max that can be output by the oscillator 2b is not exceeded, the process returns to step 106, and the ultrasonic output in the cleaning tank 1 is calculated again using the increased output W 1 . By increasing the output W 2 , the coordinate of the point L in step 107 moves in a direction different from that in the case where the output W 1 is increased. Then, the output W 2 becomes larger than the maximum output W 2max , or the point L becomes the point K at step 107.
Increase W 2 by k and repeat these steps until The maximum output W 2max that can be output by the oscillator 2b is a value determined by the variable width of the variable resistance of the oscillator circuit 61b of the oscillator 6, and is therefore predetermined according to this value.

【0091】同様に、ステップ114〜ステップ117
では、出力W3またはW4をkづつ大きくして、点Lを移
動させる。
Similarly, Step 114 to Step 117
Then, the output W 3 or W 4 is increased by k, and the point L is moved.

【0092】上述のステップ110から117を行った
にもかかわらず、点Lが点Kと一致せず、しかも、W4
が最大の出力W4maxを超えてしまった場合には、ステッ
プ118に進み、表示部14に、本実施例の超音波洗浄
装置では、ユーザが意図としている位置および振動強度
で洗浄を行うことができないという内容をユーザに知ら
せる表示を行い、演算を中止する。
Even though the above steps 110 to 117 are performed, the point L does not coincide with the point K, and W 4
If the output exceeds the maximum output W 4max , the process proceeds to step 118, and the display unit 14 can perform cleaning at the position and vibration intensity intended by the user in the ultrasonic cleaning device of this embodiment. A message is displayed to inform the user that the contents cannot be processed, and the calculation is stopped.

【0093】つぎに、ステップ102において、ユーザ
が周波数の変更による強超音波場の移動を選択した場合
について説明する。
Next, a case where the user selects the movement of the strong ultrasonic field by changing the frequency in step 102 will be described.

【0094】ステップ102で、入力部13が周波数の
選択を受け付けた場合、図15のステップ121に進
む。演算部12は、メモリに予め格納されている出力W
1〜W4の固定値および位相α1〜α4の固定値を読み込
む。また、ステップ122に進み、メモリに格納されて
いる周波数f1〜f4の最小値を読み込む。これら出力W
1〜W4の固定値および位相α1〜α4の固定値は、発信器
6の可変抵抗66a、65a等の可変幅によって定まる
出力可能な振動出力幅および位相幅のうち、予め定めた
特定の値である。また、周波数f1〜f4の最小値は、発
振器6の可変コイル64a等の可変幅によって定まる出
力可能な周波数幅のうち、最小の周波数である。これら
ステップ121および122で用いる出力W1〜W4の固
定値および位相α1〜α4の固定値、ならびに、周波数f
1〜f4の最小値は、上述のステップ104、105で用
いる値とは別の値であり、別個にメモリに予め格納され
ている。
When the input unit 13 accepts the selection of the frequency in step 102, the process proceeds to step 121 in FIG. The calculation unit 12 outputs the output W previously stored in the memory.
Read the fixed values of 1 to W 4 and the fixed values of the phases α 1 to α 4 . Further, the process proceeds to step 122, reads the minimum value of the frequency f 1 ~f 4 stored in the memory. These outputs W
The fixed values of 1 to W 4 and the fixed values of the phases α 1 to α 4 are specified in advance among the vibration output widths and phase widths that can be output, which are determined by the variable widths of the variable resistors 66a and 65a of the oscillator 6. Is the value of. The minimum value of the frequency f 1 ~f 4, among the possible output frequency width determined by the variable width of the variable coil 64a or the like of the oscillator 6, the minimum frequency. The fixed values of the outputs W 1 to W 4 and the fixed values of the phases α 1 to α 4 used in these steps 121 and 122, and the frequency f
The minimum value of 1 ~f 4 is the value used in steps 104 and 105 described above is another value is previously stored separately in the memory.

【0095】そして、演算部12は、ステップ106と
同様に、ステップ121、122で読み込んだ値と、数
式(1)から(22)を用いて、洗浄槽1の各格子点に
おける超音波振動の出力Aを演算する(ステップ12
3)。そしてステップ123へ進み、ステップ107と
同様に、最大の振動出力Amaxと、Amaxが得られた点L
の座標(x,y)とを求め、ステップ101で取り込ん
だ被洗浄物4を入れる点Kの座標(x,y)と、Amax
が得られた点Lの座標(x,y)とが一致しているかど
うかを調べ、一致している場合ステップ125へ進み、
一致していない場合ステップ127へ進む(ステップ1
24)。
Then, as in step 106, the calculation section 12 uses the values read in steps 121 and 122 and the mathematical expressions (1) to (22) to determine the ultrasonic vibration at each lattice point in the cleaning tank 1. Calculate output A (step 12)
3). Then, the process proceeds to step 123, and similarly to step 107, the maximum vibration output A max and the point L at which A max is obtained.
And the coordinates (x, y) of the point K into which the object to be cleaned 4 loaded in step 101 is obtained, and A max
Is checked to see if they match the coordinates (x, y) of the obtained point L. If they match, the process proceeds to step 125,
If they do not match, the process proceeds to step 127 (step 1
24).

【0096】ステップ125では、ステップ108と同
様に、点L(x,y)の超音波振動の出力Amaxが、ス
テップ102で取り込んだ洗浄に必要な超音波振動の出
力と同等以上かどうかを調べ、同等以上である場合に
は、図13のステップ400へ進む。また、同等より小
さい場合には、ステップ126へ進む。
In step 125, similarly to step 108, it is determined whether the output A max of the ultrasonic vibration at the point L (x, y) is equal to or more than the output of the ultrasonic vibration necessary for the cleaning taken in in step 102. If it is equal or higher, the process proceeds to step 400 in FIG. If it is smaller than the same, the process proceeds to step 126.

【0097】ステップ126では、ステップ109と同
様に、発振子2a〜2dの出力W〜Wにそれぞれ予
め定めた大きさkを加えて、ステップ123に戻り、再
度、各格子点について超音波振動の出力Aを計算する。
これを、強超音波場の出力Amaxが、ステップ125で
出力Sと同等以上になるまで繰り返す。
In step 126, similarly to step 109, the outputs W 1 to W 4 of the oscillators 2a to 2d are respectively added with a predetermined magnitude k, the process returns to step 123, and the ultrasonic wave is again applied to each lattice point. The vibration output A is calculated.
This is repeated until the output A max of the strong ultrasonic field becomes equal to or higher than the output S in step 125.

【0098】ステップ400では、ステップ119と同
様に、発振子2a〜2dが、ステップ123の計算で用
いた出力W1〜W4、周波数f1〜f4および位相α1〜α4
で発振するように、発振器6を調節するようにコントロ
ーラ11に指示する。そして、ステップ120へ進む。
コントローラ11は、発振器6の発振回路61a〜61
dの可変抵抗65a、66a等、可変コイル66a等の
値を調節し、発振子2a〜2dを発振させる。
In step 400, as in step 119, the oscillators 2a to 2d use the outputs W 1 to W 4 , frequencies f 1 to f 4 and phases α 1 to α 4 used in the calculation in step 123.
The controller 11 is instructed to adjust the oscillator 6 to oscillate at. Then, the process proceeds to step 120.
The controller 11 includes oscillator circuits 61a to 61 of the oscillator 6.
The values of the variable resistors 65a and 66a of d, the variable coil 66a and the like are adjusted to oscillate the oscillators 2a to 2d.

【0099】ステップ124で、最大の出力Amaxが得
られた点Lが、被洗浄物を投入する点Kと一致していな
い場合には、ステップ127以下に進み、発振子2a〜
2dの周波数f1〜f4を変化させることにより、これら
を一致させる動作を行う。これを以下に説明する。
If the point L at which the maximum output A max is obtained does not coincide with the point K at which the object to be cleaned is put in at step 124, the procedure proceeds to step 127 and thereafter, and the oscillator 2a ...
By changing the frequencies f 1 to f 4 of 2d, an operation for matching them is performed. This will be explained below.

【0100】まず、ステップ127で、発振子2aの周
波数f1をあらかじめ定められた最小周波数f1minにす
る。また、つぎのステップ128で発振子2b〜2dの
周波数f2〜f4をそれぞれの最小の周波数f2min〜f
4minにあらかじめ定めた値tを加えた値にする。最小周
波数f1min〜f4minは、発振器6の発振回路61a〜6
1dの可変コイル64a等の可変幅で定まる値であるの
で、この値に合わせて予め定められている。
First, in step 127, the frequency f 1 of the oscillator 2a is set to a predetermined minimum frequency f 1min . Further, in the next step 128, the frequencies f 2 to f 4 of the oscillators 2b to 2d are respectively set to the minimum frequencies f 2min to f.
Set to a value obtained by adding a predetermined value t to 4 min . The minimum frequencies f 1min to f 4min are the oscillation circuits 61a to 6a of the oscillator 6.
Since the value is determined by the variable width of the 1d variable coil 64a and the like, it is predetermined according to this value.

【0101】そしてステップ129に進み、ステップ1
28で定めた周波数f2〜f4が、発振子2b〜2dの最
大の周波数f2max〜f4maxを越えていないかどうか調べ
る。最大周波数f2max〜f4maxは、発振器6の発振回路
61b〜61dの可変コイルの可変幅で定まる値である
ので、この値に合わせて予め定められている。そして、
ステップ128で定めた周波数f2〜f4が最大の周波数
2max〜f4maxを越えていない場合はステップ130に
進み、越えている場合は、ステップ135に進む。
Then, the process proceeds to step 129 and step 1
Frequency f 2 ~f 4 which defines at 28, determine if does not exceed the maximum frequency f 2max ~f 4max of oscillator 2b to 2d. The maximum frequencies f 2max to f 4max are values that are determined by the variable width of the variable coils of the oscillation circuits 61b to 61d of the oscillator 6, and are therefore predetermined according to this value. And
If the frequencies f 2 to f 4 defined in step 128 do not exceed the maximum frequencies f 2max to f 4max , the process proceeds to step 130, and if they do exceed, the process proceeds to step 135.

【0102】ステップ130では、ステップ123と同
様に洗浄槽1内の複数の点について出力Aを求める。そ
してステップ131で、最大の出力Amaxが得られた点
Lが、被洗浄物を投入する点Kと一致している場合に
は、ステップ133、134に進み、点Lの出力Amax
を必要としている出力Sと同等以上にして、超音波を発
振させる動作を行う。これらのステップ130、13
1、133、134は、すでに述べたステップ123、
124、125、126と同じであるので、説明を省略
する。ステップ131で、点Lと点Kとが一致していな
い場合には、周波数f2〜f4にさらにあらかじめ定めた
値tを加えて、ステップ129に戻り、点Lを移動さ
せ、ステップ131で点Lと点Kとが一致するか、ステ
ップ129で周波数f2〜f4が、最大の周波数f2max
4maxを越えるまでこれを繰り返す。
In step 130, the output A is obtained for a plurality of points in the cleaning tank 1 as in step 123. Then, in step 131, when the point L at which the maximum output A max is obtained matches the point K at which the object to be cleaned is input, the process proceeds to steps 133 and 134, and the output A max at the point L is reached.
The output S is set equal to or higher than the required output S, and the operation of oscillating ultrasonic waves is performed. These steps 130, 13
1, 133, and 134 are the steps 123,
The description is omitted because it is the same as 124, 125, and 126. If the point L and the point K do not match in step 131, a predetermined value t is added to the frequencies f 2 to f 4 and the process returns to step 129 to move the point L and step 131 Whether the points L and K coincide with each other, or the frequencies f 2 to f 4 are the maximum frequencies f 2max to at step 129.
This is repeated until it exceeds f 4max .

【0103】点Lと点Kとが一致する前に、ステップ1
29で周波数f2〜f4が最大の周波数f2max〜f4max
越えた場合には、ステップ135に進み、周波数f1
あらかじめ定めた値tを加える。そして、ステップ13
6に進んで、周波数f1が最大の周波数f1maxを越えて
いるかどうかを調べ、越えていない場合には、周波数f
1をそのままに、再び128に戻って、周波数f2〜f4
をf2min〜f4minからtづつ大きくしながら、ステップ
129以下を繰返すことにより、点Lを移動させ、点L
と点Kとが一致する周波数を探索する。これをステップ
136で、周波数f1がf1maxを越えるまで繰返し行
う。
Before the points L and K coincide with each other, step 1
When the frequencies f 2 to f 4 exceed the maximum frequencies f 2max to f 4max at 29, the routine proceeds to step 135, where a predetermined value t is added to the frequency f 1 . And step 13
Proceed to step 6 to check whether the frequency f 1 exceeds the maximum frequency f 1max.
While keeping 1 as it is, it returns to 128 again and the frequencies f 2 to f 4
The while increasing t by one from f 2min ~f 4min, by repeating the step 129 follows, to move the point L, point L
Search for a frequency at which point K and point K match. This is repeated at step 136 until the frequency f 1 exceeds f 1max .

【0104】これらのステップ127から136を行っ
たにもかかわらず、点Lと点Kとが一致する周波数が見
つかる前にステップ136で周波数f1がf1maxを越え
た場合には、図17のステップ141に進む。ステップ
141からステップ150では、発振子2bの周波数f
2を最小f2minにして、残りの周波数f1、f3、f4をf
1min、f3min、f4minからtづつ大きくして、点Lを移
動させ、点Kと一致する周波数を探索する。点Lと点K
とが一致する前に、周波数f1、f3、f4が最大の周波
数f1max、f3max、f4maxを越えた場合には、周波数f
2を最小f2minにt加え、残りの周波数f、f3
4をf1min、f3min、f4minからtづつ大きくしてこ
れを繰り返す。これを周波数f2を最小f2maxを越える
まで繰返し行う。
If the frequency f 1 exceeds f 1max in step 136 before the frequency at which the point L and the point K coincide with each other is found, even though these steps 127 to 136 have been carried out, Proceed to step 141. In steps 141 to 150, the frequency f of the oscillator 2b is
2 to the minimum f 2min , and the remaining frequencies f 1 , f 3 , and f 4 are set to f
1min, f 3min, by increasing t by one from f 4min, move the point L, searches for a frequency that matches the point K. Point L and point K
Before bets are matched, when the frequency f 1, f 3, f 4 exceeds the maximum frequency f 1max, f 3max, the f 4Max, the frequency f
2 is added to the minimum f 2min t, and the remaining frequencies f 1 , f 3 ,
f 4 is increased from f 1min , f 3min , and f 4min by t, and this is repeated. This is repeated until the frequency f 2 exceeds the minimum f 2max .

【0105】これらのステップ141から150で、点
Lと点Kとが一致する周波数が見つかる前にステップ1
49で周波数f1がf1maxを越えた場合には、図18の
ステップ151に進む。ステップ181からステップ1
60では、発振子2cの周波数f3を固定しながら、他
の周波数f1、f2、f4を増加させて、点Lと点Kとが
一致する周波数を探索するステップであり、ステップ1
41からステップ150とほぼ同様のながれであるので
説明を省略する。また、ステップ151から160によ
っても、点Lと点Kとが一致する周波数が見つからない
場合には、図19のステップ161からステップ170
に進み、発振子2dの周波数f4を固定しながら、他の
周波数f1、f2、f3を増加させて、点Lと点Kとが一
致する周波数を探索するステップであり、ステップ14
1からステップ150とほぼ同様のながれであるので説
明を省略する。ステップ170までを行っても、点Lと
点Kとが一致する周波数が見つからず、ステップ169
で周波数f4が最大の周波数fmaxを越えた場合には、ス
テップ137に進み、表示部14に、本実施例の超音波
洗浄装置では、ユーザが意図としている位置および振動
強度で洗浄を行うことができないという内容をユーザに
知らせる表示を行い、演算を中止する。
In these steps 141 to 150, step 1 is performed before the frequency at which the point L and the point K coincide with each other is found.
If the frequency f 1 exceeds f 1max at 49, the routine proceeds to step 151 in FIG. Step 181 to Step 1
In step 60, the frequency f 3 of the oscillator 2c is fixed and the other frequencies f 1 , f 2 , f 4 are increased to search for a frequency at which the point L and the point K coincide.
Since the flow from 41 to step 150 is almost the same, the description is omitted. Further, even if the frequency at which the point L and the point K coincide with each other cannot be found by the steps 151 to 160, steps 161 to 170 of FIG. 19 are performed.
And the frequency f 4 of the oscillator 2d is fixed while the other frequencies f 1 , f 2 and f 3 are increased to search for a frequency at which the point L and the point K coincide.
Since the flow from 1 to step 150 is almost the same, the description is omitted. Even after performing step 170, a frequency at which the point L and the point K coincide with each other is not found, and thus step 169
If the frequency f 4 exceeds the maximum frequency f max , the process proceeds to step 137, and the display unit 14 is cleaned by the ultrasonic cleaning apparatus of this embodiment at the position and vibration intensity intended by the user. A message is displayed to inform the user that the operation cannot be performed, and the operation is stopped.

【0106】つぎに、ステップ102において、ユーザ
が位相の変更による強超音波場の移動を選択した場合に
ついて説明する。
Next, a case where the user selects the movement of the strong ultrasonic field by changing the phase in step 102 will be described.

【0107】ステップ102で、入力部13が位相の選
択を受け付けた場合、図20から図24に示したステッ
プ171からステップ221を行い、点Lが点Kと一致
する位相α〜1α4値の組合せと、出力W1〜W4と探索す
る。これらのステップのフローは、ステップ121から
ステップ170およびステップ137のフローと同様で
あるので、詳しい説明を省略する。
When the input unit 13 accepts the selection of the phase in step 102, steps 171 to 221 shown in FIGS. 20 to 24 are performed, and the phase α to 1 α 4 value in which the point L matches the point K And the outputs W 1 to W 4 are searched. Since the flow of these steps is the same as the flow of steps 121 to 170 and step 137, detailed description will be omitted.

【0108】このように、本実施例によれば、洗浄物4
が投入される点Kの座標と、洗浄に必要な超音波振動の
出力の最低値Sを予め受け付けて、強超音波場が点Kを
中心とする領域に出力S以上で発生するのに必要な、発
振子2a〜2dの出力、位相、周波数を演算で求め、こ
れを制御するものである。これにより、ユーザは、洗浄
物4が投入される位置に、必要とする出力以上の出力の
強超音波場を得ることができるので、常に、洗浄物をど
こに投入しようと常に一定以上の洗浄力で洗浄を行うこ
とができる。したがって、再現性よく、被洗浄物を洗浄
することができる。
As described above, according to this embodiment, the cleaning product 4
It is necessary to accept in advance the coordinates of the point K at which is injected and the minimum value S of the ultrasonic vibration output required for cleaning, and to generate a strong ultrasonic field above the output S in an area centered on the point K. The output, phase, and frequency of the oscillators 2a to 2d are calculated and controlled. As a result, the user can obtain a strong ultrasonic field with an output higher than the required output at the position where the cleaning object 4 is introduced, so that no matter where the cleaning object is introduced, the cleaning power is always above a certain level. Can be washed with. Therefore, the object to be cleaned can be cleaned with good reproducibility.

【0109】(実施例2)本発明の第2の実施例の超音
波洗浄装置について、図25から図31を用いて説明す
る。
(Embodiment 2) An ultrasonic cleaning apparatus according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 25 to 31.

【0110】第2の実施例の超音波洗浄装置の構成は、
第1の実施例の超音波洗浄装置の構成と同様であるので
説明を省略する。但し、第2の実施例の超音波洗浄装置
の演算部12のメモリ内には、図25〜図31にフロー
チャートで示したようなプログラムが格納されている。
第2の実施例の超音波洗浄装置は、強超音波場をユーザ
が入力した任意の図形上を任意の速度vで移動させてい
くことにより、大きな被洗浄物4をムラなく洗浄する構
成である。
The structure of the ultrasonic cleaning apparatus of the second embodiment is as follows.
Since the configuration is the same as that of the ultrasonic cleaning apparatus of the first embodiment, the description will be omitted. However, the program shown in the flowcharts of FIGS. 25 to 31 is stored in the memory of the calculation unit 12 of the ultrasonic cleaning apparatus of the second embodiment.
The ultrasonic cleaning apparatus according to the second embodiment has a configuration in which a large object to be cleaned 4 is uniformly cleaned by moving a strong ultrasonic field on an arbitrary figure input by the user at an arbitrary speed v. is there.

【0111】本実施例の超音波洗浄装置の動作について
説明する。
The operation of the ultrasonic cleaning apparatus of this embodiment will be described.

【0112】まず、入力部13は、強超音波場を移動さ
せるべき任意の図形曲線を表わす方程式f(x,y)、
強超音波場を移動させる速度v、被洗浄物4の洗浄する
のに必要な最低の超音波振動の出力(振幅)Sの入力を
受け付ける。
First, the input unit 13 uses the equation f (x, y), which represents an arbitrary graphic curve to move the strong ultrasonic field,
The speed v for moving the strong ultrasonic field and the input of the minimum ultrasonic vibration output (amplitude) S required for cleaning the object to be cleaned 4 are received.

【0113】まず演算部12は、入力部13に設定され
た方程式f(x,y)、移動速度v、超音波振動の出力
(振幅)Sを読み込む(ステップ301、302、30
3)。
First, the calculation section 12 reads the equation f (x, y), the moving speed v, and the output (amplitude) S of ultrasonic vibration set in the input section 13 (steps 301, 302, 30).
3).

【0114】そして、演算部12は、発振子2a〜2d
の周波数f1〜f4の値を表わす固定値と、位相α1〜α4
の値を表わす固定値とを演算部12のメモリから読み込
む。さらに、発振子2a〜2dの最小の出力W1〜W4
表わす固定値を演算部12のメモリから読み込む。つぎ
に、洗浄槽1内の複数の点について、振動の出力Aを計
算する(ステップ304、305、306)。これらの
ステップは、第1の実施例のステップ104、105、
106との同じであるので詳細な説明を省略する。
Then, the arithmetic unit 12 includes the oscillators 2a to 2d.
Fixed values representing the values of frequencies f 1 to f 4 and the phases α 1 to α 4
And a fixed value representing the value of are read from the memory of the arithmetic unit 12. Further, a fixed value representing the minimum output W 1 to W 4 of the oscillators 2a to 2d is read from the memory of the arithmetic unit 12. Next, the vibration output A is calculated for a plurality of points in the cleaning tank 1 (steps 304, 305, 306). These steps are steps 104, 105 of the first embodiment,
Since it is the same as 106, detailed description is omitted.

【0115】この時点では、発振子2a〜2dは、まだ
発振させない。発振子2a〜2dを発振させるのは、以
下に説明するように発振子2a〜2dに発振させる超音
波振動の出力、周波数、位相のすべてが演算によって定
まった後である。
At this point, the oscillators 2a to 2d have not yet oscillated. The oscillators 2a to 2d are oscillated after all the outputs, frequencies, and phases of the ultrasonic vibrations to be oscillated by the oscillators 2a to 2d are determined by calculation as described below.

【0116】求めた洗浄槽内の複数の超音波振動の出力
Aを比較することにより、最も大きな値Amaxを求め、
maxが得られた点Lの座標(x,y)が、ステップ3
01で取り込んだ強超音波場を移動させるべき方程式f
(x,y)上に位置するかどうかを調べる。点Lが方程
式f上にある場合には、ステップ308へ進み、点Lが
方程式f上にない場合には、ステップ319へ進む(ス
テップ307)。これにより、L(x,y)を中心とす
る領域に位置する強超音波場が、移動させるべき方程式
f上にのっているかどうかを調べることができる。
The largest value A max is obtained by comparing the obtained outputs A of the ultrasonic vibrations in the cleaning tank,
The coordinates (x, y) of the point L from which A max is obtained are calculated in step 3
Equation f to move the strong ultrasonic field captured in 01
Check whether it is located on (x, y). If the point L is on the equation f, the process proceeds to step 308, and if the point L is not on the equation f, the process proceeds to step 319 (step 307). This makes it possible to investigate whether or not the strong ultrasonic field located in the region centered on L (x, y) is on the equation f to be moved.

【0117】ステップ308では、点L(x,y)を中
心とする強超音波場が方程式f上に位置しているので、
点L(x,y)の超音波振動の出力Amaxが、ステップ
303で取り込んだ洗浄に必要な超音波振動の出力Sと
同等以上かどうかを調べ、同等以上である場合に、ステ
ップ320へ進む。また、同等より小さい場合には、ス
テップ309へ進む。
At step 308, since the strong ultrasonic field centered on the point L (x, y) is located on the equation f,
It is checked whether or not the output A max of the ultrasonic vibration at the point L (x, y) is equal to or more than the output S of the ultrasonic vibration required for cleaning captured in step 303, and if it is equal or more, the process proceeds to step 320. move on. If it is smaller than the same, the process proceeds to step 309.

【0118】ステップ309では、必要な超音波振動の
出力が得られていないため、発振子2a〜2dの出力W
1〜W4にそれぞれ予め定めた大きさkを加えて、出力W
1〜W4を一律に大きくしてステップ306に戻り、再
度、各格子点について超音波振動の出力Aを計算する。
これを、強超音波場の出力Amaxが、ステップ308で
出力Sより大きくなるまで繰り返す。
At step 309, since the output of the necessary ultrasonic vibration is not obtained, the output W of the oscillators 2a to 2d is obtained.
Add a predetermined size k to 1 to W 4 and output W
1 to W 4 are uniformly increased and the process returns to step 306, and the output A of ultrasonic vibration is calculated again for each lattice point.
This is repeated until the output A max of the strong ultrasonic field becomes larger than the output S in step 308.

【0119】ステップ320、321では、すべての発
振子2a〜2dが、発振すべき超音波振動の条件が出そ
ろったので、実際に発振子2a〜2dを発振させる。ま
ず、ステップ306の計算で用いた出力W1〜W4、周波
数f1〜f4および位相α1〜α4で発振するように、発振
器6を調節するようにコントローラ11に指示する(ス
テップ320)。コントローラ11は、発振器6の発振
回路61a〜61dの可変抵抗65a、66a等、可変
コイル66a等の値を調節する。
In steps 320 and 321, since all the oscillators 2a to 2d have the conditions of ultrasonic vibration to be oscillated, the oscillators 2a to 2d are actually oscillated. First, the controller 11 is instructed to adjust the oscillator 6 so as to oscillate at the outputs W 1 to W 4 , frequencies f 1 to f 4 and phases α 1 to α 4 used in the calculation of step 306 (step 320). ). The controller 11 adjusts the values of the variable resistors 65a and 66a of the oscillation circuits 61a to 61d of the oscillator 6 and the variable coil 66a.

【0120】続けて、演算部12は、コントローラ11
に発振子2a〜2dを実際に発振させるように指示する
(ステップ321)。これにより、洗浄槽1内には、点
L近傍を中心として出力Amaxの強超音波場が発生す
る。点Lの位置および出力Amaxは、ユーザが入力した
方程式f上に位置し、必要とする出力S以上であるの
で、ユーザは、方程式fの描く図形上に被洗浄物4を投
入することにより、必要な強度の超音波振動で被洗浄物
4を洗浄することができる。
Subsequently, the arithmetic unit 12 is connected to the controller 11
Is instructed to actually oscillate the oscillators 2a to 2d (step 321). As a result, a strong ultrasonic field of output A max is generated in the cleaning tank 1 with the vicinity of the point L as the center. The position of the point L and the output A max are located on the equation f input by the user and are equal to or larger than the required output S. Therefore, the user puts the object to be cleaned 4 on the figure drawn by the equation f. The object 4 to be cleaned can be cleaned by ultrasonic vibration of a required strength.

【0121】ステップ307で、最大の出力Amaxが得
られた点Lが、強超音波場を移動させるべき方程式f上
に乗っていない場合には、ステップ319、310〜3
18、340、341により、発振子2a〜2dの出力
1〜W4を変化させることにより、これらを一致させる
動作を行う。
In step 307, if the point L at which the maximum output A max is obtained is not on the equation f for moving the strong ultrasonic field, steps 319, 310-3.
The outputs W 1 to W 4 of the oscillators 2a to 2d are changed by 18, 340, and 341 to perform an operation of matching them.

【0122】ステップ319では、発振子2a〜2dの
出力W1〜W4にステップ305と同じく最小値を設定す
る。このように一旦最小値を設定するのは、ステップ3
09を一旦通ってからステップ307で強超音波場が方
程式fからはずれた場合を考慮して、一旦出力を最小値
に戻すためである。
In step 319, the minimum value is set for the outputs W 1 to W 4 of the oscillators 2a to 2d, as in step 305. In this way, the minimum value is once set in step 3
This is because the output is once returned to the minimum value in consideration of the case where the strong ultrasonic field deviates from the equation f in step 307 after passing through 09 once.

【0123】ステップ310では、発振子2aの出力W
1のみを予め定めた値kだけ増加させ、他の出力W2〜W
4は、そのままの値とする。そして、増加させたW1が、
発振子2aが出力可能な最大の出力W1maxを超えていな
ければ(ステップ311)、ステップ340に進み、ス
テップ306と同様に増加させた出力W1を用いて、洗
浄槽1内の超音波出力を演算する。出力W1を増加させ
ることにより、点Lの座標は移動していく。そして、出
力W1が、最大の出力W1maxより大きくなるか、また
は、ステップ341で点Lが方程式f上にのるまで、W
1をkづつ大きくして、これらのステップを繰り返す。
発振子2aが出力可能な最大の出力W1maxは、発振器6
の発振回路61aの可変抵抗66aの可変幅で定まる値
であるので、この値に合わせて予め定められている。
At step 310, the output W of the oscillator 2a
Only 1 is increased by a predetermined value k, and other outputs W 2 to W
4 is left as it is. And the increased W 1 is
If the maximum output W 1max that can be output by the oscillator 2a is not exceeded (step 311), the process proceeds to step 340, and the output W 1 increased in the same manner as step 306 is used to output the ultrasonic wave in the cleaning tank 1. Is calculated. By increasing the output W 1 , the coordinates of the point L move. Then, until the output W 1 becomes larger than the maximum output W 1max or the point L falls on the equation f in step 341, W
Increase 1 by k and repeat these steps.
The maximum output W 1max that the oscillator 2a can output is the oscillator 6
Since it is a value determined by the variable width of the variable resistor 66a of the oscillation circuit 61a, it is predetermined according to this value.

【0124】ステップ311で、出力W1が、最大の出
力W1maxを超えた場合には、ステップ312に進み、W
1をW1maxにし、発振子2bの出力W2を予め定めた値k
だけ増加させ、他の出力W3〜W4は、そのままの値とす
る。そして、ステップ313では、増加させたW2が、
発振子2bが出力可能な最大の出力W2maxを超えていな
ければ、ステップ340へ戻り、再度、増加させた出力
1を用いて、洗浄槽1内の超音波出力を演算する。出
力W2を増加させることにより、出力W2を増加させた場
合とは異なる方向へ、ステップ107の点Lの座標は移
動していく。そして、出力W2が、最大の出力W2max
り大きくなるか、または、ステップ341で点Lが方程
式f上にのるまで、W2をkづつ大きくして、これらの
ステップを繰り返す。発振子2bが出力可能な最大の出
力W2maxは、発振器6の発振回路61bの可変抵抗の可
変幅で定まる値であるので、この値に合わせて予め定め
られている。
In step 311, if the output W 1 exceeds the maximum output W 1max , the process proceeds to step 312 and W
Set 1 to W 1max and set the output W 2 of the oscillator 2b to a predetermined value k
However, the other outputs W 3 to W 4 are kept at the same values. Then, in step 313, the increased W 2 is
If the maximum output W 2max that can be output by the oscillator 2b is not exceeded, the process returns to step 340, and the ultrasonic output in the cleaning tank 1 is calculated again using the increased output W 1 . By increasing the output W 2, direction different from the case of increasing the output W 2, the coordinate of the point L in step 107 moves. Then, until the output W 2 becomes larger than the maximum output W 2max or the point L is on the equation f in step 341, W 2 is increased by k and these steps are repeated. The maximum output W 2max that can be output by the oscillator 2b is a value determined by the variable width of the variable resistance of the oscillation circuit 61b of the oscillator 6, and is therefore predetermined according to this value.

【0125】同様に、ステップ314〜ステップ317
では、出力W3またはW4をkづつ大きくして、点Lを移
動させる。
Similarly, steps 314 to 317.
Then, the output W 3 or W 4 is increased by k, and the point L is moved.

【0126】上述のステップ310〜317を行ったに
もかかわらず、点Lが方程式f上にのらず、しかも、W
4が最大の出力W4maxを超えてしまった場合には、ステ
ップ318に進み、表示部14に、本実施例の超音波洗
浄装置では、ユーザが意図としている方程式fおよび振
動強度で洗浄を行うことができないという内容をユーザ
に知らせる表示を行い、演算を中止する。
Despite performing the above steps 310 to 317, the point L does not fall on the equation f, and W
If 4 exceeds the maximum output W 4max , the process proceeds to step 318, where the display 14 performs the cleaning with the equation f and the vibration intensity intended by the user in the ultrasonic cleaning device of the present embodiment. A message is displayed to inform the user that the operation cannot be performed, and the operation is stopped.

【0127】ステップ341で、点Lが方程式f上に乗
った場合には、ステップ342、ステップ343に進
み、ステップ308、309と同様の処理を行って、点
Lの出力Amaxが、使用者が必要としている最低の出力
Sと同等以上になるように、出力W1〜W4を一律に大き
くする。点Lの出力Amaxが、使用者が必要としている
最低の出力Sと同等以上になったら、ステップでに説明
したステップ320、321に進み、発振子2a〜2d
に発振条件を設定し、実際に発振させる。これにより、
ユーザが入力した図形曲線を表わす方程式f上の点Lで
強超音波場が形成され、洗浄が開始される。
When the point L is on the equation f in step 341, the process proceeds to steps 342 and 343, the same processing as in steps 308 and 309 is performed, and the output A max of the point L is determined by the user. The outputs W 1 to W 4 are uniformly increased so that the output becomes equal to or higher than the minimum output S required. When the output A max at the point L becomes equal to or more than the minimum output S required by the user, the process proceeds to steps 320 and 321 described in the step, and the oscillators 2a to 2d.
Set the oscillation condition to and actually oscillate. This allows
The strong ultrasonic field is formed at the point L on the equation f representing the graphic curve input by the user, and the cleaning is started.

【0128】つぎに、ユーザが入力した図形曲線を表わ
す方程式f上において、速度vで強超音波上を移動させ
るための動作を行う。本実施例では、強超音波場の平均
速度がvとなるように、強超音波場を予め定めた時間t
ごとに移動させる。まず、上述のステップ321で発振
子2a〜2dを発振させたら、時間t後に点Lを移動さ
せる先の点Kの座標を求め、この移動先の点Kで強超音
波場を発振させるための発振子2a〜2dの発振条件を
求める。そのため、ステップ322では、予め定めた時
間tと速度vと点L(x,y)の座標を用いて、点K
(x+vt,f(x+vt))を計算することにより点
Kの座標を求める。
Next, on the equation f representing the graphic curve input by the user, the operation for moving on the strong ultrasonic wave at the speed v is performed. In this embodiment, the strong ultrasonic field is set to a predetermined time t so that the average speed of the strong ultrasonic field becomes v.
Move each. First, after oscillating the oscillators 2a to 2d in step 321 described above, the coordinates of the point K to which the point L is moved after time t are obtained, and the strong ultrasonic field is oscillated at the point K to which the point is moved. The oscillation conditions of the oscillators 2a to 2d are obtained. Therefore, in step 322, the point K is calculated using the predetermined time t, the velocity v, and the coordinates of the point L (x, y).
The coordinates of the point K are obtained by calculating (x + vt, f (x + vt)).

【0129】すなわち、点Kは、方程式f上の点であっ
て、点Kのx座標は、点Lのx座標にvtを加えた座標
である。ステップ320で発振子2a〜2dで発振条件
を設定してから、時間tが経過した後に、強超音波場の
中心点Lを点Kに移動させることにより、強超音波場
は、x方向について、速度vで方程式fが表わす図形曲
線上を移動する。
That is, the point K is a point on the equation f, and the x coordinate of the point K is the coordinate obtained by adding vt to the x coordinate of the point L. After the oscillation conditions are set in the oscillators 2a to 2d in step 320, and after the time t has passed, the central point L of the strong ultrasonic field is moved to the point K, so that the strong ultrasonic field is in the x direction. , Move at a velocity v on the graphic curve represented by equation f.

【0130】つぎに、ステップ323で点Kが点Lと一
致しているかどうか調べる。これは、方程式fが特殊な
図形である場合には、点Kが点Lと一致していることが
ありうるため、このステップを配置している。通常は、
点Kが点Lが一致していないため、ステップ325〜3
33、335、336に進み、すでに説明したステップ
319、310〜319、340、341と同様に、一
旦出力W1〜W4を最小値としたのちkづつ増加させて、
点Lを点Kと一致させる。但し、この時点は、点Lの移
動というのは、計算上行われているのみであり、実際の
洗浄槽内においては、ステップ320で発振子2a〜2
dが設定されたままであるのでステップ320の設定の
位置で強超音波場が引き続き発生している。ステップ3
25〜333、335、336で、点Kと点Lが一致し
ないまま、出力W4がW4の最大値を超えてしまった場合
には、ステップ334に進み、表示部14に方程式f上
で強超音波場を移動させることができないことを使用者
に知らせる表示を行う。ステップ336で、点Lと点K
とが一致したら、ステップ337、338に進み、点L
の超音波振動出力Amaxを洗浄に必要な出力Sと同等以
上にするためにW1〜W4を一律に大きくして、ステップ
344に進む。
Then, in step 323, it is checked whether the point K matches the point L. This step is arranged because the point K may coincide with the point L when the equation f is a special figure. Normally,
Since point K does not match point L, steps 325-3
33, 335, 336, and similarly to steps 319, 310-319, 340, 341 already described, the outputs W 1 -W 4 are once set to the minimum value and then increased by k,
Match the point L with the point K. However, at this time point, the movement of the point L is only calculated, and in the actual cleaning tank, the oscillators 2a to 2 are moved in step 320.
Since d remains set, the strong ultrasonic field continues to be generated at the position set in step 320. Step 3
In 25 to 333, 335, and 336, if the output W 4 exceeds the maximum value of W 4 while the point K and the point L do not match, the process proceeds to step 334, and the equation f is displayed on the display unit 14 on the equation f. A display is provided to inform the user that the strong ultrasonic field cannot be moved. In step 336, point L and point K
If and match, the process proceeds to steps 337 and 338, and the point L
Of increasing the W 1 to W-4 uniformly ultrasonic vibration output A max to the output S and equal to or more than required for cleaning, the process proceeds to step 344.

【0131】また、ステップ323で点Lと点Kとが一
致していた場合にも、ステップ344に進む。
Also, if the point L and the point K coincide with each other in step 323, the process proceeds to step 344.

【0132】ステップ344では、前回(ステップ32
0)発振子2a〜2dに出力、周波数、位相を設定して
から、時間tが経過したかどうかを、演算部12内のタ
イマで計測する。時間tが経過したら、ステップ34
5、346に進み、ステップ335で演算に用いた出
力、周波数、位相をコントローラ11に指示して発振器
6に設定させ、引き続き発振子2a〜2dを発振させる
よう指示する。これにより、発振子2a〜2dの発振条
件が変更され、強超音波場の中心点Lは、移動先の点K
に移動する。これにより、点Lの1回目の移動が完了す
るので、ステップ347に進み、2回目の移動先の点K
の座標をステップ322と同様に求め、ステップ348
に進んで、ステップ323と同様の処理を行ったのちス
テップ325にへ戻る。これにより、2回目以降の強超
音波場の中心点Lの移動が行われるため、強超音波場
は、方程式fの表わす図形上を時間tごとに、x方向の
平均移動速度vで移動していく。
In step 344, the last time (step 32
0) A timer in the arithmetic unit 12 measures whether or not a time t has elapsed after setting outputs, frequencies, and phases to the oscillators 2a to 2d. When time t has elapsed, step 34
In step 335, the controller 11 is instructed to set the output, frequency, and phase used for the calculation in step 335 to the oscillator 6, and then the oscillators 2a to 2d are instructed to oscillate. As a result, the oscillation conditions of the oscillators 2a to 2d are changed, and the center point L of the strong ultrasonic field is the destination point K.
Move to. As a result, the first movement of the point L is completed, so the process proceeds to step 347 and the point K of the second movement destination is moved.
Is obtained in the same manner as step 322, and step 348
Then, the procedure proceeds to step 323 and the same processing as step 323 is performed, and then the procedure returns to step 325. As a result, the center point L of the strong ultrasonic field is moved for the second time and thereafter, so that the strong ultrasonic field moves on the figure represented by the equation f at the time t at the average moving speed v in the x direction. To go.

【0133】このように、第2の実施例の超音波洗浄装
置では、任意の出力Sと同等以上の出力の強超音波場を
任意の図形を表わす方程式f上に発生させたのち、その
強超音波場の中心点Lをx方向の平均速度vで移動させ
ることができる。これにより、大きな被洗浄物4を洗浄
する場合には、方程式fの表わす図形を、被洗浄物4を
まんべんなく覆うような図形にしておき、方程式fの表
わす図形上に洗浄物4を投入することにより、被洗浄物
4上を強超音波場がまんべんなく移動するため、被洗浄
物4をムラなく洗浄できる。
As described above, in the ultrasonic cleaning apparatus of the second embodiment, a strong ultrasonic field having an output equal to or higher than the arbitrary output S is generated on the equation f representing an arbitrary figure, and then the strong force is generated. The center point L of the ultrasonic field can be moved at an average velocity v in the x direction. As a result, when cleaning a large object 4 to be cleaned, the figure represented by the equation f should be a figure that completely covers the object 4 to be cleaned, and the article 4 to be cleaned should be placed on the figure represented by the equation f. As a result, the strong ultrasonic field uniformly moves on the object to be cleaned 4, so that the object to be cleaned 4 can be uniformly cleaned.

【0134】第2の実施例では、発振子の出力を変化さ
せることにより、強超音波場の中心点Lを移動させる構
成にしたが、これに限らず、周波数、位相を変化させる
ことにより強超音波場を移動させる構成にすることもも
ちろん可能である。周波数を変化させる場合には、第1
の実施例で説明したステップ127〜170を用い、位
相を変化させるためには、ステップ181〜220を用
いることができる。
In the second embodiment, the center point L of the strong ultrasonic field is moved by changing the output of the oscillator. However, the present invention is not limited to this, and the strength is changed by changing the frequency and phase. Of course, a configuration in which the ultrasonic field is moved is also possible. When changing the frequency, first
The steps 127 to 170 described in the above embodiment can be used, and the steps 181 to 220 can be used to change the phase.

【0135】このように、第1の実施例、第2の実施例
において、強超音波場を任意の点や図形上に移動させる
ことができるのは、発振子を洗浄槽の側面に複数個配置
し、複数の方向から洗浄槽の中心方向に超音波が発振さ
れる構成にし、発振子の出力、位相、周波数を発振子ご
とに制御しているためである。また、強超音波場を演算
するために本実施例で用いた数式は、超音波が伝搬する
につれて減衰することおよび洗浄槽の壁面で減衰するこ
とを考慮したものであるため、実際に洗浄物を投入した
場合の超音波の伝搬状態に近く、正確に強超音波場の位
置および強度を演算することができる。
As described above, in the first and second embodiments, it is possible to move the strong ultrasonic field to an arbitrary point or figure by arranging a plurality of oscillators on the side surface of the cleaning tank. This is because ultrasonic waves are oscillated from a plurality of directions toward the center of the cleaning tank, and the output, phase, and frequency of the oscillator are controlled for each oscillator. In addition, the mathematical formula used in this example for calculating the strong ultrasonic field considers that the ultrasonic wave is attenuated as it propagates and is attenuated on the wall surface of the cleaning tank. It is possible to accurately calculate the position and intensity of the strong ultrasonic field, which is close to the propagation state of the ultrasonic wave when is input.

【0136】また、第1、第2の実施例では、被洗浄物
4による超音波振動振幅の減衰を、伝搬距離に比例して
減衰することを表わす項D(l)で近似して、洗浄槽内
の超音波の分布を演算したが、被洗浄物4による超音波
振動振幅の減衰は、被洗浄物4の形状や投入する方向に
よって大きく異なるため、これらを考慮して、投入する
被洗浄物によって減衰を表わす項の関数を実験等によっ
て求めその関数を用いて演算を行なうことが望ましい。
Further, in the first and second embodiments, the attenuation of the ultrasonic vibration amplitude by the object to be cleaned 4 is approximated by the term D (l) representing that it is attenuated in proportion to the propagation distance, and the cleaning is performed. The distribution of the ultrasonic waves in the tank was calculated, but the attenuation of the ultrasonic vibration amplitude by the object to be cleaned 4 differs greatly depending on the shape of the object to be cleaned 4 and the direction in which the object is cleaned. It is desirable to obtain the function of the term that represents the attenuation by an object by experiments or the like and perform the calculation using the function.

【0137】また、第1、第2の実施例では、洗浄槽の
深さ方向の強超音波場の広がりおよび強度については演
算しなかったが、深さ方向について大きな被洗浄物を洗
浄する場合には、深さ方向について揺動させることによ
り均一に洗浄することができる。また、上述の数式と同
様に、洗浄槽の深さ方向について、強超音波場を演算
し、深さ方向について強超音波場を移動させることも可
能である。
Further, in the first and second embodiments, the spread and intensity of the strong ultrasonic field in the depth direction of the cleaning tank were not calculated, but when cleaning a large object to be cleaned in the depth direction. In addition, it is possible to wash uniformly by rocking in the depth direction. Further, similarly to the above formula, it is also possible to calculate the strong ultrasonic field in the depth direction of the cleaning tank and move the strong ultrasonic field in the depth direction.

【0138】また、第1、第2の実施例では、ユーザか
ら入力部に入力された被洗浄物を投入する任意の点を中
心とする領域に、強超音波場発生させるのに必要な、各
発振子の出力、位相、周波数を、ユーザから任意の点や
図形曲線の入力を受け付ける度に演算する構成を用い
た。しかしながら、本発明はこの構成に限定されるもの
ではなく、予め、洗浄槽内の点を中心とする領域に、あ
る出力の強超音波場を発生させるのに必要な発振条件
を、洗浄槽内の複数の点(例えば、図6に示したよう
な、格子点状に位置する複数の点501)について、そ
れぞれ、複数段階の出力で演算しておき、それを、演算
部12内のメモリに格納しておくことも可能である。予
め、発振条件を演算する方法としては、上述の第1、第
2の実施例で示したフローを用いることができる。
Further, in the first and second embodiments, it is necessary to generate a strong ultrasonic field in a region centered on an arbitrary point where the object to be cleaned input by the user into the input section is centered. The output, phase, and frequency of each oscillator are calculated every time an input of an arbitrary point or a figure curve is received from the user. However, the present invention is not limited to this configuration, and the oscillation conditions necessary for generating a strong ultrasonic field of a certain output in the region centered on a point in the cleaning tank are set in advance in the cleaning tank. Of a plurality of points (for example, a plurality of points 501 located in a grid shape as shown in FIG. 6) are respectively calculated with outputs of a plurality of stages, and the calculated results are stored in a memory in the calculation unit 12. It is possible to store it. As a method of calculating the oscillation condition in advance, the flows shown in the above-mentioned first and second embodiments can be used.

【0139】そして、ユーザから、被洗浄物を投入する
点や図形曲線ならびに必要とする出力が入力されたら、
メモリ内に格納されている点のうち、入力された点に最
も近い点を選び、その最も近い点を中心とする領域で入
力された出力で強超音波場を発生させるのに必要な発振
条件をメモリから読みだし、この発振条件で発振子を発
振させる。このように、予め演算を行って発振条件をメ
モリ内に格納しておく構成にした場合には、ユーザが被
洗浄物を投入する点や図形曲線ならびに必要とする出力
を入力したあとで、その都度発振条件を演算で求める必
要はなく、予めメモリ内に格納されている発振条件から
必要な条件を選択するだけでよいので、計算量が少なく
てすみ、短時間で発振条件を設定することができる。ま
た、演算部の計算能力が小さくてもよいので、安価な装
置を提供することができる。このような構成にすると、
強超音波場を発振可能な領域が予め演算を行っている複
数の点に限定されるが、予め演算を行う点の間隔をでき
るかぎり多くすることにより、実用的な装置を提供する
ことができる。
Then, when the user inputs a point for inserting the object to be cleaned, a graphic curve, and a required output,
Of the points stored in the memory, select the point closest to the input point, and the oscillation condition required to generate a strong ultrasonic field with the output input in the area centered on the closest point. Is read from the memory and the oscillator is oscillated under this oscillation condition. As described above, in the case of the configuration in which the calculation is performed in advance and the oscillation condition is stored in the memory, after the user inputs the point to enter the object to be cleaned, the figure curve and the required output, the Since it is not necessary to calculate the oscillation condition each time, it is only necessary to select the required condition from the oscillation conditions stored in the memory in advance, so the calculation amount can be small and the oscillation condition can be set in a short time. it can. Moreover, since the calculation capability of the calculation unit may be small, an inexpensive device can be provided. With this configuration,
Although the region in which the strong ultrasonic field can be oscillated is limited to a plurality of points for which calculations are performed in advance, a practical device can be provided by increasing the intervals between the points for which calculations are performed in advance as much as possible. .

【0140】[0140]

【発明の効果】上述のように、本発明によれば、被洗浄
物を投入する位置や被洗浄物の大きさに係わらず、一定
以上の洗浄度で洗浄することができる超音波洗浄装置を
提供することができる。
As described above, according to the present invention, there is provided an ultrasonic cleaning apparatus capable of performing cleaning with a cleaning degree of a certain level or higher irrespective of the position where the object to be cleaned is inserted and the size of the object to be cleaned. Can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施例の超音波洗浄装置の構成
を示すブロック図。
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of an ultrasonic cleaning device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】図1の超音波洗浄装置の洗浄槽内の超音波進行
方向を示す説明図。
FIG. 2 is an explanatory view showing an ultrasonic wave traveling direction in a cleaning tank of the ultrasonic cleaning apparatus of FIG.

【図3】図1の超音波洗浄装置の洗浄槽内の超音波の分
布の一例を示す説明図。
FIG. 3 is an explanatory view showing an example of ultrasonic wave distribution in a cleaning tank of the ultrasonic cleaning apparatus of FIG.

【図4】図1の超音波洗浄装置の洗浄槽内の超音波の分
布の一例を示す説明図。
FIG. 4 is an explanatory diagram showing an example of ultrasonic wave distribution in a cleaning tank of the ultrasonic cleaning apparatus of FIG.

【図5】(a)図1の超音波洗浄装置の超音波発振器6
の構成を示すブロック図。 (b)(a)の超音波発振器6の発振回路61aの回路
構成を示す回路図。
5A is an ultrasonic oscillator 6 of the ultrasonic cleaning apparatus of FIG.
Block diagram showing the configuration of FIG. (B) The circuit diagram which shows the circuit structure of the oscillation circuit 61a of the ultrasonic oscillator 6 of (a).

【図6】図1の超音波洗浄装置の洗浄槽内で、超音波振
動の出力を演算する複数の点501の位置を示す説明
図。
6 is an explanatory view showing positions of a plurality of points 501 for calculating an output of ultrasonic vibration in a cleaning tank of the ultrasonic cleaning apparatus of FIG.

【図7】図1の超音波洗浄装置の洗浄槽における超音波
伝搬を示す説明図。
7 is an explanatory view showing ultrasonic wave propagation in a cleaning tank of the ultrasonic cleaning apparatus of FIG.

【図8】図1の超音波洗浄装置の洗浄槽において、発振
子2aと点Hとの関係を示す説明図。
8 is an explanatory view showing a relationship between an oscillator 2a and a point H in the cleaning tank of the ultrasonic cleaning device of FIG.

【図9】図1の超音波洗浄装置の洗浄槽において、発振
子2bと点Hとの関係を示す説明図。
9 is an explanatory view showing a relationship between an oscillator 2b and a point H in the cleaning tank of the ultrasonic cleaning apparatus of FIG.

【図10】図1の超音波洗浄装置の洗浄槽において、発
振子2cと点Hとの関係を示す説明図。
10 is an explanatory view showing a relationship between an oscillator 2c and a point H in the cleaning tank of the ultrasonic cleaning apparatus of FIG.

【図11】図1の超音波洗浄装置の洗浄槽において、発
振子2dと点Hとの関係を示す説明図。
11 is an explanatory view showing a relationship between an oscillator 2d and a point H in the cleaning tank of the ultrasonic cleaning apparatus of FIG.

【図12】本発明の第1の実施例の超音波洗浄装置の動
作を示すフローチャート。
FIG. 12 is a flowchart showing the operation of the ultrasonic cleaning apparatus according to the first embodiment of the present invention.

【図13】本発明の第1の実施例の超音波洗浄装置の動
作を示すフローチャート。
FIG. 13 is a flowchart showing the operation of the ultrasonic cleaning apparatus according to the first embodiment of the present invention.

【図14】本発明の第1の実施例の超音波洗浄装置の動
作を示すフローチャート。
FIG. 14 is a flowchart showing the operation of the ultrasonic cleaning apparatus according to the first embodiment of the present invention.

【図15】本発明の第1の実施例の超音波洗浄装置の動
作を示すフローチャート。
FIG. 15 is a flowchart showing the operation of the ultrasonic cleaning apparatus according to the first embodiment of the present invention.

【図16】本発明の第1の実施例の超音波洗浄装置の動
作を示すフローチャート。
FIG. 16 is a flowchart showing the operation of the ultrasonic cleaning apparatus according to the first embodiment of the present invention.

【図17】本発明の第1の実施例の超音波洗浄装置の動
作を示すフローチャート。
FIG. 17 is a flowchart showing the operation of the ultrasonic cleaning apparatus according to the first embodiment of the present invention.

【図18】本発明の第1の実施例の超音波洗浄装置の動
作を示すフローチャート。
FIG. 18 is a flowchart showing the operation of the ultrasonic cleaning apparatus according to the first embodiment of the present invention.

【図19】本発明の第1の実施例の超音波洗浄装置の動
作を示すフローチャート。
FIG. 19 is a flowchart showing the operation of the ultrasonic cleaning apparatus according to the first embodiment of the present invention.

【図20】本発明の第1の実施例の超音波洗浄装置の動
作を示すフローチャート。
FIG. 20 is a flowchart showing the operation of the ultrasonic cleaning apparatus according to the first embodiment of the present invention.

【図21】本発明の第1の実施例の超音波洗浄装置の動
作を示すフローチャート。
FIG. 21 is a flowchart showing the operation of the ultrasonic cleaning apparatus according to the first embodiment of the present invention.

【図22】本発明の第1の実施例の超音波洗浄装置の動
作を示すフローチャート。
FIG. 22 is a flowchart showing the operation of the ultrasonic cleaning apparatus according to the first embodiment of the present invention.

【図23】本発明の第1の実施例の超音波洗浄装置の動
作を示すフローチャート。
FIG. 23 is a flowchart showing the operation of the ultrasonic cleaning apparatus according to the first embodiment of the present invention.

【図24】本発明の第1の実施例の超音波洗浄装置の動
作を示すフローチャート。
FIG. 24 is a flowchart showing the operation of the ultrasonic cleaning apparatus according to the first embodiment of the present invention.

【図25】本発明の第2の実施例の超音波洗浄装置の動
作を示すフローチャート。
FIG. 25 is a flowchart showing the operation of the ultrasonic cleaning apparatus according to the second embodiment of the present invention.

【図26】本発明の第2の実施例の超音波洗浄装置の動
作を示すフローチャート。
FIG. 26 is a flowchart showing the operation of the ultrasonic cleaning apparatus according to the second embodiment of the present invention.

【図27】本発明の第2の実施例の超音波洗浄装置の動
作を示すフローチャート。
FIG. 27 is a flowchart showing the operation of the ultrasonic cleaning apparatus according to the second embodiment of the present invention.

【図28】本発明の第2の実施例の超音波洗浄装置の動
作を示すフローチャート。
FIG. 28 is a flowchart showing the operation of the ultrasonic cleaning apparatus according to the second embodiment of the present invention.

【図29】本発明の第2の実施例の超音波洗浄装置の動
作を示すフローチャート。
FIG. 29 is a flowchart showing the operation of the ultrasonic cleaning apparatus according to the second embodiment of the present invention.

【図30】本発明の第2の実施例の超音波洗浄装置の動
作を示すフローチャート。
FIG. 30 is a flowchart showing the operation of the ultrasonic cleaning apparatus according to the second embodiment of the present invention.

【図31】本発明の第2の実施例の超音波洗浄装置の動
作を示すフローチャート。
FIG. 31 is a flowchart showing the operation of the ultrasonic cleaning apparatus according to the second embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…洗浄槽、2a、2b、2c、2d…発振子、3…洗
浄液、4…被洗浄物、5…洗浄治具、6…超音波発振
器、9、11…強超音波場、11…コントローラ、12
…演算部、13…入力部、14…表示部。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Cleaning tank, 2a, 2b, 2c, 2d ... Oscillator, 3 ... Cleaning liquid, 4 ... Cleaning object, 5 ... Cleaning jig, 6 ... Ultrasonic oscillator, 9, 11 ... Strong ultrasonic field, 11 ... Controller , 12
... Calculation unit, 13 ... Input unit, 14 ... Display unit.

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】複数の発振子と洗浄槽とを備えた超音波洗
浄装置であって、 前記複数の発振子は、前記洗浄槽の中央部に向かって複
数の方向から超音波を発振するように配置されているこ
とを特徴とする超音波洗浄装置。
1. An ultrasonic cleaning device comprising a plurality of oscillators and a cleaning tank, wherein the plurality of oscillators oscillate ultrasonic waves from a plurality of directions toward a central portion of the cleaning tank. The ultrasonic cleaning device is characterized in that the ultrasonic cleaning device is arranged in.
【請求項2】請求項1において、ユーザから前記洗浄槽
内の任意の座標の入力を受け付ける受け付け手段と、 前記複数の発振子に対して、それぞれ振幅、位相、周波
数を設定し、発振子を発振させる発振手段と、 前記洗浄槽内において前記複数の発振子から発振された
超音波が強めあう1または2以上の領域を演算し、前記
超音波が強めあう領域の1つと前記受け付け手段が受け
付けた座標とを一致させるための前記複数の発振子のそ
れぞれの振幅、位相、周波数を求め、求めた前記振幅、
位相、周波数条件で前記発振子を発振させるよう前記発
振手段に指示する演算手段とを有することを特徴とする
超音波洗浄装置。
2. The accepting means according to claim 1, which accepts an input of arbitrary coordinates in the cleaning tank from a user, and sets the amplitude, phase, and frequency for each of the plurality of oscillators, An oscillating means for oscillating, and one or two or more regions in which the ultrasonic waves oscillated from the plurality of oscillators intensify each other in the cleaning tank are calculated, and one of the regions in which the ultrasonic waves intensify each other and the receiving unit Amplitude, phase, frequency of each of the plurality of oscillators to match the coordinates, and the obtained amplitude,
An ultrasonic cleaning device, comprising: an arithmetic means for instructing the oscillating means to oscillate the oscillator under phase and frequency conditions.
【請求項3】請求項2において、前記受け付け手段は、
ユーザから前記任意の座標で必要とする超音波振動の振
幅をさらに受け付け、 前記演算手段は、前記超音波が強めあう領域の超音波振
動の振幅を演算し、前記受け付けた座標における超音波
振動の振幅をユーザから入力された振幅と同等以上にす
るための前記複数の発振子のそれぞれの振幅、位相、周
波数を求め、求めた前記振幅、位相、周波数条件で前記
発振子を発振させるよう前記発振手段に指示することを
特徴とする超音波洗浄装置。
3. The receiving means according to claim 2,
The user further receives the amplitude of the ultrasonic vibration required at the arbitrary coordinates from the user, the calculating means calculates the amplitude of the ultrasonic vibration of the region where the ultrasonic waves reinforce each other, and the ultrasonic vibration at the received coordinate is calculated. The oscillation is performed so as to obtain the amplitude, phase, and frequency of each of the plurality of oscillators for making the amplitude equal to or greater than the amplitude input by the user, and to oscillate the oscillator under the obtained amplitude, phase, and frequency conditions. An ultrasonic cleaning device characterized by instructing means.
【請求項4】請求項2において、前記演算手段は、前記
複数の発振子のそれぞれの振幅、位相、周波数を求める
ために、前記発振子の振幅、位相、および、周波数のう
ち少なくとも1つの値を変化させた場合の超音波が強め
あう領域の位置を演算することを特徴とする超音波洗浄
装置。
4. The calculation means according to claim 2, wherein at least one of the amplitude, phase, and frequency of the oscillator is used to obtain the amplitude, phase, and frequency of each of the plurality of oscillators. The ultrasonic cleaning apparatus is characterized in that the position of a region in which ultrasonic waves are strengthened is calculated when the value is changed.
【請求項5】請求項3において、前記演算手段は、前記
複数の発振子のそれぞれの振幅、位相、周波数を求める
ために、前記すべての発振子の振幅を一律に変化させた
場合の超音波が強めあう領域の超音波振動の振幅を演算
することを特徴とする超音波洗浄装置。
5. The ultrasonic wave according to claim 3, wherein the arithmetic means uniformly changes the amplitudes of all the oscillators in order to obtain the amplitude, phase and frequency of each of the plurality of oscillators. An ultrasonic cleaning device, which calculates the amplitude of ultrasonic vibrations in a region in which each other strengthens each other.
【請求項6】請求項2において、前記複数の発振子は、
同一平面上に配置され、 前記受け付け手段は、前記平面上の任意の座標を受け付
けることを特徴とする超音波洗浄装置。
6. The oscillator according to claim 2, wherein the plurality of oscillators are
The ultrasonic cleaning device, wherein the ultrasonic cleaning device is arranged on the same plane, and the receiving unit receives arbitrary coordinates on the plane.
【請求項7】請求項1において、ユーザから前記洗浄槽
内の任意の座標の入力を受け付ける受け付け手段と、 前記複数の発振子に対して、それぞれ振幅、位相、周波
数を設定し、発振子を発振させる発振手段と、 予め求められた、前記洗浄槽内において前記複数の発振
子から発振された超音波が強めあう領域を、前記洗浄槽
内の予め定められた複数の座標に位置させるための前記
複数の発振子のそれぞれの振幅、位相、周波数を、前記
予め定められた複数の座標ごとに記憶した記憶手段と、 前記洗浄槽内の予め定められた複数の座標のうち、前記
受け付け手段が受け付けた任意の座標に最も近い座標を
選び、選んだ座標に対応する前記複数の発振子のそれぞ
れの振幅、位相、周波数を前記記憶手段から読みだし、
読みだした前記振幅、位相、周波数条件で前記発振子を
発振させるよう前記発振手段に指示する演算手段とを有
することを特徴とする超音波洗浄装置。
7. The accepting unit according to claim 1, which accepts an input of arbitrary coordinates in the cleaning tank from a user, and sets an amplitude, a phase, and a frequency for each of the plurality of oscillators. An oscillating means for oscillating, and a predetermined position for arranging a region in which the ultrasonic waves oscillated from the plurality of oscillators intensify each other in the cleaning tank at a plurality of predetermined coordinates in the cleaning tank. Of the amplitudes, the phases, and the frequencies of the plurality of oscillators, the storage unit stores the predetermined plurality of coordinates for each of the plurality of predetermined coordinates, and the receiving unit of the plurality of predetermined coordinates in the cleaning tank. Select the coordinates closest to the received arbitrary coordinates, and read the amplitude, phase, and frequency of each of the plurality of oscillators corresponding to the selected coordinates from the storage means,
An ultrasonic cleaning apparatus, comprising: an arithmetic unit that instructs the oscillating unit to oscillate the oscillator under the read amplitude, phase, and frequency conditions.
【請求項8】請求項7において、前記受け付け手段は、
ユーザから前記任意の座標で必要とする超音波振動の振
幅をさらに受け付け前記記憶手段は、前記超音波が強め
あう領域を、前記洗浄槽内の予め定められた複数の座標
に位置させ、さらにその座標で複数段階の超音波振動振
幅を得るための前記複数の発振子のそれぞれの振幅、位
相、周波数を、前記予め定められた複数の座標について
前記複数段階の超音波振動振幅ごとに記憶し、 前記演算手段は、前記洗浄槽内の予め定められた複数の
座標のうち、前記受け付け手段が受け付けた任意の座標
に最も近い座標を選び、さらに、前記受け付け手段が受
け付けた超音波振動振幅と同等以上の超音波振動振幅の
段階を選び、選んだ座標と超音波振動振幅の段階に対応
する前記複数の発振子のそれぞれの振幅、位相、周波数
を前記記憶手段から読みだし、読みだした前記振幅、位
相、周波数条件で前記発振子を発振させるよう前記発振
手段に指示する演算手段とを有することを特徴とする超
音波洗浄装置。
8. The receiving means according to claim 7,
The storage means further accepts the amplitude of the ultrasonic vibration required at the arbitrary coordinates from the user, the storage means positions the area where the ultrasonic waves reinforce each other at a plurality of predetermined coordinates in the cleaning tank, and further Amplitude, phase, frequency of each of the plurality of oscillators to obtain ultrasonic vibration amplitude of a plurality of stages at the coordinates are stored for each of the plurality of stages of ultrasonic vibration amplitude for the plurality of predetermined coordinates, The computing means selects a coordinate closest to an arbitrary coordinate accepted by the accepting means from among a plurality of predetermined coordinates in the cleaning tank, and further is equivalent to the ultrasonic vibration amplitude accepted by the accepting means. The above ultrasonic vibration amplitude steps are selected, and the amplitude, phase, and frequency of each of the plurality of oscillators corresponding to the selected coordinate and ultrasonic vibration amplitude steps are read from the storage means. Then, the ultrasonic cleaning device is provided with a computing means for instructing the oscillating means to oscillate the oscillator under the read amplitude, phase and frequency conditions.
【請求項9】請求項1において、ユーザから前記洗浄槽
内の任意の図形を表わす関数の入力を受け付ける受け付
け手段と、 前記複数の発振子に対して、それぞれ振幅、位相、周波
数を設定し、発振子を発振させる発振手段と、 前記洗浄槽内において前記複数の発振子から発振された
超音波が強めあう領域を演算し、前記超音波が強めあう
領域が前記任意の図形上に位置し、時間の経過とともに
移動するための前記複数の発振子のそれぞれの振幅、位
相、周波数を時間の経過ごとに求め、求めた前記振幅、
位相、周波数条件で前記発振子を発振させるよう前記発
振手段に指示する演算手段とを有することを特徴とする
超音波洗浄装置。
9. The accepting means according to claim 1, which accepts an input of a function representing an arbitrary figure in the cleaning tank from a user, and sets amplitude, phase, and frequency for each of the plurality of oscillators. An oscillating means for oscillating an oscillator, calculating an area where ultrasonic waves oscillated from the plurality of oscillators intensify each other in the cleaning tank, and the area where the ultrasonic waves intensify each other is located on the arbitrary figure, The amplitude, phase, and frequency of each of the plurality of oscillators for moving with the passage of time are obtained for each passage of time, and the obtained amplitude,
An ultrasonic cleaning device, comprising: an arithmetic means for instructing the oscillating means to oscillate the oscillator under phase and frequency conditions.
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