JPH07161954A - Cavity case for solid-state image pick-up element - Google Patents

Cavity case for solid-state image pick-up element

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JPH07161954A
JPH07161954A JP5341044A JP34104493A JPH07161954A JP H07161954 A JPH07161954 A JP H07161954A JP 5341044 A JP5341044 A JP 5341044A JP 34104493 A JP34104493 A JP 34104493A JP H07161954 A JPH07161954 A JP H07161954A
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burr
solid
cavity case
resin
island
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晴千 井川
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Abstract

PURPOSE:To avoid a bad sensitivity which is to be caused by the fact that a thin burr is formed on the surface of inner leads when forming a case and the burr peels off and then attches to a pellet, etc., by preventing the thin burr from being formed on the surface of the inner leads when forming the case. CONSTITUTION:In a cavity case which is constituted of a lead frame 102 and molding resin 101, a thick burr 101a is formed on the upper surface except for tips 102b' of inner leads 102b. When forming a cavity case of this structure, a space is preliminarily formed in a part to correspond to the thick burr 101a of a molding die. Since the thick burr which, unlike a thick burr, hardly peel off, is formed at a place where a thin burr has been easily formed, the exfoliation of a burr is prevented.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、固体撮像素子用パッケ
ージ構造に関し、特にプラスチック製のキャビティケー
スの構造に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a solid-state image pickup device package structure, and more particularly to a structure of a plastic cavity case.

【0002】[0002]

【従来の技術】図5(a)は、この種従来のプラスチッ
ク製のキャビティケースの平面図であり、図5(b)
は、そのB−B線での断面図である。また、図6は、こ
のキャビティケースの成形時の状態を示す断面図であ
る。この種キャビティケースを形成するには、図6に示
すように、上金型208、下金型209間に、アイラン
ド202a、インナーリード202bを有するリードフ
レームをセットし、型締後、金型のキャビティ内に熱硬
化型樹脂を注入し、その後注入樹脂を硬化させる。
2. Description of the Related Art FIG. 5 (a) is a plan view of a conventional plastic cavity case of this type, and FIG.
[Fig. 4] is a sectional view taken along line BB. Further, FIG. 6 is a cross-sectional view showing a state of the cavity case at the time of molding. To form this kind of cavity case, as shown in FIG. 6, a lead frame having an island 202a and an inner lead 202b is set between an upper mold 208 and a lower mold 209, and after the mold is clamped, the mold is closed. Thermosetting resin is injected into the cavity, and then the injected resin is cured.

【0003】キャビティケースは、図5に示されるよう
に、モールド樹脂201とリードフレーム202によっ
て構成されている。ケースのキャビティ内に固体撮像素
子を搭載できるようにモールド樹脂部は概ね箱型に成形
されている。ケース内において、リードフレームの上側
表面は、ペレットを搭載することができ、また、ワイヤ
ボンディングができるように露出されている[図5
(a)において、クランプ範囲を破線Cにて示す]。モ
ールド樹脂201の上側開口部の上端部は透明キャップ
を位置決めして取り付けできるように段付きに形成され
ている。また、リードフレーム202のアイランド20
2aの下側表面、およびインナーリード202bの下側
表面は、ボンディング時に加熱できるように、露出され
ている。従来のキャビティケース形成方法では、先端部
以外のインナーリード202bの上側表面には、10μ
m以下の不所望の薄バリ201aが形成されやすい。
As shown in FIG. 5, the cavity case is composed of a mold resin 201 and a lead frame 202. The mold resin portion is formed in a substantially box shape so that the solid-state image sensor can be mounted in the cavity of the case. In the case, the upper surface of the lead frame is exposed so that pellets can be mounted and wire bonding can be performed [FIG.
In (a), the clamp range is indicated by a broken line C]. The upper end of the upper opening of the molding resin 201 is formed with a step so that the transparent cap can be positioned and attached. In addition, the island 20 of the lead frame 202
The lower surface of 2a and the lower surface of the inner lead 202b are exposed so that they can be heated during bonding. In the conventional cavity case forming method, 10 μm is formed on the upper surface of the inner lead 202b other than the tip portion.
An undesired thin burr 201a of m or less is likely to be formed.

【0004】図7(a)は、他の従来例を示す平面図で
あり、図7(b)は、その破線で囲まれた領域Aの部分
拡大図である。一次元固体撮像素子ペレットの平面形状
は、幅1mm以下で長さは30mmを超える非常に細長
い長方形形状をしており、そのためリードフレーム20
2のアイランド202aも同様に非常に細長い長方形形
状をしている。而して、熱硬化型樹脂にてキャビティケ
ースを成形する場合、通常170℃以上の高温状態で成
形・硬化されるため、金属製のリードフレーム202と
キャビティケースのモールド樹脂201との熱膨張率の
差により、成形後、アイランド202aの側面はモール
ド樹脂201から剥離し、アイランド202aには大き
なソリが発生してしまう。図7に示す従来例では、この
ソリを防ぐため、アイランド202aの形状を波型形状
に形成して曲げ応力を緩和している。
FIG. 7 (a) is a plan view showing another conventional example, and FIG. 7 (b) is a partially enlarged view of a region A surrounded by the broken line. The planar shape of the one-dimensional solid-state imaging device pellet is a very elongated rectangular shape with a width of 1 mm or less and a length of more than 30 mm.
The second island 202a also has a very elongated rectangular shape. When a cavity case is molded with a thermosetting resin, the coefficient of thermal expansion between the lead frame 202 made of metal and the mold resin 201 of the cavity case is usually molded and cured at a high temperature of 170 ° C. or higher. After molding, the side surface of the island 202a is peeled off from the mold resin 201 due to the difference between the two, and a large warp occurs on the island 202a. In the conventional example shown in FIG. 7, in order to prevent this warpage, the shape of the island 202a is formed in a wave shape to relieve the bending stress.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上述した従来例では、
インナーリードの上側表面に不所望の薄バリが形成され
てしまう。そのため、このキャビティケース内にペレッ
トを搭載し固体撮像装置に組み立てた際に、機械的振動
や熱的影響等により、薄バリ201aが脱落し、脱落し
た薄バリはペレット表面、或はケースを構成する透明キ
ャップに付着し、固体撮像装置の感度不良や感度むらを
引き起こすという問題があった。
In the above-mentioned conventional example,
Undesirable thin burrs are formed on the upper surface of the inner lead. Therefore, when pellets are mounted in the cavity case and assembled into a solid-state image pickup device, the thin burr 201a is dropped off due to mechanical vibration, thermal influence, etc., and the dropped thin burr constitutes the pellet surface or the case. However, there is a problem in that it adheres to the transparent cap and causes poor sensitivity or uneven sensitivity of the solid-state imaging device.

【0006】このような薄バリが形成されるのは、図6
に示されるように、樹脂モールド時にインナーリード部
全体が完全にはクランプされていないことによる。従っ
て、薄バリの発生を防止するには、上金型208と下金
型209とによりインナーリード部およびアイランド部
をを完全にクランプすればよいことになるが、そのよう
にするためには、クランプすべき面積が増加し型締に大
きな圧力を要することになるため現在一般的に使用され
ている200トンプレスでは能力が不足する。また、イ
ンナーリード部とアイランド部とを完全にクランプした
場合、キャビティケースの底部の樹脂はリードフレーム
の厚さ分にしか形成されないため、構造的に極めて脆弱
なものとなってしまう。
Such thin burr is formed as shown in FIG.
This is because the entire inner lead portion is not completely clamped at the time of resin molding, as shown in FIG. Therefore, in order to prevent the occurrence of thin burrs, it is sufficient to completely clamp the inner lead portion and the island portion by the upper mold 208 and the lower mold 209. In order to do so, Since the area to be clamped is increased and a large amount of pressure is required for mold clamping, the capacity of the 200 ton press which is commonly used at present is insufficient. Further, when the inner lead portion and the island portion are completely clamped, the resin at the bottom of the cavity case is formed only by the thickness of the lead frame, which makes the structure extremely fragile.

【0007】この薄バリの発生を防止するための方法と
して、特開昭63−299368号公報ににおいて、熱
可塑性樹脂でリードフレームのインナーリード間の隙間
を埋めておき、次にキャビティケース外形部を樹脂成形
する方法が提案されている。また、特開昭61−144
032号公報には、リードフレーム表面に軟質金属の被
膜をつけて薄バリの発生を防ぐる方法が提案されてい
る。しかし、前者では、新たに隙間埋め込み用の金型が
必要となり、さらに樹脂モールド工程が2段階となる不
都合があり、また、後者では、軟質金属の被膜をつける
ためのメッキ費用がかなり高く、リードフレームの価格
がかなり高価になってしまうという欠点があり、いずれ
にしても、低価格化を旨とするプラスチック製の固体撮
像素子用キャビティケースを使用する目的に反すること
になる。
As a method for preventing the occurrence of this thin burr, in JP-A-63-299368, a gap between the inner leads of the lead frame is filled with a thermoplastic resin, and then the outer shape of the cavity case is formed. A method of resin molding has been proposed. Also, JP-A-61-144
Japanese Patent No. 032 proposes a method of preventing the occurrence of thin burrs by applying a soft metal coating on the surface of the lead frame. However, the former requires a new mold for filling gaps, and further has the inconvenience of a two-step resin molding process, while the latter requires a considerably high plating cost for applying a soft metal coating and leads There is a drawback that the price of the frame becomes considerably expensive, and in any case, it goes against the purpose of using the cavity case for the solid-state image pickup device made of plastic for the purpose of cost reduction.

【0008】また、アイランドの平面形状を図7に示す
ような波型形状にした場合、金属製のリードフレーム2
02とモールド樹脂201との熱膨張率の差により、ア
イランド202aとモールド樹脂201との界面に微小
な隙間211が生じ、キャビティケースの裏面を裏面封
止樹脂にて封止する場合、この微小な隙間211からこ
の封止用樹脂がキャビティケースの中空部に漏れ、ペレ
ットおよび透明体キャップを汚し、固体撮像装置の感度
不良の原因となるという問題があった。
Further, when the island has a corrugated plane as shown in FIG. 7, the lead frame 2 made of metal is used.
02 and the mold resin 201 cause a minute gap 211 to occur at the interface between the island 202a and the mold resin 201. When the back surface of the cavity case is sealed with the back surface sealing resin, this minute gap 211 is generated. There is a problem in that the sealing resin leaks from the gap 211 into the hollow portion of the cavity case, stains the pellet and the transparent cap, and causes poor sensitivity of the solid-state imaging device.

【0009】したがって、この発明の目的とするところ
は、第1に、大加圧能力のプレスを用いることなしに、
ケースに構造的な脆弱さを生じさせることなしに、ま
た、コストアップを伴うことことなしに薄バリの発生を
防止できるようにすることであり、第2に、アイランド
の平面形状を波型としてもアイランドがモールド樹脂か
ら剥離することのないようにしてケースキャビティ内に
裏面封止樹脂が漏れ込むことのないようにすることであ
る。そして、本発明は、これらのことを達成することに
より、固体撮像装置に感度不良や感度むらが発生するこ
とのないようにするものである。
Therefore, the first object of the present invention is, firstly, without using a press having a large pressurizing capability.
It is to prevent the occurrence of thin burrs without causing structural weakness in the case and without increasing the cost. Secondly, the plane shape of the island is made wavy. The other is to prevent the island from separating from the mold resin and prevent the backside sealing resin from leaking into the case cavity. Then, the present invention achieves these things to prevent defective sensitivity and uneven sensitivity from occurring in the solid-state imaging device.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明によれば、リードフレーム(102)のリー
ド(102a、102b)を箱型のモールド樹脂(10
1)にて一体化してなり、インナーリード(102b)
の先端部以外の下側はモールド樹脂内に埋もれており、
その上側表面はモールド樹脂の厚バリ(101a)にて
覆われていることを特徴とする固体撮像素子用キャビテ
ィケースが提供される。
In order to achieve the above object, according to the present invention, the leads (102a, 102b) of the lead frame (102) are made into a box-shaped molding resin (10).
Inner lead (102b)
The lower side except the tip of is buried in the mold resin,
Provided is a cavity case for a solid-state imaging device, the upper surface of which is covered with a thick burr (101a) of a mold resin.

【0011】[0011]

【実施例】次に本発明の実施例について、図面を参照し
て説明する。 [第1の実施例]図1(a)は、本発明の第1の実施例
のキャビティケースにペレットを搭載し封止工程が終了
した後でリード未成形の状態を示す平面図であり、図1
(b)はそのA−A線の断面図である。本実施例のキャ
ビティケースで特徴的な点は、インナーリード102a
の先端部以外の表面が厚バリ101aによって覆われて
いることである。
Embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings. [First Embodiment] FIG. 1A is a plan view showing a lead unmolded state after pellets are mounted in a cavity case of a first embodiment of the present invention and a sealing step is completed. Figure 1
(B) is sectional drawing of the AA line. The feature of the cavity case of the present embodiment is that the inner lead 102a is
That is, the surface other than the tip portion of the is covered with the thick burr 101a.

【0012】図2は、本実施例のキャビティケースをモ
ールド成形する際の状態を示す断面図である。まず、同
図に示されるように、リードフレーム102のアイラン
ド102aおよびインナーリード102bの先端部10
2b′を成形金型の上金型108と下金型109でクラ
ンプする。ここで、上金型108のインナーリード10
2bの先端部以外の部分上には0.1mm乃至0.3m
mの隙間108aが形成されている。この状態で型締後
封止樹脂を注入し、170〜180℃に数時間保持して
樹脂を硬化させる。
FIG. 2 is a sectional view showing a state when the cavity case of this embodiment is molded. First, as shown in the figure, the tip portion 10 of the island 102a of the lead frame 102 and the inner lead 102b.
2b 'is clamped by the upper die 108 and the lower die 109 of the forming die. Here, the inner lead 10 of the upper mold 108
0.1mm to 0.3m on the part other than the tip of 2b
A gap 108a of m is formed. In this state, the sealing resin is injected after mold clamping and kept at 170 to 180 ° C. for several hours to cure the resin.

【0013】このようにして形成されたキャビティケー
スでは、インナーリード102bの先端部102b′以
外の部分の上側表面は厚さ0.1mmから0.3mmの
モールド樹脂の厚バリ101aで覆われる。そして、こ
の厚バリは、その膜厚が厚いことによりかつ他のモール
ド樹脂部分と一体化されていることにより機械的振動が
加わっても剥離することはない。また、図2に示す成形
工程において、リードフレームのクランプ個所は、アイ
ランド102aおよびインナーリード102bの先端部
に限定されているため、従来のプレスにより十分の圧力
の型締を行うことができる。
In the cavity case thus formed, the upper surface of the inner lead 102b other than the tip portion 102b 'is covered with a thick burr 101a of a mold resin having a thickness of 0.1 mm to 0.3 mm. The thick burr does not peel off even if mechanical vibration is applied because it is thick and integrated with other mold resin portions. Further, in the molding process shown in FIG. 2, since the clamped portions of the lead frame are limited to the tip portions of the island 102a and the inner leads 102b, it is possible to perform mold clamping with sufficient pressure by a conventional press.

【0014】このようにして形成されたキャビティケー
スを用いて図1に示すように固体撮像装置を組み立て
る。まず、リードフレームのアイランド102a上に樹
脂接着剤(樹脂ペースト)104を塗付し、ペレット1
03を搭載し加熱して接着剤をキュアする。このペレッ
トマウントはAgペーストを用いて行ってもよい。次い
で、ワイヤボンディング工程においてペレット103の
パッドとインナーリード102bの先端部との間を金属
細線105にて接続し、続いて、キャビティケースに熱
硬化性または光硬化性の接着剤107を塗付し透明キャ
ップ106で蓋をして接着剤を硬化させる。次に、アイ
ランド102aの裏面およびインナーリード102bの
先端部裏面に形成されたモールド樹脂の開口部を裏面封
止樹脂110にて充填して、図示された状態とする。そ
の後、リード成形を行って固体撮像装置の製造を完了す
る。
The solid-state imaging device is assembled as shown in FIG. 1 using the cavity case thus formed. First, a resin adhesive (resin paste) 104 is applied onto the island 102a of the lead frame to form the pellet 1
03 is mounted and heated to cure the adhesive. This pellet mounting may be performed using Ag paste. Next, in the wire bonding step, the pad of the pellet 103 and the tip of the inner lead 102b are connected by a thin metal wire 105, and then a thermosetting or photocurable adhesive 107 is applied to the cavity case. The transparent cap 106 is closed to cure the adhesive. Next, the openings of the molding resin formed on the back surface of the island 102a and the back surface of the tip end portion of the inner lead 102b are filled with the back surface sealing resin 110 to obtain the state shown in the drawing. Then, lead molding is performed to complete the manufacture of the solid-state imaging device.

【0015】[第2の実施例]次に、図3、図4を参照
して本発明の第2の実施例について説明する。図3は、
第2の実施例のキャビティケースを形成するための樹脂
成形工程を示す断面図であり、図4は、第2の実施例の
キャビティケースを用いて作製された固体撮像装置の断
面図である。図3に示されるように、この実施例を形成
する成形金型では、上金型108には、インナーリード
上の隙間108aの外にアイランド上にも隙間108b
が設けられ、また下金型109のアイランド102a下
に隙間109aが設けられている。ここで、隙間108
b、109aの厚さは0.1mm〜0.2mmになされ
ている。この厚さは、ワイヤボンディング工程での超音
波および熱の伝わり方を考慮すると薄い方がよいが、一
方でモールド樹脂の剥離が発生しないようにしなければ
ならない点を考慮して上記の値に決定されている。
[Second Embodiment] Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. Figure 3
It is sectional drawing which shows the resin molding process for forming the cavity case of a 2nd Example, and FIG. 4 is sectional drawing of the solid-state imaging device produced using the cavity case of a 2nd Example. As shown in FIG. 3, in the molding die forming this embodiment, the upper die 108 has a gap 108a on the island as well as a gap 108a on the inner lead.
And a gap 109a is provided below the island 102a of the lower mold 109. Here, the gap 108
The thickness of b and 109a is 0.1 mm to 0.2 mm. This thickness should be thin considering the transmission of ultrasonic waves and heat in the wire bonding process, but on the other hand, it should be set to the above value in consideration of preventing peeling of the mold resin. Has been done.

【0016】図4に示す固体撮像装置において、図1に
示す先の実施例のものと共通する部分には同一の参照番
号が付されているので重複する説明は省略する。本実施
例のキャビティケースでは、図に示されるように、イン
ナーリード102b上の厚バリ101aの外にアイラン
ド102aの上下面にも膜厚0.1〜0.2mmの厚バ
リ101bが形成されている。先の実施例では、アイラ
ンド102aとモールド樹脂101との間に両者の熱膨
張率の違いが原因で微小な隙間が発生する可能性があっ
たが[図7(b)参照]、本実施例ではこの恐れがなく
なる。したがって、先の実施例では、隙間から封止樹脂
がケースのキャビティ内に漏れ込むことのないようにあ
る程度の粘度を有する樹脂ペーストを用いる必要があっ
たが、本実施例ではこのような配慮を払う必要がなくな
る。また、図4に示されるように、アイランド102a
下では裏面封止樹脂の充填自体を省略することもでき
る。
In the solid-state image pickup device shown in FIG. 4, parts common to those of the previous embodiment shown in FIG. 1 are designated by the same reference numerals, and a duplicate description will be omitted. In the cavity case of the present embodiment, as shown in the figure, in addition to the thick burr 101a on the inner lead 102b, the thick burr 101b having a film thickness of 0.1 to 0.2 mm is formed on the upper and lower surfaces of the island 102a. There is. In the previous embodiment, a minute gap may occur between the island 102a and the mold resin 101 due to the difference in thermal expansion coefficient between the island 102a and the mold resin 101 [see FIG. 7 (b)]. Then this fear disappears. Therefore, in the previous example, it was necessary to use a resin paste having a certain degree of viscosity so that the sealing resin would not leak into the cavity of the case through the gap, but in the present example, such consideration should be taken. There is no need to pay. Also, as shown in FIG. 4, the island 102a
The filling of the backside sealing resin itself can be omitted below.

【0017】以上好ましい実施例について説明したが、
本発明はこれら実施例に限定されるされるものではな
く、特許請求の範囲に記載された本願発明の要旨内にお
いて各種の変更が可能である。例えば、第2の実施例で
は、上金型108の隙間108bはアイランド102a
上のみに形成されていたが、これをインナーリードの先
端部間にまで幅を広げることができる。また、厚バリの
厚さは実施例での値に限定されるものではない。
The preferred embodiment has been described above.
The present invention is not limited to these examples, and various modifications can be made within the scope of the present invention described in the claims. For example, in the second embodiment, the gap 108b of the upper mold 108 is the island 102a.
Although it was formed only on the top, this can be widened to between the tips of the inner leads. Further, the thickness of the thick burr is not limited to the value in the embodiment.

【0018】[0018]

【発明の効果】以上説明したように、本発明のキャビテ
ィケースは、インナーリードの先端部以外の部分の上側
表面はモールド樹脂の厚バリによって覆うようにしたの
で、キャビティケース成形時に、アイランドおよびイン
ナーリードの先端部のみを成形金型でクランプすれば済
むようになり、比較的小さな型締圧の成形プレスで薄バ
リの発生なしに中空構造のキャビティケースの形成が可
能となる。また、インナーリードの、先端部以外に設け
た厚バリは薄バリと異なり、機械的振動および熱影響に
よっても脱落するものではなく、薄バリの場合のように
ペレットおよび透明キャップに付着する可能性はなくな
り、組立後の固体撮像装置の感度不良や感度むらを引き
起こすことがなくなる。
As described above, in the cavity case of the present invention, the upper surface of the portion other than the tips of the inner leads is covered with the thick burr of the molding resin. It suffices to clamp only the tips of the leads with a molding die, and it is possible to form a cavity case having a hollow structure with a molding press having a relatively small mold clamping pressure without the occurrence of thin burrs. Also, unlike the thin burr, the thick burr provided on the inner lead other than the tip part does not fall off due to mechanical vibration and thermal influence, and it may adhere to the pellet and the transparent cap like the thin burr. This eliminates the problem of poor sensitivity and uneven sensitivity of the solid-state imaging device after assembly.

【0019】また、第2の実施例によれば、アイランド
の表面および裏面にも厚バリを設けることにより、金属
製のアイランドとキャビティケース成形樹脂との熱膨張
率の違いが原因で生じる隙間を発生させないようにする
ことができ、隙間からの封止樹脂の漏れ込みを防止する
ことができる。あるいはまたアイランド裏面の樹脂封止
工程自体を省略することも可能となる。
Further, according to the second embodiment, the thick burr is also provided on the front surface and the back surface of the island, so that a gap caused by the difference in the coefficient of thermal expansion between the metal island and the cavity case molding resin is formed. It can be prevented from being generated, and the sealing resin can be prevented from leaking from the gap. Alternatively, it is possible to omit the resin sealing step itself on the back surface of the island.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明の第1の実施例を説明するための固体
撮像装置の平面図と断面図。
FIG. 1 is a plan view and a sectional view of a solid-state image pickup device for explaining a first embodiment of the present invention.

【図2】 本発明の第1の実施例のキャビティケースの
樹脂成形工程を説明するための断面図。
FIG. 2 is a sectional view for explaining a resin molding process of the cavity case according to the first embodiment of the present invention.

【図3】 本発明の第2の実施例のキャビティケースの
樹脂成形工程を説明するための断面図。
FIG. 3 is a sectional view for explaining a resin molding process of a cavity case according to a second embodiment of the present invention.

【図4】 本発明の第2の実施例を説明するための固体
撮像装置の断面図。
FIG. 4 is a sectional view of a solid-state imaging device for explaining a second embodiment of the present invention.

【図5】 従来例の平面図と断面図。FIG. 5 is a plan view and a sectional view of a conventional example.

【図6】 従来のキャビティケースの樹脂成形工程を説
明するための断面図。
FIG. 6 is a sectional view for explaining a conventional resin molding process for a cavity case.

【図7】 他の従来例の平面図と断面図。FIG. 7 is a plan view and a cross-sectional view of another conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

101、201 モールド樹脂 101a、101b 厚バリ 201a 薄バリ 102、202 リードフレーム 102a、202a アイランド 102b、202b インナーリード 102b′ インナーリード先端部 103 ペレット 104 樹脂接着剤 105 金属細線 106 透明キャップ 107 接着剤 108、208 上金型 108a、108b、109a 隙間 109 下金型 110 裏面封止樹脂 211 隙間 101, 201 Mold resin 101a, 101b Thick burr 201a Thin burr 102, 202 Lead frame 102a, 202a Island 102b, 202b Inner lead 102b 'Inner lead tip 103 Pellet 104 Resin adhesive 105 Metal fine wire 106 Transparent cap 107 Adhesive 108, 208 Upper mold 108a, 108b, 109a Gap 109 Lower mold 110 Backside sealing resin 211 Gap

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 リードフレームのリードが箱型のモール
ド樹脂と一体化されてなる固体撮像素子用キャビティケ
ースであって、インナーリードの先端部以外の下側はモ
ールド樹脂内に埋もれており、その上側は厚バリにて覆
われていることを特徴とする固体撮像素子用キャビティ
ケース。
1. A cavity case for a solid-state image pickup device, wherein leads of a lead frame are integrated with a box-shaped molding resin, the lower side of the inner leads other than the tip portions is buried in the molding resin. A cavity case for a solid-state image sensor, characterized in that the upper side is covered with a thick burr.
【請求項2】 アイランドとインナーリードの先端間お
よびインナーリードの先端部間のリードフレーム打ち抜
き部分はモールド樹脂にて充填されていることを特徴と
する請求項1記載の固体撮像素子用キャビティケース。
2. The cavity case for a solid-state image pickup device according to claim 1, wherein the lead frame punched portion between the island and the tips of the inner leads and between the tips of the inner leads is filled with a mold resin.
【請求項3】 アイランドの上側表面および下側表面並
びにインナーリード先端部の上側表面および下側表面は
モールド樹脂に覆われていないことを特徴とする請求項
1記載の固体撮像素子用キャビティケース。
3. The cavity case for a solid-state image pickup device according to claim 1, wherein the upper surface and the lower surface of the island and the upper surface and the lower surface of the tip of the inner lead are not covered with the mold resin.
【請求項4】 アイランドの上側表面および下側表面は
モールド樹脂の厚バリによって覆われ、インナーリード
先端の上側表面および下側表面間はモールド樹脂に覆わ
れていないことを特徴とする請求項1記載の固体撮像素
子用キャビティケース。
4. The upper surface and the lower surface of the island are covered with a thick burr of the molding resin, and the space between the upper surface and the lower surface of the tip of the inner lead is not covered with the molding resin. A cavity case for a solid-state image sensor as described above.
【請求項5】 アイランドはその平面形状が波型になさ
れていることを特徴とする請求項1記載の固体撮像素子
用キャビティケース。
5. The cavity case for a solid-state image pickup device according to claim 1, wherein the island has a corrugated planar shape.
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