JPH0715272A - Surface acoustic wave device and information processor using the same - Google Patents

Surface acoustic wave device and information processor using the same

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JPH0715272A
JPH0715272A JP15383093A JP15383093A JPH0715272A JP H0715272 A JPH0715272 A JP H0715272A JP 15383093 A JP15383093 A JP 15383093A JP 15383093 A JP15383093 A JP 15383093A JP H0715272 A JPH0715272 A JP H0715272A
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JP
Japan
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electrode
electrode fingers
surface acoustic
acoustic wave
fingers
Prior art date
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Pending
Application number
JP15383093A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Osamu Hikino
治 比企野
Takashi Shiba
芝  隆司
Akitsuna Yuhara
章綱 湯原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Publication of JPH0715272A publication Critical patent/JPH0715272A/en
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Abstract

PURPOSE:To provide a desired characteristic by unifying stress distribution formed by the cross part if electrode fingers by widening the arrangement intervals of paired electrode fingers at the electrode finger cross part along a direction where the the electrode fingers are extended. CONSTITUTION:An interdigital electrode 2 provided with a pair of electrode fingers 3a and 3b and a pair of common electrodes 2a and 2b is formed on a piezoelectric substrate 1. Concerning the electrode fingers 3a and 3b, the almost top of the faced electrode fingers 3b and 3a sides is constituted by providing inclined parts 6b and 6a, and the interval of the electrode fingers 3a and 3b is gradually widened toward the terminal part of an electrode finger cross part 4. In this case, an electric field to be generated at the electrode finger cross part 4 is almost uniform electric field intensity distribution inside the electrode finger cross part 4. Therefore, the distortion of the piezoelectric substrate 1 is made uniform as well, and the degradation of a frequency characteristic or a group delay characteristic caused by the disturbance of stress distribution can be suppressed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、弾性表面波装置の製造
行程を増やすことなく、その性能を向上させる技術、さ
らに該弾性表面波装置の応用装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a technique for improving the performance of a surface acoustic wave device without increasing the number of manufacturing steps, and to an application device of the surface acoustic wave device.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来は、図3に示すように、弾性表面波
を励振する電極指交差部4(「2つのバスバー2a、2
bおよび、1対の電極指3a、3bで囲まれた領域のう
ち、電極指が伸びる方向において、両電極指が交差する
部分」を以下このように称する)は、間隔を一定にして
形成されていた。なお、図3において、101は、電極
指を備えるすだれ状電極、100は、励振源強度分布
(例えば、電界強度)を示す。 一般に、このような電
極指交差部4においては、交差電極指間4の電界強度分
布が、電極指の伸びる方向において、一様でない。
2. Description of the Related Art Conventionally, as shown in FIG. 3, an electrode finger crossing portion 4 ("two bus bars 2a, 2
b and a portion surrounded by the pair of electrode fingers 3a and 3b in the direction in which the electrode fingers extend, the portion "where the two electrode fingers intersect" will be referred to as "below"). Was there. In FIG. 3, 101 is a comb-shaped electrode provided with electrode fingers, and 100 is an excitation source intensity distribution (for example, electric field intensity). Generally, in such an electrode finger crossing portion 4, the electric field intensity distribution between the crossing electrode fingers 4 is not uniform in the extending direction of the electrode fingers.

【0003】すなわち、電極指の終端効果、シート抵抗
等により電極指交差部の端部に向かうに従い、電界強度
が強くなるため、該電界に応じて、基板の有する特性で
ある圧電性によって励振される弾性表面波の波源の分
布、すなわち、応力分布が、電極の伸びる方向におい
て、図3に示すように不均一となり、所望の特性、つま
り、前記交差部内で均一な応力分布を得ることはでき
ず、弾性表面波装置の振幅の周波数特性、群遅延特性等
の劣化の原因となっている。
That is, the electric field strength becomes stronger toward the end of the electrode finger crossing portion due to the terminal effect of the electrode fingers, the sheet resistance, etc. Therefore, the electric field is excited by the piezoelectricity which is a characteristic of the substrate in accordance with the electric field. The distribution of the surface acoustic wave source, that is, the stress distribution, becomes non-uniform as shown in FIG. 3 in the direction in which the electrodes extend, and it is not possible to obtain desired characteristics, that is, a uniform stress distribution in the intersection. However, it is a cause of deterioration of the frequency characteristics of the amplitude and the group delay characteristics of the surface acoustic wave device.

【0004】そこで、従来の技術、例えば実公平2−1
5390号公報には、電極指の先端角部を曲率半径Rと
電極指幅mとを、R≧(m/3)なる関係をもたせて構
成すること、あるいは、電極指の先端角部を凹状に切欠
く等の加工を施すことが提案されていた。この技術は、
すだれ状電極が備える電極指の交差端における、漏れ電
界を抑圧できるという利点を有している。
Therefore, a conventional technique, for example, actual fairness 2-1
In Japanese Patent No. 5390, the tip corners of the electrode fingers are configured such that the radius of curvature R and the electrode finger width m have a relationship of R ≧ (m / 3), or the tip corners of the electrode fingers are concave. It has been proposed to perform processing such as notching on the. This technology
This has the advantage that the leakage electric field can be suppressed at the crossing ends of the electrode fingers of the interdigital transducer.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の技術においては、上記応力分布の不均一性に対して
は、該不均一性を対策することについて何らの考慮もさ
れておらず、前述の電極指形状の加工処理だけでは、均
一な応力分布を得ることが不可能である。
However, in the above-mentioned prior art, with respect to the non-uniformity of the stress distribution, no consideration is given to measures against the non-uniformity, and the above-mentioned problem is solved. It is impossible to obtain a uniform stress distribution only by processing the electrode finger shape.

【0006】本発明は、上記応力分布の不均一性を対策
し、特に、設計者が要求する所望の周波数振幅特性、群
遅延特性等を有する弾性表面波装置を提供することを目
的とする。
It is an object of the present invention to provide a surface acoustic wave device which takes measures against the above-mentioned non-uniformity of stress distribution, and in particular has desired frequency amplitude characteristics, group delay characteristics and the like required by a designer.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、以下の手段が考えられる。基板と、該基板上に設け
た少なくとも1個のすだれ状電極を具備し、該すだれ状
電極を構成する電気的極性の異なる2つの共通電極
(「バスバー」と称する)および各バスバーから伸びる
1対の電極指を含む領域のうちで、前記1対の電極指が
電極指の伸びる方向で交差する領域である電極指交差部
にて生成される電界に応じて弾性表面波を励振する弾性
表面波装置において、前記電極指交差部における前記1
対の電極指の配置間隔が、電極指の伸びる方向にそって
広がっている箇所を有する弾性表面波装置である。
In order to solve the above problems, the following means are considered. A substrate and at least one interdigital electrode provided on the substrate, two common electrodes (referred to as “bus bars”) having different electrical polarities forming the interdigital electrode, and a pair extending from each bus bar. Surface acoustic wave that excites a surface acoustic wave according to an electric field generated at an electrode finger crossing portion, which is an area where the pair of electrode fingers intersects in the direction in which the electrode fingers extend in the region including the electrode fingers. In the device, the 1 at the electrode finger intersection
The surface acoustic wave device has a location in which the pair of electrode fingers are arranged at intervals that extend along the direction in which the electrode fingers extend.

【0008】また、基板と、基板上に設けた入力電極お
よび出力電極とを有して構成される弾性表面波装置であ
って、入力電極および出力電極のいずれかは、電極が備
える電気的極性の異なる2つのバスバーおよび各バスバ
ーから伸びる1対の電極指を含む領域のうちで、前記1
対の電極指が電極指の伸びる方向で交差する領域である
電極指交差部における前記1対の電極指の配置間隔が、
電極指の伸びる方向にそって広がっている箇所を有し、
さらに、前記電極指交差部の有する長さが、全電極指交
差部において同一でない、すなわち、重み付けを行うこ
とも好ましい。
A surface acoustic wave device comprising a substrate and an input electrode and an output electrode provided on the substrate, wherein one of the input electrode and the output electrode has an electrical polarity provided by the electrode. Of two different busbars and a pair of electrode fingers extending from each busbar.
The arrangement interval of the pair of electrode fingers at the electrode finger intersection portion, which is a region where the pair of electrode fingers intersects in the direction in which the electrode fingers extend,
Having a part that extends along the direction in which the electrode fingers extend,
Further, it is also preferable that the lengths of the electrode finger intersections are not the same in all the electrode finger intersections, that is, weighting is performed.

【0009】さらに、前記入力電極と出力電極の間に、
音速補正用薄膜を設けることも好ましい。
Further, between the input electrode and the output electrode,
It is also preferable to provide a sound velocity correction thin film.

【0010】なお、上記電極指は、スプリットコネクト
型電極指であることが好ましい。
The electrode fingers are preferably split connect type electrode fingers.

【0011】[0011]

【作用】1対の交差する電極指間の間隔を電極指交差部
の端部に向かうにしたがって、広くする構成にすること
により、従来、間隔を一定にして形成していた電極指対
における特性、すなわち、図3に示される電界強度分布
の不均一性を、電極指交差部の電極指の伸びる方向にお
いて、ほぼ均一の電界強度分布へと改善することができ
る。
The characteristic of the electrode finger pair which has been formed with a constant interval by forming the interval between the pair of intersecting electrode fingers wider toward the end of the electrode finger intersection. That is, the nonuniformity of the electric field strength distribution shown in FIG. 3 can be improved to a substantially uniform electric field strength distribution in the extending direction of the electrode fingers at the electrode finger crossing portion.

【0012】これは、電界強度の強い部分の電極指間隔
を、電界強度の弱い部分の電極指間隔に比べて広げ、電
界強度を弱めることにより、電極指交差部の電極指の伸
びる方向において、電界強度を一定にすることにより実
現される。
This is because by widening the electrode finger spacing in the portion where the electric field strength is strong compared to the electrode finger spacing in the portion where the electric field strength is weak and weakening the electric field strength, in the direction in which the electrode fingers at the electrode finger crossing portion extend, It is realized by keeping the electric field strength constant.

【0013】このため、この電界分布に対応して発生す
る応力分布が、電極指交差部内においてほぼ均一にな
り、設計者が要求する周波数振幅特性、群遅延特性等を
有する弾性表面波装置を実現することが可能となる。
Therefore, the stress distribution generated corresponding to the electric field distribution becomes substantially uniform in the electrode finger crossing portion, and the surface acoustic wave device having the frequency amplitude characteristic, the group delay characteristic and the like required by the designer is realized. It becomes possible to do.

【0014】[0014]

【実施例】以下、図面を参照して、本発明にかかる実施
例について説明する。図1に、本発明にかかる第1の実
施例を示す。以下、簡単のため、一つの電極指交差部4
のみについて考え、これを図示し、他の電極指交差部に
ついての図示は省略するものとする。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows a first embodiment according to the present invention. Hereinafter, for simplification, one electrode finger intersection 4
Only this will be considered, and this will be illustrated, and illustration of other electrode finger intersections will be omitted.

【0015】本実施例は、圧電性基板1上に、1対の電
極指3a、3b、および、バスバー2a、2bを有する
すだれ状電極2を形成して構成する。4は、電極指交差
部、5は、弾性表面波を示す。
In this embodiment, a comb-shaped electrode 2 having a pair of electrode fingers 3a and 3b and bus bars 2a and 2b is formed on a piezoelectric substrate 1. Reference numeral 4 indicates an electrode finger crossing portion, and 5 indicates a surface acoustic wave.

【0016】具体的に構成を説明すると以下のようにな
る。圧電性基板1として、例えば、128度回転Y軸切
断X軸伝搬のニオブ酸リチウム単結晶を使用し、この基
板1上に、Al等の金属薄膜を蒸着した入力用すだれ状
電極2を形成し、すだれ状電極2は、それぞれ極性の異
なるバスバー2a、2b、および、それらから伸びる電
極指3a、3bを有して構成される、破線で囲った、電
極指交差部4にて代表される複数の交差部を有して構成
される。
The structure will be specifically described as follows. As the piezoelectric substrate 1, for example, a 128 ° rotation Y-axis cut X-axis propagation lithium niobate single crystal is used, and an input interdigital transducer electrode 2 having a metal thin film such as Al deposited thereon is formed on the substrate 1. , The interdigital electrode 2 is composed of bus bars 2a and 2b having different polarities, and electrode fingers 3a and 3b extending from the bus bars 2a and 2b. It is configured to have an intersection.

【0017】すだれ状電極2に入力された電気信号は、
弾性表面波5に変換され、圧電性基板1上を伝搬し、出
力用すだれ状電極(ここでは図示せず)により電気信号
に変換される。
The electric signal input to the interdigital transducer 2 is
It is converted into surface acoustic waves 5, propagates on the piezoelectric substrate 1, and is converted into an electric signal by the output interdigital transducer (not shown here).

【0018】また、電極指3a、3bのそれぞれに対し
て、対向する電極指3b、3a側の先端付近は、傾斜部
6b、6aを有して構成されており、電極指3a、3b
間の間隔(d:dは図示せず)が、電極指交差部4の端
部に向かうにしたがって、広がった構成となっている。
Further, the electrode fingers 3a and 3b are formed with inclined portions 6b and 6a near the tips of the electrode fingers 3b and 3a facing each other.
The distance (d: d is not shown) between the electrodes is widened toward the end of the electrode finger crossing portion 4.

【0019】図2は、本発明の効果を表す図である。FIG. 2 is a diagram showing the effect of the present invention.

【0020】上記のような電極指交差部4で生成される
電界は、電極指交差部4内で、ほぼ一様な電界強度分布
となる。
The electric field generated at the electrode finger crossing portion 4 as described above has a substantially uniform electric field strength distribution in the electrode finger crossing portion 4.

【0021】一様になる理由については、以下に述べ
る。
The reason for the uniformity will be described below.

【0022】このため、この電界により、圧電性基板1
の有する性質である圧電性により励起される歪、すなわ
ち、弾性表面波5の励振源である応力分布も電極指交差
部4内で一様となるため、応力分布の乱れによる、周波
数特性、群遅延特性等の劣化を抑圧することができ、設
計者の要求する特性を得ることが可能になる。
Therefore, due to this electric field, the piezoelectric substrate 1
Since the strain excited by the piezoelectricity, which is a property of, that is, the stress distribution that is the excitation source of the surface acoustic wave 5 is also uniform in the electrode finger crossing portion 4, the frequency characteristic, the group due to the disturbance of the stress distribution, It is possible to suppress the deterioration of delay characteristics and the like, and it is possible to obtain the characteristics required by the designer.

【0023】図3は、先にも述べたように、従来の電極
指交差と、その電界強度分布を表す図である。従来のす
だれ状電極101が構成する電極指交差部4は、励振源
強度分布100を生成する。
As described above, FIG. 3 is a diagram showing a conventional electrode finger crossing and its electric field intensity distribution. The electrode finger crossing portion 4 formed by the conventional interdigital transducer 101 generates the excitation source intensity distribution 100.

【0024】図3に示す例では、励振源強度分布100
における、電極指交差部4の端部での強さは、電界強度
分布100における、電極指交差部4の中央部での強さ
の約「2.35倍」となっている。
In the example shown in FIG. 3, the excitation source intensity distribution 100
The strength at the end portion of the electrode finger crossing portion 4 is about “2.35 times” the strength at the central portion of the electrode finger crossing portion 4 in the electric field strength distribution 100.

【0025】「信学技報US92-54(1992-09)」によると、
メタライゼーションレシオと、変換比(「トランスフォ
ーマレチシオ」とも称し、電気信号エネルギーから弾性
表面波エネルギーへの変換比)との関係は、図4に示す
ようになっている。
According to "Science Technical Report US92-54 (1992-09)",
The relationship between the metallization ratio and the conversion ratio (also referred to as "transformer ratio", which is the conversion ratio of electric signal energy to surface acoustic wave energy) is shown in FIG.

【0026】ここで、「メタライゼーションレシオ」と
は、図4に示すように、電極指幅と電極指の配列周期と
の比のことをいう。
Here, the "metallization ratio" means the ratio of the electrode finger width to the electrode finger array period, as shown in FIG.

【0027】なお、図4において、トランスフォーレシ
オは、入力側から見た時の弾性表面波の特性インピーダ
ンスを「1」に規格化した時の値であり、メタライゼー
ションレシオに依存した相対的な関係を示しているた
め、トランスフォーレシオが「1」以上になる場合もあ
る。
In FIG. 4, the transform ratio is a value when the characteristic impedance of the surface acoustic wave when viewed from the input side is normalized to "1", and is a relative value depending on the metallization ratio. Because of the relationship, the transformation ratio may be "1" or more.

【0028】メタライゼーションレシオが約1.0の時
の変換比は、約1.2であり、メタライゼーションレシ
オが、ほぼ「0」の場合の変換比は、約0.5となり、
メタライゼーションレシオが約1.0の時の変換比は、
メタライゼーションレシオが、ほぼ「0」の場合の変換
比の約2.4倍(>2.35)となっている。
When the metallization ratio is about 1.0, the conversion ratio is about 1.2, and when the metallization ratio is about "0", the conversion ratio is about 0.5.
When the metallization ratio is about 1.0, the conversion ratio is
The metallization ratio is about 2.4 times (> 2.35) the conversion ratio when it is almost "0".

【0029】これは、メタライゼ−ションレシオの変
化、すなわち、電極指間の間隔dを変化させることによ
り、励振源の応力分布が一様になるように乱れた分布
を、一様に補正できることを示している。
This means that by changing the metallization ratio, that is, by changing the distance d between the electrode fingers, it is possible to uniformly correct the disturbed distribution so that the stress distribution of the excitation source becomes uniform. Shows.

【0030】すなわち、電界強度の大きな部分の電極指
間の間隔を、電界強度の小さな部分の電極指間の間隔に
比べて広げることにより、トランスフォーマレシオをさ
げ、電極指交差部4の電極指の伸びる方向において、均
一の応力分布を生成している。 なお、ここでは、入力
用すだれ状電極2の一つの電極指交差部4のみを図示し
たが、出力用すだれ状電極にも同様に、本発明を適用で
きることはいうまでもない。
That is, the transformer ratio is reduced by widening the distance between the electrode fingers of the portion having a high electric field strength as compared with the distance between the electrode fingers of the portion having a low electric field strength, and the electrode fingers of the electrode finger crossing portion 4 are A uniform stress distribution is generated in the extending direction. Although only one electrode finger crossing portion 4 of the input interdigital transducer 2 is shown here, it goes without saying that the present invention can be similarly applied to the output interdigital transducer.

【0031】図5に、本発明にかかる第2の実施例を示
す。
FIG. 5 shows a second embodiment according to the present invention.

【0032】圧電性基板1上に、バスバー2a、2bか
ら伸びる電極指7a、7bを設けた構成である。4は、
一つの電極指交差部を示し、説明の都合上、実際には複
数存在する電極指交差部のうち1つのみを図示した。
On the piezoelectric substrate 1, electrode fingers 7a and 7b extending from the bus bars 2a and 2b are provided. 4 is
One electrode finger crossing portion is shown, and for convenience of explanation, only one electrode finger crossing portion actually exists.

【0033】バスバー2a、2bから伸びる電極指7
a、7bは、その側面形状が曲線状になっており、電極
指7a、7b間の間隔dが、電極指交差部4の端部に向
かうに従い広がった構成になっている。
Electrode fingers 7 extending from the bus bars 2a, 2b
The side shapes of a and 7b are curved, and the distance d between the electrode fingers 7a and 7b is widened toward the end of the electrode finger crossing portion 4.

【0034】本実施例における電極指交差部4では、電
極指7a、7b間の間隔dが、連続的に広がる構成とな
っているため、より一様な電界強度分布が得られること
になる。なお、電極指7a、7b間の間隔dを、以下の
様な懸垂線(ハイパボリックコサイン)状とした場合、
より均一な応力分布が得られることは確認済みである。
すなわち、次式1の条件を満足するように電極指7
a、7b間の間隔dを設定すれば良い。
At the electrode finger crossing portion 4 in this embodiment, the distance d between the electrode fingers 7a and 7b is continuously widened, so that a more uniform electric field intensity distribution can be obtained. When the distance d between the electrode fingers 7a and 7b is a catenary (hyperbolic cosine) shape as shown below,
It has been confirmed that a more uniform stress distribution can be obtained.
That is, the electrode finger 7 is made to satisfy the condition of the following expression 1.
The distance d between a and 7b may be set.

【0035】 d={cosh(a・x)} (coshは、ハイパボリックコサインを表す) (式1) ただし、aは、0<a<5なる実数、 x=w/L、 w:電極指交差部4における、電極指が伸びる方向の中
心からの距離 L:電極指交差部4における、電極指が伸びる方向での
1対の電極指の交差長の半分の長さ である。
D = {cosh (a · x)} (cosh represents a hyperbolic cosine) (Equation 1) where a is a real number 0 <a <5, x = w / L, w: electrode finger crossing The distance from the center of the portion 4 in the direction in which the electrode fingers extend L: Half the length of the crossing length of the pair of electrode fingers in the direction in which the electrode fingers extend in the electrode finger crossing portion 4.

【0036】図6に、本発明にかかる第3の実施例を示
す。
FIG. 6 shows a third embodiment according to the present invention.

【0037】圧電性基板1の上には、入力用のすだれ状
電極8が設けられている。
An interdigital transducer 8 for input is provided on the piezoelectric substrate 1.

【0038】その他の構成は、本発明にかかる第1の実
施例と同様である。
The other structure is the same as that of the first embodiment according to the present invention.

【0039】すだれ状電極8において、該電極が備える
複数の電極指のうち、1対の電極指の伸びる方向の交差
部の長さである電極指交差長を変化させることによっ
て、電極指交差長の重み付けがされた構成となってい
る。
In the interdigital electrode 8, the electrode finger crossing length, which is the length of the crossing portion of the pair of electrode fingers of the plurality of electrode fingers provided in the electrode in the extending direction, is changed to change the electrode finger crossing length. Is weighted.

【0040】重み付けを行うことにより、設計自由度を
増すこと自体は、公知の技術である。 したがって、本
発明にかかる弾性表面波装置においても、電極指交差長
の重み付けにより、設計自由度が増すという効果があ
る。
Increasing the degree of design freedom by weighting is a known technique. Therefore, also in the surface acoustic wave device according to the present invention, there is an effect that the degree of freedom in design is increased by weighting the electrode finger crossing length.

【0041】なお、各交差部は、例えば、電極指交差部
4に代表されるように、電極指の端部付近が、傾斜部6
aおよび6bを有した構成になっている。
Each crossing portion is, for example, as represented by the electrode finger crossing portion 4, near the end portion of the electrode finger, the inclined portion 6 is formed.
It is configured to have a and 6b.

【0042】本実施例によれば、任意の電極指交差幅を
有する電極指交差部4によって励振される応力分布をほ
ぼ一様にすることができ、所望の周波数振幅特性、群遅
延特性等を得るように弾性表面波装置を設計することが
できる。
According to this embodiment, the stress distribution excited by the electrode finger crossing portion 4 having an arbitrary electrode finger crossing width can be made substantially uniform, and desired frequency amplitude characteristics, group delay characteristics, etc. can be obtained. The surface acoustic wave device can be designed to obtain.

【0043】図7に、本発明にかかる第4の実施例を示
す。
FIG. 7 shows a fourth embodiment according to the present invention.

【0044】圧電性基板1の上には、入力用すだれ状電
極9、出力用すだれ状電極10、シ−ルド電極11が設
けらた構成になっている。
On the piezoelectric substrate 1, an input interdigital electrode 9, an output interdigital electrode 10, and a shield electrode 11 are provided.

【0045】すだれ状電極9、および、すだれ状電極1
0は、各々の電極が有する電極指の一対に対して定まる
電極指交差部のすべてが、同一の交差幅を有している。
Interdigital electrode 9 and interdigital electrode 1
In 0, all of the electrode finger intersections defined for the pair of electrode fingers of each electrode have the same intersection width.

【0046】また、入力用すだれ状電極9と出力用すだ
れ状電極10との間に存在する、シ−ルド電極11は、
弾性表面波5の音速を補正するため、すなわち弾性表面
波の伝搬長を等しくするために、補正金属膜12a、1
2b、12c、12dを設けた構成になっている。
The shield electrode 11 existing between the input interdigital electrode 9 and the output interdigital electrode 10 is
In order to correct the sound velocity of the surface acoustic wave 5, that is, in order to equalize the propagation length of the surface acoustic wave, the correction metal films 12a, 1
2b, 12c and 12d are provided.

【0047】本実施例においては、補正金属膜12a、
12b、12c、12dは、すだれ状電極9、および、
すだれ状電極10と同一の膜厚を有し、弾性表面波の伝
搬方向に対し、破線部で示した、弾性表面波5の伝搬路
13内に存在する電極指の伸びる方向のすべての位置に
おいて、以下の条件(式2)を満たす幅bとなってい
る。
In this embodiment, the correction metal film 12a,
12b, 12c and 12d are interdigital electrodes 9 and
It has the same film thickness as the interdigital transducer 10 and is present at all positions in the extending direction of the electrode fingers existing in the propagation path 13 of the surface acoustic wave 5 shown by the broken line portion with respect to the surface acoustic wave propagation direction. The width b satisfies the following condition (Equation 2).

【0048】今、弾性表面波5の伝搬方向において、す
だれ状電極9、および、すだれ状電極10の各々の中心
線に囲まれる領域で、補正金属膜12a、12b、12
c、12dを除いた金属膜の存在する長さをc、その長
さの最大値をcmaxとする。 また、弾性表面波5の
伝搬方向において、すだれ状電極9、および、すだれ状
電極10の各々の最外縁を結ぶ領域で、補正金属膜12
a、12b、12c、12dを除いた金属膜の存在する
長さをd、その長さの最大値をdmaxとする。
Now, in the propagation direction of the surface acoustic wave 5, the correction metal films 12a, 12b, 12 are surrounded by the center lines of the interdigital transducers 9 and 10.
The length of the metal film excluding c and 12d is c, and the maximum value of the length is cmax. Further, in the propagation direction of the surface acoustic wave 5, the correction metal film 12 is formed in a region connecting the outermost edges of each of the interdigital transducer 9 and the interdigital transducer 10.
The length of the metal film excluding a, 12b, 12c, and 12d is d, and the maximum value of the length is dmax.

【0049】この時、破線部で示した、弾性表面波5の
伝搬路13内に存在する電極指の伸びる方向のすべての
位置において、次式2が成立している。
At this time, the following expression 2 is established at all positions in the propagation direction 13 of the surface acoustic wave 5 in the extending direction of the electrode fingers shown by the broken line portion.

【0050】 cmax−c≦b≦dmax−d (式2) 本実施例において、すだれ状電極9、すだれ状電極10
間を伝搬する弾性表面波5は、電極指の伸びる方向のい
ずれの位置においても、同じ伝搬長を有する、金属膜表
面および圧電性基板1を通過するため、電極指の伸びる
方向のいずれの位置においても、音速が等しくなる。こ
のため、一層良好な群遅延特性等を得ることができる。
Cmax-c ≦ b ≦ dmax-d (Formula 2) In this embodiment, the interdigital transducer 9 and the interdigital transducer 10 are provided.
Since the surface acoustic wave 5 propagating between the electrodes has the same propagation length at any position in the extending direction of the electrode fingers and passes through the metal film surface and the piezoelectric substrate 1, any position in the extending direction of the electrode fingers. Also in, the speed of sound becomes equal. Therefore, it is possible to obtain better group delay characteristics and the like.

【0051】図8に、本発明にかかる第5実施例を示
す。
FIG. 8 shows a fifth embodiment according to the present invention.

【0052】圧電性基板1の上には、入力用のすだれ状
電極14が備えた構成になっている。 その他の構成
は、本発明にかかる第1の実施例と同様である。
The interdigital transducer 14 for input is provided on the piezoelectric substrate 1. Other configurations are similar to those of the first embodiment according to the present invention.

【0053】すだれ状電極14が備える、極性の異なる
バスバー14a、14bの各々からは、分割された二本
の電極指を有して構成される、いわゆるスプリットコネ
クト型の電極指15a、および、15bが伸びており、
電極指交差部4を構成している。
The so-called split-connect type electrode fingers 15a and 15b, each of which has two divided electrode fingers, are provided from each of the bus bars 14a and 14b of the interdigital transducer 14 having different polarities. Is growing,
The electrode finger crossing portion 4 is configured.

【0054】スプリットコネクト型の電極指15a、お
よび、15bの、電極指交差部4に隣接する側の電極指
は、傾斜部16a、16bを有しており、スプリットコ
ネクト型の電極指15aと15bとの間隔は、電極指交
差部4の端部に向かうに従って、広がった構成になって
いる。
The electrode fingers on the side adjacent to the electrode finger crossing portion 4 of the split connect type electrode fingers 15a and 15b have inclined portions 16a and 16b, and the split connect type electrode fingers 15a and 15b. The distance between and becomes wider toward the end of the electrode finger crossing portion 4.

【0055】本実施例によれば、本発明にかかる第1の
実施例における効果に加え、電極内での不要な反射の抑
圧に有効であり、さらに、設計自由度増す。これは、い
わゆる、スプリットコネクト型の電極指15a、15b
を使用しているためである。なお、スプリットコネクト
型の電極指自体のもたらす効果は、公知である。
According to the present embodiment, in addition to the effect of the first embodiment according to the present invention, it is effective in suppressing unnecessary reflection in the electrode, and further, the degree of freedom in design is increased. This is the so-called split connect type electrode fingers 15a and 15b.
This is because you are using. The effect of the split connect type electrode fingers themselves is known.

【0056】図9に、本発明にかかる第6の実施例を示
す。
FIG. 9 shows a sixth embodiment according to the present invention.

【0057】本実施例にかかるスプリットコネクト型の
電極指17a、17b以外の構成に関しては、本発明に
かかる第5の実施例と同一である。
The configuration other than the split connect type electrode fingers 17a and 17b according to the present embodiment is the same as that of the fifth embodiment according to the present invention.

【0058】スプリットコネクト型の電極指17aおよ
び17bは各々、2本の電極指間に補正金属膜部18a
および18bを備えている。これらの、補正金属膜部1
8aおよび18bにより、本発明にかかる第5の実施例
に加え、本発明にかかる第4の実施例の補正金属膜12
a、12b、12c、12dと同様の効果を得ることが
できる。
Each of the split-connect type electrode fingers 17a and 17b has a correction metal film portion 18a between the two electrode fingers.
And 18b. These correction metal film part 1
Due to 8a and 18b, in addition to the fifth embodiment of the present invention, the correction metal film 12 of the fourth embodiment of the present invention
The same effect as a, 12b, 12c, 12d can be obtained.

【0059】図10に、本発明にかかる第7の実施例を
示す。
FIG. 10 shows a seventh embodiment according to the present invention.

【0060】本実施例のスプリットコネクト型の電極指
19a、19b以外の構成に関しては、本発明にかかる
第6の実施例と同一の構成である。
The configuration other than the split connect type electrode fingers 19a and 19b of the present embodiment is the same as that of the sixth embodiment according to the present invention.

【0061】スプリットコネクト型の電極指19aおよ
び19bは各々、2本の電極指の先端部の間に補正電極
20aおよび20bを備えている。
Each of the split-connect type electrode fingers 19a and 19b is provided with correction electrodes 20a and 20b between the tips of the two electrode fingers.

【0062】本実施例では、補正電極20aおよび20
bは、スプリットコネクト型の電極指19aおよび19
bの先端部に設けられているため、本発明にかかる第6
の実施例と同様の効果が得れる。また、薄膜から形成さ
れる電極指の先端部に補正電極を接続した構成にしてい
るため、電極指の断線等による歩留まりの低下を軽減す
ることができる。さらに、本発明にかかる第7の実施例
と、本発明にかかる第6の実施例を組み合わせた構成に
するのも好ましい。
In this embodiment, the correction electrodes 20a and 20a are
b is split-connect type electrode fingers 19a and 19
Since it is provided at the tip of b,
The same effect as that of the embodiment can be obtained. Further, since the correction electrode is connected to the tip end portion of the electrode finger formed of a thin film, it is possible to reduce the decrease in yield due to disconnection of the electrode finger or the like. Furthermore, it is also preferable to combine the seventh embodiment of the present invention and the sixth embodiment of the present invention.

【0063】図11に、本発明にかかる第8の実施例を
示す。
FIG. 11 shows an eighth embodiment according to the present invention.

【0064】ここでは、入力用の重み付きすだれ状電極
40の5つの電極指交差部41、42、43、44、4
5のみを図示し、他の電極指交差部の図示は省略する。
Here, five electrode finger crossing portions 41, 42, 43, 44, 4 of the weighted interdigital transducer 40 for input are used.
5 is shown, and other electrode finger intersections are not shown.

【0065】異極の特性を有するバスバー、40aおよ
び40bからは、本発明にかかる第5の実施例にて説明
した、スプリットコネクト型の電極指46a、47a、
48a、46b、47b、48bが伸びており、図11
に示すように、電極指交差部41、42、43、44、
45を構成している。
From the bus bars 40a and 40b having the characteristics of different polarities, the split connect type electrode fingers 46a, 47a, which are described in the fifth embodiment of the present invention, can be used.
48a, 46b, 47b and 48b are extended, and FIG.
, The electrode finger intersections 41, 42, 43, 44,
It comprises 45.

【0066】この構成例では、電極指交差部41、4
2、43、44、45は、各々の、電極指の伸びる方向
における電極指の交差部の中心位置が、前記電極指の伸
びる方向において、ずれている。
In this configuration example, the electrode finger crossing portions 41, 4
Nos. 2, 43, 44, and 45 have their respective center positions of the intersections of the electrode fingers in the extending direction of the electrode fingers deviated in the extending direction of the electrode fingers.

【0067】このような、すだれ状電極を使用すると、
重み付きすだれ状電極40が有する電極により構成され
る、各電極指交差部41、42、43、44、45から
伝搬する弾性表面波の、電極指の伸びる方向における強
度分布は、一層均一にすることができ(すなわち、弾性
表面波の発振源となる、電極指の交差部の中心位置をず
らし、弾性表面波の強度分布を一様にしている)、一層
良好な特性を得ることができる。
When such a comb-shaped electrode is used,
The intensity distribution of the surface acoustic waves propagating from the electrode finger crossing portions 41, 42, 43, 44, 45 constituted by the electrodes of the weighted interdigital transducer 40 in the extending direction of the electrode fingers is made more uniform. It is possible (that is, the center position of the intersection of the electrode fingers, which is the oscillation source of the surface acoustic wave, is shifted to make the intensity distribution of the surface acoustic wave uniform), and more excellent characteristics can be obtained.

【0068】以上の弾性表面波装置の各実施例の代表的
応用例としては、例えば、フィルタ、共振器等が挙げら
れる。以下、フィルタへの応用例について説明する。
Typical applications of the above-described embodiments of the surface acoustic wave device include, for example, filters and resonators. Hereinafter, an application example to the filter will be described.

【0069】図12は、本発明にかかる弾性表面波装置
を、テレビジョン受信機の中間周波数フィルタとして使
用した、第9の実施例にかかるシステムブロック図であ
る。
FIG. 12 is a system block diagram according to a ninth embodiment in which the surface acoustic wave device according to the present invention is used as an intermediate frequency filter of a television receiver.

【0070】本システムは、アンテナ22、チューナブ
ロック23、本発明にかかる弾性表面波装置21、検波
ブロック24を有して構成される。さらに、検波ブロッ
ク24は、映像出力端子25および音声出力端子26を
備えて構成されている。
This system comprises an antenna 22, a tuner block 23, a surface acoustic wave device 21 according to the present invention, and a detection block 24. Further, the detection block 24 includes a video output terminal 25 and an audio output terminal 26.

【0071】アンテナ22は、受信信号である電磁波等
を受信する手段であり、例えば、パラボラアンテナによ
り実現できる。チューナブロック23および検波ブロッ
ク24は、例えば、CPU、RAM、ROM、各種CM
OS等の電子デバイスによって実現できる。
The antenna 22 is means for receiving an electromagnetic wave or the like which is a reception signal, and can be realized by, for example, a parabolic antenna. The tuner block 23 and the detection block 24 are, for example, a CPU, a RAM, a ROM, and various CMs.
It can be realized by an electronic device such as an OS.

【0072】さて、アンテナ22によって受信された信
号は、チューナブロック23において、いわゆる中間周
波信号に変換される。
The signal received by the antenna 22 is converted into a so-called intermediate frequency signal in the tuner block 23.

【0073】本発明にかかる弾性表面波装置21は、そ
の周波数特性にっよって、前記得られた中間周波信号か
ら1チャンネル分の信号を抽出し(いわゆるフィルタリ
ング処理を行い)、抽出された信号は、次段の検波ブロ
ック24へ送られる。
The surface acoustic wave device 21 according to the present invention extracts a signal for one channel (performs so-called filtering processing) from the obtained intermediate frequency signal according to its frequency characteristic, and the extracted signal is , To the detection block 24 in the next stage.

【0074】検波ブロック24における検波処理の後、
映像信号出力端子25および音声出力端子26の各々
に、映像情報、音声情報を出力する。
After the detection processing in the detection block 24,
Video information and audio information are output to each of the video signal output terminal 25 and the audio output terminal 26.

【0075】もちろん、弾性表面波装置21は、本発明
にかかる実施例にて開示した各種の装置を使用し、帯域
外抑圧度を向上させており、隣接チャンネルからの不要
な信号の混入を防ぎ、良好な画像信号、音声情報を得て
いる。
As a matter of course, the surface acoustic wave device 21 uses various devices disclosed in the embodiments of the present invention to improve the out-of-band suppression degree, and prevents unwanted signals from being mixed from adjacent channels. , Good image signal and audio information are obtained.

【0076】図13は、本発明をCATV(Community
Antenna Television)によるHDTV(High Definitio
n Television)のMUSE信号(HDTVにおいて使用
される信号であって、一種の画像圧縮信号である)を伝
送する場合、その復調部のIF(中間周波数)フィルタ
(IF:Intermediate Frequency 「中間周波数」)と
して使用した第10の実施例のシステムブロック図であ
る。
FIG. 13 shows the present invention in accordance with CATV (Community
HDTV (High Definitio) by Antenna Television
n Television) MUSE signal (a signal used in HDTV, which is a kind of image compression signal), an IF (Intermediate Frequency) filter (IF: Intermediate Frequency) of the demodulation unit thereof is transmitted. It is a system block diagram of the 10th Example used as.

【0077】本システムは、ケーブル端子、第1ミキサ
27、第2ミキサ28、本発明にかかる弾性表面波装置
29、検波回路30、MUSEデコーダ31を有して構
成される。
This system comprises a cable terminal, a first mixer 27, a second mixer 28, a surface acoustic wave device 29 according to the present invention, a detection circuit 30, and a MUSE decoder 31.

【0078】なお、弾性表面波装置29は、本発明にか
かる実施例にて開示された技術を使用しており、群遅延
平坦度を向上させて、良好な画像信号を得ている。
The surface acoustic wave device 29 uses the technique disclosed in the embodiment according to the present invention, improves the group delay flatness, and obtains a good image signal.

【0079】さらに、検波回路30、MUSEデコーダ
31は、例えば、CPU、RAM、ROM、各種CMO
S等の電子デバイスによって実現できる。
Further, the detection circuit 30 and the MUSE decoder 31 are, for example, CPU, RAM, ROM, various CMOs.
It can be realized by an electronic device such as S.

【0080】さて、同軸ケ−ブル、光ファイバ等のCA
TVにおける伝送手段中を伝搬してAM変調されたMU
SE信号は、ケーブル端子を介して、第1ミキサ27お
よび第2ミキサ28を介して、より低い周波数を有する
中間周波信号に変換される。
By the way, CA for coaxial cables, optical fibers, etc.
MU which is AM-modulated by propagating through a transmission means in a TV
The SE signal is converted into an intermediate frequency signal having a lower frequency through the first mixer 27 and the second mixer 28 via the cable terminal.

【0081】本システム構成例では、ミキサを2個備え
た構成としたが、最終的にえるべき中間周波数の有する
周波数となるのに必要な数のミキサを使用すれば良く、
その個数は、2個に限られないことはいうまでもない。
In this system configuration example, two mixers are provided, but it is sufficient to use the number of mixers required to reach the frequency of the intermediate frequency to be finally obtained.
It goes without saying that the number is not limited to two.

【0082】さて、弾性表面波装置29は、その周波数
特性によって、第2ミキサの出力信号をフィルタリング
処理する。該フィルタリング処理された信号は、検波回
路30に入力され、検波処理され、次段のMUSEデコ
−ダ31に送られることになる。MUSEデコ−ダ31
は、例えば伝送されてきた画像圧縮データを伸長し、画
像情報を生成する一連の処理を行う機能を有する。
The surface acoustic wave device 29 filters the output signal of the second mixer according to its frequency characteristic. The signal subjected to the filtering process is input to the detection circuit 30, is subjected to the detection process, and is sent to the MUSE decoder 31 in the next stage. MUSE decorator 31
Has a function of decompressing transmitted image compression data and performing a series of processes for generating image information.

【0083】なお、特に記述しなかったが、本発明は、
一方向性電極用すだれ状電極、ダブルモ−ド型共振子、
チャ−プ弾性表面波フィルタ、マッチドフィルタ、分散
遅延線等、あらゆる弾性表面波装置に適用できることは
言うまでもない。
Although not particularly described, the present invention is
Interdigital electrode for unidirectional electrode, double mode resonator,
It goes without saying that it can be applied to any surface acoustic wave device such as a chirp surface acoustic wave filter, a matched filter, a dispersion delay line, and the like.

【0084】図14は、本発明の効果を表す周波数特性
である。
FIG. 14 is a frequency characteristic showing the effect of the present invention.

【0085】33a、33bは、それぞれ、第10実施
例で使用した本発明にかかる弾性表面波装置29の振幅
特性、および群遅延特性である。従来の振幅特性32a
と比較して、帯域外抑圧度が向上していることがわか
る。また、群遅延特性の帯域内平坦度に関しても、従来
の群遅延特性32bと比較して改善されていることがわ
かる。
33a and 33b are the amplitude characteristic and the group delay characteristic of the surface acoustic wave device 29 according to the present invention used in the tenth embodiment, respectively. Conventional amplitude characteristic 32a
It can be seen that the out-of-band suppression degree is improved as compared with. Further, it can be seen that the in-band flatness of the group delay characteristic is also improved as compared with the conventional group delay characteristic 32b.

【0086】[0086]

【発明の効果】本発明によれば、すだれ状電極の電極指
の交差部により形成される応力分布が、ほぼ均一にな
り、所望の特性を得ることができる。
According to the present invention, the stress distribution formed by the intersections of the electrode fingers of the interdigital electrode becomes substantially uniform, and desired characteristics can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明にかかる第1実施例を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment according to the present invention.

【図2】本発明の効果を表す図である。FIG. 2 is a diagram showing an effect of the present invention.

【図3】従来の電極指交差の構成と、その電界強度分布
を表す図である。
FIG. 3 is a diagram showing a configuration of a conventional electrode finger crossing and its electric field intensity distribution.

【図4】メタライゼ−ションレシオと変換比の関係を表
す図である。
FIG. 4 is a diagram showing a relationship between a metallization ratio and a conversion ratio.

【図5】本発明にかかる第2実施例を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a second embodiment according to the present invention.

【図6】本発明にかかる第3実施例を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a third embodiment according to the present invention.

【図7】本発明にかかる第4実施例を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a fourth embodiment according to the present invention.

【図8】本発明にかかる第5実施例を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing a fifth embodiment according to the present invention.

【図9】本発明にかかる第6実施例を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing a sixth embodiment according to the present invention.

【図10】本発明にかかる第7実施例を示す図である。FIG. 10 is a diagram showing a seventh embodiment according to the present invention.

【図11】本発明にかかる第8実施例を示す図である。FIG. 11 is a diagram showing an eighth embodiment according to the present invention.

【図12】本発明にかかる第9実施例のシステムブロッ
ク図例である。
FIG. 12 is an example of a system block diagram of a ninth embodiment according to the present invention.

【図13】本発明にかかる第10実施例のシステムブロ
ック図例である。
FIG. 13 is an example of a system block diagram of a tenth embodiment according to the present invention.

【図14】本発明の効果を表す周波数特性例を示す図で
ある。
FIG. 14 is a diagram showing an example of frequency characteristics representing the effect of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…圧電性基板、2、8、9、10、40…すだれ状電
極、2a、2b、14a、14b、40a、40b…バ
スバー、3a、3b、7a、7b、15a、15b、1
7a、17b、19a、19b…電極指、4、41、4
2、43、44、45、46a、46b、47a、47
b、48a、48b…電極指交差部、5…弾性表面波、
6a、6b…傾斜部、11…シ−ルド電極、12a、
b、c、d、18a、18b、20a、20b…補正金
属膜、13…伝搬路、21、29…弾性表面波フィル
タ、22…アンテナ、23…チュ−ナブロック、24…
検波ブロック、25…映像信号出力端子、26…音声出
力端子、27…第一ミキサ、28…第ニミキサ、30…
検波回路、31…MUSEデコ−ダ、100…励振源強
度分布、101…従来のすだれ状電極
1 ... Piezoelectric substrate, 2, 8, 9, 10, 40 ... Interdigital electrodes, 2a, 2b, 14a, 14b, 40a, 40b ... Bus bar, 3a, 3b, 7a, 7b, 15a, 15b, 1
7a, 17b, 19a, 19b ... Electrode fingers 4, 41, 4
2, 43, 44, 45, 46a, 46b, 47a, 47
b, 48a, 48b ... Electrode finger crossing portion, 5 ... Surface acoustic wave,
6a, 6b ... Inclined portion, 11 ... Shield electrode, 12a,
b, c, d, 18a, 18b, 20a, 20b ... Correction metal film, 13 ... Propagation path, 21, 29 ... Surface acoustic wave filter, 22 ... Antenna, 23 ... Tuner block, 24 ...
Detection block, 25 ... Video signal output terminal, 26 ... Audio output terminal, 27 ... First mixer, 28 ... Second mixer, 30 ...
Detection circuit, 31 ... MUSE decoder, 100 ... Excitation source intensity distribution, 101 ... Conventional interdigital transducer

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】基板と、該基板上に設けた少なくとも1個
のすだれ状電極を具備し、該すだれ状電極を構成する電
気的極性の異なる2つの共通電極(「バスバー」と称す
る)および各バスバーから伸びる1対の電極指を含む領
域のうちで、前記1対の電極指が電極指の伸びる方向で
交差する領域である電極指交差部にて生成される電界に
応じて弾性表面波を励振する弾性表面波装置において、 前記電極指交差部における前記1対の電極指の配置間隔
が、電極指の伸びる方向にそって広がっている箇所を有
することを特徴とする弾性表面波装置。
1. A substrate, at least one interdigital electrode provided on the substrate, and two common electrodes (referred to as "bus bars") having different electric polarities and each constituting the interdigital electrode and each of the electrodes. In a region including a pair of electrode fingers extending from the bus bar, a surface acoustic wave is generated according to an electric field generated at an electrode finger crossing portion which is a region where the pair of electrode fingers intersect in the electrode finger extending direction. In the surface acoustic wave device to excite, the arrangement interval of the pair of electrode fingers at the electrode finger crossing portion has a portion extending along the extending direction of the electrode fingers.
【請求項2】基板と、基板上に設けた入力電極および出
力電極とを有して構成される弾性表面波装置であって、 入力電極および出力電極のいずれかは、電極が備える電
気的極性の異なる2つのバスバーおよび各バスバーから
伸びる1対の電極指を含む領域のうちで、前記1対の電
極指が電極指の伸びる方向で交差する領域である電極指
交差部における前記1対の電極指の配置間隔が、電極指
の伸びる方向にそって広がっている箇所を有し、 さらに、前記電極指交差部の有する長さが、全電極指交
差部において同一でないことを特徴とする弾性表面波装
置。
2. A surface acoustic wave device comprising a substrate and an input electrode and an output electrode provided on the substrate, wherein either the input electrode or the output electrode has an electrical polarity provided by the electrode. Of the two electrode bars different from each other and a pair of electrode fingers extending from each bus bar, the pair of electrodes at an electrode finger crossing portion which is a region where the pair of electrode fingers intersect in the direction in which the electrode fingers extend. The elastic surface is characterized in that the arrangement intervals of the fingers have portions that extend along the direction in which the electrode fingers extend, and that the lengths of the electrode finger intersections are not the same at all electrode finger intersections. Wave device.
【請求項3】基板と、基板上に設けた入力電極および出
力電極とを有して構成される弾性表面波装置であって、 入力電極および出力電極のいずれかは、電極が備える電
気的極性の異なる2つのバスバーおよび各バスバーから
伸びる1対の電極指を含む領域のうちで、前記1対の電
極指が電極指の伸びる方向で交差する領域である電極指
交差部における前記1対の電極指の配置間隔が、電極指
の伸びる方向にそって広がっている箇所を有し、 前記入力電極と出力電極の間に、音速補正用薄膜を設け
たことを特徴とする弾性表面波装置。
3. A surface acoustic wave device comprising a substrate and an input electrode and an output electrode provided on the substrate, wherein either the input electrode or the output electrode has an electrical polarity provided by the electrode. Of the two electrode bars different from each other and a pair of electrode fingers extending from each bus bar, the pair of electrodes at an electrode finger crossing portion which is a region where the pair of electrode fingers intersect in the direction in which the electrode fingers extend. A surface acoustic wave device, characterized in that an arrangement interval of fingers is widened along a direction in which electrode fingers extend, and a sound velocity correcting thin film is provided between the input electrode and the output electrode.
【請求項4】請求項1、2および3のいずれかにおい
て、前記電極指は、スプリットコネクト型電極指である
ことを特徴とする弾性表面波装置。
4. The surface acoustic wave device according to claim 1, wherein the electrode fingers are split connect type electrode fingers.
【請求項5】請求項4において、さらに、前記スプリッ
トコネクト型電極指は、その一部に音速補正用薄膜を備
えたことを特徴とする弾性表面波装置。
5. The surface acoustic wave device according to claim 4, wherein the split connect type electrode finger further includes a sound velocity correcting thin film on a part thereof.
【請求項6】請求項2において、前記各電極指交差部の
電極指の伸びる方向における中心点の位置が、電極指の
伸びる方向においてずれていることを特徴とする弾性表
面波装置。
6. The surface acoustic wave device according to claim 2, wherein the positions of the central points of the electrode finger intersections in the electrode finger extending direction are displaced in the electrode finger extending direction.
【請求項7】請求項1、2、3、4、5、および6のい
ずれかに記載した弾性表面波装置を、 受信手段と、該
受信手段から出力される信号にもとづいて中間周波数信
号を生成する中間周波数生成手段と、該中間周波数生成
手段から出力された信号をフィルタリングするフィルタ
手段と、該フィルタ手段から出力された信号にもとづ
き、音声、映像信号を含む情報を検波し出力する検波出
力手段とを有して構成される情報処理装置内の、前記フ
ィルタ手段として使用することを特徴とする情報処理装
置。
7. A surface acoustic wave device according to any one of claims 1, 2, 3, 4, 5, and 6, wherein an intermediate frequency signal is generated based on a receiving means and a signal output from the receiving means. Intermediate frequency generating means for generating, filter means for filtering the signal output from the intermediate frequency generating means, and detection output for detecting and outputting information including audio and video signals based on the signal output from the filter means An information processing apparatus, which is used as the filter means in an information processing apparatus configured to include a means.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US8085116B2 (en) 2008-03-24 2011-12-27 Taiyo Yuden Co., Ltd. Elastic wave device with a dielectric layer on the comb-shaped electrodes
JP2014131351A (en) * 2010-01-25 2014-07-10 Epcos Ag Electroacoustic transducer having performance enhanced by reducing lateral direction radiation loss and suppressing lateral direction mode

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