JPH07146320A - 高周波出力検出装置および高周波装置 - Google Patents
高周波出力検出装置および高周波装置Info
- Publication number
- JPH07146320A JPH07146320A JP27023893A JP27023893A JPH07146320A JP H07146320 A JPH07146320 A JP H07146320A JP 27023893 A JP27023893 A JP 27023893A JP 27023893 A JP27023893 A JP 27023893A JP H07146320 A JPH07146320 A JP H07146320A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frequency
- signal
- output
- voltage
- current
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Measurement Of Current Or Voltage (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Control Of Voltage And Current In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な構成で高周波出力に応じた信号を得る
ことができる高周波装置における高周波出力検出装置を
実現する。 【構成】 検出器２はカレントトランス１５を含む電流
信号ＶＩの検出部１６と、電圧信号ＶＶの検出部１７と
から構成されている。この電流信号ＶＩと電圧信号ＶＶ
との差が端子１８から得られる。この端子１８からの信
号がマッチングボックス内の可変コンデンサのモータ駆
動のために用いられる。電流信号検出器１６からの電流
信号ＶＩは、インバータ２０によって反転され、加算回
路２１に供給される。加算回路２１には電圧信号検出部
１７からの電圧信号ＶＶも供給されており、両信号が加
算され、ＶＩ＋ＶＶの信号が加算回路２１から得られ
る。この加算回路２１の出力は、高周波出力に応じた強
度の信号となる。
ことができる高周波装置における高周波出力検出装置を
実現する。 【構成】 検出器２はカレントトランス１５を含む電流
信号ＶＩの検出部１６と、電圧信号ＶＶの検出部１７と
から構成されている。この電流信号ＶＩと電圧信号ＶＶ
との差が端子１８から得られる。この端子１８からの信
号がマッチングボックス内の可変コンデンサのモータ駆
動のために用いられる。電流信号検出器１６からの電流
信号ＶＩは、インバータ２０によって反転され、加算回
路２１に供給される。加算回路２１には電圧信号検出部
１７からの電圧信号ＶＶも供給されており、両信号が加
算され、ＶＩ＋ＶＶの信号が加算回路２１から得られ
る。この加算回路２１の出力は、高周波出力に応じた強
度の信号となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インピーダンスのマッ
チングを正確に行うことができる高周波スパッタリング
装置やエッチング装置などの高周波装置に用いられる高
周波出力検出装置に関する。
チングを正確に行うことができる高周波スパッタリング
装置やエッチング装置などの高周波装置に用いられる高
周波出力検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】高周波スパッタリング装置では、２枚の
電極間に高周波を印加し、一方の電極（試料）をスパッ
タリングし、試料表面のクリーニングなどを行ってい
る。また、別の高周波装置では、２枚の電極間に高周波
を印加し、一方の電極からスパッタされた粒子を電極に
接近して配置された基板上に付着させるようにしてい
る。図１はこのような高周波装置の概略を示しており、
１は高周波発振器である。高周波発振器１からの高周波
は、検出器２を介してマッチングボックス３に供給され
る。マッチングボックス３はマッチング可変コンデンサ
４、チューニング可変コンデンサ５、コイル６から構成
されている。マッチングボックス３からの高周波は、負
荷７に供給される。なお、検出器２は、マッチングボッ
クス３に入力する高周波の電圧，電流，電圧と電流の位
相差θを検出している。
電極間に高周波を印加し、一方の電極（試料）をスパッ
タリングし、試料表面のクリーニングなどを行ってい
る。また、別の高周波装置では、２枚の電極間に高周波
を印加し、一方の電極からスパッタされた粒子を電極に
接近して配置された基板上に付着させるようにしてい
る。図１はこのような高周波装置の概略を示しており、
１は高周波発振器である。高周波発振器１からの高周波
は、検出器２を介してマッチングボックス３に供給され
る。マッチングボックス３はマッチング可変コンデンサ
４、チューニング可変コンデンサ５、コイル６から構成
されている。マッチングボックス３からの高周波は、負
荷７に供給される。なお、検出器２は、マッチングボッ
クス３に入力する高周波の電圧，電流，電圧と電流の位
相差θを検出している。
【０００３】このような構成において、検出器２によっ
て検出された電圧，電流，位相に基づいてインピーダン
スと位相とを求め、インピーダンスの値に基づいてマッ
チングボックス３内のマッチング可変コンデンサ４の容
量を変え、位相差に基づいてチューニング可変コンデン
サ５の容量を変えている。すなわち、検出器２によって
検出されたインピーダンスＺは、第１の制御回路８に供
給され、この回路内で基準電圧と比較される。第１の制
御回路８は、基準電圧と供給されるインピーダンスＺの
値とを比較し、その差電圧を出力する。第１の制御回路
８の出力は、マッチング可変コンデンサ４を駆動するモ
ータ９に供給される。その結果、インピーダンスＺの値
が基準電圧と等しくなるようにモータ９によりマッチン
グ可変コンデンサ４が調整される。
て検出された電圧，電流，位相に基づいてインピーダン
スと位相とを求め、インピーダンスの値に基づいてマッ
チングボックス３内のマッチング可変コンデンサ４の容
量を変え、位相差に基づいてチューニング可変コンデン
サ５の容量を変えている。すなわち、検出器２によって
検出されたインピーダンスＺは、第１の制御回路８に供
給され、この回路内で基準電圧と比較される。第１の制
御回路８は、基準電圧と供給されるインピーダンスＺの
値とを比較し、その差電圧を出力する。第１の制御回路
８の出力は、マッチング可変コンデンサ４を駆動するモ
ータ９に供給される。その結果、インピーダンスＺの値
が基準電圧と等しくなるようにモータ９によりマッチン
グ可変コンデンサ４が調整される。
【０００４】また、検出器２によって検出された位相差
θは、第２の制御回路１０に供給され基準電圧と比較さ
れる。第２の制御回路１０は、基準電圧と供給される位
相差θの値とを比較し、その差電圧を出力する。第２の
制御回路器１０の出力は、チューニング可変コンデンサ
５を駆動するモータ１１に供給される。その結果、位相
差θの値が基準電圧（０）と等しくなるようにモータ１
１によりマッチング可変コンデンサ５が調整される。
θは、第２の制御回路１０に供給され基準電圧と比較さ
れる。第２の制御回路１０は、基準電圧と供給される位
相差θの値とを比較し、その差電圧を出力する。第２の
制御回路器１０の出力は、チューニング可変コンデンサ
５を駆動するモータ１１に供給される。その結果、位相
差θの値が基準電圧（０）と等しくなるようにモータ１
１によりマッチング可変コンデンサ５が調整される。
【０００５】なお、第１と第２の制御回路８，１０は、
それぞれ内部にＡＤ変換器とＤＡ変換器と、マイクロプ
ロセッサを備えており、供給される信号と内部の基準信
号との比較や両信号の差信号の出力を行っている。ま
た、この制御回路８，１０には、マッチング可変コンデ
ンサ４とチューニング可変コンデンサ５の位置情報が供
給されている。
それぞれ内部にＡＤ変換器とＤＡ変換器と、マイクロプ
ロセッサを備えており、供給される信号と内部の基準信
号との比較や両信号の差信号の出力を行っている。ま
た、この制御回路８，１０には、マッチング可変コンデ
ンサ４とチューニング可変コンデンサ５の位置情報が供
給されている。
【０００６】上記したような構成により、インピーダン
スのマッチングが自動的に実行され、負荷７には効率良
く高周波電力が供給される。しかしながら、上記構成で
は、高周波出力とは無関係に検出信号を増幅し、その信
号でモータを回転させていた。このような装置では、高
周波出力が大きい時に合致した適切な条件にフィードバ
ックループの設定を行っておくと、高周波出力が小さい
場合には、モータの回転速度が遅くなったり、不完全な
マッチング状態でモータが止まったりする。逆に高周波
出力が小さい時に合致した条件にフィードバックループ
の条件設定を行うと、高周波出力が大きい時には、ルー
プゲインが大きくなり過ぎてハンチングを生じたりす
る。
スのマッチングが自動的に実行され、負荷７には効率良
く高周波電力が供給される。しかしながら、上記構成で
は、高周波出力とは無関係に検出信号を増幅し、その信
号でモータを回転させていた。このような装置では、高
周波出力が大きい時に合致した適切な条件にフィードバ
ックループの設定を行っておくと、高周波出力が小さい
場合には、モータの回転速度が遅くなったり、不完全な
マッチング状態でモータが止まったりする。逆に高周波
出力が小さい時に合致した条件にフィードバックループ
の条件設定を行うと、高周波出力が大きい時には、ルー
プゲインが大きくなり過ぎてハンチングを生じたりす
る。
【０００７】このため、図２に示す高周波装置が開発さ
れた。図２において、図１の装置と同一番号は同一構成
要素を示す。この装置で、検出器２からのインピーダン
スＺに応じた信号は、第１の乗算器１２に供給され、位
相差θに応じた信号は第２の乗算器１３に供給される。
第１の乗算器１２と第２の乗算器１３は、高周波電源１
からの高周波出力に対応した信号が除算器１４を介して
供給されている。第１の乗算器１２の出力はモータ９に
供給され、マッチング可変コンデンサ４の制御を行い、
第２の乗算器１３の出力はモータ１１に供給され、マッ
チング可変コンデンサ５の制御を行う。このような構成
の動作を次に説明する。
れた。図２において、図１の装置と同一番号は同一構成
要素を示す。この装置で、検出器２からのインピーダン
スＺに応じた信号は、第１の乗算器１２に供給され、位
相差θに応じた信号は第２の乗算器１３に供給される。
第１の乗算器１２と第２の乗算器１３は、高周波電源１
からの高周波出力に対応した信号が除算器１４を介して
供給されている。第１の乗算器１２の出力はモータ９に
供給され、マッチング可変コンデンサ４の制御を行い、
第２の乗算器１３の出力はモータ１１に供給され、マッ
チング可変コンデンサ５の制御を行う。このような構成
の動作を次に説明する。
【０００８】高周波電源１からの高周波出力に対応した
信号Ｐｆは、除算器１４に供給され１／Ｐｆの信号が得
られ、この信号は第１と第２の乗算器１２，１３に供給
される。第１の乗算器１２にはインピーダンスＺに応じ
た信号Ｓｚが供給されており、第１の乗算器１２からは
Ｓｚ／Ｐｆの信号が得られる。この第１の乗算器１２の
出力信号Ｓｚ／Ｐｆは、モータ９に供給され、モータ９
は信号Ｓｚ／Ｐｆによって回転される。また、第２の乗
算器１３には位相差θに応じた信号Ｓθが供給されてお
り、第２の乗算器１３からはＳθ／Ｐｆの信号が得られ
る。この第２の乗算器１２の出力信号Ｓθ／Ｐｆは、モ
ータ１１に供給され、モータ１１は信号Ｓθ／Ｐｆによ
って回転される。
信号Ｐｆは、除算器１４に供給され１／Ｐｆの信号が得
られ、この信号は第１と第２の乗算器１２，１３に供給
される。第１の乗算器１２にはインピーダンスＺに応じ
た信号Ｓｚが供給されており、第１の乗算器１２からは
Ｓｚ／Ｐｆの信号が得られる。この第１の乗算器１２の
出力信号Ｓｚ／Ｐｆは、モータ９に供給され、モータ９
は信号Ｓｚ／Ｐｆによって回転される。また、第２の乗
算器１３には位相差θに応じた信号Ｓθが供給されてお
り、第２の乗算器１３からはＳθ／Ｐｆの信号が得られ
る。この第２の乗算器１２の出力信号Ｓθ／Ｐｆは、モ
ータ１１に供給され、モータ１１は信号Ｓθ／Ｐｆによ
って回転される。
【０００９】このように、本実施例では、高周波出力が
大きい時には、インピーダンスＺに応じた信号Ｓｚと位
相差θに応じた信号Ｓθの信号強度を抑えるように構成
し、また、高周波出力が小さいときには、両信号Ｓｚ，
Ｓθの信号強度を大きくするように構成している。従っ
て、モータ９，１１は常に最適な条件の下で適切に動作
させることができる。
大きい時には、インピーダンスＺに応じた信号Ｓｚと位
相差θに応じた信号Ｓθの信号強度を抑えるように構成
し、また、高周波出力が小さいときには、両信号Ｓｚ，
Ｓθの信号強度を大きくするように構成している。従っ
て、モータ９，１１は常に最適な条件の下で適切に動作
させることができる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】図２の装置において、
高周波出力信号を高周波電源１から得るようにしている
が、そのため、高周波電源からの専用の信号ケーブルが
必要になり、装置が複雑となる。また、この高周波電源
から高周波出力を得る装置は、Ｐｆ信号を標準で出力し
ていない高周波電源を用いた場合には使用することはで
きない。
高周波出力信号を高周波電源１から得るようにしている
が、そのため、高周波電源からの専用の信号ケーブルが
必要になり、装置が複雑となる。また、この高周波電源
から高周波出力を得る装置は、Ｐｆ信号を標準で出力し
ていない高周波電源を用いた場合には使用することはで
きない。
【００１１】高周波出力に応じた信号を得るための他の
装置としては、マッチングボックス側でカプラを配置す
ることも考えられるが、インピーダンスと位相差を検出
する検出器２に加えてカプラを配置するとなると、装置
が大型化し、コストもアップする。
装置としては、マッチングボックス側でカプラを配置す
ることも考えられるが、インピーダンスと位相差を検出
する検出器２に加えてカプラを配置するとなると、装置
が大型化し、コストもアップする。
【００１２】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、簡単な構成で高周波出力に応じた
信号を得ることができる高周波装置における高周波出力
検出装置を実現するにある。
もので、その目的は、簡単な構成で高周波出力に応じた
信号を得ることができる高周波装置における高周波出力
検出装置を実現するにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明に基づく高周波出
力検出装置は、高周波電源からの高周波電力をマッチン
グボックスを介して負荷に供給する高周波装置におい
て、高周波出力の供給経路中に高周波電流と電圧を検出
する手段を設け、検出された電流と電圧信号を加算する
ことによって高周波出力に応じた信号を得るように構成
したことを特徴としている。
力検出装置は、高周波電源からの高周波電力をマッチン
グボックスを介して負荷に供給する高周波装置におい
て、高周波出力の供給経路中に高周波電流と電圧を検出
する手段を設け、検出された電流と電圧信号を加算する
ことによって高周波出力に応じた信号を得るように構成
したことを特徴としている。
【００１４】
【作用】本発明に基づく高周波出力検出装置は、高周波
電流と電圧を検出し、この両信号を加算することによっ
て高周波出力に応じた信号を得る。
電流と電圧を検出し、この両信号を加算することによっ
て高周波出力に応じた信号を得る。
【００１５】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明するが、その前に、本発明の原理について説明す
る。
に説明するが、その前に、本発明の原理について説明す
る。
【００１６】図１や図２に示したオートマッチングの検
出器２は、標準的に高周波電力の供給のための同軸経路
の電圧、電流の差を見ている形のものが多い。この検出
器２の具体例を図３に示す。図３において、検出器２は
カレントトランス１５を含む電流信号ＶＩの検出部１６
と、電圧信号ＶＶの検出部１７とから構成されている。
この電流信号ＶＩと電圧信号ＶＶとの差が端子１８から
得られる。この端子１８からの信号がマッチングボック
ス内の可変コンデンサのモータ駆動のために用いられ
る。
出器２は、標準的に高周波電力の供給のための同軸経路
の電圧、電流の差を見ている形のものが多い。この検出
器２の具体例を図３に示す。図３において、検出器２は
カレントトランス１５を含む電流信号ＶＩの検出部１６
と、電圧信号ＶＶの検出部１７とから構成されている。
この電流信号ＶＩと電圧信号ＶＶとの差が端子１８から
得られる。この端子１８からの信号がマッチングボック
ス内の可変コンデンサのモータ駆動のために用いられ
る。
【００１７】ところで、高周波伝送線路１９により伝送
される高周波電力に応じた信号Ｐｆは、高周波出力の電
圧をＶ、電流をＩ、特性インピーダンスをＲｏ、ｋを比
例定数とすると、次のように表される。
される高周波電力に応じた信号Ｐｆは、高周波出力の電
圧をＶ、電流をＩ、特性インピーダンスをＲｏ、ｋを比
例定数とすると、次のように表される。
【００１８】Ｐｆ＝｜Ｖ＋ＲｏＩ｜／ｋ …（１） 図３における電流信号ＶＩと電圧信号ＶＶとを、 ＶＶ＝｜Ｖ｜／ｋ， ＶＩ＝Ｒｏ｜Ｉ｜／ｋ となるようにしておくと、次式が導かれる。
【００１９】 ＶＶ＋ＶＩ＝（｜Ｖ｜＋Ｒｏ｜Ｉ｜）／ｋ …（２） 上式から明らかなように、電圧信号ＶＶと電流信号ＶＩ
とを加算した信号は、高周波出力に応じた信号Ｐｆと近
い形（疑似信号）となっている。
とを加算した信号は、高周波出力に応じた信号Ｐｆと近
い形（疑似信号）となっている。
【００２０】さて、上記（１）式のＰｆ信号と、（２）
式の疑似信号とは、どれ程異なるのかを計算すると、√
（２）倍以上の差にならないことが判明した。この√
（２）倍の差は、図１や図２のＰｆ信号の場合のよう
に、オートゲインのパラメータとして使用する場合、そ
れほど問題となる差ではない。言い換えれば、オートゲ
インのパラメータとしてこの疑似信号が十分使用するこ
とができる。したがって、本発明では、電圧信号ＶＶと
電流信号ＶＩとを加算した信号を高周波出力として検出
する。
式の疑似信号とは、どれ程異なるのかを計算すると、√
（２）倍以上の差にならないことが判明した。この√
（２）倍の差は、図１や図２のＰｆ信号の場合のよう
に、オートゲインのパラメータとして使用する場合、そ
れほど問題となる差ではない。言い換えれば、オートゲ
インのパラメータとしてこの疑似信号が十分使用するこ
とができる。したがって、本発明では、電圧信号ＶＶと
電流信号ＶＩとを加算した信号を高周波出力として検出
する。
【００２１】図４は本発明の一実施例を示しており、図
３の構成と同一部分には同一番号を付しその詳細な説明
は省略する。この実施例で、電流信号検出器１６からの
電流信号ＶＩは、インバータ２０によって反転され、加
算回路２１に供給される。加算回路２１には電圧信号検
出部１７からの電圧信号ＶＶも供給されており、両信号
が加算され、ＶＩ＋ＶＶの信号が加算回路２１から得ら
れる。この加算回路２１の出力は、図２の除算器１４な
どに供給される。
３の構成と同一部分には同一番号を付しその詳細な説明
は省略する。この実施例で、電流信号検出器１６からの
電流信号ＶＩは、インバータ２０によって反転され、加
算回路２１に供給される。加算回路２１には電圧信号検
出部１７からの電圧信号ＶＶも供給されており、両信号
が加算され、ＶＩ＋ＶＶの信号が加算回路２１から得ら
れる。この加算回路２１の出力は、図２の除算器１４な
どに供給される。
【００２２】以上本発明の実施例を説明したが、本発明
はこの実施例に限定されない。例えば、本発明により検
出された高周波出力に応じた信号は、図２の除算器１４
に供給して、インピーダンスや位相差の規格化のために
使用する場合以外にも適宜使用することかできるもので
ある。
はこの実施例に限定されない。例えば、本発明により検
出された高周波出力に応じた信号は、図２の除算器１４
に供給して、インピーダンスや位相差の規格化のために
使用する場合以外にも適宜使用することかできるもので
ある。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に基づく高
周波装置における高周波出力検出装置は、高周波電流と
電圧を検出し、この両信号を加算することによって高周
波出力に応じた信号を得るように構成したので、簡単な
構成により高周波出力に応じた信号を得ることができ
る。また、本発明では、高周波電源からの専用の信号ケ
ーブルを設ける必要はなく、更に、Ｐｆ信号を標準で出
力できない電源を用いた場合にも実施することができ
る。
周波装置における高周波出力検出装置は、高周波電流と
電圧を検出し、この両信号を加算することによって高周
波出力に応じた信号を得るように構成したので、簡単な
構成により高周波出力に応じた信号を得ることができ
る。また、本発明では、高周波電源からの専用の信号ケ
ーブルを設ける必要はなく、更に、Ｐｆ信号を標準で出
力できない電源を用いた場合にも実施することができ
る。
【図１】従来の高周波装置の概略を示す図である。
【図２】改良された高周波装置の概略を示す図である。
【図３】本発明の原理を説明するための図である。
【図４】本発明の一実施例を示す図である。
１ 高周波発振器 ２ 検出器 ３ マッチングボックス ４ マッチング可変コンデンサ ５ チューニング可変コンデンサ ７ 負荷 ９，１１ モータ １２，１３ 乗算器 １４ 除算器 １５カレントトランス １６ 電流検出部 １７ 電圧検出部 １８ 端子 １９ 高周波伝送線路 ２０ インバータ ２１ 加算回路
Claims (2)
- 【請求項１】 高周波電源からの高周波電力をマッチン
グボックスを介して負荷に供給する高周波装置におい
て、高周波出力の供給経路中に高周波電流と電圧を検出
する手段を設け、検出された電流と電圧信号を加算する
ことによって高周波出力に応じた信号を得るように構成
したことを特徴とする高周波装置における高周波出力検
出装置。 - 【請求項２】 高周波電源からの高周波電力が供給され
る負荷と、電源と負荷との間に配置され、マッチング可
変コンデンサとチューニング可変コンデンサとコイルと
から成るマッチングボックスと、それぞれのコンデンサ
を調整するためのモータと、マッチングボックスに入力
する高周波の入力インピーダンスと入力高周波の電圧と
電流との位相差を検出する検出器と、検出された入力イ
ンピーダンスと位相差とに基づいてモータを駆動し、マ
ッチング可変コンデンサとチューニング可変コンデンサ
を自動的に調整するための調整手段とを備えており、調
整手段は、検出器の検出信号と高周波出力との比に応じ
てモータを制御するように構成されている高周波装置に
おいて、高周波出力の供給経路中に高周波電流と電圧を
検出する検出手段と、検出された電流と電圧信号を加算
する加算手段とを設け、高周波出力信号として加算手段
の出力を用いたことを特徴とする高周波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27023893A JPH07146320A (ja) | 1993-10-28 | 1993-10-28 | 高周波出力検出装置および高周波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27023893A JPH07146320A (ja) | 1993-10-28 | 1993-10-28 | 高周波出力検出装置および高周波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07146320A true JPH07146320A (ja) | 1995-06-06 |
Family
ID=17483482
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27023893A Withdrawn JPH07146320A (ja) | 1993-10-28 | 1993-10-28 | 高周波出力検出装置および高周波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07146320A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106376168A (zh) * | 2015-07-20 | 2017-02-01 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 阻抗匹配器、阻抗匹配方法及半导体加工设备 |
-
1993
- 1993-10-28 JP JP27023893A patent/JPH07146320A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106376168A (zh) * | 2015-07-20 | 2017-02-01 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 阻抗匹配器、阻抗匹配方法及半导体加工设备 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH1187097A (ja) | 高周波プラズマ処理装置のためのインピーダンス整合及び電力制御システム | |
| JP3251087B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
| TWI430715B (zh) | 高頻電源裝置及高頻功率供給方法 | |
| US7615983B2 (en) | High frequency power device for protecting an amplifying element therein | |
| JPH06215894A (ja) | 高周波プラズマ用電源及びインピーダンス整合装置 | |
| JP2007103102A5 (ja) | ||
| JPH0620793A (ja) | 誘導結合プラズマ発生器 | |
| JPH09161994A (ja) | 放電プラズマ発生用高周波電源装置及び半導体製造装置 | |
| JP3183914B2 (ja) | インピーダンス自動整合装置 | |
| EP1443334B1 (en) | High frequency detection method and high frequency detection circuit | |
| JP3176128B2 (ja) | インピーダンス整合器の出力電圧測定装置 | |
| US4209758A (en) | Method and apparatus for the automatic matching of a transmitter to an antenna | |
| JPH04275075A (ja) | 超音波モータの駆動方式 | |
| JPH07146320A (ja) | 高周波出力検出装置および高周波装置 | |
| JPH09134800A (ja) | 高周波装置 | |
| JP2775656B2 (ja) | 成膜装置 | |
| JPH09134798A (ja) | 高周波装置 | |
| JPH07122957A (ja) | 高周波装置 | |
| US5909129A (en) | Low cost microstrip phase detector | |
| JPH08162291A (ja) | プラズマ装置 | |
| JPH0693437A (ja) | 高周波装置 | |
| JP2000138540A (ja) | 高周波装置 | |
| KR100206914B1 (ko) | 멀티-프리셋 임피던스 정합장치 | |
| JP3048327B2 (ja) | 高周波伝送線路における負荷弁別器 | |
| JPH05345972A (ja) | 高周波装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010130 |