JPH07120912B2 - Piezoelectric vibrator manufacturing method - Google Patents
Piezoelectric vibrator manufacturing methodInfo
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- JPH07120912B2 JPH07120912B2 JP62076733A JP7673387A JPH07120912B2 JP H07120912 B2 JPH07120912 B2 JP H07120912B2 JP 62076733 A JP62076733 A JP 62076733A JP 7673387 A JP7673387 A JP 7673387A JP H07120912 B2 JPH07120912 B2 JP H07120912B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、圧電振動子の製造方法に関する。The present invention relates to a method for manufacturing a piezoelectric vibrator.
従来の圧電振動子の製造方法は、特開昭57−140014号公
報、特開昭55−46638号公報に記載されている。A conventional method for manufacturing a piezoelectric vibrator is described in JP-A-57-140014 and JP-A-55-46638.
（１）エッチング、プレスで加工されたリード部20をプ
ラグ体21と組み合わせ個々の封止される部品が連結した
気密端子を用いる。(1) An airtight terminal in which a lead portion 20 processed by etching and pressing is combined with a plug body 21 and individual sealed components are connected to each other is used.
（２）ｃ−ｃ′を切断する。（第６図参照） （３）圧電発振片22を半田23等で固定する。(2) C-c 'is cut. (See FIG. 6) (3) Fix the piezoelectric oscillation piece 22 with solder 23 or the like.
（４）ａ−ａ′を切断する。（第７図参照） （５）真空中で、圧電発振片を発振させ、銀の蒸着量を
変化させることにより、Ｆ調（周波数調整）を行う。
（第８図参照） （６）ケースを封止する。(4) Cut aa '. (See FIG. 7) (5) In a vacuum, the piezoelectric oscillation piece is oscillated to change the amount of silver vapor deposition, thereby performing F adjustment (frequency adjustment).
(See FIG. 8) (6) Seal the case.
（７）ｂ−ｂ′を切断し、個々の完成品を得る。（第９
図参照） 〔発明が解決しようとする課題〕 しかし、上記従来技術では、連結された気密端子を用い
ていたため、連結する気密端子を作る工程で、プラグ体
の高さのバラツキ、傾き等が生じ、連結された気密端子
のすべてを良品として作ることが困難であり、歩留まり
が悪くなり、気密端子のコストが高くなる要因となって
いた。従って、圧電振動子の製造コストも高くなってい
た。また、リード線の切断工程が必要であり、工程数が
多かった。さらに、リード断面は、エッチング、プレス
のため角形になり、曲げ角によって実装が困難になると
いう課題があった。(7) bb 'is cut to obtain individual finished products. (9th
(See the figure) [Problems to be Solved by the Invention] However, in the above-described conventional technology, since the connected airtight terminals are used, variations in height of the plug body, inclination, etc. occur in the process of forming the airtight terminals to be connected. However, it is difficult to manufacture all of the connected airtight terminals as non-defective products, resulting in a poor yield and a high cost of the airtight terminals. Therefore, the manufacturing cost of the piezoelectric vibrator is also high. In addition, a lead wire cutting process is required, and the number of processes is large. Further, the lead cross section becomes square due to etching and pressing, and there is a problem that mounting is difficult due to the bending angle.
本発明は、上記課題に鑑み、プラグ体の高さのバラツ
キ、傾き等をなくし、ユニット化した連結板を用い、簡
単で歩留まりの高い圧電振動子の製造工程を提供するこ
とを目的とする。In view of the above problems, it is an object of the present invention to provide a simple and high-yield manufacturing process of a piezoelectric vibrator, which eliminates variations in the height of a plug body, inclination, and the like, and uses a united connecting plate.
本発明の圧電振動子の製造方法は、 丸リード線と該リード線が貫通するプラグ体とからなる
気密端子を、位置決め部位を有し表面が絶縁された連結
板に複数本所定間隙をおいて絶縁テープにより固定する
工程と、 前記気密端子を固定した連結板を、圧電発振片に前記リ
ード線が接続するようマウント治具に位置決めし、前記
圧電発振片と前記リード線とを接続固定する工程と、 前記圧電発振片と前記リード線とを接続固定した連結板
を、周波数調整治具に位置決めし、前記圧電発振片の周
波数調整を行う工程と、 前記周波数調整がされた前記圧電発振片を有する前記連
結板を、封止治具に位置決めし、前記気密端子と該気密
端子を封止するケース体とを圧力をかけながら封止固定
する工程と、 からなることを特徴とする。A method of manufacturing a piezoelectric vibrator according to the present invention includes a plurality of airtight terminals each having a round lead wire and a plug body through which the lead wire penetrates, and a plurality of predetermined gaps provided on a connecting plate having a positioning portion and an insulated surface. A step of fixing with an insulating tape; a step of positioning the connecting plate, to which the airtight terminal is fixed, on a mount jig so that the lead wire is connected to the piezoelectric oscillation piece, and connecting and fixing the piezoelectric oscillation piece and the lead wire. A step of positioning a connecting plate that connects and fixing the piezoelectric oscillation piece and the lead wire to a frequency adjusting jig to adjust the frequency of the piezoelectric oscillation piece; and the piezoelectric oscillation piece having the frequency adjusted. A step of positioning the connecting plate having it on a sealing jig and sealingly fixing the airtight terminal and a case body for sealing the airtight terminal while applying pressure.
第１図〜第５図に本発明の圧電振動子の製造方法の一実
施例を示す。1 to 5 show an embodiment of a method for manufacturing a piezoelectric vibrator of the present invention.
連結板31は、金属板１または薄い絶縁板からなる。金属
板１のときは、プレスまたはエッチング等により成形さ
れ、その片面または両面に絶縁物２を塗布または貼付け
し、リード線32にＦ調時に悪影響を及ぼさないようにす
る。絶縁物２は、ポリイミド樹脂等の耐熱性を有するも
のが望ましい。連結板31がPMMA（アクリル）等の薄い絶
縁板からなるときは、絶縁処理は不要である。連結板31
には、圧電振動子の製造時に使用するよう、位置決め用
穴５をあけてある。The connecting plate 31 is made of the metal plate 1 or a thin insulating plate. In the case of the metal plate 1, the metal plate 1 is formed by pressing, etching, or the like, and the insulating material 2 is applied or attached to one or both surfaces of the metal plate 1 so that the lead wire 32 is not adversely affected during F adjustment. It is desirable that the insulator 2 has heat resistance such as polyimide resin. When the connecting plate 31 is made of a thin insulating plate such as PMMA (acrylic), no insulation treatment is required. Connecting plate 31
A positioning hole 5 is formed in this for use in manufacturing the piezoelectric vibrator.
以下、絶縁物２により絶縁処理された金属板１を用いた
連結板31を用いた実施例を説明する。Hereinafter, an example using the connecting plate 31 using the metal plate 1 insulated by the insulator 2 will be described.
（１）気密端子３（リード線32を有するプラグ体31）を
多数個連結板31に取り付ける工程（第１図及び第２
図）。(1) Step of attaching a large number of airtight terminals 3 (plug bodies 31 having lead wires 32) to the connecting plate 31 (FIGS. 1 and 2)
Figure).
連結板31をプラグセット板（プラグセット治具；不図
示）に位置決めする。The connecting plate 31 is positioned on the plug set plate (plug set jig; not shown).
２本の丸リード線32と、リード線32を貫通保持するプラ
グ体30とからなる多数個の気密端子３を、プラグセット
板に設けた位置決めにより連結板の上から所定の間隙ａ
をおいて精度よく位置決めする。A large number of airtight terminals 3 composed of two round lead wires 32 and a plug body 30 that holds the lead wires 32 therethrough are provided on the plug set plate by positioning them so that a predetermined gap a is formed above the connecting plate.
Position to position accurately.
ここで、気密端子は、１個ずつ多量に市販されているも
のを用いることができる。Here, as the hermetic terminal, one that is commercially available in large quantities one by one can be used.
絶縁テープ４を用いて連結板31上に気密端子３を固定す
る。The airtight terminal 3 is fixed on the connecting plate 31 using the insulating tape 4.
なお、絶縁テープの代わりに接着剤、粘着剤、ソケット
を取り付けて気密端子３を固定する方法でも構わない。Instead of the insulating tape, an adhesive, an adhesive, or a socket may be attached to fix the airtight terminal 3.
以上のように気密端子３を多数個固定した連結板31を用
いて以下、圧電振動子を製造する。A piezoelectric vibrator is manufactured using the connecting plate 31 to which a large number of airtight terminals 3 are fixed as described above.
（２）圧電発振片６を気密端子３に取り付ける工程（第
３図）。(2) A step of attaching the piezoelectric oscillation piece 6 to the airtight terminal 3 (FIG. 3).
圧電発振片マウント治具８に圧電発振片６位置決めす
る。The piezoelectric oscillator piece 6 is positioned on the piezoelectric oscillator piece mounting jig 8.
さらに、その上から連結板31を位置決めする。位置決め
した連結板を上からバネで押さえ、熱風、レーザー、加
熱等を用いて加熱し、圧電発振片６とリード線32を半
田、導電性接着剤７等を用いて固定する。Further, the connecting plate 31 is positioned from above. The positioned connecting plate is pressed by a spring from above and heated using hot air, laser, heating, etc., and the piezoelectric oscillation piece 6 and the lead wire 32 are fixed using solder, a conductive adhesive 7 or the like.
（３）周波数調整（Ｆ調）工程（第４図）。(3) Frequency adjustment (F adjustment) step (FIG. 4).
上記圧電発振片６が取り付けられた連結板31を、円筒状
のＦ調治具11の位置決めピン10に位置決め用穴５を貫通
させ多数枚位置決めする。A large number of connecting plates 31 to which the piezoelectric oscillation pieces 6 are attached are positioned by passing the positioning holes 5 through the positioning pins 10 of the cylindrical F-adjustment jig 11.
本発明の実施例では、Ｆ調のとき、リード線32は、連結
板31と絶縁されているため、浮遊要量等で発振条件が変
わることはない。In the embodiment of the present invention, in the F tone, the lead wire 32 is insulated from the connecting plate 31, so that the oscillation condition does not change due to the amount of floating or the like.
発振回路13により圧電発振片６を発振させ、ポート12に
より銀19等の金属を真空中で圧電発振片６に蒸着する。The oscillating circuit 13 oscillates the piezoelectric oscillating piece 6, and a metal such as silver 19 is deposited on the piezoelectric oscillating piece 6 in a vacuum by the port 12.
周波数が設定値に達した時、（最初は、周波数を高めに
しておき、銀19を蒸着することにより周波数を低下させ
る）制御回路14により蒸着を終了させる。When the frequency reaches the set value, the vapor deposition is terminated by the control circuit 14 (at first, the frequency is raised and the frequency is lowered by depositing silver 19).
以下、圧電発振片６、６・・を同様に順次Ｆ調する。Hereinafter, the piezoelectric oscillation pieces 6, 6 ...
なお、Ｆ調は、レーザーを用いてもよい。A laser may be used for F tone.
（４）封止工程（第５図）。(4) Sealing step (FIG. 5).
Ｆ調された連結板31を例えば溝の入った第１の封止治具
（不図示）に位置決めする。The F-adjusted connecting plate 31 is positioned on, for example, a first sealing jig (not shown) having a groove.
上型（第２の封止治具；不図示）にケース15の穴が下を
向くようにケース15を位置決めする。The case 15 is positioned in the upper mold (second sealing jig; not shown) so that the holes of the case 15 face downward.
上型を連結板31の上にかぶせる。The upper mold is put on the connecting plate 31.
真空中でケース15を圧力をかけながら圧入し、ケース15
と気密端子３のプラグ体とを封止する。この時、真空中
でガスの発生がないように、ポリイミド等の耐熱性樹脂
を絶縁物２として使用し、また、ポリイミドテープを絶
縁テープ４として使用することが望ましい。While pressing the case 15 in a vacuum, press the case 15
And the plug body of the airtight terminal 3 are sealed. At this time, it is desirable to use a heat-resistant resin such as polyimide as the insulator 2 and a polyimide tape as the insulating tape 4 so that no gas is generated in a vacuum.
（５）気密端子取り外し工程（不図示）。(5) Airtight terminal removal step (not shown).
封止した連結板31を封止治具から取出し、絶縁テープ４
を剥がすと、１本ずつの圧電振動子が完成する。Remove the sealed connecting plate 31 from the sealing jig,
When peeled off, each piezoelectric vibrator is completed.
圧電振動子を１本ずつ最終検査して、出荷する。The piezoelectric vibrators are finally inspected one by one and shipped.
以上述べたように、（１）〜（５）の前記工程におい
て、連結板31を一貫して用いることにより圧電振動子を
簡単に製造することができる。As described above, in the steps (1) to (5), the piezoelectric vibrator can be easily manufactured by consistently using the connecting plate 31.
なお、圧電振動片６は、図示した矩形状AT振動子（厚み
すべり振動子）に限らず、屈曲振動子にも適用できる。
さらに、水晶以外では、タンタル酸リチウム、モリブデ
ン酸リチウム、圧電セラミック等に適用できる。The piezoelectric vibrating piece 6 can be applied not only to the illustrated rectangular AT vibrator (thickness sliding vibrator) but also to a bending vibrator.
Further, other than quartz, it can be applied to lithium tantalate, lithium molybdate, piezoelectric ceramics and the like.
また、リード線32は、２本以上であれば何本でもよい。
さらに、ケース体に封止される気密端子のプラグ体30の
形状は、丸型だけでなく、小判型でもよい。Further, the number of lead wires 32 may be any as long as it is two or more.
Further, the shape of the plug body 30 of the airtight terminal sealed in the case body is not limited to the round shape, and may be the oval shape.
本発明の圧電振動子の製造方法は、 （ａ）丸リード線と該リード線が貫通するプラグ体とか
らなる気密端子を、位置決め部位を有し表面が絶縁され
た連結板に複数本所定間隙をおいて絶縁テープにより固
定する工程と、 （ｂ）前記気密端子を固定した連結板を、圧電発振片に
前記リード線が接続するようマウント治具に位置決め
し、前記圧電発振片と前記リード線とを接続固定する工
程と、 （ｃ）前記圧電発振片と前記リード線とを接続固定した
連結板を、周波数調整治具に位置決めし、前記圧電発振
片の周波数調整を行う工程と、 （ｄ）前記周波数調整がされた前記圧電発振片を有する
前記連結板を、封止治具に位置決めし、前記気密端子と
該気密端子を封止するケース体とを圧力をかけながら封
止固定する工程とを備えたため、 （ａ）の気密端子を連結板に固定する工程で、圧電発振
片が取り付けられていない状態で多少ラフに扱える気密
端子を、位置決め固定が簡単にでき、気密端子の高さの
バラツキ・傾き等を連結板の中で生じさせないことがで
きる。また、以降の工程（ｂ）〜（ｄ）では固定された
気密端子を有する連結板（ユニット化した連結板）を以
降の治具に取り付けるたけで、圧電発振片等の接続固
定、周波数調整、ケース体封止が簡単に実現でき、歩留
まりが高くなるという効果を有する。(A) A plurality of airtight terminals each having a round lead wire and a plug body through which the lead wire penetrates are formed on a connecting plate having a positioning portion and having an insulated surface. And (b) positioning the connecting plate, to which the airtight terminal is fixed, on a mount jig so that the lead wire is connected to the piezoelectric oscillation piece, and then the piezoelectric oscillation piece and the lead wire. And (c) positioning the connecting plate connecting and fixing the piezoelectric oscillation piece and the lead wire to a frequency adjusting jig to adjust the frequency of the piezoelectric oscillation piece. ) A step of positioning the connecting plate having the frequency-adjusted piezoelectric oscillation piece on a sealing jig and sealingly fixing the airtight terminal and a case body for sealing the airtight terminal while applying pressure. Since, and (a In the process of fixing the airtight terminal to the connecting plate, it is possible to easily position and fix the airtight terminal that can be handled roughly without the piezoelectric oscillation piece being attached, and the height and variation of the airtight terminal can be easily adjusted. Can not occur in. In the subsequent steps (b) to (d), the connecting plate having the fixed airtight terminals (unitized connecting plate) may be attached to the subsequent jig to fix the connection of the piezoelectric oscillation piece or the like, adjust the frequency, The case body can be easily sealed, and the yield can be increased.
第１図は、本発明の圧電振動子の製造方法に係る気密端
子取付工程を示す断面図。 第２図は、第１図の平面図。 第３図は、本発明の圧電振動子の製造方法に係る圧電発
振取付工程を示す平面図。 第４図は、本発明の圧電振動子の製造方法に係る周波数
調整工程を示す斜視図。 第５図は、本発明の圧電振動子の製造方法に係るケース
体封止工程を示す平面図。 第６図は、従来の連結された気密端子を示す平面図。 第７図は、従来の圧電発振取付工程を示す平面図。 第８図は、従来の周波数調整工程を示す斜視図。 第９図は、従来の封止工程を示す斜視図。 １……金属板 ２……絶縁物 ３……気密端子 ４……絶縁テープ ５……位置決め用穴 ６……圧電発振片 ７……半田又は導電性接着剤 ８……マウント治具 11……Ｆ調治具 15……ケース体 30……プラグ体 31……連結板 32……リード線FIG. 1 is a cross-sectional view showing an airtight terminal mounting step according to the method of manufacturing a piezoelectric vibrator of the present invention. FIG. 2 is a plan view of FIG. FIG. 3 is a plan view showing a piezoelectric oscillation mounting step according to the method for manufacturing a piezoelectric vibrator of the present invention. FIG. 4 is a perspective view showing a frequency adjusting step according to the method for manufacturing a piezoelectric vibrator of the present invention. FIG. 5 is a plan view showing a case body sealing step according to the method for manufacturing a piezoelectric vibrator of the present invention. FIG. 6 is a plan view showing a conventional connected airtight terminal. FIG. 7 is a plan view showing a conventional piezoelectric oscillation mounting process. FIG. 8 is a perspective view showing a conventional frequency adjusting step. FIG. 9 is a perspective view showing a conventional sealing process. 1 …… Metal plate 2 …… Insulator 3 …… Airtight terminal 4 …… Insulation tape 5 …… Positioning hole 6 …… Piezoelectric oscillation piece 7 …… Solder or conductive adhesive 8 …… Mounting jig 11 …… F adjustment jig 15 …… Case body 30 …… Plug body 31 …… Connecting plate 32 …… Lead wire
Claims (1)
体とからなる気密端子を、位置決め部位を有し表面が絶
縁された連結板に複数本所定間隙をおいて絶縁テープに
より固定する工程と、 前記気密端子を固定した連結板を、圧電発振片に前記リ
ード線が接続するようマウント治具に位置決めし、前記
圧電発振片と前記リード線とを接続固定する工程と、 前記圧電発振片と前記リード線とを接続固定した連結板
を、周波数調整治具に位置決めし、前記圧電発振片の周
波数調整を行う工程と、 前記周波数調整がされた前記圧電発振片を有する前記連
結板を、封止治具に位置決めし、前記気密端子と該気密
端子を封止するケース体とを圧力をかけながら封止固定
する工程と、 からなることを特徴とする圧電振動子の製造方法。1. A step of fixing a plurality of airtight terminals made of a round lead wire and a plug body through which the lead wire penetrates to a connecting plate having a positioning portion and having an insulated surface with insulating tapes at predetermined intervals. And a step of positioning the connecting plate, to which the airtight terminal is fixed, on a mount jig so that the lead wire is connected to the piezoelectric oscillation piece, and connecting and fixing the piezoelectric oscillation piece and the lead wire. A step of positioning the connecting plate connecting and fixing the lead wire to a frequency adjusting jig and performing frequency adjustment of the piezoelectric oscillation piece; and the connecting plate having the piezoelectric oscillation piece with the frequency adjusted, A method for manufacturing a piezoelectric vibrator, comprising the steps of positioning the sealing jig and sealingly fixing the hermetic terminal and a case body that seals the hermetic terminal while applying pressure.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62076733A JPH07120912B2 (en) | 1987-03-30 | 1987-03-30 | Piezoelectric vibrator manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62076733A JPH07120912B2 (en) | 1987-03-30 | 1987-03-30 | Piezoelectric vibrator manufacturing method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63244912A JPS63244912A (en) | 1988-10-12 |
| JPH07120912B2 true JPH07120912B2 (en) | 1995-12-20 |
Family
ID=13613781
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62076733A Expired - Lifetime JPH07120912B2 (en) | 1987-03-30 | 1987-03-30 | Piezoelectric vibrator manufacturing method |
Country Status (1)
| Country | Link |
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Families Citing this family (2)
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Family Cites Families (2)
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|---|---|---|---|---|
| JPS6012808B2 (en) * | 1979-03-09 | 1985-04-03 | セイコーエプソン株式会社 | Manufacturing method of piezoelectric vibrator |
| JPS57140014A (en) * | 1981-02-23 | 1982-08-30 | Matsushima Kogyo Co Ltd | Manufacture for quartz oscillator |
-
1987
- 1987-03-30 JP JP62076733A patent/JPH07120912B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| JPS63244912A (en) | 1988-10-12 |
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