JPH07118494B2 - Tape carrier for mounting integrated circuits - Google Patents
Tape carrier for mounting integrated circuitsInfo
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- JPH07118494B2 JPH07118494B2 JP29357289A JP29357289A JPH07118494B2 JP H07118494 B2 JPH07118494 B2 JP H07118494B2 JP 29357289 A JP29357289 A JP 29357289A JP 29357289 A JP29357289 A JP 29357289A JP H07118494 B2 JPH07118494 B2 JP H07118494B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、テープキャリアのスプロケットホールの構造
に関する。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a structure of a sprocket hole of a tape carrier.
従来、LSIチップの周辺部に形成されたバンプとILB(In
ner Lead Bonding)接続するためのテープキャリアは、
カプトンから成る絶縁フィルム上に35μm厚さの銅箔を
接着剤にて貼り付けした後、フォトエッチング法により
リードフレームを形成していた。ここでテープとして、
絶縁フィルム−接着剤−銅箔からなる3層構造を用いて
いたため、ILB時のボンディングツールからの熱によ
り、絶縁フィルムが熱変形を起こしてしまう欠点があ
り、超多ピンを必要とするLSIチップの実装用テープキ
ャリアとしては不向きであった。この欠点を解決し、こ
れに代わって使用されるようになったのが銅箔1層から
成るテープキャリアである。すなわち、第3図(a)に
示す構造となっていた。銅箔1層から成るテープキャリ
アの板厚は、放熱特性及び機械的強度の面から70μmの
テープ厚のものが一般的に使用されるようになって来て
いる。Conventionally, bumps and ILB (In
ner Lead Bonding) The tape carrier for connecting
A 35 μm-thick copper foil was pasted on an insulating film made of Kapton with an adhesive, and then a lead frame was formed by a photoetching method. Here as a tape,
Since the three-layer structure consisting of insulating film-adhesive-copper foil was used, there is a drawback that the insulating film is thermally deformed by the heat from the bonding tool at the time of ILB. Was not suitable as a mounting tape carrier. It is a tape carrier composed of a single layer of copper foil that solves this drawback and is used in place of it. That is, the structure was as shown in FIG. As for the thickness of the tape carrier composed of one layer of copper foil, a tape having a thickness of 70 μm has been generally used in terms of heat dissipation characteristics and mechanical strength.
しかしながら、超多ピン,狭リードピッチを必要とする
構造では、サイドエッチング量の制約から片面からのエ
ッチングでは形成が困難であった。その為、スプロケッ
トホール及びデバイスホールはテープの表と裏の両側か
らエッチングを行ないつなぎ合わせる工法となってい
た。However, in a structure that requires an extremely large number of pins and a narrow lead pitch, it is difficult to form the structure by etching from one side due to the restriction of the side etching amount. For this reason, the sprocket hole and the device hole have been a method of joining by etching from both the front and back sides of the tape.
上述した従来の超多ピン,狭リードピッチを必要とする
銅箔1層から成るテープキャリアでは、第3図(b),
(c)に示すようにテープの表面と裏面とでそれぞれ別
々に露光が行なわれているので、例えば表面のスプロケ
ットホール1iと裏面のスプロケットホール1j間で位置ズ
レを起こしてしまうという欠点があった。In the conventional tape carrier consisting of one layer of copper foil which requires a very large number of pins and a narrow lead pitch, as shown in FIG.
As shown in (c), since the front surface and the back surface of the tape are separately exposed, for example, there is a drawback that a positional deviation occurs between the front sprocket hole 1i and the back sprocket hole 1j. .
その為、テープキャリア製作時のテープ搬送及びILB時
のLSIチップとテープキャリアとの目合せ、さらにはOLB
(Outer Lead Bonding)をするためにリードフレームを
切断,成形する時に使用されるスプロケットホールに挿
入される挿入ピンとの嵌合が悪くスプロケットホールが
破損してしまい、結果的にテープキャリアの製作並びに
組立における歩留りが上がらずコスト高になるという問
題点があった。Therefore, tape transportation during tape carrier production, alignment of LSI chip and tape carrier during ILB, and OLB
(Outer Lead Bonding) For cutting and molding the lead frame, the sprocket hole that is used when cutting and molding the lead frame is not fitted well and the sprocket hole is damaged, resulting in the production and assembly of the tape carrier. However, there was a problem that the yield of the product did not increase and the cost increased.
本発明は、上記のようなスプロケットホールの表裏面間
での位置ズレを防止した集積回路実装用テープキャリア
を提供するものである。The present invention provides a tape carrier for mounting an integrated circuit, which prevents the positional deviation between the front and back surfaces of the sprocket hole as described above.
本発明のテープキャリアは、少なくともスプロケットホ
ールが、キャリアテープの一面から、第1の大きさを有
し、かつテープ金属層の板厚の半分以上の深さを有する
第1の開孔部と、この第1の開孔部と同位置のテープの
他面から、第1の大きさよりも大きい第2の大きさを有
し、かつ、金属層の板厚を半分以上で板厚よりも小さい
深さを有する第2の開孔部とから構成され、第1の開孔
部の形成領域が第2の開孔部の形成領域内に完全に位置
している。In the tape carrier of the present invention, at least the sprocket hole has a first opening portion having a first size from one surface of the carrier tape and having a depth equal to or more than half the plate thickness of the tape metal layer, From the other surface of the tape at the same position as the first opening, a depth having a second size larger than the first size and having a metal layer thickness of half or more and less than the plate thickness is formed. And a second opening portion having a depth, and the formation area of the first opening portion is completely located within the formation area of the second opening portion.
すなわち、本発明のテープキャリアは、テープの表面と
裏面とで大きさが異なるスプロケットホールを備えてい
る。そのため、スプロケットホールの実効径は大きくな
り、ホールに挿入される挿入ピンは、嵌合が良好とな
り、スプロケットホールの破損を生じることはない。That is, the tape carrier of the present invention has sprocket holes having different sizes on the front surface and the back surface of the tape. Therefore, the effective diameter of the sprocket hole is increased, the insertion pin inserted into the hole is well fitted, and the sprocket hole is not damaged.
次に本発明について図面を参照して説明する。第1図
(a)は本発明の第1の実施例を示す平面図であり、第
1図(b)は第1図(a)のA−A線断面図、第1図
(c)は第1図(a)のB−B線断面図である。Next, the present invention will be described with reference to the drawings. 1 (a) is a plan view showing a first embodiment of the present invention, FIG. 1 (b) is a sectional view taken along the line AA of FIG. 1 (a), and FIG. 1 (c) is It is the BB sectional view taken on the line of FIG. 1 (a).
本発明のテープキャリアの形成法を順次示すと、70μm
厚の銅箔1層テープの両面にフォトレジストを塗布した
後、片面(裏面)のスプロケットホール1bとデバイスホ
ール2とを露光,現像した後、周知のエッチング液、例
えば塩化第2銅にてテープ厚の約1/2程度をエッチング
(いわゆるハーフエッチング)する。次にエッチングさ
れた部分をマスキングし、テープの反対面(表面)にお
いて、スプロケットホール1aとデバイスホール2とリー
ドフレーム3を前記と同様にフォトエッチング法により
形成する。このようにして表面のスプロケットホール1a
と裏面のスプロケットホール1bとは貫通できる。裏面に
形成するスプロケットホール1bは、露光時のフォトマス
クの最大位置ズレ量(約±150μm)を含んだ大きさの
寸法で形成しておけばよい。最後にフォトレジストを剥
離して周知の金メッキ又はスズメッキを行なえば、本発
明に係わるテープキャリアが実現できる。The method of forming the tape carrier of the present invention will be described below in order of 70 μm.
After applying photoresist to both sides of a thick copper foil single layer tape, exposing and developing the sprocket hole 1b and the device hole 2 on one side (rear side), tape with a well-known etching solution, such as cupric chloride About half of the thickness is etched (so-called half etching). Next, the etched portion is masked, and the sprocket hole 1a, the device hole 2, and the lead frame 3 are formed on the opposite surface (front surface) of the tape by the photoetching method as described above. In this way the front sprocket hole 1a
And the sprocket hole 1b on the back side can be penetrated. The sprocket hole 1b formed on the back surface may be formed with a size including the maximum positional deviation amount (about ± 150 μm) of the photomask during exposure. Finally, if the photoresist is peeled off and well-known gold plating or tin plating is performed, the tape carrier according to the present invention can be realized.
本実施例では、裏面に形成したスプロケットホール1bは
表面に形成しているスプロケットホール1aよりも大きく
形成しているが、反対の大きさで形成しても実現でき
る。In the present embodiment, the sprocket hole 1b formed on the back surface is formed larger than the sprocket hole 1a formed on the front surface, but the sprocket hole 1b can be formed with the opposite size.
第2図(a)〜(c)は本発明の実施例2の平面図であ
る。FIGS. 2A to 2C are plan views of the second embodiment of the present invention.
本実施例ではスプロケットホール形状が四角形以外の形
状での実施例を示している。第2図(a)は円形による
実施例、第2図(b)は長穴状による他の実施例、第2
図(c)は六角状による他の実施例である。第2図
(a)の円形とすることにより実施例1よりも挿入ピン
との嵌合において改善が計れる。すなわち、挿入ピンの
形状を円すい状にテーパーを付けておくことにより、ス
プロケットホールの仕上り寸法誤差を吸収し安定した嵌
合が実現できる。In this embodiment, the sprocket hole shape is a shape other than a quadrangle. 2 (a) is a circular embodiment, and FIG. 2 (b) is an elongated hole-shaped embodiment.
FIG. 6 (c) shows another embodiment having a hexagonal shape. By adopting the circular shape shown in FIG. 2 (a), the fitting with the insertion pin can be improved more than the first embodiment. That is, by tapering the shape of the insertion pin into a conical shape, it is possible to absorb the finished dimensional error of the sprocket hole and realize stable fitting.
第2図(a)〜(c)はいずれもそれぞれの列が同一形
状の構成で示しているが、一方の列を他の形状と組合わ
せてもよい。2 (a) to 2 (c), each row is shown as having the same shape, but one row may be combined with another shape.
以上説明したように本発明は、テープの表面と裏面とで
大きさの異なるスプロケットホールを有することにより
挿入ピンとの嵌合を改善し、スプロケットホールの破損
を防止することが可能となり、テープキャリアの製作歩
留りが改善できるのでコスト低減が計れるという効果が
ある。また、ILB時及びOLB時の位置合わせ精度が改善で
きるので組立て歩留りが計れるという効果を有する。As described above, the present invention improves fitting with the insertion pin by having sprocket holes having different sizes on the front surface and the back surface of the tape, and it is possible to prevent damage to the sprocket holes, and Since the manufacturing yield can be improved, the cost can be reduced. Further, since the alignment accuracy during ILB and OLB can be improved, there is an effect that the assembly yield can be measured.
第1図(a)は、本発明に係わる第1の実施例のテープ
キャリアの全体を表わす平面図、第1図(b)は第1図
(a)のA−A線断面図、第1図(c)は第1図(a)
のB−B線断面図、第2図(a)は本発明に係わる第2
の実施例のテープキャリアの全体を表わす平面図、第2
図(b)及び第2図(c)はスプロケットホール形状の
第3,第4の実施例を表わす平面図、第3図(a)はテー
プキャリアの全体を表わす平面図、第3図(b)はスプ
ロケットホール部の位置ズレを示す平面図、第3図
(c)は第3図(b)のC−C線断面図である。 1a,1b,1c,1d,1e,1f,1g,1h……スプロケットホール、2
……デバイスホール、3……リードフレーム。FIG. 1 (a) is a plan view showing the entire tape carrier of the first embodiment according to the present invention, and FIG. 1 (b) is a sectional view taken along the line AA of FIG. 1 (a). Figure (c) is Figure 1 (a).
2B is a sectional view taken along line BB of FIG.
2 is a plan view showing the entire tape carrier of the embodiment of FIG.
FIGS. 2B and 2C are plan views showing the third and fourth embodiments of the sprocket hole shape, FIG. 3A is a plan view showing the entire tape carrier, and FIG. 3B. ) Is a plan view showing the positional deviation of the sprocket hole portion, and FIG. 3 (c) is a sectional view taken along the line CC of FIG. 3 (b). 1a, 1b, 1c, 1d, 1e, 1f, 1g, 1h …… sprocket hall, 2
...... Device hole, 3 ...... Lead frame.
Claims (1)
ケットホールを有し、金属層1層から成るテープキャリ
アにおいて、少なくとも前記スプロケットホールがテー
プの一面から、第1の大きさを有し、かつ、前記金属層
の板厚の半分以上の深さを有する第1の開孔部と、前記
第1の開孔部と同位置の前記テープの他面から、前記第
1の大きさよりも大きい第2の大きさを有し、かつ、前
記金属層の板厚の半分以上で板厚よりも小さい深さを有
する第2の開孔部とから構成され、前記第1の開孔部の
形成領域が前記第2の開孔部の形成領域内に完全に位置
していることを特徴とする集積回路実装用キャリアテー
プ。1. A tape carrier having a device hole, a lead frame, and a sprocket hole, the tape carrier comprising one metal layer, at least the sprocket hole having a first size from one surface of the tape, and the metal. A second opening larger than the first opening from the first opening having a depth equal to or more than half the plate thickness of the layer and the other surface of the tape at the same position as the first opening. And a second opening having a depth that is not less than half the thickness of the metal layer and is smaller than the thickness of the metal layer, and the formation region of the first opening is the first opening. 2. A carrier tape for mounting an integrated circuit, wherein the carrier tape is completely located in the area where the opening 2 is formed.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29357289A JPH07118494B2 (en) | 1989-11-10 | 1989-11-10 | Tape carrier for mounting integrated circuits |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP29357289A JPH07118494B2 (en) | 1989-11-10 | 1989-11-10 | Tape carrier for mounting integrated circuits |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03154356A JPH03154356A (en) | 1991-07-02 |
JPH07118494B2 true JPH07118494B2 (en) | 1995-12-18 |
Family
ID=17796474
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP29357289A Expired - Lifetime JPH07118494B2 (en) | 1989-11-10 | 1989-11-10 | Tape carrier for mounting integrated circuits |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JPH07118494B2 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5357495A (en) * | 1992-07-02 | 1994-10-18 | Tandberg Data A/S | Stacker/autoloader system with intelligent media storage magazine control |
-
1989
- 1989-11-10 JP JP29357289A patent/JPH07118494B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
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JPH03154356A (en) | 1991-07-02 |
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