JPH0711451B2 - 分光計装置 - Google Patents

分光計装置

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JPH0711451B2
JPH0711451B2 JP62500593A JP50059387A JPH0711451B2 JP H0711451 B2 JPH0711451 B2 JP H0711451B2 JP 62500593 A JP62500593 A JP 62500593A JP 50059387 A JP50059387 A JP 50059387A JP H0711451 B2 JPH0711451 B2 JP H0711451B2
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diffraction grating
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    • H01S3/005Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
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Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 1.発明の分野 本発明は、送信−受信レーザ検出器システム、特に所定
のスペクトル線のセットのような種々の周波数に敏速に
応答することのできる分光計装置に関する。
2.関係する技術の説明 遠隔センサまたは検出器による一組のスペクトル線の相
対的大気および標的吸収の測定は逐次(直列)または同
時(並列)に行われる。並列アプローチは、所望の波長
を同時に送信することによって大気の乱れがすべての波
長に対して同じであることが保証される点で好ましい。
直列アプローチの場合、大気の乱れの変化によって帰還
信号が変化し、波長による吸収として誤って解釈される
こともある。
典型的に、n個の波長の利用可能なスペクトルの中のm
個の波長だけを伝送することが望ましい場合がある。m
個の波長の帰還信号は受信装置によって個々に測定しな
ければならない。次いで装置をn個の波長の利用可能な
スペクトルの中の異なる一組のm個の波長を送信および
受信するために同調しなければならない。特定の例とし
て、化学的遠隔センサは4つ(m=4)の異なるCO2
ペクトル線を送信し受信して4つの波長で相対的な大気
を標的吸収を測定するためにCO2レーザを使用する。異
なる時に、異なる一組の4つの線を送信し再び相対的吸
収を測定する。送信されたスペクトル線のサブセットは
約0.02ミクロン乃至2ミクロンの範囲にある選択された
線の間のスペクトル分離を有する9乃至11ミクロンの分
光領域で既知のそうでなければ可能なほぼ70(n=70)
の一組のCO2スペクトル線から選択できる。
並列モードでは、従来、種々の装置が考えられ、または
使用されている。従来技術の1例では、2つのスペクト
ル線のみが所定の時間に同時に使用される場合には(m
=2)、送信領域の偏光割当ておよび受信されたビーム
の偏光による分離を使用できるが、これは、標的の反射
性または大気中の伝送が一般的に偏光に影響を与える場
合に測定結果にシステム的誤差を生じる可能性がある。
通常、全てではないが、多くの場合に標的の反射時にか
なりの偏光が消滅し、そのため受信した信号の偏光を利
用した分離が困難になる。
送信モードでは、送信放射線中の異なるスペクトル線に
対して別々の送信放射線ビームを使用し、送信放射線ビ
ームの放射開口の区域を分割してその分割された個々の
部分を特定のスペクトル線に割当てることによってその
区域を通って特定のスペクトル線が放射されるようにす
るか、或いは別々の放射開口から各スペクトル線の送信
放射線ビームを別々に放射させることによって送信放射
線ビーム断面中の位置によってスペクトル線を区別でき
るようにすることが考えられている。しかしながら、こ
れはm個のスペクトル線を使用すると単一のスペクトル
線の送信放射線ビームのm倍の太いビームを使用し、或
いはm倍の送信放射線ビームの放射開口を必要とする欠
点を有している。さらに、このような方法は受信ビーム
については適用することはできず、受信ビームでは全て
のスペクトル線は必然的に装置の受光開口の全面にわた
って混在しているために送信の場合のような放射線ビー
ム断面中の位置によってスペクトル線を区別することは
できない。
別の従来技術の受信装置は、受信した信号のスペクトル
を分散し、可能なスペクトル線のそれぞれに対して1個
の検出素子を専用に使用し、したがって利用可能性のあ
るn個のスペクトル線に対して存在するしないにかかわ
らずn個の検出器を使用し、その中のm個のみが一度に
使用される構成の分光計を使用している。これは検出器
の数が多くなるだけではなく、波長範囲およびラインと
ラインの間のスペクトル分離のために湾曲した焦点面に
沿った約3センチメートルの長さで配置された検出器ア
レイを必要とし、特にCO2レーザに関して非実用際的で
ある。このアレイは低温に冷却し、冷却用の遮蔽をしな
ければならない。この冷却用の遮蔽は比較的効率が悪
い。それは冷却用の遮蔽はアレイの前面の位置では光の
出入のために開いていなければならないために密閉でき
ないからであり、各検出器はアレイに等間隔で配置され
るのではなく、スペクトル線の正確な波長と回折格子分
散式により定められた間隔でなければならないためアレ
イ全体の長さが長くなり、したがって開放されている部
分が大きくなり、遮蔽効率が悪くなるものである。。さ
らに多数の検出器が湾曲した焦点面にあるために、少数
の(m個の)個々に配置された検出器ではなく全体の
(n個の)検出器のアレイを使用しなければならず、そ
れが前記のように回折格子分散式により定められた間隔
で配置されなければならない。またさらにn個の可能な
スペクトル線に対してそれぞれ設けたn個の前置増幅器
または低信号レベルのスイッチング装置を得る方法を使
用しなければならないという問題がある。同様の構成を
利用した送信装置では、n個の可能な線に対してn個の
レーザを使用し、その場合にも一度に使用するのはその
内のm個のみであり、これは大きな欠点である。
受信装置では、送信されたスペクトル線以外の検出器を
使用せず、光の信号損失を最少にすることが好ましい。
これを達成する1方法は、受信した信号を分散し、構成
スペクトル線の焦点に限定されたセットの検出器を移動
することである。従来技術では、受信したエネルギーの
スペクトルは回折格子で分散し、受信したスペクトル線
の焦点スポットは、線の結合が正確に伝送することによ
って、CO2システムに対して0.5mm乃至4cmの範囲の空間
距離だけ分離できる。直線的寸法は光の焦点距離を選択
することによって拡大または縮小されるが、最長間隔と
最短間隔の範囲は40:1のままである。所定の時に、いく
つかのまたはすべての必要なスペクトル線は隣接し、検
出器は連続的に1/2mmの間隔だけ離れている必要があ
る。或は所定の時にラインを広く分離し、関係する検出
器は4cmだげ離れている必要がある。検出器と低温冷却
器が1/2mmの直径でない限り、検出器を適当な位置に移
動させることは不可能である。検出器をそのように移動
でき、または一組の固定した検出器をはっきり区別した
光の列と共に使用したとしても、必要な実際の機械動作
には非常に複雑なシステムでなければならない。大きく
機械的動作による装置はスペクトル線のセットの間で切
換えるために必要な時間が長くなる。同様の機械動作の
問題によって分散システムを後方に構成することによっ
てm個の光源からのm個のスペクトル線を共通孔に結合
する送信装置が必要となる。
さらに別の従来技術は、受信したビームを送信されるス
ペクトル線の数に等しいビームの数に分割するビームス
プリッタを使用し、次いでスプリットした各ビームに対
して回折格子と単一の検出器を使用する。各回折格子
は、既知のスペクトル線の一つを検出器に向け、従って
各スプリットされたビームのエネルギーの残りが損失と
なる。これはm個のスペクトル線システムが係数mの損
失を受けるという点で効果的ではない。
同様の送信装置の問題はビームスプリッタを使用して送
信装置を重ねることで解決されるが、これはm個のレー
ザ装置に対して送信装置エネルギーの係数mを捨てるこ
とになる。
本発明では、m個のレーザとm個の検出器を使用するこ
とのみが必要であるに過ぎない。レーザは所望のセット
のm個のスペクトル線に内部的に同調され、回折格子は
m個のレーザビームを共通出力開口に重ねるために使用
される。受信端では、回折格子はm個のスペクトル線を
分離し、m個の信号をm個の検出器のみに向ける。本発
明は、送信および受信機能の両方を達成する実際的でコ
ンパクトな方法を提供する。
発明の概要 本発明の主要な目的は、受信モードにおいて固定された
位置にある1組の放射線検出器がスペクトル線群の一部
である所定の1組のスペクトル線に対して同時に並列に
感知することが可能な光学装置を提供することである。
さらに本発明の別の目的は、1組のスペクトル線を出力
する放射線源が送信に使用される放射開口でそれらのス
ペクトル線の放射線ビームを光学的に重ねることできる
ように動作する送信モードの光学装置を提供することで
ある。
本発明の別の目的は、波長と無関係に種々の予め定めた
波長の放射線に関して所定の1組の焦点位置に到達する
ように回折モード、反射モード、そして再度回折モード
で光学装置で動作することができるようにすることであ
る。
本発明のさらに別の目的は、所定の時間においてスペク
トル線群の一部である所定の1組のスペクトル線を同時
に回折できる装置を提供することである。
本発明の分光計装置は、複数の電磁波スペクトル線を含
む放射線ビームに対してその中の一部の任意の1組のス
ペクトル線のプログラム可能な分散を行わせる分光計装
置において、 (a)前記複数のスペクトル線の一部である1組の複数
のスペクトル線の放射線ビームを受けて各スペクトル線
に対して予め定められている位置に向けて各スペクトル
線に特有の方向に導くように放射線ビームを分解する第
1の分散手段と、 (b)前記予め定められた位置において前記第1の分散
手段からの分解されたスペクトル線を受けてそれぞれ所
定の傾斜によって決定された方向にそのスペクトル線を
反射するように構成された前記複数のスペクトル線の数
に等しい数の反射手段と、 (c)波長に無関係に予め定められた領域に再構成する
ために前記反射手段から反射された各スペクトル線を受
ける第2の分散手段とを備えていることを特徴とする。
図面の簡単な説明 本発明の多数の他の目的、利点、および特徴は以下の説
明、請求の範囲、および添附図面から明らかとなるであ
ろう。
本発明の特別な実施例の特徴は図示に示され、 第1図は、受信装置としての光装置の概要図であり、 第2図は、送信装置としての光装置の概要図であり、 第3図は、湾曲した焦点ミラーを備えた光受信装置の概
要図である。
第4図は、第1図の光受信装置に代わる湾曲した回折格
子を備えた装置の概要図であり、 第5図は、第3図に示された受信装置を送信装置に変更
した構成の概要図である。
発明の詳細な説明 第1図乃至第5図を参照すると、第1図には、本発明の
目的を達成する光受信装置が符号10で示されている。
第1図に示される光受信装置10は、特有の波長を有する
CO2に対する既知の70の可能なスペクトル線のセットか
ら選択された4つのスペクトル線30a−d(光源は図示
されない)のグループからなる入射電磁放射線が示され
る。放射30a−dは比較的離れた光受信装置10にビーム4
0で一組に集合して放射される。集合ビーム40は回折格
子60によって受信されて回折または分解され、分解され
た波長に対して1つづつ割当てられている傾斜動作が可
能なミラー65a〜dに特定された波長のビーム30a′〜
d′として導かれる。この実施例ではこのような分解さ
れた特定された波長のビームの数は全部で70であるが、
図面を簡明にするためにその中の4つのみが示されてい
る。これらのミラー65a〜dから反射されたビーム30a″
〜d″は回折格子60の別の部分で再び回折または分解さ
れ、一組の光検出器70a〜dに対してビーム30a〜d
として回折される。第2の回折は第1の回折によって導
入された進行方向の波長依存性を除去するように作用
し、そのため図示の4つのビーム30a〜dの方向は
4つのミラー65a〜dの配列方向(傾斜方向)によって
のみ決定される。
特に、光受信装置10に対して、ミラー65a〜dは入射す
る回折光線30a′〜d′に関して正確な再帰反射(図示
されない)するように設定されるならば、反射したスペ
クトル線30a″〜d″のそれぞれの回折の角度は各波長
に依存し、スペクトル線30a〜dは元の分散される
前のビーム40上に正確に位置される。しかしながら、第
1図に示されるようなこの発明の実施例では、ミラー65
a〜dは異なる量だけそれぞれ傾斜される。再構成した
後の構成成分の方向30a〜dは波長に依存せず、ミ
ラー65a〜dによって導入された傾斜に依存する。この
傾斜は2つの部分、すなわち主として元の分散されてい
ないビームまたはスペクトル線30a〜dの光路からビー
ムを逸らすための基本的量と、それに加えて異なる反射
されたスペクトル線30a〜dを十分に区別するため
の余分な少量の角度からなる。ミラー65a〜dのそれぞ
れ傾斜方向が紙面の外にあり、再構成されたビーム30a
〜dもまた紙面の外にあるようにすることもできる
(図示されない)。
第2図には、受信装置10と同じ原理を使用するがその逆
の送信モードの装置として構成された本発明の光学装置
80が示されている。送信装置は前と同様に70個のCO2
特有のスペクトル線のセットから選択されたスペクトル
線に設定された4つのCO2レーザ90のグループからな
る。ビーム100a−dはレーザグループ90a−dから回折
格子110に出力し、ビーム100a′〜d′の一つとして回
折される。この実施例では70である(明確に示すために
4つのみを示した)の4つの傾斜動作可能なミラー120a
〜dは回折ビーム100a′〜d′を受信して反射するよう
に動作する。受信したビーム100a′〜d′はミラー120a
〜dによりビーム100a″〜d″として回折格子110に反
射され、それらは回折格子110によって回折されて反射
され個々のビーム100a〜dを有する集合ビーム140
として出力する。
別の実施例は第3図に示されるような受信装置10′を具
備し、この装置は前の実施例と同様に平らな回折格子16
0、傾斜ミラー165、および検出器170を有するが、さら
に回折格子160と傾斜ミラー165との間に介在して配置さ
れた湾曲した焦点ミラー150(またはレンズでもよい)
を有している。図には1つの入射スペクトル線175のみ
が示されているが、これは構成の複雑さが増加したので
図面を明瞭化するために1つだけ示しているものであ
る。介在して配置された湾曲したミラーはミラー165に
そのミラーに対応する波長のラインのビーム175が入射
するときに他の波長のビーム(図示されない)を分離す
るのに必要な光路長を短くするように動作する。
図示されない別の実施例として元の格子に戻らずに再構
成するために独立した第2の回折格子にビームを方向付
けることも可能である。
CO2の場合のような非常に広いスペクトルでは、第4図
に示されるような湾曲した回折格子が最適であると考え
られる。例示的な動作モードでは、25cmの焦点距離、し
たがって50cmの曲率半径を有する約150ライン/mmの回折
格子250および前記70個のミラー(そのうちの2個260a,
bが図示されている)は約10cmの長さ×1/2mmの幅の面積
をカバーし、各ミラー260a,bは約1/2mmを横切る。焦点
面は25cmの直径の円であり、湾曲した格子250に接して
いる。回折角度の範囲が広いために、格子250は平面か
ら外れて傾斜していてもよく、または紙面に対して垂直
ではない溝を有していてもよい。そのために回折された
ビーム270a′,b′およびミラー260a,bは紙面の平面より
前方にあり、入射した分散していないビーム270を妨害
しない。ミラー260a,bの傾斜角度は紙面の平面の外側に
あり、逸れて分解したビーム(図示されない)も紙面内
にはない。
さらに第4図のCO2装置と同じ幅のスペクトルを有する
装置では、スペクトルの範囲全体にわたる格子の効率に
顕著な変化がある。さらに、再構成に対する格子の効率
は分解のときとは異なる。分解の効率は、CO2スペクト
ルの範囲にわたって0.95乃至0.75の変化をする。しかし
ながら、再構成の効率は分散されていないビームから離
れた角度を有する領域で低く、この場合、再構成に対し
て別の第2の格子(図示されない)を使用すれば効率を
増加させることができる。
受信装置としての本発明の別の実施例に対して説明さ
れ、受信モードの逆である送信モードで使用される装置
についてもまた第2図について示され説明された。受信
装置に比較して送信装置では高い放射照度を可能にする
必要が多く、そのためにいくつかの構成の修正が必要で
ある。特に、第3図および第4図の装置を送信装置とし
て構成するとき、ミラー165および260a,bのようなミラ
ーにビームの焦点を結ばせると高い放射照度のエネルギ
によって加熱されてミラーを破壊するおそれがある。こ
の場合、ビームは許容可能なレベルに入射光を減少させ
るのに十分な大きさに焦点を越えて拡大しなければなら
ず、それに次いで湾曲したミラーを使用してビームを戻
して波頭の湾曲を整合させる必要がある(ビームを焦点
より前方で受けることも可能であるが、他のスペクトル
線との間の空間的な分離は通常その位置ではまだ十分で
はない)。入射光を減少させるためには、隣接するスペ
クトル線が空間的に重ならずにビームを拡大するような
空間がビームに必要であるため、受信装置には長い光路
を使用するような他の変更が必要である。この入射光の
問題を許容する第3図の装置の送信装置としての構成の
変更は第5図に示されている。
第5図には、複数の光源の一つである光源370(他は示
されない)は回折格子360を照射する。回折光330は点36
5で焦点を結ぶために焦点ミラー350で反射される。次い
でビームは使用可能なスペクトル線に対して一つづつ設
けられたミラー366の位置で拡大する(他のミラーは図
示されていない)。ミラー366は先に説明されたように
直接的再帰反射の角度からずれるように傾斜しており、
反射したビームは回折格子360に戻り、回折されたビー
ム340は出力孔の方向に導かれる。
好ましい実施例は広いスペクトル線を有するCO2レーザ
光源によって説明されたが、コヒーレントおよびコヒー
レントではない任意の形態の放射線が使用される。
さらに、分散素子は回折格子とプリズムを含むことを理
解すべきである。反射素子はミラーだけではなく透過レ
ンズおよびプリズムによって構成されることができるこ
とに注意されたい。
本発明の実施例は装置に関して説明されたが、当業者に
は本発明の技術的範囲と請求の範囲から離れることなく
他の修正や変更が可能であることが理解されるであろ
う。

Claims (22)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数の電磁波スペクトル線を含む放射線ビ
    ームに対してその中の一部の任意の1組のスペクトル線
    のプログラム可能な分散を行わせる分光計装置におい
    て、 (a)前記複数のスペクトル線の一部である1組のスペ
    クトル線の放射線ビームを受けて各スペクトル線に対し
    て予め定められている位置に向けて各スペクトル線に特
    有の方向に導くように放射線ビームを分解する第1の分
    散手段と、 (b)前記予め定められた位置において前記第1の分散
    手段からの分解されたスペクトル線を受けてそれぞれ所
    定の傾斜によって決定された方向にそのスペクトル線を
    反射するように構成された前記複数のスペクトル線の数
    に等しい数の反射手段と、 (c)波長に無関係に予め定められた領域に再構成する
    ために前記反射手段から反射された各スペクトル線を受
    ける第2の分散手段とを備えていることを特徴とする分
    光計装置。
  2. 【請求項2】前記第1の分散手段は回折格子である請求
    の範囲第1項記載の分光計装置。
  3. 【請求項3】前記第1の分散手段はプリズムである請求
    の範囲第1項記載の分光計装置。
  4. 【請求項4】前記反射手段はミラーのアレイである請求
    の範囲第1項記載の分光計装置。
  5. 【請求項5】前記反射手段は反射素子のアレイである請
    求の範囲第1項記載の分光計装置。
  6. 【請求項6】前記第2の分散手段は回折格子である請求
    の範囲第1項記載の分光計装置。
  7. 【請求項7】前記第2の分散手段はプリズムである請求
    の範囲第1項記載の分光計装置。
  8. 【請求項8】前記第1の分散手段と前記反射手段との間
    に配置され、各反射手段に入射するまでの分解されたス
    ペクトル線の各波長を分離するために必要な光路長を短
    くするために前記第1の分散手段からの光を前記反射手
    段に向けて反射する湾曲したミラー手段を備えている請
    求の範囲第1項記載の分光計装置。
  9. 【請求項9】放射線ビームに含まれている複数のスペク
    トル線を光学的に感知する受信装置として構成されてい
    る分光計装置において、 (a)前記複数のスペクトル線の一部である1組のスペ
    クトル線のコヒーレントな放射線ビームを受けて各スペ
    クトル線に対して予め定められている位置に向けて各ス
    ペクトル線について特有の方向に回折する第1の格子手
    段と、 (b)所定の傾斜によって決定された入射角度に対して
    反射するために前記予め定められた位置において前記第
    1の格子手段からの回折されたスペクトル線を受けるよ
    うに構成されている前記複数のスペクトル線の数に等し
    い数のミラー手段と、 (c)予め定められた地点にそれぞれ再構成するために
    前記ミラー手段から反射された各スペクトル線を受ける
    第2の格子手段と、 (d)波長に無関係に予め定められた地点で再構成され
    た各スペクトル線を感知するために前記第2の回折格子
    手段からの再構成されたスペクトル線を受けるように構
    成された前記再構成されたスペクトル線の数に等しい数
    の検出手段とを具備していることを特徴とする受信装置
    として構成されている分光計装置。
  10. 【請求項10】前記第1の格子手段は回折格子である請
    求の範囲第9項記載の装置。
  11. 【請求項11】前記ミラー手段はミラーアレイである請
    求の範囲第9項記載の装置。
  12. 【請求項12】前記第2の格子手段は回折格子である請
    求の範囲第9項記載の装置。
  13. 【請求項13】前記第1の格子手段が回折格子であり、
    前記第2の格子手段が回折格子である請求の範囲第9項
    記載の装置。
  14. 【請求項14】前記検出手段は光検出器のセットである
    請求の範囲第9項記載の装置。
  15. 【請求項15】前記第1の格子手段と前記ミラー手段と
    の間に配置され、各反射手段に入射するまでの回折され
    たスペクトル線の各波長を分離するために必要な光路長
    を短くするために前記第1の格子手段からの光を前記ミ
    ラー手段に向けて反射する湾曲したミラー手段を備えて
    いる請求の範囲第9項記載の装置。
  16. 【請求項16】複数のスペクトル線の一部である1組の
    スペクトル線を光学的に出力する送信装置として構成さ
    れている分光計装置において、 (a)前記複数のスペクトル線の一部である1組のスペ
    クトル線の波長の放射線ビームを発生する放射手段と、 (b)前記放射手段から発生されたビームを受信して各
    スペクトル線に対して予め定められている領域に向けて
    分散させる第1の回折手段と、 (c)所定の傾斜によって決定した方向に反射するため
    に各領域で前記第1の回折手段からの分散したスペクト
    ル線を受ける前記複数のスペクトル線の数と等しい数の
    ミラー手段と、 (d)波長と無関係に予め定められた領域に再構成する
    ために前記ミラー手段からの反射したスペクトル線を受
    ける第2の回折手段とを備えていることを特徴とする送
    信装置として構成されている分光計装置。
  17. 【請求項17】前記放射手段はレーザであり、前記放射
    線ビームはコヒーレントなビームである請求の範囲第16
    項記載の装置。
  18. 【請求項18】前記放射手段はレーザアレイである請求
    の範囲第16項記載の装置。
  19. 【請求項19】前記第1の回折手段は回折格子である請
    求の範囲第16項記載の装置。
  20. 【請求項20】前記ミラー手段はミラーアレイである請
    求の範囲第16項記載の装置。
  21. 【請求項21】前記第2の回折手段は回折格子である請
    求の範囲第16項記載の装置。
  22. 【請求項22】前記第1の回折手段と前記ミラー手段と
    の間に配置され、各ミラー手段に入射するまでの分散さ
    れたスペクトル線の各波長を分離するために必要な光路
    長を短くするために前記第1の回折手段からの光を前記
    ミラー手段に向けて反射する湾曲したミラー手段を備え
    ている請求の範囲第16項記載の装置。
JP62500593A 1986-01-27 1986-12-19 分光計装置 Expired - Lifetime JPH0711451B2 (ja)

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