JPH07112522B2 - 洗浄溶剤回収装置 - Google Patents
洗浄溶剤回収装置Info
- Publication number
- JPH07112522B2 JPH07112522B2 JP62314658A JP31465887A JPH07112522B2 JP H07112522 B2 JPH07112522 B2 JP H07112522B2 JP 62314658 A JP62314658 A JP 62314658A JP 31465887 A JP31465887 A JP 31465887A JP H07112522 B2 JPH07112522 B2 JP H07112522B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- gas
- solvent
- cleaning
- cooling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/10—Greenhouse gas [GHG] capture, material saving, heat recovery or other energy efficient measures, e.g. motor control, characterised by manufacturing processes, e.g. for rolling metal or metal working
Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 この発明は、例えば、半導体や電子機器その他のワーク
洗浄に用いるR113および塩素系溶剤より発生したガスを
回収するような洗浄溶剤回収装置に関する。
洗浄に用いるR113および塩素系溶剤より発生したガスを
回収するような洗浄溶剤回収装置に関する。
（ロ）従来の技術 従来、上述例の半導体や電子機器その他の各種ワークの
洗浄には、R113（CCl2FCClF2、化学名は1,1,2−トリク
ロル−1,2,2−トリフルオルエタン）や塩素系溶剤等が
用いられているが、R113および塩素系溶剤が洗浄中に溶
剤ガスとして大気中に流出し、大気汚染の要因となる。
洗浄には、R113（CCl2FCClF2、化学名は1,1,2−トリク
ロル−1,2,2−トリフルオルエタン）や塩素系溶剤等が
用いられているが、R113および塩素系溶剤が洗浄中に溶
剤ガスとして大気中に流出し、大気汚染の要因となる。
このような溶剤ガスの流出を防止し、同溶剤より発生し
たガスを回収するため、従来においては活性炭（アクテ
ィブカーボン）による吸着ロータを有する活性炭吸着装
置などの回収装置が用いられていたが、ガス吸着能力が
低いため装置が大型化し、また管理が煩雑なうえ、コス
ト高となり、加えて既存の溶剤洗浄機とのユニット化が
困難となる等の諸種の問題点を有していた。
たガスを回収するため、従来においては活性炭（アクテ
ィブカーボン）による吸着ロータを有する活性炭吸着装
置などの回収装置が用いられていたが、ガス吸着能力が
低いため装置が大型化し、また管理が煩雑なうえ、コス
ト高となり、加えて既存の溶剤洗浄機とのユニット化が
困難となる等の諸種の問題点を有していた。
（ハ）発明が解決しようとする課題 この発明は、洗浄溶剤ガスの完全な回収と、回収した洗
浄溶剤ガスのガス濃度を高めて冷却液化することで、濃
度の薄いガスでも充分回収液化することができて、回収
能力の向上を図ると共に、装置の小型化を図ることがで
き、しかもガスを冷却液化する際に圧力と冷却とを併用
することで、冷却液化効率の大幅な向上を図ることがで
きる洗浄溶剤回収装置の提供を目的とする。
浄溶剤ガスのガス濃度を高めて冷却液化することで、濃
度の薄いガスでも充分回収液化することができて、回収
能力の向上を図ると共に、装置の小型化を図ることがで
き、しかもガスを冷却液化する際に圧力と冷却とを併用
することで、冷却液化効率の大幅な向上を図ることがで
きる洗浄溶剤回収装置の提供を目的とする。
（ニ）課題を解決するための手段 この発明は、洗浄溶剤槽のガス層に、溶剤ガスを吸引す
る吸気ラインを接続し、この吸気ラインにガス濃度を高
化する圧縮機を介して高圧冷却塔を接続すると共に、上
記高圧冷却塔の内部には、溶剤より発生したガスをプラ
ス圧〜5kg/cm2の高圧条件下で冷却液化する蒸発器を配
設した洗浄溶剤回収装置であることを特徴とする。
る吸気ラインを接続し、この吸気ラインにガス濃度を高
化する圧縮機を介して高圧冷却塔を接続すると共に、上
記高圧冷却塔の内部には、溶剤より発生したガスをプラ
ス圧〜5kg/cm2の高圧条件下で冷却液化する蒸発器を配
設した洗浄溶剤回収装置であることを特徴とする。
（ホ）作 用 この発明によれば、洗浄溶剤槽から上方に流動して大気
中に流出しようとする溶剤より発生したガスは、圧縮機
の駆動により吸気ラインを介して吸引圧縮されて高濃度
となり、この高濃度となったガスは高圧冷却塔内におい
て、この高圧冷却塔と蒸発器との相乗作用でプラス圧〜
5kg/cm2の高圧条件下にて冷却液化される。
中に流出しようとする溶剤より発生したガスは、圧縮機
の駆動により吸気ラインを介して吸引圧縮されて高濃度
となり、この高濃度となったガスは高圧冷却塔内におい
て、この高圧冷却塔と蒸発器との相乗作用でプラス圧〜
5kg/cm2の高圧条件下にて冷却液化される。
（ヘ）発明の効果 この結果、洗浄溶剤槽から直接吸気ラインを介して洗浄
溶剤ガスを吸引回収し、圧縮機に供給するので、洗浄溶
剤槽から圧縮機までの間で洗浄溶剤ガスの漏れがなく、
完全な回収ができる。
溶剤ガスを吸引回収し、圧縮機に供給するので、洗浄溶
剤槽から圧縮機までの間で洗浄溶剤ガスの漏れがなく、
完全な回収ができる。
さらに、回収した洗浄溶剤ガスは圧縮機で、その濃度が
高められると共に、内部に蒸発器を配設した高圧冷却塔
によって圧力と冷却との併用により冷却液化することが
できるので、濃度の薄いガスでも充分回収液化すること
ができて、回収能力の向上を図ると共に、装置の小型化
を図ることができる効果がある。しかも上述の高圧冷却
塔の内部においてガスを冷却液化する際に圧力と冷却と
を併用するので、冷却液化効率の大幅や向上を図ること
ができる効果がある。
高められると共に、内部に蒸発器を配設した高圧冷却塔
によって圧力と冷却との併用により冷却液化することが
できるので、濃度の薄いガスでも充分回収液化すること
ができて、回収能力の向上を図ると共に、装置の小型化
を図ることができる効果がある。しかも上述の高圧冷却
塔の内部においてガスを冷却液化する際に圧力と冷却と
を併用するので、冷却液化効率の大幅や向上を図ること
ができる効果がある。
また、回収液化した洗浄液溶剤は再利用に供することが
できるので、溶剤消費量の低減を図ることができると共
に、洗浄溶剤ガスによる大気汚染を防止することができ
る効果がある。
できるので、溶剤消費量の低減を図ることができると共
に、洗浄溶剤ガスによる大気汚染を防止することができ
る効果がある。
加えて、簡単な装置および配管を付加することで、既存
の溶剤洗浄装置に対して容易に取付けることができて、
ユニット化が可能となる効果がある。
の溶剤洗浄装置に対して容易に取付けることができて、
ユニット化が可能となる効果がある。
（ト）実施例 この発明の一実施例を以下図面に基づいて詳述する。
図面は洗浄溶剤回収装置を示し、例えば内部にR113等の
溶剤を貯溜したフロン洗浄機１を設け、このフロン洗浄
機１のフロンガス層上部に張架した冷却手段（冷却コイ
ルや冷却ジャケット等）の上側部には、溶剤ガスを吸引
する吸気ライン２を接続している。
溶剤を貯溜したフロン洗浄機１を設け、このフロン洗浄
機１のフロンガス層上部に張架した冷却手段（冷却コイ
ルや冷却ジャケット等）の上側部には、溶剤ガスを吸引
する吸気ライン２を接続している。
この吸気ライン２には吸引ガスを圧縮して、ガス濃度を
高化する圧縮機３を介して高圧冷却塔４を接続すると共
に、この高圧冷却塔４内の略中央には、溶剤より発生し
たガスを高圧（プラス圧〜5kg/cm2）条件下で冷却液化
する第１蒸発器５を配設している。
高化する圧縮機３を介して高圧冷却塔４を接続すると共
に、この高圧冷却塔４内の略中央には、溶剤より発生し
たガスを高圧（プラス圧〜5kg/cm2）条件下で冷却液化
する第１蒸発器５を配設している。
この第１蒸発器５は冷凍サイクルの熱交換器で、R11、R
12、R22等の冷媒を用いる冷凍機において、圧縮機の吐
出側に凝縮器、受液器、液電磁弁、膨張機構（膨張弁や
キャピラリーチューブ）を介して上述の第１蒸発器５を
接続し、この第１蒸発器５の後位をアキュームレータを
介して圧縮機に接続して冷凍サイクルを構成する。
12、R22等の冷媒を用いる冷凍機において、圧縮機の吐
出側に凝縮器、受液器、液電磁弁、膨張機構（膨張弁や
キャピラリーチューブ）を介して上述の第１蒸発器５を
接続し、この第１蒸発器５の後位をアキュームレータを
介して圧縮機に接続して冷凍サイクルを構成する。
上述の冷凍サイクルは周知の如く、圧縮機の駆動によ
り、同圧縮機で圧縮され高圧となった冷媒が、凝縮器に
送られ、ここで液化して受液器に至った後に、この高圧
冷媒は液電磁弁を介して膨張機構に導びかれ、この膨張
機構で絞り膨張されて低圧となった冷媒は上述の第１蒸
発器５に入り、周囲より熱を奪って蒸発して蒸発ガスと
なり、アキュムレータを介して再び圧縮機に吸い込まれ
る。
り、同圧縮機で圧縮され高圧となった冷媒が、凝縮器に
送られ、ここで液化して受液器に至った後に、この高圧
冷媒は液電磁弁を介して膨張機構に導びかれ、この膨張
機構で絞り膨張されて低圧となった冷媒は上述の第１蒸
発器５に入り、周囲より熱を奪って蒸発して蒸発ガスと
なり、アキュムレータを介して再び圧縮機に吸い込まれ
る。
前述の高圧冷却塔４の液溶剤貯溜部位としての底部と、
フロン洗浄機１内の蒸溜槽（図示せず）上部との間に
は、第１電磁弁６および第１液体ポンプ７を介設した第
１リターン路８を接続して、上述の第１蒸発器５で冷却
液化された液溶剤をフロン洗浄機１の所定部に還流すべ
く構成している。
フロン洗浄機１内の蒸溜槽（図示せず）上部との間に
は、第１電磁弁６および第１液体ポンプ７を介設した第
１リターン路８を接続して、上述の第１蒸発器５で冷却
液化された液溶剤をフロン洗浄機１の所定部に還流すべ
く構成している。
上述の高圧冷却塔４の上部には第１送気管９を介して高
圧活性炭吸着塔10を接続している。
圧活性炭吸着塔10を接続している。
この高圧活性炭吸着塔10の内部中央にはアクティブカー
ボン（activated carbon）による吸着ロータなどの活性
炭層11…を上下に離間して複数層例えば合計３層配設
し、かつ、これら活性炭層11,11間にはヒートポンプ装
置（図示せず）に接続した熱交換器12,12を配設してい
る。
ボン（activated carbon）による吸着ロータなどの活性
炭層11…を上下に離間して複数層例えば合計３層配設
し、かつ、これら活性炭層11,11間にはヒートポンプ装
置（図示せず）に接続した熱交換器12,12を配設してい
る。
上述の熱交換器12,12は上述のヒートポンプ装置の四路
切換弁（図示せず）等の切換制御で、ガス吸着時には活
性炭層11,11を冷却するエバポレータ（蒸発器）として
作用する一方、ガス脱離時には活性炭層11,11を加熱す
るコンデンサ（凝縮器）として作用する。
切換弁（図示せず）等の切換制御で、ガス吸着時には活
性炭層11,11を冷却するエバポレータ（蒸発器）として
作用する一方、ガス脱離時には活性炭層11,11を加熱す
るコンデンサ（凝縮器）として作用する。
また、前述の高圧活性炭吸着塔10の上部塔外には、この
高圧活性炭吸着塔10内を所定高圧に保持する開弁制御可
能な圧力調整弁13を接続し、この圧力調整弁13の設定圧
を圧縮機吐出圧力と対応する圧力に設定している。
高圧活性炭吸着塔10内を所定高圧に保持する開弁制御可
能な圧力調整弁13を接続し、この圧力調整弁13の設定圧
を圧縮機吐出圧力と対応する圧力に設定している。
この圧力調整弁13の前位つまり上流側には、第２電磁弁
14を介設した第２送気管15を介して、減圧冷却塔16を接
続している。
14を介設した第２送気管15を介して、減圧冷却塔16を接
続している。
そして、この減圧冷却塔16の内部の略中央には第２蒸発
器17を配設する一方、この減圧冷却塔16の液溶剤貯溜部
位としての底部と、前述のフロン洗浄機１内の蒸溜槽上
部との間には第３電磁弁18および第２液体ポンプ19を介
設した第２リターン路20を接続して、上述の蒸発器17で
冷却液化された液溶剤を還流すべく構成している。
器17を配設する一方、この減圧冷却塔16の液溶剤貯溜部
位としての底部と、前述のフロン洗浄機１内の蒸溜槽上
部との間には第３電磁弁18および第２液体ポンプ19を介
設した第２リターン路20を接続して、上述の蒸発器17で
冷却液化された液溶剤を還流すべく構成している。
さらに、上述の減圧冷却塔16と前述の圧縮機３の吸込み
側との間には、第４電磁弁21および逆止弁22を介設した
減圧ライン23を接続して、該冷却塔16に対するガス投入
前に同冷却塔16内を負圧に減圧制御することで、塔容積
の小型化を図っている。
側との間には、第４電磁弁21および逆止弁22を介設した
減圧ライン23を接続して、該冷却塔16に対するガス投入
前に同冷却塔16内を負圧に減圧制御することで、塔容積
の小型化を図っている。
図示実施例は上記の如く構成するものにして、以下作用
を説明する。
を説明する。
フロン洗浄機１でのワーク洗浄に際して、ワークの出し
入れにともなって上方へ流動しようとする溶剤より発生
したガスは、圧縮機３の駆動により前述の吸気ライン２
を介して吸引され、この吸引ガスは、圧縮機３で圧縮さ
れて、ガス濃度が高くなる。
入れにともなって上方へ流動しようとする溶剤より発生
したガスは、圧縮機３の駆動により前述の吸気ライン２
を介して吸引され、この吸引ガスは、圧縮機３で圧縮さ
れて、ガス濃度が高くなる。
上述の圧縮機３により高濃度化されたガスは高圧冷却塔
４内に流入し、蒸発器５の作用によって所定高圧下（例
えばプラス圧〜5kg/cm2）で冷却液化する。つまり高圧
冷却塔４による圧力と、蒸発器５による冷却との相乗効
果により、ガスが冷却液化する際の効率を大幅に高める
ことができる効果がある。
４内に流入し、蒸発器５の作用によって所定高圧下（例
えばプラス圧〜5kg/cm2）で冷却液化する。つまり高圧
冷却塔４による圧力と、蒸発器５による冷却との相乗効
果により、ガスが冷却液化する際の効率を大幅に高める
ことができる効果がある。
冷却液化された液溶剤は上述の高圧冷却塔４底部に貯溜
し、第１電磁弁６の開弁および第１液体ポンプ７の駆動
時に第１リターン路８を介してフロン洗浄機１の蒸溜槽
に還流され、再利用に供される。
し、第１電磁弁６の開弁および第１液体ポンプ７の駆動
時に第１リターン路８を介してフロン洗浄機１の蒸溜槽
に還流され、再利用に供される。
上述の蒸発器５の作用で液化されない比較的低濃度のガ
スは、第１送気管９を介して次段の高圧活性炭吸着塔10
内に送気される。
スは、第１送気管９を介して次段の高圧活性炭吸着塔10
内に送気される。
この高圧活性炭吸着塔10は、複数の活性炭層11に対する
ガス吸着時に、塔内を前述の圧力調整弁13の設定圧に保
持すると共に、活性炭層11,11間に介設した熱交換器12
をエバポレータとして作用させ、斯る加圧、冷却の両条
件により活性体層11におけるアクティブカーボンの吸着
能力を大幅に高めるので、前述の低濃度ガスはその分子
がアクティブカーボンの界面（interface）部分に高効
率で吸着処理される。
ガス吸着時に、塔内を前述の圧力調整弁13の設定圧に保
持すると共に、活性炭層11,11間に介設した熱交換器12
をエバポレータとして作用させ、斯る加圧、冷却の両条
件により活性体層11におけるアクティブカーボンの吸着
能力を大幅に高めるので、前述の低濃度ガスはその分子
がアクティブカーボンの界面（interface）部分に高効
率で吸着処理される。
このようにして活性炭層11に吸着（adsorption）された
ガス分子を脱離（desorption）するには、まず圧力調整
弁13を開弁して高圧活性炭吸着塔10内を減圧し、次に圧
力調整弁13を閉弁する。
ガス分子を脱離（desorption）するには、まず圧力調整
弁13を開弁して高圧活性炭吸着塔10内を減圧し、次に圧
力調整弁13を閉弁する。
次に減圧ライン23に介設した第４電磁弁21を開弁して圧
縮機３の駆動で予め次段の減圧冷却塔16内を負圧に減圧
処理した後に、第４電磁弁21を閉弁する。
縮機３の駆動で予め次段の減圧冷却塔16内を負圧に減圧
処理した後に、第４電磁弁21を閉弁する。
次に第２送気管15を介設した第２電磁弁15を開弁すると
共に、ヒートポンプ装置に接続した前述の熱交換器12…
を四路切換弁等の切換制御によりコンデンサとして作用
させると、活性炭層11…は減圧条件下で加熱されるの
で、この活性炭層11…に吸着した低濃度ガスはアクティ
ブカーボンから脱離し、第２送気管15を介して減圧冷却
塔16内に送気される。
共に、ヒートポンプ装置に接続した前述の熱交換器12…
を四路切換弁等の切換制御によりコンデンサとして作用
させると、活性炭層11…は減圧条件下で加熱されるの
で、この活性炭層11…に吸着した低濃度ガスはアクティ
ブカーボンから脱離し、第２送気管15を介して減圧冷却
塔16内に送気される。
この減圧冷却塔16内に流入した低濃度ガスは第２蒸発器
17の作用によって冷却液化され、冷却液化された液溶剤
は該減圧冷却塔16底部に貯溜する。
17の作用によって冷却液化され、冷却液化された液溶剤
は該減圧冷却塔16底部に貯溜する。
そして、第３電磁弁18の開弁および第２液体ポンプ19の
駆動時に第２リターン路20を介して上述の液溶剤がフロ
ン洗浄機１の蒸溜槽に還流されて、再利用に供される。
駆動時に第２リターン路20を介して上述の液溶剤がフロ
ン洗浄機１の蒸溜槽に還流されて、再利用に供される。
なお、前述の第１リターン路８と第２リターン路20並び
に第１液体ポンプ７と第２液体ポンプ19とは何れか一方
のみに単一化して各塔4,16で共用してもよい。
に第１液体ポンプ７と第２液体ポンプ19とは何れか一方
のみに単一化して各塔4,16で共用してもよい。
以上要するに、回収した溶剤ガスのガス濃度を高めて圧
力と冷却との併用により冷却液化することができるの
で、濃度の薄いガスでも充分に回収液化することができ
て、回収能力の大幅な向上を図ることができ、しかも、
上述の高圧冷却塔４の内部においてガスを冷却液化する
際に、圧力と冷却とを併用するので、圧力と冷却との相
乗効果により、冷却液化効率の大幅な向上を図ることが
でき、また装置の小型化を図ることができる効果があ
る。
力と冷却との併用により冷却液化することができるの
で、濃度の薄いガスでも充分に回収液化することができ
て、回収能力の大幅な向上を図ることができ、しかも、
上述の高圧冷却塔４の内部においてガスを冷却液化する
際に、圧力と冷却とを併用するので、圧力と冷却との相
乗効果により、冷却液化効率の大幅な向上を図ることが
でき、また装置の小型化を図ることができる効果があ
る。
加えて、回収液化した液溶剤を再利用に供することがで
きるので、溶剤消費量の低減を図ることができると共
に、溶剤ガスによる大気汚染を防止することができる効
果がある。
きるので、溶剤消費量の低減を図ることができると共
に、溶剤ガスによる大気汚染を防止することができる効
果がある。
さらに、構造が簡単かつ小型コンパクトであるから、例
えばフロン洗浄装置などの洗浄装置に対して容易に取付
けることができて、洗浄装置と回収装置との一体ユニッ
ト化を図ることが可能となる。
えばフロン洗浄装置などの洗浄装置に対して容易に取付
けることができて、洗浄装置と回収装置との一体ユニッ
ト化を図ることが可能となる。
この発明の構成と、上述の実施例との対応において、 この発明の洗浄溶剤槽は、実施例のフロン洗浄機１に対
応し、 以下同様に、 蒸発器は、第１蒸発器５に対応するも、 この発明は、上述の実施例の構成のみに限定されるもの
ではない。
応し、 以下同様に、 蒸発器は、第１蒸発器５に対応するも、 この発明は、上述の実施例の構成のみに限定されるもの
ではない。
例えば、被回収溶剤としては、R113単体の他にR113をベ
ースにした混合溶剤やその他の塩素系溶剤であってもよ
い。
ースにした混合溶剤やその他の塩素系溶剤であってもよ
い。
図面はこの発明の一実施例を示す溶剤回収装置の系統図
である。 １……フロン洗浄機、２……吸気ライン ３……圧縮機、４……高圧冷却塔 ５……第１蒸発器
である。 １……フロン洗浄機、２……吸気ライン ３……圧縮機、４……高圧冷却塔 ５……第１蒸発器
Claims (1)
- 【請求項１】洗浄溶剤槽（１）のガス層に、溶剤ガスを
吸引する吸気ライン（２）を接続し、 この吸気ライン（２）にガス濃度を高化する圧縮機
（３）を介して高圧冷却塔（４）を接続すると共に、 上記高圧冷却塔（４）の内部には、溶剤より発生したガ
スをプラス圧〜5kg/cm2の高圧条件下で冷却液化する蒸
発器（５）を配設した 洗浄溶剤回収装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62314658A JPH07112522B2 (ja) | 1987-12-12 | 1987-12-12 | 洗浄溶剤回収装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62314658A JPH07112522B2 (ja) | 1987-12-12 | 1987-12-12 | 洗浄溶剤回収装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01155901A JPH01155901A (ja) | 1989-06-19 |
| JPH07112522B2 true JPH07112522B2 (ja) | 1995-12-06 |
Family
ID=18055979
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62314658A Expired - Fee Related JPH07112522B2 (ja) | 1987-12-12 | 1987-12-12 | 洗浄溶剤回収装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07112522B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0717361Y2 (ja) * | 1992-01-28 | 1995-04-26 | 森川産業株式会社 | 密閉型洗浄機におけるコンプレッサを用いた溶剤回収装置 |
| AU2017236400B2 (en) | 2016-03-24 | 2019-11-21 | Dyson Technology Limited | Attachment for a handheld appliance |
| JP7308508B2 (ja) * | 2019-02-14 | 2023-07-14 | アクトファイブ株式会社 | 洗浄液回収装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5123505A (en) * | 1974-08-22 | 1976-02-25 | Chisso Eng Co Ltd | Gasorintono kaishuhoho |
| JPS5134209A (en) * | 1974-09-17 | 1976-03-23 | Yoshio Sakai | Kihatsuseikanengasu no kaishuhoho |
| JPS52150379A (en) * | 1976-06-10 | 1977-12-14 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Condensation separator for mixed gas |
-
1987
- 1987-12-12 JP JP62314658A patent/JPH07112522B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01155901A (ja) | 1989-06-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW200916182A (en) | Method for treating and recovering gaseous hydrocarbon | |
| CN110523206B (zh) | 一种基于压缩低温冷凝方式回收有机溶剂的装置 | |
| CN113883826B (zh) | 一种低温冷凝回收挥发性气体的系统 | |
| JPH07112522B2 (ja) | 洗浄溶剤回収装置 | |
| CN210814519U (zh) | 一种基于压缩低温冷凝方式回收有机溶剂的装置 | |
| TW201016300A (en) | Gasoline vapor recovery apparatus | |
| JPH0460689B2 (ja) | ||
| JPH1157394A (ja) | 有機溶媒の回収装置 | |
| CN216204682U (zh) | 一种低温冷凝回收挥发性气体的结构 | |
| JPH06109338A (ja) | 冷凍機回路及びこれを用いたガス回収装置 | |
| JPH0658640A (ja) | 膨張エゼクタを用いる冷凍機回路及びこれを用いたガス回収装置 | |
| JP3486852B2 (ja) | 冷媒による大気汚染の防止を集中管理する方法、および同装置 | |
| TWI471166B (zh) | Recovery device and method for gas - like hydrocarbon | |
| JPH0438466B2 (ja) | ||
| JPH0593559A (ja) | 冷媒回収再生装置 | |
| JPH03204569A (ja) | 油噴射式スクリュー圧縮機を用いた冷凍方法ならびにヒートポンプ方法 | |
| JP2001272129A (ja) | 冷凍装置 | |
| JPH0434881Y2 (ja) | ||
| JP2001108335A (ja) | 冷媒回収装置およびその利用装置 | |
| JP3000236U (ja) | 冷媒レシーバタンク | |
| CN117029324A (zh) | 一种制冷剂回收系统及控制方法 | |
| TW202417791A (zh) | 具有利用餘熱製冷之製冷裝置之二元循環發電系統及其發電方法 | |
| JPH0796093B2 (ja) | 溶剤気体から溶剤を回収する装置 | |
| JP2000257997A (ja) | フロン回収方法及び回収装置 | |
| JPH08189734A (ja) | 冷凍装置および冷媒回収容器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |