JPH07104123A - 光学バンドパスフィルタ - Google Patents
光学バンドパスフィルタInfo
- Publication number
- JPH07104123A JPH07104123A JP25267793A JP25267793A JPH07104123A JP H07104123 A JPH07104123 A JP H07104123A JP 25267793 A JP25267793 A JP 25267793A JP 25267793 A JP25267793 A JP 25267793A JP H07104123 A JPH07104123 A JP H07104123A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- refractive index
- optical
- layer
- bandpass filter
- band
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は光学バンドパスフィルタに関し、通過
帯域の立上り部或いは立下り部における透過率の偏光依
存性が小さい光学バンドパスフィルタの提供を主目的と
する。 【構成】光学基板上に複数の基本ブロックをつなぎ層を
介して積層してなり、上記基本ブロックは、その中央に
配置されるキャビティ層と、該キャビティ層の両側に高
屈折率層及び低屈折率層を交互に対称に配置してなる反
射多層膜とからなる光学バンドパスフィルタであって、
通過帯域の中心波長をλ0 とするときに、上記キャビテ
ィ層の光学的膜厚をλ0 ／２から所定量ずらして設定す
る。
帯域の立上り部或いは立下り部における透過率の偏光依
存性が小さい光学バンドパスフィルタの提供を主目的と
する。 【構成】光学基板上に複数の基本ブロックをつなぎ層を
介して積層してなり、上記基本ブロックは、その中央に
配置されるキャビティ層と、該キャビティ層の両側に高
屈折率層及び低屈折率層を交互に対称に配置してなる反
射多層膜とからなる光学バンドパスフィルタであって、
通過帯域の中心波長をλ0 とするときに、上記キャビテ
ィ層の光学的膜厚をλ0 ／２から所定量ずらして設定す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光学バンドパスフィルタ
に関する。光学バンドパスフィルタとして、ガラス基板
等の光学基板上に誘電体多層膜を形成してなるものが知
られている。この種の光学バンドパスフィルタにおいて
は、誘電体多層膜への光線の入射角等に応じて透過率の
偏光依存性が生じるので、これを排除し或いは積極的に
利用することが要求されている。
に関する。光学バンドパスフィルタとして、ガラス基板
等の光学基板上に誘電体多層膜を形成してなるものが知
られている。この種の光学バンドパスフィルタにおいて
は、誘電体多層膜への光線の入射角等に応じて透過率の
偏光依存性が生じるので、これを排除し或いは積極的に
利用することが要求されている。
【０００２】
【従来の技術】従来、光学基板上に複数の基本ブロック
をつなぎ層を介して積層してなり、上記基本ブロック
は、その中央に配置されるキャビティ層と、このキャビ
ティ層の両側に高屈折率層及び低屈折率層を交互に対称
に配置してなる反射多層膜とからなる光学バンドパスフ
ィルタが公知である。
をつなぎ層を介して積層してなり、上記基本ブロック
は、その中央に配置されるキャビティ層と、このキャビ
ティ層の両側に高屈折率層及び低屈折率層を交互に対称
に配置してなる反射多層膜とからなる光学バンドパスフ
ィルタが公知である。
【０００３】キャビティ層の光学的膜厚は、通過帯域の
中心波長をλ0 とするときに、λ0／２に設定され、反
射多層膜における高屈折率層及び低屈折率層並びにつな
ぎ層の光学的膜厚はλ0 ／４に設定される。
中心波長をλ0 とするときに、λ0／２に設定され、反
射多層膜における高屈折率層及び低屈折率層並びにつな
ぎ層の光学的膜厚はλ0 ／４に設定される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このような光学バンド
パスフィルタにおいては、透過率が０％から１００％に
変化する通過帯域の立上り部（立下り部）での波長特性
が急峻なため、通常、通過帯域の低波長側の立上り部及
び高波長側の立下り部のいずれか一方を利用する。通過
帯域の低波長側立上り部を利用する場合には、その光学
バンドパスフィルタは所謂ロングウエーブパスフィルタ
として機能し、通過帯域の高波長側立下り部を利用する
場合には、その光学バンドパスフィルタは所謂ショート
ウエーブパスフィルタとして機能する。
パスフィルタにおいては、透過率が０％から１００％に
変化する通過帯域の立上り部（立下り部）での波長特性
が急峻なため、通常、通過帯域の低波長側の立上り部及
び高波長側の立下り部のいずれか一方を利用する。通過
帯域の低波長側立上り部を利用する場合には、その光学
バンドパスフィルタは所謂ロングウエーブパスフィルタ
として機能し、通過帯域の高波長側立下り部を利用する
場合には、その光学バンドパスフィルタは所謂ショート
ウエーブパスフィルタとして機能する。
【０００５】光線の入射角が零である場合には、透過率
に偏光依存性は生じないが、光線の入射角が０°でない
場合には、通過帯域の低波長側立上り部或いは高波長側
立下り部において透過率に偏光依存性が生じる。透過率
に偏光依存性が生じると、偏光状態が確定していない入
射光に対して、通過帯域の立上り部及び立下り部の波長
特性が急峻でなくなり、その光学バンドパスフィルタの
性能が低下する。
に偏光依存性は生じないが、光線の入射角が０°でない
場合には、通過帯域の低波長側立上り部或いは高波長側
立下り部において透過率に偏光依存性が生じる。透過率
に偏光依存性が生じると、偏光状態が確定していない入
射光に対して、通過帯域の立上り部及び立下り部の波長
特性が急峻でなくなり、その光学バンドパスフィルタの
性能が低下する。
【０００６】そこで、本発明の目的は、通過帯域の立上
り部或いは立下り部における透過率の偏光依存性を排除
した光学バンドパスフィルタを提供することにある。ま
た、本発明の他の目的は、通過帯域の立上り部或いは立
下り部における透過率の偏光依存性を積極的に利用し
て、偏光分離膜として使用することができる光学バンド
パスフィルタを提供することにある。
り部或いは立下り部における透過率の偏光依存性を排除
した光学バンドパスフィルタを提供することにある。ま
た、本発明の他の目的は、通過帯域の立上り部或いは立
下り部における透過率の偏光依存性を積極的に利用し
て、偏光分離膜として使用することができる光学バンド
パスフィルタを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のある側面による
と、光学基板上に複数の基本ブロックをつなぎ層を介し
て積層してなり、上記基本ブロックは、その中央に配置
されるキャビティ層と、該キャビティ層の両側に高屈折
率層及び低屈折率層を交互に対称に配置してなる反射多
層膜とからなる光学バンドパスフィルタであって、通過
帯域の中心波長をλ0 とするときに、上記キャビティ層
の光学的膜厚をλ0 ／２から所定量ずらして設定してな
る光学バンドパスフィルタが提供される。
と、光学基板上に複数の基本ブロックをつなぎ層を介し
て積層してなり、上記基本ブロックは、その中央に配置
されるキャビティ層と、該キャビティ層の両側に高屈折
率層及び低屈折率層を交互に対称に配置してなる反射多
層膜とからなる光学バンドパスフィルタであって、通過
帯域の中心波長をλ0 とするときに、上記キャビティ層
の光学的膜厚をλ0 ／２から所定量ずらして設定してな
る光学バンドパスフィルタが提供される。
【０００８】本発明の他の側面によると、光学基板上に
複数の基本ブロックをつなぎ層を介して積層してなり、
上記基本ブロックは、その中央に配置されるキャビティ
層と、該キャビティ層の両側に高屈折率層及び低屈折率
層を交互に対称に配置してなる反射多層膜とからなる光
学バンドパスフィルタであって、通過波長の中心波長を
λ0 とするときに、上記高屈折率層及び低屈折率層の光
学的膜厚をλ0 ／４から所定量ずらして設定してなる光
学バンドパスフィルタが提供される。
複数の基本ブロックをつなぎ層を介して積層してなり、
上記基本ブロックは、その中央に配置されるキャビティ
層と、該キャビティ層の両側に高屈折率層及び低屈折率
層を交互に対称に配置してなる反射多層膜とからなる光
学バンドパスフィルタであって、通過波長の中心波長を
λ0 とするときに、上記高屈折率層及び低屈折率層の光
学的膜厚をλ0 ／４から所定量ずらして設定してなる光
学バンドパスフィルタが提供される。
【０００９】
【作用】発明者の実験によると、キャビティ層の光学的
膜厚をλ0 ／２から所定量ずらし、或いは、高屈折率層
及び低屈折率層の光学的膜厚をλ0 ／４から所定量ずら
すと、通過帯域の立上り部或いは立下り部における透過
率の偏光依存性が減少し或いは拡大することが明らかに
なった。
膜厚をλ0 ／２から所定量ずらし、或いは、高屈折率層
及び低屈折率層の光学的膜厚をλ0 ／４から所定量ずら
すと、通過帯域の立上り部或いは立下り部における透過
率の偏光依存性が減少し或いは拡大することが明らかに
なった。
【００１０】本発明では、通過帯域の低波長側立上り部
又は高波長側立下り部における透過率の偏光依存性が最
も大きくなるように、光学的膜厚をずらす量を設定する
ことにより、偏光分離膜として使用することができる光
学バンドパスフィルタが提供される。
又は高波長側立下り部における透過率の偏光依存性が最
も大きくなるように、光学的膜厚をずらす量を設定する
ことにより、偏光分離膜として使用することができる光
学バンドパスフィルタが提供される。
【００１１】また、通過帯域の低波長側立上り部又は高
波長側立下り部における透過率の偏光依存性が最も小さ
くなるように、光学的膜厚をずらす量を設定することに
より、立上り特性或いは立下り特性が良好な光学バンド
パスフィルタの提供が可能になる。
波長側立下り部における透過率の偏光依存性が最も小さ
くなるように、光学的膜厚をずらす量を設定することに
より、立上り特性或いは立下り特性が良好な光学バンド
パスフィルタの提供が可能になる。
【００１２】
【実施例】以下本発明の実施例を図面に沿って説明す
る。図１は光学バンドパスフィルタの基本構成を示す図
である。この光学バンドパスフィルタは、図示しないガ
ラス等からなる光学基板上に複数の基本ブロックをつな
ぎ層を介して積層して構成される。
る。図１は光学バンドパスフィルタの基本構成を示す図
である。この光学バンドパスフィルタは、図示しないガ
ラス等からなる光学基板上に複数の基本ブロックをつな
ぎ層を介して積層して構成される。
【００１３】この実施例では、３つの基本ブロックが積
層される。＃１〜＃７と＃９〜＃１５と＃１７〜＃２３
が基本ブロックであり、＃８と＃１６がつなぎ層であ
る。＃１〜＃７の基本ブロックを例にとりその詳細構成
を説明すると次の通りである。＃１〜＃３は高屈折率層
及び低屈折率層を交互に配置してなる反射多層膜、＃４
はキャビティ層、＃５〜＃７は高屈折率層及び低屈折率
層を交互に配置してなる反射多層膜である。
層される。＃１〜＃７と＃９〜＃１５と＃１７〜＃２３
が基本ブロックであり、＃８と＃１６がつなぎ層であ
る。＃１〜＃７の基本ブロックを例にとりその詳細構成
を説明すると次の通りである。＃１〜＃３は高屈折率層
及び低屈折率層を交互に配置してなる反射多層膜、＃４
はキャビティ層、＃５〜＃７は高屈折率層及び低屈折率
層を交互に配置してなる反射多層膜である。
【００１４】この例では、高屈折率層はＴｉＯ2 からな
り、低屈折率層はＳｉＯ2 からなる。また、キャビティ
層及びつなぎ層はＳｉＯ2 からなる。従って、キャビテ
ィ層及びつなぎ層はこの実施例では低屈折率層と同等の
屈折率を有する。
り、低屈折率層はＳｉＯ2 からなる。また、キャビティ
層及びつなぎ層はＳｉＯ2 からなる。従って、キャビテ
ィ層及びつなぎ層はこの実施例では低屈折率層と同等の
屈折率を有する。
【００１５】キャビティ層及びつなぎ層の屈折率を高屈
折率層と同じにして、反射多層膜における高屈折率層及
び低屈折率層の配置順序を逆にしても良い。この光学バ
ンドパスフィルタの通過帯域の中心波長をλ0 とすると
きに、高屈折率層、低屈折率層及びつなぎ層の光学的膜
厚（当該層の屈折率と厚みの積）はλ0 ／４に設定さ
れ、キャビティ層の光学的膜厚はλ0 ／２に設定され
る。
折率層と同じにして、反射多層膜における高屈折率層及
び低屈折率層の配置順序を逆にしても良い。この光学バ
ンドパスフィルタの通過帯域の中心波長をλ0 とすると
きに、高屈折率層、低屈折率層及びつなぎ層の光学的膜
厚（当該層の屈折率と厚みの積）はλ0 ／４に設定さ
れ、キャビティ層の光学的膜厚はλ0 ／２に設定され
る。
【００１６】図２は光学バンドパスフィルタの特性例を
示す図である。図２のグラフにおいて、縦軸は透過率を
表し、横軸は光の波長を表す。透過率と波長の関係を表
す特性曲線において、実線で表されるのは偏波面が入射
面に平行なＰ光についてのものであり、破線で表される
のは偏波面が入射面に垂直なＳ光についてのものであ
る。
示す図である。図２のグラフにおいて、縦軸は透過率を
表し、横軸は光の波長を表す。透過率と波長の関係を表
す特性曲線において、実線で表されるのは偏波面が入射
面に平行なＰ光についてのものであり、破線で表される
のは偏波面が入射面に垂直なＳ光についてのものであ
る。
【００１７】図から明らかなように、通過帯域の低波長
側立上り部及び高波長側立下り部においてＰ光について
の特性曲線とＳ光についての特性曲線とがずれているも
のである。このようにＰ光とＳ光で波長特性に差がある
と、光学バンドパスフィルタに供給される光の偏波状態
は確定されていないので、通過帯域の低波長側立上り部
及び高波長側立下り部が急峻でなくなる。
側立上り部及び高波長側立下り部においてＰ光について
の特性曲線とＳ光についての特性曲線とがずれているも
のである。このようにＰ光とＳ光で波長特性に差がある
と、光学バンドパスフィルタに供給される光の偏波状態
は確定されていないので、通過帯域の低波長側立上り部
及び高波長側立下り部が急峻でなくなる。
【００１８】本発明においては、キャビティ層或いは高
屈折率層及び低屈折率層の光学的膜厚を図１の基本構成
における光学的膜厚から所定量ずらすと、Ｐ波（Ｐ
光），Ｓ波（Ｓ光）の透過域がシフトし、且つシフト量
がＰ波とＳ波で異なる現象を利用して、立上り部或いは
立下り部でＰ波とＳ波の波長特性をほぼ一致させて、立
上り部或いは立下り部における波長特性を急峻にしてい
る。具体的には次の通りである。
屈折率層及び低屈折率層の光学的膜厚を図１の基本構成
における光学的膜厚から所定量ずらすと、Ｐ波（Ｐ
光），Ｓ波（Ｓ光）の透過域がシフトし、且つシフト量
がＰ波とＳ波で異なる現象を利用して、立上り部或いは
立下り部でＰ波とＳ波の波長特性をほぼ一致させて、立
上り部或いは立下り部における波長特性を急峻にしてい
る。具体的には次の通りである。
【００１９】キャビティ層の光学的膜厚をずらす場合に
おいて、Ｓ波についての特性曲線を短波長側にシフトさ
せたいときには、キャビティ層の光学的膜厚をλ0 ／２
よりも小さくなるようにする。
おいて、Ｓ波についての特性曲線を短波長側にシフトさ
せたいときには、キャビティ層の光学的膜厚をλ0 ／２
よりも小さくなるようにする。
【００２０】キャビティ層の光学的膜厚をずらす場合に
おいて、Ｓ波についての特性曲線を長波長側にシフトさ
せたいときには、キャビティ層の光学的膜厚がλ0 ／２
よりも大きくなるようにする。
おいて、Ｓ波についての特性曲線を長波長側にシフトさ
せたいときには、キャビティ層の光学的膜厚がλ0 ／２
よりも大きくなるようにする。
【００２１】高屈折率層及び低屈折率層の光学的膜厚を
ずらす場合において、Ｓ波についての特性曲線を短波長
側にシフトさせたいときには、当該膜厚がλ0 ／４より
も大きくなるようにする。
ずらす場合において、Ｓ波についての特性曲線を短波長
側にシフトさせたいときには、当該膜厚がλ0 ／４より
も大きくなるようにする。
【００２２】高屈折率層及び低屈折率層の光学的膜厚を
ずらす場合において、Ｓ波についての特性曲線を長波長
側にシフトさせたいときには、当該膜厚がλ0 ／４より
も小さくなるようにする。以下、さらに具体的な例を説
明する。
ずらす場合において、Ｓ波についての特性曲線を長波長
側にシフトさせたいときには、当該膜厚がλ0 ／４より
も小さくなるようにする。以下、さらに具体的な例を説
明する。
【００２３】図３は本発明の第１実施例を示す図であ
る。図３の（Ａ）〜（Ｃ）はそれぞれ３５層の光学バン
ドパスフィルタについて入射角を３５°に設定したとき
の透過率と波長の関係を表すグラフである。（Ａ）はキ
ャビティ層の光学的膜厚を０．５λ0 に設定したときの
もの、（Ｂ）はキャビティ層の光学的膜厚を０．４７λ
0 に設定したときのもの、（Ｃ）はキャビティ層の光学
的膜厚を０．５６λ0 に設定したときのものである。
る。図３の（Ａ）〜（Ｃ）はそれぞれ３５層の光学バン
ドパスフィルタについて入射角を３５°に設定したとき
の透過率と波長の関係を表すグラフである。（Ａ）はキ
ャビティ層の光学的膜厚を０．５λ0 に設定したときの
もの、（Ｂ）はキャビティ層の光学的膜厚を０．４７λ
0 に設定したときのもの、（Ｃ）はキャビティ層の光学
的膜厚を０．５６λ0 に設定したときのものである。
【００２４】（Ａ）の特性においては、通過帯域の低波
長側立上り部及び高波長側立下り部において透過率の偏
光依存性が生じているのに対して、（Ｂ）の特性におい
ては、通過帯域の低波長側立上り部における透過率の偏
光依存性が最も小さくなっており、また、（Ｃ）の特性
においては、通過帯域の高波長側立下り部における透過
率の偏光依存性が最も小さくなっていることがわかる。
長側立上り部及び高波長側立下り部において透過率の偏
光依存性が生じているのに対して、（Ｂ）の特性におい
ては、通過帯域の低波長側立上り部における透過率の偏
光依存性が最も小さくなっており、また、（Ｃ）の特性
においては、通過帯域の高波長側立下り部における透過
率の偏光依存性が最も小さくなっていることがわかる。
【００２５】図４は本発明の第２実施例を示す図であ
る。図４において、（Ａ）及び（Ｂ）はそれぞれ４７層
の光学バンドパスフィルタにおいて入射角を４５°に設
定したときの透過率と波長の関係を表すグラフである。
（Ａ）はキャビティ層の光学的膜厚を０．５λ0 に設定
したときのもの、（Ｂ）はキャビティ層の光学的膜厚を
０．４４λ0 に設定したときのものである。（Ａ）に比
べて（Ｂ）の方が通過帯域の低波長側立上り部における
透過率の偏光依存性が著しく減少していることがわか
る。
る。図４において、（Ａ）及び（Ｂ）はそれぞれ４７層
の光学バンドパスフィルタにおいて入射角を４５°に設
定したときの透過率と波長の関係を表すグラフである。
（Ａ）はキャビティ層の光学的膜厚を０．５λ0 に設定
したときのもの、（Ｂ）はキャビティ層の光学的膜厚を
０．４４λ0 に設定したときのものである。（Ａ）に比
べて（Ｂ）の方が通過帯域の低波長側立上り部における
透過率の偏光依存性が著しく減少していることがわか
る。
【００２６】偏光状態が確定していない入射光に対する
立上り特性（透過率が１％〜９５％の範囲にある波長帯
域）が（Ａ）では約３８．８ｎｍであるのに対して、
（Ｂ）では同立上り特性が約３４．１ｎｍに減少してい
ることがわかる。
立上り特性（透過率が１％〜９５％の範囲にある波長帯
域）が（Ａ）では約３８．８ｎｍであるのに対して、
（Ｂ）では同立上り特性が約３４．１ｎｍに減少してい
ることがわかる。
【００２７】このように本発明を実施することにより、
立上り特性が約１２％向上していることがわかる。図５
は従来の偏光分離膜の特性例を示す図である。従来、ガ
ラス等からなる光学基板上に光学的膜厚が等しい高屈折
率層及び低屈折率層を交互に複数積層してなる偏光分離
膜が知られている。即ち、従来の偏光分離膜は本発明の
光学バンドパスフィルタにおけるようなキャビティ層を
有していない。
立上り特性が約１２％向上していることがわかる。図５
は従来の偏光分離膜の特性例を示す図である。従来、ガ
ラス等からなる光学基板上に光学的膜厚が等しい高屈折
率層及び低屈折率層を交互に複数積層してなる偏光分離
膜が知られている。即ち、従来の偏光分離膜は本発明の
光学バンドパスフィルタにおけるようなキャビティ層を
有していない。
【００２８】このような従来の偏光分離膜においては、
入射角が十分に大きいとき（４５°以上のとき）には偏
光分離膜として使用することができる波長帯域が実用上
十分であるが、入射角が３０°以下と小さくなると、十
分な波長帯域を得ることが困難であった。
入射角が十分に大きいとき（４５°以上のとき）には偏
光分離膜として使用することができる波長帯域が実用上
十分であるが、入射角が３０°以下と小さくなると、十
分な波長帯域を得ることが困難であった。
【００２９】例えば図５に示される特性においては、
０．２ｄＢ帯域（Ｐ波の損失が０．２ｄＢ、Ｓ波の反射
損失が０．２ｄＢとなる帯域）が約１２ｎｍである。
尚、このときの入射角は２５°である。
０．２ｄＢ帯域（Ｐ波の損失が０．２ｄＢ、Ｓ波の反射
損失が０．２ｄＢとなる帯域）が約１２ｎｍである。
尚、このときの入射角は２５°である。
【００３０】図６は本発明の第３実施例を示す図であ
る。この例では、光学基板上に、１０層の反射多層膜と
１層のキャビティ層と１０層の反射多層膜と１層のつな
ぎ層と１０層の反射多層膜と１層のキャビティ層と１０
層の反射多層膜とをこの順に積層している。反射多層膜
において高屈折率層はＴｉＯ2 からなり、低屈折率層は
ＳｉＯ2 からなる。また、キャビティ層及びつなぎ層は
ＳｉＯ2 からなる。
る。この例では、光学基板上に、１０層の反射多層膜と
１層のキャビティ層と１０層の反射多層膜と１層のつな
ぎ層と１０層の反射多層膜と１層のキャビティ層と１０
層の反射多層膜とをこの順に積層している。反射多層膜
において高屈折率層はＴｉＯ2 からなり、低屈折率層は
ＳｉＯ2 からなる。また、キャビティ層及びつなぎ層は
ＳｉＯ2 からなる。
【００３１】高屈折率層、低屈折率層及びつなぎ層の厚
みはλ0 ／４に設定され、キャビティ層の厚みは３λ0
／４に設定される。この構成によると、図６に示される
ように、０．２ｄＢ帯域を１６ｎｍにすることができ、
従来の偏光分離膜に対して帯域が３３％拡大したものの
提供が可能になる。尚、入射角は図５の従来例における
のと同様に２５°である。
みはλ0 ／４に設定され、キャビティ層の厚みは３λ0
／４に設定される。この構成によると、図６に示される
ように、０．２ｄＢ帯域を１６ｎｍにすることができ、
従来の偏光分離膜に対して帯域が３３％拡大したものの
提供が可能になる。尚、入射角は図５の従来例における
のと同様に２５°である。
【００３２】尚、図６の第３実施例においては、通過帯
域の低波長側立上り部における透過率の偏光依存性が最
も大きくなるようにキャビティ層の膜厚をずらしている
が、高屈折率層及び低屈折率層の光学的膜厚をずらして
も良い。
域の低波長側立上り部における透過率の偏光依存性が最
も大きくなるようにキャビティ層の膜厚をずらしている
が、高屈折率層及び低屈折率層の光学的膜厚をずらして
も良い。
【００３３】また、通過帯域の高波長側立下り部におけ
る透過率の偏光依存性が最も大きくなるように、キャビ
ティ層又は高屈折率層及び低屈折率層の光学的膜厚をず
らして偏光分離膜として使用することができる光学バン
ドパスフィルタを構成しても良い。
る透過率の偏光依存性が最も大きくなるように、キャビ
ティ層又は高屈折率層及び低屈折率層の光学的膜厚をず
らして偏光分離膜として使用することができる光学バン
ドパスフィルタを構成しても良い。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
偏光依存性が小さく波長特性が急峻な光学バンドパスフ
ィルタ或いは帯域の広い偏光分離膜として使用すること
ができる光学バンドパスフィルタの提供が可能になると
いう効果が生じる。
偏光依存性が小さく波長特性が急峻な光学バンドパスフ
ィルタ或いは帯域の広い偏光分離膜として使用すること
ができる光学バンドパスフィルタの提供が可能になると
いう効果が生じる。
【図１】光学バンドパスフィルタの基本構成を示す図で
ある。
ある。
【図２】光学バンドパスフィルタの特性例を示す図であ
る。
る。
【図３】本発明の第１実施例を示す図である。
【図４】本発明の第２実施例を示す図である。
【図５】従来の偏光分離膜の特性例を示す図である。
【図６】本発明の第３実施例を示す図である。
＃１〜＃２３ 光学バンドパスフィルタの各層
Claims (5)
- 【請求項１】 光学基板上に複数の基本ブロックをつな
ぎ層を介して積層してなり、上記基本ブロックは、その
中央に配置されるキャビティ層と、該キャビティ層の両
側に高屈折率層及び低屈折率層を交互に対称に配置して
なる反射多層膜とからなる光学バンドパスフィルタであ
って、 通過帯域の中心波長をλ0 とするときに、上記キャビテ
ィ層の光学的膜厚をλ 0 ／２から所定量ずらして設定し
たことを特徴とする光学バンドパスフィルタ。 - 【請求項２】 光学基板上に複数の基本ブロックをつな
ぎ層を介して積層してなり、上記基本ブロックは、その
中央に配置されるキャビティ層と、該キャビティ層の両
側に高屈折率層及び低屈折率層を交互に対称に配置して
なる反射多層膜とからなる光学バンドパスフィルタであ
って、 通過波長の中心波長をλ0 とするときに、上記高屈折率
層及び低屈折率層の光学的膜厚をλ0 ／４から所定量ず
らして設定したことを特徴とする光学バンドパスフィル
タ。 - 【請求項３】 通過帯域の低波長側立上り部又は通過帯
域の高波長側立下り部における透過率の偏光依存性が最
も大きくなるように上記所定量が設定されることを特徴
とする請求項１又は２に記載の光学バンドパスフィル
タ。 - 【請求項４】 通過帯域の低波長側立上り部又は通過帯
域の高波長側立下り部における透過率の偏光依存性が最
も小さくなるように上記所定量が設定されることを特徴
とする請求項１又は２に記載の光学バンドパスフィル
タ。 - 【請求項５】 上記つなぎ層、上記キャビティ層及び上
記低屈折率層はＳｉＯ2 からなり、上記高屈折率層はＴ
ｉＯ2 からなることを特徴とする請求項１又は２に記載
の光学バンドパスフィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25267793A JPH07104123A (ja) | 1993-10-08 | 1993-10-08 | 光学バンドパスフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25267793A JPH07104123A (ja) | 1993-10-08 | 1993-10-08 | 光学バンドパスフィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07104123A true JPH07104123A (ja) | 1995-04-21 |
Family
ID=17240706
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25267793A Withdrawn JPH07104123A (ja) | 1993-10-08 | 1993-10-08 | 光学バンドパスフィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07104123A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002052308A1 (fr) * | 2000-12-26 | 2002-07-04 | Nikon Corporation | Filtre optique multicouche sous forme de film |
-
1993
- 1993-10-08 JP JP25267793A patent/JPH07104123A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002052308A1 (fr) * | 2000-12-26 | 2002-07-04 | Nikon Corporation | Filtre optique multicouche sous forme de film |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2220291C (en) | Multilayer thin film dielectric bandpass filter | |
| JP4688394B2 (ja) | 可視スペクトル用の埋込み型ワイヤ・グリッド偏光子 | |
| US7012747B2 (en) | Polarizing beam splitter and polarizer using the same | |
| JP2000047027A (ja) | 光フィルタの製造方法 | |
| JP2004117760A (ja) | 偏光ビームスプリッタ | |
| US7315420B2 (en) | CWDM filter with four channels | |
| JP3584257B2 (ja) | 偏光ビームスプリッタ | |
| JP3373182B2 (ja) | 多層膜光フィルタ | |
| JP2697882B2 (ja) | 光学フィルター | |
| JPS61141402A (ja) | 偏光分離膜 | |
| CN111290064A (zh) | 一种偏振无关的滤光片 | |
| JPH07104123A (ja) | 光学バンドパスフィルタ | |
| JPH08254611A (ja) | ビーム・スプリッタ | |
| JPS6340289B2 (ja) | ||
| JP2741731B2 (ja) | 偏光子 | |
| JPH07104122A (ja) | バンドパスフィルタ | |
| JP2001350024A (ja) | 偏光ビームスプリッタ | |
| JPH08146218A (ja) | 偏光ビームスプリッター | |
| CA2337223A1 (en) | Dual transmission band interference filter | |
| JPH10232312A (ja) | 光分岐フィルタ | |
| JP3002059B2 (ja) | 光学フィルタ | |
| JPH08160220A (ja) | 光学多層膜フィルタ | |
| JPS62148904A (ja) | ２波長分離フイルタ− | |
| JP2641238B2 (ja) | 偏光子 | |
| JPH10227942A (ja) | 高速連続波長可変フィルタ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20001226 |