JPH07103281A - Active vibration isolator - Google Patents
Active vibration isolatorInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はアクティブ振動絶縁装置
に関し、特に、制御対象物に水平方向の制御力を注入し
て水平方向の振動絶縁性能を向上できるアクティブ振動
絶縁装置に係わる。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an active vibration isolator, and more particularly to an active vibration isolator capable of improving horizontal vibration isolation performance by injecting a horizontal control force into a controlled object.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来から、空気バネとダッシュポットを
使用し、空気バネで支持された精密機器が搭載された定
盤のような制御対象物をパッシブに制御するパッシブ振
動絶縁装置は周知である。最近、パッシブ振動絶縁装置
に代えて、制御対象物をアクティブに制御するアクティ
ブまたはセミアクティブ振動絶縁装置が採用されつつあ
る。2. Description of the Related Art Conventionally, a passive vibration isolator that uses an air spring and a dashpot to passively control a controlled object such as a surface plate on which precision equipment supported by the air spring is mounted is well known. . Recently, an active or semi-active vibration isolator that actively controls an object to be controlled is being adopted in place of the passive vibration isolator.
【０００３】このアクティブ振動絶縁装置は、制御対象
物に振動センサを搭載して振動を検出し、この振動信号
によって振動絶縁装置にアクチュエータからエネルギを
注入し、線形フィードバック制御や線形フィードフォワ
ード制御の理論を用いて振動絶縁装置の除振或いは絶縁
効果を積極的に高めようとするものである。現在、市販
されているアクティブ振動絶縁装置は極めて少ないが、
これを使用するアクチュエータに着目して分類すると、
下記の２種類に分けられる。In this active vibration isolator, a vibration sensor is mounted on a control object to detect vibration, and energy is injected from an actuator to the vibration isolator by this vibration signal, and the theory of linear feedback control and linear feedforward control is provided. To positively enhance the vibration isolation or insulation effect of the vibration isolator. Currently, there are very few active vibration isolation devices on the market,
Focusing on the actuator that uses this, when classifying,
It can be divided into the following two types.
【０００４】〈空圧式〉制御対象物に振動センサを搭載
して振動を検出し、この振動信号を電気空圧変換器によ
って電気空圧信号に変え、サーボ弁を開閉し、空気を空
気バネに注入することにより空気バネをアクチュエータ
として使用し、振動絶縁装置の除振或いは絶縁効果を積
極的に高めるものである。<Pneumatic type> A vibration sensor is mounted on a controlled object to detect vibration, and this vibration signal is converted into an electro-pneumatic signal by an electro-pneumatic converter, a servo valve is opened and closed, and air is changed to an air spring. By injecting, the air spring is used as an actuator to positively enhance the vibration isolation or insulation effect of the vibration isolator.
【０００５】〈電気式〉制御対象物に振動センサを搭載
して振動を検出し、この振動信号をドライバを介してＶ
ＣＭ（ボイス・コイル・モータ）等の電気によって駆動
するアクチュエータから振動絶縁装置にエネルギを注入
し、振動絶縁装置の除振或いは絶縁効果を積極的に高め
るものである。<Electric type> A vibration sensor is mounted on an object to be controlled to detect vibration, and this vibration signal is transmitted to a V
Energy is injected from an actuator such as a CM (voice coil motor) driven by electricity into the vibration isolator to positively enhance the vibration isolation or insulation effect of the vibration isolator.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、空圧式
アクティブ振動絶縁装置は、制御対象物に動的な力を付
与する空気バネを水平方向に制御するために、一対の空
気バネの各々にエアタンクを連通接続し、この一対のエ
アタンクどうしをオリフィス配管を介して連通接続し、
その一方のエアタンクにのみサーボ弁を介してコンプレ
ッサに連通接続しているので、空気バネを制御する際、
多くのエアを必要とする。従って、制御対象物に絶対的
な水平方向静止状態を維持させるために、エア供給量の
多いコンプレッサが必要になる。However, in the pneumatic active vibration isolator, an air tank is provided in each of the pair of air springs in order to horizontally control the air springs that apply a dynamic force to the controlled object. Connect and connect this pair of air tanks to each other via orifice piping,
Only one of the air tanks is connected to the compressor via the servo valve, so when controlling the air spring,
Requires a lot of air. Therefore, in order to keep the controlled object in an absolutely horizontal stationary state, a compressor with a large air supply amount is required.
【０００７】一方、電気式アクティブ振動絶縁装置は、
固定子たるヨークとコアにコイルを巻回した可動子たる
アマチュアとから構成されるＶＣＭ（ボイス・コイル・
モータ）により制御対象物を水平方向に制御している
が、大きな制御対象物に対しては推力が小さく、また、
磁気漏れが大きいので安定した水平方向の制御を行うこ
とができない。従ってＶＣＭ（ボイス・コイル・モー
タ）の取扱いが困難になるという問題点があった。On the other hand, the electric active vibration isolator is
A VCM (voice coil, which is composed of a stator yoke and a core armature armature armature)
Although the controlled object is controlled in the horizontal direction by the motor, the thrust is small for a large controlled object, and
Since the magnetic leakage is large, stable horizontal control cannot be performed. Therefore, there is a problem that handling of the VCM (voice coil motor) becomes difficult.
【０００８】[0008]
【目的】本発明は、このような従来の問題点を解決する
ためになされたもので、空気バネで支持されている制御
対象物の水平方向に発生する振動および変位をそれぞれ
異なるアクチュエータで制御し、水平方向の振動絶縁性
能を向上させることができるアクティブ振動絶縁装置を
提供することを目的とする。[Purpose] The present invention has been made to solve such conventional problems, and controls vibration and displacement generated in the horizontal direction of a control target supported by an air spring by different actuators. An object of the present invention is to provide an active vibration isolator capable of improving horizontal vibration isolation performance.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
る本発明のアクティブ振動絶縁装置は、空気バネで支持
されている制御対象物に搭載され水平方向の振動を検出
して水平方向の振動信号を出力する水平方向振動センサ
と、制御対象物の水平方向の変位を検出して水平方向の
変位信号を出力する水平方向変位センサと、水平方向の
変位信号により駆動されて制御対象物に水平方向の変位
制御力を注入する空圧アクチュエータと、空圧アクチュ
エータに直列接続され水平方向の振動信号により駆動さ
れて制御対象物に水平方向の振動制御力を注入する積層
型セラミックス・アクチュエータとを備えたものであ
る。An active vibration isolator of the present invention which achieves the above object is mounted on an object to be controlled supported by an air spring, detects horizontal vibration, and detects horizontal vibration. A horizontal vibration sensor that outputs a signal, a horizontal displacement sensor that detects a horizontal displacement of the controlled object and outputs a horizontal displacement signal, and a horizontal displacement sensor that drives the horizontal displacement signal Includes a pneumatic actuator that injects directional displacement control force, and a laminated ceramics actuator that is connected in series to the pneumatic actuator and that is driven by horizontal vibration signals to inject horizontal vibration control force into the controlled object It is a thing.
【００１０】[0010]
【作用】制御対象物が外乱等により振動すると、水平方
向振動センサは制御対象物の水平方向の振動を検知して
振動信号は積層型セラミックス・アクチュエータに出力
され、その振動信号に基づき積層型セラミックス・アク
チュエータは高速かつ正確に制御対象物の水平方向の振
動を制御する。また、積層型セラミックス・アクチュエ
ータの変位量では制御できない大きな水平方向の変位
は、水平方向変位センサにより検知され、この水平方向
変位センサからの変位信号に基づき空圧アクチュエータ
は制御対象物の水平方向の大きな変位移動を制御する。
このようにして振動絶縁装置の水平方向の振動絶縁性能
が総合的に向上する。When the controlled object vibrates due to disturbance or the like, the horizontal vibration sensor detects the horizontal vibration of the controlled object, the vibration signal is output to the laminated ceramic actuator, and the laminated ceramic is based on the vibration signal.・ The actuator controls horizontal vibration of the controlled object accurately at high speed. Also, a large horizontal displacement that cannot be controlled by the displacement amount of the laminated ceramic actuator is detected by the horizontal displacement sensor, and the pneumatic actuator detects the horizontal displacement of the controlled object based on the displacement signal from this horizontal displacement sensor. Control large displacement movements.
In this way, the horizontal vibration isolation performance of the vibration isolation device is improved overall.
【００１１】[0011]
【実施例】以下、本発明によるアクティブ振動絶縁装置
の一実施例について図面を参照して説明する。図１にお
いて、このアクティブ振動絶縁装置には、基礎または床
である設置面１０上に空気バネ１１で支持された被除振
台または制御対象物１２が設けられている。制御対象物
１２には水平方向の振動を検出して水平方向の振動信号
Ｓ1を出力する水平方向振動センサ１３が搭載されてい
る。この水平方向振動センサ１３としては、例えば、公
知の加速度センサもしくは速度センサ等が採用できる。
なお、水平方向振動センサ１３として速度センサが使用
されている場合に、加速度信号は、速度を１回微分する
ことにより得られる。また、水平方向振動センサ１３と
して加速度センサが使用されている場合に、速度信号は
加速度を１回積分することにより得られる。ここで、制
御対象物１２とは、定盤のような被除振台のみならず、
これに搭載された電子顕微鏡やＩＣ、ＬＳＩの製造装置
であるステッパ等の精密機器が含まれるものであり、こ
の場合、水平方向振動センサ１３はこのような精密機器
自体に搭載してもよい。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the active vibration isolator according to the present invention will be described below with reference to the drawings. In FIG. 1, the active vibration isolator is provided with a vibration isolation table or a controlled object 12 supported by an air spring 11 on an installation surface 10 which is a foundation or a floor. The controlled object 12 is equipped with a horizontal vibration sensor 13 that detects horizontal vibration and outputs a horizontal vibration signal S 1 . As the horizontal vibration sensor 13, for example, a known acceleration sensor or speed sensor can be adopted.
When a speed sensor is used as the horizontal vibration sensor 13, the acceleration signal is obtained by differentiating the speed once. When an acceleration sensor is used as the horizontal vibration sensor 13, the velocity signal is obtained by integrating the acceleration once. Here, the controlled object 12 is not limited to the vibration isolation table such as a surface plate,
It includes a precision instrument such as an electron microscope, an IC, and an LSI manufacturing apparatus such as a stepper, which is installed in this, and in this case, the horizontal vibration sensor 13 may be incorporated in such precision instrument itself.
【００１２】一方、制御対象物１２の水平方向の変位を
検出して水平方向の変位信号Ｓ2を出力する非接触水平
方向変位センサ１４が制御対象物１２または設置面１０
の何れかに搭載されている（図示の例において制御対象
物１２に搭載）。この非接触水平方向変位センサ１４と
しては、例えば、渦電流素子、差動トランス、ＬＥＤ、
レーザー素子等が採用できる。On the other hand, a non-contact horizontal displacement sensor 14 which detects a horizontal displacement of the controlled object 12 and outputs a horizontal displacement signal S 2 is controlled by the controlled object 12 or the installation surface 10.
Mounted on any of the above (in the example shown, mounted on the controlled object 12). As the non-contact horizontal displacement sensor 14, for example, an eddy current element, a differential transformer, an LED,
A laser element etc. can be adopted.
【００１３】また、このアクティブ振動絶縁装置は、非
接触水平方向変位センサ１４からの水平方向の変位信号
Ｓ2により駆動され制御対象物１２に水平方向の変位制
御力Ｆ2を注入する空圧アクチュエータ１６を備えてい
る。空圧アクチュエータ１６としては空気バネ、空圧シ
リンダ等が採用される。さらに、このアクティブ振動絶
縁装置は、水平方向振動センサ１３からの水平方向の振
動信号Ｓ1により駆動され制御対象物１２に水平方向の
振動制御力Ｆ1を注入する積層型セラミックス・アクチ
ュエータ１５を備えている。積層型セラミックス・アク
チュエータ１５は圧電セラミックスと電極板とを交互に
積層した構造から成り、電圧を印加することにより変位
を発生する。このような積層型セラミックス・アクチュ
エータ１５は、印加電圧が６００Ｖで約５０μｍの変位
量と、９ｋＮまでの発生力と、伸長・収縮共に１００μ
ｓ以下の応答時間と、０．１μｍ以下の位置決め量とを
満足するものが好ましい。また、積層型セラミックス・
アクチュエータ１５の変位特性は印加電圧との関係にお
いては図４に示すように、ヒステリシスをもつ非線形特
性となり、注入電荷容量との関係においては図５に示す
ように、ヒステリシスのない比例的な関係になる。した
がって、制御のためには電荷を操作量として用いること
が望ましい。The active vibration isolator is a pneumatic actuator which is driven by a horizontal displacement signal S 2 from a non-contact horizontal displacement sensor 14 and injects a horizontal displacement control force F 2 into the controlled object 12. 16 is provided. An air spring, a pneumatic cylinder, or the like is adopted as the pneumatic actuator 16. Further, this active vibration isolator comprises a laminated ceramics actuator 15 which is driven by a horizontal vibration signal S 1 from a horizontal vibration sensor 13 and injects a horizontal vibration control force F 1 into the controlled object 12. ing. The laminated ceramics actuator 15 has a structure in which piezoelectric ceramics and electrode plates are alternately laminated, and generates a displacement when a voltage is applied. Such a multilayer ceramic actuator 15 has a displacement of about 50 μm at an applied voltage of 600 V, a generated force of up to 9 kN, and an extension / contraction of 100 μm.
It is preferable to satisfy the response time of s or less and the positioning amount of 0.1 μm or less. In addition, laminated ceramics
The displacement characteristic of the actuator 15 becomes a non-linear characteristic having hysteresis as shown in FIG. 4 in relation to the applied voltage, and has a proportional relation without hysteresis as shown in FIG. 5 in relation to the injected charge capacity. Become. Therefore, it is desirable to use the charge as the manipulated variable for control.
【００１４】この積層型セラミックス・アクチュエータ
１５と上述の空圧アクチュエータ１６とは、設置面１０
上に設けた支持片１０ａと制御対象物１２に設けた操作
片１２ａとの間に直列に接続されている。この実施例に
おいて水平方向振動センサ１３としては例えば加速度セ
ンサが使用されており、図２に示すように、制御対象物
１２の水平方向の振動を検出して水平方向の振動信号Ｓ
1を出力し、振動信号Ｓ1を処理して制御信号を生成する
制御回路Ｃ1と、制御回路Ｃ1からの位置指令信号により
駆動信号を生成する電荷制御用駆動回路Ｄ1とを介して
積層型セラミックス・アクチュエータ１５を駆動させ
る。積層型セラミックス・アクチュエータ１５は電荷制
御用駆動回路Ｄ1から注入、放出される電荷量により、
制御対象物１２に水平方向の振動制御力を与える。The laminated ceramic actuator 15 and the pneumatic actuator 16 described above are installed on the installation surface 10.
It is connected in series between the support piece 10 a provided above and the operation piece 12 a provided on the controlled object 12. In this embodiment, for example, an acceleration sensor is used as the horizontal vibration sensor 13, and as shown in FIG. 2, the horizontal vibration signal S is detected by detecting the horizontal vibration of the controlled object 12.
1 through the control circuit C 1 for generating the control signal by processing the vibration signal S 1 and the charge control drive circuit D 1 for generating the drive signal according to the position command signal from the control circuit C 1. The multilayer ceramic actuator 15 is driven. The multi-layer ceramic actuator 15 is controlled by the charge amount injected and released from the charge control drive circuit D 1 .
A horizontal vibration control force is applied to the controlled object 12.
【００１５】一方、非接触水平方向変位センサ１４は図
３に示すように、制御対象物１２の水平方向の振動を検
出して水平方向の振動信号Ｓ2を出力し、振動信号Ｓ2を
処理して制御信号を生成する制御回路Ｃ2と、制御回路
Ｃ2からの制御信号により駆動信号を生成するサーボ弁
駆動回路Ｄ2とを介してサーボ弁１７を駆動し、このサ
ーボ弁１７で空気を空圧アクチュエータ１６に給排気さ
せる。このサーボ弁１７にはコンプレッサ（図示せず）
などの空圧源から圧縮された空気が印加されている。空
圧アクチュエータ１６はサーボ弁駆動回路Ｄ2により弁
を開閉させるサーボ弁１７からの圧縮された空気で、制
御対象物１２に水平方向の変位制御力を与える。Meanwhile, the non-contact horizontal displacement sensor 14, as shown in FIG. 3, and outputs a horizontal direction of the vibration signal S 2 to detect the horizontal vibration of the control object 12, processes the vibration signal S 2 The servo valve 17 via a control circuit C 2 for generating a control signal and a servo valve drive circuit D 2 for generating a drive signal according to the control signal from the control circuit C 2 Is supplied to and exhausted from the pneumatic actuator 16. The servo valve 17 has a compressor (not shown).
Compressed air is applied from an air pressure source such as. The pneumatic actuator 16 applies a displacement control force in the horizontal direction to the controlled object 12 by compressed air from the servo valve 17 that opens and closes the valve by the servo valve drive circuit D 2 .
【００１６】このように構成されたアクティブ振動絶縁
装置の動作について説明する。いま、制御対象物１２が
外乱等により振動すると、水平方向振動センサ１３は制
御対象物１２の振動を検出して水平方向の振動信号Ｓ1
を制御回路Ｃ1に出力する。制御回路Ｃ1は振動を例えば
ゼロに設定した目標値と水平方向振動センサ１３により
検出された振動、即ち制御量とを比較し、この結果によ
って電荷制御用駆動回路Ｄ1から電荷を注入、放出して
積層型セラミック・アクチュエータ１５を駆動する。The operation of the active vibration isolator constructed as above will be described. Now, when the controlled object 12 vibrates due to disturbance or the like, the horizontal vibration sensor 13 detects the vibration of the controlled object 12 and detects the horizontal vibration signal S 1
To the control circuit C 1 . The control circuit C 1 compares the target value for which the vibration is set to, for example, zero with the vibration detected by the horizontal vibration sensor 13, that is, the control amount, and injects and discharges the charge from the charge control drive circuit D 1 based on this result Then, the multilayer ceramic actuator 15 is driven.
【００１７】また、積層型セラミック・アクチュエータ
１５では制御できない制御対象物１２に対する変位量は
非接触水平方向変位センサ１４により検出され、所定数
値に設定された目標値と非接触水平方向変位センサ１４
により検出された変位、即ち制御量とを比較し、この結
果によってサーボ弁駆動回路Ｄ2でサーボ弁１７の弁を
開閉させて空圧アクチュエータ１６を駆動する。Further, the displacement amount with respect to the controlled object 12 which cannot be controlled by the laminated ceramic actuator 15 is detected by the non-contact horizontal displacement sensor 14, and the target value set to a predetermined numerical value and the non-contact horizontal displacement sensor 14 are detected.
The displacement, that is, the control amount, is compared, and the servo valve drive circuit D 2 opens and closes the valve of the servo valve 17 to drive the pneumatic actuator 16 according to the result.
【００１８】このような動作を、上述した目標値と制御
量との偏差を打消すまで繰返し行うことにより振動を絶
縁させる。なお、本実施例においては、制御対象物１２
の水平方向の制御にアクティブ振動絶縁装置を適用した
が、これに限らず制御対象物１２の垂直方向の制御にも
適用することができる。Vibrations are insulated by repeating such an operation until the deviation between the target value and the control amount is canceled. In the present embodiment, the controlled object 12
Although the active vibration isolator is applied to the horizontal control of, the present invention is not limited to this and can be applied to the vertical control of the controlled object 12.
【００１９】[0019]
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明のアクティブ振動絶縁装置によれば、空気バネで支持
されている制御対象物に搭載され水平方向の振動を検出
して水平方向の振動信号を出力する水平方向振動センサ
と、制御対象物の水平方向の変位を検出して水平方向の
変位信号を出力する水平方向変位センサと、水平方向の
変位信号により駆動されて制御対象物に水平方向の変位
制御力を注入する空圧アクチュエータと、空圧アクチュ
エータに直列接続され水平方向の振動信号により駆動さ
れて制御対象物に水平方向の振動制御力を注入する積層
型セラミックス・アクチュエータとを備えているので、
振動に対する応答を高速にでき、しかも振動系全体をバ
ランスよく制御できるので水平方向の振動絶縁性能を向
上させることができる。As is apparent from the above description, according to the active vibration isolator of the present invention, the horizontal vibration is detected by detecting the horizontal vibration which is mounted on the controlled object supported by the air spring. A horizontal vibration sensor that outputs a vibration signal, a horizontal displacement sensor that detects a horizontal displacement signal of the controlled object and outputs a horizontal displacement signal, and a horizontal displacement sensor that is driven by the horizontal displacement signal A pneumatic actuator that injects a horizontal displacement control force and a laminated ceramic actuator that is connected to the pneumatic actuator in series and that is driven by a horizontal vibration signal to inject a horizontal vibration control force into an object to be controlled. I have it, so
Since the response to vibration can be made fast and the whole vibration system can be controlled in a well-balanced manner, the vibration isolation performance in the horizontal direction can be improved.
【図１】本発明の実施例によるアクティブ振動絶縁装置
の説明図。FIG. 1 is an explanatory diagram of an active vibration isolator according to an embodiment of the present invention.
【図２】本発明によるアクティブ振動絶縁装置の水平方
向制御系を示すブロック図。FIG. 2 is a block diagram showing a horizontal control system of the active vibration isolator according to the present invention.
【図３】本発明によるアクティブ振動絶縁装置の水平方
向制御系を示すブロック図。FIG. 3 is a block diagram showing a horizontal control system of the active vibration isolator according to the present invention.
【図４】本発明によるアクティブ振動絶縁装置に使用さ
れる積層型セラミックス・アクチュエータによって得ら
れた印加電圧−水平方向振動変位量を示すグラフ。FIG. 4 is a graph showing applied voltage-horizontal vibration displacement obtained by a laminated ceramics actuator used in the active vibration isolator according to the present invention.
【図５】本発明によるアクティブ振動絶縁装置に使用さ
れる積層型セラミックス・アクチュエータによって得ら
れた注入電荷量−水平方向振動変位量を示すグラフ。FIG. 5 is a graph showing injected charge amount-horizontal vibration displacement amount obtained by the laminated ceramics actuator used in the active vibration isolator according to the present invention.
１０…空気バネの設置面 １１…空気バネ １２…制御対象物 １３…水平方向振動センサ １４…非接触水平方向変位センサ １５…積層型セラミックス・アクチュエータ １６…空圧アクチュエータ 10 ... Air spring installation surface 11 ... Air spring 12 ... Control object 13 ... Horizontal vibration sensor 14 ... Non-contact horizontal displacement sensor 15 ... Multilayer ceramic actuator 16 ... Pneumatic actuator
Claims (1)
載され水平方向の振動を検出して水平方向の振動信号を
出力する水平方向振動センサと、前記制御対象物の水平
方向の変位を検出して水平方向の変位信号を出力する水
平方向変位センサと、前記水平方向の変位信号により駆
動されて前記制御対象物に水平方向の変位制御力を注入
する空圧アクチュエータと、前記空圧アクチュエータに
直列接続され前記水平方向の振動信号により駆動されて
前記制御対象物に水平方向の振動制御力を注入する積層
型セラミックス・アクチュエータとを備えたことを特徴
とするアクティブ振動絶縁装置。1. A horizontal vibration sensor, which is mounted on an object to be controlled supported by an air spring, detects horizontal vibration and outputs a horizontal vibration signal, and a horizontal displacement of the object to be controlled. A horizontal displacement sensor that detects and outputs a horizontal displacement signal, a pneumatic actuator that is driven by the horizontal displacement signal and injects a horizontal displacement control force into the controlled object, and the pneumatic actuator And a laminated ceramics actuator that is connected in series to and is driven by the horizontal vibration signal to inject a horizontal vibration control force into the controlled object.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24684693A JPH07103281A (en) | 1993-10-01 | 1993-10-01 | Active vibration isolator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24684693A JPH07103281A (en) | 1993-10-01 | 1993-10-01 | Active vibration isolator |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07103281A true JPH07103281A (en) | 1995-04-18 |
Family
ID=17154585
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24684693A Pending JPH07103281A (en) | 1993-10-01 | 1993-10-01 | Active vibration isolator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07103281A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000249185A (en) * | 1999-02-26 | 2000-09-12 | Fujita Corp | Active type vibration resistant device |
-
1993
- 1993-10-01 JP JP24684693A patent/JPH07103281A/en active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2000249185A (en) * | 1999-02-26 | 2000-09-12 | Fujita Corp | Active type vibration resistant device |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20040413 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |