JPH0687675A - 金属及びセラミックス積層体の製造方法 - Google Patents
金属及びセラミックス積層体の製造方法Info
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- JPH0687675A JPH0687675A JP8420492A JP8420492A JPH0687675A JP H0687675 A JPH0687675 A JP H0687675A JP 8420492 A JP8420492 A JP 8420492A JP 8420492 A JP8420492 A JP 8420492A JP H0687675 A JPH0687675 A JP H0687675A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】他部材に接合する際に十分な接合強度を得るこ
とができる金属及びセラミックス積層体の製造方法を提
供することを目的とする。 【構成】一方の表面側に形成されたセラミックス又はセ
ラミックスを主体とする第１の層２と、他の表面側に形
成された金属又は金属を主体とする第２の層３と、これ
らの間に介装される１又は２以上の金属及びセラミック
スの混合層４とを有し、他の部材に接合されるべき金属
及びセラミックス積層体を製造する方法であって、前記
各層に対応する成形体を組成が連続的に変化するように
積層して積層成形体１を形成する工程と、この積層成形
体１を焼結させる工程と、これにより生成された積層体
１３に対し、前記他の部材に接合させる温度又はその近
傍の温度で積層体１３を治具１４，１５に挟むことによ
り矯正プレスを施す工程とを具備する。
とができる金属及びセラミックス積層体の製造方法を提
供することを目的とする。 【構成】一方の表面側に形成されたセラミックス又はセ
ラミックスを主体とする第１の層２と、他の表面側に形
成された金属又は金属を主体とする第２の層３と、これ
らの間に介装される１又は２以上の金属及びセラミック
スの混合層４とを有し、他の部材に接合されるべき金属
及びセラミックス積層体を製造する方法であって、前記
各層に対応する成形体を組成が連続的に変化するように
積層して積層成形体１を形成する工程と、この積層成形
体１を焼結させる工程と、これにより生成された積層体
１３に対し、前記他の部材に接合させる温度又はその近
傍の温度で積層体１３を治具１４，１５に挟むことによ
り矯正プレスを施す工程とを具備する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、熱応力緩和のための
傾斜機能材料として用いられる金属及びセラミックス積
層体の製造方法に関する。傾斜機能材料は、宇宙航空機
の外壁など表面が極めて高温となる用途に用いられる。
傾斜機能材料として用いられる金属及びセラミックス積
層体の製造方法に関する。傾斜機能材料は、宇宙航空機
の外壁など表面が極めて高温となる用途に用いられる。
【０００２】
【従来の技術】ロケット及び航空機の外壁材、エンジン
部材等、耐熱性及び放熱性を兼備していることが要求さ
れる用途へ適用される材料として、所謂傾斜機能材料が
注目されている。傾斜機能材料は、耐熱性が良好なセラ
ミックスと放熱性が良好な金属とを積層することで、高
耐熱性及び高放熱性を維持した材料をいい、このよう傾
斜機能材料の製造方法として、セラミックス、金属、こ
れらの混合体からなる成形体を作成し、これら成形体を
組成が連続的に変化するように積層し、この積層成形体
を焼結して、金属及びセラミックス積層体を製造する方
法が提案されている（特開平２−１６０５５０）。この
方法によれば、各層間の歪みが小さく、また各層間に発
生する熱応力を極めて小さくすることができる。
部材等、耐熱性及び放熱性を兼備していることが要求さ
れる用途へ適用される材料として、所謂傾斜機能材料が
注目されている。傾斜機能材料は、耐熱性が良好なセラ
ミックスと放熱性が良好な金属とを積層することで、高
耐熱性及び高放熱性を維持した材料をいい、このよう傾
斜機能材料の製造方法として、セラミックス、金属、こ
れらの混合体からなる成形体を作成し、これら成形体を
組成が連続的に変化するように積層し、この積層成形体
を焼結して、金属及びセラミックス積層体を製造する方
法が提案されている（特開平２−１６０５５０）。この
方法によれば、各層間の歪みが小さく、また各層間に発
生する熱応力を極めて小さくすることができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
傾斜機能材料としての金属及びセラミックス積層体は、
通常、冷却構造パネルにろう付け接合される。しかし、
上述のように製造された金属及びセラミックス積層体に
は焼結工程において、若干の反りの発生を避け得ず、特
に積層体が大型化すると、積層体の反りに起因して十分
な接合強度が得られないという問題点が生じる。
傾斜機能材料としての金属及びセラミックス積層体は、
通常、冷却構造パネルにろう付け接合される。しかし、
上述のように製造された金属及びセラミックス積層体に
は焼結工程において、若干の反りの発生を避け得ず、特
に積層体が大型化すると、積層体の反りに起因して十分
な接合強度が得られないという問題点が生じる。
【０００４】この発明はかかる事情に鑑みてなされたも
のであって、他部材に接合する際に十分な接合強度を得
ることができる金属及びセラミックス積層体の製造方法
を提供することを目的とする。
のであって、他部材に接合する際に十分な接合強度を得
ることができる金属及びセラミックス積層体の製造方法
を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段及び作用】この発明は、上
記課題を解決するために、一方の表面側に形成されたセ
ラミックス又はセラミックスを主体とする第１の層と、
他の表面側に形成された金属又は金属を主体とする第２
の層と、これらの間に介装される１又は２以上の金属及
びセラミックスの混合層とを有し、他の部材に接合され
るべき金属及びセラミックス積層体の製造方法であっ
て、前記各層に対応する成形体を組成が連続的に変化す
るように積層して積層成形体を形成する工程と、この積
層成形体を焼結させる工程と、これにより生成された焼
結体に対し、前記他の部材に接合させる温度又はその近
傍の温度で矯正プレスを施す工程とを具備することを特
徴とする金属及びセラミックス積層体の製造方法を提供
する。
記課題を解決するために、一方の表面側に形成されたセ
ラミックス又はセラミックスを主体とする第１の層と、
他の表面側に形成された金属又は金属を主体とする第２
の層と、これらの間に介装される１又は２以上の金属及
びセラミックスの混合層とを有し、他の部材に接合され
るべき金属及びセラミックス積層体の製造方法であっ
て、前記各層に対応する成形体を組成が連続的に変化す
るように積層して積層成形体を形成する工程と、この積
層成形体を焼結させる工程と、これにより生成された焼
結体に対し、前記他の部材に接合させる温度又はその近
傍の温度で矯正プレスを施す工程とを具備することを特
徴とする金属及びセラミックス積層体の製造方法を提供
する。
【０００６】本願発明者らは、上述の特開平２−１６０
５５０に開示された方法によって製造された金属及びセ
ラミックス積層体を冷却構造パネルに十分な接合強度で
接合する方法について検討を重ねた結果、接合温度で積
層体を矯正プレスすればよいこと見出した。このように
矯正プレスを行うことにより積層体の反りが軽減され、
積層体を十分な強度で冷却構造パネルに接合することが
できる。
５５０に開示された方法によって製造された金属及びセ
ラミックス積層体を冷却構造パネルに十分な接合強度で
接合する方法について検討を重ねた結果、接合温度で積
層体を矯正プレスすればよいこと見出した。このように
矯正プレスを行うことにより積層体の反りが軽減され、
積層体を十分な強度で冷却構造パネルに接合することが
できる。
【０００７】
【実施例】以下、この発明の実施例について具体的に説
明する。
明する。
【０００８】まず、積層体を構成する各層に対応する成
形体を作製する。成形はドクターブレード法で行うこと
が好適である。これら成形体は、金属、セラミックス又
はこれらの混合体と、バインダーなどの添加剤とで構成
されており、夫々異なる組成を有している。そして、こ
れら成形体を組成が連続するように積層して積層成形体
を作製する。この場合に、積層成形体を焼結したときの
収縮率を制御するために、粉末の粒度及び添加剤の配合
量を調節することが好ましい。
形体を作製する。成形はドクターブレード法で行うこと
が好適である。これら成形体は、金属、セラミックス又
はこれらの混合体と、バインダーなどの添加剤とで構成
されており、夫々異なる組成を有している。そして、こ
れら成形体を組成が連続するように積層して積層成形体
を作製する。この場合に、積層成形体を焼結したときの
収縮率を制御するために、粉末の粒度及び添加剤の配合
量を調節することが好ましい。
【０００９】次に、この積層成形体を焼結させる。この
焼結に際しては通常融点の低い金属を考慮して、金属が
溶融せずしかもセラミックスが焼結可能な温度を選択す
る。この場合に、積層成形体の両側の層が、夫々その組
成の適正焼結温度になるように焼結温度を設定して行う
ことが好ましい。これは金属とセラミックスとで適正焼
結温度が著しく異なる場合に有効である。また、この焼
結処理は積層成形体を加圧しながら行うことが好まし
い。
焼結に際しては通常融点の低い金属を考慮して、金属が
溶融せずしかもセラミックスが焼結可能な温度を選択す
る。この場合に、積層成形体の両側の層が、夫々その組
成の適正焼結温度になるように焼結温度を設定して行う
ことが好ましい。これは金属とセラミックスとで適正焼
結温度が著しく異なる場合に有効である。また、この焼
結処理は積層成形体を加圧しながら行うことが好まし
い。
【００１０】この焼結工程の一例を図１に示す。焼成炉
１０内には台部材１２が設けられ、この台部材１２上に
積層成形体１が載置される。積層成形体１の上方には加
圧部材１１が設けられ、積層成形体１は台部材１２と加
圧部材１１との間に挟まれた状態で加圧部材１１によっ
て加圧される。そして、積層成形体１はこのように加圧
された状態で焼成される。
１０内には台部材１２が設けられ、この台部材１２上に
積層成形体１が載置される。積層成形体１の上方には加
圧部材１１が設けられ、積層成形体１は台部材１２と加
圧部材１１との間に挟まれた状態で加圧部材１１によっ
て加圧される。そして、積層成形体１はこのように加圧
された状態で焼成される。
【００１１】この場合に、積層成形体１は、例えば、最
上層２がジルコニア、アルミナ等のセラミックスまたは
セラミックスリッチの金属との混合体で形成され、最下
層３がニッケル、鉄等の金属または金属リッチのセラミ
ックスとの混合体で形成され、これらの間の層４は最上
層２と最下層３との間の組成を有している。
上層２がジルコニア、アルミナ等のセラミックスまたは
セラミックスリッチの金属との混合体で形成され、最下
層３がニッケル、鉄等の金属または金属リッチのセラミ
ックスとの混合体で形成され、これらの間の層４は最上
層２と最下層３との間の組成を有している。
【００１２】この場合に、通常は金属のほうが焼結温度
が低いので、最上層側の温度が最下層側の温度よりも低
くなるように焼成温度をセットすることが好ましい。こ
れは最下層３に接している台部材１２内に例えば冷却媒
体を通流させることにより達成することができる。な
お、この焼結工程は、金属の酸化防止の観点から真空
下、又は還元雰囲気中で行われる。
が低いので、最上層側の温度が最下層側の温度よりも低
くなるように焼成温度をセットすることが好ましい。こ
れは最下層３に接している台部材１２内に例えば冷却媒
体を通流させることにより達成することができる。な
お、この焼結工程は、金属の酸化防止の観点から真空
下、又は還元雰囲気中で行われる。
【００１３】この焼結工程の後、焼結体には反り等が生
じているので矯正プレスに供される。この矯正プレス
は、平坦な表面を有する一対の治具の間に焼結後の積層
体を介在させて積層体に荷重を負荷することにより行わ
れる。この際に積層体の温度を、その後に積層体が接合
されるべき部材、例えば冷却構造パネルへの接合温度又
はその近傍温度になるようにセットする。少なくとも接
合温度付近で積層体が平坦になっていれば良好な接合状
態で接合されると考えられるからである。
じているので矯正プレスに供される。この矯正プレス
は、平坦な表面を有する一対の治具の間に焼結後の積層
体を介在させて積層体に荷重を負荷することにより行わ
れる。この際に積層体の温度を、その後に積層体が接合
されるべき部材、例えば冷却構造パネルへの接合温度又
はその近傍温度になるようにセットする。少なくとも接
合温度付近で積層体が平坦になっていれば良好な接合状
態で接合されると考えられるからである。
【００１４】このように各工程を経て、反りが矯正され
た金属及びセラミックス積層体が製造される。なお、矯
正プレスにより平坦になった積層体は、金属とセラミッ
クスとの熱膨張率の差に起因して若干反りが生じるが、
これは焼結体の反りより程度が小さく、しかもモデル計
算により算出可能なものである。
た金属及びセラミックス積層体が製造される。なお、矯
正プレスにより平坦になった積層体は、金属とセラミッ
クスとの熱膨張率の差に起因して若干反りが生じるが、
これは焼結体の反りより程度が小さく、しかもモデル計
算により算出可能なものである。
【００１５】次に、この発明の具体的な実施例について
説明する。ここでは、セラミックスとしてジルコニア
（ＺｒＯ2 ）を用い、金属としてニッケル（Ｎｉ）を用
いた場合について説明する。ＺｒＯ2 原料としては、東
ソー株式会社製Ｙ2 Ｏ3 部分安定化ＺｒＯ2 粉末ＴＺ−
３Ｙ、及び品川白煉瓦株式会社製安定化ＺｒＯ2 ファイ
バーＹ７Ｚを用い、またＮｉ原料としては、インコリミ
テッド製Ｎｉ粉末ＩＮＣＯType123 を用いた。なお、Ｚ
ｒＯ2 原料としては部分安定化ＺｒＯ2 を主体とし、収
縮調整用としてＺｒＯ2 ファイバーを用いた。
説明する。ここでは、セラミックスとしてジルコニア
（ＺｒＯ2 ）を用い、金属としてニッケル（Ｎｉ）を用
いた場合について説明する。ＺｒＯ2 原料としては、東
ソー株式会社製Ｙ2 Ｏ3 部分安定化ＺｒＯ2 粉末ＴＺ−
３Ｙ、及び品川白煉瓦株式会社製安定化ＺｒＯ2 ファイ
バーＹ７Ｚを用い、またＮｉ原料としては、インコリミ
テッド製Ｎｉ粉末ＩＮＣＯType123 を用いた。なお、Ｚ
ｒＯ2 原料としては部分安定化ＺｒＯ2 を主体とし、収
縮調整用としてＺｒＯ2 ファイバーを用いた。
【００１６】ここでセラミックスとしてＺｒＯ2 を選択
した理由は、セラミックス材料の中では熱膨張率がＡｌ
2 Ｏ3 の数分の１程度と比較的低く、耐熱性が大きいこ
と、及び熱膨張率が大きく金属材料との間の熱応力緩和
機能がより効果的に発揮できると考えられることによ
る。また、部分安定化ＺｒＯ2 を主体としたのは、熱衝
撃を受けた際に、正方晶から単斜晶への応力誘起変態の
際に生ずる微細な亀裂によって熱衝撃が緩和されるから
である。
した理由は、セラミックス材料の中では熱膨張率がＡｌ
2 Ｏ3 の数分の１程度と比較的低く、耐熱性が大きいこ
と、及び熱膨張率が大きく金属材料との間の熱応力緩和
機能がより効果的に発揮できると考えられることによ
る。また、部分安定化ＺｒＯ2 を主体としたのは、熱衝
撃を受けた際に、正方晶から単斜晶への応力誘起変態の
際に生ずる微細な亀裂によって熱衝撃が緩和されるから
である。
【００１７】一方、金属としてＮｉを用いた理由はＺｒ
Ｏ2 との熱膨脹率の相対的バランスから熱応力を小さく
することができると予想されること、及び融点が比較的
高く、かつ純金属なので積層体の製造中に相変化が少な
いと考えられるためである。
Ｏ2 との熱膨脹率の相対的バランスから熱応力を小さく
することができると予想されること、及び融点が比較的
高く、かつ純金属なので積層体の製造中に相変化が少な
いと考えられるためである。
【００１８】このような原料を用いて、（１）ＺｒＯ2
６５％−Ｎｉ３５％、（２）ＺｒＯ2 ６０％−Ｎｉ４０
％、（３）ＺｒＯ2 ４０％−Ｎｉ６０％、（４）ＺｒＯ
2 ２０％−Ｎｉ８０％（いずれも体積％）の成形体（グ
リーンシート）を製造した。グリーンシートの製造はド
クターブレード法を用いて行った。すなわち、原料粉
末、バインダー、可塑剤、分散剤、溶媒等からなスラリ
ーを、ドクターブレード装置を用いて成形フィルム上に
一定の厚さで供給し、これを乾燥させてグリーンシート
とした。
６５％−Ｎｉ３５％、（２）ＺｒＯ2 ６０％−Ｎｉ４０
％、（３）ＺｒＯ2 ４０％−Ｎｉ６０％、（４）ＺｒＯ
2 ２０％−Ｎｉ８０％（いずれも体積％）の成形体（グ
リーンシート）を製造した。グリーンシートの製造はド
クターブレード法を用いて行った。すなわち、原料粉
末、バインダー、可塑剤、分散剤、溶媒等からなスラリ
ーを、ドクターブレード装置を用いて成形フィルム上に
一定の厚さで供給し、これを乾燥させてグリーンシート
とした。
【００１９】このようにして製造された各組成のグリー
ンシートを組成が連続的に変化するように、すなわち、
上記（１）〜（４）の順になるように積層して積層成形
体を作製した。
ンシートを組成が連続的に変化するように、すなわち、
上記（１）〜（４）の順になるように積層して積層成形
体を作製した。
【００２０】次に、この積層成形体の脱脂を行った。脱
脂はバインダーの分解温度である４５０℃よりも若干高
い５００℃で行った。なお、昇温速度は１０℃／min と
し、炉内圧を５ｋｇ／ｃｍ2 とした。
脂はバインダーの分解温度である４５０℃よりも若干高
い５００℃で行った。なお、昇温速度は１０℃／min と
し、炉内圧を５ｋｇ／ｃｍ2 とした。
【００２１】脱脂後、積層成形体を焼結させた。焼結処
理はＮｉの酸化を防止するため、還元雰囲気（Ａｒ＋１
０％Ｈ2 ）で行い、焼結温度はＮｉの融点である１４５
０℃よりもやや低い温度を選択し１４００℃とした。こ
れにより６０×６０ｍｍで厚さ約２．４ｍｍの焼結体が
得られた。
理はＮｉの酸化を防止するため、還元雰囲気（Ａｒ＋１
０％Ｈ2 ）で行い、焼結温度はＮｉの融点である１４５
０℃よりもやや低い温度を選択し１４００℃とした。こ
れにより６０×６０ｍｍで厚さ約２．４ｍｍの焼結体が
得られた。
【００２２】なお、この各層の厚さは熱応力が最小にな
るように計算で求めた値に近似させるように定めた。こ
の組成及び厚さは、高温側のＺｒＯ2 表面の温度が１６
００Ｋ、低温側のＮｉ裏面の温度が８００Ｋという高温
度落差環境下で、実際に熱応力緩和機能を発揮させるこ
とを目的として熱応力が最小となるよう、熱応力解析を
用いて設計された。
るように計算で求めた値に近似させるように定めた。こ
の組成及び厚さは、高温側のＺｒＯ2 表面の温度が１６
００Ｋ、低温側のＮｉ裏面の温度が８００Ｋという高温
度落差環境下で、実際に熱応力緩和機能を発揮させるこ
とを目的として熱応力が最小となるよう、熱応力解析を
用いて設計された。
【００２３】このようにして焼結体を２つ作製し（試料
１及び試料２とする）これらの反りを測定した。反りの
測定は、焼結体表面の幅方向をタッチロープで走査する
ことによって行った（使用装置：MITSUTOYO 製 表面形
状測定装置）。なお、測定はＮｉリッチ側で行った。そ
の結果、いずれの焼結体にも反りが見られ、試料１につ
いては図２の（ａ）に示すように、焼結体全体がＮｉリ
ッチ側を凸にして反っており、試料２では図２の（ｂ）
に示すように、焼結体の両端部でＮｉリッチ側を凸にし
て反り、中央部では凹にして反っていることが確認され
た。凹凸の最大量は試料１で１．９５ｍｍ、試料２で
０．６９ｍｍであった。
１及び試料２とする）これらの反りを測定した。反りの
測定は、焼結体表面の幅方向をタッチロープで走査する
ことによって行った（使用装置：MITSUTOYO 製 表面形
状測定装置）。なお、測定はＮｉリッチ側で行った。そ
の結果、いずれの焼結体にも反りが見られ、試料１につ
いては図２の（ａ）に示すように、焼結体全体がＮｉリ
ッチ側を凸にして反っており、試料２では図２の（ｂ）
に示すように、焼結体の両端部でＮｉリッチ側を凸にし
て反り、中央部では凹にして反っていることが確認され
た。凹凸の最大量は試料１で１．９５ｍｍ、試料２で
０．６９ｍｍであった。
【００２４】これら２つの焼結体（積層体）について矯
正プレスを行った。矯正プレスは、図３に示すような圧
縮試験治具１４及び１５に積層体１３を挟むことによっ
て行った。その際にクロスヘッドの制御はストローク制
御で行い、ストローク速度を０．０５mm／min とし、最
大荷重は５０kgとした。また、矯正プレス温度は冷却構
造パネルとの接合温度である１１００℃で行った。な
お、矯正プレスの際の炉内雰囲気は、Ａｒ＋１０％Ｈ2
とした。
正プレスを行った。矯正プレスは、図３に示すような圧
縮試験治具１４及び１５に積層体１３を挟むことによっ
て行った。その際にクロスヘッドの制御はストローク制
御で行い、ストローク速度を０．０５mm／min とし、最
大荷重は５０kgとした。また、矯正プレス温度は冷却構
造パネルとの接合温度である１１００℃で行った。な
お、矯正プレスの際の炉内雰囲気は、Ａｒ＋１０％Ｈ2
とした。
【００２５】矯正プレス後の試料１及び２について、矯
正プレス前と同じ位置で同様にして反りを測定した。そ
の結果を図４に示す。試料１については図４の（ａ）に
示すように、反り量が最大０．８１ｍｍと反りが５０％
以上軽減されていることが確認された。また、試料２に
ついては図４の（ｂ）に示すように、反り量の最大値が
０．７０ｍｍとあまり変化していないが、プレス前の湾
曲が矯正されていることが確認された。この矯正プレス
後の冷却による反りは、ＺｒＯ2 とＮｉとの熱膨張差に
起因することが数値解析により確認された。なお、冷却
による積層体の反りは接合時に矯正温度近傍まで加熱さ
れることにより消滅し、再び平坦になると推測される。
また、このような矯正プレスによって積層体の層の剥離
は確認されなかった。
正プレス前と同じ位置で同様にして反りを測定した。そ
の結果を図４に示す。試料１については図４の（ａ）に
示すように、反り量が最大０．８１ｍｍと反りが５０％
以上軽減されていることが確認された。また、試料２に
ついては図４の（ｂ）に示すように、反り量の最大値が
０．７０ｍｍとあまり変化していないが、プレス前の湾
曲が矯正されていることが確認された。この矯正プレス
後の冷却による反りは、ＺｒＯ2 とＮｉとの熱膨張差に
起因することが数値解析により確認された。なお、冷却
による積層体の反りは接合時に矯正温度近傍まで加熱さ
れることにより消滅し、再び平坦になると推測される。
また、このような矯正プレスによって積層体の層の剥離
は確認されなかった。
【００２６】このように矯正プレスされて製造された積
層体を用いて、図５に示すような冷却パネルを作製し
た。まず、冷却構造パネル２６の両側にろう材２７によ
りマニホールド２８を接合した。次いで積層体を４４×
４４ｍｍに加工し、その下面にろう材２３によりＮｉ板
２４を接合した。そしてＮｉ板２４をろう材２５により
冷却構造パネル２６に接合した。最後に、積層体２１の
上面にＺｒＯ2 層２２を溶射により形成し、冷却パネル
とした。試料１及び２とも積層体を十分な強度で接合す
ることができ、図５に示す冷却パネルが維持された。こ
の結果から、矯正プレスの有効性が確認された。
層体を用いて、図５に示すような冷却パネルを作製し
た。まず、冷却構造パネル２６の両側にろう材２７によ
りマニホールド２８を接合した。次いで積層体を４４×
４４ｍｍに加工し、その下面にろう材２３によりＮｉ板
２４を接合した。そしてＮｉ板２４をろう材２５により
冷却構造パネル２６に接合した。最後に、積層体２１の
上面にＺｒＯ2 層２２を溶射により形成し、冷却パネル
とした。試料１及び２とも積層体を十分な強度で接合す
ることができ、図５に示す冷却パネルが維持された。こ
の結果から、矯正プレスの有効性が確認された。
【００２７】
【発明の効果】この発明によれば、他部材に接合する際
に十分な接合強度を得ることができる金属及びセラミッ
クス積層体の製造方法が提供される。
に十分な接合強度を得ることができる金属及びセラミッ
クス積層体の製造方法が提供される。
【図１】この発明における焼結工程の一例を示す図。
【図２】焼結体の反りの状態を示す図。
【図３】矯正プレスの実施状態を説明する図。
【図４】矯正プレスされて得られた積層体の反りの状態
を示す図。
を示す図。
【図５】この発明に係る積層体を用いた冷却パネルを示
す側面図。
す側面図。
１；積層成形体、２，３，４；成形体、１０；焼成炉、
１１；加圧部材、１２；台部材、１３，２１；積層体、
１４，１５；圧縮試験治具、２２；ＺｒＯ2 層、２３，
２５，２７；ろう材、２４；Ｎｉ板、２６；冷却構造パ
ネル、２８；マニホールド。
１１；加圧部材、１２；台部材、１３，２１；積層体、
１４，１５；圧縮試験治具、２２；ＺｒＯ2 層、２３，
２５，２７；ろう材、２４；Ｎｉ板、２６；冷却構造パ
ネル、２８；マニホールド。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 百歩 珠子 東京都千代田区丸の内一丁目１番２号 日 本鋼管株式会社内 (72)発明者 田村 学 東京都千代田区丸の内一丁目１番２号 日 本鋼管株式会社内 (72)発明者 藤原 力 愛知県名古屋市港区大江町10番地 三菱重 工業株式会社名古屋航空宇宙システム製作 所内 (72)発明者 永田 佐登司 愛知県名古屋市港区大江町10番地 三菱重 工業株式会社名古屋航空宇宙システム製作 所内 (72)発明者 清藤 晋一郎 愛知県名古屋市港区大江町10番地 三菱重 工業株式会社名古屋航空宇宙システム製作 所内 (72)発明者 新野 正之 宮城県角田市君萱字小金沢１番地 科学技 術庁航空宇宙技術研究所角田支所内 (72)発明者 塩田 一路 東京都目黒区中目黒２丁目３番12号 科学 技術庁金属材料技術研究所内
Claims (2)
- 【請求項１】 一方の表面側に形成されたセラミックス
又はセラミックスを主体とする第１の層と、他の表面側
に形成された金属又は金属を主体とする第２の層と、こ
れらの間に介装される１又は２以上の金属及びセラミッ
クスの混合層とを有し、他の部材に接合されるべき金属
及びセラミックス積層体の製造方法であって、前記各層
に対応する成形体を組成が連続的に変化するように積層
して積層成形体を形成する工程と、この積層成形体を焼
結させる工程と、これにより生成された焼結体に対し、
前記他の部材に接合させる温度又はその近傍の温度で矯
正プレスを施す工程とを具備することを特徴とする金属
及びセラミックス積層体の製造方法。 - 【請求項２】 前記セラミックスはジルコニアであり、
前記金属はニッケルであることを特徴とする請求項１に
記載の金属及びセラミックス積層体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8420492A JPH0687675A (ja) | 1992-04-06 | 1992-04-06 | 金属及びセラミックス積層体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8420492A JPH0687675A (ja) | 1992-04-06 | 1992-04-06 | 金属及びセラミックス積層体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0687675A true JPH0687675A (ja) | 1994-03-29 |
Family
ID=13823957
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8420492A Pending JPH0687675A (ja) | 1992-04-06 | 1992-04-06 | 金属及びセラミックス積層体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0687675A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004507623A (ja) * | 2000-08-29 | 2004-03-11 | リキッドメタル テクノロジーズ | 金属母体内に不安定酸化ジルコニウム粒子のある組成物を含む製品と、その製造法 |
-
1992
- 1992-04-06 JP JP8420492A patent/JPH0687675A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004507623A (ja) * | 2000-08-29 | 2004-03-11 | リキッドメタル テクノロジーズ | 金属母体内に不安定酸化ジルコニウム粒子のある組成物を含む製品と、その製造法 |
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