JPH0676363A - Disk shaped recording medium and its manufacture - Google Patents

Disk shaped recording medium and its manufacture

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Publication number
JPH0676363A
JPH0676363A JP4253532A JP25353292A JPH0676363A JP H0676363 A JPH0676363 A JP H0676363A JP 4253532 A JP4253532 A JP 4253532A JP 25353292 A JP25353292 A JP 25353292A JP H0676363 A JPH0676363 A JP H0676363A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
recording medium
signal
laser light
shaped recording
guide groove
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP4253532A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Katsuhiko Otomo
勝彦 大友
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP4253532A priority Critical patent/JPH0676363A/en
Publication of JPH0676363A publication Critical patent/JPH0676363A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To eliminate a prepit manufacturing, to simplify the manufacturing processes, to efficiently reduce a production cost and to increase the recording capacity by placing preformat and data regions in the same space. CONSTITUTION:Guide grooves are formed along a track direction and preformat information and data are recorded for every sector. In this disk shaped recording medium, the guide grooves are formed in a meandering manner based on the signals in which reference signals that have prescribed frequencies and preformat information are synthesized.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、円盤状記録媒体、特に
トラック方向に沿って案内溝が形成され、セクタ毎にプ
リフォーマット情報とデータが記録されている円盤状記
録媒体とその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a disk-shaped recording medium, and more particularly to a disk-shaped recording medium in which guide grooves are formed along the track direction and preformat information and data are recorded in each sector, and a manufacturing method thereof. .

【0002】[0002]

【従来の技術】近時、円盤状の記録媒体として、読出し
専用の光記録媒体(一般にCD−ROMと称されてい
る)や書換え型光記録媒体、その他、光変調あるいは磁
界変調によって書換えが可能な光磁気記録媒体などが提
案され、現在、CD−ROMと光磁気記録媒体が実用化
に至っている。
2. Description of the Related Art Recently, as a disc-shaped recording medium, a read-only optical recording medium (generally referred to as a CD-ROM), a rewritable optical recording medium, or other rewritable by optical modulation or magnetic field modulation is possible. Various magneto-optical recording media have been proposed, and at present, CD-ROMs and magneto-optical recording media have come into practical use.

【0003】特に、上記光磁気記録媒体(以下、単に光
磁気ディスクと記す)は、そのフォーマット方式とし
て、現在、連続溝フォーマット方式とサンプル・サーボ
・フォーマット方式とがある。
In particular, the magneto-optical recording medium (hereinafter, simply referred to as a magneto-optical disk) has a continuous groove format system and a sample servo format system as its format system.

【0004】これら2つのフォーマット方式の中でも、
前者の連続溝フォーマット方式は、図5に示すように、
トラック中心Tcに沿って、1セクタ(例えば1360
バイト)毎に、プリフォーマット領域Zpとデータ領域
Zdとが記録されて構成される。プリフォーマット領域
Zpには、セクターマーク、ベリファイチェック、セク
ター位置を示すIDなどのパラメータやアドレス等の情
報がそれぞれピット(プリピット)101として記録さ
れている。そして、これらプリフォーマット領域Zpと
データ領域Zdの両側にトラッキングエラー検出用の案
内溝102が形成されている。
Among these two format methods,
The former continuous groove format system, as shown in FIG.
Along the track center Tc, one sector (for example, 1360
A preformat area Zp and a data area Zd are recorded for each byte. In the preformat area Zp, information such as sector marks, verify checks, parameters such as IDs indicating sector positions, and addresses is recorded as pits (prepits) 101. Then, guide grooves 102 for tracking error detection are formed on both sides of the preformatted area Zp and the data area Zd.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、プリピット
の情報は、再生ヘッドにより再生信号として取り出さ
れ、案内溝102は、再生ヘッドによりトラッキングエ
ラー信号として取り出されることから、プリピット10
1と案内溝102を再生ヘッドにて光学的に分離する必
要がある。そのため、案内溝102の深さをλ/8n、
プリピット101の深さをλ/4nに設定するようにし
ている。
By the way, the prepit information is extracted as a reproduction signal by the reproducing head, and the guide groove 102 is extracted as a tracking error signal by the reproducing head.
1 and the guide groove 102 must be optically separated by a reproducing head. Therefore, the depth of the guide groove 102 is λ / 8n,
The depth of the pre-pit 101 is set to λ / 4n.

【0006】しかし、実際に、深さの異なる案内溝10
2及びプリピット101を作製する場合、深さのコント
ロールがむずかしく、プロセス上、困難性を伴う。即
ち、光磁気ディスク原盤を作製する段階において、ガラ
ス基板上に塗布されたフォトレジスト膜に対してレーザ
光を照射して、フォトレジスト膜に案内溝102とプリ
ピット101の記録パターンを描画するが、このとき、
プリピット101に対応する記録パターンと案内溝10
2に対応する記録パターンの深さが共に同一となってし
まうため、原盤作製後の特に、光磁気ディスクのスタン
パーを作製した後において、スタンパーに対し穴開け処
理等を行ってプリピット101のパターンと案内溝10
2のパターンの深さを違える処理が必要になる。
However, actually, the guide grooves 10 having different depths are provided.
2 and the pre-pit 101, it is difficult to control the depth and the process is difficult. That is, at the stage of manufacturing the magneto-optical disc master, the photoresist film coated on the glass substrate is irradiated with laser light to draw the recording pattern of the guide groove 102 and the pre-pit 101 on the photoresist film. At this time,
Recording pattern corresponding to the pre-pit 101 and the guide groove 10
Since the recording patterns corresponding to No. 2 have the same depth, the punching process is performed on the stamper after the master fabrication, especially after the stamper of the magneto-optical disk is fabricated, so that the pattern of the pre-pit 101 becomes the same. Guide groove 10
The process of changing the depth of the pattern 2 is required.

【0007】この場合、プリピット101の位置を高精
度に検出し、かつその深さ高精度に制御する必要があ
り、製造工程が非常に複雑になると共に、製造コストの
高価格化を引き起こすという問題がある。しかも、図5
に示すように、1セクタ毎にプリフォーマット領域Zp
とデータ領域Zdとが空間的に分離されているため、記
録容量の増大化に限界が生じるという問題がある。
In this case, it is necessary to detect the position of the pre-pit 101 with high accuracy and to control the depth thereof with high accuracy, which complicates the manufacturing process and raises the manufacturing cost. There is. Moreover, FIG.
, The preformat area Zp
Since the data area Zd and the data area Zd are spatially separated, there is a problem that the increase in recording capacity is limited.

【0008】本発明は、上記の課題に鑑みてなされたも
ので、その目的とするところは、プリピットの作製を省
略することができ、製造工程の簡略化及び製造コストの
低廉化を効率よく図ることができると共に、プリフォー
マット領域とデータ領域を同一空間に配することがで
き、記録容量の増大化を図ることができる円盤状記録媒
体を提供することにある。
The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention that the preparation of prepits can be omitted and the manufacturing process can be simplified and the manufacturing cost can be efficiently reduced. Another object of the present invention is to provide a disc-shaped recording medium which can be arranged and can be arranged in the same space as the pre-formatted area and the data area, thereby increasing the recording capacity.

【0009】また、本発明は、プリピットの作製を省略
することができ、製造工程の簡略化及び製造コストの低
廉化を効率よく図ることができると共に、プリフォーマ
ット領域とデータ領域を同一空間に配することができ、
記録容量の増大化を図ることができる円盤状記録媒体を
容易に作製することができる円盤状記録媒体の製造方法
を提供することにある。
Further, according to the present invention, the production of prepits can be omitted, the manufacturing process can be simplified and the manufacturing cost can be efficiently reduced, and the preformat area and the data area can be arranged in the same space. You can
It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a disk-shaped recording medium, which can easily manufacture a disk-shaped recording medium capable of increasing the recording capacity.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明は、トラック方向
に沿って案内溝1が形成され、セクタ毎にプリフォーマ
ット情報とデータが記録されている円盤状記録媒体にお
いて、上記案内溝1に上記プリフォーマット情報Sfを
記録して構成する。
According to the present invention, in a disc-shaped recording medium in which a guide groove 1 is formed along the track direction and pre-format information and data are recorded in each sector, the guide groove 1 is formed in the above-mentioned manner. The preformat information Sf is recorded and configured.

【0011】この場合、例えば案内溝1を、所定周波数
を有する基準信号Pcとプリフォーマット情報Sfとが
合成された信号Scに基づいて、蛇行状に形成して構成
する
In this case, for example, the guide groove 1 is formed in a meandering shape based on the signal Sc obtained by combining the reference signal Pc having a predetermined frequency and the preformat information Sf.

【0012】また、本発明は、基板17上に塗布された
フォトレジスト膜18に対し、レーザ光Lrにより記録
パターンを描画した後、現像処理を施して上記基板17
上にフォトレジスト膜18によるマスクを形成し、その
後、めっき処理を施して金属製のスタンパーを作製する
円盤状記録媒体の製造方法において、上記レーザ光Lr
により、フォトレジスト膜18に対し、案内溝1に沿っ
た記録パターンを描画する段階において、上記レーザ光
Lrをプリフォーマット情報Sfに基づいて微小角偏向
させて上記記録パターンを描画する。
Further, according to the present invention, after the recording pattern is drawn on the photoresist film 18 coated on the substrate 17 by the laser beam Lr, the developing process is applied to the substrate 17 so as to be processed.
In the method for manufacturing a disk-shaped recording medium, in which a mask made of the photoresist film 18 is formed on the mask, and then a metal stamper is manufactured by plating, the laser light Lr is used.
Thus, in the step of drawing the recording pattern along the guide groove 1 on the photoresist film 18, the laser beam Lr is deflected by a slight angle based on the preformat information Sf to draw the recording pattern.

【0013】この場合、例えば、所定周波数を有する基
準信号Pcと上記プリフォーマット情報Sfとが合成さ
れた信号Scに基づいて、上記レーザ光Lrを微小角偏
向させる。
In this case, for example, the laser light Lr is deflected by a small angle based on the signal Sc obtained by combining the reference signal Pc having a predetermined frequency and the preformat information Sf.

【0014】[0014]

【作用】本発明に係る円盤状記録媒体において、再生信
号を得る場合、データ領域Zdに記録されているデータ
を再生ヘッドにて検出して行われる。このとき、案内溝
1を同時に再生ヘッドにてトレースすることにより、ト
ラッキングエラー信号を検出して上記データの検出を行
う。
In the disk-shaped recording medium according to the present invention, when the reproduction signal is obtained, the data recorded in the data area Zd is detected by the reproduction head. At this time, by tracing the guide groove 1 with the reproducing head at the same time, the tracking error signal is detected to detect the data.

【0015】特に、本発明に係る円盤状記録媒体におい
ては、案内溝1がプリフォーマット情報Sfに基づいて
蛇行状に形成されていることから、再生ヘッドから取り
出されるトラッキングエラー信号は、上記プリフォーマ
ット情報Sfを表すことになる。即ち、データの検出と
プリフォーマット情報Sfの検出とが同時に行われるこ
とになり、プリフォーマット情報Sfを得るためのプリ
ピットは不要となる。
Particularly, in the disc-shaped recording medium according to the present invention, since the guide groove 1 is formed in a meandering shape based on the preformat information Sf, the tracking error signal extracted from the reproducing head is the above-mentioned preformat. It represents the information Sf. That is, the data detection and the preformat information Sf detection are performed at the same time, and the prepits for obtaining the preformat information Sf are unnecessary.

【0016】また、本発明の円盤状記録媒体の製造方法
において、円盤状記録媒体原盤を作製する場合、まず、
基板17上に塗布されたフォトレジスト膜18に対し、
レーザ光Lrにより記録パターンを描画してマスクを作
製するが、案内溝1に対応する記録パターンを描画する
際、所定周波数を有する基準信号Pcとプリフォーマッ
ト情報Sfとが合成された信号Scに基づいて、レーザ
光Lrを微小角偏向させるため、描画される記録パター
ンはプリフォーマット情報Sfに基づいて、蛇行状に形
成されることになる。
In the method for producing a disc-shaped recording medium of the present invention, when a disc-shaped recording medium master is produced, first,
For the photoresist film 18 applied on the substrate 17,
A recording pattern is drawn by the laser beam Lr to produce a mask. When the recording pattern corresponding to the guide groove 1 is drawn, based on the signal Sc obtained by combining the reference signal Pc having a predetermined frequency and the preformat information Sf. Then, since the laser light Lr is deflected by a small angle, the recording pattern to be drawn is formed in a meandering shape based on the preformat information Sf.

【0017】その後、フォトレジスト膜18に対して現
像処理を行って、例えば上記レーザ光Lrによって描画
された記録パターンの部分を溶解除去する。このとき、
フォトレジスト膜18によるマスクが形成され、ガラス
基板17上にフォトレジスト膜18によるマスクが形成
された円盤状記録媒体原盤を得る。その後、例えば無電
解めっきを施して、フォトレジスト膜18を導電化させ
た後、金属めっきを施して、フォトレジスト膜18全面
に金属めっき膜を形成する。その後、この金属めっき膜
を剥離することにより、金属製のスタンパーが完成す
る。このとき、記録パターン、特に案内溝1に対応する
記録パターンは、プリフォーマット情報Sfに基づいて
蛇行状に形成された形となる。
After that, the photoresist film 18 is subjected to a developing treatment to dissolve and remove the portion of the recording pattern drawn by the laser beam Lr, for example. At this time,
A mask of the photoresist film 18 is formed, and a disc-shaped recording medium master having the mask of the photoresist film 18 formed on the glass substrate 17 is obtained. Then, for example, electroless plating is performed to make the photoresist film 18 conductive, and then metal plating is performed to form a metal plating film on the entire surface of the photoresist film 18. After that, the metal stamper is peeled off to complete the metal stamper. At this time, the recording pattern, especially the recording pattern corresponding to the guide groove 1, is formed in a meandering shape based on the preformat information Sf.

【0018】上記スタンパーを用いて、円盤状記録媒体
を作製するときは、上記工程以後、大量複製工程に移
り、スタンパーを型として、例えば射出成形法、圧縮成
形法あるいはフォトポリマリゼージョン(2p)法を用
いて、円盤状記録媒体を複製する。このとき、円盤状記
録媒体の案内溝1は、プリフォーマット情報Sfに基づ
いた形に蛇行状に形成される。
When a disk-shaped recording medium is produced using the stamper, the process is transferred to the mass duplication process after the above process, and the stamper is used as a mold, for example, injection molding method, compression molding method or photopolymerization (2p). ) Method is used to reproduce a disk-shaped recording medium. At this time, the guide groove 1 of the disk-shaped recording medium is formed in a meandering shape based on the preformat information Sf.

【0019】[0019]

【実施例】以下、本発明に係る円盤状記録媒体を光磁気
ディスクに適用した実施例(以下、実施例に係る光磁気
ディスクと記す)を図面を参照しながら説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment in which the disc-shaped recording medium according to the present invention is applied to a magneto-optical disk (hereinafter referred to as a magneto-optical disk according to the embodiment) will be described below with reference to the drawings.

【0020】この実施例に係る光磁気ディスクは、図1
Aに示すように、1セクタ毎にプリフォーマット領域Z
pとデータ領域Zdとが存在し、かつトラック中心Tc
の両側において、そのトラック方向に沿って案内溝1が
形成された連続溝フォーマット方式となっており、その
回転制御方式は、図1Bに示すように、CLV方式とな
っている。
The magneto-optical disk according to this embodiment is shown in FIG.
As shown in A, the preformat area Z is set for each sector.
p and the data area Zd exist, and the track center Tc
1B, a continuous groove format system is formed in which guide grooves 1 are formed along the track direction, and its rotation control system is a CLV system as shown in FIG. 1B.

【0021】そして、上記案内溝1は、所定の周波数を
有する基準信号とプリフォーマット情報が合成された信
号に基づいて形成され、図に示すように、蛇行状に形成
されている。従って、この光磁気ディスクにおいては、
トラック中心Tc上にデータが記録され、案内溝1にプ
リフォーマット情報が記録された形となって、プリフォ
ーマット領域Zpとデータ領域Zdとが同一空間に存在
した形となっている。
The guide groove 1 is formed based on a signal obtained by combining a reference signal having a predetermined frequency and preformat information, and is formed in a meandering shape as shown in the figure. Therefore, in this magneto-optical disk,
Data is recorded on the track center Tc and preformat information is recorded in the guide groove 1, so that the preformat area Zp and the data area Zd exist in the same space.

【0022】従って、この光磁気ディスクから再生信号
を得る場合、データ領域Zdに記録されているデータを
再生ヘッドにて検出することにより行われる。このと
き、既知の読み出し方法と同様に、案内溝1を同時に再
生ヘッドにてトレースすることにより、トラッキングエ
ラー信号を検出しながら上記データの検出を行う。
Therefore, the reproduction signal is obtained from this magneto-optical disk by detecting the data recorded in the data area Zd by the reproduction head. At this time, similarly to the known reading method, the guide groove 1 is simultaneously traced by the reproducing head to detect the above data while detecting the tracking error signal.

【0023】特に、本実施例に係る光磁気ディスクにお
いては、案内溝1が上記基準信号とプリフォーマット情
報との合成信号に基づいて蛇行状に形成されていること
から、再生ヘッドから取り出されるトラッキングエラー
信号を復調することにより、プリフォーマット情報を得
ることができる。即ち、本実施例においては、データの
検出とプリフォーマット情報の検出とが同時に行われる
ことになり、プリフォーマット情報を得るためのプリピ
ットは不要となる。また、リードイン領域に記録される
システム情報(ディスクパラメータ等)を、上記のよう
に、案内溝1にて記録すれば、システム情報を得るため
のプリピットも不要となり、光磁気ディスク全体におい
てプリピットを形成する必要がなくなる。
Particularly, in the magneto-optical disk according to the present embodiment, the guide groove 1 is formed in a meandering shape based on the composite signal of the reference signal and the preformat information, so that the tracking taken out from the reproducing head is performed. Pre-format information can be obtained by demodulating the error signal. That is, in the present embodiment, the data detection and the preformat information detection are performed at the same time, and the prepit for obtaining the preformat information is unnecessary. Further, if the system information (disk parameters, etc.) recorded in the lead-in area is recorded in the guide groove 1 as described above, the prepits for obtaining the system information are unnecessary, and the prepits are formed in the entire magneto-optical disk. There is no need to form.

【0024】上述のように、本実施例に係る光磁気ディ
スクによれば、プリピットを形成する必要がないため、
案内溝1とプリピットを形成するための深さ制御が不要
となり、製造工程の簡略化を図ることができ、製造コス
トの低廉化を効率よく図ることができる。しかも、プリ
フォーマット領域Zpとデータ領域Zdとを同一空間に
形成することができるため、1セクタあたりの記録容量
の増大化、並びに光磁気ディスク全体の記録容量の増大
化を向上させることができる。
As described above, according to the magneto-optical disk of this embodiment, it is not necessary to form prepits,
Depth control for forming the guide groove 1 and the prepits is not required, the manufacturing process can be simplified, and the manufacturing cost can be efficiently reduced. Moreover, since the preformatted area Zp and the data area Zd can be formed in the same space, it is possible to improve the increase in recording capacity per sector and the increase in recording capacity of the entire magneto-optical disk.

【0025】次に、上記本実施例に係る光磁気ディスク
の製造方法、特に光磁気ディスクのためのスタンパーを
作製する方法を図2〜図4を参照しながら説明する。こ
こで、図2で示す装置は、スタンパーの前段階である光
磁気ディスクの原盤作製に用いられる光学記録装置(レ
ーザカッティング装置)を構成を示すものである。
Next, a method of manufacturing the magneto-optical disk according to this embodiment, particularly a method of manufacturing a stamper for the magneto-optical disk will be described with reference to FIGS. Here, the apparatus shown in FIG. 2 shows the configuration of an optical recording apparatus (laser cutting apparatus) used for producing a master of a magneto-optical disk, which is a pre-stage of a stamper.

【0026】この装置は、基本的には、気体を増幅媒質
とするガスレーザ光源11と、このガスレーザ光源11
から出射されたレーザ光Lrを、入力される信号電界に
応じて強度変調する横型電気光学変調器(Erectro Opti
c Modulator ;以下、単にEOMと記す)12と、記録
信号Swにて変調された超音波US1 に基づいて、上記
EOM12からのレーザ光Lrを強度変調する音響光学
変調器(Acousto Optic Modulator ;以下、単にAOM
と記す)13と、このAOM13にて強度変調されたレ
ーザ光Lrを、高速でX軸方向に微小角偏向する音響光
学偏向器(Acousto Optic Deflector ;以下、単にAO
Dと記す)14とから構成されている。
This apparatus is basically a gas laser light source 11 using a gas as an amplification medium, and this gas laser light source 11
A horizontal electro-optic modulator (Erectro Optic modulator) that intensity-modulates the laser light Lr emitted from the laser light Lr according to the input signal electric field.
c Modulator; hereinafter simply referred to as EOM) 12 and an acousto-optic modulator (Acousto Optic Modulator; hereinafter) that intensity-modulates the laser light Lr from the EOM 12 based on the ultrasonic wave US 1 modulated by the recording signal Sw. , Simply AOM
13) and an acousto-optic deflector (Acousto Optic Deflector) for deflecting the laser beam Lr intensity-modulated by the AOM 13 at a high speed at a small angle in the X-axis direction.
D) 14).

【0027】AOD14を透過したレーザ光Lrは、ダ
イクロイックミラー15を介してカッティングヘッド1
6に導かれる。このカッティングヘッド16は、レーザ
光Lrを、円形のガラス基板17上に形成されたフォト
レジスト膜18上に集光する対物レンズ19と、AOD
14からのレーザ光Lrを対物レンズ19側に反射させ
るミラー20とから構成され、特に対物レンズ19は、
上記フォトレジスト膜18上に所定間隔をもって対向し
て配されている。
The laser light Lr transmitted through the AOD 14 passes through the dichroic mirror 15 and the cutting head 1
Guided to 6. The cutting head 16 includes an objective lens 19 for condensing the laser light Lr on a photoresist film 18 formed on a circular glass substrate 17, and an AOD.
And a mirror 20 for reflecting the laser light Lr from the laser light 14 toward the objective lens 19 side. In particular, the objective lens 19 is
The photoresist films 18 are arranged so as to face each other with a predetermined interval.

【0028】そして、このカッティングヘッド16は、
例えばステッピングモータを主体とする既知の移動機構
(図示せず)によって、ガラス基板17の径方向に移動
する。また、ガラス基板17は、円形のステージ21上
に例えば真空吸着によって固定されており、このステー
ジ21がスピンドルモータ22によって回転駆動される
ことにより、例えばCLV方式で回転するようになって
いる。
The cutting head 16 is
For example, the glass substrate 17 is moved in the radial direction by a known moving mechanism (not shown) mainly including a stepping motor. The glass substrate 17 is fixed on a circular stage 21 by, for example, vacuum suction, and when the stage 21 is rotationally driven by a spindle motor 22, the glass substrate 17 is rotated by, for example, the CLV method.

【0029】ここで、レーザ光Lrとしては、フォトレ
ジスト膜18の感光材料がポジ型の場合、一般に、青色
から紫外領域の波長をもつ連続発振のガスレーザが用い
られる。具体的には、波長458nmのArレーザ、波
長442nmのHe−Cdレーザ、波長410nmのK
rレーザあるいは波長360nmのUV−Arレーザが
使用される。また、これらのガスレーザは、ブリュース
ター窓により直線偏光のレーザ光Lrとして出射され
る。
As the laser light Lr, when the photosensitive material of the photoresist film 18 is a positive type, a continuous wave gas laser having a wavelength in the blue to ultraviolet region is generally used. Specifically, an Ar laser having a wavelength of 458 nm, a He-Cd laser having a wavelength of 442 nm, and a K having a wavelength of 410 nm.
An r laser or a UV-Ar laser having a wavelength of 360 nm is used. Further, these gas lasers are emitted as linearly polarized laser light Lr through the Brewster window.

【0030】EOM12は、例えばADPやKDPの結
晶で構成されており、このEOM12の電極間に可変直
流電源23のみが接続されている。通常、この可変直流
電源23からは、一定レベルの直流電圧Vが出力され
る。そして、EOM12に入射された直線偏光のレーザ
光Lr、特に媒質中における2つの直交偏光成分間の光
学的位相差Δφが、上記可変直流電源23からの直流電
圧Vの供給によって制御され、この制御により、レーザ
光Lrの偏光状態が変化する。
The EOM 12 is made of, for example, ADP or KDP crystal, and only the variable DC power supply 23 is connected between the electrodes of the EOM 12. Normally, the variable DC power supply 23 outputs a DC voltage V of a constant level. Then, the linearly polarized laser light Lr incident on the EOM 12, particularly the optical phase difference Δφ between the two orthogonal polarization components in the medium is controlled by the supply of the DC voltage V from the variable DC power supply 23, and this control is performed. This changes the polarization state of the laser light Lr.

【0031】このEOM12を透過したレーザ光Lr
は、楕円偏光となるため、後段の1/4波長板及び検光
子からなるアナライザ24にて強度変調光に変換され
る。即ち、EOM12から出力された楕円偏光のレーザ
光Lrは、まず、1/4波長板にて直線偏光のレーザ光
Lrに戻されるが、入射光に比べて電気ベクトルの振動
面が直流電圧Vに比例した角度Δφ/2だけ回転してい
るため、次に検光子によって強度変調光に変換される。
この場合、上記EOM12から出力されたレーザ光Lr
は、図4で示す特性曲線sin2(V) に比例した光出
力(光量)となる。
Laser light Lr transmitted through this EOM 12
Becomes elliptically polarized light, so that it is converted into intensity-modulated light by the analyzer 24 composed of a ¼ wavelength plate and an analyzer in the subsequent stage. That is, the elliptically-polarized laser light Lr output from the EOM 12 is first returned to the linearly-polarized laser light Lr by the quarter-wave plate. Since it is rotated by a proportional angle Δφ / 2, it is then converted into intensity-modulated light by the analyzer.
In this case, the laser beam Lr output from the EOM 12
Is an optical output (light quantity) proportional to the characteristic curve sin 2 (V) shown in FIG.

【0032】そして、本実施例においては、EOM12
の後段(正確には、アナライザ24の後段)にハーフミ
ラー又はビームスプリッタ(以下、ハーフミラー等と記
す)25を配置することによって、EOM12を透過し
たレーザ光Lrを2つに分け、この2つに分岐された光
路中、EOM12の透過光路に延長した第1の光路上に
光検出器26を配置し、その後段に電圧制御回路27を
接続する。そして、この電圧制御回路27と上記可変直
流電源23とを接続する。即ち、EOM12、光検出器
26、電圧制御回路27及び可変直流電源23にて1つ
のフィードバック系28が構成される。光検出器26
は、EOM12を透過したレーザ光Lrの光出力を信号
電流(検出信号)Siに変換するもので、例えばフォト
ダイオードにて構成することができる。
In this embodiment, the EOM12
A laser beam Lr transmitted through the EOM 12 is divided into two by disposing a half mirror or a beam splitter (hereinafter referred to as a half mirror) 25 in the latter stage (more accurately, in the latter stage of the analyzer 24). The photodetector 26 is arranged on the first optical path extending to the transmission optical path of the EOM 12 in the optical path branched into the optical path, and the voltage control circuit 27 is connected to the subsequent stage. Then, the voltage control circuit 27 and the variable DC power supply 23 are connected. That is, the EOM 12, the photodetector 26, the voltage control circuit 27, and the variable DC power supply 23 constitute one feedback system 28. Photodetector 26
Is for converting the optical output of the laser beam Lr that has passed through the EOM 12 into a signal current (detection signal) Si, which can be constituted by, for example, a photodiode.

【0033】電圧制御回路21は、例えば図3に示すよ
うに、光検出器26からの検出信号Siを電圧変換する
プリアンプ31と、このプリアンプ31からの電圧信号
Viとリファレンス電圧Vrとの差をとる差分アンプ3
2と、この差分アンプ32からの差信号Δvを所定のゲ
インにて増幅するドライブアンプ33とから構成されて
いる。ここで、上記リファレンス電圧Vrは、所望する
光出力(光量)対応した電圧に設定されている。また、
可変直流電源23は、基準電圧源34と、この基準電圧
源34からの基準電圧Vbとドライブアンプ33からの
増幅差信号ΔVとを加算する加算器35とで構成されて
いる。
For example, as shown in FIG. 3, the voltage control circuit 21 detects the difference between the preamplifier 31 for converting the detection signal Si from the photodetector 26 into a voltage and the voltage signal Vi from the preamplifier 31 and the reference voltage Vr. Difference amplifier 3
2 and a drive amplifier 33 that amplifies the difference signal Δv from the difference amplifier 32 with a predetermined gain. Here, the reference voltage Vr is set to a voltage corresponding to a desired light output (light quantity). Also,
The variable DC power supply 23 includes a reference voltage source 34 and an adder 35 that adds the reference voltage Vb from the reference voltage source 34 and the amplification difference signal ΔV from the drive amplifier 33.

【0034】このフィードバック系28の動作を説明す
ると、まず、EOM12を透過したレーザ光Lrの一部
がハーフミラー等25を介して光検出器26に入射され
る。この光検出器26からは、入射されたレーザ光Lr
の光量に応じた信号電流(検出信号)Siが出力され
る。光検出器26からの検知信号Siは、後段のプリア
ンプ31にて検出信号Siが電圧変換され、検出信号S
iの電流レベルに応じた電圧レベルを有する電圧信号V
iとして出力される。
The operation of the feedback system 28 will be described. First, a part of the laser beam Lr transmitted through the EOM 12 is incident on the photodetector 26 via the half mirror 25. From the photodetector 26, the incident laser light Lr
A signal current (detection signal) Si corresponding to the amount of light is output. The detection signal Si from the photodetector 26 is converted into a voltage by the preamplifier 31 in the subsequent stage, and the detection signal S
voltage signal V having a voltage level corresponding to the current level of i
It is output as i.

【0035】そして、次段の差分アンプ32から上記電
圧信号Viとリファレンス電圧Vrとのレベル差を示す
差信号Δvが出力される。電圧信号Viのレベルがリフ
ァレンス電圧Vrのレベルよりも大きい場合、負レベル
の差信号Δvが出力され、逆に電圧信号Viのレベルが
リファレンス電圧Vrのレベルよりも小さい場合、正レ
ベルの差信号Δvが出力される。
Then, the difference amplifier 32 in the next stage outputs the difference signal Δv indicating the level difference between the voltage signal Vi and the reference voltage Vr. When the level of the voltage signal Vi is higher than the level of the reference voltage Vr, the negative level difference signal Δv is output, and conversely, when the level of the voltage signal Vi is lower than the level of the reference voltage Vr, the positive level difference signal Δv. Is output.

【0036】上記差分アンプ32からの差信号Δvは、
後段のドライブアンプ33において、所定のゲインにて
増幅される。このゲインは、例えば図4の特性図に示す
ように、予め可変直流電源23の基準電圧Vbと対応し
た動作点Pにおける光量を基準として、固定変化量ΔI
におけるポイントAでの位相差Δφaを割り出してお
き、このときの差分アンプ32から出力される差信号Δ
vと上記位相差Δφaに基づいて設定する。
The difference signal Δv from the difference amplifier 32 is
The drive amplifier 33 in the subsequent stage is amplified with a predetermined gain. For example, as shown in the characteristic diagram of FIG. 4, this gain is a fixed change amount ΔI based on the light amount at the operating point P corresponding to the reference voltage Vb of the variable DC power supply 23 in advance.
The phase difference Δφa at the point A in FIG. 2 is calculated, and the difference signal Δ output from the difference amplifier 32 at this time is calculated.
It is set based on v and the phase difference Δφa.

【0037】そして、後段の加算器35にて、上記ドラ
イブアンプ33からの増幅差信号ΔVと、上記基準電圧
源34からの基準電圧Vbとが加算され、この加算電圧
信号VがEOM12の電極間に供給される。即ち、EO
M12を透過したレーザ光Lrの光量がリファレンス電
圧Vrに対応した基準光量となるように基準電圧(EO
M12に印加される電圧V)が変化することになる。従
って、EOM12を透過するレーザ光Lrの光出力(光
量)が、例えば温度変化などによって変動する場合にお
いても、このフィードバック系28によって、その光量
は一定となる。
Then, the amplification difference signal ΔV from the drive amplifier 33 and the reference voltage Vb from the reference voltage source 34 are added by the adder 35 in the subsequent stage, and the added voltage signal V is applied between the electrodes of the EOM 12. Is supplied to. That is, EO
The reference voltage (EO) is set so that the light quantity of the laser light Lr transmitted through M12 becomes the reference light quantity corresponding to the reference voltage Vr.
The voltage V) applied to M12 will change. Therefore, even when the light output (light amount) of the laser light Lr that passes through the EOM 12 varies due to, for example, temperature change, the feedback system 28 keeps the light amount constant.

【0038】一方、ハーフミラー等25によって2つに
分岐された光路中、このハーフミラー等25によって反
射されたレーザ光Lrが通る第2の光路上に、ビーム縮
小レンズ41、AOM13及びビーム拡大レンズ42が
順に配置されている。上記AOM13には、超音波発生
器43が接続されており、この超音波発生器43は、発
生した超音波を、入力端子φinに供給される記録信号
(フォトレジスト膜18に描画する記録パターンが電気
的に変換された信号)Swに基づいて変調するものであ
る。この超音波発生器43にて変調された超音波US1
は、AOM13に供給される。
On the other hand, in the optical path branched into two by the half mirror 25 or the like, on the second optical path through which the laser light Lr reflected by the half mirror 25 or the like passes, the beam reduction lens 41, the AOM 13 and the beam expansion lens. 42 are arranged in order. An ultrasonic wave generator 43 is connected to the AOM 13, and the ultrasonic wave generator 43 records the generated ultrasonic wave to a recording signal (a recording pattern drawn on the photoresist film 18 is supplied to the input terminal φin). The signal is modulated based on the (electrically converted signal) Sw. The ultrasonic wave US 1 modulated by this ultrasonic wave generator 43
Are supplied to the AOM 13.

【0039】このAOM13は、例えばTeO2 結晶か
ら構成されており、超音波発生器43からの超音波供給
によりその結晶中に生じた屈折率変化による位相回折格
子を用いて、そのブラッグ回折の1次回折光を信号記録
に使用するものである。回折光の強度は、超音波パワー
で決まり、回折方向はキャリア周波数(超音波周波数)
で決まる。従って、原理的に上記EOM12のようなバ
イアス変動がない。また、最近では、結晶デバイスと発
生回路の改善により、EOM12と同等の変調帯域幅を
得ることができる。しかも、フィードバック制御を行わ
ないため、どのようなデューティの信号や低周波の信号
に対しても安定な光変調を行うことができる。このAO
M13にて強度変調されたレーザ光Lrは、後段のビー
ム拡大レンズ42によって、そのビーム径が復元され
る。
The AOM 13 is composed of, for example, a TeO 2 crystal, and uses a phase diffraction grating due to the change in the refractive index generated in the crystal by the ultrasonic wave supply from the ultrasonic wave generator 43, and the Bragg diffraction 1 The secondary diffracted light is used for signal recording. The intensity of the diffracted light is determined by the ultrasonic power, and the diffraction direction is the carrier frequency (ultrasonic frequency).
Depends on. Therefore, in principle, there is no bias fluctuation as in the EOM 12. Further, recently, by improving the crystal device and the generating circuit, a modulation bandwidth equivalent to that of the EOM 12 can be obtained. Moreover, since feedback control is not performed, stable optical modulation can be performed on any duty signal or low frequency signal. This AO
The beam diameter of the laser beam Lr intensity-modulated in M13 is restored by the beam expanding lens 42 in the subsequent stage.

【0040】AOD14にも、上記AOM13に接続さ
れている超音波発生器43と同じ超音波発生器44が接
続されており、この超音波発生器44は、発生した超音
波を、供給される制御信号Scに基づいて変調するもの
である。この超音波発生器44にて変調された超音波U
2 は、AOD14に供給される。
The AOD 14 is also connected to the same ultrasonic generator 44 as the ultrasonic generator 43 connected to the AOM 13, and the ultrasonic generator 44 is supplied with the generated ultrasonic wave. The signal is modulated based on the signal Sc. The ultrasonic wave U modulated by this ultrasonic wave generator 44
P 2 is supplied to the AOD 14.

【0041】このAOD14は、例えばTeO2 結晶か
ら構成されており、超音波発生器44からの超音波供給
によりその結晶中に生じた屈折率変化による位相回折格
子を用いて、そのブラッグ回折における1次回折光の回
折角がキャリア周波数にほぼ比例することを利用したも
のである。
The AOD 14 is composed of, for example, a TeO 2 crystal, and uses a phase diffraction grating due to the change in the refractive index generated in the crystal by the ultrasonic wave supply from the ultrasonic wave generator 44, and the 1 in the Bragg diffraction. It utilizes that the diffraction angle of the second-order diffracted light is almost proportional to the carrier frequency.

【0042】即ち、超音波発生器44から超音波UP2
が供給されることによって、結晶中に超音波振動の進行
波が作られる。このとき、キャリア周波数が低い場合に
は、波長の長い進行波が作られ、キャリア周波数が高い
場合には、波長の短い進行波が作られる。そして、この
AOD14を透過するレーザ光Lrは、結晶中における
超音波振動の進行波と遭遇され、この進行波によって回
折されて偏向を受ける。このとき、進行波の波長が短い
ほど大きな偏向を受けるので、例えば制御信号Scの周
波数を低い周波数から高い周波数へ鋸歯状に掃引するこ
とで、AOD14を透過するレーザ光Lrは進行波によ
って高速に微小角偏向を受けることになる。
That is, the ultrasonic wave UP 2 is transmitted from the ultrasonic wave generator 44.
Is supplied, a traveling wave of ultrasonic vibration is generated in the crystal. At this time, when the carrier frequency is low, a traveling wave with a long wavelength is created, and when the carrier frequency is high, a traveling wave with a short wavelength is created. Then, the laser beam Lr passing through the AOD 14 encounters a traveling wave of ultrasonic vibration in the crystal, is diffracted by the traveling wave, and is deflected. At this time, the shorter the wavelength of the traveling wave is, the larger the deflection is. Therefore, for example, by sweeping the frequency of the control signal Sc from a low frequency to a high frequency in a sawtooth shape, the laser light Lr passing through the AOD 14 is made faster by the traveling wave. It will be subject to slight angle deflection.

【0043】上記制御信号Scは、合成回路45にて作
成される。この合成回路45は、一方の入力端子φ1
供給される所定の周波数を有する基準信号Pcと、他方
の入力端子φ2 に供給されるプリフォーマット情報Sf
を合成して上記制御信号Scを作成する。基準信号Pc
は、スピンドルモータ22からの回転タイミング信号P
に基づいてPLL46にて生成される。そして、この合
成回路45からの制御信号Scが超音波発生器44に供
給されることにより、超音波発生器44において発生し
た超音波が上記制御信号Scによって変調され、AOD
14に供給されることになる。
The control signal Sc is generated by the synthesizing circuit 45. The synthesizing circuit 45 supplies a reference signal Pc having a predetermined frequency supplied to one input terminal φ 1 and pre-format information Sf supplied to the other input terminal φ 2.
To synthesize the control signal Sc. Reference signal Pc
Is the rotation timing signal P from the spindle motor 22.
Is generated by the PLL 46 based on Then, the control signal Sc from the synthesizing circuit 45 is supplied to the ultrasonic wave generator 44, whereby the ultrasonic wave generated in the ultrasonic wave generator 44 is modulated by the control signal Sc, and the AOD
14 will be supplied.

【0044】対物レンズ19は、フォーカスサーボ機構
47によって、フォトレジスト膜18に対する焦点調整
が行われる。このフォーカスサーボ機構47は、対物レ
ンズ19をダンパ(図示せず)で吊り、スピーカの磁気
回路と同じようにコイル48で駆動するアクチュエータ
49と、いわゆる離軸法と呼ばれるレーザ光Lfを用い
た誤差検出光学系から構成されている。
The focus of the objective lens 19 is adjusted with respect to the photoresist film 18 by the focus servo mechanism 47. This focus servo mechanism 47 suspends the objective lens 19 with a damper (not shown), and uses an actuator 49 driven by a coil 48 like a magnetic circuit of a speaker, and an error using a laser beam Lf called a so-called off axis method. It is composed of a detection optical system.

【0045】この誤差検出光学系は、図示するように、
上記ガスレーザ光源11から出射されるレーザ光Lrと
は異なる波長で、かつダイクロイックミラー15を反射
する波長のレーザ光Lfを出射するフォーカス用のレー
ザ光源51と、このレーザ光源51からのレーザ光Lf
をダイクロイックミラー15を介して対物レンズ19側
に入射させ、かつ対物レンズ19を通してフォトレジス
ト膜18上で反射した戻り光を光検出器52側に導く光
アイソレータ53とから構成されている。なお、光アイ
ソレータ53は偏光ビームスプリッタ54と1/4波長
板55から構成されている。
This error detection optical system, as shown in the figure,
A focusing laser light source 51 that emits a laser light Lf having a wavelength different from that of the laser light Lr emitted from the gas laser light source 11 and that reflects the dichroic mirror 15, and a laser light Lf from the laser light source 51.
Is incident on the objective lens 19 side through the dichroic mirror 15, and the return light reflected on the photoresist film 18 through the objective lens 19 is guided to the photodetector 52 side. The optical isolator 53 is composed of a polarization beam splitter 54 and a quarter wave plate 55.

【0046】一般に、対物レンズ19によって、レーザ
光Lrを絞ると、その焦点深度が浅くなるため、例えば
ガラス基板17に反りなどがある場合には、均一に露光
することができなくなる。しかし、この実施例において
は、上述したように、フォーカスサーボ機構47を備え
ているため、その焦点誤差を±0.1μm以下に抑える
ことができ、ガラス基板17に反りなどが生じていて
も、レーザ光Lrによるフォトレジスト膜18に対する
露光を均一に行うことが可能となる。
In general, when the laser light Lr is narrowed down by the objective lens 19, the depth of focus thereof becomes shallow, so that if the glass substrate 17 is warped, for example, uniform exposure cannot be performed. However, in this embodiment, since the focus servo mechanism 47 is provided as described above, the focus error can be suppressed to ± 0.1 μm or less, and even if the glass substrate 17 is warped or the like, It is possible to uniformly expose the photoresist film 18 with the laser light Lr.

【0047】次に、上記本実施例に係るレーザカッティ
ング装置でガラス基板17上のフォトレジスト膜18に
対して記録パターンの描画(露光)を行う場合の動作を
説明する。
Next, the operation when the recording pattern is drawn (exposed) on the photoresist film 18 on the glass substrate 17 by the laser cutting apparatus according to the present embodiment will be described.

【0048】まず、レーザ光源11から出射されたレー
ザ光Lrが、フィードバック系28を備えたEOM12
において、その光出力が一定となるように制御される。
即ち、レーザ光源11からのレーザ光Lrは、EOM1
2において、このEOM12に供給される直流電圧Vに
基づいて強度変調され、レーザ光Lrは、供給される直
流電圧Vに応じてそのビーム径が一定となるように整形
される。
First, the laser light Lr emitted from the laser light source 11 is supplied to the EOM 12 equipped with the feedback system 28.
At, the light output is controlled to be constant.
That is, the laser light Lr from the laser light source 11 is the EOM1
In 2, the intensity is modulated based on the DC voltage V supplied to the EOM 12, and the laser beam Lr is shaped according to the DC voltage V supplied so that the beam diameter becomes constant.

【0049】このとき、温度変化やバイアス電位の変動
によって、EOM12の動作点が容易に変動することに
なるが、本実施例に係るレーザカッティング装置におい
ては、フィードバック系28によって、レーザ光Lrの
一部を検出して、レーザ光Lrの光出力(光量)が一定
となるように上記EOM12をフィードバック制御する
ため、このEOM12を透過するレーザ光Lrの光出力
は安定化する。しかも、レーザ光Lrに含まれているノ
イズ、特に、フィードバックの帯域内における高周波ノ
イズが低減される。従って、EOM12からは、ノイズ
及び光量変動の少ない良質の連続光が出力される。
At this time, the operating point of the EOM 12 easily fluctuates due to the temperature change and the fluctuation of the bias potential. In the laser cutting apparatus according to the present embodiment, the feedback system 28 causes one of the laser beams Lr. The EOM 12 is feedback-controlled so that the light output (light amount) of the laser light Lr becomes constant by detecting the portion, so that the light output of the laser light Lr that passes through the EOM 12 is stabilized. Moreover, noise contained in the laser light Lr, particularly high frequency noise in the feedback band, is reduced. Therefore, the EOM 12 outputs continuous light of good quality with less noise and fluctuation of light quantity.

【0050】そして、このEOM12を透過したレーザ
光Lrは、後段のAOM13において、超音波発生器4
3の入力端子φinに供給された記録信号Swによって
変調された超音波UP1 に基づいて強度変調される。こ
の場合、原理的に上記EOM12のような動作点変動は
ない。また、フィードバック制御を行わないため、どの
ようなデューティの信号や低周波の信号に対しても安定
に強度変調される。
The laser beam Lr transmitted through the EOM 12 is transmitted to the ultrasonic wave generator 4 in the AOM 13 in the subsequent stage.
The intensity is modulated based on the ultrasonic wave UP 1 which is modulated by the recording signal Sw supplied to the input terminal φin of No. 3 . In this case, in principle, there is no fluctuation in the operating point as in the EOM 12. Further, since feedback control is not performed, intensity modulation is stably performed on any duty signal or low frequency signal.

【0051】その後、上記AOM13を透過したレーザ
光Lrは、後段のAOD14にて微小角偏向される。と
ころで、上記AOM13とこのAOD14間には、ハー
フミラー又はビームスプリッタ(以下、ハーフミラー等
と記す)56が配されており、上記AOM13を透過し
たレーザ光Lrのうち、ハーフミラー等56で反射した
光成分がAOD14に入射され、上記ハーフミラー等5
6を透過した光成分がモニタ用の光検出器57に入射さ
れる。この光検出器57に既知の波形表示手段を接続す
ることにより、AOM13にて強度変調されたレーザ光
Lrの波形をモニタすることができる。
After that, the laser beam Lr that has passed through the AOM 13 is deflected by the AOD 14 in the subsequent stage by a small angle. By the way, a half mirror or a beam splitter (hereinafter referred to as a half mirror) 56 is arranged between the AOM 13 and the AOD 14, and the laser beam Lr transmitted through the AOM 13 is reflected by the half mirror 56. The light component is incident on the AOD 14, and the half mirror or the like 5
The light component that has passed through 6 enters the photodetector 57 for monitoring. By connecting a known waveform display means to the photodetector 57, the waveform of the laser beam Lr intensity-modulated by the AOM 13 can be monitored.

【0052】上記AOD14を透過したレーザ光Lr
は、ダイクロイックミラー15及びミラー20を介して
対物レンズ19に導かれ、最終的にこの対物レンズ19
によって集光されて、フォトレジスト膜18上に照射さ
れる。このとき、ガラス基板17が、スピンドルモータ
22によってCLV方式で一方向に回転しており、ま
た、カッティングヘッド16が移動機構によって、ガラ
ス基板17の径方向に移動することから、フォトレジス
ト膜18に記録信号Swに基づいた記録パターンが描画
され、その描画された記録パターンに沿って感光され
る。また、このとき、フォーカスサーボ機構47によっ
て、対物レンズ19のフォトレジスト膜18に対する焦
点調整が同時に行われる。
Laser light Lr transmitted through the AOD 14
Is guided to the objective lens 19 via the dichroic mirror 15 and the mirror 20, and finally this objective lens 19
It is collected by and is irradiated onto the photoresist film 18. At this time, the glass substrate 17 is rotated in one direction by the CLV method by the spindle motor 22, and the cutting head 16 is moved in the radial direction of the glass substrate 17 by the moving mechanism. A recording pattern based on the recording signal Sw is drawn, and the pattern is exposed along the drawn recording pattern. At this time, the focus servo mechanism 47 simultaneously adjusts the focus of the objective lens 19 on the photoresist film 18.

【0053】この記録パターンの描画時、レーザ光Lr
は、AOD14にてガラス基板17の径方向に沿って微
小角偏向される。この場合、同時にガラス基板17がス
ピンドルモータ22によってCLV方式にて回転してい
ることから、フォトレジスト膜18に描画される記録パ
ターンは、トラック方向に沿って蛇行状に形成されるこ
とになる。
When the recording pattern is drawn, the laser light Lr
Is deflected by the AOD 14 at a small angle along the radial direction of the glass substrate 17. In this case, since the glass substrate 17 is simultaneously rotated by the spindle motor 22 in the CLV method, the recording pattern drawn on the photoresist film 18 is formed in a meandering shape along the track direction.

【0054】その後は、例えば無電解めっきを施して、
フォトレジスト膜18を導電化させた後、金属めっきを
施して、フォトレジスト膜18全面に金属めっき膜を形
成する。その後、この金属めっき膜を剥離することによ
り、金属製のスタンパーが完成する。このとき、記録パ
ターンは、蛇行線を有する突起状に形成される。
After that, for example, electroless plating is performed,
After the photoresist film 18 is made conductive, metal plating is performed to form a metal plating film on the entire surface of the photoresist film 18. After that, the metal stamper is peeled off to complete the metal stamper. At this time, the recording pattern is formed in a protrusion shape having a meandering line.

【0055】上記スタンパーを用いて、光磁気ディスク
を作製するときは、上記工程以後、大量複製工程に移
り、スタンパーを型として、例えば射出成形法、圧縮成
形法あるいはフォトポリマリゼージョン(2p)法を用
いて、光磁気ディスクを複製する。このとき、上記スタ
ンパーに形成されている記録パターンに対応した部分が
蛇行状の案内溝1(図1A参照)として形成される。
When a magneto-optical disk is manufactured using the above stamper, after the above steps, the mass copying step is carried out, and the stamper is used as a mold, for example, an injection molding method, a compression molding method or a photo polymerization (2p). Method is used to duplicate a magneto-optical disk. At this time, a portion corresponding to the recording pattern formed on the stamper is formed as a meandering guide groove 1 (see FIG. 1A).

【0056】上記製造方法によれば、レーザ光源11か
ら出射されたレーザ光Lrを、まず、EOM12におい
て、このEOM12に供給される直流電圧Vに基づいて
強度変調するが、このとき、フィードバック系28によ
って、レーザ光Lrの光出力(光量)が一定となるよう
にEOM12をフィードバック制御するため、このEO
M12を透過するレーザ光Lrの光出力は安定化し、し
かも、レーザ光Lrに含まれているノイズ、特に、フィ
ードバックの帯域内における高周波ノイズが低減され、
ノイズ及び光量変動の少ない良質で、かつビーム径が一
定となった連続光を得ることができる。
According to the above manufacturing method, the laser light Lr emitted from the laser light source 11 is first intensity-modulated in the EOM 12 based on the DC voltage V supplied to the EOM 12. At this time, the feedback system 28 is used. By this, the EOM 12 is feedback-controlled so that the optical output (light amount) of the laser light Lr becomes constant.
The optical output of the laser light Lr that passes through the M12 is stabilized, and noise included in the laser light Lr, particularly, high frequency noise in the feedback band is reduced.
It is possible to obtain continuous light of good quality with little noise and fluctuation of light quantity, and having a constant beam diameter.

【0057】そして、上記EOM12を透過したレーザ
光Lrは、後段のAOM13において、このAOM13
に供給される超音波(記録信号Swによって変調された
超音波)UP1 に基づいて強度変調するが、この場合、
原理的に上記EOM12のような動作点変動はなく、ま
た、フィードバック制御を行わないため、どのようなデ
ューティの信号や低周波の信号に対しても安定に強度変
調される。
Then, the laser beam Lr transmitted through the EOM 12 is transmitted to the AOM 13 at the subsequent stage.
Intensity modulation based on the ultrasonic wave (ultrasonic wave modulated by the recording signal Sw) UP 1 supplied to
In principle, there is no operating point fluctuation as in the EOM 12, and since feedback control is not performed, intensity modulation is stably performed on any duty signal or low frequency signal.

【0058】従って、このレーザカッティング装置によ
れば、レーザ光源11の種類及び印加信号の種類に拘ら
ず、フォトレジスト膜18に記録パターンを高精度に描
画することができる。即ち、フィードバック系28によ
って、EOM12を透過したレーザ光Lrのノイズリダ
クション及びパワーコントロールを行うため、きわめて
安定な露光が可能となる。このことから、フォトレジス
ト膜18に対して高感度であるが、ノイズが多いため使
用が困難であったHe−Cdレーザを、このレーザカッ
ティング装置のレーザ光源11として使用することがで
きる。
Therefore, according to this laser cutting apparatus, the recording pattern can be drawn on the photoresist film 18 with high accuracy regardless of the type of the laser light source 11 and the type of the applied signal. That is, since the feedback system 28 performs noise reduction and power control of the laser light Lr that has passed through the EOM 12, extremely stable exposure is possible. From this, the He—Cd laser, which has high sensitivity to the photoresist film 18 but is difficult to use because of a lot of noise, can be used as the laser light source 11 of this laser cutting device.

【0059】しかも、案内溝1に対応する記録パターン
をレーザ光Lrにて描画する際、プリフォーマット情報
Sfに基づいて変調された超音波UP2 が供給されるA
OD14にてレーザ光Lrを微小角偏向するようにした
ので、案内溝1は、上記プリフォーマット情報Sfに応
じて蛇行線を描くようになり、図1で示すように、プリ
ピットの形成が不要となる光磁気ディスクを容易に作製
することができる。
Moreover, when the recording pattern corresponding to the guide groove 1 is drawn by the laser beam Lr, the ultrasonic wave UP 2 modulated based on the preformat information Sf is supplied A
Since the laser light Lr is deflected by a small angle by the OD 14, the guide groove 1 draws a meandering line according to the preformat information Sf, and as shown in FIG. 1, it is unnecessary to form a prepit. The magneto-optical disk can be easily manufactured.

【0060】[0060]

【発明の効果】上述のように、本発明に係る円盤状記録
媒体によれば、トラック方向に沿って案内溝が形成さ
れ、セクタ毎にプリフォーマット情報とデータが記録さ
れている円盤状記録媒体において、上記案内溝に上記プ
リフォーマット情報を記録するようにしたので、プリピ
ットの作製を省略することができ、製造工程の簡略化及
び製造コストの低廉化を効率よく図ることができると共
に、プリフォーマット領域とデータ領域を同一空間に配
することができ、記録容量の増大化を図ることができ
る。
As described above, according to the disc-shaped recording medium of the present invention, the guide groove is formed along the track direction, and the pre-format information and the data are recorded for each sector. In the above, since the pre-format information is recorded in the guide groove, the production of pre-pits can be omitted, the manufacturing process can be simplified and the manufacturing cost can be efficiently reduced, and the pre-formatting can be performed. The area and the data area can be arranged in the same space, and the recording capacity can be increased.

【0061】また、本発明に係る円盤状記録媒体の製造
方法によれば、基板上に塗布されたフォトレジスト膜に
対し、レーザ光により記録パターンを描画した後、現像
処理を施して上記基板上にフォトレジスト膜によるマス
クを形成し、その後、めっき処理を施して金属製のスタ
ンパーを作製する円盤状記録媒体の製造方法において、
上記レーザ光により、フォトレジスト膜に対し、案内溝
に沿った記録パターンを描画する段階において、上記レ
ーザ光をプリフォーマット情報に基づいて微小角偏向さ
せて上記記録パターンを描画するようにしたので、プリ
ピットの作製を省略することができ、製造工程の簡略化
及び製造コストの低廉化を効率よく図ることができると
共に、プリフォーマット領域とデータ領域を同一空間に
配することができ、記録容量の増大化を図ることができ
る円盤状記録媒体を容易に作製することができる。
Further, according to the method for manufacturing a disk-shaped recording medium according to the present invention, after the recording pattern is drawn on the photoresist film coated on the substrate with the laser beam, the development process is applied to the above-mentioned substrate. In the method of manufacturing a disk-shaped recording medium, a mask of a photoresist film is formed on, and then a metal stamper is formed by plating.
In the step of drawing the recording pattern along the guide groove on the photoresist film by the laser beam, the laser beam is deflected by a minute angle based on the preformat information so that the recording pattern is drawn. The production of pre-pits can be omitted, the manufacturing process can be simplified and the manufacturing cost can be reduced efficiently, and the pre-format area and the data area can be arranged in the same space, increasing the recording capacity. A disc-shaped recording medium that can be realized can be easily manufactured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る円盤状記録媒体を光磁気ディスク
に適用した実施例(以下、実施例に係る光磁気ディスク
と記す)の1セクタ毎のトラックフォーマット並びに回
転制御方式による1セクタ毎の記録パターンを模式的に
示す説明図である。
FIG. 1 is a track format for each sector of an embodiment in which a disk-shaped recording medium according to the present invention is applied to a magneto-optical disk (hereinafter referred to as a magneto-optical disk according to the embodiment) and a sector for each sector according to a rotation control method. It is explanatory drawing which shows a recording pattern typically.

【図2】実施例に係る光磁気ディスクの製造方法に用い
られるレーザカッティング装置の光学系及び回路系の構
成を示すブロック線図である。
FIG. 2 is a block diagram showing a configuration of an optical system and a circuit system of a laser cutting device used in the method of manufacturing a magneto-optical disk according to an example.

【図3】上記レーザカッティング装置に具備されるフィ
ードバック系の回路構成を示すブロック線図である。
FIG. 3 is a block diagram showing a circuit configuration of a feedback system included in the laser cutting device.

【図4】上記レーザカッティング装置に使用されるEO
Mの入力−出力特性を示す特性図である。
FIG. 4 is an EO used in the laser cutting device.
It is a characteristic view which shows the input-output characteristic of M.

【図5】従来例に係るトラックフォーマットを模式的に
示す説明図である。
FIG. 5 is an explanatory diagram schematically showing a track format according to a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 案内溝 Zp プリフォーマット領域 Zd データ領域 11 レーザ光源 12 EOM 13 AOM 14 AOD 16 カッティングヘッド 17 ガラス基板 18 フォトレジスト膜 43,44 超音波発生器 45 合成回路 1 Guide Groove Zp Preformatted Area Zd Data Area 11 Laser Light Source 12 EOM 13 AOM 14 AOD 16 Cutting Head 17 Glass Substrate 18 Photoresist Film 43,44 Ultrasonic Generator 45 Synthesis Circuit

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 トラック方向に沿って案内溝が形成さ
れ、セクタ毎にプリフォーマット情報とデータが記録さ
れている円盤状記録媒体において、 上記案内溝に上記プリフォーマット情報が記録されてい
ることを特徴とする円盤状記録媒体。
1. A disc-shaped recording medium in which a guide groove is formed along the track direction and preformat information and data are recorded for each sector, wherein the preformat information is recorded in the guide groove. Characteristic disk-shaped recording medium.
【請求項2】 上記案内溝は、所定周波数を有する基準
信号と上記プリフォーマット情報とが合成された信号に
基づいて、蛇行状に形成されていることを特徴とする請
求項1記載の円盤状記録媒体。
2. The disk shape according to claim 1, wherein the guide groove is formed in a meandering shape based on a signal obtained by combining a reference signal having a predetermined frequency and the preformat information. recoding media.
【請求項3】 基板上に塗布されたフォトレジスト膜に
対し、レーザ光により記録パターンを描画した後、現像
処理を施して上記基板上にフォトレジスト膜によるマス
クを形成し、その後、めっき処理を施して金属製のスタ
ンパーを作製する円盤状記録媒体の製造方法において、 上記レーザ光により、フォトレジスト膜に対し、案内溝
に沿った記録パターンを描画する段階において、上記レ
ーザ光をプリフォーマット情報に基づいて微小角偏向さ
せて上記記録パターンを描画することを特徴とする円盤
状記録媒体の製造方法。
3. A photoresist film coated on a substrate is subjected to a recording pattern by a laser beam, followed by development treatment to form a mask of the photoresist film on the substrate, and then plating treatment. In the method for manufacturing a disk-shaped recording medium in which a stamper made of metal is produced by applying the laser light to preformat information at the stage of drawing a recording pattern along the guide groove on the photoresist film with the laser light. A method for manufacturing a disk-shaped recording medium, which comprises deviating a minute angle based on the above-mentioned pattern and drawing the recording pattern.
【請求項4】 所定周波数を有する基準信号と上記プリ
フォーマット情報とが合成された信号に基づいて、上記
レーザ光を微小角偏向させることを特徴とする請求項3
記載の円盤状記録媒体の製造方法。
4. The laser beam is deflected by a small angle on the basis of a signal obtained by combining a reference signal having a predetermined frequency and the preformat information.
A method for producing the disk-shaped recording medium described.
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