JPH0676235U - 磁気浮上式搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本考案は、搬送物およびクリンル−ム内を塵
埃により汚染されることを防止するとともに、搬送物に
振動による破損を与えることを防止することができる磁
気浮上式搬送装置を提供することを目的とする。 【構成】 複数の軌道１、１相互間には、上記可動軌道
１Ａに対向して複数の軌道１、１に亘って延びる可動軌
道浮上用レ−ル３７、３７と、上記可動軌道１Ａに所定
間隔を隔てかつ当該可動軌道１Ａを左右から挟んで位置
する可動軌道案内用レ−ル４８、４８とを設け、上記可
動軌道１Ａには、上記可動軌道浮上用レ−ル３７、３７
に所定の垂直ギャップを隔てて磁気的に結合する浮上用
磁極部４５、４５と、上記可動軌道案内用レ−ル４８、
４８に所定の水平ギャップを隔てて磁気的に結合する案
内用磁極部４６、４６と、上記可動軌道浮上用レ−ルが
延びる方向に向けて推進力を与える磁気推進装置３５
Ｒ、３５Ｓとを備えたことを特徴とする。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、搬送台車が軌道に沿って浮上した状態で走行して、搬送物等の搬送 を行なう磁気浮上式搬送装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

近年、ＬＳＩの高集積化、極微細化に伴い、その製造用のクリ−ンル−ムは高 度のクリ−ン度（清浄度）が必要になり、このクリ−ンル−ムで使用される搬送 装置は塵埃を出さないタイプのものが要求されるようになった。このため、磁気 浮上式搬送装置が理想的な搬送装置として実用されている。

【０００３】 この種の磁気浮上式搬送装置としては、図５に示すものがあり、その外観斜視 図を図６に示す。

【０００４】 両図において、１、１は軌道を形成する筒状の長尺体（以下、単に軌道１、１ という）であって、互いに所定間隔を隔てて並設されており、その各底壁内側に 台車推進装置（リニアモ−タの固定子側）２Ｓが軌道１、１長手方向に所定間隔 を隔てて配設され、また、各上壁１ａ、１ｂには、長手方向に沿って延びる開口 ３が形成されている。この開口３を挟む上壁１ａ、１ｂの下面には浮上用レ−ル （強磁性体）４、４が取着され、左右の側壁内面には、案内用レ−ル（強磁性体 ）５、５が取着されている。１Ａは軌道１、１の一部を構成する可動軌道であっ て、軌道１、１と同様にして台車推進装置２、浮上用レ−ル４、４及び案内用レ −ル５、５等が設けられており、その底壁外側に取り付けられたブッシュ６、６ 内を貫通して延びるガイド軸７を介して、一方の軌道１から他方の軌道１に、ま たはその逆に往復移動可能にされている。

【０００５】 １０は駆動機構であって、可動軌道１Ａの底壁外側から下方に突出する案内部 材１１内に螺合して一方の軌道１から他方の軌道１まで延びる送りねじ軸１２と 、当該送りねじ軸１２を駆動回転する駆動装置１３とから構成されており、図示 しない駆動機構用制御器の駆動指令により駆動装置１３の駆動／停止の制御がさ れる。１４は駆動機構１３を収納するフレ−ムである。

【０００６】 １５は浮上搬送台車であって、その上面から上記開口３を通って支持部材１６ が延び、この支持部材１６で荷台１７を支持している。浮上搬送台車１５は、図 示しない台車用制御器およびバッテリを搭載しており、この下面には、リニアモ −タの移動子側２Ｒが取着され、上面には継鉄にコイルを巻回してなる一対の浮 上用磁石１８、１８が設けられるとともに、左右側には継鉄にコイルを巻回して なる案内用磁石１９、１９が設けられている。浮上用磁石１８、１８は浮上用レ −ル４、４にそれぞれギャップＧ１を隔てて対向し、案内用磁石１９、１９は案 内用レ−ル５、５にそれぞれギャップＧ２を隔てて対向している。２０は支持部 材１６に取り付けられた一対の非常用タッチロ−ルであって、浮上用レ−ル４、 ４の上面に所定間隔を隔てて対向している。

【０００７】 このような構成において、荷台１７上に搬送物が載置され、浮上用磁石１８、 １８及び案内用磁石１９、１９に対して励磁電流が供給されると、浮上搬送台車 １５が浮上し、また、台車推進装置（リニアモ−タの固定子側）２Ｓに交流電流 が供給されて進行磁界が発生すると、上記進行磁界方向に走行し始める。そして 、浮上搬送台車１５が台車推進装置２Ｓ上方を通過する毎に進行方向に加速され 、その他の区間においては惰性により走行する。

【０００８】 このとき、浮上搬送台車１５を走行中を軌道１から他方の軌道１に走行路の変 更するには、台車推進装置２Ｓにより浮上搬送台車１５の走行と逆方向の進行磁 界を発生させて、浮上搬送台車１５を充分減速させた後、図示しない位置決め用 磁石などにより可動軌道１Ａ内に停止させる。そして、図示しない駆動機構用制 御器が駆動指令を発して駆動装置１３を駆動させて、送りねじ軸１２を回転させ る。これにより、可動軌道１Ａがガイド軸７により案内されながら一方の軌道１ から他方の軌道１まで移動され、浮上搬送台車１５の走行路が変更される。

【０００９】 次いで、浮上搬送台車１５の走行路の変更が終了すると、再び上記に示した手 順で、浮上搬送台車１５を走行させて、搬送物を目的地まで搬送させる。

【００１０】 尚、上記の従来技術は、可動軌道１Ａが軌道１、１の先端部に設けられている ものを示したが、これに限られず、図７に示す如く、軌道１、１の途中に設けた ものも実用されている。

【００１１】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、従来の磁気浮上式搬送装置では、浮上搬送台車の走行路の変更 は、当該浮上搬送台車を可動軌道内に導き、当該可動軌道を駆動機構により機械 的に可動軌道を軌道の相互間に移動させることにより行なっているため、必然的 に接触運動を有し、これにより塵埃が発生するので、浮上搬送台車で搬送される 搬送物、及びクリンル−ム内が発塵埃により汚染される恐れがあるという問題が あった。この問題を解決するためには、塵埃の発生源となる駆動機構を封じ込め るカバ−等を設ける構造とすることが考えられるが、このようにカバ−等を設け たとしても駆動機構のメインテナンス時には当該カバ−を開放する必要があり、 このカバ−内に発生している塵埃がクリンル−ム内に侵入して、当該クリンル− ム内、及び浮上搬送台車上にある搬送物が汚染される恐れがあるという問題があ る。

【００１２】 また、浮上搬送台車の走行方向を変更する時には、当該浮上搬送台車を可動軌 道内において浮上した状態で、駆動装置を駆動して送りねじ軸を回転させて軌道 の相互間を往復移動させて当該浮上搬送台車の走行路の変更をしているので、浮 上搬送台車上に載置される搬送物に伝達される当該駆動装置の振動による破損を 小さくするため、また、可動軌道の駆動制御を正確なものとするために、駆動装 置や送りねじ軸を高精度なものとする必要があり、磁気浮上式搬送装置全体が高 価になるという問題がある。

【００１３】 本考案は、このような問題を解決するためになされたもので、塵埃の発生を防 止して搬送物およびクリンル−ム内を塵埃により汚染されることをなくすととも に、搬送台車の走行方向の変更に際して、搬送物に振動による損傷等のおそれを 考えずともよい磁気浮上式搬送装置を提供することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するためには、本考案の磁気浮上式搬送装置では、 請求項１においては、複数の軌道と、上記軌道の一部を構成し当該軌道の相互 間を往復移動する可動軌道と、搬送台車を磁気浮上させて上記軌道に沿って駆動 する装置とを備え、上記搬送台車は上記可動軌道により上記軌道の走行路を変更 する磁気浮上式搬送装置において、上記軌道の相互間には、上記可動軌道に対向 して複数の軌道に亘って延びる可動軌道浮上用レ−ルと、上記可動軌道に所定間 隔を隔てかつ当該可動軌道を左右から挟んで位置する可動軌道案内用レ−ルとを 設け、上記可動軌道は、上記可動軌道浮上用レ−ルに所定の垂直ギャップを隔て て磁気的に結合する浮上用磁極部と、上可動軌道記案内用レ−ルに所定の水平ギ ャップを隔てて磁気的に結合する案内用磁極部と、上記可動軌道浮上用レ−ルが 延びる方向に向けて推進力を与える磁気推進装置とを備えたことを特徴とする。

【００１５】 請求項２においては、浮上案内用磁極部への電力、制御指令は浮上案内制御装 置によりケ−ブルを介して供給するを特徴とする。

【００１６】 請求項３においては、浮上案内用磁極部への電力はケ−ブルを介し、制御指令 は光通信手段を介してそれぞれ地上の浮上案内制御装置から供給することを特徴 とする。

【００１７】

【作用】

上述した本考案の磁気浮上式搬送装置では、搬送台車の走行路を変更するとき には、可動軌道を磁気浮上式とする非接触状態で移動させて搬送台車の走行路を 変更させるので、塵埃が発生することを防止できる。

【００１８】 また、上述の如き、非接触状態での移動は、可動軌道を磁気浮上式とする非接 触状態で移動させることができるので、搬送台車に載置される搬送物に振動を与 えることなく搬送することができる。

【００１９】

【実施例】

以下、本考案の一実施例を図面を参照にして説明する。

【００２０】 図１は本考案の実施例としての磁気浮上式搬送装置における構成を示すもので あり、図２は図１におけるＡ−Ａ矢視図を示すものである。

【００２１】 図１、及び図２において、３０は天井フレ−ムであって、４本の支柱３１〜３ ４により一方の軌道１と他方の軌道１間の可動軌道１Ａ上に位置するように架設 されている。この天井フレ−ム３０下面には、複数の軌道推進装置（リニアモ− タの固定子側）３５Ｓが軌道１、１の長手方向に直交する方向に所定間隔を隔て て支持部材３６を介して配設されているとともに、この軌道推進装置３５Ｓを挟 む両側に一方の軌道１から他方の軌道１まで延びる軌道浮上用レ−ル３７、３７ がレ−ル支持部材３８を介してされぞれ取着されている。

【００２２】 可動軌道１Ａは、この底が開口しており、また、この上壁１ａ、１ｂには、軌 道１の長手方向両端の側壁４０ａ、４０ｂが開口して浮上搬送台車１５の荷台１ ７を収納する空間を有する筒状部４０が一体形成されている。この筒状部４０の 上壁４０ｃには、リニアモ−タの移動子側３５Ｒがその固定子側３５Ｓと所定間 隔を隔てて対向するように取着されているとともに、この移動子側３５Ｓを挟ん だ４端に継鉄にコイルを巻回してなる一対の軌道浮上用磁石４５、４５、４５、 ４５がそれぞれ設けられている。また、筒状部４０の側壁４０ａ、４０ｂの軌道 １、１長手方向に直交わる方向の前後には、継鉄にコイルを巻回してなる一対の 軌道案内用磁石４６、４６、４６、４６が設けられている。軌道浮上用磁石４５ 、４５、４５、４５は軌道浮上用レ−ル３７、３７の下面にそれぞれギャップＧ ３を隔てて対向し、軌道案内用磁石４６、４６、４６、４６は一方の軌道１から 他方の軌道１まで延びて天井フレ−ム３０の下面にレ−ル支持部材４７を介して 取着されている軌道案内用レ−ル４８、４８の側面にそれぞれギャップＧ４を隔 てて対向している。

【００２３】 ４９は軌道浮上用磁石４５、４５、４５、４５および軌道案内用磁石４６、４ ６、４６、４６とに電力（励磁電流）を供給し、その電力量（励磁電流量）を制 御する指令を与える浮上案内制御装置であって、軌道浮上用磁石４５、４５、４ ５、４５、及び軌道案内用磁石４６、４６、４６、４６に電流用ケ−ブル５０Ａ 、指令用ケ−ブル５０Ｂによりそれぞれ接続されている。その他の構成は、従来 技術に示したものと同様の構成を有するので、その説明を省略する。

【００２４】 本考案の実施例は、以上のように構成されるが、以下、この磁気浮上式搬送装 置の作動について説明する。尚、図１及び図２における軌道浮上用磁石４５、４ ５、４５、４５及び軌道案内用磁石４６、４６、４６、４６には、軌道浮上制御 装置４９から励磁電流が供給されており、可動軌道１Ａは筒状部４０を介して当 該軌道浮上用磁石４５、４５、４５、４５と軌道浮上用レ−ル３７、３７との磁 気的な結合、軌道案内用磁石４６、４６、４６、４６と軌道案内用レ−ル４８、 ４８とのに磁気的な結合により浮上して、空中に吊り下げられた状態となってい る。

【００２５】 荷台１７上に搬送物が載置され、浮上用磁石１８、１８及び案内用磁石１９、 １９に対して励磁電流が供給されると、浮上搬送台車１５が浮上し、また、台車 推進装置（リニアモ−タの固定子側）２Ｓに交流電流が供給されて進行磁界が発 生すると、浮上搬送台車１５が進行磁界方向に走行し始める。そして、浮上搬送 台車１５が台車推進装置２Ｓ上方を通過する毎に進行方向に加速され、その他の 区間においては惰性により走行する。

【００２６】 次いで、浮上搬送台車１５を走行中の軌道１から他方の軌道１に走行路変更す るには、台車推進装置２Ｓにより浮上搬送台車１５の走行と逆方向の進行磁界を 発生させて、浮上搬送台車１５を充分減速させた後、図示しない位置決め用磁石 などにより可動軌道１Ａ内に停止させる。このとき、浮上搬送台車は、図１また は図２で示す如く、可動軌道１Ａの浮上用レ−ル４、４と浮上用磁石１８、１８ との磁気的な吸引、案内用レ−ル５、５と案内用磁石１９、１９との磁気的な吸 引により可動軌道１Ａ内に浮上した状態で停止されているとともに、軌道浮上用 磁石４５、４５、４５、４５と軌道浮上用レ−ル３７、３７との磁気的な結合に より可動軌道１Ａを介して吊り下げられた状態にされる。

【００２７】 浮上搬送台車１５が可動軌道１Ａ内に浮上した状態で停止させられると、軌道 推進装置３５Ｓに交流電流を供給して、進行磁界が発生すると、この移動子側３ ５Ｒを介して推進力が可動軌道１Ａに与えられることになるので、可動軌道１Ａ がその内部に浮上搬送台車１５を浮上させた状態で、一方の軌道１から他方の軌 道１に向けて走行し始める。このとき、軌道浮上制御装置４９は、可動軌道１Ａ の走行をスム−ズにするために、各磁石４５、４６と各レ−ル３７、４８とのそ れぞれのギャップＧ３、Ｇ４の間隔を保つように、軌道浮上用磁石４５、４５、 ４５、４５と軌道案内用磁石４６、４６、４６、４６とに供給される励磁電流量 を制御している。

【００２８】 そして、可動軌道１Ａが軌道推進装置３５Ｓ下方を通過する毎に進行方向に加 速され、その他の区間においては惰性により走行して他方の軌道１にまで達する と、軌道浮上制御器４９は、走行路の変更された軌道１上の天井フレ−ム３０に 配設された軌道推進装置３５Ｓに可動軌道１Ａの走行と逆方向の進行磁界を発生 させて、可動軌道１Ａを充分に減速させた後、図示しない軌道１の位置決め用磁 石などにより可動軌道１Ａを軌道１に当該軌道１の長手方向から当該他の軌道１ に対向する位置に停止させる。

【００２９】 次いで、浮上搬送台車１５の走行路の変更が終了すると、再び、上記に示した 手順で、浮上搬送台車１５を走行させて、搬送物を目的地まで搬送させる。

【００３０】 尚、本考案の実施例においては、軌道浮上用磁石４５、４５、４５、４５およ び軌道案内用磁石４６、４６、４６、４６とに励磁電流を供給し、その励磁電流 を制御する指令を与える軌道浮上制御装置４９は、ケ−ブル５０Ａ、５０Ｂによ り軌道浮上用磁石４５、４５、４５、４５、及軌道案内用磁石４６、４６、４６ 、４６にそれぞれ接続するようにしているが、これに代えて、例えば図３に示す 如く、可動軌道体１Ａ下方に軌道浮上制御装置４９と接続される光送信器６０を 、浮上搬送台車１５下面に軌道浮上用磁石４５、４５、４５、４５および軌道案 内用磁石４６、４６、４６、４６とにそれぞれ接続される光受信器６１を設ける ことにより、軌道浮上制御器４９から軌道浮上用磁石４５、４５、４５、４５お よび軌道案内用磁石４６、４６、４６、４６とにそれぞれ与えられる制御指令を 光送信器６０により光信号に変換して送信し、光受信器で上記光信号を受信する という光無線で行なうよにしてたものであってもよい。

【００３１】 また、本考案の実施例の磁気浮上により移動させる可動軌道１Ａを用いて、図 ４(a)に示す如く、複数の軌道１における浮上搬送台車１５の走行路を変更させ るようなものに適用したものであってもよい。

【００３２】 更に、本考案の実施例は、軌道１、１間を当該軌道１、１の巾方向に可動軌道 １Ａを直線移動させて浮上搬送台車１５の走行路を変更させるものを示したが、 これに限定されるものでではなく、例えば、図４(b)の如く、可動軌道１Ａを軌 道１、１の長手方向に対して斜めに移動させて浮上搬送台車１５の走行路を変更 するようにしたものであってもよい。

【００３３】

【考案の効果】

以上詳述したように、本考案の磁気浮上式搬送装置によれば、搬送台車の走行 路を変更するときには、可動軌道を磁気浮上式とする非接触状態で移動させて搬 送台車の走行路を変更させることができるので、塵埃が発生することを防止でき 、これにより、浮上搬送台車に載置される搬送物、およびクリ−ンルム内を当該 塵埃等で汚染することがなくなる。

【００３４】 また、搬送台車の走行路変更は、上記の如く、可動軌道を磁気浮上式とする非 接触状態で移動することにより行なうようにしているので、搬送台車に載置され ている搬送物に振動を与えることなく、スム−ズに当該搬送台車の走行路の変更 をすることができ、搬送物の破損等をなくし、歩留まりを向上させることができ るとともに、磁気浮上式搬送装置全体のコストが低減される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例としての磁気浮上式搬送装置
を示す断面図である。

【図２】図１における磁気浮上式搬送装置を示すＡ−Ａ
矢視図である。

【図３】本考案の他の実施例としての磁気浮上式搬送装
置を示す断面図である。

【図４】図１における磁気浮上式搬送装置を用いた搬送
台車の走行経路を示す上面図である。

【図５】従来の技術における磁気浮上式搬送装置を示す
断面図である。

【図６】従来の技術における磁気浮上式搬送装置を示す
斜視図である。

【図７】従来の技術における他の可動軌道の位置関係を
示す上面図である。

【符号の説明】

１ 軌道 １Ａ 可動軌道 １５ 浮上搬送台車 ３５Ｒ 推進装置の移動子側 ３５Ｓ 推進装置の固定子側 ３７ 軌道浮上用レ−ル ４５ 軌道浮上用磁石 ４６ 軌道案内用磁石 ４８ 軌道案内用レ−ル ４９ 制御器 ５０ ケ−ブル ６０ 光送信器 ６１ 光受信器

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の軌道と、上記軌道の一部を構成し
   当該軌道の相互間を往復移動する可動軌道と、搬送台車
   を磁気浮上させて上記軌道に沿って駆動する装置とを備
   え、上記搬送台車は上記可動軌道により上記軌道の走行
   路を変更する磁気浮上式搬送装置において、 上記軌道の相互間には、上記可動軌道に対向して複数の
   軌道に亘って延びる可動軌道浮上用レ−ルと、上記可動
   軌道に所定間隔を隔てかつ当該可動軌道を左右から挟ん
   で位置する可動軌道案内用レ−ルとを設け、 上記可動軌道は、上記可動軌道浮上用レ−ルに所定の垂
   直ギャップを隔てて磁気的に結合する浮上用磁極部と、
   上記可動軌道案内用レ−ルに所定の水平ギャップを隔て
   て磁気的に結合する案内用磁極部と、上記可動軌道浮上
   用レ−ルが延びる方向に向けて推進力を与える磁気推進
   装置とを備えたことを特徴とする磁気浮上式搬送装置。
2. 【請求項２】 浮上案内用磁極部への電力、制御指令は
   浮上案内制御装置によりケ−ブルを介して供給するを特
   徴とする請求項１記載の磁気浮上式搬送装置。
3. 【請求項３】 浮上案内用磁極部への電力はケ−ブルを
   介し、制御指令は光通信手段を介してそれぞれ地上の浮
   上案内制御装置から供給することを特徴とする請求項１
   記載の磁気浮上式搬送装置。