JPH0645865A - 多電極水晶振動子 - Google Patents
多電極水晶振動子Info
- Publication number
- JPH0645865A JPH0645865A JP1950891A JP1950891A JPH0645865A JP H0645865 A JPH0645865 A JP H0645865A JP 1950891 A JP1950891 A JP 1950891A JP 1950891 A JP1950891 A JP 1950891A JP H0645865 A JPH0645865 A JP H0645865A
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- Japan
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- electrodes
- electrode
- end part
- axis direction
- conductive
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- Pending
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
［目的］ 位置決めを正確にして振動特性を良好とし得
る電極構造の多電極水晶振動子を提供する。 ［構成］ 厚みすべり振動を励起される水晶片の一主面
側に共通電極を設けて、他主面側に前記共通電極と対向
する三つの電極を並べて形成し、前記三つの電極のうち
の中央の電極から一端部外周に引出電極を延出して、両
側の電極から他端外周に導通電極を延出し、該導通電極
を導電材により接続した構成とする。
る電極構造の多電極水晶振動子を提供する。 ［構成］ 厚みすべり振動を励起される水晶片の一主面
側に共通電極を設けて、他主面側に前記共通電極と対向
する三つの電極を並べて形成し、前記三つの電極のうち
の中央の電極から一端部外周に引出電極を延出して、両
側の電極から他端外周に導通電極を延出し、該導通電極
を導電材により接続した構成とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は水晶発振器に使用する多
電極水晶振動子（以下、多電極振動子とする）を利用分
野とし、特に、水晶発振器を温度補償型とした場合の多
電極振動子に関する。
電極水晶振動子（以下、多電極振動子とする）を利用分
野とし、特に、水晶発振器を温度補償型とした場合の多
電極振動子に関する。
【０００２】
【発明の背景】多電極振動子を用いた水晶発振器は、本
発明者等により開発されて特に温度補償型の水晶発振器
として用いられる。例えば既に提案したものとして特願
昭63-15142、同25093、同248632、同275669、同335050号及
び特願平1-223610号等がある。
発明者等により開発されて特に温度補償型の水晶発振器
として用いられる。例えば既に提案したものとして特願
昭63-15142、同25093、同248632、同275669、同335050号及
び特願平1-223610号等がある。
【０００３】
【従来技術】第４図はこの種の一例を示す水晶発振器の
回路図である。水晶発振器は多電極振動子１と、発振回
路２と、温度補償回路３と、周波数調整素子４とからな
る。多電極振動子１は厚みすべり振動を励起される例え
ばＡＴカットの水晶片５からなる。水晶片５の両主面に
は二組の対向する電極対６（ａｂ）、７（ａｂ）がｚ’
軸方向に形成される。そして、一組の電極対６に発振回
路２と周波数調整素子４を、他組の電極対７に温度補償
回路３を接続する。発振回路２は一組の電極対６による
振動子を発振子とし、温度に依存した周波数（周波数温
度特性）で発振する。なお、温度補償回路３は補償温度
発生回路８と電圧可変容量素子９からなる。このような
ものでは、補償電圧発生回路８による電圧可変容量素子
９の容量変化が、二組の電極対間６、７の弾性結合によ
り、発振回路２の負荷容量を変化させて周波数温度特性
を補償する。そして、温度補償回路３と周波数調整素子
４との電気的な結合はないので、周波数調整時の温度補
償回路３への影響を低減して信頼性を高めることができ
る。
回路図である。水晶発振器は多電極振動子１と、発振回
路２と、温度補償回路３と、周波数調整素子４とからな
る。多電極振動子１は厚みすべり振動を励起される例え
ばＡＴカットの水晶片５からなる。水晶片５の両主面に
は二組の対向する電極対６（ａｂ）、７（ａｂ）がｚ’
軸方向に形成される。そして、一組の電極対６に発振回
路２と周波数調整素子４を、他組の電極対７に温度補償
回路３を接続する。発振回路２は一組の電極対６による
振動子を発振子とし、温度に依存した周波数（周波数温
度特性）で発振する。なお、温度補償回路３は補償温度
発生回路８と電圧可変容量素子９からなる。このような
ものでは、補償電圧発生回路８による電圧可変容量素子
９の容量変化が、二組の電極対間６、７の弾性結合によ
り、発振回路２の負荷容量を変化させて周波数温度特性
を補償する。そして、温度補償回路３と周波数調整素子
４との電気的な結合はないので、周波数調整時の温度補
償回路３への影響を低減して信頼性を高めることができ
る。
【０００４】
【従来技術の問題点】しかしながら、上記構成の多電極
振動子１では、主振動（対称モードｆs1）に対して斜対
称モードｆa1の非調和高次振動が主振動周波数ｆ0に接
近して発生する「第５図の共振特性図」。特に、二組の
電極対６、７をｚ’軸方向に並べた場合には、モード記
号（ｙ、ｘ、ｚ）中の（ｙ、１、１）の対称モードｆs1
（主振動）とともに、これに最も近接した（ｙ、１、
２）の斜対称モードｆa1が強勢的に発生する「第６図、
第７図の変位分布図」。なお、第８図に示したように、
電極対１０（ａｂ）が通常の一組のみの場合には、斜対
称モードは変位による電荷が相殺されて発生しない。こ
のようなことから、発振周波数が主振動周波数ｆ0から
斜対称モードｆs1の振動周波数に移行する所謂周波数ジ
ャンプ現象を引き起こす問題があった。このようなこと
から、一組の電極対１１を水晶片５の中央部に、他組の
電極対１２（ａｂ）を前記一組の電極対１１の両側に分
割して形成する。具体的には、一主面側を共通電極１３
とし（第１０図）、他主面の分割された他組となる電極
対１２（ａｂ）を導通電極１４により共通接続する（第
１１図）。そして、斜対称モードにより発生する異符号
の電荷を分割された電極１２（ａｂ）により相殺し、斜
対称モードを抑圧することが考えられた（特願平２−５
０４５３号）。しかしながら、このようなものでは、蒸
着による他主面側の電極１１、１２、１４を形成する
際、各電極に対応する部分を電極孔１１’、１２ａ’、
１２ｂ’１４’とした金属薄板からなる蒸着マスク１５
を使用する（第１１図）。そして、蒸着マスク１５は、
導通電極１４を形成するため、中央部の電極孔１１’を
囲む金属枠１６は導通電極側で遮断される。すなわち、
中央部での電極枠１６は浮いた状態になる。したがっ
て、蒸着時にズレ等を生じて正確な位置に電極を形成で
きず、振動特性に悪影響をもたらすおそれがあった。
振動子１では、主振動（対称モードｆs1）に対して斜対
称モードｆa1の非調和高次振動が主振動周波数ｆ0に接
近して発生する「第５図の共振特性図」。特に、二組の
電極対６、７をｚ’軸方向に並べた場合には、モード記
号（ｙ、ｘ、ｚ）中の（ｙ、１、１）の対称モードｆs1
（主振動）とともに、これに最も近接した（ｙ、１、
２）の斜対称モードｆa1が強勢的に発生する「第６図、
第７図の変位分布図」。なお、第８図に示したように、
電極対１０（ａｂ）が通常の一組のみの場合には、斜対
称モードは変位による電荷が相殺されて発生しない。こ
のようなことから、発振周波数が主振動周波数ｆ0から
斜対称モードｆs1の振動周波数に移行する所謂周波数ジ
ャンプ現象を引き起こす問題があった。このようなこと
から、一組の電極対１１を水晶片５の中央部に、他組の
電極対１２（ａｂ）を前記一組の電極対１１の両側に分
割して形成する。具体的には、一主面側を共通電極１３
とし（第１０図）、他主面の分割された他組となる電極
対１２（ａｂ）を導通電極１４により共通接続する（第
１１図）。そして、斜対称モードにより発生する異符号
の電荷を分割された電極１２（ａｂ）により相殺し、斜
対称モードを抑圧することが考えられた（特願平２−５
０４５３号）。しかしながら、このようなものでは、蒸
着による他主面側の電極１１、１２、１４を形成する
際、各電極に対応する部分を電極孔１１’、１２ａ’、
１２ｂ’１４’とした金属薄板からなる蒸着マスク１５
を使用する（第１１図）。そして、蒸着マスク１５は、
導通電極１４を形成するため、中央部の電極孔１１’を
囲む金属枠１６は導通電極側で遮断される。すなわち、
中央部での電極枠１６は浮いた状態になる。したがっ
て、蒸着時にズレ等を生じて正確な位置に電極を形成で
きず、振動特性に悪影響をもたらすおそれがあった。
【０００５】
【発明の目的】本発明は、位置決めを正確にして振動特
性を良好にし得る電極構造の多電極振動子を提供するこ
とを目的とする。
性を良好にし得る電極構造の多電極振動子を提供するこ
とを目的とする。
【０００６】
【解決手段】本発明は、厚みすべり振動を励起される水
晶片の一主面側に共通電極を設けて、他主面側に前記共
通電極と対向する三つの電極を並べて形成し、前記三つ
の電極のうちの中央の電極から一端部外周に引出電極を
延出して、両側の電極から他端部外周に導通電極を延出
し、該導通電極を導電材により接続したことを解決手段
とする。
晶片の一主面側に共通電極を設けて、他主面側に前記共
通電極と対向する三つの電極を並べて形成し、前記三つ
の電極のうちの中央の電極から一端部外周に引出電極を
延出して、両側の電極から他端部外周に導通電極を延出
し、該導通電極を導電材により接続したことを解決手段
とする。
【０００７】
【実施例】第１図乃至第３図は本発明の一実施例を説明
する図で、第１図はは多電極振動子の他主面、第２図は
同振動子を保持する一部主面図、第３図は蒸着マスクの
平面図である。なお、前従来例図と同一部分には同番号
を付与してその説明は簡略する。多電極振動子は、前述
同様にＡＴカットの水晶片５からなる。この実施例で
は、水晶片５の一方の主面には共通電極１３を設け、’
Ｘ軸方向の一端部に引出電極を延出する（前第９図参
照）。水晶片５の他面には共通電極１３と対をなす前述
の三つの電極対１１、１２ａ、１２ｂをＺ’軸方向に並
べて形成する。そして、中央の電極対１１からはＸ軸方
向の一端部に引出電極を延出する。また、両側の電極対
１２（ａｂ）からはｘ軸方向の他端部にそれぞれ導通電
極１４（ａｂ）を延出する。導通電極１４（ａｂ）は互
いに分断されて形成される。そして、その後、導通電極
１４（ａｂ）を導電材（未図示）により接続する（第１
図）。例えば、水晶片５の両端外周部をサポータ２０に
より保持する際、導電性接着剤２１により接続する（第
２図）。このようなものでは、他主面側の電極１１、１
２、１４を形成する際、蒸着マスク１５は、中央の電極
孔１１’を囲む金属枠１６は両端外周に延出する（第３
図）。すなわち、導通電極１４（ａｂ）を予め分断して
形成したので、この部分にも枠を必要として外周枠に連
結される。したがって、電極孔１１’の金属枠１６は固
定されてブラツキを防止する。このようなことから、こ
の電極構造であれば、蒸着時に各電極１１、１２、１４
を正確な位置に形成でき、振動特性を良好とする。
する図で、第１図はは多電極振動子の他主面、第２図は
同振動子を保持する一部主面図、第３図は蒸着マスクの
平面図である。なお、前従来例図と同一部分には同番号
を付与してその説明は簡略する。多電極振動子は、前述
同様にＡＴカットの水晶片５からなる。この実施例で
は、水晶片５の一方の主面には共通電極１３を設け、’
Ｘ軸方向の一端部に引出電極を延出する（前第９図参
照）。水晶片５の他面には共通電極１３と対をなす前述
の三つの電極対１１、１２ａ、１２ｂをＺ’軸方向に並
べて形成する。そして、中央の電極対１１からはＸ軸方
向の一端部に引出電極を延出する。また、両側の電極対
１２（ａｂ）からはｘ軸方向の他端部にそれぞれ導通電
極１４（ａｂ）を延出する。導通電極１４（ａｂ）は互
いに分断されて形成される。そして、その後、導通電極
１４（ａｂ）を導電材（未図示）により接続する（第１
図）。例えば、水晶片５の両端外周部をサポータ２０に
より保持する際、導電性接着剤２１により接続する（第
２図）。このようなものでは、他主面側の電極１１、１
２、１４を形成する際、蒸着マスク１５は、中央の電極
孔１１’を囲む金属枠１６は両端外周に延出する（第３
図）。すなわち、導通電極１４（ａｂ）を予め分断して
形成したので、この部分にも枠を必要として外周枠に連
結される。したがって、電極孔１１’の金属枠１６は固
定されてブラツキを防止する。このようなことから、こ
の電極構造であれば、蒸着時に各電極１１、１２、１４
を正確な位置に形成でき、振動特性を良好とする。
【０００８】
【他の事項】なお、上記実施例では、共通電極は図面上
では連続して形成したが、一主面の電極と対向して電気
的に接続されていればよいものである。
では連続して形成したが、一主面の電極と対向して電気
的に接続されていればよいものである。
【０００９】
【発明の効果】本発明は、厚みすべり振動を励起される
水晶片の一主面側に共通電極を設けて、他主面側に前記
共通電極と対向する三つの電極を並べて形成し、前記三
つの電極のうちの中央の電極から一端部外周に引出電極
を延出して、両側の電極から他端部外周に導通電極を延
出し、該導通電極を導電材により接続したので、位置決
めを正確にして振動特性を良好にし得る電極構造の多電
極振動子を提供できる。
水晶片の一主面側に共通電極を設けて、他主面側に前記
共通電極と対向する三つの電極を並べて形成し、前記三
つの電極のうちの中央の電極から一端部外周に引出電極
を延出して、両側の電極から他端部外周に導通電極を延
出し、該導通電極を導電材により接続したので、位置決
めを正確にして振動特性を良好にし得る電極構造の多電
極振動子を提供できる。
【図１】本発明の一実施例を説明する多電極振動子の他
主面の平面図である。
主面の平面図である。
【図２】本発明の一実施例を説明する保持構造の一部図
である。
である。
【図３】本発明の一実施例の作用を説明する蒸着マスク
の図である。
の図である。
【図４】従来例を説明する温度補償発振器の概略回路図
である。
である。
【図５】従来例を説明する共振特性図である。
【図６】従来例を説明する多電極振動子の変位分布図で
ある。
ある。
【図７】従来例を説明する多電極振動子の変位分布図で
ある。
ある。
【図８】従来例を説明する多電極振動子の変位分布図で
ある。
ある。
【図９】従来例を説明する多電極振動子の一主面の平面
図である。
図である。
【図１０】従来例を説明する多電極振動子の他主面の平
面図である。
面図である。
【図１１】従来例を説明する蒸着マスクの平面図であ
る。
る。
５ 水晶片 １４（ａｂ） 導通電極 １１ 電極 １２ 分割された電極 １５ 蒸着マスク １６ 金属枠 ２１ 蒸着マスク
Claims (1)
- 【請求項１】 厚みすべり振動を励起される水晶片の一
主面側に共通電極を設けて、他主面側に前記共通電極と
対向する三つの電極を並べて形成し、前記三つの電極の
うちの中央の電極から一端部外周に引出電極を延出し
て、両側の電極から他端部外周に導通電極を延出し、該
導通電極を導電材により接続したことを特徴とする多電
極水晶振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1950891A JPH0645865A (ja) | 1991-01-20 | 1991-01-20 | 多電極水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1950891A JPH0645865A (ja) | 1991-01-20 | 1991-01-20 | 多電極水晶振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0645865A true JPH0645865A (ja) | 1994-02-18 |
Family
ID=12001313
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1950891A Pending JPH0645865A (ja) | 1991-01-20 | 1991-01-20 | 多電極水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0645865A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7030522B2 (en) | 2004-02-20 | 2006-04-18 | Fujitsu Ten Limited | Exciter for directly vibrating board |
| US7907742B2 (en) | 2003-10-31 | 2011-03-15 | Fujitsu Ten Limited | Exciter for directly vibrating board and speaker apparatus used the same |
| US9180822B2 (en) | 2010-07-30 | 2015-11-10 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. | Vehicle with sound wave reflector |
-
1991
- 1991-01-20 JP JP1950891A patent/JPH0645865A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7907742B2 (en) | 2003-10-31 | 2011-03-15 | Fujitsu Ten Limited | Exciter for directly vibrating board and speaker apparatus used the same |
| US7030522B2 (en) | 2004-02-20 | 2006-04-18 | Fujitsu Ten Limited | Exciter for directly vibrating board |
| US9180822B2 (en) | 2010-07-30 | 2015-11-10 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. | Vehicle with sound wave reflector |
| US9517732B2 (en) | 2010-07-30 | 2016-12-13 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. | Headrest speaker arrangement |
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