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JPH063281A - Method for displaying foreign material data - Google Patents

Method for displaying foreign material data

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Publication number
JPH063281A
JPH063281A JP16124792A JP16124792A JPH063281A JP H063281 A JPH063281 A JP H063281A JP 16124792 A JP16124792 A JP 16124792A JP 16124792 A JP16124792 A JP 16124792A JP H063281 A JPH063281 A JP H063281A
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JP
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Patent type
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foreign
material
map
display
section
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Pending
Application number
JP16124792A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hajime Moriya
元 森谷
Original Assignee
Nikon Corp
株式会社ニコン
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Abstract

PURPOSE:To confirm a small foreign material by displaying both the number of pieces with a determined section as one unit and the number of pieces with a section smaller than the determined section as one unit. CONSTITUTION:The partition of a map 1, for example, shows an area of 5mm square size on a subject surface, and takes 5mm as one unit. Below the map 1, the number of foreign materials on a material to be inspected corresponding to the areas displayed by the map 1 is indicated by a display part 1 every rank. In a display part 2, the total number of foreign materials present in the whole area on the material to be inspected is displayed every rank, and the display part 2 conduct foreign material display with 1mm as a unit. The ranks shows A-C in the order of size, and in the map 1, one foreign material of A-rank and two foreign materials of C-rank are detected. Thus, foreign material detection can be performed with 1mm square as resolution, and 25 inspection units (1mm) are included in one section (5mm square) of the map 1. The figures of the display parts 1, 2 are compared to each other, the presence of foreign materials difference in size within one section (5mm square) can be easily estimated.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【産業上の利用分野】本発明は異物データの表示方法に関し、特にLSI用フォトマスク、レチクル又はウェハ等の回路パターン上に付着した異物データの表示方法に関するものである。 The present invention relates to an appearance of the foreign matter data, and particularly for LSI photomask, a display method of the foreign matter data deposited on the circuit pattern such as a reticle or wafer.

【0002】 [0002]

【従来の技術】従来この種の装置は、図5に示すように異物の個数を大きさに応じたランクごとに分けて表示していた。 Conventionally this type of device, which had been divided for each rank in accordance with the magnitude of the number of foreign matter, as shown in FIG. 5 of. 特にマップ表示する時、同一区画内に複数の異物が存在する場合は、最も大きな異物を表示していた。 Especially when map display, when a plurality of foreign matter present in the same compartment, has been displayed the largest foreign substance.
図のマップ4は検出された異物の位置と大きさを表示するものである。 Map 4 figure is for displaying the position and size of the detected foreign object. マップ4の区画の大きさは被検査面上で所定の大きさの区画を示しており、この区画内の一番大きな異物の大きさをランク表示している。 The size of the compartments of the map. 4 shows a section of a predetermined size on the surface to be inspected, and rank display the size of the largest foreign matter in this compartment. ここでは、ランクは大きい順にA、B、Cランクを表示しており、マップ4ではAランクの異物が1つ、Cランクの異物が二つ検出された様子を示している。 Here, rank A in descending order, B, and displays the rank C, one foreign substances A rank in map 4 shows a state in which foreign substances C rank is two detected. そしてマップ4の下には、表示画面内の異物の個数をランク別に表示していた。 And in the bottom of the map 4, it was displayed the number of foreign matter within the display screen by rank.

【0003】 [0003]

【発明が解決しようとする課題】上記の如き従来の技術においては、同一区画内に複数の異物が存在する場合は最も大きい異物しか表示されない。 In THE INVENTION It is an object of the such prior art, only show the largest foreign substance if multiple foreign matter present in the same compartment. このため、その表示異物と同じ区画にある表示異物より小さい異物が表示されず、小さい異物の存在が確認できないという問題点があった。 Therefore, without displaying the smaller foreign matter than the display foreign materials in the same compartment as the display foreign matter, the presence of a small foreign matter has a problem that can not be confirmed.

【0004】このような小さな異物の存在を確認しようとすれば、単位区画領域の大きさをより小さいものとしてマップ表示すればよいが、これはマップが大きくなったり、小さな異物の個数の確認のためだけにマップ表示を切り換えなければならないという問題点があった。 [0004] If trying to check the existence of such small particles, but the size of the unit block area may be mapped displayed as smaller ones, which is or map is increased, the small particles the number of confirmation there is a problem that must be switched only in map display order. そこで、本発明は所定区画を1単位とした個数表示と所定区画より小さい区画(あるいは最小表示区画)を1単位とした場合の個数表示の両方を表示することにより、小さな異物を確認することができる異物マップ表示方法を提供することを目的とする。 Accordingly, by the present invention to display both the number displayed in the case where the number displayed and the predetermined compartments smaller compartment as one unit a predetermined section (or minimum display area) as a unit, you can see the small particles an object of the present invention is to provide a foreign substance map display method that can be.

【0005】 [0005]

【課題を解決するための手段】上記問題点の解決の為に本発明では、被検査物を光ビームで走査し、被検査物から生じる散乱光を光電検出することによって、被検査物上の異物の位置と大きさを検出する異物検査装置を用いて、異物の位置と大きさをマップ状に表示する異物データの表示方法において、所定の表示区画内の最も大きな異物を異物の大きさに応じたランクごとに分けて個数表示する表示方法であって、マップ内に表示されている表示領域内の異物の個数を表示する第1表示方法と;最小表示区画内の最も大きな異物を異物の大きさに応じたランクごとに分けて個数表示する表示方法であって、被検査物の検査可能領域内の異物の個数を表示する第2表示方法とを有し、所定区画内の異物の表示と最小区画内の異物の表示との両 In the present invention for solving the above problems SUMMARY OF THE INVENTION, to scan the object to be inspected with a light beam, by detecting photoelectrically scattered light generated from the inspection object, on the object to be inspected with foreign matter inspection apparatus for detecting the position and size of the foreign matter, the position and size of the foreign matter in the display method of the foreign matter data to be displayed on the map shape, the largest foreign matter predetermined display compartment to the size of the foreign matter a display method of the number displayed separately for each corresponding rank, the first display method and for displaying the number of foreign substances in the display area displayed on the map; the largest foreign matter minimum display compartment of foreign matter a display method of the number displayed separately for each rank corresponding to the magnitude, and a second display method for displaying the number of foreign matters examinable region of the object, the display of the foreign matter in a given compartment both the display of foreign matter of the smallest in the compartment and を表示することとした。 It was decided to display.

【0006】 [0006]

【作用】本発明によれば、表示画面中の異物の個数を所定区画単位でランク別に表示すると同時に、最小表示区画単位ごとの総異物数をランク別に表示可能となる。 According to the present invention, it can be displayed simultaneously with the display by ranking the number of foreign matter in a display screen at a predetermined partition unit, the total number of foreign substances every minimum pane unit by rank. このため、異物の個数を表示している2組の数字を比較し、その違いから所定区画内に表示されている異物より小さな異物が同一区画内に存在するかどうかを容易に確認できる。 Therefore, by comparing the two sets of numbers are displayed the number of foreign matter, whether small particles from foreign matter being displayed from the difference in a predetermined compartment is present in the same compartment can be confirmed easily.

【0007】また、所定区画と最小表示区画が同じ単位である場合には所定区画の密集度を確認することができる。 Further, when a predetermined compartment and minimum display section is the same unit can confirm the density of a given compartment.

【0008】 [0008]

【実施例】本発明の一実施例を図面を参照して説明する。 EXAMPLES be described with reference to the drawings an embodiment of the present invention. 図1は本発明の一実施例に好適な異物検査装置の概略を示す図である。 Figure 1 is a diagram showing an outline of a preferred particle inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. 不図示の光源から射出されたレーザ光1はビーム走査手段としてのスキャナー12(ポリゴン、ガルバノミラー等)によって被検査物10(所定のパターンが形成されたレチクル、ウェハ等)のX方向を走査する。 Laser beam 1 emitted from a light source (not shown) scans the X direction of the scanner 12 as the beam scanning means (polygon, galvanometer mirror or the like) the test object 10 by (a reticle on which a predetermined pattern is formed, wafer or the like) . このとき、走査するレーザ光1は集光レンズ等の照射用集光光学系11により任意のビーム径に変換された後、スポット光に絞り込まれ被検査物10に対して斜めに入射する。 At this time, the laser beam 1 for scanning is converted into an arbitrary beam diameter by irradiation condenser optical system 11, such as a converging lens, it is narrowed down to a spot light obliquely incident on the inspection object 10. スキャナ12によって走査されるレーザ光1の走査の始点と終点位置は、位置検出用の光電検出器22、23によって検出される。 Start and end point of the scanning of the laser beam 1 is scanned by the scanner 12 is detected by the photoelectric detector 22 for position detection. 一方、被検査物10はステージ49に載置されており、ステージ49はモータ等の駆動手段50によってレーザ光1の走査方向とほぼ直交する方向24(Y方向)に移動可能である。 On the other hand, the object to be inspected 10 is placed on the stage 49, the stage 49 is movable in a direction 24 substantially perpendicular to the scanning direction of the laser beam 1 by a driving means 50 such as a motor (Y-direction).
これにより被検査物10の全面が検査可能となる。 The entire surface of the object to be inspected 10 becomes possible inspection by this. ステージ49には例えばリニアエンコーダ等の移動量測定手段51が設けられており、被検査物10上のY方向の照射位置が計測可能である。 The stage 49 is provided with shift amount measuring means 51 such as a linear encoder for example, which is an irradiation position in the Y direction on the test object 10 can be measured.

【0009】光電素子19、20、21は、それぞれ異なる空間方向から、レーザ光1による照射部13〜15 [0009] The photoelectric element 19, 20 and 21, from different spatial directions, the irradiation unit 13 to 15 by the laser beam 1
からの散乱光を受光するように配置されている。 It is positioned to receive scattered light from. この受光素子19、20、21の各受光面には、集光レンズ1 Each light-receiving surface of the light receiving elements 19, 20 and 21, the condenser lens 1
6、17、18によって、散乱光が集光される。 By 6,17,18, scattered light is focused. 被検査物10のパターンからの回折光の影響を少なくするため、集光レンズ16、17、18の光軸はXY平面に対して斜めになるように配置されている。 To reduce the influence of diffracted light from the pattern of the inspection object 10, the optical axis of the condenser lens 16, 17, 18 are arranged so as to be slanted with respect to the XY plane. 各受光素子の配置は、パターンエッジからの散乱光を同時に受光しないように定められている。 The arrangement of the light receiving elements is determined so as not to simultaneously receiving scattered light from the pattern edge.

【0010】次に本実施例による信号処理について図2 [0010] Next, signal processing of the present embodiment FIG. 2
を参照して説明する。 With reference to the description. 光電素子19、20、21からの光電信号は、それぞれ増幅器30、31、32によって増幅される。 The photoelectric signal from the photoelectric element 19, 20 and 21 are amplified by the respective amplifiers 30, 31 and 32. 増幅器30、31、32の各出力信号はそれぞれコンパレータ34、35、36によって基準信号発生器33からの基準信号STとの差を取られる。 Taken the difference between the reference signal ST from the reference signal generator 33 by the respective comparators 34, 35, 36 each output signal of the amplifier 30, 31, 32. 論理回路37は、各コンパレータの出力の例えば論理積演算を行うことにより異物と回路パターンとを弁別する。 Logic circuit 37 to discriminate the foreign matter and a circuit pattern by performing, for example, logical AND operation of the outputs of the comparators. 異物からの散乱光は受光素子19、20、21の全てに入射し、パターンエッジからの散乱光は特定の光電素子に入射する。 Scattered light from foreign matter are incident on all the light-receiving elements 19, 20, and 21, the scattered light from the pattern edge is incident to a specific photoelectric element. 従って、各光電素子が全て十分な光電信号を出力した時、論理回路37は所定の異物検出信号を出力する。 Accordingly, the photoelectric element all when the output sufficient photoelectric signal, the logic circuit 37 outputs a predetermined foreign object detection signal. また、被検査物上の異物の位置は移動量測定手段51(図1)による測定値、及びレーザ光1の走査位置に基づいて求められる。 The position of the foreign matter on the test object is determined based on measurements, and scanning position of the laser beam 1 due to the movement amount measuring means 51 (Fig. 1).

【0011】ここで、計測手段43は位置計測用の光電素子22(図1)からの信号をスタート信号42として基準パルスの計数を開始し、光電素子23(図1)からの信号をストップ信号44として、その計数を停止する。 [0011] The measurement unit 43 starts the signal counting of the reference pulse as a start signal 42 from the photoelectric element 22 for position measurement (Fig. 1), a stop signal from the photoelectric element 23 (FIG. 1) signal as 44, it stops its counting. そして、この期間に計数されたパルス数を主制御手段70により演算して、レーザ光1によるスポットのX Then, the number of pulses counted during this period was calculated by the main control unit 70, the spot by the laser beam 1 X
方向の位置を定める。 Determine the direction of the position. このスポット位置情報はメモリ6 This spot position information memory 6
1に入力される。 Is input to the 1.

【0012】また、各受光素子19、20、21の光電信号は、被検査物10上の異物の位置によって、それぞれ大きさが異なる。 [0012] The photoelectric signals of the respective light receiving elements 19, 20 and 21, the position of foreign matter on the object to be inspected 10, respectively magnitude different. つまり、異物の位置と受光素子との位置関係によって(異物と受光素子との距離によって) That is, the positional relationship between the position of the foreign matter and the light receiving element (the distance between the foreign substance and the light receiving element)
各信号の大小関係が異なる。 The magnitude relationship of each signal is different. そこで、各増幅器30、3 Thus, each amplifier 30,3
1、32の後に可変増幅器(VCA)38、39、40 1,32 variable amplifier (VCA) after 38, 39, 40
を設けておきゲインを可変とする。 And variable gain previously provided. 制御器41はレーザ光1によるスポットのX方向の走査位置を主制御手段7 The controller 41 main controller scan position in the X direction of the spot by the laser beam 1 7
0から入力し、スポット光の走査位置に対する光電素子19、20、21の配置に応じて各可変増幅器のゲインを制御する。 Type 0, and controls the gain of the variable amplifier in accordance with the arrangement of the photoelectric elements 19, 20 and 21 with respect to the scanning position of the spot light. これにより、異物の位置にかかわらず、大きさのみに依存した信号が得られる。 Thus, regardless of the foreign matter position signal depending only on the size can be obtained. このように補正された信号(異物の大きさ信号)は、コンパレータに入力するとともに、大きさ判定器60にも入力する。 Thus corrected signal (magnitude signal of foreign matter) is configured to input to the comparator is also input to magnitude determiner 60. 大きさ判定器60では3つの受光素子からの信号の最大値を異物の大きさ情報としてメモリ61に出力する。 The maximum value of the signal from the magnitude determiner 60 in three light receiving elements and outputs to the memory 61 as the size information of the foreign matter. ここで、 here,
論理回路37からの検出信号は大きさ判定器60に入力され、検出信号が出力された時の最大値(3つの受光素子からの信号の最大値)がメモリ61に入力される。 Detection signals from the logic circuit 37 is inputted to the magnitude determination unit 60, a maximum value when the detection signal is output (the maximum value of the signals from the three light-receiving elements) are input to the memory 61. 本装置ではXY座標値の分解能は最終的に1mmに設定され、被検査物上10上で1mm角領域毎に異物の個数、 Resolution of the XY coordinate values ​​in this device is finally set to 1mm, the number of foreign matter 1mm square each area on the inspected Butsujo 10,
大きさを検出する。 To detect the size. 検出された異物の個数、大きさはディスプレイ装置71に表示される。 The detected number of foreign matters, the size is displayed on the display device 71.

【0013】次に図1の装置により検出された異物の位置、大きさの表示について説明する。 [0013] Then the position of the foreign objects detected by the apparatus of FIG. 1, the display size will be described. 図3、図4は図1 3 and 4 Figure 1
の装置により検出された異物をマップ表示している様子を示す図である。 The foreign objects detected by the apparatus of a diagram showing a state of the map display. 本実施例ではその表示形態は5mm角ごとに表示する場合と1mm角毎に表示する場合との2 The display form in this embodiment 2 of the case of displaying every 1mm angle and when displaying each 5mm square
つの場合について表示の切り換えが可能となっている。 It has become possible to switch the display for the case of One.
図3は5mm角を1単位として表示している場合を示す、図4は1mm角を1単位として表示している場合を示す。 Figure 3 shows the case of displaying a 5mm square as a unit, Figure 4 shows the case of displaying a 1mm square as a unit. 本実施例では1mm角を最小表示単位としている。 In the present embodiment, there is a minimum display unit of 1mm square.

【0014】図3のmap1は図1の装置で検出された異物の位置と大きさを表示するものである。 [0014] map1 of Fig. 3 is for displaying the position and size of the foreign objects detected device of FIG. map1の区画の大きさは被検査面上で5mm角の大きさの領域を示しており、この5mm角を1単位としている。 The size of the compartments of map1 shows the area of ​​the size of 5mm square on the inspected surface, and the 5mm square as one unit. 5mm 5mm
角を1単位とするとは5mm角内の一番大きな異物を表示するようにすることである。 The corner as one unit is to be displayed the largest foreign matter in 5mm square. さて、map1の下にはmap1で表示されている領域に対応した被検査物上の異物の個数をランク別に表示部1により表示している。 Now, under the map1 being displayed by the display unit 1 and the number of foreign matter on the test object corresponding to the area displayed by the map1 by rank.
表示部1では5mm角を1単位として異物表示している。 And foreign matter displays a 5mm square in the display unit 1 as a unit. 表示部2(括弧内)では被検査物上の全域(検査可能領域)に存在する異物の総数をランク別に表示しており、表示部2では1mm角を1単位として異物表示している。 In the display unit 2 (in parentheses) are to display the total number of foreign matters present in the entire area of ​​the object to be inspected (inspection area) by rank, and foreign matter displays a 1mm square in the display unit 2 as a unit.

【0015】本実施例ではランクは大きい順にA、B、 [0015] A sequentially rank high in the present embodiment, B,
Cランクを表示しており、map1ではAランクの異物が1つ、Cランクの異物が二つ検出された様子を示している。 And displays the rank C, one foreign substances A rank in map1, shows how the foreign matter C rank is two detected. 前述の如く、図1の装置では1mm角を分解能(検査単位)として異物の検出が可能であり、図3のm As previously described, in the apparatus of FIG. 1 is capable of foreign matter detecting 1mm angle of resolution (inspection unit), m in FIG. 3
ap1の1区画(5mm角)には25個の検査単位(1 1 compartment of ap1 (5mm angle) to 25 pieces of inspection units (1
mm)が含まれている。 mm) are included. 従って、この1区画内に違う大きさの異物が複数存在する可能性がある。 Therefore, there is a possibility that the size of the foreign substance which differ from the one compartment there is a plurality. 前述の如く1 As previously described 1
区画内の最大の異物が表示されるため小さな異物は表示されなくなってしまう。 Small particles for maximum foreign matter in the compartment is displayed no longer displayed. しかしながら、表示部1と表示部2との2つの数字を比較することにより、1区画(5 However, by comparing the two numbers of the display unit 1 and the display section 2, one section (5
mm角)内の大きさの異なる異物(小さな異物)の存在を容易に推測することができる。 The presence of mm square) of different sizes foreign substance (small particles) can be easily estimated.

【0016】本実施例では図3の表示内の所定部分(例えば領域Zu)を指定し、指定された領域Zuを部分的に拡大表示することが可能である。 [0016] In the present embodiment specifies a predetermined portion of the display of FIG. 3 (eg, region Zu), it is possible to enlarge the designated region Zu partially. この領域Zuを拡大マップ表示した様子を図4に示す。 Shown enlarged map display was how this area Zu in FIG. 図4は図3の領域Z Figure 4 is a region in FIG. 3 Z
uを拡大表示したのみで、各異物の位置関係は変わらない。 Only to magnify the u, it does not change the positional relationship of each foreign matter. 図4のmap1−aの区画の大きさは被検査面上で1mm角の大きさの領域を示しており、この1mm角を1単位として異物をマップ表示している。 map1-a size of section of FIG. 4 shows the area of ​​the size of 1mm square on the inspected surface, and map display foreign matter the 1mm square as one unit. ここでは図3 Here in the figure 3
のmap1では隠れてしまった異物の存在を確認することができる。 It is possible to confirm the presence of foreign matter that had hidden in map1 of. map1−aではAランクの異物が3つ、 map1-a in A rank of the foreign matter is three,
Bランクの異物が1つ検出された様子を示している。 Foreign matters B rank shows a state that has been detected by one.

【0017】さて、map1−aの下には図3と同様に表示領域内の区画(1mm角)を1単位として表示領域内の異物の個数をランク別に表示部1−aに表示している。 [0017] Now, it is displayed in the map1-a display unit 1-a defining the number of foreign substances in the display area as a unit (1mm square) by rank similarly display region and 3 under the . また1mm角を1単位として被検査面全体の異物の個数をランク別に表示部2−a(括弧内)に表示している。 Also are displayed by rank number of the entire test surface foreign matter display unit 2-a (in parentheses) the 1mm square as a unit. 尚、図3、図4のいずれにおいても、表示部2、2 Incidentally, FIG. 3, in both FIG. 4, the display unit 2, 2
−aの数字は検査領域全体における1mm角を1単位とした数である。 Figures -a is a number which is one unit of 1mm square in the entire inspection region. 図4の表示部1−aでは表示領域内の異物の個数を表示しているため、表示部2−aと同じ単位領域で表示しているにもかかわらずその数は異なっている。 Because it is the number of foreign matters of the display unit in the display area 1-a of FIG. 4, even though their number are displayed in the same unit area and the display unit 2-a are different. 尚、この表示部2−aの数字を表示領域内における1mm角単位の個数とすることも可能である。 It is also possible to the number of 1mm square unit in numeric display area of ​​the display unit 2-a. これにより、例えば3mm角単位で図3の5mm角単位の表示を拡大表示する場合に、拡大表示している表示領域内での小さな異物の存在を確認することができる。 Thus, for example, when to enlarge the display of 5mm square unit of FIG. 3 in 3mm square units, it is possible to confirm the presence of small particles in the display area being enlarged. また、以上の実施例では最小表示単位を1mm角としたが、最小表示単位は任意の大きさに定めてもよく、最小表示単位を切替え可能としてもよい。 Although a 1mm angle minimum display unit in the above embodiment, the minimum display unit may be set to any size, it may be switched to minimum display unit.

【0018】また、異物の個数はファイルに記録するものとするが、異物の所定の個数(例えば3000個以上となった場合はファイルへの記録は行わないようにしてもよい。また、ぺリクルを介してレチクルを検査する異物検査装置やペリクルを検査する装置においても前述の表示方法を適用可能である。 Further, although the number of foreign matter shall be recorded in a file, it may not be performed to record the file when it becomes a predetermined number of foreign substances (e.g., 3000 or more. Furthermore, pellicle It can also be applied to the display method described above in the apparatus for inspecting a foreign matter inspection apparatus and a pellicle for inspecting a reticle through.

【0019】以上の実施例は本発明の一実施例であり、 The above example is an embodiment of the present invention,
これに限定されるものではない。 The present invention is not limited to this.

【0020】 [0020]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、表示画面の所定区画単位での異物の個数を表示する表示方法と最小表示区画単位での異物の個数を表示する表示方法とを設けたので、2つの数字を比較するだけで、表示画面の所定区画内に小さな異物が存在するかどうかを確認することができる。 According to the present invention as described above, according to the present invention, it provided a display method for displaying the number of foreign substances in the display method and the minimum pane unit for displaying the number of foreign substances in a given compartment units of the display screen since, simply by comparing the two numbers, it is possible to determine whether a small foreign material exists within a predetermined section of the display screen.

【0021】さらに、表示しているマップの区画と最小区間単位が同じ場合、マップの一部分しか表示されていなくとも、その部分の異物の密集度がわかる。 [0021] In addition, if the display to that map compartment and a minimum interval units of the same, without not only a part of the map is displayed, it is understood that the density of the foreign matter of the part.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明の一実施例に好適な異物検査装置の概略を示す図である。 Is a diagram showing an outline of a preferred particle inspection apparatus according to an embodiment of the present invention; FIG.

【図2】図1の装置の信号処理を示すブロック図である。 2 is a block diagram showing a signal processing apparatus of FIG.

【図3】本発明の一実施例による表示方式を示す図である。 3 is a diagram showing a display system according to an embodiment of the present invention.

【図4】図3の表示を部分的に拡大表示した様子を示す図である。 4 is a diagram showing a partially enlarged view and how the display of Figure 3.

【図5】従来の表示方式を示す図である。 5 is a diagram showing a conventional display method.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1…レーザ光 10…被検査物 12…スキャナ 19、20、21…光電素子 50…駆動手段 60…大きさ判定器 61…メモリ 70…主制御手段 71…ディスプレイ装置 1 ... laser beam 10 ... inspection object 12 ... scanner 19, 20, 21 ... photoelectric device 50 ... driving means 60 ... the size determiner 61 ... memory 70 ... main control unit 71 ... display device

Claims (2)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 被検査物を光ビームで走査し、該被検査物から生じる散乱光を光電検出することによって、前記被検査物上の異物の位置と大きさを検出する異物検査装置を用いて、前記異物の位置と大きさをマップ状に表示する異物データの表示方法において、 所定の表示区画内の最も大きな異物を該異物の大きさに応じたランクごとに分けて個数表示する表示方法であって、前記マップ内に表示されている表示領域内の異物の個数を表示する第1表示方法と;最小表示区画内の最も大きな異物を該異物の大きさに応じたランクごとに分けて個数表示する表示方法であって、前記被検査物上の検査可能領域内の異物の個数を表示する第2表示方法とを有し、 前記所定区画内の異物の表示と前記最小表示区画内の異物の表示との両方を表示する The method according to claim 1] object to be inspected is scanned with a light beam, by detecting photoelectric scattered light resulting from obtaining step was used foreign matter inspection apparatus for detecting the position and size of a foreign substance on the object to be inspected Te, display method in the display method of the foreign matter data indicating the position and size of the foreign substance-mapped and the number displayed separately for each rank corresponding to the largest foreign matter predetermined display compartment to the size of foreign matter broken down by rank corresponding to the magnitude of the largest foreign matter foreign matter of a minimum display compartment; a is, first display method and for displaying the number of foreign substances in the display area displayed in said map a display method of counting mode, the inspection can region on the object to be inspected and a second display method for displaying the number of foreign matter, the display of foreign matter in the predetermined section of the minimum display compartment to display both the display of foreign matter とを特徴とする異物データの表示方法。 Display method of the foreign matter data characterizing and.
  2. 【請求項2】 前記最小表示区画は前記所定区画より小さい区画であることを特徴とする請求項1記載の表示方法。 Wherein said minimum display compartment display method according to claim 1, wherein the a predetermined partition smaller compartments.
JP16124792A 1992-06-19 1992-06-19 Method for displaying foreign material data Pending JPH063281A (en)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008183546A (en) * 2007-01-31 2008-08-14 Aisin Aw Co Ltd Device for sensing and collecting foreign material

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JP2008183546A (en) * 2007-01-31 2008-08-14 Aisin Aw Co Ltd Device for sensing and collecting foreign material

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