JPH0628994A - Ｓｅｍ画像自動追尾装置 - Google Patents
Ｓｅｍ画像自動追尾装置Info
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- JPH0628994A JPH0628994A JP4204484A JP20448492A JPH0628994A JP H0628994 A JPH0628994 A JP H0628994A JP 4204484 A JP4204484 A JP 4204484A JP 20448492 A JP20448492 A JP 20448492A JP H0628994 A JPH0628994 A JP H0628994A
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 23
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims description 3
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 abstract description 7
- 230000006835 compression Effects 0.000 abstract description 4
- 238000007906 compression Methods 0.000 abstract description 4
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 7
- 238000004154 testing of material Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
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- 238000000635 electron micrograph Methods 0.000 description 1
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- Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＳＥＭ内材料試験器において、負荷により移
動する試験片の観察目標を自動的に追尾して見掛け上画
像の動きを静止させて表示することにより、試験片の負
荷試験を中断せずに、容易に高倍率で細部の観察ができ
るようにしたＳＥＭ画像自動追尾装置を実現する。 【構成】 試験片１を試験治具２に保持し、負荷駆動部
３により引っ張りまたは圧縮の負荷を与えたとき、観察
点１が移動する。その移動量は変位検出器４で検出さ
れ、増幅器で増幅されて移動量に比例した信号が出力さ
れる。移動量を相殺するような信号がイメージシフト回
路に入力され電子ビームの中心点が移動させられる。こ
れにより観察点Ａが移動してもＣＲＴ上では観察点は見
掛け上静止して表示される。
動する試験片の観察目標を自動的に追尾して見掛け上画
像の動きを静止させて表示することにより、試験片の負
荷試験を中断せずに、容易に高倍率で細部の観察ができ
るようにしたＳＥＭ画像自動追尾装置を実現する。 【構成】 試験片１を試験治具２に保持し、負荷駆動部
３により引っ張りまたは圧縮の負荷を与えたとき、観察
点１が移動する。その移動量は変位検出器４で検出さ
れ、増幅器で増幅されて移動量に比例した信号が出力さ
れる。移動量を相殺するような信号がイメージシフト回
路に入力され電子ビームの中心点が移動させられる。こ
れにより観察点Ａが移動してもＣＲＴ上では観察点は見
掛け上静止して表示される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＳＥＭ（走査電子顕微
鏡）内材料試験器、さらに詳しくいえば、負荷が与えら
れる試験材料の観察目標を自動的に追跡するＳＥＭ画像
自動追尾装置に関する。
鏡）内材料試験器、さらに詳しくいえば、負荷が与えら
れる試験材料の観察目標を自動的に追跡するＳＥＭ画像
自動追尾装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＳＥＭ内において試験材料に負荷を与
え、その部分を観察する材料試験機が実用に供されてい
る。ＳＥＭでは試験材料の細部観察には通常、数百倍か
ら数千倍に画像を拡大していることから、観察点の僅か
な動きによってその観察目標が大きくずれる。
え、その部分を観察する材料試験機が実用に供されてい
る。ＳＥＭでは試験材料の細部観察には通常、数百倍か
ら数千倍に画像を拡大していることから、観察点の僅か
な動きによってその観察目標が大きくずれる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】そのため、材料試験中
すなわち試験片に負荷をかけて変形させる試験では細部
の観察は容易ではなかった。本発明の目的は負荷により
移動する試験片の観察目標を自動的に追尾して見掛け上
画像の動きを静止させて表示することにより、試験片の
負荷試験を中断せずに、容易に高倍率の観察ができるよ
うにしたＳＥＭ内材料試験器におけるＳＥＭ画像自動追
尾装置を提供することにある。
すなわち試験片に負荷をかけて変形させる試験では細部
の観察は容易ではなかった。本発明の目的は負荷により
移動する試験片の観察目標を自動的に追尾して見掛け上
画像の動きを静止させて表示することにより、試験片の
負荷試験を中断せずに、容易に高倍率の観察ができるよ
うにしたＳＥＭ内材料試験器におけるＳＥＭ画像自動追
尾装置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本発明によるＳＥＭ内材料試験器におけるＳＥＭ画像
自動追尾装置は試験片の両端部を保持する試験治具と、
試験治具の一端を固定し、他端を引っ張りまたは圧縮す
る負荷駆動部と、前記負荷駆動部で与えた引っ張りまた
は圧縮による変位量を検出する変位検出器と、前記変位
検出器からの変位量に比例した信号を出力する増幅手段
と、前記増幅手段の変位比例信号で示されるシフト量だ
け試験片の走査点を逆方向にシフトさせるイメージシフ
ト回路とを含み、前記負荷による試験片の観察目標の移
動を相殺することにより、ＣＲＴ上で観察する目標を追
尾するように構成してある。
に本発明によるＳＥＭ内材料試験器におけるＳＥＭ画像
自動追尾装置は試験片の両端部を保持する試験治具と、
試験治具の一端を固定し、他端を引っ張りまたは圧縮す
る負荷駆動部と、前記負荷駆動部で与えた引っ張りまた
は圧縮による変位量を検出する変位検出器と、前記変位
検出器からの変位量に比例した信号を出力する増幅手段
と、前記増幅手段の変位比例信号で示されるシフト量だ
け試験片の走査点を逆方向にシフトさせるイメージシフ
ト回路とを含み、前記負荷による試験片の観察目標の移
動を相殺することにより、ＣＲＴ上で観察する目標を追
尾するように構成してある。
【０００５】
【作用】このような構成によれば、観察面を自動的に追
跡するので、常にその観察面を画面の所定位置に維持し
見掛け上静止画面を観察できる。
跡するので、常にその観察面を画面の所定位置に維持し
見掛け上静止画面を観察できる。
【０００６】
【実施例】以下、図面を参照して本発明をさらに詳しく
説明する。図１は本発明によるＳＥＭ画像自動追尾装置
の実施例を示す図で、材料試験機部分を示す一部断面図
である。ＳＥＭ本体１９内に材料試験機が配置されてい
る。材料試験機は試験治具２と負荷駆動部３より構成さ
れている。試験治具２の把持部２ａの端部はＳＥＭ本体
１９に固定されている。他方の把持部２ｂは負荷駆動部
３に連結されている。試験片１の両端は上記把持部２ａ
と２ｂに保持される。Ａ点は観察目標であり、図示しな
い電子走査部によって所定の範囲が走査される。負荷駆
動部３は油圧式または機械式アクチェータであり、試験
片を軸に沿って矢印Ｂ方向に引っ張り負荷を与える。ま
た、圧縮負荷を与えることもできる。負荷駆動部３の先
端には変位検出部４が接続されている。変位検出器４は
負荷駆動部３が与えた変位量を電気量に変換する機能を
有する。
説明する。図１は本発明によるＳＥＭ画像自動追尾装置
の実施例を示す図で、材料試験機部分を示す一部断面図
である。ＳＥＭ本体１９内に材料試験機が配置されてい
る。材料試験機は試験治具２と負荷駆動部３より構成さ
れている。試験治具２の把持部２ａの端部はＳＥＭ本体
１９に固定されている。他方の把持部２ｂは負荷駆動部
３に連結されている。試験片１の両端は上記把持部２ａ
と２ｂに保持される。Ａ点は観察目標であり、図示しな
い電子走査部によって所定の範囲が走査される。負荷駆
動部３は油圧式または機械式アクチェータであり、試験
片を軸に沿って矢印Ｂ方向に引っ張り負荷を与える。ま
た、圧縮負荷を与えることもできる。負荷駆動部３の先
端には変位検出部４が接続されている。変位検出器４は
負荷駆動部３が与えた変位量を電気量に変換する機能を
有する。
【０００７】今、試験片１に引っ張りまたは圧縮負荷を
与えると、試験片１の中心付近にある観察目標Ａも軸方
向に負荷駆動部３の移動量ｄと同期して変位ｄ0 を生じ
るが、把持部２ａと２ｂは通常、軸方向に対称の形状で
あり、試験片１の中心から固定端１９ａまでと中心から
可動端３ａまでとはそれぞれについて存在するばね定数
は等しくなるため、観察目標点が正確に試験片の中心に
あり、かつ、全体が均質であれば、その変位ｄ0 は可動
端の移動量ｄの１／２となる。観察目標点が試験片の中
心にない場合であっても、試験片に特異点がなく、その
両端が正しく把持されている限り、ｄ0 ／ｄは同一試験
片上の同一目標については一定である。変位検出器４は
変位量ｄに比例した電気信号を出力する。
与えると、試験片１の中心付近にある観察目標Ａも軸方
向に負荷駆動部３の移動量ｄと同期して変位ｄ0 を生じ
るが、把持部２ａと２ｂは通常、軸方向に対称の形状で
あり、試験片１の中心から固定端１９ａまでと中心から
可動端３ａまでとはそれぞれについて存在するばね定数
は等しくなるため、観察目標点が正確に試験片の中心に
あり、かつ、全体が均質であれば、その変位ｄ0 は可動
端の移動量ｄの１／２となる。観察目標点が試験片の中
心にない場合であっても、試験片に特異点がなく、その
両端が正しく把持されている限り、ｄ0 ／ｄは同一試験
片上の同一目標については一定である。変位検出器４は
変位量ｄに比例した電気信号を出力する。
【０００８】図２は変位検出部以降の回路部の実施例を
示すブロック図である。変位検出器４の出力は増幅器６
の正側入力端子に接続されている。増幅器６の負側入力
端子は両端子に基準電源８が接続されている可変抵抗５
の摺動端子に接続されている。増幅器６の出力は可変抵
抗よりなる調整部７の一端に接続され、可変抵抗の摺動
端子はＳＥＭイメージシフト回路９の入力に接続されて
いる。可変抵抗５は変位検出器４の出力の基準点すなわ
ち原点を定めるための調整器である。また、可変抵抗７
はｄ0 ／ｄの最適値を設定するための調整器である。Ｓ
ＥＭイメージシフト回路９は観察点を移動するための回
路であり、調整器７から引っ張り負荷による観察点移動
の変化信号が入力したとき、その移動量を相殺するよう
な信号を出力する。
示すブロック図である。変位検出器４の出力は増幅器６
の正側入力端子に接続されている。増幅器６の負側入力
端子は両端子に基準電源８が接続されている可変抵抗５
の摺動端子に接続されている。増幅器６の出力は可変抵
抗よりなる調整部７の一端に接続され、可変抵抗の摺動
端子はＳＥＭイメージシフト回路９の入力に接続されて
いる。可変抵抗５は変位検出器４の出力の基準点すなわ
ち原点を定めるための調整器である。また、可変抵抗７
はｄ0 ／ｄの最適値を設定するための調整器である。Ｓ
ＥＭイメージシフト回路９は観察点を移動するための回
路であり、調整器７から引っ張り負荷による観察点移動
の変化信号が入力したとき、その移動量を相殺するよう
な信号を出力する。
【０００９】図３は観察目標を走査する回路部分を説明
するためのブロック図である。１７は試験片１の観察目
標すなわちｘ方向およびｙ方向の一定領域を含む走査面
である。この走査面１７はＳＥＭの拡大倍率が大きくな
る程、僅かの動きでずれ易くなる。電子ビームのｘ方向
の偏向はｘ方向鋸歯状波発生器１３より供給される鋸歯
状波によって駆動される偏向コイル１６で行われる。ま
た、ｙ方向の偏向はｙ方向鋸歯状波発生器１４より供給
される鋸歯状波によって駆動される偏向コイル１５で行
われる。電子ビームの中心軌道はイメージ電源１０より
直流電圧をｘ方向およびｙ方向のシフトコイル１１およ
び１２に与えることより、移動させることができる。イ
メージ電源１０の各方向に出力する電圧はイメージシフ
ト回路９のシフト信号に応じて変化する。
するためのブロック図である。１７は試験片１の観察目
標すなわちｘ方向およびｙ方向の一定領域を含む走査面
である。この走査面１７はＳＥＭの拡大倍率が大きくな
る程、僅かの動きでずれ易くなる。電子ビームのｘ方向
の偏向はｘ方向鋸歯状波発生器１３より供給される鋸歯
状波によって駆動される偏向コイル１６で行われる。ま
た、ｙ方向の偏向はｙ方向鋸歯状波発生器１４より供給
される鋸歯状波によって駆動される偏向コイル１５で行
われる。電子ビームの中心軌道はイメージ電源１０より
直流電圧をｘ方向およびｙ方向のシフトコイル１１およ
び１２に与えることより、移動させることができる。イ
メージ電源１０の各方向に出力する電圧はイメージシフ
ト回路９のシフト信号に応じて変化する。
【００１０】イメージ電源１０よりｘ方向に直流電圧Ｖ
ｘを、ｙ方向に直流電圧Ｖｙを印加して電子ビームの走
査中心が試験片の走査面のＯ点になっている場合、イメ
ージシフト回路９よりΔｘだけ変位する信号がイメージ
電源１０に入力されると、直流電圧ＶｘがＶｘ’に変動
し、電子ビームの走査中心もＯ点よりＯ’点に移動す
る。したがって、例えば、引っ張り負荷が与えられ、観
察点がΔｄ0 だけ伸びると、ＳＥＭイメージシフト回路
９には、（Δｄ0 ＋ｄ0 ）／ｄの信号が入力され、イメ
ージシフト回路９はイメージ電源１０に対し、上記Δｄ
0 を相殺するようなシフト信号を出力し、その結果、Δ
ｄ0 だけその方向に電子ビームの走査中心も移動し、追
従することになる。上記動作は連続的に行われるので、
負荷駆動部３の負荷を徐々に大きくしていってもそれに
追随して観察点が移動し図示しないＣＲＴ上の画像は見
掛け上静止した画像となる。
ｘを、ｙ方向に直流電圧Ｖｙを印加して電子ビームの走
査中心が試験片の走査面のＯ点になっている場合、イメ
ージシフト回路９よりΔｘだけ変位する信号がイメージ
電源１０に入力されると、直流電圧ＶｘがＶｘ’に変動
し、電子ビームの走査中心もＯ点よりＯ’点に移動す
る。したがって、例えば、引っ張り負荷が与えられ、観
察点がΔｄ0 だけ伸びると、ＳＥＭイメージシフト回路
９には、（Δｄ0 ＋ｄ0 ）／ｄの信号が入力され、イメ
ージシフト回路９はイメージ電源１０に対し、上記Δｄ
0 を相殺するようなシフト信号を出力し、その結果、Δ
ｄ0 だけその方向に電子ビームの走査中心も移動し、追
従することになる。上記動作は連続的に行われるので、
負荷駆動部３の負荷を徐々に大きくしていってもそれに
追随して観察点が移動し図示しないＣＲＴ上の画像は見
掛け上静止した画像となる。
【００１１】
【発明の効果】以上、説明したように本発明によるＳＥ
Ｍ画像自動追尾装置は材料の負荷試験において、試験中
の試験片の観察目標が引っ張りまたは圧縮負荷により移
動した場合、その移動量だけイメージシフト回路によっ
て電子ビームの走査中心を移動させるように構成するこ
とにより、試験中に一時中断しなくても、ＣＲＴ上の画
像が見掛け上静止したように観察目標を追尾するので、
材料負荷試験における高倍率の観察が容易になるという
利点がある。
Ｍ画像自動追尾装置は材料の負荷試験において、試験中
の試験片の観察目標が引っ張りまたは圧縮負荷により移
動した場合、その移動量だけイメージシフト回路によっ
て電子ビームの走査中心を移動させるように構成するこ
とにより、試験中に一時中断しなくても、ＣＲＴ上の画
像が見掛け上静止したように観察目標を追尾するので、
材料負荷試験における高倍率の観察が容易になるという
利点がある。
【図１】本発明によるＳＥＭ内材料試験器におけるＳＥ
Ｍ画像自動追尾装置の実施例を示す一部断面図である。
Ｍ画像自動追尾装置の実施例を示す一部断面図である。
【図２】本発明によるＳＥＭ内材料試験器におけるＳＥ
Ｍ画像自動追尾装置の変位検出部以降の回路の実施例を
示す回路ブロック図である。
Ｍ画像自動追尾装置の変位検出部以降の回路の実施例を
示す回路ブロック図である。
【図３】本発明によるＳＥＭ内材料試験器におけるＳＥ
Ｍ画像自動追尾装置の走査線部分の回路の実施例を示す
ブロック図である。
Ｍ画像自動追尾装置の走査線部分の回路の実施例を示す
ブロック図である。
１…試験片 ２…試験治具 ２ａ，２ｂ…把持部 ３…負荷駆動部 ４…変位検出部 ５…可変抵抗 ６…増幅器 ７…調整器（可変抵抗） ８…基準電源 ９…ＳＥＭイメージシフト回路 １０…イメージ電源 １１，１２…シフトコイル １３…ｘ方向鋸歯状波発生器 １４…ｙ方向鋸歯状波発生器 １５，１６…偏向コイル １７…試験片の走査面 １８…ＳＥＭ本体
Claims (1)
- 【請求項１】 試験片の両端部を保持する試験治具と、 試験治具の一端を固定し、他端を引っ張りまたは圧縮す
る負荷駆動部と、 前記負荷駆動部で与えた引っ張りまたは圧縮による変位
量を検出する変位検出器と、 前記変位検出器からの変位量に比例した信号を出力する
増幅手段と、 前記増幅手段の変位比例信号で示されるシフト量だけ試
験片の走査点を逆方向にシフトさせるイメージシフト回
路とを含み、 前記負荷による試験片の観察目標の移動を相殺すること
により、ＣＲＴ上で観察する目標を追尾するように構成
したことを特徴とするＳＥＭ内材料試験器におけるＳＥ
Ｍ画像自動追尾装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4204484A JPH0628994A (ja) | 1992-07-07 | 1992-07-07 | Ｓｅｍ画像自動追尾装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4204484A JPH0628994A (ja) | 1992-07-07 | 1992-07-07 | Ｓｅｍ画像自動追尾装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0628994A true JPH0628994A (ja) | 1994-02-04 |
Family
ID=16491292
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4204484A Pending JPH0628994A (ja) | 1992-07-07 | 1992-07-07 | Ｓｅｍ画像自動追尾装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0628994A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9263810B2 (en) | 2013-11-26 | 2016-02-16 | Hyundai Motor Company | Clamp for connecting battery terminals |
| RU2583340C2 (ru) * | 2012-02-16 | 2016-05-10 | Сейко Эпсон Корпорейшн | Осветительное устройство и проектор |
-
1992
- 1992-07-07 JP JP4204484A patent/JPH0628994A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2583340C2 (ru) * | 2012-02-16 | 2016-05-10 | Сейко Эпсон Корпорейшн | Осветительное устройство и проектор |
| US9263810B2 (en) | 2013-11-26 | 2016-02-16 | Hyundai Motor Company | Clamp for connecting battery terminals |
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