JPH06282890A - Magneto-optical memory cell - Google Patents

Magneto-optical memory cell

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JPH06282890A
JPH06282890A JP957494A JP957494A JPH06282890A JP H06282890 A JPH06282890 A JP H06282890A JP 957494 A JP957494 A JP 957494A JP 957494 A JP957494 A JP 957494A JP H06282890 A JPH06282890 A JP H06282890A
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Toshihisa Deguchi
Yoshikazu Fujii
Tetsuya Inui
Shigemi Maeda
Kenji Ota
哲也 乾
敏久 出口
茂己 前田
賢司 太田
義和 藤居
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シャープ株式会社
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Abstract

PURPOSE: To provide a magneto-optical memory cell having guide grooves of a shape in which a tracking signal, an address signal and a reproduced signal of recording information can be sufficiently obtained and a pit for the address signal.
CONSTITUTION: Guide grooves 12 are formed on a board 11 made of glass, etc. Bits 13 for address signals indicating number of the grooves 12 are formed on the board 11. In this case, a bit width t1 of the pit 13 is so formed as to be smaller than a groove width t2 of the groove 12. Thus, a width of an optical beam for recording a magneto-optical signal is so narrowed as to obtain a track servo signal by a push-pull method by using a split photodiode.
COPYRIGHT: (C)1994,JPO

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【産業上の利用分野】本発明はレーザ光等の光によって情報の記録、再生、消去の少なくとも1つの動作を行う光磁気メモリ素子に関するものである。 The present invention relates to a recording of information by light such as a laser beam, reproduction, it relates to a magneto-optical memory device performs at least one operation of erase.

【0002】 [0002]

【従来の技術】近年、光により情報の記録、再生、消去等を行う光メモリ素子が高密度大容量メモリとして各方面で注目されている。 In recent years, recording of information by light, reproduction, optical memory devices for erasing and the like has been attracting attention in various fields as a high-density large-capacity memory. 特に記録素子を円板状にした光ディスクメモリはテープ状の素子に比べて高速アクセスが可能であるという特徴があり、多くの研究が成されている。 In particular, an optical disk memory in which the recording elements are disc-shaped is characterized in that it is capable of high-speed access than a tape-shaped elements, it has been made many studies.

【0003】この光メモリ素子は、その記録単位が1μ [0003] The optical memory device, the recording unit is 1μ
mφ程度の大きさであるため、記録再生あるいは消去時に光ビームを所定の位置にもって来ることが重要な技術となってくる。 Since the size of the order of mm in diameter, it is become an important technology that bring the light beam to a predetermined position when the recording reproducing or erasing. すなわち、機械的な精度のみで位置決めを行うことは困難になるため、各種サーボ技術が用いられている。 That is, since it becomes difficult to position only the mechanical precision, various servo techniques have been used.

【0004】例えば、光ディスクメモリにおいて円板の面ぶれに対応してはフォーカスサーボが用いられ、芯ぶれに対してはトラッキングサーボが用いられている。 [0004] For example, in response to surface vibration of the disk in the optical disk memory is a focus servo is used, the tracking servo is used for runout. 後者は再生専用メモリにおいては既に記録されているビット(通常はPMMA、ポリカーボネート等の基板に設けられた凹凸の穴)を参照して行うことができるが、追加記録可能なメモリ(いわゆるwrite−onceメモリ)あるいは消去再記録可能なメモリでは、予め案内となる溝とその溝の位置を示すピット状の番地信号部とを基板に形成しておくことが普通である。 The latter can be carried out with reference to the bit that has already been recorded in the reproduction-only memory (holes of typically PMMA, unevenness provided on the substrate such as polycarbonate), but additional recordable memory (so-called write-once the memory) or erase rewritable memory, it is common to be formed with a previously guided becomes grooves and pits shaped address signal section indicating the position of the groove in the substrate.

【0005】例えば追加記録可能なメモリに用いられる従来の案内溝の構造を図10を参照しながら説明する。 [0005] will be described with reference to FIG. 10 the structure of a conventional guide groove used for possible additional recording memory, for example.

【0006】図10は従来の光メモリ円板に設けられた同心あるいは螺旋状の案内溝に沿った円板の断面一部拡大図である。 [0006] FIG. 10 is a cross-sectional partial enlarged view of the disc along the concentric or spiral guide grooves provided in the conventional optical memory disc.

【0007】図10において1はPMMAあるいはガラス等よりなる厚さ1〜1.5mm程度の基板であり、2 [0007] 1 in FIG. 10 is a substrate having a thickness of about 1~1.5mm consisting PMMA or glass or the like, 2
は案内溝を設けるための感光性樹脂層(いわゆる2P層であり厚さは10μm〜100μm程度である)である。 Is a photosensitive resin layer for providing a guiding groove (thickness be so-called 2P layer is about 10 m - 100 m). また3は情報を記録すべき案内溝であり、4はその案内溝3の番号を示す番地信号用のピット部である。 The 3 is a guide groove in which information is to be recorded, 4 is a pit portion for an address signal indicating the number of the guide groove 3. このピット部4は通常番地信号が最適に再生されるように深さがλ/4n(ただしλは再生レーザ光の波長、nは2P層の屈折率)に設定され、案内溝3の部分はトラッキング信号を多くとるためにλ/8nの深さに作られている。 The pit portion 4 typically address signal is so deep as to be optimally reproduced lambda / 4n (wavelengths but lambda reproduction laser beam, n is the refractive index of the 2P layer) is set to the portion of the guide groove 3 It is made to a depth of lambda / 8n to have a large tracking signal.

【0008】 [0008]

【発明が解決しようとする課題】上記案内溝3及び番地信号用ピット部4は上述のごとき2P法かPMMAやポリカーボネート等の樹脂を成形して記録板と案内溝3、 [SUMMARY OF THE INVENTION The guide grooves 3 and the address signal pits unit 4 by molding a resin such as described above such as the 2P method or PMMA or polycarbonate recording plate and the guiding groove 3,
ピット部4を一体に作成するのが一般的である。 It is a common practice to create a pit portion 4 integrally. しかしいずれも記録媒体が樹脂面に積層されるため樹脂層に含まれる水分が記録媒体を劣化さす原因となる。 But both moisture recording medium contained in the resin layer to be laminated on the resin surface causes pointing degrade recording medium.

【0009】そこで上記問題点を解決するため、本出願人は先に、ガラス基板に直接凹凸溝を形成する方法を特願昭58−84613(「光メモリ素子の製造方法」) [0009] Thus, in order to solve the above problems, the present applicant has previously Akira No. a method of directly forming the unevenness grooves in the glass substrate 58-84613 ( "manufacturing method of the optical memory device")
として提案している。 It has been proposed as.

【0010】この方法は、基板上にレジスト膜を被覆し、レジスト膜にレーザ光で案内溝及び番地信号を記録し、現像した後リアクティブイオンエッチングによってそのパターンをガラス基板に直接形成する方法である。 [0010] This method is a method in which a resist film is coated on the substrate, the resist film to record the guide groove and the address signal by a laser beam to form the pattern by reactive ion etching after developing directly on the glass substrate is there.
この方法によれば案内溝3及び番地信号部4の深さは、 The depth of the guide grooves 3 and the address signal unit 4 according to this method,
ガラス基板がリアクティブイオンエッチング時のプラズマにさらされる時間によって決まるため、案内溝部3と番地信号部4の深さを異ならせることは困難になる。 Since determined by the time the glass substrate is exposed to plasma during reactive ion etching, it becomes difficult to vary the depth of the guide groove 3 and the address signal unit 4. そのため番地信号出力、トラッキング出力あるいは該読み出し信号出力を考慮して案内溝と番地信号部の形状を決めねばならなくなる。 Therefore address signal output, not must decide tracking output or the read signal output by considering the guide grooves and the address signal of the shape.

【0011】そこで、本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであり、トラッキング信号、番地信号及び記録情報の再生信号を十分に取ることが可能な形状の案内溝部及び番地信号用ピット部を備えた光磁気メモリ素子を提供することを目的とする。 [0011] The present invention has been made in view of the above, the tracking signal, the address signal and a guide groove and address signal pits in the shape that can take a sufficient reproduction signal of the recording information and an object thereof is to provide a magneto-optical memory device having a.

【0012】 [0012]

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するため、本発明は、光磁気信号を記録する光磁気信号記録部と、その延長線上に設けられ、前記光磁気信号記録部の幅よりも狭い幅を有するピット部とを備え、前記光磁気信号記録部の幅は、分割フォトダイオードを用いてプッシュプル法によりトラックサーボ信号が得られるように光磁気信号を記録する光ビームの幅よりも狭くしたことを特徴とする光磁気メモリ素子である。 Means for Solving the Problems] To achieve the above object, the present invention includes a magneto-optical signal recording unit for recording a magneto-optical signal, provided on the extension line, than the width of the magneto-optical signal recording unit even a pit portion having a narrow width, the width of the magneto-optical signal recording portion, than the width of the light beam for recording magneto-optical signals as track servo signal is obtained by the push-pull method using a split photodiode a magneto-optical memory element characterized by also narrowed.

【0013】 [0013]

【作用】上述の構成によればトラッキングサーボ信号、 [Action] tracking servo signal according to the above configuration,
番地信号、情報再生信号の全てにわたって品質のよい光磁気メモリ素子を得ることができる。 Address signals, over all of the information reproducing signal can be obtained a good magneto-optical memory device quality.

【0014】 [0014]

【実施例】以下、図面を参照して本発明を一実施例を挙げて詳細に説明する。 EXAMPLES The following by way of an embodiment of the present invention with reference to the accompanying drawings.

【0015】図1は本発明の光メモリ素子の案内溝部の番地を表す番地信号用ピット部の拡大図であり、図2は案内溝部に沿った光メモリ素子用円板の断面一部拡大図である。 [0015] Figure 1 is an enlarged view of a pit portion for an address signal representing the address of a guide groove of the optical memory device of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional partial enlarged view of a disc for an optical memory device along the guide groove .

【0016】図1及び図2において、11はガラス等の基板、12は基板11に形成された案内溝、13は基板11に形成された案内溝12の番号を示す番地信号用のピット部であり、図1に示すようにピット部13のピット幅t 1が案内溝12の溝幅t 2より狭く形成されている。 [0016] In FIGS. 1 and 2, a substrate such as glass 11, 12 guide groove formed on the substrate 11, 13 at the pit portion for an address signal indicating the number of the guide grooves 12 formed on the substrate 11 There, pit width t 1 of the pit 13 is formed narrower than the groove width t 2 of the guide groove 12 as shown in FIG.

【0017】図3は記録した情報の書き換えが可能な光磁気ディスク用の光学系の構成を示す概念図であり、1 [0017] Figure 3 is a conceptual diagram showing a configuration of an optical system for a magneto-optical disk capable of rewriting recorded information, 1
1はガラス基板、15は光磁気記録媒体、16は対物レンズ、17は反射レンズ、18はビームスプリッタ、1 1 denotes a glass substrate, 15 is a magneto-optical recording medium, 16 is an objective lens, 17 reflecting lens, 18 denotes a beam splitter, 1
9はビーム形状成形プリズム、20はコリメータレンズ、21は半導体レーザ、22はビームスプリッタ、2 9 the beam shape forming prism, 20 a collimator lens, 21 is a semiconductor laser, 22 a beam splitter, 2
3はレンズ、24はシンドリカルレンズ、25は4分割PINフォトダイオード、26はλ/2フィルタ板、2 3 lens, 24 Sind helical lens, 25 is divided into four PIN photodiodes, 26 lambda / 2 filter plate, 2
7はレンズ、28は偏光ビームスプリッタ、29及び3 7 lens, 28 is a polarizing beam splitter, 29 and 3
0はアバランシェフォトダイオードである。 0 is an avalanche photodiode.

【0018】上記図3においてトラッキング信号は4分割PINフォトダイオード25からプッシュプル法を用いて得られるように構成されており、番地信号は2個のアバランシェフォトダイオード29及び30の出力の和をとることによって得られるように構成されており、また情報信号はフォトダイオード29及び30の差をとることによる、いわゆる差動検出法で得られるように構成されている。 The tracking signal in FIG 3 is composed of four divided PIN photodiode 25 as can be obtained using a push-pull method, the address signal is the sum of outputs of the two avalanche photodiodes 29 and 30 It is configured to be obtained by, also information signal by taking the difference of the photodiodes 29 and 30 are configured so as to obtain a so-called differential detection method. また対物レンズ16のN. The N. of the objective lens 16 A. A. は0.6でありビームは1/e 2の所で約1.1μmに絞られている。 Is 0.6 beam is narrowed down to about 1.1μm at the 1 / e 2.

【0019】図4は図3の光学系で再生される光磁気ディスクの案内溝12に直交した方向の断面を一部拡大した図で凹凸案内溝付きガラス基板11上にAlN膜3 [0019] Figure 4 is AlN film 3 on uneven guide grooves with the glass substrate 11 in enlarged view of a part cross section in a direction orthogonal to the guide groove 12 of the magneto-optical disk to be reproduced by the optical system of FIG. 3
1、GdTbFe32、AlN膜33及びAlNi膜3 1, GdTbFe32, AlN film 33 and AlNi film 3
4を積層している。 4 are stacked.

【0020】図5は図4における案内溝(トラック)深さを700Åにした光磁気ディスクに1MHzの信号を記録再生した時のC/Nをトラック幅t 2の関数としてプロットしたものである。 [0020] FIG. 5 is a plot of the C / N at the time of recording and reproducing the 1MHz signal to the magneto-optical disk with guide grooves (tracks) depth in FIG. 4 to 700Å as a function of the track width t 2.

【0021】図6(a)は図5の測定に用いた光磁気ディスクのトラック幅0.75μmにおける番地信号の再生波形を示す図であり同図(b)は0.48μmトラック幅における番地信号の再生波形を示している。 [0021] FIG. 6 (a) address signal in FIG. (B) is 0.48μm track width has a diagram showing a reproduced waveform of the address signal in the track width 0.75μm of the magneto-optical disk used for the measurement of FIG. 5 It shows a reproduction waveform.

【0022】上記の図5から明らかなように、情報信号のC/Nはトラック幅が広い程良い。 [0022] As is apparent from Figure 5 above, C / N of the information signal, the better the track width is wide. これは図7(a) This is FIGS. 7 (a)
に示すようにビーム径36と信号ビット35の幅t 3との関係に依存し理想的には図7(b)の様にビーム径3 Beam diameter as shown in FIG. 7 (b) to depend on the relationship between the width t 3 of the beam diameter 36 and the signal bit 35 ideally as shown in 3
6よりビット35の幅が大きいものが良いこと、また案内溝付きディスクにおいてはビット幅は案内溝12の幅t 2に制限されることの2点から容易に説明される。 It shall have good width of the bit 35 is greater than 6, and the bit width in the guide grooved disk is easily explained from two points to be limited to the width t 2 of the guide groove 12.

【0023】また図6からはさらに番地信号用ピット幅t 1が狭い方が良いことが分かる。 [0023] It can be seen that better narrow further address signal pit width t 1 from FIG. これはピット幅t 1 This is the pit width t 1
が広いと例えば図7(b)において信号ビット35を番地信号用ピットと考えた場合、ビーム36がピット35 If the signal bit 35 was considered address signal pits in the wide the example FIG. 7 (b), the beam 36 is a pit 35
の中央にきた場合はビーム36がすっぽりとピット35 If you came of the center beam 36 To comfortably pit 35
の中に入ってしまい実質上ピットが無い場合に等しくなり、ディテクタに返る光量が増すことになる。 Equally it is the case virtually pit there is no will enter into, so that the increase in the amount of light returning to the detector. そのため図6(a)に示すように信号は中央部が高くなっている。 Therefore the signal as shown in FIG. 6 (a) is higher central portion.

【0024】以上のように、光磁気記録においては、深さ約λ/8n(すなわち650〜700Å程度)の案内溝12及び番地信号用ピット13を有する場合、図1に示すように案内溝12の幅t 2が広く、番地信号用ピット部13の幅t 1が狭いほど良いことが分かる。 [0024] As described above, in the magneto-optical recording, when having a guide groove 12 and the address signal pits 13 having a depth of about lambda / 8n (i.e. about 650~700A), the guide groove 12 as shown in FIG. 1 wide width t 2 of it can be seen better narrower width t 1 of the address signal pits 13.

【0025】また、上記のごとき構成、すなわち図1、 Further, the above such configuration, namely 1,
図2及び図4に示すような円板に図3に示す構造の光学ヘッドを用いる場合には、トラック幅t 2は1μm以内であれば、十分なトラッキング信号が得られた。 When using an optical head having a structure shown in FIG. 3 in a disc such as shown in FIGS. 2 and 4, the track width t 2 is if it is within 1 [mu] m, sufficient tracking signal is obtained.

【0026】以上のように本発明の光磁気メモリ素子の構造の特徴の一つは図1に示すように案内溝部と番地信号用ピット部の深さが同じ場合、番地信号用ピット部の幅を狭くし、案内溝部の幅を広くしたところにある。 The above manner when the depth of the guide groove and address signal pit portion as one of the characteristics of the structure of a magneto-optical memory device shown in FIG. 1 of the present invention are the same, the address signal pits in the width the narrow, there is in the place where was the width of the guide groove.

【0027】次に、本発明を実施したガラスディスクの作製方法について、工程順に説明する。 Next, a method for manufacturing a glass disk embodying the present invention will be described in order of steps.

【0028】工程(1)… 酸素、水分等の通過に対して信頼性の高い(酸素、水分等を通過させない)ガラス基板11の上にレジスト膜37を塗布する。 [0028] Step (1) ... oxygen, (does not pass oxygen, moisture, etc.) reliable with respect to the passage of such water is coated with a resist film 37 on the glass substrate 11.

【0029】工程(2)… 上記ガラス基板11の上に塗布したレジスト膜37にArレーザ等の光38を光変調器39、40、ミラー41及び集光レンズ42を介して照射して光磁気メモリ素子用の案内(ガイド)溝(図1の12参照)の幅t 2と同一の幅を持つ線及び番地信号用ピット部13を記録する幅t 1の断続線を書き込む(図8)。 [0029] Step (2) ... magneto-optical is irradiated through the optical modulator 39 and 40, the mirror 41 and the condenser lens 42 the light 38 such as Ar laser resist film 37 coated on the glass substrate 11 guidance for memory devices (guide) groove written intermittent lines of the width t 1 for recording the width t 2 lines and address signal pits 13 having the same width as the (12 see FIG. 1) (Fig. 8). このレジスト膜37にレーザ光38で案内溝12及び番地信号部13を記録する工程で案内溝12を記録するレーザパワーを番地信号部13を記録するレーザパワーより大きくすることによって、本発明の上記した特徴を備えた案内溝12及び番地信号部13の各幅を得ることが可能となる。 By larger than laser power for recording the address signal 13 to laser power for recording a guide groove 12 in the process of recording the guide groove 12 and the address signal 13 by the laser beam 38 to the resist film 37, the present invention described above it is possible to obtain the respective widths of the guide grooves 12 and the address signal 13 with the characteristics.

【0030】具体的には図8に示すようにレーザ(たとえばAr)光38の光路の途中に光変調器39及び40 [0030] Specifically, the laser as shown in FIG. 8 (e.g. Ar) optical modulator in the optical path of the light 38 39 and 40
を入れ、一方を番地信号の変調に用い、他方を番地信号の記録時だけパワーを若干下げるように作動させることで可能である。 Placed, with one on the modulation of the address signal, it is possible by actuating the other to lower slightly the power only when the recording of the address signal. なお、この場合、必ずしも2つの変調器を使用せずとも入力により変調度がリニアに変化する変調器を用い、図8の符号43で示した番地信号部の記録の入力パワー高さを符号44で示した案内溝部の記録時に入力するパワー高さよりも低くして記録すれば良い。 In this case, using always modulator modulation varies linearly with the input without using the two modulators, reference numeral 44 an input power level of the recording of the address signal portion indicated by reference numeral 43 in FIG. 8 it may be recorded to be lower than the power level to be input when the guide of the groove recording shown in.

【0031】工程(3)… 上記線及び断続線を書き込んだレジスト膜37を現像工程に通すことで上記レジスト膜37に凹凸の溝を形成する。 [0031] Step (3) ... to form a groove of uneven the resist film 37 by passing the resist film 37 is written the line and dashed line in the development process.

【0032】工程(4)… 上記凹凸の溝を形成したレジスト膜37の被服状態において、CF 4 、CHF 3等のエッチングガス中でスパッタリング(リアクティブイオンエッチンッグ)を行いガラス基板11に溝12及びピット部13を形成する。 [0032] Step (4) ... groove in clothing state of the resist film 37 having grooves of the asperities, the glass substrate 11 subjected to sputtering (reactive ion etch N'grayed) in CF 4, CHF etching gas, such as 3 12 and forming the pit portion 13.

【0033】工程(5)… 上記レジスト膜37をアセトン等の溶媒、O 2中でのスパッタリング等により除去する。 [0033] Step (5) ... the resist film 37 a solvent such as acetone is removed by sputtering or the like in O 2. この結果ガラス基板11に溝幅t 2の案内溝12 As a result the glass substrate 11 of the groove width t 2 the guide groove 12
及びピット幅t 1の番地信号用ピット部13が形成される。 And address signal pits 13 of the pit width t 1 is formed.

【0034】以上のようにして、図1に示した形状の案内溝12及び番地信号用ピット部13がガラス基板11 [0034] As described above, the guide of the shape shown in FIG. 1 the grooves 12 and the address signal pits 13 glass substrate 11
上に形成される。 It is formed on the top.

【0035】なお、上記実施例においては、ガラス円板、光磁気ディスクの組み合わせに基づいて説明したが、本発明は必ずしも上記実施例に限定されるものではなく、本発明の主旨の範囲内での種々の変形及び適用が可能であることは言うまでもない。 [0035] In the above embodiments, a glass disc, has been described based on a combination of the magneto-optical disk, the present invention is not necessarily limited to the above embodiment, within the range of the gist of the present invention it is needless to say that various modifications are possible in and applications. また、例えば、特開昭57−120253号公報に記載されているように、 Further, for example, as described in JP-A-57-120253,
信号を記録する部分は溝の部分でも、溝と溝との間の土手の部分であってもよいことは言うまでもない。 In part of the portion for recording the signal grooves, it is needless to say may be a bank portion between the grooves.

【0036】 [0036]

【発明の効果】以上のごとく、本発明によればトラッキングサーボ信号、番地信号、情報再生信号の全てにわたって品質のよい光磁気メモリ素子を得ることができる。 As above, according to the present invention, a tracking servo signal according to the present invention, it is possible to obtain address signals, over all of the information reproduction signal good magneto-optical memory device quality.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明の光磁気メモリ素子の案内溝部及び該案内溝部の番地を表す番地信号用ピット部の拡大図である。 1 is an enlarged view of a pit portion for an address signal representing the address of the guide groove and the guide groove of the magneto-optical memory device of the present invention.

【図2】案内溝部に沿った光磁気メモリ素子用円板の断面一部拡大図である。 2 is a cross-sectional partial enlarged view of the disk for a magneto-optical memory device along the guide groove.

【図3】光磁気ディスク用ピックアップの構成を示す概念図である。 3 is a conceptual diagram showing a pickup for a magneto-optical disk configuration.

【図4】光磁気ディスクの断面を示す一部拡大図である。 4 is a partially enlarged view showing a section of a magneto-optical disk.

【図5】C/Nとトラック幅の関係を示す図である。 5 is a diagram showing the relation between C / N and the track width.

【図6】トラック幅による番地信号の差を示す図である。 6 is a diagram showing a difference in address signal by the track width.

【図7】記録信号もしくは番地信号用ピット部とビーム径の関係を示す図である。 7 is a graph showing the relationship between the pit portion for recording signals or address signals beam diameter.

【図8】本発明の光磁気メモリ素子を製造するための一手段を示す図である。 Is a diagram illustrating an method for fabricating a magneto-optical memory device of the present invention; FIG.

【図9】本発明の光メモリ素子を製造するための電気入力信号の一例を示す図である。 Is a diagram illustrating an example of the electrical input signal for producing an optical memory device of the present invention; FIG.

【図10】従来の光ディスク基板の断面構造を示す一部拡大図である。 Figure 10 is a partially enlarged view showing a sectional structure of a conventional optical disk substrate.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

11 ガラス基板 12 案内溝 13 番地信号用ピット部 t 1ピット部のピット幅 t 2案内溝の溝幅 11 glass substrate 12 guide groove 13 address signal pit portion t 1 the groove width of the pit width t 2 guide groove pit portion

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 出口 敏久 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 前田 茂己 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 ────────────────────────────────────────────────── ─── of the front page continued (72) inventor Toshihisa Ideguchi Osaka Abeno-ku, Osaka Nagaike-cho, No. 22 No. 22 shi Sharp within Co., Ltd. (72) inventor Shigemi Maeda Osaka Abeno-ku, Osaka Nagaike-cho, No. 22 No. 22 Sharp the Corporation

Claims (1)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 光磁気信号を記録する光磁気信号記録部と、その延長線上に設けられ、前記光磁気信号記録部の幅よりも狭い幅を有するピット部とを備え、前記光磁気信号記録部の幅は、分割フォトダイオードを用いてプッシュプル法によりトラックサーボ信号が得られるように光磁気信号を記録する光ビームの幅よりも狭くしたことを特徴とする光磁気メモリ素子。 And 1. A magneto-optical signal recording unit for recording a magneto-optical signal, provided on the extension line, and a pit portion having a width smaller than the width of the magneto-optical signal recording unit, the magneto-optical signal recording width parts are magneto-optical memory device is characterized in that narrower than the width of the light beam for recording magneto-optical signals as track servo signal is obtained by the push-pull method using a split photodiode.
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US6497134B1 (en) 2000-03-15 2002-12-24 Image Guided Technologies, Inc. Calibration of an instrument
US7725162B2 (en) 2000-01-27 2010-05-25 Howmedica Leibinger Inc. Surgery system
US8290570B2 (en) 2004-09-10 2012-10-16 Stryker Leibinger Gmbh & Co., Kg System for ad hoc tracking of an object

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JPS60121550A (en) * 1983-12-02 1985-06-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd Optical information recording carrier

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